JP3530270B2 - 精密洗浄装置 - Google Patents
精密洗浄装置Info
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Description
浄用シャワーノズルによって液晶用基板、半導体用ウエ
ハー等の板状被洗浄物を洗浄する精密洗浄装置に関する
ものである。 【０００２】 【従来の技術】従来の此種精密洗浄装置には、ブラシ等
による物理的な力を利用するものや、液体と気体を混合
させて噴射するシャワーノズルを用いたものなどがあ
る。 【０００３】ブラシなどを用いた接触式は、洗浄力は高
いが被洗浄物に傷をつけてしまったり、ブラシ等で接触
する際に、逆にブラシの汚れを被洗浄物に付着させてし
まう欠点があった。 【０００４】一方、液体のみのシャワーノズルや、液体
と気体とを同時に噴射させるシャワーノズルを用いたも
のは、被洗浄物に傷をつけたりすることはないが、洗浄
力が弱く、付着力の強いパーティクル等を除去すること
はできなかった。 【０００５】例えば、図３に示す液体と気体を噴射させ
るシャワーノズル１においては、本体２の一方に気体導
入口３を設け、反対側に液体導入口４を開口し、本体２
に設けた案内部材５に気体導入路６と液体導入路７を設
け、先端に設けた容量の小さな混合室８で気体と液体と
を混合してスリット状の開口部９から被洗浄物（図示省
略）に向けて噴射していた。一方、図４に示すシャワー
ノズルにおいては、丈の長い外筒１０内の上部に、丈の
短い内筒１１を同軸状に配設し、外筒１０の上部周壁に
気体導入口３を、内筒１１の上端に液体導入口４をそれ
ぞれ開口し、外筒１０内において気体と液体とを混合
し、外筒１０の下端開口部から噴射する様にしていた。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、図３に示すも
のにおいては、混合室が小さいため液体と気体とを十分
に混合することができず、図４に示すものにおいては、
外周１０の下端開口部はストレート状であるので、この
外周１０の内部にはある程度密閉されて圧力のかかる混
合部は存在せず、液体が加速されずに噴射されてしま
い、洗浄力が不十分であった。そこで、本発明において
は十分に液体と気体とを混合出来、しかも気液混合体を
十分に加速出来る洗浄力の大きな装置を提供しようとす
るものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】洗浄室内に設置された被
洗浄物を搬送するローラと、ローラの上下に設置された
洗浄用シャワーノズルとからなり、この洗浄用シャワー
ノズルはその本体内に液体と気体とを別個に導入し、本
体の延長線上に設けられ、幅に対して１ . ５〜２０倍の
縦方向長さを有し、先端開口部は幅が狭められスリット
状になっている混合室内で気液混合し、先端のスリット
状の開口部から気液混合体を噴出させるように精密洗浄
装置を構成することにより上記課題を解決した。 【０００８】 【作用】本発明は前記のように構成したもので、液体と
気体とを本体の延長線上に設けられた混合室内において
混合し、この混合室内において加圧し、気液混合体とし
てスリット状をした開口部から加速噴射して被洗浄物に
付着したパーティクルを除去する。 【０００９】 【実施例】本発明の実施例を図１，２に基づいて詳細に
説明する。洗浄室１２に設けた搬入口１３と搬出口１４
との間に多数の搬送用ローラ１５，１５，…が設けら
れ、被洗浄物１を搬送する様になっている。 【００１０】そして、両搬送用ローラ１５，１５間の上
下に洗浄用シャワーノズル１７，１７が設置され、被洗
浄物１６の上下から液体と気体とを混合した気液混合体
１８，１８を噴射して被洗浄物１６上にパーティクルを
浮遊させ、搬出口１４側の上下に位置を変化させて設け
られたシャワーカーテン１９，１９でカーテン状に液体
を噴出させて洗浄を行うようになっている。 【００１１】前記洗浄用シャワーノズル１７，１７は図
２に示す様に、ブロック状をした本体２の一方に気体導
入口３が、反対側に液体導入口４が設けられている。そ
して、本体２に設けられた案内部材５には液体導入路７
が図２において垂直方向の中心に設けられていると共
に、気体導入路６が前記液体導入路７の周囲に複数個
（例えば６個）を設けられている。そして、この案内部
材５の下端には、前記気体導入路６及び液体導入路７と
連通する様に混合室２０が設けられている。この混合室
２０は２０〜２００ｍｍの縦方向長さを有し、その横幅
に対して縦方向長さは１ . ５〜２０倍となっており、先
端開口部の幅は狭められ、スリット状に形成され、その
直上が混合部８´となっている。 【００１２】本実施例は前記のように構成したもので、
液体導入路７から出た液体と、気体導入路６，６，…か
ら出た気体が混合室２０内を通過する途中において混合
されると共に、先端開口部の幅が狭められてスリット状
となっていることにより、ある程度密閉状態にあるこの
混合室２０内において加圧され、気液混合体１８となっ
て開口部９から噴射されて被洗浄物１６を洗浄する。 【００１３】尚、混合室２０の縦方向長さはその幅の
１．５〜２０倍が良好である。１μｍ以下のパーティク
ルの除去率を実験した結果、幅が１．５倍以下だと水流
の加速が不十分で除去率が７５％であり、２０倍以上に
なると圧損が加速よりも大きくなってしまい、除去率が
７５％程度となり、共に満足できる水準ではないが、
１．５〜２０倍の場合には除去率は９０．１％となり、
ほぼ満足すべき結果を得ることが出来る。 【００１４】この様に、洗浄用シャワーノズル１７，１
７によって除去され、被洗浄物１６上に浮遊しているパ
ーティクルは、シャワーカーテン１９，１９から噴射す
るカーテン状の液体により、完全に落下せしめられる。 【００１５】 【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから、気液混合体は混合室により十分に気液混合され
ると共に混合室内の圧力により十分に加速されて被洗浄
物に噴射されるので、従来の接触式の洗浄方法と同等の
洗浄力を有しながら、ガラス等の表面に傷を付けること
なく、品質の高い洗浄を行うことができる。 【００１７】
図。 【図２】洗浄用シャワーノズルの縦断面図。 【図３】従来装置の一例を示す断面図。 【図４】従来装置の他の一例を示す断面図。 【符号の説明】 １ シャワーノズル １´ シャワーノズル ２ 本体 ３ 気体導入口 ４ 液体導入口 ５ 案内部材 ６ 気体導入口路 ７ 液体導入口路 ８ 混合室 ８´ 混合部 ９ 開口部 １０ 外筒 １１ 内筒 １２ 洗浄室 １３ 搬入口 １４ 搬出口 １５ 搬送用ローラ １６ 被洗浄物 １７ 洗浄用シャワーノズル １８ 気液混合体 １９ シャワーカーテン ２０ 混合室
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 洗浄室内に設置された被洗浄物を搬送す
るローラと、ローラの上下に設置された洗浄用シャワー
ノズルとからなり、この洗浄用シャワーノズルはその本
体内に液体と気体とを別個に導入し、本体の延長線上に
設けられ、幅に対して１ . ５〜２０倍の縦方向長さを有
し、先端開口部は幅が狭められスリット状になっている
混合室内で気液混合し、先端のスリット状の開口部から
気液混合体を噴出させるようになっていることを特徴と
する精密洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12559595A JP3530270B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 精密洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12559595A JP3530270B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 精密洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08294679A JPH08294679A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3530270B2 true JP3530270B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=14914043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12559595A Expired - Fee Related JP3530270B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 精密洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3530270B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1995
- 1995-04-27 JP JP12559595A patent/JP3530270B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08294679A (ja) | 1996-11-12 |
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