KR950003643B1 - 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

새도우 마스크 검사용 영상취득 장치

제1도는 종래의 새도우 마스크 검사 장치 구성도.

제2도는 스크린과 평행광선을 이용한 새도우 마스크 검사 동작 원리도.

제3도는 본 발명에 따라 구성된 새도우 마스크 검사 장치의 구성도.

제4도는 본 발명의 요부인 평행라인광 발생장치의 발췌도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 평행광 조명장치 2 : 할로겐 램프

3 : 슬릿 4 : 볼록렌즈

5 : 컨베이어 6 : 스크린

7 : 라인스켄 카메라 8 : 비데오 메모리

9 : 모니터

본 발명은 새도우 마스크(Shadow Mask) 검사용 영상신호 취득장치에 관한 것으로, 특히 새도우 마스크 외관검사에 적당하도록 한 조명 및 새도우 마스크 영상취득 장치에 관한 것이다.

종래의 새도우 마스크 검사장치를 보면 제1도에서와 같이, 상측에 흰색의 아크릴판(101)을 설치한 광테이블(100)내에 형광램프(102)가 설치되므로서, 형광램프(102)를 켜놓고 상기 아크릴판(101)위에 새도우 마스크(10')를 올려 놓게 되면, 새도우 마스크의 각 구멍으로 빛이 투과하게 되는바, 작업자가 이 투과되는 빛의 량을 육안으로 검사하도록 하였다.

그런데, 상기와 같은 종래의 검사장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 형광등 조명의 불균일로 하여 조명의 한 부분에 촛점을 맞추고 새도우 마스크를 움직이면서 검사해야 하는 사용상의 불편과 번거로움이 있다.

둘째, 형광등 조명이 평행하게 발산되지 않으므로 새도우 마스크 구멍으로 나온 빛이 회전 및 간섭현상을 일으켜 얼룩무늬가 나타나게 된다.

셋째, 이와같은 장치로서는 고도로 숙련된 숙련공만이 검사가 가능할 뿐만 아니라, 검사의 객관성 또한 미약한 결과를 초래하며, 위와 같은 광테이블 구성으로서는 기존의 CCD 카메라에 새도우 마스크 검사 영상취득시 화상에 의한 자동검사가 불가능하다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해결함과 동시, 빛의 회전 및 간섭현상이 없는 명확한 새도우 마스크 영상을 얻을 수 있도록 한 자동검사가 가능한 영상취득 장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 하측에 평행광 조명장치의 상측에 스크린을 위치시키고 그 사이로 컨베이어를 통해 새도우 마스크를 이동시킴에 따라 평행광 조명장치에서 발생된 평행광이 새도우 마스크의 구멍을 통과하여 스크린에 깨끗하고 명확하제 맺어지도록 한 뒤, 이들 라인스캔 카메라로서 비데오 메모리에 기록시키고 고해상도 모니터에 디스플레이시켜 새도우 마스크 검사용 영상을 재현할 수 있도록 함으로써 달성된다.

이하 첨부된 도면에 의거 본 발명을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 구성은 제3도에 도시한 바와 같이 하부에 할로겐 램프(2)와 그 상부에 빛 통과용 미소간격을 가지는 슬릿(3)을 형성하고 그 상부에 이를 통과한 빛을 평행광으로 주사시키는 볼록렌즈(4)를 부설한 평행광 조명장치(1)의 상부에 스크린(6)을 부설하고, 상기 평행광 조명장치(1)와 상기 스크린(6)사이에 컨베이어(5)를 설치하여 이 컨베이어(5)의 두 라인사이에 새도우 마스크(10)를 개재하여 횡단되도록 하고, 스크린(6)에 맺혀진 라인영상을 취득하도록 하는 라인스캔 카메라(7)를 상기 스크린(6)상부 소정위치에 설치하여 상기 카메라(7)의 영상이 비데오 메모리(8)에 저장되고 이 메모리(8)에 저장된 영상 데이터 신호가 고해상도 모니터(9)를 통해 디스플레이되도록 구성된다.

여기에서, 본 발명의 필요한 평행광선은 새도우 마스크 검사를 위해서 그 조사면적이 20cm×25cm 이상되어야 하며, 조사면적내에서 균일한 조도를 보장해야 한다.

따라서, 일반적인 방법으로는 실현이 용이치 않으며, 광학렌즈 검사용으로 사용되는 콜리메이터 등은 요구사항과 같은 특성을 가지고 있으나 가격이 매우 고가이다.

따라서, 본 발명에서는 보다 간편하고 손쉽게 구성될 수 있는 평행광 조명장치(1)를 구성하였는바, 제4도에서와 같이 길이가 긴 할로겐 램프(2)와, 빛 통과용 미소간격을 가지는 슬릿(Slit)(3) 및, 슬릿을 통과하여 나온 빛을 평행광으로 주사시키는 볼록렌즈(4)를 결합구성하므로서 할로겐 램프에서 나온 빛을 슬릿(3)을 통과하면서 이상적인 점광원의 빛이 되고, 다시 볼록렌즈(4)를 통하여 평행광으로 집광되므로 이상적인 평행광 라인 조명이 발생된다. 여기에서 스크린(6)과 컨베이어(5)상에 얹혀 이동되는 새도우 마스크(10)와는 상호 미소간격을 유지하게 된다.

이상과 같이 구성된 검사장치를 이용한 새도우 마스크 검사방법을 살펴보면 다음과 같다.

평행광 조명장치(1)의 할로겐 램프(2)를 점등시켜 평행광이 스크린(6)에 맺히도록 한 뒤, 상기 평행광 조명장치(1)와 스크린(6)사이에 새도우 마스크(10)가 개재된 컨베이어(5)를 횡단 이송시키게 되면, 할로겐 램프(2)의 라인조명에 의해 스크린(6)에 맺혀진 새도우 마스크형상의 각 라인이 라인스캔 카메라(7)를 통해 취득된다. 이 카메라(7)에서 취득된 라인영상 데이타는 비데오 메모리(8)에 입력 저장되면서 새도우 마스크(10)의 전체면이 컨베이어(5) 라인을 통해 완전히 통과하게 되면, 새도우 마스크 전체의 영상이 입력저장된다.

이러한 비데오 메모리(8)에 저장된 영상 데이타를 고해상도 모니터(9)를 통해 디스플레이시켜 검사용 영상을 육안식법 가능하게 재현할 수 있게 된다.

이상과 같이 구성되고 작동되는 본 발명은 평행관 조명장치(1)와 스크린(6)을 이용하여 빛의 회절과 간섭현상이 배제된 명확한 새도우 마스크 영상을 얻은 뒤, 이를 스캔 카메라와 비데오 메모리 및 고해상도 디스플레이로 재현시켜 작업자가 육안검사토록 하므로서, 종래 보다 매우 정확한 검사가 가능해졌으며, 자동검사에 따라 검사시간과 능률을 향상 시킬 수 있는 등의 특출한 효과가 있다. 또한, 상기에서는 본 발명의 장치를 이용한 새도우 마스크 검사방법만을 설명하였으나, 여기에 국한되는 것은 아니고 리드 후레임(Lead Frame)등의 검사장치로도 사용할 수 있는 바, 이는 단순히 본 발명의 용도변경에 따른 실시예에 불과한 것이다.

Claims (1)

1. 하부에 할로겐 램프(2)와 그 상부에 빛 통과 미소간격을 가지는 슬릿(3)을 형성하고 그 상부에 이를 통과한 빛을 평행광으로 주사시키는 볼록렌즈(4)를 부설한 평행광 조명장치(1)의 상부에 스크린(6)을 부설하고, 상기 평행광 조명장치(1)와 상기 스크린(6)사이에 컨베이어(5)를 설치하여 이 컨베이어(5)의 두 라인 사이에 새도우 마스크(10)를 개재하여 횡단되도록 하고, 스크린(6)에 맺혀진 라인영상을 취득하도록 하는 라인스캔 카메라(7)를 상기 스크린(6)상부 소정위치에 설치하여 상기 카메라(7)의 영상이 비데오 메모리(8)에 저장되고 이 메모리(8)에 저장된 영상 데이터 신호가 고해상도 모니터(9)를 통해 디스플레이되도록 함을 특징으로 하는 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치.

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