KR910020496A - 포지티브 레지스트 조성물 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (2)
- 알칼리-용해성 수지, 감방사선 성분으로서의 퀴논 디아지드 화합물 및 하기식 (Ⅰ)의 화합물을 함유하는 포지티브 레지스트 조성물.〔식중 R1∼R9는 동일하거나 상이하며 각각 수소원자, 알킬기, 할로겐 원자 또는 히드록실기이다. 단 R1∼R9중 하나 이상은 히드록시기이다.〕
- 제1항에 있어서, 전술한 알칼리-용해성 수지가, 분자량을 UV광(254nm)검출기를 가진 GPC로 측정할 때 폴리스티렌으로 환산된 분자량이 900이하인 범위의 면적비가 전체 GPC패턴 면적의 25%를 초과하지 않는 포지티브 레지스트 조성물.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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