KR960026310A - 웨이퍼 건조장치 및 건조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 건조장치 및 건조방법을 개시한다.
웨이퍼를 회전시켜 건조하는 기존의 건조장치와는 달리 본 발명은 기화성이 우수한 건조매체인 이소프로필 알콜을 웨이퍼표면에 분사함으로서 웨이퍼의 손상방지 및 우수한 건조효과를 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 건조방법은 증발성이 우수한 이소프로필 알콜에 기화를 유발하는 보조가스를 공급하는 단계와, 기화된 이소프로필 알콜을 밀폐된 챔버내에 수용된 웨이퍼에 분사, 공급하는 단계와, 건조과정이 완료된 이소프로필 알콜을챔버외부로 강제 배기시키는 단계를 갖는다.

Description

웨이퍼 건조장치 및 건조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 구성을 도시한 구성도.

Claims (9)

  1. 웨이퍼가 안착되는 밀폐된 챔버와, 상기 챔버 외주부에 설치된 가열수단과, 상기 챔버의 상단에 설치된 분사박스와, 상기 챔버의 하단에 고정설치된 배기라인 및 세정액 배출라인으로 이루어진 건조부와, 건조매체를 저장하는 앰플과, 상기 앰플외부에 설치된 가열수단과 상기 앰플과 상기 건조부의 챔버를 연통하는 연결라인 및 상기 앰플에 연결되어 건조매체의 기화를 유발하는 보조가스의 공급라인으로 이루어진 건조 매체 공급부로 구성되어 상기 보조가스 공급라인을 통하여 건조매체가 저장된 상기 앰플내로 보조가스를 공급하여 건조매체를 증기화시키며, 상기 연결라인 및 상기 분사박스를 통하여 증기화된 건조매체를 상기 챔버내부로 분사, 각 웨이퍼 표면에 접촉시킴으로서 웨이퍼 표면을 건조시키는것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 건조매체는 이소프로필 알콜, 상기 보조가스는 질소(N2)가스인 것을 특징으로 하는웨이퍼 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 챔버와 상기 분사박스간에는 분사된 건조매체를 상기 챔버내부에 수용된 웨이퍼에균일하게 공급하기 위한 분배판이 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 챔버는 세정액의 배출 및 건조기능을 완료한 건조매체의 배출을 위한 세정액 배출라인 및 진공압 공급라인을 더 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 건조매체가 공급되는 상기 챔버는 그 내부의 온도가 100℃ 내지 200℃인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 진공압의 압력은 약 20 ㎜H2O 인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
  7. 웨이퍼 건조방법에 있어서, 증발성이 우수한 건조매체에 상기 건조매체의 기화를 유발하는 보조가스를 공급하는 단계와, 상기 기화된 건조매체를 밀폐된 챔버내에 수용된 웨이퍼에 분사, 공급하는 단계와, 웨이퍼에 대한 건조과정을 완료한 건조매체를 상기 챔버 외부로 강제 배기시키는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 건조매체는 이소프로필 알콜, 상기 보조가스는 질소(N2)가스인 것을 특징으로 하는웨이퍼 건조방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 건조매체가 공급되는 상기 챔버는 그 내부의 온도가 100℃ 내지 200℃인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR100504613B1 (ko) * 2002-11-08 2005-08-03 (주)케이.씨.텍 이소프로필 알콜 공급 방법 및 장치

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