KR920020275A - 방사선 감수성 화합물의 제조방법 및 양성 레지스트 조성물 - Google Patents

방사선 감수성 화합물의 제조방법 및 양성 레지스트 조성물 Download PDF

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KR920020275A
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고지 구와나
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히로시 다까가끼
야스노리 도이
야스노리 우에따니
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모리 히데오
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Abstract

내용 없음

Description

방사선 감수성 화합물의 제조방법 및 양성 레지스트 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 비유전 상수가 10보다 크지 않은 용매 및 비유전 상수가 적어도 15 이상인 용매의 혼합물에서 페놀 화합물을 퀴논 디아지드 술포닐 힐라이드와 반응시킴을 특징으로 하는 방사선 감수성 화합물의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 비 유전 상수가 적어도 15이상인 용매의 양이 용매 혼합물의 총중량을 기준으로 50중량%보다 크지 않음을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 비유전 상수가 10보다 크지 않은 용매가 디옥산임을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 또는 3항 있어서, 비유전 상수가 적어도 15 이상인 용매가 γ-부티로락톤임을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항 또는 3항에 있어서, 비유전 상수가 적어도 15 이상인 용매가 알코올임을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 알코올의 양이 용매 혼합물의 총중량을 기준으로 1중량% 이하임을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 알코올의 양이 용매 혼합물의 총중량을 기준으로 0.1중량% 이하임을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 기재한 방법으로 제조한 방사선 감수성 화합물 및 알칼리 가용 수지를 포함하는 양성 레지스트 조성물.
  9. 제8항에 있어서, 알칼리 가용 수지가 노볼락 수지임을 특징으로 하는 양성 레지스트 조성물.
  10. 제8항에 있어서, 알칼리 가용 수지 대 방사선 감수성 화합물의 중량비가 1:1 내지 6:1 임을 특징으로 하는 양성 레지스트 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920006473A 1991-04-17 1992-04-17 방사선 감수성 화합물의 제조방범 및 양성 레지스트 조성물 KR100215529B1 (ko)

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