KR860000559A - 가스센서 및 그 제조법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

가스센서 및 그 제조법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본원 발명의 가스센서의 일례를 나타낸 설명 사시도. 제3도는 제2도에 나타낸 가스센서의 감응부의 분확대 단면도. 제8도는 본원 발명 가스센서의 센서응답속도를 나타낸 선도. 제9도는 본원 발명 가스센서의 내구성을 나타낸 선도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
(1):알루미늄질기관 (2):부착유지기구 (3):전극 (4):산화티탄감응체.

Claims (10)

  1. 전기절연성기판상에 평행하게 배설하는 한쌍의 전극과, 이 한쌍의 전극의 일단부간에 전기적으로 개장하는 감응체피막과, 이 감응체피막상의 일부와 한쌍의 전극의 타단부상을 피착하는 보호피막으로 이루어진 가스센서에 있어서, 상기 감응체피막은 기판과의 사이에 확산반응층을 갖는 동시에, 표면부에 미세한 홈을 형성하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가스센서.
  2. 확산감응피막은 0.1∼5㎛ 께로 이루어지는 특허청구의 범위 1 기재의 가스센서.
  3. 감응피막은 10∼100㎛ 두께로 이루어지는 특허청구의 범위 1 기재의 가스센서.
  4. 상기 감응체피막은 대기중에서 100㏁ 이상의 저항을 갖는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 가스센서.
  5. 상기 보호피막이 내열성 및 전기절연성을 가지며, 전극간의 간격보다 넓은 감응체피막의 일부와 특허청구의 범위 1 기재의 가스센서.
  6. 보호피막은 감응체피막으로 피복된 개개의 전극에 일개단부가 침적된 보호피막과 접속되지 않도록 상기 전극에 침적되는 특허청구의 범위 1 기재의 가스센서.
  7. 전기절연성기판에 인쇄법에 의해 2개 이상의 전극을 형성하고, 이 전극의 선단부분에 감응체피막을 입혀 붙이며, 감응체피막의 일부 및 다른 전극상에 내열성 및 전기절연성의 보호피막을 복설(復設)하여 가스센서를 제조하는 방법에 있어서, 상기 감응체피막은 전기절연성기판상에 플라즈마용사법에 의해 화학량론적으로 준안정(准案定)의 TiO2-X의 피막을 형성한 다음, 이 피막에 열처리를 하여 기판과의 확산반응층을 형성하는 동시에, 최소한 표면부를 안정된 산화티탄으로서 미세한 흠을 분산시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법.
  8. TiO2-X피막은 수소 및 아르곤가스의 분위기내에서 기체위에 산화티탄의 플라즈마용사에 의하여 형성되는 특허청구의 범위 7 기재의 가스센서의 제조방법.
  9. 열처리는 산소가스를 포함하는 분위기내에서 이루어지는 특허청구의 범위 7 기재의 가스센서의 제조방법.
  10. 열처리는 최소한 1000℃의 온도 및 산화티탄 및 기판재료의 융점이하의 온도에서 이루어지는 특허 청구의 범위 7 기재의 가스센서 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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