KR940025409A - 유체 처리 장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
선정된 속도로 장치를 통해 통과하는 부품(예, 기판)로 제 1 및 제 2 유체(예, 에칭제 및 물)를 인가하기 위한 유체 처리 장치 및 방법, 상기 제 1 유체는 부품의 표면에 부딪친 후 장치의 공통 하우징 내에 수집된다. 상기 제 2 유체는 하우징의 표면에 부딪쳐 동일한 하우징 내에 수집되지만, 그것이 혼합되는 것을 최소한 부분적으로 방지하기 위해 상기 수집된 제 1 유체로부터 분리된 위치에 수집된다. 유체를 충돌시키기 위한 양호한 수단은 각각 최소한 두 행의 유체 분출 주입기를 내부에 갖는 분리된 유체 주입기를 포함한다. 상기 수집된 유체는 각각 충돌 수단으로 되돌려진다. 제 2 유체의 보충은 제 2 유체를 공급하는 펌프를 사용하여 달성되며, 또한, 장치는 제 2 유체에 대한 공급 속도와 비슷한 속도로 제 2 유체를 효과적으로 제거하기 위한 수단(예, 배수)를 포함한다. 상기 제 1 유체는 또한 제 1 유체 충돌 수단의 상대(예, 그 반대쪽) 편에 위치된 적당한 수단(예, 이중 롤러)을 사용하여 부품 표면 상의 설정된 레벨로 유지된다. 제 2 유체에 대해서도 비슷한 레벨로 유지하는 것도 가능하다. 또한, 수집된 제 2 유체의 층계화가 정의되는데, 이것은 제 1 유체를 수집하는 역할을 하는 동일한 하우징 내에서 일어난다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 유체 처리 장치를 예시하는 부분 단면도, 제 3 도는 제 1 도의 선 3-3선에 따라 절취된 제 1 도와 비교하여 약간 축소된 제 1 도 장치의 측면도, 제 5 도는 본 발명의 각 유체 분사 장치와 결합하여 사용될 때 본 발명의 유체 수용 롤러 어셈블리의 양호한 실시예를 예시하는 것으로, 제 1 내지 제 4 도와 비교하여 크게 확대된 측면도.
Claims (20)
- 통과하는 부품에 제 1 및 제 2 유체를 인가하기 위한 유체 처리 장치에 있어서, 내부에 챔버를 한정하는 하우징, 상기 부품의 표면 상에 제 1 유체를 충돌시키기 위한 상기 하우징 내의 제 1 유체 충돌 수단, 여기서 상기 제 1 유체는 그후 상기 하우징의 상기 챔버 내에 수집되며, 상기 제 1 유체 충돌 수단으로 상기 수집된 제 1 유체를 순환시키기 위한 수단, 상기 제 1 유체 충돌 위치에 거의 인접하는 위치에서 상기 부품의 상기 표면 상에 제 2 유체를 충돌시키기 위한 상기 하우징 내의 제 2 유체 충돌 수단, 상기 수집된 제 1 유체와 분리하여 상기 하우징의 상기 챔버 내에 상기 충돌된 제 2 유체를 수집하기 위한 수단, 및 상기 제 2 유체를 상기 제 2 유체 충돌 수단에 공급하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체를 상기 제 2 유체를 충돌 수단에 공급하기 위한 수단은 상기 하우징 내의 상기 챔버로부터 상기 제 2 유체 충돌 수단으로 상기 수집된 제 2 유체를 순환시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 규정된 속도로 상기 장치로부터 상기 수집된 제 2 유체의 선정된 양을 제거하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체를 상기 제 2 유체 충돌 수단에 공급하기 위한 상기 수단은 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유체 충돌 수단은 최소한 한 개의 가늘고 긴 유체 주입 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체 충돌 수단은 최소한 한 개의 가늘고 긴 유체 주입 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유체 충돌 수단으로 상기 수집된 제 1 유체를 순환 시키기 위한 수단은 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 충돌된 제 2 유체를 수집하기 위한 수단은 최소한 두 개의 분리된 수집 챔버를 갖는 계단형 섬프(cascading sump)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 부품의 상기 표면 상에 상기 제 1 유체를 충돌시키기 위한 상기 수단에 거의 인접하는 영역에 상기 부품 표면 위로 설정된 레벨로 상기 제 1 유체의 양을 유지하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체의 충돌 위치에 거의 인접하는 지점에 있는 상기 부품 상에 제 3 유체를 충돌시키기 위한 제 3 유체 충돌 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유체는 에칭제이며, 상기 제 2 유체는 물인 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 장치를 통해 상기 부품이 이동하는 동안 적절한 방향으로 상기 부품을 유지하기 위해 상기 하우징 내에 상기 부품을 미끄러지듯 접속하기 위한 상기 하우징 내에 배치된 안내 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유체 충돌 수단에 비해 상기 부품 밑에 배치된 최소한 한 개의 롤러를 더 포함하고, 충돌된 제 2 유체의 수집 수단은 최소한 한 개의 직립하는 벽을 갖는 최소한 두 개의 분리된 수집 챔버를 포함하며, 상기 벽은 상기 챔버로부터 상기 롤러 바로 밑까지 위쪽으로 연장하고, 상기 롤러와 상기 직립하는 벽은 상기 부품의 하부 표면에 충돌된 상기 제 1 유체가 상기 충돌된 제 2 유체를 수집하기 위한 상기 수단이 상기 수집 챔버 속으로 통과하지 못하게 막는 것을 특징으로 하는 유체 처리 장치.
- 부품을 유체로 처리하기 위한 방법에 있어서, 내부에서 챔버를 한정하는 하우징을 통해 상기 부품을 운반하는 단계, 상기 챔버 내에서 상기 부품의 표면 상에 제 1 유체를 충돌시키는 단계, 상기 챔버 내에서 상기 충돌된 제 1 유체를 수집하는 단계, 상기 부품의 상기 표면 상에 상기 제 1 유체를 충돌하기 위한 수단에 상기 수집된 제 1 유체를 순환시킨 후 상기 부품 상에 상기 수집된 제 1 유체를 충돌시키는 단계, 상기 제 1 유체 충돌 위치에 거의 인접하는 위치에서 상기 부품의 상기 표면상에 제 2 유체를 충돌시키는 단계, 상기 수집된 제 1 유체와 분리되게 상기 하우징의 상기 챔버 내에 상기 충돌된 제 2 유체를 수집하는 단계, 및 상기 부품의 상기 표면 상에 상기 제 2 유체를 충돌하기 위한 수단에 제 2 유체를 공급한 다음 사기 부품 상에 상기 제 2 유체를 공급하기 위한 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 부품의 상기 운반은 상기 부품 상의 선정된 위치에서 상기 부품을 롤러 접속시킴으로써 달성되는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 유체의 상기 충돌은 유체 분출 주입기를 사용함으로써 달성되는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 유체의 상기 충돌은 유체 분출 주입기를 사용함으로써 달성되는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 유체의 상기 수집은 상기 제 2 유체를 단계화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 유체의 상기 충돌 영역에 있는 상기 부품 표면위의 선정된 레벨로 상기 제 1 유체를 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 유체 충돌 위치에 거의 인접하는 위치의 상기 부품 상에 제 3 유체를 충돌시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 처리 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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