KR950704839A - 레이저장치의 출력제어장치 - Google Patents

레이저장치의 출력제어장치

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Abstract

레이저장치에 있어서 발생하는 스파이킹현상을 제거하는 제어를 항상 정도좋게 행하는 것을 목적으로 한다. 출력제어부(6)에 있어서, 연속펄스의 각 펄스의 에너지를 소망의 동일치로 하는 여기강도의 데이타가 연속펄스의 각 펄스마다 미리 기억된다. 출력모니터(5)에서는 발진된 펄스의 에너지가 검출된다. 그리고 전희까지 행해진 연속펄스발진시에서의 펄스에너지의 검출치와 펄스에너지의 소망치가 비교되며. 이 비교결과에 근거하여 미리 기억해둔 각 펄스에 대응하는 각 충전전압이 출력제어부(6)에서 보정된다. 본 발명을 노광장치의 광원의 출력의 제어에 적용되면 노광량제어의 정도를 비약적으로 향상시킬 수 있다.

Description

레이저장치의 출력제어장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 액시머레이저장치의 출력제어장치의 실시예의 구성을 나타내는 블록도이다. 제2a, 제2b, 제2c도는 실시예의 처리수순을 나타내는 플로우챠트이다.

Claims (8)

  1. 레이저광을 소정회수 연속하여 펄스발진시킨 후 소정기간 펄스발진을 휴지시키는 운전을 반복하는 버스트모드에서 레이저장치를 운전시킴과 함께 상기 펄스의 에너지가 소망치로 되도록 레이저의 여기강도를 제어하는 레이저장치의 출력제어장치에 있어서, 연소펄스의 각 펄스의 에너지를 소망의 동일치로 하는 여기강도의 데이타를 상기 연속펄스의 각 펄스마다 미리 기억하는 기억수단과, 발진된 펄스의 에너지를 검출하는 검출수단과, 전회까지 이미 행해진 연속펄스발진시에서의 펄스의 에너지검출치와 상기 펄스에너지소망치를 비교하고, 그 비교결과에 따라서 상기 미리 기억된 각 펄스에 대응하는 각 여기강도의 데이타를 보정하는 보정수단과, 연속펄스의 각 펄스의 여기강도가 상기 보정수단에 의해 보정된 여기강도로 되도록 여기강도를 제어하는 제어수단을 구비한 레이저장치의 출력제어장치.
  2. 제1항에 있어서, 연속퍼스발진종료로부터 다음의 연속펄스발진개시까지의 연속펄스발진의 휴지시간을 계측하는 계측수단이 더 설치되며, 상기 기억수단에는 상기 여기강도의 데이타가 상기 휴지시간의 크기에 따라서 기억되고 있고, 상기 보정수단은 전회까지 이미 행해진 소정의 연속펄스발진시에서의 펄스의 에너지검출치와 상기 펄스에너지소망치를 비교하고 그 비교결과와 상기 소정의 연속펄스직전의 휴지시간의 검출치에 근거하여 휴지시간의 크기에 따라서 기억된 여기강도의 데이타를 보정하는 것이며, 상기 제어수단은 금회의 연속펄프 직전의 휴지시간검출치에 대응하는 여기강도의 보정데이타를 상기 기억수단으로부터 독출하여 연속펄스의 각 펄스의 여기강도가 독출된 보정 여기강도가 되도록 여기강도를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 레이저장치는 레이저가스의 열화정도에 따라서 상기 펄스에너지소망치가 얻어지는 파워록전압을 설정하고, 그 설정치에 따라서 여기강도를 제어하는 파워록제어를 행하는 것이며, 각 연속펄스발진시에서의 파워록하기 위한 여기강도의 설정치를 기억하는 설정치 기억수단과, 연속펄스발진종료로부터 다음의 연속펄스발진개시까지의 연속펄스발진의 휴지시간을 계측하는 계측수단이 더 설치되며, 상기 기억수단에는 상기 여기강도의 데이타가 상기 휴지시간의 크기 및 상기 파워록하기 위한 여기강도의 크기에 따라서 기억되어 있고, 상기 보정수단은 전회까지 이미 행해진 소정의 연속펄스발진시에서의 펄스의 에너지검출치와 상기 펄스에너지소망치를 비교하고, 그 비교결과와 상기 소정의 연속펄스직전의 휴지시간의 검출치와 상기 손정의 연속펄스발진시에서의 파워록전압의 기억설정치에 근거하여 휴지시간의 크기 및 파워록전압의 크기에 따라서 기억된 여기강도의 데이타를 보정하는 처리를 행하는 것이며, 상기 제어수단은 금회의 연속펄스직전의 휴지시간 검출치와 금회의 연속펄스에 대하여 설정된 파워록전압설정치에 대응하는 여기강도의 보정 데이타를 상기 기억수단으로부터 독출하여 연속펄스의 각 펄스의 여기강도가 독출된 보정여기강도가 되도록 여기강도를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치의 출력제어장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 계측수단은 발진펄스이 간격을 계측하고, 그 계측된 발진 펄스간격이 소정의 스레숄드값 이하인지 아닌지를 판정함에 의해 연속 펄스발진의 계속중인지 또는 상기 휴지시간인지를 판단하는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 계측수단에 의해 계측된 휴지시간이 소정의 스레숄드값이상인 경우에는 그 소정의 스레숄드값의 크기의 휴지시간에 대응하는 여기강도의데이타를 사용하여 상기 제어수단에 의한 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 계측수단에 의해 계측된 휴지시간이 소정의 스레숄드값이하인 경우에는 기보정수단에 의한 보정은 행하지 않은 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 보정수단은 전회까지 이미 행해진 소저어의 연속펄스발진시에서의 펄스의 에너지검출치와 상기 펄스에너지소망치의 차의 절대치가 소정의 스레숄드값이상인 경우에만 여기강도의 데이타보정을 행하고, 상기 차의 절대치가 상기 스레숄드값보다도 작은 경우에는 여기강도의 데이타보정은 행하지 않는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기억수단에는 상기 여기강도의 데이타가 레이저가스를 봉입하고 나서의 경과시간, 레이저가스를 봉입하고 나서의 누적펄스수, 레이저가스의 분압, 레이저가스의 온도, 방전전극의 온도, 레이저의 반복주파수, 레이저장치의 운전개시로부터의 경과시간, 펄스의 발진간격, 레이저해드가 교환되고 나서의 누적펄스수, 레이저윈도우가 교환되고 나서의 누적펄스수 및 불순물가스이 농도의 소정의 조합에 따라서 기억되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 출력제어장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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