KR950034560A - 기판세정장치 - Google Patents

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KR950034560A
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cleaning apparatus
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후도시 시마이
히로요시 사고
히데야 고바리
시게미 후지야마
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나까네 히사시
도쿄 오호카 고꾜 가부시끼가이샤
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
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    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
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Abstract

본 발명은 유리기판등의 표면에 부착되어 있는 미세한 먼지를 세정하는 기판 세정장치에 관한 것으로, 기판의 세정을 단시간에 효과적으로 하려는 목적을 달성하기 위해, 3개의 초음파노즐(15)은 분출하는 세정액이 기판(W)위의 1점(집속점P)에서 집속되도록 수평면(기판면)에 대하여 그 축선이 경사하도록 할 뿐만 아니라 각 초음파노즐(15)의 축은 상기 집속점(P)을 중심으로 하여 수평방향에서 90~180° 범위내에 모두 수용되도록 구성하여, 기판을 비접촉 세정하므로서 흠집없이 효율좋게 세정을 할 뿐만 아니라 세정액의 배출방향 및 회전 속도 진동수의 조정으로 먼지의 부착량이나 종류등에 관계없이 모두 적절히 세정할 수 있도록 하였다.

Description

기판세정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 기판세정장치의 전체 종단면도, 제2도는 본 발명의 요부 확대 평면도, 제3도는 본 발명을 구성하는 초음파 세정유닛트의 종단면도.

Claims (4)

  1. 기판표면에 존재하는 먼지를 기판을 회전시키면서 배제하는 기판 세정장치에 있어서, 상기 기판 세정장치는 세정액을 기판 표면으로 향하여 분출하는 초음파 세정유닛트를 구비하고, 상기 초음파 세정유닛트는 3개 이상의 초음파 노즐을 가지고, 이들 초음파노즐의 축은 분출한 세정액이 기판 표면의 1점에서 집속하도록 배열되고, 게다가 각 초음파 노즐의 축은 상기 집속점을 중심으로 한 수평방향에서 90∼180°범위내에 모두 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 복수의 초음파 노즐은 세정액 분출량 및 초음파 발진수가 개별로 제어가능하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  3. 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서, 복수의 초음파 노즐은 적어도 그 선단부가 하나의 우산안에 놓여져 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 우산의 중심부에 세정액 분출구가 개구하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950001437A 1994-02-01 1995-01-27 기판세정장치 KR100292932B1 (ko)

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