KR960032537A - 전계 방출용 콜드 캐소드 및 이를 포함하는 전자총 - Google Patents

전계 방출용 콜드 캐소드 및 이를 포함하는 전자총 Download PDF

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KR960032537A
KR960032537A KR1019960005064A KR19960005064A KR960032537A KR 960032537 A KR960032537 A KR 960032537A KR 1019960005064 A KR1019960005064 A KR 1019960005064A KR 19960005064 A KR19960005064 A KR 19960005064A KR 960032537 A KR960032537 A KR 960032537A
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Abstract

본 발명은 (a) 그 표면에 적어도 전기 도전성인 기판(1), (b) 기판(1) 상에 배치되고, 첨예한 선단을 갖는 적어도 하나의 에미터 콘(6), (c) 에미터 콘(6)이 배치될 적어도 하나의 캐비티(4)를 갖는 게이트 전극(3), 및 (d) 기판(1)과 게이트 전극(3) 사이에 삽입된 절연층(2)을 포함하는 전계 방출형 콜드 캐소드에 있어서, 에미터 콘의 선단 주위의 게이트 전극(3)의 영역 A(5) 이외의 게이트 전극(3)의 영역 B와 전위 강하게 있어서 다른 특성을 갖는 전계 방출형 콜드 캐소드를 제공한다. 전계 방출형 콜드 캐소드는 전자 총에 적용 가능하다.

Description

전계 방출용 콜드 캐소드 및 이를 포함하는 전자총
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 제1실시예에 따라 제조된 전계 방출형 콜드 캐소드의 단면도.
제7도는 제6도에 도시된 콜드 캐소드의 사시도.
제8도는 본 발명의 제1실시예에 따라 제조된 전계 방출형 콜드 캐소드를 포함하는 전자총의 단면도.
제9도는 본 발명의 제2실시예에 따라 제조된 전계 방출형 콜드 캐소드의 단면도.
제10도는 제9도에 도시된 콜드 캐소드의 사시도.

Claims (12)

  1. (a) 적어도 자체 표면에 도전성이 있는 기판(1); (b) 상기 기판(1) 상기 배치되고 뾰족한 선단을 갖는 적어도 하나의 에미터 콘(6); (c) 상기 에미터 콘(6)이 배치될 적어도 하나의 캐비티(4)를 갖는 게이트 전극(3); 및 (d) 상기 기판(1)과 상기 게이트 전극(3) 사이에 삽입된 절연층(2)을 구비한 전계 방출형 콜드 캐소드(field emission cold cathode)에 있어서, 상기 에미터 콘(6)의 상기 선단 부근의 상기 게이트 전극(3)의 영역 A(5)가 상기 영역 A(5) 이외의 상기 게이트 전극(3)의 영역 B와 다른 전위 강하 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)의 상기 영역 A(5)는 상기 영역 B와 다른 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)의 상기 영역 A(5)는 상기 영역 B와 전기 저항이 다른 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  4. 제1항 내지 제3항 중 언 한 항에 있어허, 상기 게이트 전극(3)의 상기 영역 A(5)의 형상이 고리 모양(annular in shape)인 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  5. 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)은 상기 절연층(2) 상에 있는 제1도전층(7) 및 상기 제1도전층(7)상에 있는 제2도전층(8)을 구비하며, 상기 캐비티(4)는 상기 제1도전층(7)에 형성된 제1개구부(7a)와 상기 제2도전층(8)에 형성된 제2개구부(8a)를 포함하되, 상기 제1개구부(7a)는 상기 제2개구부(8a)와 동축 상에 있으며 상기 제2개구부(8a) 보다 작은 내부 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1도전층(7)은 상기 제2도전층(8) 보다 더 적은 불순물로 도핑되는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제2도전층(8)은 고융점 금속으로 제조되는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 콜드 캐소드.
  8. 캐소드 및 상기 캐소드를 따라 정렬 배치된 복수의 제어 전극(11,12)을 구비하여, 상기 캐소드로부터 방출된 전자들이 상기 제어 전극(11,12)로 향하도록 되어 있고, 상기 캐소드는 (a) 적어도 자체 표면에 도전성이 있는 기판(1); (b) 상기 기판(1) 상에 배치되고 뾰족한 선단을 갖는 적어도 하나의 에미터 콘(6); (c) 상기 에미터 콘(6)의 배치될 적어도 하나의 캐비티(4)를 갖는 게이트 전극(3); 및 (d) 상기 기판(1)과 상기 게이트 전극(3) 사이에 삽입된 절연층(2)을 구비하고 있는 전자총에 있어서, 상기 에미터 콘(6)의 상기 선단 부근의 상기 게이트 전극(3)의 영역 A(5)가 상기 영역 A(5) 이외의 상기 게이트 전극(3)의 영역 B와 다른 전위 강하 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 전자총.
  9. 제8항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)의 상기 영역 A(5)는 상기 영역 B와 다른 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 전자총.
  10. 제8항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)의 상기 영역A (5)는 상기 영역 B와 전기 저항이 다른 것을 특징으로 하는 전자총.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)의 영역 A(5)의 형상이 고리 모양인 것을 특징으로 하는 전자총.
  12. 제8항에 있어서, 상기 게이트 전극(3)은 상기 절연층(2) 상에 있는 제1도전층(7) 및 상기 제1도전층(7)상에 있는 제2도전층(8)을 구비하며, 상기 캐비티(4)는 상기 제1도전층(7)에 형성된 제1개구부(7a)와 상기 제2도전층(8)에 형성된 제2개구부(8a)를 포함하되, 상기 제1개구부(7a)는 상기 제2개구부(8a)와 동축 상에 있으며 상기 제2개구부(8a) 보다 작은 내부 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 전자총.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960005064A 1995-02-28 1996-02-28 전계 방출형 콜드 캐소드 및 이를 포함하는 전자총 KR0181327B1 (ko)

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