KR910001344B1

KR910001344B1 - Multilayer ceramic capacitor and method for producing thereof

Info

Publication number: KR910001344B1
Application number: KR1019900019160A
Authority: KR
Inventors: 에스. 에이치. 츄 마이크; 이. 호드그킨즈 찰스
Original assignee: 탬 세라믹스 인코오포레이티드; 로버트 에스. 해밀톤
Priority date: 1985-04-25
Filing date: 1990-11-23
Publication date: 1991-03-04
Also published as: KR910001348B1

Abstract

내용 없음.No content.

Description

다층 세라믹 캐패시터 및 그 제조방법Multilayer Ceramic Capacitor and Manufacturing Method Thereof

본 발명은 12,000 이상의 높은 유전율(K) ; 3% 이하의 낮은 분산율(dissipation factors) (DF) ; 25℃에서 20,000 이상, 85℃에서 2000 이상의 고절연 저항 캐패시턴스 상수(RC) 및 1000℃ 이하의 초저 소결온도를 가지고 외부 분위기의 조절없이 소결될 수 있는 세라믹 유전 조성물의 높은 유전율 및 낮은 분산율 이용하여 높은 캐패시턴스 및 작은 물리적 크기를 가진 다층 세라믹 캐패시터 (이하 MLC라고 한다)를 제조하는 방법 및 그로부터 제조되는다층 세라믹 캐패시터에 관한 것이다.The present invention has a high dielectric constant (K) of 12,000 or more; Low dissipation factors (DF) of less than 3%; High dielectric constant and low dispersion of ceramic dielectric composition that can be sintered without control of external atmosphere with high insulation resistance capacitance constant (RC) at 25 ° C and above 2000 ° C and 2000 at 85 ° C and ultra-low sintering temperature below 1000 ° C A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor (hereinafter referred to as MLC) having a capacitance and a small physical size, and a multilayer ceramic capacitor made therefrom.

극도로 낮은 소결온도 때문에, 본 발명에서 원료로 사용되는 세라믹 조성물은 100%은 (Ag)같은 저융점금속 및 그들의 합금의 금속내부 전극을 이용하는 MLC의 제조용으로 적합하다.Because of the extremely low sintering temperature, the ceramic compositions used as raw materials in the present invention are 100% suitable for the production of MLC using low melting point metals such as (Ag) and metal internal electrodes of their alloys.

저융점 금속은 그러한 전극용으로 통상 사용되는 귀금속보다 현저하게 값이 싸다.Low melting metals are significantly cheaper than the precious metals commonly used for such electrodes.

본 발명의 세라믹 조성물은 외부 분위기의 조절없이 소결될 수 있기 때문에 그것들은 간단한 킬른 장치로서 MLC를 제조하기에 적합하다.Since the ceramic compositions of the present invention can be sintered without control of the external atmosphere, they are suitable for producing MLC as a simple kiln device.

이러한 이점외에 본 발명의 세라믹 조성물은 간단한 공정 및 낮은 제조원가로 인하여 고성능 및 높은 부피 효율을 가진 MLC를 제조하게 해준다. MLC 제조용으로 가장 통상적으로 사용되는 물질은 SrZrO₃, CaZrO₃, BaZrO₃, CaTiO₃등과 같은 조절제가 첨가된 BaTiO₃, SrTiO₃이다.In addition to these advantages, the ceramic compositions of the present invention allow for the production of MLCs with high performance and high volumetric efficiency due to simple processes and low manufacturing costs. The material used most commonly in the manufacture MLC is _{_{_{SrZrO 3, CaZrO 3, BaZrO 3}}} , CaTiO 3 BaTiO the controlling agent is added, such as _{_3,} SrTiO _3.

이러한 물질들은 11,000까지의 유전율을 가지고 있다. 그러나 이러한 물질들은 1250℃ 이상의 온도에서 소성되어져야 한다.These materials have dielectric constants up to 11,000. However, these materials must be fired at temperatures above 1250 ° C.

그렇게 소성 온도가 높으면 소성 공정중에 전극 물질의 증발 또는 다른 손실을 방지하기 위하여 내부 전극 물질로써 고융점을 가지는 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 또는 그들의 합금같은 값비싼 귀금속을 사용해야만 한다.At such high firing temperatures, expensive precious metals such as platinum (Pt), palladium (Pd), gold (Au), or their alloys having high melting points as internal electrode materials may be used to prevent evaporation or other loss of the electrode material during the firing process. Must be used

귀금속의 꾸준히 인상되는 원가 때문에 많은 내부 전극층을 사용하는 높은 캐패시턴스를 가진 MLC의 제조원가는 엄청나게 비쌀 것이다.Because of the ever-increasing costs of precious metals, the manufacturing cost of high capacitance MLCs using many internal electrode layers will be enormously expensive.

한 종전 기술에서는 통상 세라믹 조성물의 소성 온도를 낮추기 위하여 MLC에 있는 유전층을 열처리하는 경우 PbO ; Bi₂O₃; ZnO ; B₂O₃; Al₂O₃및 SiO₂같은 융재(flux)를 사용한다. 이 방법으로 l150℃ 이하의 소성 온도가 얻어져서 70% Ag/30% Pd 같은 덜 값비싼 전극물질이 사용될 수 있게 되었다.In one prior art, PbO is commonly used to heat the dielectric layer in MLC to lower the firing temperature of the ceramic composition; Bi ₂ O ₃ ; ZnO; B ₂ O ₃ ; Flux such as Al ₂ O ₃ and SiO ₂ are used. In this way a firing temperature of less than l150 ° C. was obtained, allowing less expensive electrode materials such as 70% Ag / 30% Pd to be used.

그러나 이러한 조성물은 융제로 인하여 유전율이 낮게되며 6500 이하의 유전율을 가진다는 것이 발견되어졌다. 다른 종전기술에서는 CO/CO₂혼합물 같은 환원성 분위기에서 세라믹 조성물을 열처리하는 방법을 사용하여 Ni 같은 덜 비싼 비금속 전극이 사용될 수 있다.However, it has been found that such compositions have a low dielectric constant due to flux and have a dielectric constant of 6500 or less. In other prior art, less expensive nonmetallic electrodes such as Ni may be used using a method of heat treating the ceramic composition in a reducing atmosphere such as a CO / CO ₂ mixture.

그러나 이 조성물의 유전율 역시 예를 들어 6000 이하로 낮다. 또한 세라믹 조성물과 온도 분위기 같은 소성 조건이 세라믹 산화물의 환원 또는 전극물질의 산화를 방지하기 위하여 엄격하게 조절되어야 한다.However, the dielectric constant of this composition is also low, for example below 6000. In addition, the firing conditions such as the ceramic composition and the temperature atmosphere must be strictly controlled to prevent the reduction of the ceramic oxide or the oxidation of the electrode material.

또 다른 종전 기술에서는 상기 언급된 것과 같은 세라믹 조성물이 세라믹에서 반전도성과 예를 들어 20㎛ 이상으로의 큰 입자 신장을 촉진하기 위하여 N₂/H₂혼합물 같은 높은 환원성 분위기에서 전극없이 먼저 소성된다. 큰 반전도성의 입자가 두번째의 공기 소성 공정에서 PbO ; Bi₂O₃; B₂O₃같은 확산 절연 산화물에 의해 절연 된다. 이러한 조성물은 보통 20.000 이상의 매우 높은 유전율을 가지고 있다.In another prior art, ceramic compositions such as those mentioned above are first fired without electrodes in a high reducing atmosphere, such as a N ₂ / H ₂ mixture, to promote semiconductivity in the ceramic and large grain elongation, for example above 20 μm. Large semiconducting particles are PbO in the second air firing process; Bi ₂ O ₃ ; B ₂ O ₃ is insulated by diffusion insulating oxide like. Such compositions usually have very high dielectric constants of 20.000 or more.

그러나 이 조성물은 주로 낮은 작동 전압용으로 유용한 세라믹 디스크 또는 관모양의 캐패시터의 제조용으로 적합하다.However, this composition is suitable for the manufacture of ceramic disks or tubular capacitors, which are mainly useful for low operating voltages.

MLC에서의 이러한 세라믹 조성물의 사용은 큰 입자 사이즈가 각 유전층의 두께가 필요한 작동전압을 유지하기 위하여 적어도 60㎛가 되어야 하는 것이 필요하기 때문에 실용적이 아니다.The use of such ceramic compositions in MLCs is not practical because large particle sizes need to be at least 60 μm in order to maintain the required operating voltage of each dielectric layer.

MLC 제조에 있어서 종전기술로 예를 들어 6.000의 낮은 K를 가지지만 예를 들어 20㎛의 얇은 유전층 두께를 가진 유전물질을 가진 같은 목적물을 얻기 위하여 더 작고 더 좋은 캐패시터가 제조될 수 있기 때문에 높은 유전율의 이점은 이 두께 제한에 의해 없어지게 된다.Prior permitting techniques in MLC fabrication have a high permittivity because smaller and better capacitors can be produced to obtain the same object with a dielectric material having a low K of 6.000 but having a thin dielectric layer thickness of 20 μm, for example. The advantage of is eliminated by this thickness limitation.

다른 종전 기술에서는 Pb(Fe_1/2Nb_1/2)O₃, Pb(Fe_2/3W_1/3)O₃같은 보통 완화제로 알려진 레드 퍼로브스키트(lead perovskite) 화합물이 15.000 이상의 유전율을 가지는 세라믹 조성물을 만드는데 사용되어 왔다.In other conventional techniques, red perovskite compounds, commonly known as moderate laxatives such as Pb (Fe _1/2 Nb _1/2 ) O ₃ and Pb (Fe _2/3 W _1/3 ) O _3, have a dielectric constant of at least 15.000. Eggplants have been used to make ceramic compositions.

그러나 이 조성물은 MLC에 사용될때 다음과 같은 하나 또는 여럿의 결점을 가지게 된다.However, this composition has one or more of the following drawbacks when used in MLC.

(a) 분산율(dissipation factor)이 보통 높다.(a) Dissipation factor is usually high.

(b) 절연저항이 특히 고온에서 낮다.(b) Insulation resistance is low, especially at high temperatures.

(c) 소결온도가 1150℃보다 현저하게 낮지않다.(c) The sintering temperature is not significantly lower than 1150 ° C.

(d) 조성물이 하나의 레드 퍼로브스키트 화합물 및 또는 복합의 도판트 화합물(multiple dopant compound)을 필요로 하여 제조하기가 복잡하고 비용이 많이 든다.(d) The composition requires one red perovskite compound and / or multiple dopant compounds to be complex and expensive to manufacture.

(e) 조성물이 화학양론 관계를 유지하기 위하여 납을 증기압이 엄격히 조정되는 소결을 필요로 하여 제조 원가가 높다.(e) In order to maintain the stoichiometric relationship of the composition, lead is required to be sintered to have a tightly controlled vapor pressure, resulting in high manufacturing costs.

본 발명의 세라믹 조성물은 상기 언급된 종전 기술의 결점을 개선하기 위한 것이다. 특히 본 발명의 조성물은 높은 유전율, 낮은 분산율, 높은 유전절연저항을 가지고 있어서 공기에서 낮은 온도하에 소결될 수 있다.The ceramic composition of the present invention is intended to ameliorate the drawbacks of the prior art mentioned above. In particular, the composition of the present invention has a high dielectric constant, low dispersion rate, and high dielectric insulation resistance, so that the composition can be sintered at low temperature in air.

그것은 또한 아주 낮은 제조원가로 간단한 방법에 의해 높은 부피효율의 MLC의 제조를 가능케 한다.It also enables the production of high volumetric efficiency MLCs by simple methods at very low production costs.

본 발명의 목적은 25℃에서 12,000보다 큰 유전율과 3%보다 적은 분산율을 가진 세라믹 조성물을 제조하는 것이다.It is an object of the present invention to produce ceramic compositions having dielectric constants greater than 12,000 and less than 3% dispersion at 25 ° C.

본 발명의 또 다른 목적은 1000℃ 이하의 온도에서 소결될 수 있어서 다층 세라믹 캐패시터를 제조하기 위한 70Wt% 이상의 은 함량을 가진 은-팔라듐 합금과 같이 열처리될 수 있는 25℃에서 12,000보다 큰 유전율 및 3%보다 적은 분산율을 가진 세라믹 조성물을 제조하는 것이다.Another object of the invention is a dielectric constant greater than 12,000 and 3 at 25 ° C. that can be sintered at temperatures below 1000 ° C. and can be heat treated, such as a silver-palladium alloy with a silver content of at least 70 Wt% for producing multilayer ceramic capacitors. It is to prepare a ceramic composition with a dispersion rate of less than%.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 언급된 이점을 가지고 포화된 납의 증기압을 형성할 필요없이 개방된 공기 분위기하에 소결될 수 있고 다층 세라믹 캐패시터의 제조원가를 줄일 수 있는 세라믹 조성물을 제조하는 것이다.Another object of the present invention is to produce a ceramic composition having the above-mentioned advantages and which can be sintered in an open air atmosphere without reducing the vapor pressure of saturated lead and can reduce the manufacturing cost of the multilayer ceramic capacitor.

상기 언급된 목적들은 두 성분 즉, 베이스 세라믹 조합제로 구성된 주성분과 산화물 용제 또는 소결 보조제로 구성된 보조 성분으로 형성된 초저온에서 소성된 유전 세라믹 조성물을 만들게 되는 본 발명에 의해 달성될 수 있다. 특히, 본 발명의 유전 세라믹 조성물을 형성하는데 있어서 주성분은 유전 세라믹 조성물의 95-81.5Wt%로 구성되고 보조 성분은 5-18.5Wt%로 구성된다.The above-mentioned objects can be achieved by the present invention, which makes a dielectric ceramic composition calcined at very low temperatures formed of a main component composed of two components, namely, a base ceramic combination and an auxiliary component composed of an oxide solvent or a sintering aid. In particular, in forming the dielectric ceramic composition of the present invention, the main component is composed of 95-81.5 Wt% and the auxiliary component is 5-18.5 Wt% of the dielectric ceramic composition.

세라믹 조성물의 주성분은 마그네슘 옥사이드(MgO) 나이오븀 펜톡사이드(Nb₂O₅) 레드옥사이드(PbO), 레드 티타네이트(PbTiO₃) 및 금속질의 은(Ag) 또는 그들의 성분의 산화물 권구체(oxide precursors)로 구성된 베이스 세라믹 조합제이다.The main components of the ceramic composition are magnesium oxide (MgO) niobium pentoxide (Nb ₂ O ₅ ) red oxide (PbO), red titanate (PbTiO ₃ ) and metallic silver (Ag) or oxide precursors of their components. ) Is a base ceramic combination consisting of

산화물로써 나타낸 베이스 세라믹 조합제의 성분의 범위는 레P드 옥사이드가 65.0-71.6Wt%, 마그네슘 옥사이드가 4.2-4.9Wt%, 나이오븀 펜톡사이드가 25.5-27.0Wt%, 레드 티타네이트가 0-4.5Wt%, 은이 0-lWt%이다.The range of components of the base ceramic combinations expressed as oxides ranges from 65.0-71.6 Wt% for oxides of red, 4.2-4.9 Wt% for magnesium oxides, 25.5-27.0 Wt% for niobium pentoxide, and 0-4.5 red titanates. Wt%, silver is 0-1 Wt%.

세라믹 조성물의 보조성분은 세라믹 산화물 융제 또는 레드 옥사이드로 구성된 소결 보조제이다. 베이스 세라믹 조합제에 대한 레드 옥사이드 융제의 중량비는 0.05-0.185이다.The auxiliary component of the ceramic composition is a sintering aid composed of a ceramic oxide flux or red oxide. The weight ratio of red oxide flux to base ceramic combination is 0.05-0.185.

다층 캐패시터로 형성되었을때 본 발명의 세라믹 조성물은 전형적으로 1KHz, 1VRMS에서 12,000 이상의 유전율, 1VRMS에서 3% 이하의 확산율, 25℃ 및 100VDC/mil에서 40,000 이상, 85℃에서 2,000 이상, 125℃에서 200 이상의 절연 저항 캐패시턴스 상수를 가진다.The ceramic composition of the present invention, when formed of a multilayer capacitor, typically has a dielectric constant of 1 KHz, at least 12,000 at 1 VRMS, a diffusion rate of at most 3% at 1 VRMS, at least 40,000 at 25 ° C. and 100 VDC / mil, at least 2,000 at 85 ° C., at 200 ° C. at 125 ° C. It has the above insulation resistance capacitance constant.

캐패시터는 1000℃ 이하, 바람직하기로는 900℃-950℃의 초저온에서 소성됨으로써 형성될 수 있다. 특히 바람직한 구체적 실시예에서, 세라믹 유전 조성물은 65.56Wt%의 PbO, 4.62Wt%의 MgO, 25.36Wt%의 Nb₂O₅, 4.46Wt%의 PbTiO₃로 구성된 베이스 세라믹 조합제 88Wt%와 본질적으로 PbO인 산화물 융제 또는 소결 보조제 12Wt%로 형성된다.The capacitor may be formed by firing at an extremely low temperature of 1000 ° C or lower, preferably 900 ° C-950 ° C. In a particularly preferred embodiment, the ceramic dielectric composition consists essentially of PbO and 88 Wt% of the base ceramic combination consisting of 65.56 Wt% PbO, 4.62 Wt% MgO, 25.36 Wt% Nb ₂ O ₅ , 4.46 Wt% PbTiO ₃ 12 Wt% of phosphorus oxide flux or sintering aid.

하기에서 명시된 바와같이, 본 발명의 유전 세라믹 조성물은 바람직한 물리적 및 전기적 물성을 희생시키지 않고 실제적인 원가 절약이 되는 여러 이점을 가지고 있다.As stated below, the dielectric ceramic composition of the present invention has several advantages that can result in substantial cost savings without sacrificing desirable physical and electrical properties.

본 발명은 1000℃를 넘지 않는 온도에서 성분의 산화물 또는 그것의 전구체를 소성 시킴으로써, 제조될수 있는 12,000 이상의 유전율을 가진 새로운 유전 세라믹 조성물을 제공한다. 이 조성물은 높은 유전율 같은 바람직한 유전 물성이 그러한 저온에서 얻어질 수 있는 물질을 얻기 위하여 희생되는 종전기술의 내용과는 실질적으로 다르다.The present invention provides a novel dielectric ceramic composition having a dielectric constant of at least 12,000 that can be prepared by firing an oxide of a component or a precursor thereof at a temperature not exceeding 1000 ° C. This composition differs substantially from the teachings of the prior art in which desirable dielectric properties such as high permittivity are sacrificed to obtain materials obtainable at such low temperatures.

종전기술의 물질은 유전율이 너무 낮아서 다층 캐패시터에 실제적으로 사용할 수가 없기 때문에 1100℃이상의 온도에서 소성된 물질을 사용하는 것이 필요하다. 그러한 높은 온도에서는 팔라듐 또는 프란티늄 같은 귀금속이 많이 포함된 전극의 사용이 필요하다.It is necessary to use materials fired at temperatures above 1100 ° C because the materials of the prior art are so low in dielectric constant that they cannot be practically used in multilayer capacitors. At such high temperatures, the use of electrodes containing a large amount of precious metals such as palladium or platinum is required.

본 발명의 세라믹 조성물의 낮은 소성 온도는 다층 캐패시터에 있어서 전도층으로 7% 이상의 은과 30%이하의 팔라듐 성분을 가진 은-팔라듐 전극 같은 융점이 낮은 금속의 사용을 가능하게 해준다. 이것은 귀금속인 팔라듐이 은보다 현저하게 값이 비싸기 때문에 매우 유리하다. 따라서, 낮은 제조원가의 전극 금속으로된 다층 캐패시터에 있어서 본 발명의 세라믹 조성물의 사용은 상당한 원가 절약이 되게 해준다.The low firing temperature of the ceramic composition of the present invention allows the use of low melting metals, such as silver-palladium electrodes having at least 7% silver and up to 30% palladium as the conductive layer in the multilayer capacitor. This is very advantageous because the precious metal palladium is significantly more expensive than silver. Thus, the use of the ceramic composition of the present invention in multi-layer capacitors of electrode metals of low manufacturing cost results in significant cost savings.

본 발명은 또한 개방된 대기 분위기에서 1000℃를 넘지않는 온도하에 성분의 산화물 또는 그것은 전구체를 소성시킴으로써 얻어질 수 있는 12,000 이상의 유전율을 가진 유전 세라믹 조성물을 제공한다.The present invention also provides a dielectric ceramic composition having a dielectric constant of at least 12,000 that can be obtained by firing a precursor or oxide of a component under a temperature not exceeding 1000 ° C. in an open atmosphere.

이 조성물은 높은 유전율 같은 바람직한 유전 물성이 여러 복합된 세라믹 선구물질 조성물을 결합하고 엄격하게 조절된 분위기에서 소결시킴으로서만이 얻어질 수 있는 종전 기술의 내용과는 실질적으로 다르다. 그것은 다층 세라믹 캐패시터의 제조원가를 현저하게 증가시키게 된다.This composition differs substantially from the prior art, which can only be achieved by combining several composite ceramic precursor compositions with desirable dielectric properties such as high dielectric constant and sintering in a tightly controlled atmosphere. This significantly increases the manufacturing cost of the multilayer ceramic capacitor.

본 발명의 세라믹 소결제는 소량의 레드 티타네이트 또는 금속의 은을 가진 또는 가지지 않은 레드 옥사이드, 마그네슘 옥사이드 및 나이오븀 펜톡사이드를 포함하는 베이스 세라믹 조합제의 성분 유전 산화물과 레드 옥사이드로 구성된 산화물 융제를 소성하는 과정중에 반응시킴으로서 얻어진다.The ceramic sintering agent of the present invention comprises an oxide flux consisting of a component dielectric oxide and red oxide of a base ceramic combination comprising red oxide, magnesium oxide and niobium pentoxide with or without a small amount of red titanate or metal silver. It is obtained by reacting in the process of baking.

본 발명에 사용된 베이스 세라믹 조합제를 제조하기 위하여 상기 기술된 비율로 마그네슘 옥사이드와 나이오븀 펜톡사이드를 물에 반죽한다. 건조후. 그 혼합물을 분쇄시키고 구워서 가루로 만들어 마그네슘 나이오 베이트를 형성한다.Magnesium oxide and niobium pentoxide are kneaded in water in the proportions described above to produce the base ceramic combination used in the present invention. after drying. The mixture is crushed and baked to powder to form magnesium niobate.

상기 기술된 비율로 마그네슘 나이오 베이트와 레드 옥사이드를 다시 물에 반죽한다. 건조후 그 혼합물을 분쇄시키고 다시 구워서 가루로 하여 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃의 베이스 세라믹 조성물을 만든다.Magnesium niobate and red oxide are kneaded again in water in the proportions described above. After drying, the mixture is pulverized and baked again to give a powdered base ceramic composition of Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ .

베이스 세라믹 조성물이 그때 혼합되고 반죽되어 레드 옥사이드 융제와 같이 원하는 입자 크기로 빻는다. 베이스 세라믹 조합제와 산화물 융제가 결합된 혼합물이 보통 방법을 사용하고 성형하여 시이트로 만들어 70% 이상의 은과 30% 이하의 팔라듐을 가진 내부 전극을 가진 다층 캐패시터 구조로 형성하고 900℃-1000℃ 온도에서 3시간 동안 소성시킨다.The base ceramic composition is then mixed and kneaded to grind to the desired particle size, such as a red oxide flux. A mixture of the base ceramic combination and the oxide flux is formed using a conventional method and molded into sheets to form a multilayer capacitor structure having an internal electrode having at least 70% silver and up to 30% palladium and a temperature of 900 ° C-1000 ° C. It is calcined for 3 hours at.

본 발명의 초전온에서 열처리 되는 유전 조성물은 25℃와 100VDC/mil에서 40,000ohm-farads 이상, 85℃와 100VDC/mil에서 2,000ohm-farads 이상, 125℃와 100VDC/mil에서 100ohm-farads 이상의 절연저항-캐패시턴스 상수(RC)를 가진다. 유전율은 전형적으로 1KHz와 1Volt rpms에서 14.000±2000이고 분산율은 전형적으로 1KHz와 1Volt rums에서 3% 이하이다.The dielectric composition heat-treated at the super-electric temperature of the present invention is more than 40,000ohm-farads at 25 ℃ and 100VDC / mil, at least 2,000ohm-farads at 85 ℃ and 100VDC / mil, insulation resistance of 100ohm-farads at 125 ℃ and 100VDC / mil -Have a capacitance constant (RC). The dielectric constant is typically 14.000 ± 2000 at 1 KHz and 1 Volt rpms and the dispersion is typically less than 3% at 1 KHz and 1 Volt rums.

본 발명은 다음의 실시예에서 더 예시되지만 꼭 그것으로 국한되는 것은 아니다.The invention is further illustrated in the following examples, but is not necessarily limited thereto.

하기 실시예에서 주어진 값은 종전 기술에서 공지된 계수에 따라 변화될 수 있다.The values given in the examples below can be varied according to coefficients known in the prior art.

예를 들면 실시예 1-26에 관해 분쇄, 빻음, 균일한 분산에 의해 또는 딴 방법으로는 출발 물질을 미세 입자로 줄임에 의해 유전율은 현저하게 증가될 수 있고 분산율은 현저하게 감소될 수 있다.For example, for Examples 1-26, the dielectric constant can be significantly increased and the dispersion rate can be significantly reduced by grinding, grinding, uniform dispersion or by alternatively reducing the starting material into fine particles.

세라믹 캐패시터를 제조하는 과정에서 보통 운반되는 그러한 입자는 실시예 1-26의 준비에서는 충분히 사용되지 않는다. 또한 소성 조건의 변화, 샘플의 두께 및 조합 및 측정 오차로 인하여 같은 조성물에 대해 측정된 값이 차이가 날 수 있다.Such particles, which are usually transported in the course of producing ceramic capacitors, are not sufficiently used in the preparation of Examples 1-26. In addition, the measured values for the same composition may vary due to variations in firing conditions, thickness and combination of samples and measurement errors.

따라서, 제조 기술에 따라 입자크기에 관계없이 실시예 1-26에서 주어진 비율을 사용하여 만들어진 세라믹 조성물 물성은 주어진 값에 따라 변화한다.Thus, depending on the manufacturing technique, regardless of the particle size, the ceramic composition properties made using the ratios given in Examples 1-26 vary depending on the given values.

예를 들면 유전율은 ±1000만큼 변화할 수 있고, 분산율은 ±0.2%만큼 변화할 수 있고 25℃에서 온도에 따른 캐패시턴스 변화도 즉, 온도계수(TC)는 ±1.5%만큼 변화할 수 있다.For example, the dielectric constant may vary by ± 1000, the dispersity may vary by ± 0.2%, and the capacitance change with temperature at 25 ° C., that is, the temperature coefficient TC may change by ± 1.5%.

본 발명의 바람직한 구체적 실시의 상세한 내용은 다음의 실지예에서 더 기술된다.Details of preferred specific embodiments of the present invention are further described in the following practical examples.

[실시예 5] Example 5

표 1에 나타낸 것과 같은 양의 MgO와 Nb₂O₅를 계량하여 300cc의 증류수에 혼합시켰다. 그 혼합물을 스펙스 인더스트리 인코오포레이티드(Spex Industries Inc. New Jersey)에서 제조된 고속의 스펙스 모델 800-2의 페인트 믹서에서 완전히 혼합시켰다. 습윤상태의 슬러리를 건조시켜 케이크로 만들고 빻아서 300메시의 금속 스크린을 통해 체질을 하였다.MgO and Nb ₂ O ₅ in the same amount as shown in Table 1 were weighed and mixed in 300 cc of distilled water. The mixture was thoroughly mixed in a paint mixer of the high speed Specs Model 800-2 manufactured by Spex Industries Inc. New Jersey. The wet slurry was dried into a cake, ground and sieved through a 300 mesh metal screen.

다음, 분말 혼합물을 950℃-1050℃ 온도에서 3-5시간 동안 구워서 가루로 만들었다. 구워서 가루로 된 것을 결정 구조를 X-레이 회절 기술로 분석하였다.The powder mixture was then baked at 950 ° C.-1050 ° C. for 3-5 hours to powder. The baked and powdered crystal structure was analyzed by X-ray diffraction technique.

표 1에 나타낸 결과는 실시예 4-5를 제외하고 과량의 Nb₂O₅또는 MgO 없이 완전한 반응 및 MgNb2O5의 생성을 나타내며 이것은 여럿의 확인되지 않은 상을 나타낸다.The results shown in Table 1 show the complete reaction and production of MgNb ₂ O ₅ without excess Nb ₂ O ₅ or MgO except for Examples 4-5, which shows several unidentified phases.

본 발명의 범위에 속하지 않는 4-5 같은 실시예는 이후는 "*"표로 붙여진다. MgO가 물이나 습기를 쉽게 흡수하여 Mg(OH)₂를 생성한다는 것은 통상 알려져 있다.Examples such as 4-5 that do not fall within the scope of the present invention are hereinafter referred to as "*" marks. It is commonly known that MgO readily absorbs water or moisture to produce Mg (OH) ₂ .

따라서 완전한 반응과 단일상의 MgNb₂O₅가 형성되는 MgO와 Nb₂O₅의 통상중량비는 주로 MgO의 실지 수분 강열 감량(Ignition loss)에 좌우된다. 실지 제조에 있어서는, MgO는 Pb₂O₅,와 반응하기전에 수화되어 Mg(OH)₂를 형성하거나 열처리되어 수분을 증발시킨다.Therefore, the normal weight ratio of MgO to Nb ₂ O _{5 in which} the complete reaction and MgNb ₂ O ₅ is formed is mainly dependent on the actual moisture loss of MgO. In field production, MgO is hydrated to react with Pb ₂ O ₅ , to form Mg (OH) ₂ or to be heat treated to evaporate moisture.

다른 방법에서는 MgCO₃가 원료로 사용된다. 실시예 1-5에서 제조된 Mg_1/3Nb_2/3O₂15g을 실시예 1-5에서 기술된 같은 방법으로 PbO 32.8g과 혼합시켰다. 분말 혼합물을 700℃-900℃에서 4시간 동안 구워서 가루로 만들었다. 구워서 가루로 된 것의 결정구조를 다시 X-레이 회절 기술로 분석하였다.In another method, MgCO ₃ is used as raw material. 15 g of Mg _1/3 Nb _2/3 O ₂ prepared in Example 1-5 were mixed with 32.8 g of PbO in the same manner as described in Example 1-5. The powder mixture was baked at 700 ° C.-900 ° C. for 4 hours to powder. The crystal structure of the baked and ground was analyzed again by X-ray diffraction technique.

본 발명의 범위밖인 실시예 1을 제외하고, 표 1에 나타난 결과는 완전한 반응과 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃의 생성을 나타내었다. 실시예 1의 결정구조는 대략 80Wt%의 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃와 2OWt%의 Pb₃Nb₄O₁₃으로 구성되어 있다. 파이로 클로르(pyrochlore)로 알려져 있는 후자의 결정상은 본 발명의 세라믹 조성물의 유전물성에 이롭지 못한것으로 알려져 있다.Except for Example 1, which is outside the scope of the present invention, the results shown in Table 1 show the complete reaction and the production of Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ . The crystal structure of Example 1 is composed of approximately 80 Wt% of Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ and 2OWt% of Pb ₃ Nb ₄ O ₁₃ . The latter crystalline phase, known as pyrochlore, is not known to benefit the dielectric properties of the ceramic composition of the present invention.

[실시예 6-14]Example 6-14

[표 1]TABLE 1

MgO 93g, Nb₂O₅521g을 증류수 900cc와 2시간 동안 혼합시켜 Mg_1/3Nb_2/3O₂614g을 제조하였다.93 g of MgO and 521 g of Nb ₂ O ₅ were mixed with 900 cc of distilled water for 2 hours to prepare 614 g of Mg _1/3 Nb _2/3 O ₂ .

습윤한 슬러리를 건조시켜 케이크로 만들고 분쇄시켜 1050℃에서 4시간 동안 구워 가루로 만들었다. 그분말 188.3g을 PbO 411.8g 및(W. P. Vanderbilt Co. Conn의 제품으로 구해질 수 있는 전해질, 암모니아 및 황의 혼합물로 구성된 알카리 이온이 없는 수용액의 분산제인) DAVAN C 분산제 7g과 섞어 지르코니아(zirconia 매체를 가진 러버 라인된 분쇄자(rubber lined mill jar)를 만들었다.The wet slurry was dried to a cake, ground and baked at 1050 ° C. for 4 hours to powder. 188.3 g of zirconia medium was mixed with 411.8 g of PbO and 7 g of DAVAN C dispersant (dispersant of an alkali-free aqueous solution consisting of a mixture of electrolyte, ammonia and sulfur, available from WP Vanderbilt Co. Conn). A rubber lined mill jar was made.

슬러리를 16시간 동안 빻았고 건조시켜 다시 분쇄시켰다. 분말 혼합물을 860℃에서 구워 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃를 생성하였다. 구워진 분말은 다시 분쇄되고 그 분말 570g을 370cc의 중류수와 5.5g의 DAVAN C 분산제와 섞어 지르코니아 매체를 가진 러버라인된 분쇄자를 만들었다. 슬러리를 분말 평균 입자크기가 1.2㎛ 이하가 될 때까지 빻았고 그 다음 건조시키고 다시 분쇄시켜 베이스 세라믹 조성물을 만들었다.The slurry was ground for 16 hours, dried and ground again. The powder mixture was baked at 860 ° C. to produce Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ . The baked powder was ground again and 570 g of the powder was mixed with 370 cc of middle water and 5.5 g of DAVAN C dispersant to form a rubberlined grinder with zirconia medium. The slurry was ground to a powder average particle size of 1.2 μm or less, then dried and ground again to form a base ceramic composition.

표 2에 나타낸 조성물 데이타에 따라 PbO 0.3g-4.1g을 10cc-l5cc의 증류수와 함께 상기 베이스 세라믹 조성물 30g 또는 20g에 넣었다. 슬러리를 그속 스펙스 페인트 믹서에서 10분 동안 완전히 혼합시켰다.According to the composition data shown in Table 2, 0.3 g-4.1 g of PbO was added to 30 g or 20 g of the base ceramic composition with 10 cc-l 5 cc of distilled water. The slurry was mixed thoroughly for 10 minutes in a specs paint mixer therein.

그 생성된 슬러리를 건조시켜 케이크로 만들고 막자사발(mortar)과 막자(pestle)로 빻았다. 26%의 물을 포함한 바인더 용액 2.4cc 또는 1.5cc, 26Wt%의 프로필렌 글리콜 및 48Wt%의 콘 시럽을 막자사발과 막자에서 혼합시켜 세라믹 분말로 만들고 그 다음 40메시 나일론 스크린을 통하여 과립상으로 만들었다, 1.27㎝의 직경과 0.1-0.15㎝의 두께를 가진 생성 혼합물 디스크를 스테인레스 스틸 다이에서 제곱인치 당 38,000lbs의 압력으로 압축되는 종전기술에서 잘 알려진 압축 기술에 의해 만들었다. 그 디스크를 안정화된 지르코니아 세터(zirconia setter)에 넣어 900℃-1000℃ 온도에서 3시간 동안 소성하였다.The resulting slurry was dried to make a cake and ground with a mortar and pestle. 2.4cc or 1.5cc binder solution containing 26% water, 26Wt% propylene glycol and 48Wt% corn syrup were mixed in a mortar and pestle into a ceramic powder and then granulated through a 40 mesh nylon screen. The resulting mixture disk, having a diameter of 1.27 cm and a thickness of 0.1-0.15 cm, was made by a compression technique well known in the art, which was compressed at a pressure of 38,000 lbs per square inch in a stainless steel die. The disks were placed in a stabilized zirconia setter and fired at 900 ° C.-1000 ° C. for 3 hours.

냉각후, 은 전극을 디스크위에 도포하고 그 다음 815℃ 온도하에 전극위에서 소결시켰다.After cooling, a silver electrode was applied onto the disc and then sintered on the electrode at 815 ° C. temperature.

캐패시턴스(C), 분산율(DF), 25℃에서 온도에 따른 캐패시턴스 변화도 즉, 온도계수(TC) 변화를 -55℃에서 +125℃까지 10℃ 간격으로 1KHz의 측정 진동수하에 모델 변호 ESI 2110A 캐패시턴스 브리지로 측정하였다. 그 다음 각 샘플의 유전율을 다음의 기본 캐패시턴스 방정식으로부터 계산하였다.Capacitance (C), dispersion rate (DF), capacitance change with temperature at 25 ° C, namely temperature coefficient (TC) change from -55 ° C to + 125 ° C at 10 ° C with a measurement frequency of 1KHz model defense ESI 2110A capacitance Measured by bridge. The dielectric constant of each sample was then calculated from the following basic capacitance equation.

여기서 K는 샘플의 유전율을 나타내고 t는 인치로 나타낸 디스크의 두께이며 D는 인치로 나타낸 디스크의 직경이다. C는 10-12×farads로 나타낸 디스크의 캐패시턴스이다.Where K is the dielectric constant of the sample, t is the thickness of the disk in inches and D is the diameter of the disk in inches. C is the capacitance of the disc, expressed as 10-12 x farads.

[표 2]TABLE 2

[표 3]TABLE 3

표3에 요약된 것과 같은 실시예 6-14의 유전 물성은 PbO가 적어도 약 0.05의 중량비율로 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃베이스 세라믹과 균일하게 혼합되었을때, 본 발명의 세라믹 조성물이 개방된 공기중에서 950℃ 이하의 온도에서 소결될 수 있다는 것을 나타내준다. 그렇게 하여 소결된 세라믹 디스크 샘플은 8500 이상의 유전율(K)과 0.5% 이하의 분산율(DF)을 갖는다.The dielectric properties of Examples 6-14, as summarized in Table 3, of the present invention when PbO was uniformly mixed with Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ base ceramic at a weight ratio of at least about 0.05 It shows that the ceramic composition can be sintered at temperatures below 950 ° C. in open air. The sintered ceramic disc sample thus has a dielectric constant (K) of at least 8500 and a dispersion rate (DF) of at most 0.5%.

실시예 6 및 7과 같이 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃에 대한 PbO의 중량비가 약 0.05보다 적을때 세라믹 조성을은 1000℃ 이하의 온도에서 소결될 수 없었다. 기존 문헌에 의하면 실시예 6 및 7과 같은 세라믹 조성물은 유용한 세라믹을 얻기 위해서는 Pb가 포화된 조건에서 1200℃ 이상의 높은 온도에서 소결되어야만 한다고 되어 있다.As in Examples 6 and 7, when the weight ratio of PbO to Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ was less than about 0.05, the ceramic composition could not be sintered at a temperature below 1000 ° C. The existing literature states that ceramic compositions such as Examples 6 and 7 must be sintered at high temperatures of 1200 ° C. or higher under saturated Pb to obtain useful ceramics.

실시예 4와 같이 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃에 대한 PbO의 중량비가 0.19보다 클때는 유전율에 더 이상의 개선이 없었다. 세라믹 유전 조성물에서의 과량의 PbO는 장기간의 안정성이 감소되게 한다.As in Example 4, when the weight ratio of PbO to Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ was greater than 0.19, there was no further improvement in permittivity. Excess PbO in the ceramic dielectric composition causes long term stability to be reduced.

실시예 8-13에 나타낸 세라믹 디스크 조성물의 유전물성은 그것들이 높은 유절율과 낮은 분산율 때문에 높은 부피 밀도를 가진 다층 세라믹 캐패시터(MLC)를 제조하는데에 세라믹 유전물질로 사용되는데 적합하다는 것을 나타내준다. 이 세라믹 조성물은 1000℃ 이하의 온도에서 소결될 수 있는 능력 때문에 높은 은 함량 즉, 은 80 : 팔라듐 20으로부터 은 100까지의 함량을 가지는 값싼 전극 물질로써 사용될 수 있다.The dielectric properties of the ceramic disk compositions shown in Examples 8-13 indicate that they are suitable for use as ceramic dielectric materials for making multilayer ceramic capacitors (MLC) with high bulk density because of their high oil flow rate and low dispersion rate. This ceramic composition can be used as an inexpensive electrode material with a high silver content, ie, from silver 80: palladium 20 to silver 100, due to its ability to sinter at temperatures up to 1000 ° C.

본 조성물의 또다른 이점은 간단한 킬른 장치로 개방된 대기에서 소결된다는 것을 포함한다.Another advantage of the composition includes sintering in an open atmosphere with a simple kiln apparatus.

[실시예 15-20] Example 15-20

표 4에 따라, 실시예 6-14에서 기술된 것과 같은 방법으로 MgNb₂O₆와 PbO를 혼합하고, 구워서 가루로 만들고, 평균입자 크기가 1.2㎛ 이하로 분쇄하여 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃/PbO 세라믹 베이스 조성물 600g을 만들었다. 이 베이스 세라믹 520g을 l2Wt%의 양인 PbO 62.4g과 워터 슬러리에서 균일하게 혼합하고, 건조시키고, 40메시 나일론 스크린을 통해 체질을 했다. 그 다음 생성된 세라믹 분말 500g을. 디옥틸프탈레이트 186g, (뉴우저어지에 있는 누오덱스 주식회사의 제품으로 구해질 수 있는 알칼리 이온을 포함하지 않은 유기 용매 분산제인) 누오스 타베(Nuostabe) V-144490g, 에탄올 597㎖, 톨루엔 270㎖을 균일하게 섞고(몬산도 코오포레이션사의 제품으로 구해질 수 있는 폴리 비닐 부티랄, 폴리 비닐 알콜 및 폴리 비닐 아세테이트의 혼합물로 구성된 바인더인) 부트바(Butvar) B-763 비닐레진 372g을 용해하여 만들어진 바인더용액 240g과 같이 1/2인치 알루미나 매체를 가진 보올 밀(ball mill)에 주입시켰다.According to Table 4, MgNb ₂ O ₆ and PbO were mixed, baked into powder in the same manner as described in Example 6-14, and ground to an average particle size of 1.2 μm or less, thereby Pb (Mg _1/3 Nb ₂ made _{/ ₃₎} O _{3 /} PbO ceramic base composition 600g. 520 g of this base ceramic was uniformly mixed in water slurry with 62.4 g of PbO in an amount of l2 Wt%, dried and sieved through a 40 mesh nylon screen. Then 500g of ceramic powder produced. 186 g of dioctylphthalate, an organic solvent dispersant containing no alkali ions available from Nuodex Co., New Jersey, V-144490 g of Nuostabe, 597 ml of ethanol, 270 ml of toluene Binder made by mixing 372 g of Butvar B-763 vinyl resin (a binder composed of a mixture of polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol and polyvinyl acetate, available from Monsando Corporation). It was injected into a ball mill with 1/2 inch alumina medium, such as 240 g of solution.

이 슬러리를 16시간 동안 분쇄하고 44미크론 스크린을 통해 여과시켰다. 1500-3000센티포와즈(CP)의 점도를 가진 이 슬러리를 통상 알려진 방법으로 탈기시키고 성형시켜 1.5mil의 두께를 가진 테이프로 만들었다.This slurry was ground for 16 hours and filtered through a 44 micron screen. This slurry, having a viscosity of 1500-3000 centipoise (CP), was degassed and molded by conventionally known methods to a tape with a thickness of 1.5 mils.

이 테이프를 산업계에서 잘 알려진 종래의 방법을 통하여 70%의 은과 30%의 팔라듐 또는 100%의 은 전극을 가진 다층 세라믹 캐패시터로 변형시켰다. 그 캐패시터를 48시간 동안 260℃ 온도로 예열시키고 안정화된 지르코니아 세터에 두고 900℃-960℃ 온도서 3시간 동안 소결시켰다. 소결된 캐패시터는 0.85-1.10mi1의 두께를 가진 10개의 활성 유전층을 가진다.The tape was transformed into a multilayer ceramic capacitor with 70% silver and 30% palladium or 100% silver electrodes through conventional methods well known in the industry. The capacitor was preheated to 260 ° C. for 48 hours and placed in a stabilized zirconia setter and sintered at 900 ° C.-960 ° C. for 3 hours. The sintered capacitor has ten active dielectric layers with a thickness of 0.85-1.10 mi1.

접착제에서의 은과 유리의 혼합물인 듀퐁 실버 페인트 번호 4822로된 단말 전극을, 교류 전극층을 연결하기 위하여 다층 캐패시터의 반대편 끝에 사용하였고 이 캐패시터를 터널노에서 열처리 하였으며 유전율(K), 분산율(DF), 25℃, 85℃ 및 125℃에서의 절연 저항 캐패시턴스 상수(RC), 온도에 따른 캐패시턴스 변화도 즉, 온도계수(TC)를 실시예 6-14에서 기술된 같은 기구로 측정하였다. 그 결과를 표 4에 나타내었다. -55℃에서 125℃까지 10℃ 증가마다 측정을 다시 하였다.A terminal electrode made of DuPont Silver Paint No. 4822, a mixture of silver and glass in the adhesive, was used at the opposite end of the multilayer capacitor to connect the alternating electrode layers. The insulation resistance capacitance constant (RC) at 25 ° C., 85 ° C. and 125 ° C., the capacitance change with temperature, ie the temperature coefficient TC, were measured by the same instrument described in Examples 6-14. The results are shown in Table 4. Measurements were repeated at every 10 ° C. increase from −55 ° C. to 125 ° C.

표 4와 5의 데이타는 실시예 15-20의 조성물이 12,000을 넘는 유전율과 낮은 분산율(DF) 및 높은 RC을 값을 갖는다는 것을 나타내었다. 이 조성물은 순은을 MLC 전극용으로 사용하게 되면서 920℃의 낮은 온도하에 개방된 대기에서 소성되어 질수 있다.The data in Tables 4 and 5 showed that the compositions of Examples 15-20 had values of dielectric constants over 12,000, low dispersion (DF) and high RC. The composition can be calcined in an open atmosphere under a low temperature of 920 ° C. while using pure silver for MLC electrodes.

[표 4]TABLE 4

[표 5]TABLE 5

[실시예 21-26] Example 21-26

실시예 6-14에 기술된 같은 방법으로 MgNb₂O₆, PbO, PbTiO₃및 금속의 은을 혼합하고, 구워서 가루로 만들고, 평균 입자 크기가 1.2㎛ 이하까지 분쇄한후 베이스 세라믹 조성물 600g을 만들었다. 베이스세라믹 520g을 l2Wt% 양인 62.4g의 PbO와 워터 슬러리에서 균일하게 섞고 건조시키고 40메시 나일론 스크린을 통하여 체질을 했다In the same manner as described in Examples 6-14, MgNb ₂ O ₆ , PbO, PbTiO ₃ and silver of metals were mixed, baked and ground, and ground to an average particle size of 1.2 μm or less to make 600 g of the base ceramic composition. . 520 g of base ceramic was uniformly mixed, dried and sieved through a 40 mesh nylon screen in water slurry with 62.4 g of PbO in l2Wt%.

상기 세라믹 조합제 500g을 실시예 15-20에서 기술된 것과 같은 절차로 은 70% 팔라듐 30% 또는 은 100%의 내부 전극과 같이 MLC 유니트를 조립하는데 사용하였다. 조성물과 제조된 MLC 유니트의 유전물성을 표 6과 7에 요약하였다.500 g of the ceramic combination was used to assemble the MLC unit with an internal electrode of silver 70% palladium 30% or silver 100% in the same procedure as described in Examples 15-20. Dielectric properties of the composition and the prepared MLC unit are summarized in Tables 6 and 7.

실시예 21-23은 PbTiO3가 구워져서 가루로 되어 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃의 세라믹 베이스 조성물로 될때 실시예 15에 비교되는 것처럼 유전율이 증가하고 흔히 최대의 유전율이 생기는 "큐리 온도(CurieTemperature)" 또는 "리렉세이션 피크(Relaxation Peak)"로 기술되는 온도가 높은 온도로 이동된다.Examples 21-23 show increased dielectric constants and often maximum dielectric constants as compared to Example 15 when PbTiO3 is baked and pulverized into a ceramic base composition of Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ . The temperature described as "CurieTemperature" or "Relaxation Peak" is moved to a higher temperature.

따라서 세라믹의 유전 특성이 특정 MLC 응용에 대해 변경될 수 있다. 그러나 실시예 23과 같은 테스트한 조성 물에서 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃에 대한 PbTiO₃의 중량비가 0.05보다 크면, 분산율은 3%보다 크게된다.Thus, the dielectric properties of the ceramic can be altered for certain MLC applications. However, if the weight ratio of PbTiO ₃ to Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ in the tested composition as in Example 23 is greater than 0.05, the dispersion ratio is greater than 3%.

또한 실시예 24-26으로부터 금속의 은이 구워져서 가루로 되어 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃의 세라믹 베이스 조성물로 될때 절연 저항 및 MLC 캐패시터의 RC 상수는 실시예 15에 비교되는 것처럼 현저하게 증가된다는 것을 알수 있을 것이다.In addition, when the silver of the metal is baked and powdered from Example 24-26 to form a ceramic base composition of Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O _3, the insulation resistance and the RC constant of the MLC capacitor are as compared with Example 15. You will see a significant increase.

실시예 15와 21에서 나타낸 것처럼 은성분이 더 많은 내부 전극이 사용되면 절연 저항도 같이 증가한다는 것을 역시 알수 있다. 그러나 실시예 26과 같이 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃에 대한 은(Ag)의 중량비가 0.01보다 크면 더 이상의 개선이 되지 않는다는 것을 알수 있다. 이 조성물에 은을 더 넣는 것은 단지 세라믹 유전 조성물의 제조 원가를 증가시키게 된다.It can also be seen that as shown in Examples 15 and 21, the insulation resistance also increases with the use of an internal electrode with more silver. However, as in Example 26, if the weight ratio of silver (Ag) to Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ is greater than 0.01, it can be seen that no further improvement. Adding more silver to this composition would only increase the manufacturing cost of the ceramic dielectric composition.

실시예 l5-20의 조성물과 물성의 데이타를 아래표 6 및 7에 요약하였다.Data of the compositions and physical properties of Examples l5-20 are summarized in Tables 6 and 7 below.

[표 6]TABLE 6

[표 7]TABLE 7

Claims

a) 81.5-95Wt%의 Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃와 5-18.5Wt%의 레드 옥사이드를 혼합하여 여럿의 유전층을 형성하고, b) 그 혼합물을 압착하고 1000℃ 이하의 온도에서 소성하고, c) 유전층 사이에서 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 세라믹 캐패시터의 제조방법.a) Mixing 81.5-95 Wt% Pb (Mg _1/3 Nb _2/3 ) O ₃ with 5-18.5Wt% red oxide to form several dielectric layers, b) Compressing the mixture and pressing below 1000 ° C Firing at a temperature, and c) forming electrodes between the dielectric layers.

제1항의 방법에 의해 제조되는 다층 세라믹 캐패시터.A multilayer ceramic capacitor produced by the method of claim 1.