JPH02110929A - ベーパ乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばウェハ等の対象物にある処理を施した
後に水洗をし、その対象物をイソプロピルアルコール等
のアルコールの蒸気で水分を洗い流して乾燥するベーパ
乾燥装置に関し、特に上記アルコールの突沸により対象
物の表面に異物が付着したり、ウォータマークが付かな
いようにして乾燥するベーパ乾燥装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のベーパ乾燥装置は、第３図に示すように
、イソプロピルアルコール（以下ｒＩＰＡ」と略称する
）等のアルコールを内部に収容するキャニスタ１と、こ
のキャニスタ１から供給されるＩＰＡ２を加熱して蒸気
を発生させる蒸気槽３と、この蒸気槽３の底部に設けら
れ上記ＩＰＡ２を加熱するヒータ４とを備えて成ってい
た。なお、第３図において、符号５は加圧用の窒素ガス
（Ｎ、）を供給するエアパイプ、符号６はＩＰＡ２をキ
ャニスタ１から蒸気槽３内へ供給する供給パイプ、符号
７はエアバルブ、符号８はチエツクバルブ、符号９はフ
ィルタである。

そして、上記キャニスタ１から蒸気槽３内へＩＰＡ２を
供給し、蒸気槽３内に溜ったＩＰＡ２をヒータ４で約２
００℃まで加熱して蒸気を発生させる。このようにして
ＩＰＡ２の蒸気が充満した蒸気槽３内へ、前の工程であ
る処理を施した後の水洗をした乾燥対象物１例えばウェ
ハ１０を入れる。

すると、上記ウェハ１０の表面温度は、Ｉ　ＰＡ２の蒸
気温度（約８２℃）よりも低いので、上記工ＰＡ２の蒸
気がウェハ１０の表面で結露し１次第に滴となって第３
図に矢印Ｂで示すように流れ落ちる。これにより、ウェ
ハ１０の表面に付着していた水分を洗い流す。その後、
上記ウェハ１０の表面温度がＩＰＡ２の蒸気の雰囲気中
で上昇し、その蒸気温度と等しいかそれ以上となると結
露しなくなり、それまで付着していた水分及び結露して
いたＩＰＡ２を乾燥させる。これにより、水洗後のウェ
ハ１０を乾燥していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このような従来のベーパ乾燥装置においては、
上記のようにウェハ１０の表面に付着していた水分を洗
い流した後にその水分を十分に乾燥させるために、第４
図に示すように、上記ウェハ１０を蒸気槽３内にしばら
くの時間放置しておく。このとき、ヒータ４の加熱（約
２００℃）による蒸気槽３内のＩＰＡ２の突沸によりそ
の気泡１１．１１．・・・が液面に出てはね上がり、ウ
ェハ１０の表面に付着することがあった。そして、この
気泡１１，１１．・・・かつぶれることにより、ＩＰＡ
２内に含まれていた異物が上記ウェハ１０の表面に付着
したり、微小なウォータマークが付くことがあった。従
って、乾燥後のウェハ１０に異物が付着した状態でその
後の工程に移されることとなり、製品の品質が低下する
と共に、歩留まりも低下するものであった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決することが
できるベーパ乾燥装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明によるベーパ乾燥装
置は、キャニスタから供給されるアルコールを蒸気槽内
で加熱して蒸気を発生させる蒸気発生部と、この蒸気発
生部から伸びる蒸気配管内の蒸気を加熱して蒸気化する
加熱蒸気作成部と、この加熱蒸気化後の蒸気を加熱しな
がら一時溜めておく蒸気溜めと、この蒸気溜めから噴出
される蒸気を乾燥対象物に吹き付けるノズルとを備えて
成るものである。

〔作　用〕

このように構成されたベーパ乾燥装置は、蒸気発生部に
よりキャニスタから供給されるアルコールを蒸気槽内で
加熱して蒸気を発生させ、加熱蒸気作成部で上記蒸気発
生部から伸びる蒸気配管内の蒸気を加熱して蒸気化し、
蒸気溜めにより上記加熱蒸気化後の蒸気を加熱しながら
一時溜めておき、ノズルを用いて上記蒸気溜めから噴出
される蒸気を乾燥対象物に吹き付けるように動作する。

これにより、アルコールの突沸による対象物表面への異
物の付着や、ウォータマークの付着を防止して上記対象
物を乾燥することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるベーパ乾燥装置の実施例を示す構
成概要図である。このベーパ乾燥装置は、例えばウェハ
等の対象物にある処理を施した後に水洗をし、その対象
物をＩＰＡ等のアルコールの蒸気で水分を洗い流して乾
燥するもので、第１図に示すように、蒸気発生部１２と
、加熱蒸気作成部１３と、蒸気溜め１４と、ノズル１５
とを備えて成る。

上記蒸気発生部１２は、キャニスタ１から供給されるＩ
ＰＡ２を加熱して蒸気を発生させるもので、上記キャニ
スタ１から供給バイブロ及びエアバルブ７並びにチエツ
クバルブ８さらにフィルタ９を介して供給されるＩＰＡ
２を加熱して蒸気を発生させるための蒸気槽３と、この
蒸気槽３の底部に設けられ上記ＩＰＡ２を加熱するヒー
タ４とから成る。なお、蒸気槽３の上端部は蓋１６で閉
じられている。また、上記キャニスタ１は、ＩＰＡ２を
内部に収容するもので、Ｉ　ＰＡ２を蒸気槽３内へ供給
するための加圧用の窒素ガス（Ｎ２）を送るエアパイプ
５が接続されている。

上記蒸気発生部１２から伸びる蒸気配管エフの途中には
、加熱蒸気作成部１３が設けられている。

この加熱蒸気作成部１３は、上記蒸気配管１７を介して
送られてくるＩＰＡ２の蒸気を加熱して完全に蒸気化す
るもので、例えば複数個のブロックヒータ１８，１８．
・・・を有し、このブロックヒータ１８，１８．・・・
の周りに蒸気配管１７を螺旋状に巻き付けて成る。

上記加熱蒸気作成部１３から伸びる蒸気配管１７の後端
には、蒸気溜め１４が設けられている。

この蒸気溜め１４は、上記加熱蒸気作成部１３による加
熱蒸気化後の蒸気を引き続き加熱しながら一時溜めてお
くもので、適宜の容積の箱から成ると共に、その箱の全
面周囲にはヒータ１９，１９゜・・が設けられており、
内部の蒸気が結露しないようにされている。なお、符号
２０は、圧力計である。

そして、上記蒸気溜め１４から伸びる蒸気配管２１の先
端には、ノズル１５が設けられている。

このノズル１５は、上記蒸気溜め１４から噴出されるＩ
ＰＡ２の蒸気を乾燥対象物としてのウェハ１０の表面に
吹き付けるものである。なお、上記蒸気配管２１の途中
には、エアバルブ２２及びフィルタ２３が設けられてい
る。

次に、このように構成されたベーパ乾燥装置の動作につ
いて説明する。まず、キャニスタ１から供給され蒸気発
生部１２の蒸気槽３内に溜った工ＰＡ２をヒータ４で約
２００℃まで加熱して蒸気を発生させる６次に、この蒸
気発生部１２の蒸気槽３で発生したＩＰＡ２の蒸気は、
蒸気配管１７を介して加熱蒸気作成部１３へ至る。そし
て、ブロックヒータ１８，１８．・・・の周りに巻き付
けられた蒸気配管１７中を蒸気が順次通過する間に、約
２００℃まで熱せられたブロックヒータ１８，１８゜・
・・によりその蒸気が加熱され、蒸気化される。このと
き、蒸気槽３内のＩＰＡ２の突沸により、第２図に示す
ように、その気泡１１，１１．・・・が蒸気配管１７内
に入ってきても、上記のようにブロックヒータ１８，１
８．・・・により加熱されているので、上記の気泡１１
，１１．・・・が蒸気配管１７の内壁に付着してつぶれ
ることにより蒸気化される。従って、加熱蒸気作成部１
３の後端部における蒸気配管１７内では、完全に蒸気化
されて送り出される。その後、このように完全に蒸気化
されたＩ　ＰＡ２の加熱蒸気は、蒸気溜め１４内に一時
的に溜められる。これは、ノズル１５から吹き出される
加熱蒸気の脈動を防ぐためである。なお、このとき、内
部の蒸気が結露しないように周囲に設けられたヒータ１
９，１９．・・・で加熱されている。そして、この蒸気
溜め１４からエアバルブ２２の操作により噴出された加
熱蒸気は、フィルタ２３を介してノズル１５から吹き出
され、ウェハ１０の表面に吹き付けられる。このとき１
例えばウェハ１０を二次元方向に動かしながら、その全
面に加熱蒸気を吹き付ける。すると、上記ウェハ１０の
表面温度は、ＩＰＰ２Ｏ蒸気温度（約８２℃）よりも低
いので、上記ＩＰＡ２の蒸気がウェハ１０の表面で結露
し、次第に滴となって流れ落ちる。これにより、ウェハ
１０の表面に付着していた水分を洗い流す。その後、上
記ウェハ１０の表面温度がＩ　ＰＡ２の加熱蒸気の吹き
付けにより上昇し、その蒸気温度と等しいかそれ以上と
なると結露しなくなり、それまで付着していた水分及び
結露していたＩＰＡ２を乾燥させる。これにより、水洗
後のウェハ１０が乾燥される。

なお、加熱蒸気作成部１３は、第１図に示す構造に限ら
ず、蒸気発生部１２から伸びる蒸気配管１７内の蒸気を
加熱して蒸気化できるものであればどのようなものであ
ってもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、蒸気発生部１２
で発生したＩＰＡ２の蒸気を、加熱蒸気作成部１３の蒸
気配管１７内で加熱して完全に蒸気化することができる
。従って、ノズル１５から吹き出される加熱蒸気中にＩ
ＰＡ２の突沸による気泡等は含まれなくなり、従来のよ
うなＩ　ＰＡ２の突沸による対象物（ウェハ１０）表面
への異物の付着や、ウォータマークの付着を防止するこ
とができる。このことから、乾燥後の対象物に異物が付
着するのを防止して、製品の品質を向上できると共に、
歩留まりも向上することができる。また、ＩＰＡ２の蒸
気温度を高温に維持することができるので、加熱蒸気の
吹き付けによる対象物（ウェハ１０）の乾燥のスループ
ットを向上することができる。従って、作業効率を向上
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるベーパ乾燥装置の実施例を示す構
成概要図、第２図は蒸気配管内での加熱蒸気化の状態を
示す説明図、第３図は従来のベーパ乾燥装置を示す構成
概要図、第４図は従来の問題点を説明するための概要図
である。 １・・・キャニスタ、　　２・・・ＩＰＡ、　　３・・
・蒸気槽。 ４・・・ヒータ、　　１０・・・ウェハ、　　１２・・
・蒸気発生部、　　１３・・・加熱蒸気作成部、　１４
・・・蒸気溜め、１５・・・ノズル、　　１７・・・蒸
気配管、　　１８・・・ブロックヒータ、　　１９・・
・ヒータ。 出願人　日立電子エンジニアリング株式会社同　株式会
社日立製作所

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. キャニスタから供給されるアルコールを蒸気槽内で加熱
   して蒸気を発生させる蒸気発生部と、この蒸気発生部か
   ら伸びる蒸気配管内の蒸気を加熱して蒸気化する加熱蒸
   気作成部と、この加熱蒸気化後の蒸気を加熱しながら一
   時溜めておく蒸気溜めと、この蒸気溜めから噴出される
   蒸気を乾燥対象物に吹き付けるノズルとを備えて成るこ
   とを特徴とするベーパ乾燥装置。