KR830006677A - 적외선 막 두께측정기 - Google Patents

적외선 막 두께측정기 Download PDF

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KR830006677A
KR830006677A KR1019810001886A KR810001886A KR830006677A KR 830006677 A KR830006677 A KR 830006677A KR 1019810001886 A KR1019810001886 A KR 1019810001886A KR 810001886 A KR810001886 A KR 810001886A KR 830006677 A KR830006677 A KR 830006677A
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convex
reflecting mirror
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KR1019810001886A
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무쯔오 사와구찌
다까부미 후모도
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시시도 후꾸시게
후지덴기 세이조오 가부시기 가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

적외선 필름 두께 측정기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 적외선 막 두께측정기예의 횡단면 개요도.

Claims (9)

  1. 박막두께를 측정하는 측정기에 있어서 상기 막의 한쪽에 위치한 적외선원과, 상기 적외선원과 상기 필림간에 회전가능하도록 설치된 최소2개의 구멍을 가진 원판과, 적외선을 여과시키기 위해 상기 원판상의 구멍위에 배치된 대역필터와, 상기 막과 직면한 반사면을 갖고, 그안에 구멍이 있고, 상기 적외선원과 상기 막간에 배치되어, 이에 의해 적외선이 상기 구멍을 통과하도록 된 모목반구형 반사경과, 상기 막과 상기 오목반사경간에 위치하고, 상기 오목반사경과 직면된 볼록반사면을 갖는 볼록반사경과, 상기 적외선을 감응하기 위한 수단을 갖고, 상기 적외선원으로부터 상기 막의 양측에 배치된 광집광안내와를 구비하는 것을 특징으로 하는 적외선 막 두께측정기.
  2. 상기 볼록반사경은 반구형 반사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항에 기재된 측정기.
  3. 상기 볼록반사경은 반구형 반사면의 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항에 기재된 측정기.
  4. 상기 볼록반사경은 원추형 반사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항에 기재된 측정기.
  5. 상기 볼록반사경은 상기 오목반사경의 중심근처에 배치하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1, 제2,3 또는 4항에 기재된 측정기.
  6. 그외에 상기 적외선을 집광하기 위한 상기 적외선원과 상기 오목반사경간에 배치된 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1,2,3 또는 4항에 기재된 측정기.
  7. 상기 오목반사경내의 구경중심과 상기 볼록반사경면의 중심이 상기 렌즈의 축과 배열된 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제6항에 기재된 측정기.
  8. 상기 집광안내는 상기 원추면의 정점에 위치한 상기 적외선 감응수단을 갖는 원추반사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1,2,3 또는 4항에 기재된 측정기.
  9. 상기 집광안내의 개단직경이 상기 오목반사경의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제8항에 기재된 측정기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019810001886A 1980-05-30 1981-05-28 적외선 필름 두께 측정기 KR840002359B1 (ko)

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JP71054 1980-05-30
JP7150480A JPS6047964B2 (ja) 1980-05-30 1980-05-30 赤外線膜厚計
JP55177184A JPS57101709A (en) 1980-12-17 1980-12-17 Film thickness gauge with infrared ray
JP55-177184 1980-12-17

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KR830006677A true KR830006677A (ko) 1983-10-06
KR840002359B1 KR840002359B1 (ko) 1984-12-21

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3728705A1 (de) * 1987-08-28 1989-03-09 Agfa Gevaert Ag Vorrichtung zur ueberpruefung von beschichteten und unbeschichteten folien
DE3728704A1 (de) * 1987-08-28 1989-03-09 Agfa Gevaert Ag Vorrichtung zur bestimmung der dicke von schichttraegern
DE8907969U1 (de) * 1989-06-29 1989-09-14 LRE Relais + Elektronik GmbH, 8000 München Optische Mehrkanal-Meßvorrichtung für die Analyse von Teststreifen
US5835200A (en) * 1990-04-24 1998-11-10 Gersan Establishment Method and apparatus for examining an object
JPH0487408U (ko) * 1990-12-11 1992-07-29
DE102005025848B3 (de) * 2005-06-06 2007-02-15 Protagon Process Technologies Gmbh Optische Messvorrichtung und Verwendung der Messvorrichtung zur Messung von Beschichtungen auf organischer- und/oder Polymer-Basis
JP2019015604A (ja) * 2017-07-06 2019-01-31 横河電機株式会社 測定装置
JP2019082496A (ja) * 2019-03-11 2019-05-30 列真株式会社 欠陥検査装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4027161A (en) * 1976-04-05 1977-05-31 Industrial Nucleonics Corporation Minimizing wave interference effects on the measurement of thin films having specular surfaces using infrared radiation

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KR840002359B1 (ko) 1984-12-21
JPS57101709A (en) 1982-06-24
DE3149709A1 (de) 1982-06-24

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