KR830009502A - 초점 검출방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

초점 검출방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제15도는 본 발명에 관한 초점검출장치의 다른 실시예의 도면.

Claims (22)

  1. 광빔이 대물렌즈에 의해 집속될 물체에 관해 대물렌즈의 초점오차 신호를 발생하는 방법이 물체에 의해 반사된 광빔의 적어도 일부를 프리즘에 입사하고 프리즘의 굴절률과 다른 굴절률을 가지는 얇은 막과 임계각과 실질적으로 동일한 입사각에서 공기와의 사이의 경계면으로 입사하며 상기 경계면에 의해 반사된 광빔을 검출하여 초점 오차 신호를 유도하는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  2. 제1항에 있어서 상기 얇은 막의 두께는 얇은 막의 상하면에 의해 반사된 광선 사이의 위상차가 반파장의 홀수배가 되도록 결정되는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  3. 제1항에 있어서 상기 광빔이 프리즘과 얇은 막 사이에 있는 적어도 한개의 부가의 얇은 막에 입사되는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  4. 제3항에 있어서 상기 얇은 막이 교대로 비교적 작고 큰 굴절률을 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출 방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 얇은 막이 각각의 얇은 막의 상하면 사이의 위상차가 반파장의 홀수의 정수배가 되도록 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 얇은 막이 프리즘의 굴절률보다 더 큰 굴절률을 가지는 재료로 제작되고 P편광빔이 프리즘과 얇은 막에 입사되는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  7. 제1항에 있어서 상기 얇은 막이 프리즘의 굴절률보다 더 낮은 굴절률을 가지는 재료로 제작되고 S편광 광빔이 프리즘과 얇은 막에 입사되는 것을 특징으로 하는 초점검출방법.
  8. 광빔이 대물렌즈에 의해 집속될 물체에 관해 대물렌즈의 초점 오차 신호를 유도하는 장치가 물체에 의해 반사되고 대물렌즈에 의해 집속된 광빔의 적어도 일부를 수광하게 배치된 프리즘과 상기 프리즘에 가해지고 프리즘의 굴절률과 다른 귤절률을 가지는 물질로 제작된 1개의 얇은 막과 상기의 얇은 막과 공기 사이의 경계면에 의해 반사된 광빔을 수광하고 초점 오차 신호를 유도하게 배치된 광검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 얇은 막이 프리즘의 굴절률보다 더 큰 굴절률을 가지는 물질로 제작되고 프리즘에 입사한 상기 광빔이 P편광 광인 것인 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  10. 제9항에 있어서 적어도 1개의 부가의 얇은 막이 프리즘과 얇은 막 사이에 삽입된 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  11. 제10항에 있어서 프리즘의 굴절률보다 더 작은 굴절률을 가지는 적어도 한개의 부가의 얇은 막이 프리즘과 얇은 막 사이에 삽입된 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  12. 제10항에 있어서 상기의 부가의 얇은 막이 교대로 프리즘의 굴절률보다 비교적 크고 작은 굴절률을 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  13. 제8 내지 12항 중 어는 한 항에 있어서 얇은 막은 얇은 막의 상하면에 의해 반사된 광선 사이의 위상차가 반파장의 홀수의 정수배가 되도록 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  14. 제8항에 있어서 상기의 얇은 막이 프리즘의 굴절률보다 더 작은 굴절률을 가지며 사기 광범이 S편광 된 것을 특징으로 하는 초점장치.
  15. 제14항에 있어서 적어도 한개의 부가의 얇은 막이 프리즘과 얇은 막 사이에 삽입된 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  16. 제15항에 있어서 프리즘의 굴절률보다 더 큰 쿨절률을 가지는 적어도 한개의 얇은 막이 프리즘과 제1의 부가의 얇은 막 사이에 삽입된 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기의 부가의 얇은 막이 교대로 프리즘의 굴절률보다 비교적 작고 큰 반사율을 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  18. 제14 내지 17항 중 어느 한 항에 있어서 얇은 막이 얇은 막의 상하면에 의해 반사된 광선 사이의 위상차가 반파장의 홀수의 정수배가 되도록 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  19. 제9항에 있어서, 상기 프리즘이 1.76의 굴절률을 가지는 SF 11 유리로 제작되고 상기 얇은 막은 2.5의 굴절률을 가지는 TiO2로 제작되는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  20. 제12항에 있어서 상기 프리즘이 1.76의 굴절률을 가지는 SF 11 유리로 제작되고 비교적 큰 굴절률을 가지는 상기 얇은 막은 각각 2.5의 굴절률을 가지는 TiO2와 1.4의 굴절률을 가지는 MgF2로 제작되는 것을 특징으로 하는 초점검출장치.
  21. 제14항에 있어서 상기 프리즘이 1.51의 굴절률을 갖는 유리로 제작되며 상기 얇은 막은 1.4의 굴절률을 갖는 MgF2로 제작됨을 특징으로 하는 초점검출장치.
  22. 제17항에 있어서 상기보다 크고 보다 작은 굴절률의 얇은 막이 2.5의 굴절률을 갖는 TiO2와 1.4의 굴절률을 갖는 MgF2로 제작됨을 특징으로 하는 초점검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR8200249A 1981-01-22 1982-01-21 The method and apparatus for detecting a focussing error signal of objective lens KR850001924B1 (en)

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