JP3234204B2 - 物品等の洗浄方法及び装置 - Google Patents
物品等の洗浄方法及び装置Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G3/00—Apparatus for cleaning or pickling metallic material
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- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/04—Heat
- A61L2/06—Hot gas
- A61L2/07—Steam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、リベット等の小型
機械部品や電子部品やプリント回路基板等の物品の洗浄
方法及び装置に関し、特に、トリクロロエチレン等の洗
浄溶剤を使用せずに、小型機械部品や電子部品やプリン
ト回路基板等の被洗浄物を脱脂洗浄する方法及び装置に
関する。
機械部品や電子部品やプリント回路基板等の物品の洗浄
方法及び装置に関し、特に、トリクロロエチレン等の洗
浄溶剤を使用せずに、小型機械部品や電子部品やプリン
ト回路基板等の被洗浄物を脱脂洗浄する方法及び装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】特開平３−１２７６７３号公報には、過
熱蒸気の流れの中に、電子部品やプリント回路基板の被
洗浄物を配置し、過熱水蒸気の流れによって被洗浄物の
汚れを除去する方法が記載されている。この方法は、ト
リクロロエチレン等の塩素系有機溶剤を使用せずに、過
熱水蒸気を使用するので、公害の発生を防止できる利点
がある。
熱蒸気の流れの中に、電子部品やプリント回路基板の被
洗浄物を配置し、過熱水蒸気の流れによって被洗浄物の
汚れを除去する方法が記載されている。この方法は、ト
リクロロエチレン等の塩素系有機溶剤を使用せずに、過
熱水蒸気を使用するので、公害の発生を防止できる利点
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平３−１２７６７３号公報に記載の洗浄方法は、過熱
水蒸気の流れによって被洗浄物の汚れを除去しているた
め、ボイラーや過熱器や復水器等が必要となり、そのシ
ステム全体の構成が複雑になり、また、システムのラン
ニングコストも高い。また、過熱水蒸気を利用している
ため、電子部品やプリント回路基板の被洗浄物が高温に
加熱されてその影響を受ける惧れもある。
開平３−１２７６７３号公報に記載の洗浄方法は、過熱
水蒸気の流れによって被洗浄物の汚れを除去しているた
め、ボイラーや過熱器や復水器等が必要となり、そのシ
ステム全体の構成が複雑になり、また、システムのラン
ニングコストも高い。また、過熱水蒸気を利用している
ため、電子部品やプリント回路基板の被洗浄物が高温に
加熱されてその影響を受ける惧れもある。
【０００４】従って、本発明の目的は、トリクロロエチ
レン等の溶剤等を使わずに環境への配慮を維持するとと
もに、小型機械部品や電子部品やプリント回路基板等の
洗浄物への高温による悪影響を防ぎ、簡単なシステム構
成のランニングコストの安価な脱脂洗浄方法及び装置を
提供するにある。
レン等の溶剤等を使わずに環境への配慮を維持するとと
もに、小型機械部品や電子部品やプリント回路基板等の
洗浄物への高温による悪影響を防ぎ、簡単なシステム構
成のランニングコストの安価な脱脂洗浄方法及び装置を
提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による物品等の被
洗浄物を洗浄する方法は、密閉可能な蒸気生成容器に給
水し、該蒸気生成容器の水を加熱するとともに該蒸気生
成容器を負圧にして低温の蒸気を生成するステップと、
蒸気を、被洗浄物が収容保持され且つ負圧にされた洗浄
容器内に噴出するように供給するステップと、その噴出
蒸気を一定期間流して該蒸気流れにより被洗浄物を脱脂
洗浄するステップとから成ることを特徴とする。これに
よって、洗浄は水道水等の水蒸気によって行われるの
で、トリクロロエチレン等の溶剤等を使わずに環境への
配慮を維持しており、負圧下で蒸気にされるので、蒸気
の温度は、例えば６０℃程度の低温であり、被洗浄物は
高温に加熱されることはない。更に、噴出蒸気の高速流
によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極めて短い期間で
洗浄できる。なお、上記洗浄方法において、前記洗浄容
器内への蒸気の噴出の停止後、更に、前記洗浄容器内の
負圧を維持するステップ、または、被洗浄物を加熱する
ステップを包含するのが好ましく、これによって、洗浄
後の被洗浄物を乾燥することができる。
洗浄物を洗浄する方法は、密閉可能な蒸気生成容器に給
水し、該蒸気生成容器の水を加熱するとともに該蒸気生
成容器を負圧にして低温の蒸気を生成するステップと、
蒸気を、被洗浄物が収容保持され且つ負圧にされた洗浄
容器内に噴出するように供給するステップと、その噴出
蒸気を一定期間流して該蒸気流れにより被洗浄物を脱脂
洗浄するステップとから成ることを特徴とする。これに
よって、洗浄は水道水等の水蒸気によって行われるの
で、トリクロロエチレン等の溶剤等を使わずに環境への
配慮を維持しており、負圧下で蒸気にされるので、蒸気
の温度は、例えば６０℃程度の低温であり、被洗浄物は
高温に加熱されることはない。更に、噴出蒸気の高速流
によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極めて短い期間で
洗浄できる。なお、上記洗浄方法において、前記洗浄容
器内への蒸気の噴出の停止後、更に、前記洗浄容器内の
負圧を維持するステップ、または、被洗浄物を加熱する
ステップを包含するのが好ましく、これによって、洗浄
後の被洗浄物を乾燥することができる。
【０００６】本発明による物品等の被洗浄物を洗浄する
装置は、給水管が連結された蒸気生成容器と、該蒸気生
成容器を負圧にする真空ポンプと、負圧の蒸気生成容器
内の水を加熱して低温の蒸気を生成する加熱手段と、被
洗浄物を収容する洗浄容器と、該洗浄容器を負圧にする
真空ポンプと、蒸気生成容器内の蒸気を洗浄容器に噴出
するように供給して該噴出蒸気を一定期間流し、該蒸気
流れにより被洗浄物を脱脂洗浄する手段とからなること
を特徴とする。このように、本発明による洗浄装置は、
ボイラーや過熱器や復水器等を必要としないので、シス
テム全体の構成が極めて簡単になり、また、システムの
ランニングコストも低く抑えることができる。更に、噴
出蒸気の高速流によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極
めて短い期間で洗浄できる。なお、上記洗浄装置におい
て、洗浄容器を複数個収容することのできる洗浄タンク
を包含し、該洗浄タンクに収容された複数の洗浄容器の
外周には、該洗浄容器を加熱する手段が配置されるのが
好ましい。また、蒸気生成容器を負圧にする真空ポンプ
と洗浄容器を負圧にする真空ポンプは同一の真空ポンプ
であり、該真空ポンプは洗浄タンクに連結されて該洗浄
タンクを負圧にすることによって収容された前記洗浄容
器を負圧にするのが好ましい。また、真空ポンプと蒸気
生成容器を直接接続して蒸気生成容器を負圧にするよう
にしてもよい。
装置は、給水管が連結された蒸気生成容器と、該蒸気生
成容器を負圧にする真空ポンプと、負圧の蒸気生成容器
内の水を加熱して低温の蒸気を生成する加熱手段と、被
洗浄物を収容する洗浄容器と、該洗浄容器を負圧にする
真空ポンプと、蒸気生成容器内の蒸気を洗浄容器に噴出
するように供給して該噴出蒸気を一定期間流し、該蒸気
流れにより被洗浄物を脱脂洗浄する手段とからなること
を特徴とする。このように、本発明による洗浄装置は、
ボイラーや過熱器や復水器等を必要としないので、シス
テム全体の構成が極めて簡単になり、また、システムの
ランニングコストも低く抑えることができる。更に、噴
出蒸気の高速流によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極
めて短い期間で洗浄できる。なお、上記洗浄装置におい
て、洗浄容器を複数個収容することのできる洗浄タンク
を包含し、該洗浄タンクに収容された複数の洗浄容器の
外周には、該洗浄容器を加熱する手段が配置されるのが
好ましい。また、蒸気生成容器を負圧にする真空ポンプ
と洗浄容器を負圧にする真空ポンプは同一の真空ポンプ
であり、該真空ポンプは洗浄タンクに連結されて該洗浄
タンクを負圧にすることによって収容された前記洗浄容
器を負圧にするのが好ましい。また、真空ポンプと蒸気
生成容器を直接接続して蒸気生成容器を負圧にするよう
にしてもよい。
【０００７】また、本発明によれば、物品等の被洗浄物
を洗浄する方法であって、密閉可能な洗浄容器に、被洗
浄物を配置して、該洗浄容器を負圧にするステップと、
負圧の洗浄容器に温水を噴射して気化膨張により低温の
蒸気を生成するとともに、被洗浄物に前記気化膨張に伴
って噴出する蒸気を一定期間流して該蒸気流れにより被
洗浄物を脱脂洗浄するステップとから成ることを特徴と
する洗浄方法が提供される。この方法によれば、トリク
ロロエチレン等の溶剤等を使わずに環境への配慮を維持
し、且つ、負圧下で蒸気にされるので蒸気の温度は低温
であり被洗浄物は高温に加熱することはないという利点
の外に、低温蒸気の生成が、蒸気生成容器を使用せず
に、洗浄容器内で行われるので、蒸気を洗浄容器に供給
する手間が省ける。更に、噴出蒸気の高速流によって被
洗浄物を脱脂洗浄するので極めて短い期間で洗浄でき
る。なお、この洗浄方法において、洗浄物を通った蒸気
流れを洗浄容器から外部に吸引するのが好ましい。
を洗浄する方法であって、密閉可能な洗浄容器に、被洗
浄物を配置して、該洗浄容器を負圧にするステップと、
負圧の洗浄容器に温水を噴射して気化膨張により低温の
蒸気を生成するとともに、被洗浄物に前記気化膨張に伴
って噴出する蒸気を一定期間流して該蒸気流れにより被
洗浄物を脱脂洗浄するステップとから成ることを特徴と
する洗浄方法が提供される。この方法によれば、トリク
ロロエチレン等の溶剤等を使わずに環境への配慮を維持
し、且つ、負圧下で蒸気にされるので蒸気の温度は低温
であり被洗浄物は高温に加熱することはないという利点
の外に、低温蒸気の生成が、蒸気生成容器を使用せず
に、洗浄容器内で行われるので、蒸気を洗浄容器に供給
する手間が省ける。更に、噴出蒸気の高速流によって被
洗浄物を脱脂洗浄するので極めて短い期間で洗浄でき
る。なお、この洗浄方法において、洗浄物を通った蒸気
流れを洗浄容器から外部に吸引するのが好ましい。
【０００８】更に、本発明によれば、物品等の被洗浄物
を洗浄する装置であって、被洗浄物を収容配置できる密
閉可能な洗浄容器と、洗浄容器を負圧にする真空ポンプ
と、洗浄容器の一端に温水を噴射して、負圧の洗浄容器
内において気化膨張により低温の蒸気を生成するととも
に、被洗浄物に前記気化膨張に伴って噴出する蒸気を一
定期間流して、該蒸気流れにより被洗浄物を脱脂洗浄す
る温水噴射手段とを備え、洗浄容器の他端に設けられ
て、前記蒸気の流れが被洗浄物を通って脱脂洗浄するよ
うに、蒸気を外部に吸引する手段とから成ることを特徴
とする洗浄装置が提供される。この装置によれば、ボイ
ラーや過熱器や復水器等を必要としない外に、蒸気生成
容器及び蒸気供給う系統も不要になるので、システム全
体の構成が更に簡単になり、また、システムのランニン
グコストも更に低く抑えることができる。そして、噴出
蒸気の高速流によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極め
て短い期間で洗浄できる。
を洗浄する装置であって、被洗浄物を収容配置できる密
閉可能な洗浄容器と、洗浄容器を負圧にする真空ポンプ
と、洗浄容器の一端に温水を噴射して、負圧の洗浄容器
内において気化膨張により低温の蒸気を生成するととも
に、被洗浄物に前記気化膨張に伴って噴出する蒸気を一
定期間流して、該蒸気流れにより被洗浄物を脱脂洗浄す
る温水噴射手段とを備え、洗浄容器の他端に設けられ
て、前記蒸気の流れが被洗浄物を通って脱脂洗浄するよ
うに、蒸気を外部に吸引する手段とから成ることを特徴
とする洗浄装置が提供される。この装置によれば、ボイ
ラーや過熱器や復水器等を必要としない外に、蒸気生成
容器及び蒸気供給う系統も不要になるので、システム全
体の構成が更に簡単になり、また、システムのランニン
グコストも更に低く抑えることができる。そして、噴出
蒸気の高速流によって被洗浄物を脱脂洗浄するので極め
て短い期間で洗浄できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施例を説明する。図１は、本発明の第１実施例に係る
洗浄装置１を示すブロック図である。洗浄装置１は、密
閉可能な真空容器となる蒸気生成容器２と、密閉可能な
洗浄室を構成する洗浄タンク３と、これらの内部を負圧
に維持する真空ポンプ５とを有する。洗浄タンク３に
は、リベットに代表される小型機械部品等を収容する洗
浄容器６が複数個収容できる。なお、蒸気生成容器２と
洗浄タンク３とを真空にする真空ポンプ５は、図示のよ
うに１個で共用してもよく、蒸気生成容器２と洗浄タン
ク３とを別々に真空にするように２個にしてもよい。更
に、洗浄タンク３を負圧にするのは、各洗浄容器６を負
圧に維持するためであり、そのため、真空ポンプ５に替
えて、洗浄容器６のそれぞれを単独で真空にする真空ポ
ンプを設けることもできる。
実施例を説明する。図１は、本発明の第１実施例に係る
洗浄装置１を示すブロック図である。洗浄装置１は、密
閉可能な真空容器となる蒸気生成容器２と、密閉可能な
洗浄室を構成する洗浄タンク３と、これらの内部を負圧
に維持する真空ポンプ５とを有する。洗浄タンク３に
は、リベットに代表される小型機械部品等を収容する洗
浄容器６が複数個収容できる。なお、蒸気生成容器２と
洗浄タンク３とを真空にする真空ポンプ５は、図示のよ
うに１個で共用してもよく、蒸気生成容器２と洗浄タン
ク３とを別々に真空にするように２個にしてもよい。更
に、洗浄タンク３を負圧にするのは、各洗浄容器６を負
圧に維持するためであり、そのため、真空ポンプ５に替
えて、洗浄容器６のそれぞれを単独で真空にする真空ポ
ンプを設けることもできる。
【００１０】蒸気生成容器２には、弁１０を介して、水
道等の給水源からのライン１１が連結されて、蒸気生成
容器２に水が供給されるようになっている。蒸気生成容
器２の底面には、供給された水を加熱する加熱手段とし
てのヒータ１３が配置されている。このヒータ１３は、
外部電源装置１４によってそのオンオフが制御される。
更に、蒸気生成容器２の上部からはライン１５が延びて
おり、このライン１５は弁１７を通って洗浄タンク３に
配置された洗浄容器６の上端に至り、蒸気生成容器２で
発生した水蒸気を洗浄容器６に送り込んでいる。蒸気生
成容器２では、負圧に維持できるので、１００℃より低
い温度の水蒸気が得られる。通常、真空度６５０ mmHg
近傍であれば５０℃で充分沸騰する。この低温蒸気の生
成は、蒸気生成容器２内を所定の真空度の負圧に維持し
て容器内の水をヒータによって加熱してもよいが、蒸気
生成容器２内の水を所定温度（２０℃〜８０℃、好まし
くは、６０℃）に維持して、容器内を負圧にするように
してもよく、更には、加熱と真空吸引を同時にしてもよ
い。なお、図示していないが、蒸気生成容器２の内部の
温度及び圧力を知るためにセンサ等を設けるのが好まし
い。
道等の給水源からのライン１１が連結されて、蒸気生成
容器２に水が供給されるようになっている。蒸気生成容
器２の底面には、供給された水を加熱する加熱手段とし
てのヒータ１３が配置されている。このヒータ１３は、
外部電源装置１４によってそのオンオフが制御される。
更に、蒸気生成容器２の上部からはライン１５が延びて
おり、このライン１５は弁１７を通って洗浄タンク３に
配置された洗浄容器６の上端に至り、蒸気生成容器２で
発生した水蒸気を洗浄容器６に送り込んでいる。蒸気生
成容器２では、負圧に維持できるので、１００℃より低
い温度の水蒸気が得られる。通常、真空度６５０ mmHg
近傍であれば５０℃で充分沸騰する。この低温蒸気の生
成は、蒸気生成容器２内を所定の真空度の負圧に維持し
て容器内の水をヒータによって加熱してもよいが、蒸気
生成容器２内の水を所定温度（２０℃〜８０℃、好まし
くは、６０℃）に維持して、容器内を負圧にするように
してもよく、更には、加熱と真空吸引を同時にしてもよ
い。なお、図示していないが、蒸気生成容器２の内部の
温度及び圧力を知るためにセンサ等を設けるのが好まし
い。
【００１１】洗浄タンク３には、真空ポンプ５から弁１
８を通してライン１８が連結されて洗浄タンク３を負圧
にする。ライン１８の途中には圧力計２１が設けられ
て、洗浄タンクの圧力を監視するようにしてもよい。洗
浄タンク２の底面には、洗浄容器６を通った蒸気による
水分を排出するドレインライン２２が設けられている。
更に、洗浄容器６を外部から加熱する加熱手段としての
ヒータ２３が設けられている。このヒータ２３は、洗浄
容器６内の被洗浄物の水分を除去するため（蒸発させる
ため）のものである。洗浄容器６は負圧に維持されてい
るので、その水分は低温で蒸発でき、従って、ヒータ２
３の温度も高くする必要はない。
８を通してライン１８が連結されて洗浄タンク３を負圧
にする。ライン１８の途中には圧力計２１が設けられ
て、洗浄タンクの圧力を監視するようにしてもよい。洗
浄タンク２の底面には、洗浄容器６を通った蒸気による
水分を排出するドレインライン２２が設けられている。
更に、洗浄容器６を外部から加熱する加熱手段としての
ヒータ２３が設けられている。このヒータ２３は、洗浄
容器６内の被洗浄物の水分を除去するため（蒸発させる
ため）のものである。洗浄容器６は負圧に維持されてい
るので、その水分は低温で蒸発でき、従って、ヒータ２
３の温度も高くする必要はない。
【００１２】各洗浄容器６は、上端に、蒸気生成容器２
からのライン１５が連結されて、洗浄容器６に低温の蒸
気を供給する。この蒸気は洗浄容器６に噴出するように
供給される。洗浄容器６の上端及び下端以外の部分に
は、リベット等の被洗浄物２６が多量に収容されてい
る。洗浄容器６の下端は、洗浄タンク３の内側に形成さ
れる洗浄室に通じており、洗浄室は真空ポンプ５によっ
て負圧にされているので、上端から供給される低温蒸気
が被洗浄物を通って下端に排出される。この蒸気流れに
よって、被洗浄物の汚れ（特に油汚れ）が除去されて脱
脂洗浄される。なお、被洗浄物２６の保持の仕方は任意
でよいが、蒸気がその速度を維持した状態で流れ易く且
つその蒸気が各被洗浄物の表面にできるだけ多く接触す
るように保持するのが好ましい。
からのライン１５が連結されて、洗浄容器６に低温の蒸
気を供給する。この蒸気は洗浄容器６に噴出するように
供給される。洗浄容器６の上端及び下端以外の部分に
は、リベット等の被洗浄物２６が多量に収容されてい
る。洗浄容器６の下端は、洗浄タンク３の内側に形成さ
れる洗浄室に通じており、洗浄室は真空ポンプ５によっ
て負圧にされているので、上端から供給される低温蒸気
が被洗浄物を通って下端に排出される。この蒸気流れに
よって、被洗浄物の汚れ（特に油汚れ）が除去されて脱
脂洗浄される。なお、被洗浄物２６の保持の仕方は任意
でよいが、蒸気がその速度を維持した状態で流れ易く且
つその蒸気が各被洗浄物の表面にできるだけ多く接触す
るように保持するのが好ましい。
【００１３】洗浄容器６の形状は、例えば、リベットや
その他の機械部品や電子部品等の穴のある部品や、複雑
な形状の物品については、蒸気が速度を維持した状態で
流れ易く且つ各被洗浄物の表面にできるだけ多く接触す
るように規制する程度のものでよく、例えば、円筒状に
形成することができる。しかし、プリント回路基板等の
板状部材である場合には、それを収容できる箱形状に形
成される。また、蒸気を、プリント回路基板の表面に二
次元的に当てなければ洗浄の効果は得られない。従っ
て、箱形状の洗浄容器内に直線状の多数のノズル（ライ
ン１５に連結されている）を２列に並べ対向させて配置
する。この２列のノズル群の間を板状部材が通過すれ
ば、各ノズルからの蒸気は、板状部材の面に沿って流れ
汚れは面で落とすことが可能となる。更には、かかる板
状部材の洗浄の場合には、洗浄容器をなくして、洗浄タ
ンク３の中にそれら板状部材を保持するとともに２列の
ノズル群を設けて面洗浄するようにしてもよい。
その他の機械部品や電子部品等の穴のある部品や、複雑
な形状の物品については、蒸気が速度を維持した状態で
流れ易く且つ各被洗浄物の表面にできるだけ多く接触す
るように規制する程度のものでよく、例えば、円筒状に
形成することができる。しかし、プリント回路基板等の
板状部材である場合には、それを収容できる箱形状に形
成される。また、蒸気を、プリント回路基板の表面に二
次元的に当てなければ洗浄の効果は得られない。従っ
て、箱形状の洗浄容器内に直線状の多数のノズル（ライ
ン１５に連結されている）を２列に並べ対向させて配置
する。この２列のノズル群の間を板状部材が通過すれ
ば、各ノズルからの蒸気は、板状部材の面に沿って流れ
汚れは面で落とすことが可能となる。更には、かかる板
状部材の洗浄の場合には、洗浄容器をなくして、洗浄タ
ンク３の中にそれら板状部材を保持するとともに２列の
ノズル群を設けて面洗浄するようにしてもよい。
【００１４】次に、上記の構成でなる洗浄装置１を用い
て小型機械部品を洗浄する動作を説明する。水道等の給
水源からライン１１を通して蒸気生成容器２に水が供給
される。次に、ヒータ１３により２０℃〜８０℃（実験
例では６０℃に設定した）にで水を加熱するとともに、
真空ポンプ５を動作させて弁１７を開放しライン１５を
通して蒸気生成容器２を負圧に維持する。これによっ
て、低温の蒸気が生成され、弁１７を開放してライン１
５を通して洗浄タンク２の各洗浄容器６に供給される。
各洗浄容器６の上端に設けられたライン１５の先端のノ
ズル２５からは、低温の蒸気が洗浄容器内に噴出され
る。洗浄容器６内には被洗浄物２６となる汚れた小型機
械部品が充填されている。他方、洗浄タンク３の洗浄室
は、真空ポンプ５によって負圧にされているので、蒸気
流が洗浄容器内を高速で流れて汚れた小型機械部品（被
洗浄物２６）が脱脂洗浄される。洗浄完了後、被洗浄物
２６となる小型機械部品は蒸気および部品の温度差によ
り濡れているので、蒸気の供給を断ち、真空ポンプ５を
そのまま運転して洗浄容器内の負圧を保ち且つヒータ２
３をオンすることによって被洗浄物２６の温度を上昇
（８０℃位）させる。これにより、被洗浄物２６の残留
水分が完全に蒸発した。そのため、別途乾燥装置を設置
する必要がない。
て小型機械部品を洗浄する動作を説明する。水道等の給
水源からライン１１を通して蒸気生成容器２に水が供給
される。次に、ヒータ１３により２０℃〜８０℃（実験
例では６０℃に設定した）にで水を加熱するとともに、
真空ポンプ５を動作させて弁１７を開放しライン１５を
通して蒸気生成容器２を負圧に維持する。これによっ
て、低温の蒸気が生成され、弁１７を開放してライン１
５を通して洗浄タンク２の各洗浄容器６に供給される。
各洗浄容器６の上端に設けられたライン１５の先端のノ
ズル２５からは、低温の蒸気が洗浄容器内に噴出され
る。洗浄容器６内には被洗浄物２６となる汚れた小型機
械部品が充填されている。他方、洗浄タンク３の洗浄室
は、真空ポンプ５によって負圧にされているので、蒸気
流が洗浄容器内を高速で流れて汚れた小型機械部品（被
洗浄物２６）が脱脂洗浄される。洗浄完了後、被洗浄物
２６となる小型機械部品は蒸気および部品の温度差によ
り濡れているので、蒸気の供給を断ち、真空ポンプ５を
そのまま運転して洗浄容器内の負圧を保ち且つヒータ２
３をオンすることによって被洗浄物２６の温度を上昇
（８０℃位）させる。これにより、被洗浄物２６の残留
水分が完全に蒸発した。そのため、別途乾燥装置を設置
する必要がない。
【００１５】プリント回路基板の洗浄（板状部材）にお
いては、前記のように、洗浄室内に直線状の多数のノズ
ルを２列に並べ対向されており、その間を被洗浄物たる
板状部材を通過させる。これによって、板状部材はその
両面の汚れが面に沿って落とされる。洗浄完了後、蒸気
の供給を断ち、被洗浄物たる板状部材の入っている洗浄
室の負圧をそのまま保ち、ヒータ２３によって板状部材
を温める事により、付着した水分は完全に蒸発し、乾燥
設備を不要にする。
いては、前記のように、洗浄室内に直線状の多数のノズ
ルを２列に並べ対向されており、その間を被洗浄物たる
板状部材を通過させる。これによって、板状部材はその
両面の汚れが面に沿って落とされる。洗浄完了後、蒸気
の供給を断ち、被洗浄物たる板状部材の入っている洗浄
室の負圧をそのまま保ち、ヒータ２３によって板状部材
を温める事により、付着した水分は完全に蒸発し、乾燥
設備を不要にする。
【００１６】なお、一般的に高温蒸気を油が付着した機
械部品に噴きつけると、蒸気の熱エネルギにより油分が
蒸発をし、次いで流速により油分が運び去られると考え
られている。しかし、本願の発明者等の実験によれば、
低温の蒸気でも脱脂洗浄効果が得られた。従って、脱脂
洗浄は、高温による蒸発効果よりも流速による機械的
（物理的）掻き落としによるものと考えられる。また、
蒸気の流れる方向を規制すると、効率良く且つ部品の穴
の内部まで洗浄できることも分かった。更に、リベット
のような穴の開いた部品の内部洗浄の場合、蒸気の流れ
方向を規制する容器に部品を充填し、容器は真空中に設
置すれば、特開平３−１２７６７３号公報に記載の過熱
蒸気を使用したものと同様の効果が得られることが実験
で確認された。低温蒸気洗浄の特徴は、被洗浄物に与え
る熱歪の影響を全く与えないかまたは無視出来る程小さ
くできることである。このため、小型機械部品に限ら
ず、電子部品の洗浄やプリント回路基板の洗浄に適して
いる。特に、特開平３−１２７６７３号公報に記載の過
熱蒸気発生装置に比べ、低温蒸気発生装置のエネルギ効
率ははるかに高く、システムを構成する部品点数も少な
く、使用する水の管理も楽で、全体に経済的なシステム
となる。
械部品に噴きつけると、蒸気の熱エネルギにより油分が
蒸発をし、次いで流速により油分が運び去られると考え
られている。しかし、本願の発明者等の実験によれば、
低温の蒸気でも脱脂洗浄効果が得られた。従って、脱脂
洗浄は、高温による蒸発効果よりも流速による機械的
（物理的）掻き落としによるものと考えられる。また、
蒸気の流れる方向を規制すると、効率良く且つ部品の穴
の内部まで洗浄できることも分かった。更に、リベット
のような穴の開いた部品の内部洗浄の場合、蒸気の流れ
方向を規制する容器に部品を充填し、容器は真空中に設
置すれば、特開平３−１２７６７３号公報に記載の過熱
蒸気を使用したものと同様の効果が得られることが実験
で確認された。低温蒸気洗浄の特徴は、被洗浄物に与え
る熱歪の影響を全く与えないかまたは無視出来る程小さ
くできることである。このため、小型機械部品に限ら
ず、電子部品の洗浄やプリント回路基板の洗浄に適して
いる。特に、特開平３−１２７６７３号公報に記載の過
熱蒸気発生装置に比べ、低温蒸気発生装置のエネルギ効
率ははるかに高く、システムを構成する部品点数も少な
く、使用する水の管理も楽で、全体に経済的なシステム
となる。
【００１７】板状部材の洗浄実験では、１分間の噴出
で、機械スラッジや、炭化させた機械油と繊維状の汚れ
とが共にきれいに洗浄された。また、リベットの洗浄実
験においては、蒸気の流れを規制する円筒状の洗浄容器
の中にリベットを充填し、その洗浄容器を洗浄室に設置
した。１分間の蒸気噴射の後、弁を閉じて洗浄室を約１
分間の真空引きをした。その結果、リベットのボディ内
面も完全に脱脂できた。
で、機械スラッジや、炭化させた機械油と繊維状の汚れ
とが共にきれいに洗浄された。また、リベットの洗浄実
験においては、蒸気の流れを規制する円筒状の洗浄容器
の中にリベットを充填し、その洗浄容器を洗浄室に設置
した。１分間の蒸気噴射の後、弁を閉じて洗浄室を約１
分間の真空引きをした。その結果、リベットのボディ内
面も完全に脱脂できた。
【００１８】図２は、本発明の第２実施例に係る洗浄装
置３０を示している。この実施例では蒸気生成容器は設
けられていない。洗浄装置３０は、小型機械部品等の被
洗浄物２６を収容配置できる密閉可能な洗浄容器３１
と、洗浄容器を負圧にする真空ポンプ３３と、弁３４を
介して洗浄容器３１の一端に温水を供給するライン３５
と、ライン３５の先端に設けられて、負圧の洗浄容器内
において低温の蒸気を生成するように温水を噴射する手
段としてのノズル３７とを備え、真空ポンプ３３は、低
温の蒸気の流れが被洗浄物２６を通って外部に吸引され
るように、洗浄容器３１の他端に、弁３８と分離器３９
とライン４１を通して連結されている。なお、分離器３
９は、蒸気流及び被洗浄物に付随する水分を排気蒸気流
から分離するものである。
置３０を示している。この実施例では蒸気生成容器は設
けられていない。洗浄装置３０は、小型機械部品等の被
洗浄物２６を収容配置できる密閉可能な洗浄容器３１
と、洗浄容器を負圧にする真空ポンプ３３と、弁３４を
介して洗浄容器３１の一端に温水を供給するライン３５
と、ライン３５の先端に設けられて、負圧の洗浄容器内
において低温の蒸気を生成するように温水を噴射する手
段としてのノズル３７とを備え、真空ポンプ３３は、低
温の蒸気の流れが被洗浄物２６を通って外部に吸引され
るように、洗浄容器３１の他端に、弁３８と分離器３９
とライン４１を通して連結されている。なお、分離器３
９は、蒸気流及び被洗浄物に付随する水分を排気蒸気流
から分離するものである。
【００１９】この第２実施例に係る洗浄装置３０の動作
を説明する。洗浄容器にリベット等の被洗浄物２６を充
填し、真空ポンプ３３にて真空度を上昇させて、負圧に
維持する。弁３４を開き、ライン３５を通してノズル３
７に温水を供給する。ノズル３７より温水を霧状に噴霧
する。洗浄容器３１では、内部が負圧に維持されている
ので、温水は気化膨張して蒸気が生成されるとともに、
その蒸気流が被洗浄物２６の充填層を流れ、その蒸気流
により被洗浄物２６は脱脂洗浄される。洗浄終了後、温
水の弁３４を閉め、真空ポンプ３３をそのまま運転し、
洗浄容器内を真空に保ち、残留水分を蒸発させる。必要
であれば、被洗浄物２６の温度を、外部ヒータ（図示せ
ず）等によって上昇させることにより、蒸発をより早く
することができる。
を説明する。洗浄容器にリベット等の被洗浄物２６を充
填し、真空ポンプ３３にて真空度を上昇させて、負圧に
維持する。弁３４を開き、ライン３５を通してノズル３
７に温水を供給する。ノズル３７より温水を霧状に噴霧
する。洗浄容器３１では、内部が負圧に維持されている
ので、温水は気化膨張して蒸気が生成されるとともに、
その蒸気流が被洗浄物２６の充填層を流れ、その蒸気流
により被洗浄物２６は脱脂洗浄される。洗浄終了後、温
水の弁３４を閉め、真空ポンプ３３をそのまま運転し、
洗浄容器内を真空に保ち、残留水分を蒸発させる。必要
であれば、被洗浄物２６の温度を、外部ヒータ（図示せ
ず）等によって上昇させることにより、蒸発をより早く
することができる。
【００２０】図３は、本発明の第３実施例に係る洗浄装
置４５を示している。この実施例では、第２実施例の洗
浄装置の洗浄容器３１と同様な洗浄容器４７が、複数
個、第１実施例の洗浄装置の洗浄タンクと同様な洗浄タ
ンク４６内に収容配置されている。この洗浄装置４５に
おいて、小型機械部品等の被洗浄物２６を収容配置でき
る洗浄容器４７の各々は、出口部分４９において、洗浄
タンク４６の中に向けて開放し、低温蒸気を洗浄タンク
内に排出するようになっている。また、洗浄タンク４６
には真空ポンプ５０が設けられて、洗浄タンク内が負圧
に維持される。更に、洗浄タンク４６には弁５１及びド
レインライン５３が設けられ、これらを通して、洗浄容
器４７を通った蒸気による水分が排出される。温水は、
共通の供給ライン５４から、各洗浄容器４７の入口側に
設けられた弁５５及びノズル５７を介して、選択した洗
浄容器４７に温水が供給され、該容器内で低温蒸気が生
成される。複数の洗浄容器４７の外周には各洗浄容器４
７を外部から加熱するヒータ５８が設けられ、洗浄容器
４７内の被洗浄物の水分を除去する（蒸発させる）。な
お、各洗浄容器６は、洗浄タンク内の負圧に維持されて
いるので、その水分は低温で蒸発でき、ヒータ４６の温
度も高くする必要はない。
置４５を示している。この実施例では、第２実施例の洗
浄装置の洗浄容器３１と同様な洗浄容器４７が、複数
個、第１実施例の洗浄装置の洗浄タンクと同様な洗浄タ
ンク４６内に収容配置されている。この洗浄装置４５に
おいて、小型機械部品等の被洗浄物２６を収容配置でき
る洗浄容器４７の各々は、出口部分４９において、洗浄
タンク４６の中に向けて開放し、低温蒸気を洗浄タンク
内に排出するようになっている。また、洗浄タンク４６
には真空ポンプ５０が設けられて、洗浄タンク内が負圧
に維持される。更に、洗浄タンク４６には弁５１及びド
レインライン５３が設けられ、これらを通して、洗浄容
器４７を通った蒸気による水分が排出される。温水は、
共通の供給ライン５４から、各洗浄容器４７の入口側に
設けられた弁５５及びノズル５７を介して、選択した洗
浄容器４７に温水が供給され、該容器内で低温蒸気が生
成される。複数の洗浄容器４７の外周には各洗浄容器４
７を外部から加熱するヒータ５８が設けられ、洗浄容器
４７内の被洗浄物の水分を除去する（蒸発させる）。な
お、各洗浄容器６は、洗浄タンク内の負圧に維持されて
いるので、その水分は低温で蒸発でき、ヒータ４６の温
度も高くする必要はない。
【００２１】第３実施例に係る洗浄装置４５の動作を説
明する。各洗浄容器４７に小型機械部品等の被洗浄物２
６を充填し、真空ポンプ５０にて洗浄タンク内の真空度
を上昇させて、負圧に維持する。選択した弁５５を開
き、ライン５４からの温水を対応するノズル５７から洗
浄容器４７に霧状に噴霧する。各洗浄容器４７は、出口
部分４９が負圧の洗浄タンク４６に開放して負圧に維持
されているので、温水は気化膨張して蒸気が生成される
とともに、その蒸気流が被洗浄物２６の充填層を流れ、
その蒸気流により被洗浄物２６は脱脂洗浄される。洗浄
終了後、弁５５を閉めて温水の供給を停止し、真空ポン
プ５０をそのまま運転し、洗浄タンク４６内を負圧に保
ち、残留水分を蒸発させる。この場合、ヒータ５８を加
熱することによって被洗浄物２６の温度を上昇させて、
蒸発をより早くすることができる。なお、洗浄タンク内
の負圧に維持されているので、その水分は低温で蒸発で
き、ヒータ４６の温度は高くする必要はない。
明する。各洗浄容器４７に小型機械部品等の被洗浄物２
６を充填し、真空ポンプ５０にて洗浄タンク内の真空度
を上昇させて、負圧に維持する。選択した弁５５を開
き、ライン５４からの温水を対応するノズル５７から洗
浄容器４７に霧状に噴霧する。各洗浄容器４７は、出口
部分４９が負圧の洗浄タンク４６に開放して負圧に維持
されているので、温水は気化膨張して蒸気が生成される
とともに、その蒸気流が被洗浄物２６の充填層を流れ、
その蒸気流により被洗浄物２６は脱脂洗浄される。洗浄
終了後、弁５５を閉めて温水の供給を停止し、真空ポン
プ５０をそのまま運転し、洗浄タンク４６内を負圧に保
ち、残留水分を蒸発させる。この場合、ヒータ５８を加
熱することによって被洗浄物２６の温度を上昇させて、
蒸発をより早くすることができる。なお、洗浄タンク内
の負圧に維持されているので、その水分は低温で蒸発で
き、ヒータ４６の温度は高くする必要はない。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、洗浄は水道水等の水蒸
気によって行われるので、トリクロロエチレン等の溶剤
等を使わずに環境への配慮を維持しており、負圧下で蒸
気にされるので、蒸気の温度は低温であり、被洗浄物は
高温加熱されることはなく、熱歪もない。本発明による
洗浄装置は、ボイラーや過熱器や復水器等を必要としな
いので、システム全体の構成が極めて簡単になり、ま
た、システムのランニングコストも低く抑えることがで
きる。また、本発明の別の態様によれば、上記の利点の
外に、低温蒸気の生成が、蒸気生成容器を使用せずに、
洗浄容器内で行われ、蒸気を洗浄容器に供給する手間が
省ける。更に、ボイラーや過熱器や復水器等を必要とし
ない外に、蒸気生成容器及び蒸気供給系統も不要になる
ので、システム全体の構成が更に簡単になり、また、シ
ステムのランニングコストも更に低く抑えることができ
る。
気によって行われるので、トリクロロエチレン等の溶剤
等を使わずに環境への配慮を維持しており、負圧下で蒸
気にされるので、蒸気の温度は低温であり、被洗浄物は
高温加熱されることはなく、熱歪もない。本発明による
洗浄装置は、ボイラーや過熱器や復水器等を必要としな
いので、システム全体の構成が極めて簡単になり、ま
た、システムのランニングコストも低く抑えることがで
きる。また、本発明の別の態様によれば、上記の利点の
外に、低温蒸気の生成が、蒸気生成容器を使用せずに、
洗浄容器内で行われ、蒸気を洗浄容器に供給する手間が
省ける。更に、ボイラーや過熱器や復水器等を必要とし
ない外に、蒸気生成容器及び蒸気供給系統も不要になる
ので、システム全体の構成が更に簡単になり、また、シ
ステムのランニングコストも更に低く抑えることができ
る。
【図１】本発明の第１実施例に係る洗浄装置のブロック
図である。
図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る洗浄装置のブロック
図である。
図である。
【図３】本発明の第３実施例に係る洗浄装置のブロック
図である。
図である。
１ 洗浄装置 ２ 蒸気生成容器 ３ 洗浄タンク ５ 真空ポンプ ６ 洗浄容器 １０、１７、１８ 弁 １１、１５、１９ ライン １３ ヒータ １４ 外部殿源装置 ２５ ノズル ２６ 被洗浄物 ３０ 洗浄装置 ３３ 真空ポンプ ３４、３８ 弁 ３５、４１ ライン ３７ ノズル ３９ 分離器 ４５ 洗浄装置 ４６ 洗浄タンク ４７ 洗浄容器 ４９ 洗浄容器の出口部分 ５７ ノズル ５８ ヒータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−123658（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−30330（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−65055（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−158080（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−186127（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/10
Claims (10)
- 【請求項１】 物品等の被洗浄物を洗浄する方法であっ
て、 密閉可能な蒸気生成容器に給水し、該蒸気生成容器の水
を加熱するとともに該蒸気生成容器の負圧にして低温の
蒸気を生成するステップと、 前記蒸気を、前記被洗浄物が収容保持され且つ負圧にさ
れた洗浄容器内に噴出するように供給するステップと、 前記噴出蒸気を一定期間流して 該蒸気流れにより被洗浄
物を脱脂洗浄するステップとから成ることを特徴とする
洗浄方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の洗浄方法において、前
記洗浄容器内への蒸気の噴出の停止後、更に、前記洗浄
容器内の負圧を維持するステップを包含することを特徴
とする方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の洗浄方法におい
て、前記洗浄容器内への蒸気の噴出の停止後、更に、被
洗浄物を加熱するステップを包含することを特徴とする
洗浄方法。 - 【請求項４】 物品等の被洗浄物を洗浄する装置におい
て、 給水管が連結された蒸気生成容器と、 該蒸気生成容器を負圧にする真空ポンプと、 前記負圧の蒸気生成容器内の水を加熱して低温の蒸気を
生成する加熱手段と、 前記被洗浄物を収容する洗浄容器と、 該洗浄容器を負圧にする真空ポンプと、 前記蒸気生成容器内の蒸気を前記洗浄容器に噴出するよ
うに供給して該噴出蒸気を一定期間流し、該蒸気流れに
より被洗浄物を脱脂洗浄する手段とからなることを特徴
とする洗浄装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の洗浄装置において、前
記洗浄容器を複数個収容することのできる洗浄タンクを
包含することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の洗浄装置において、前
記洗浄タンクに収容された複数の洗浄容器の外周には、
該洗浄容器を加熱する手段が配置されていることを特徴
とする洗浄装置。 - 【請求項７】 請求項５に記載の洗浄装置において、前
記蒸気生成容器を負圧にする真空ポンプと前記洗浄容器
を負圧にする真空ポンプは同一の真空ポンプであり、該
真空ポンプは前記洗浄タンクに連結されて該洗浄タンク
を負圧にすることによって収容された前記洗浄容器を負
圧にすることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項８】 物品等の被洗浄物を洗浄する方法であっ
て、 密閉可能な洗浄容器に、被洗浄物を配置して、該洗浄容
器を負圧にするステップと、 前記負圧の洗浄容器に温水を噴射して気化膨張により低
温の蒸気を生成するとともに、前記被洗浄物に前記気化
膨張に伴って噴出する蒸気を一定期間流して該蒸気流れ
により被洗浄物を脱脂洗浄するステップとから成ること
を特徴とする洗浄方法。 - 【請求項９】 請求項８に記載の洗浄方法において、前
記洗浄物を通った蒸気流れを洗浄容器から外部に吸引す
ることを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項１０】 物品等の被洗浄物を洗浄する装置であ
って、 被洗浄物を収容配置できる密閉可能な洗浄容器と、 前記洗浄容器を負圧にする真空ポンプと、 前記洗浄容器の一端に温水を噴射して、負圧の洗浄容器
内において気化膨張により低温の蒸気を生成するととも
に、前記被洗浄物に前記気化膨張に伴って噴出する蒸気
を一定期間流して該蒸気流れにより被洗浄物を脱脂洗浄
する温水噴射手段とを備え、 前記真空ポンプは、前記蒸気の流れが被洗浄物を通って
外部に吸引されるように、洗浄容器の他端に連結されて
いることを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836499A JP3234204B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 物品等の洗浄方法及び装置 |
| PCT/JP2000/006254 WO2001019540A1 (fr) | 1999-09-13 | 2000-09-13 | Procede et dispositif de lavage d'articles |
| AU73115/00A AU7311500A (en) | 1999-09-13 | 2000-09-13 | Method and device for washing article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836499A JP3234204B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 物品等の洗浄方法及び装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001079503A JP2001079503A (ja) | 2001-03-27 |
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Family
ID=17319223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25836499A Expired - Fee Related JP3234204B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 物品等の洗浄方法及び装置 |
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| Country | Link |
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| AU (1) | AU7311500A (ja) |
| WO (1) | WO2001019540A1 (ja) |
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| JP2015217327A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | 丸高工業株式会社 | オイルフィルタの油分分離装置およびその方法 |
| JP6318939B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-05-09 | 株式会社デンソー | 洗浄方法、及び、洗浄装置 |
| CN109990263B (zh) * | 2019-04-08 | 2020-02-14 | 温州天龙机械科技有限公司 | 一种高效负压蒸汽发生装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH01179784U (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-25 | ||
| JPH0330330A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-08 | Maatec:Kk | 基板の洗浄及び乾燥方法並びにその装置 |
| JPH0611435B2 (ja) * | 1989-09-18 | 1994-02-16 | 山崎化学工業株式会社 | 真空洗浄装置 |
| JPH04179192A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-25 | Fujitsu Ltd | プリント板の洗浄方法及びその洗浄装置 |
| JP3393389B2 (ja) * | 1992-10-30 | 2003-04-07 | 株式会社日本ヘイズ | 真空脱脂洗浄方法と真空洗浄機 |
| JP2784159B2 (ja) * | 1995-07-31 | 1998-08-06 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法及びその装置 |
| JP3272607B2 (ja) * | 1996-07-19 | 2002-04-08 | 株式会社三社電機製作所 | 減圧洗浄乾燥装置 |
-
1999
- 1999-09-13 JP JP25836499A patent/JP3234204B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-09-13 AU AU73115/00A patent/AU7311500A/en not_active Abandoned
- 2000-09-13 WO PCT/JP2000/006254 patent/WO2001019540A1/ja active Application Filing
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| Publication number | Publication date |
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