Claims (7)
유기기판상에 박막트랜지스터의 열화를 방지하기 위하여 소정간격으로 형성된 다수의 블랙 매트릭스와, 상기 각 블랙 매트릭스 사이의 공간에 최적화된 분광특성을 갖도록 단차를 가지고 각각 분리되어 순차적으로 형성되는 제1색 내지 제3색 필터층과, 상기 제1색 내지 제3색 필터층 가장 단차가 높은 제1칼라필터를 기준으로 상기 블랙 매트릭스 사이와 최적화된 두께로 설계된 제2색 및 제3색 패턴의 상부에 소정의 두께로 형성된 제1보호막과, 한 평면상에 형성된 상기 제1색 필터층과 상기 제1보호막의 상부에 증착된 제2보호막가, 상기 제2보호막중 제1색 내지 제3색 필터패턴이 형성된 부분의 상부에 증착된 ITO투명전극과, 상기 보호막 및 ITO가 증착된 패턴상에 형성된 배향막으로 구성됨을 특징으로 하는 액정 표시장치.In order to prevent deterioration of the thin film transistor on the organic substrate, a plurality of black matrices formed at predetermined intervals, and the first colors to be formed separately and sequentially formed with steps to have spectral characteristics optimized for the spaces between the black matrices. A predetermined thickness between the third color filter layer and the second color and third color patterns designed with an optimized thickness between the black matrix based on the first color filter having the highest step between the first and third color filter layers. A first passivation layer formed of the first passivation layer, a first passivation layer formed on one plane, and a second passivation layer deposited on the first passivation layer; And an alignment film formed on the protective film and the pattern on which the ITO is deposited.
제1항에 있어서, 상기 제1및 제2보호막은 젤라틴계, 또는 폴리비닐계 네가티브 포토레지스트로 구성됨을 특징으로 하는 액정 표시장치.The liquid crystal display device of claim 1, wherein the first and second protective layers comprise a gelatin-based or polyvinyl-based negative photoresist.
제1항에 있어서, 상기 제1및 제2보호막은 상기 블랙 매트릭스의 상부에 단차를 가지고 각각 분리되게 설계된 제1색 내지 제3색 패턴의 상부에 형성되어 각 칼라필터의 단차를 줄이도록 한 것을 특징으로 하는 액정 표시장치.The method of claim 1, wherein the first and second passivation layers are formed on top of the first to third color patterns designed to be separated from each other with a step on top of the black matrix to reduce the step of each color filter. Characterized in liquid crystal display device.
투명 유리기판 상에 박막 트랜지스터의 열화를 방지하기 위하여 소정간격으로 소정패턴의 블랙 매트릭스를 형성하는 단계, 상기 블랙 매트릭스 사이에 최적화된 분광특성을 갖는 막두께로 각각 분리되게 제1색, 제2색 및 제3색 필터층을 순차로 형성하는 단계, 최적 두께로 설계된 상기 제1색 내지 제3색 필터층중 가장 단차가 높은 칼라 필터 부분에 칼라필터 형성용 마스크를 사용하여 상기 블랙 매트릭스 사이와, 제2색 및 제3색 패턴 상부에 소정의 두께로 제1보호막을 형성하는 단계; 상기 제1색 필터층과 제1보호막의 상부에 다시 제2보호막을 도포하는 단계; 상기 제2보호막중 제1색 내지 제3색 패턴이 형성된 부분의 상부에 IOT구동전극을 증착하는 단계 및 상기 제2보호막과 IOT가 증착된 패턴상에 배향막을 형성하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.Forming a black matrix of a predetermined pattern at predetermined intervals to prevent deterioration of the thin film transistor on the transparent glass substrate, and separating the first and second colors into separate film thicknesses having optimized spectral characteristics therebetween. And sequentially forming a third color filter layer, using a color filter forming mask on a portion of the color filter having the highest step among the first to third color filter layers designed to an optimal thickness, between the black matrix, and a second layer. Forming a first passivation layer on the color and the third color pattern with a predetermined thickness; Applying a second passivation layer on top of the first color filter layer and the first passivation layer; And depositing an IOT driving electrode on an upper portion of the first to third color patterns of the second passivation layer and forming an alignment layer on the pattern on which the second passivation layer and the IOT are deposited. Method of manufacturing a liquid crystal display device.
제4항에 있어서, 상기 제1내지 제3색 필터층은 유리기판 상에 스피터링법. E-빔법 또는 이베퍼레이터링법을 이용하여 광차폐용 금속을 증착한뒤 사진 식각법에 의해 패턴을 형성하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 상기 블랙 매트릭스가 형성된 유리기판 상에 착색 포토레지스트를 코딩한 후 건조하는 단계; 상기 포토레지스트가 노광시 산화되는 것을 막아주기 위해서 상기 포토레지스트 위에 상호차단막을 코팅한 수 건조하는 단계; 및 노광, 현상에 의하여 소정간격으로 상기 블랙 매트릭스 사이에 칼라필터, R,G,B가 최적 분광특성을 가질 수 있는 막두께를 설계하여 제1내지 제3색 필터패턴을 최적두께로 형성한뒤, 그 각각에 대해 하드베이크를 실시하는 단계로 형성됨을 특징으로 하는 액정 표시장치의 제조방법.The method of claim 4, wherein the first to third color filter layers are sputtered on a glass substrate. Depositing a metal for light shielding using an E-beam method or an evaporator method and then forming a pattern by photolithography to form a black matrix; Coding a colored photoresist on the glass substrate on which the black matrix is formed and then drying it; Water-drying a mutual barrier film over the photoresist to prevent the photoresist from being oxidized upon exposure; And by designing a film thickness in which color filters, R, G, and B have optimal spectral characteristics between the black matrices at predetermined intervals by exposure and development, and forming first to third color filter patterns to an optimum thickness. And hard-baking the respective liquid crystals.
제4항 및 제5항에 있어서, 상기 제1색 내지 제3색 필터패턴은 1.8-2.4μm, μmm, 1.5-1.8μm의 두께로 형성됨을 특징으로 하는 액정 표시장치의 제조방법.The method of claim 4, wherein the first to third color filter patterns are formed in a thickness of 1.8-2.4 μm, μmm, and 1.5-1.8 μm.
제4항에 있어서, 상기 제1및 제2보호막은 물에 현상이 용이한 젤라틴계 네가티브 포토레지스트에 폴리비닐렌 및 폴리아믹 용액을 미량 혼합, 분산시켜 내열성을 향상시킨 재료로 형성됨을 특징으로 하는 액정 표시장치의 제조방법.The method of claim 4, wherein the first and the second protective film is formed of a material that improves heat resistance by mixing and dispersing a small amount of polyvinylene and polyamic solution in a gelatin negative photoresist that is easily developed in water. Method of manufacturing a liquid crystal display device.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.