KR930020021A - 왕복운동가능 기계용 에어 밸브 작동기 - Google Patents

왕복운동가능 기계용 에어 밸브 작동기 Download PDF

Info

Publication number
KR930020021A
KR930020021A KR1019920017707A KR920017707A KR930020021A KR 930020021 A KR930020021 A KR 930020021A KR 1019920017707 A KR1019920017707 A KR 1019920017707A KR 920017707 A KR920017707 A KR 920017707A KR 930020021 A KR930020021 A KR 930020021A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
linkage member
linkage
valve
air
yoke
Prior art date
Application number
KR1019920017707A
Other languages
English (en)
Other versions
KR970009954B1 (ko
Inventor
제이. 코빈지 다니엘
아. 멜퀴스트 말린
피. 플래거 스티븐
Original Assignee
로버트 엠. 매티슨
그래코 아이엔시.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로버트 엠. 매티슨, 그래코 아이엔시. filed Critical 로버트 엠. 매티슨
Publication of KR930020021A publication Critical patent/KR930020021A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR970009954B1 publication Critical patent/KR970009954B1/ko

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/06Pumps having fluid drive
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01LCYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L31/00Valve drive, valve adjustment during operation, or other valve control, not provided for in groups F01L15/00 - F01L29/00
    • F01L31/02Valve drive, valve adjustment during operation, or other valve control, not provided for in groups F01L15/00 - F01L29/00 with tripping-gear; Tripping of valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01LCYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L23/00Valves controlled by impact by piston, e.g. in free-piston machines
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/10Pumps having fluid drive
    • F04B43/113Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
    • F04B43/1136Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/86493Multi-way valve unit
    • Y10T137/86847Pivoted valve unit

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Compressor (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)

Abstract

복동왕복운동 가능 모터의 흐름을 돌리는 공기 제어벨브이다. 밸브는 제1링크가 일단이 모터에 축지적으로 접속되어 그의 길이를 따라 왕복가능 모터 부재에 기계적으로 결합되고,제2링크가 제2의 링크와 동일점에 축지적으로 접속되어,두 축지위치들의 어느데에 그것을 위치시키는 오베 센터 스프링 이동방지 장치를 가지고 있고, 그리고 슬라이드 밸브부재가 제2의 링크에 부착되어 그와 함께 축지적으로 이동할수 있게 되어,복동모터 구동부재들의 어느 것 안으로 공기 흐름을 돌리게 하고 있으며,공기 밸브는 모터 구동 스트로크의 끝 부근의 그의 제2의 위치에 비녀장을 끼워 모터를 여타의 방향에 왕복 운동하게 한다.

Description

왕복운동가능 기계용 에어 밸브 작동기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명을 통합하는 다이어프램 펌프의 등각도.
제2도는 제3도의 2-2선에 따라 그린 단면도.
제3도는 제1도의 3-3선에 따라 그린 단면도.

Claims (9)

  1. 왕복운동 가능부재를 가지고 있는 기계에서 공기 흐름 경로를 돌리는 공기 제어 밸브기, a)제1의 링키지 부재가 상기 기계에 그의 끝들 중의 가장 가까운 것이 상기 기계에 축지적으로 접속되어 상기 왕복동가능 부재에 결합되고,상기 제1의 링키지 부재는 그를 위해 횡단의 슬롯을 가지고 있고, b)제2의 링키지 부재가 상기 기계의 그의 끝들 중의 가장 가까운 것이 상기 기계에 축지적으로 접속되고,상기 링키지부재는 상기 제2의 링키지 부재를 두 소정의 이동방지 위치의 어느 데에 밀어대는 스프링 이동방지 수단을 가지고, 상기 제2의 링키지 부재는 그를 통해, 상기 제1의 링키지 부재의 횡단의 슬롯과 나란히 정렬가능한, 횡단의 슬롯을 가지고 있고, c)슬라이드 밸브 부재가 상기 제2의 링키지 부재에 부착되어 그와 함께 이동가능하고, d)적어도 둘의 공기통로가 상기 기계에 있고, 상기 공기통로들이 상기 슬라이드 밸브 부재애 의해 그의 소정의 위치들에서 접촉하게 노출된 접속구들(ports)을 가지고 있으며, 그리고 e)압축 스프링이 상기 제1및 제2의 링키지 부재들의 상기 횡단의 슬롯들이 양자 내에 물려있고, 그에 의해 상기 압축 스프링의 최대의 스프링 힘이 상기 스프링 이동방지 수단을 충분히 극복하게한 구성으로된 공기 제어 밸브 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압축 스프링 내축에 슬라이드 기능의 플러그를 더 함유하여 상기 횡단의 슬롯들의 양자 안에 몰려있는, 공기 제어 밸브.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기계왕복동 기능 부재의 홈(groove)과 상기 홈에 적합된 요크를 더 함유하고, 상기 요크는 높아진 어깨부를 가지고 있고, 또 상기 제1의 링키지 부재가 상기 요크의 높아진 어깨부 위로 적합시킨 구멍을 더 함유하는, 공기 제어 밸브.
  4. 제1항에 있어서, 상기 슬라이드 밸브 부재가 슬라이드 기능의 컵 밸브를 더 함유하고, 상기 공기통로들이 인접의 접속구들을 가지고 있는 셋의 통로로 이루어져 있어, 그에의해 상기 컵 밸브가 상기 셋의 공기통로들 중의 둘을 공기흐름 연결 배열에 접촉할 수 있는 공기 제어 밸브.
  5. 대향의 펌핑 실린더들과 그들 사이에 접속된 왕복동 가능의 축을 가지고 있는 복동의 왕복가능의 펌프가, a)강기 축 둘레에 홈이 있어 상기 홈에 요크가 적합되고, 상기 요크는 높아진 어깨부를 가지고 있고, b)제1의링키지 부재가 상기 왕복동 가능의 축에 직각의 축선에 따라 축지적으로 접속되고, 또 상기 요크의 높아진 어깨부둘레에 적합된 구멍을 가지고 있고,상기 제1의 링키지 부재는 그를 통해 횡단의 슬롯구멍을 가지고 있고, c)제2의 링키지 부재가 상기 왕복동 가능의 축에 직각의 축선에 상기 제1의 링키지 부재에 가까이 인접하여 접속되고, 상기 제2의 패키지 부재는 그를 통해 횡단의 슬롯구멍을 가지고 있어, 그것이 상기 제1의 링키지 부재를 통한 횡단의 슬롯 구멍과 나란히 정렬가능하고, d)이동방지 수단이 상기 제2이 링키지 부재를 상기 축선 둘레의 두 소정의 축지위치의 어느데에 밀에대기 위해 상기 제2의 링키지부재에 접속되고, e)슬라이드 밸브가 상기 제2의 링키지 부재에 부착되어, 상기 대향의 펌핑 실린더들에의 공기 흐름을 상기 제2의 링키지 부재의 두 축지위치의 결과 대로 선택적으로 돌리는 수단을 가지고 있고, 그리고 f)압축스프링이 상기 제1및 제2의 링키지 부재의 상기 횡단의 슬롯들의 양자안에 앉혀진 구성으로된 복동 왕복가능 펌프.
  6. 제5항에 있어서. 상기 압축 스프링 안에 앉혀진 플러그를 더 함유하고, 상기 플러그가 상기 횡단의 슬롯들의 길이 치수보다 작은 길이 치수를 가지고 있는, 복동 왕복가능 펌프.
  7. 제6항에 있어서, 상기 슬라이트 밸브가 셋의 가까이 사이 띄인 접속구들과 중앙의 접속구가 제1의 외측 접속구에 흐름결합의 관계에 있는 제1의 위치와 중앙의 접속구가 제2의 외측 접속구에 흐름결합의 관계에 있는 제 2의 위치의 사이에 이동가능한 컵 밸브 부재를 더 함유하는 복동 왕복가능 펌프.
  8. 공기로 구동되는 왕복동 가능의 구동부재를 가지고 있는 모터에서 공기흐름 경로를 돌리는 공기 제어 밸브가, a)제1의 링키지 부재가 그의 끝들 중에 하나에 가까운 무터에 접속되어, 그의 길이를 따라 상기 왕복동 가능의 구동부재에 접속되고,그를 통해 횡단의 슬롯구멍을 가지고 있고, b)제2의 링키지부재가 그의 끝들 중의 하나에 가까운 모터에 접속되고, 상기 제1의 링키지 부재의 횡단의 슬롯과 나란히 정렬할 수 있는 횡단의 슬롯구멍을 그를 통해 가지고 있고, c)스프링 이동방지 수단이 상기 제2의 링키지 부재에 대해 상기 제2의 링키지 부재를 두 소정의 축지위치의 어느 데에 밀어대게 작용하고, d)슬라이드 벨브 부재가 상기 제2의 링키지 부제에 부착되어 그와 함께 공기흐름 경로에 축지적으로 이동할 수 이써, 직각이 상기 제2의 링키지 부재의 축지위치들 중의 하나에 부합되는 두 방향의 어느 데에 공기 흐름을 경로들 돌리고, 그리고 e)압축 스프링이 상기 제1및 제2의 링키지 부재의 상기 횡단의 슬롯들 롯드의 양자 내에 물려있는 구성의 공기 제어 밸브.
  9. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920017707A 1992-03-27 1992-09-28 왕복운동가능 기계용 공기 밸브 액츄에이터 KR970009954B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/858,675 US5240390A (en) 1992-03-27 1992-03-27 Air valve actuator for reciprocable machine
US92-858,675 1992-03-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930020021A true KR930020021A (ko) 1993-10-19
KR970009954B1 KR970009954B1 (ko) 1997-06-19

Family

ID=25328876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920017707A KR970009954B1 (ko) 1992-03-27 1992-09-28 왕복운동가능 기계용 공기 밸브 액츄에이터

Country Status (6)

Country Link
US (2) US5240390A (ko)
JP (1) JPH05288159A (ko)
KR (1) KR970009954B1 (ko)
CN (1) CN1077009A (ko)
AU (1) AU646171B2 (ko)
TW (1) TW218405B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675490B1 (ko) * 2005-09-16 2007-01-30 (주)일지테크 파레트 이송장치

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5391060A (en) * 1993-05-14 1995-02-21 The Aro Corporation Air operated double diaphragm pump
JP4004097B2 (ja) * 1996-04-12 2007-11-07 グラコ・インコーポレーテッド ポンプ
TW539918B (en) * 1997-05-27 2003-07-01 Tokyo Electron Ltd Removal of photoresist and photoresist residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process
US6257845B1 (en) 1998-07-14 2001-07-10 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven pumps and components therefor
US6206644B1 (en) * 1999-08-06 2001-03-27 Microbar Systems, Inc. Compact dual pump
US6748960B1 (en) 1999-11-02 2004-06-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for supercritical processing of multiple workpieces
KR100744888B1 (ko) 1999-11-02 2007-08-01 동경 엘렉트론 주식회사 소재를 초임계 처리하기 위한 장치 및 방법
TW499548B (en) * 2000-06-02 2002-08-21 Tokyo Electron Ltd Dual diaphragm pump
EP1303870A2 (en) * 2000-07-26 2003-04-23 Tokyo Electron Limited High pressure processing chamber for semiconductor substrate
DE10051869A1 (de) * 2000-10-19 2002-04-25 Wieder Gmbh Durchflussmesser
US7001468B1 (en) 2002-02-15 2006-02-21 Tokyo Electron Limited Pressure energized pressure vessel opening and closing device and method of providing therefor
US6722642B1 (en) 2002-11-06 2004-04-20 Tokyo Electron Limited High pressure compatible vacuum chuck for semiconductor wafer including lift mechanism
US7021635B2 (en) * 2003-02-06 2006-04-04 Tokyo Electron Limited Vacuum chuck utilizing sintered material and method of providing thereof
US7077917B2 (en) * 2003-02-10 2006-07-18 Tokyo Electric Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7225820B2 (en) * 2003-02-10 2007-06-05 Tokyo Electron Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7163380B2 (en) 2003-07-29 2007-01-16 Tokyo Electron Limited Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid
US20050035514A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-17 Supercritical Systems, Inc. Vacuum chuck apparatus and method for holding a wafer during high pressure processing
US20050067002A1 (en) * 2003-09-25 2005-03-31 Supercritical Systems, Inc. Processing chamber including a circulation loop integrally formed in a chamber housing
CN100430276C (zh) * 2003-11-11 2008-11-05 西拉工业控股有限公司 具有转矩传感器的电机致动装置
US7186093B2 (en) * 2004-10-05 2007-03-06 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for cooling motor bearings of a high pressure pump
US7250374B2 (en) 2004-06-30 2007-07-31 Tokyo Electron Limited System and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing
US7307019B2 (en) 2004-09-29 2007-12-11 Tokyo Electron Limited Method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films
US7491036B2 (en) 2004-11-12 2009-02-17 Tokyo Electron Limited Method and system for cooling a pump
US7434590B2 (en) 2004-12-22 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system
US7140393B2 (en) 2004-12-22 2006-11-28 Tokyo Electron Limited Non-contact shuttle valve for flow diversion in high pressure systems
US7291565B2 (en) 2005-02-15 2007-11-06 Tokyo Electron Limited Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid
US7435447B2 (en) 2005-02-15 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and system for determining flow conditions in a high pressure processing system
US7380984B2 (en) 2005-03-28 2008-06-03 Tokyo Electron Limited Process flow thermocouple
US7767145B2 (en) 2005-03-28 2010-08-03 Toyko Electron Limited High pressure fourier transform infrared cell
US7494107B2 (en) 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
US7686820B2 (en) * 2005-04-14 2010-03-30 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical clip applier ratchet mechanism
US7789971B2 (en) 2005-05-13 2010-09-07 Tokyo Electron Limited Treatment of substrate using functionalizing agent in supercritical carbon dioxide
US7524383B2 (en) 2005-05-25 2009-04-28 Tokyo Electron Limited Method and system for passivating a processing chamber
US7603855B2 (en) * 2007-04-10 2009-10-20 Illinois Tool Works Inc. Valve with magnetic detents
US7587897B2 (en) * 2007-04-10 2009-09-15 Illinois Tool Works Inc. Magnetically sequenced pneumatic motor
US7603854B2 (en) * 2007-04-10 2009-10-20 Illinois Tool Works Inc. Pneumatically self-regulating valve
DE102007020361A1 (de) * 2007-04-30 2008-11-06 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Ventil
GB2478784B (en) * 2010-03-19 2017-01-25 Finishing Brands Holdings Inc Improvements in diaphragm pumps
US9004881B2 (en) 2012-04-20 2015-04-14 Simmons Development, Llc Modular fluid-driven diaphragm pump and related methods

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US374530A (en) * 1887-12-06 Piston meter
US215026A (en) * 1879-05-06 Improvement in direct-acting pumps
US405939A (en) * 1889-06-25 Valve-gear
US150317A (en) * 1874-04-28 goehring
US1114008A (en) * 1913-10-31 1914-10-20 Johan Kofoed Duplex steam-pump.
US1150452A (en) * 1914-10-14 1915-08-17 Alexander Walker Reid Milking-machine pulsator.
US1623028A (en) * 1924-08-09 1927-03-29 Barett Automatic windshield cleaner
US1830354A (en) * 1929-11-16 1931-11-03 Stewart Warner Corp Windshield wiper
US2124735A (en) * 1935-05-20 1938-07-26 Automotive Devices Inc Fluid pressure motor
US2075959A (en) * 1936-03-30 1937-04-06 Charles S Previti Windshield wiper
US2208772A (en) * 1938-03-11 1940-07-23 Robert M Morley Windshield wiper motor
US2613652A (en) * 1947-01-06 1952-10-14 Lynn J Ziegelmeyer Pressure operated reciprocating valve
US2678029A (en) * 1948-10-23 1954-05-11 Sprague Devices Inc Windshield wiper motor
US2610649A (en) * 1949-04-18 1952-09-16 Gear Grinding Mach Co Snap-action valve
US2792785A (en) * 1954-05-24 1957-05-21 Ernest R Hayden Double-action pump
US2813514A (en) * 1955-04-28 1957-11-19 H J Thiessen Pneumatic saw and the like
US2898865A (en) * 1955-06-07 1959-08-11 Thompson Ramo Wooldridge Inc Vacuum driven automotive fuel pump
US2951382A (en) * 1956-09-15 1960-09-06 Ljungmans Verkst Er Ab Snap action device
US2977040A (en) * 1957-08-09 1961-03-28 Dayton Rogers Mfg Co Pneumatic pressure boosting apparatus
US3016055A (en) * 1958-03-20 1962-01-09 Frank A Oldenburg Pulsating stomach pumping apparatus and the like
US3167083A (en) * 1961-09-05 1965-01-26 Peninsular Distributing Compan Sequence valve
US3148593A (en) * 1962-06-04 1964-09-15 David H Lipsey Fluid actuated reciprocating mechanism and controls therefor
US3448756A (en) * 1964-03-11 1969-06-10 Alfa Laval Ab Automatic pulsator
US3402642A (en) * 1965-10-23 1968-09-24 Huck Mfg Co Reciprocating valve and piston
US3584653A (en) * 1967-10-12 1971-06-15 Omron Tateisi Electronics Co Fluid switching device
US3700359A (en) * 1971-05-18 1972-10-24 Science Inc Explosion-proof liquid fuel pump
US3782863A (en) * 1971-11-16 1974-01-01 Rupp Co Warren Slide valve apparatus
US4008984A (en) * 1975-10-23 1977-02-22 Scholle William R Pump apparatus
US4123204A (en) * 1977-01-03 1978-10-31 Scholle Corporation Double-acting, fluid-operated pump having pilot valve control of distributor motor
DE2726667A1 (de) * 1977-06-14 1978-12-21 Licentia Gmbh Oberflaechenpassiviertes halbleiterbauelement und verfahren zum herstellen desselben
US4354806A (en) * 1980-01-29 1982-10-19 The Coca-Cola Company Pneumatically powerable double acting positive displacement fluid pump
AU554014B2 (en) * 1981-11-12 1986-08-07 Coca-Cola Company, The Check valve cartridge
US4682937A (en) * 1981-11-12 1987-07-28 The Coca-Cola Company Double-acting diaphragm pump and reversing mechanism therefor
US4597414A (en) * 1982-06-16 1986-07-01 Schmelzer Corporation Two position control valve
US4540349A (en) * 1984-05-16 1985-09-10 Du Benjamin R Air driven pump

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675490B1 (ko) * 2005-09-16 2007-01-30 (주)일지테크 파레트 이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW218405B (ko) 1994-01-01
CN1077009A (zh) 1993-10-06
US5240390A (en) 1993-08-31
AU646171B2 (en) 1994-02-10
AU1962392A (en) 1993-09-30
US5280808A (en) 1994-01-25
KR970009954B1 (ko) 1997-06-19
JPH05288159A (ja) 1993-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930020021A (ko) 왕복운동가능 기계용 에어 밸브 작동기
EP1171711B1 (de) Schwingkolbenantrieb
US5960831A (en) Electromechanical servovalve
EP1657452B1 (de) Pneumatische Oszillatorvorrichtung
KR830010301A (ko) 왕복펌프 및 그 전환장치
JP4199832B2 (ja) 特に多気筒の内燃機関のための吸気管装置で使用される切替ローラ
JP3281455B2 (ja) エアーバルブ
EP0991863A1 (de) Radialkolbenpumpe mit dichtung am antriebswellenende zur fluiddichten kapselung des pumpenraumes
DE202007017894U1 (de) Hydraulisches Steuerventilsystem
KR100447348B1 (ko) 전자밸브용 솔레노이드
JPS62118175A (ja) ソレノイド作動型流量制御弁
KR850004528A (ko) 볼 밸브 및 이 볼 밸브와 작동기 조립체
US4991492A (en) Hydrostatic axial piston machine
US4242941A (en) Actuator valve
ES2074610T3 (es) Accionamiento lineal activable neumaticamente para maquinas automaticas de soldadura por puntos.
US6460557B1 (en) Transmissionless pressure-control valve
US6199588B1 (en) Servovalve having a trapezoidal drive
JP2004530830A (ja) 双方向弁を備えたダブルアクション単式プランジャポンプ
KR960018267A (ko) 로드가 없는 유압 실린더형 액츄에이터
EP1798454A2 (de) Dichtring und Dichtungsanordnung sowie deren Verwendung
KR870001603B1 (ko) 유압기기에 있어서의 압력조정장치
CN211203067U (zh) 一种拨叉执行器
CN218377802U (zh) 一种高可靠三位四通电磁换向阀
KR940019984A (ko) 왕복동내연기관의 연료분사펌프
JPH0744811U (ja) 切換弁

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee