KR20230148978A - 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 - Google Patents
복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230148978A KR20230148978A KR1020220048026A KR20220048026A KR20230148978A KR 20230148978 A KR20230148978 A KR 20230148978A KR 1020220048026 A KR1020220048026 A KR 1020220048026A KR 20220048026 A KR20220048026 A KR 20220048026A KR 20230148978 A KR20230148978 A KR 20230148978A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- optical film
- unit
- film
- inspection device
- films
- Prior art date
Links
- 239000012788 optical film Substances 0.000 title claims abstract description 262
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 126
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 122
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 2
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- -1 dents Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8835—Adjustable illumination, e.g. software adjustable screen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
Landscapes
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
본 발명은 광학필름 검사 장치에 관한 것으로, 하부 프레임 유닛(110); 슬라이드 스테이지 유닛(120); 카메라 및 조명 구동 유닛(140); 상부 커버 유닛(150); 및 검사 장치 내 각 구성의 동작을 제어하고, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 촬영된 영상을 기반으로 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘을 포함하는 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 검사결과를 도출하는 제어용 유닛(170);를 포함하며, 광학필름 검사 시 상기 조명 모듈(142)이 상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름의 표면을 향해 소정 기울기 각도로 조명을 조사하고, 상기 카메라 모듈(141)이 상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름의 표면에서 수직방향으로 반사되는 반사광을 수광하며, 결함에 대응하는 반사광이 수광된 위치를 기반으로, 다수개의 필름이 적층된 광학필름 내에서 결함이 발생한 층과 그 위치를 검출할 수 있는 광학필름 검사 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 디스플레이 등에 이용되는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘 등의 결함을 검사하며, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 측정하는 장치에 있어서, 검사 대상 광학필름을 평탄화시킨 후, 광학필름 상에서 가로(X축) 및 세로(Y측) 방향으로 구동하는 조명과 카메라를 이용하여 검사를 수행함으로써, 광학필름의 검사 신뢰도를 향상시킨 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치에 관한 것이다.
LCD 등의 디스플레이 패널에는 굴절/반사를 통해 빛의 방향을 전면을 향하게 하여 낭비되는 빛을 최소화 하고 화면을 밝게 하는 역할로서, 반사판, 프리즘시트, 보호 시트 등의 다양한 광학필름들이 사용되어 빛의 휘도를 높이는 기능을 한다.
상기와 같이 광학필름은 복수의 필름이 적층된 형태로 구성되는데, 각 층상 및 층간에 이물, 오염, 흑점, 겔, 오일, 탄화물, 피쉬아이, 핀홀, 스크래치, 찍힘 등의 결함이 발생할 경우, 이와 같은 결함이 발생 하지 않도록 하는 공정관리와 압출 다이의 수지 개선 및 기계조건 개선 등 품질관리와 함께 생산성향상을 위해 결함 검사 장치의 설치 필요가 요구되고 있다.
일반적인 광학필름 검사 장치는 기본적으로 투광기, 수광기 및 신호처리부로 구성되며, 상기 투광기는 피검사재 표면에 광을 조사하는 것으로, 일반적으로 형광등(고주파)을 광원으로 사용한다. 검사하는 피검사재와 결점에 따라 빛을 비추는 방법도 달라진다. 투광 방식에는, 투과방식, 난반사방식, 정반사방식과 이런 방식을 조합한 콤비네이션 방식이 있다. 상기 수광기는 투광기로 비춰진 빛이 피검사재 표면의 정보를 CCD 라인 센터 영상신호로 변화하여 신호 처리부로 출력한다. 카메라 대수는 최소 결점 검출 사이즈로 결정한다. 상기 신호처리부에서는 상기 수광기로부터 보내온 영상신호를 처리하여, 결점을 판정하고, 결점 검출 시에는 표시등 및 경보 울림 장치 등의 알람 장치를 통해 결점 판정 결과를 출력할 수도 있다.
이와 같은, 광학필름 검사 장치 기술분야의 선행기술로서, 한국공개특허공보 10-2017-0010675(2017.02.01. 공개일)는 광학필름 공급롤; 광학필름 권취롤; 상기 광학필름 공급롤로부터 상기 광학필름 권취롤로 진행하는 광학필름의 적어도 일면에 위치하고, 에어 배출홀과 에어 흡입홀이 구비된 1 이상의 플레이트; 및 상기 플레이트와 광학필름 권취롤 사이 또는 2 이상의 플레이트 사이에 위치하고, 광원과 상기 광원을 이용하여 상기 광학필름의 영상을 획득하는 카메라를 포함하는 검사유닛을 포함하는 것인 광학필름 검사장치를 개시하고 있고, 또한 한국공개특허공보 10-2010-0025082(2010.03.09. 공개일)는 광학필름의 투과검사를 위해 광원과 마주보 는 위치에 설치되는 촬상수단을 광학필름에 대해 평행한 방향으로 일정한 거리로 이격시켜 설치하여 광원으로부터 조사된 경사광과 수직광을 동시에 수광하여 이물을 검출할 수 있는 광학필름의 검사장치를 개시하고 있으며, 또한 한국등록특허공보 10-2102610(2020.04.21. 공고일)은 디스플레이의 제조 공정 중 상기 디스플레이 보호 필름의 표면을 촬영하여 획득한 이미지를 분석하고, 상기 디스플레이 보호 필름의 표면에 형성된 손상 또는 비정질성의 얼룩을 검사하여 검출하는 디스플레이 보호 필름 얼룩 검사장치를 개시하고 있다.
그러나, 상기와 같은 종래 광학필름 검사 장치는 다층 구조의 광학필름에서 결함 위치를 정확하게 검사하는데 한계가 있었다. 본 발명은 이와 같은 실정에 따라 다층 구조의 광학필름의 결함을 검사하는 데 있어서, 결함 검사 결과의 신뢰도를 높이고, 결함 발생 위치를 정확하게 검출할 수 있는 새로운 광학필름 검사 장치를 제시하고자 한다.
본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 창작된 것으로, 디스플레이 등에 이용되는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘 등의 결함과 필름 사이즈 및 표면 경사각을 검사하는 장치에 있어서, 결함 검사 결과의 신뢰도를 높이고, 결함 발생 위치를 정확하게 검출할 수 있는 광학필름 검사 장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명은 광학필름 검사 시, 진공 압착 수단을 이용하여 광학필름을 압착하여 평탄화 시킨 후 검사를 수행함으로써, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 광학필름 검사 장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 광학필름 검사 시, 광학필름 상부 표면을 향해 소정 기울기 각도로 조명을 조사하고, 이에 반사되는 빛을 광학필름 상부 표면으로부터 수직 상부 방향에 구비된 카메라부에서 수광하는 방식을 이용하여, 다수개의 필름이 적층된 광학필름 내에서 결함발생 위치를 정확하게 검사할 수 있는 광학필름 검사 장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 조명과 카메라가 광학필름 상부 위치에서 가로(X축) 및 세로(Y측) 방향으로 구동하는 방식으로 광학필름 구역 전체를 검사할 수 있도록 설계된 광학필름 검사 장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치에 있어서, 상기 광학필름 검사 장치의 최하부에 위치하는, 하부 프레임 유닛(110); 상기 광학필름 검사 장치의 내부로 삽입되어 상기 하부 프레임 유닛(110) 상부면에 안착될 수 있으며, 광학필름을 장착시킬 수 있는 광학필름 장착수단(123)을 포함하는, 슬라이드 스테이지 유닛(120); 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에서 수직 상방향으로 소정의 간격 이격되어 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)이 위치하고, 상기 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)이 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 X축 로봇(143) 및 Y축 로봇(144)을 포함하는 카메라 및 조명 구동 유닛(140); 및 상기 광학필름 검사 장치에 포함된 각 구성의 동작을 제어하고, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 촬영된 영상을 기반으로 검사결과를 도출하는 제어용 유닛(170);을 포함하며, 광학필름 검사 시 상기 조명 모듈(142)이 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 장착된 광학필름의 표면을 향해 조명을 조사하고, 상기 카메라 모듈(141)이 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 장착된 광학필름의 표면에서 반사되는 반사광을 수광하며, 결함에 대응하는 반사광이 수광된 위치를 기반으로, 복수의 필름이 적층된 광학필름 내에서 결함이 발생한 층과 그 위치를 검출할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)은, 광학필름 검사전 정전기를 방지하기 위한 이오나이저(121); 및/또는 광학필름을 정렬시키기 위한 적어도 하나 이상의 얼라인 가이드(122);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)과 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140) 사이에 위치하고, 업/다운으로 이동하여 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상에 장착되는 광학필름을 진공방식으로 압착 및 평탄화시키는 업다운 스테이지 유닛(130);을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 업다운 스테이지 유닛(130)은, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)을 업/다운시키는 실린더(131)를 포함하며, 상기 슬라이드 스테이지에 장착된 광학필름 면과 수직으로 맞닿는 필름커버(132)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 업다운 스테이지 유닛(130)은, 상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름과 맞닿는 필름커버(132)의 테두리를 따라 진공용 씰(seal)이 구비되며, 진공 압력으로 상기 필름커버(132)가 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상의 광학필름에 밀착되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 필름 흡착부(124-3)를 통해 상기 광학필름 장착수단(123) 상에 장착된 광학필름의 상부 표면을 흡착한 후 상기 필름 흡착부(124-3)의 일단에 연결되는 회전 실린더(124-1) 및 상승/하강 실린더(124-2)에 의해 상승하는 방식으로 광학필름을 상기 광학필름 장착수단(123)의 상부 방향으로 소정 거리 이격시키는 필름 흡착 유닛(124); 및 상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 상기 필름 흡착 유닛(124)에 의해 상기 광학필름 장착수단(123)의 상부 방향으로 소정 거리 이격된 광학필름의 모서리 방향 상하부면을 그립하여 광학필름을 고정시키는 필름 그립 유닛(125);을 포함하며, 상기 필름 그립 유닛(125)은 광학필름에 소정의 장력을 가하여 광학필름을 평탄화 시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 필름 흡착 유닛(124)은, 상기 광학필름 장착수단(123) 상에 광학필름 장착시, 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 상기 광학필름 상부방향으로 이동되고, 상기 상승/하강 실린더(124-2)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 하강하여 광학필름을 흡착한 후 상승하며, 상기 필름 그립 유닛(125)이 광학필름을 그립한 후 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 광학필름 상부방향의 바깥방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 필름 그립 유닛(125)은, 각각 독립적으로 구동가능한 좌측 그립 유닛(125-1);및 우측 그립 유닛(125-2);을 포함하며, 광학필름 검사시 상기 좌측 그립 유닛(125-1)과 우측 그립 유닛(125-1)이 교대로 광학필름을 그립하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 검사 장치의 상부를 밀폐하기 위하여 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 소정 거리 이격되어 상부에 구비되는, 상부 커버 유닛(150);을 포함하고, 상기 상부 커버 유닛(150)에 구비되어 팬 필터 방식으로 상기 검사 장치 내부의 이물을 흡착 배출하는 팬 필터 유닛(160);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)는, 상기 카메라 모듈(141)의 이동 정보 또는 좌표 정보를 측정하기 위한 카메라 이동거리 측정모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 제어용 유닛(170)은, 상기 카메라 이동거리 측정모듈로부터 카메라 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 조명 모듈(142)의 이동 및 조명 조사 제어와, 카메라 모듈(141)의 이동 및 촬영 제어를 포함하는 카메라 및 조명 구동 유닛(140)의 제어를 수행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 제어용 유닛(170)은, 상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상 데이터를 분석하여, 조명의 빛이 광학필름을 통과할 때 결함에 반사되는 위치에 따라 결함이 발생한 필름 층의 위치를 검출하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 검사결과는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘을 포함하는 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 제어용 유닛(170)은, 상기 검사 장치 내 각 구성에 대한 제어신호를 입력하는 제어신호 입력수단; 및 상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상과, 광학필름 내 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 검사결과를 출력하는 검사결과 출력수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예로서, 상기 제어신호 입력수단과 검사결과 출력수단은, 터치스크린 패널인 것을 특징으로 하는 특징으로 한다.
본 발명에 따른 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치는 진공 압착 수단을 이용하여 광학필름을 압착하여 평탄화 시킨 후, 조명을 조사하여 검사를 수행함으로써, 광학필름 각 층에 존재하는 이물, 찍힘 및 긁힘 등의 결함과 그 위치를 판독하고, 필름 사이즈 및 표면 경사각 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에 대해 설명하기 위한 분해도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 광학필름 검사시 장치 구동에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 업다운 스테이지 유닛(130)의 형상에 대해 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에서의 광학필름 밀착 방식에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛 및 필름 그립 유닛에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛과 필름 그립 유닛의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 그립 유닛의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에 대해 설명하기 위한 분해도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 광학필름 검사시 장치 구동에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 업다운 스테이지 유닛(130)의 형상에 대해 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에서의 광학필름 밀착 방식에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛 및 필름 그립 유닛에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛과 필름 그립 유닛의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 그립 유닛의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명의 각 도면에 있어서, 구조물들의 사이즈나 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이고, 특징적 구성이 드러나도록 공지의 구성들은 생략하여 도시하였으므로 도면으로 한정하지는 아니한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대한 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명은 디스플레이 등에 이용되는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘 등의 결함을 검사하며, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 측정하는 장치에 있어서, 검사 대상 광학필름을 평탄화시킨 후, 광학필름 상에서 가로(X축) 및 세로(Y측) 방향으로 구동하는 조명과 카메라를 이용하여 검사를 수행함으로써, 광학필름의 검사 신뢰도를 향상시킨 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치에 관한 것으로, 특히 다수개의 필름이 적층된 광학필름 내에서 결함이 발생한 층과 그 위치를 검출할 수 있는 광학필름 검사 장치에 관한 것이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 스크린마스크 검사 장치의 구성 및 작동원리에 관해 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에 대해 설명하기 위한 분해도이다.
이에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치는 하부 프레임 유닛(110); 슬라이드 스테이지 유닛(120); 카메라 및 조명 구동 유닛(140); 상부 커버 유닛(150); 팬 필터 유닛(160); 및 제어용 유닛(170)을 포함한다.
상기 하부 프레임 유닛(110)은 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치를 지지하기 위한 하부 프레임이며, 검사 장치 전체의 높이 및 평탄도를 조절할 수 있는 높이 조절수단이 프레임 하부면의 각 모서리에 구비될 수도 있는 구조를 가진다.
상기 하부 프레임 유닛(110)의 내부는 상기 광학필름 검사 장치의 각 구성의 구동을 지원하기 위한 모터, 배터리, 컴퓨터 수단 등이 장착되는 내부공간을 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)은 검사를 위하여 광학필름이 장착되는 것으로서, 상기 하부 프레임 유닛(110) 상부에 구비되며, 광학필름을 장착시킬 수 있는 광학필름 장착수단(123)이 포함된다. 이때 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)의 광학필름 장착수단(123)에 광학필름이 광학필름 검사기 내부 혹은 외부에서 장착될 수 있다. 한편 외부에서 장착이 이루어진 후에, 내부로 삽입이 쉽게 이루어질 수 있도록 슬라이드 방식을 이용하여 상기 광학필름 검사 장치의 외부와 내부로 인/아웃 될 수 있는 구조를 가질 수도 있다.
또한, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에서 수직 상방향으로 소정의 간격 이격되어 위치하는 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)은, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상의 광학필름을 검사하는 것으로서, 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)을 포함하며, 상기 카메라 모듈(141) 및 조명 모듈(142)이 X축 로봇(143) 및/또는 Y축 로봇(144)에 결합되어 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하면서 상기 광학필름 검사를 위한 촬영을 수행한다.
또한, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)은, X축 로봇(143)과 Y축 로봇(144)의 조합을 이용하여 상기 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)을 이동시키도록 구성되며, 상기 카메라 모듈(141)의 이동 정보 또는 좌표 정보를 측정하기 위한 카메라 이동거리 측정모듈을 포함하여 구성될 수도 있다.
또한, 상기 상부 커버 유닛(150)은 상기 검사 장치의 상부를 밀폐하기 위한 것으로서, 상기 카메라 및 조명 구동부 상부에 구비될 수 있다.
또한, 상기 팬 필터 유닛(160)은 상기 상부 커버 유닛(150)에 구비되어 팬 필터 방식으로 상기 검사 장치 내부의 이물을 흡착 배출하는 것으로서, 이를 통해 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치는 장치 내 이물에 의한 오검사를 방지할 수 있다.
또한, 상기 제어용 유닛(170)은 상기 검사 장치 내에 포함되어 있는 각 구성의 동작을 제어하고, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 촬영된 영상을 기반으로 검사결과를 도출하는 것이다. 이때 검사결과는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘을 포함하는 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함할 수 있다.
이에 추가적으로, 도 1에 도시되어 있는 업다운 스테이지 유닛(130);은 본 발명의 일 실시예에 따라 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상부에 선택적으로 구비될 수 있는 구성으로서, 상기 업다운 스테이지 유닛(130)은 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상에 장착되는 광학필름을 진공방식을 이용하여 압착 및 평탄화시키는 것이다. 이에 대한 설명은 아래 도 4 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
또한, 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치는 광학필름을 평탄화시키는 구성으로서 상기 업다운 스테이지 유닛(130) 대신 필름 흡착 유닛(124) 및 필름 그립 유닛(125)을 포함하여 구성될 수도 있다. 이에 대한 상세한 설명은 아래 도 7 내지 도 10을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치의 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
이에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 일례인, 광학필름 검사 장치는 슬라이드 스테이지 유닛(120)의 광학필름 장착수단(123)이 검사 장치 외부로 슬라이드 되어 돌출될 수 있고, 이와 같이 돌출된 광학필름 장착수단(123) 상에 광학필름을 위치시킨 후 다시 상기 광학필름 장착수단(123)이 슬라이드 되어 검사 장치 내부로 인입된 후 검사를 수행하게 된다.
상기 광학필름 장착수단(123)의 일측에 광학필름을 검사하기 전 정전기를 발생을 방지하는 이오나이저(121)가 구비될 수 있으며, 또한 상기 광학필름 장착수단(123)에 광학필름 장착시 광학필름의 정렬상태를 감지하고 올바르게 정렬시키기 위한 적어도 하나 이상의 얼라인 가이드(122)가 포함될 수 있다. 이때 얼라인 가이드(122)는 광학필름의 정렬상태를 감지할 수 있는 위치라면 어디든 위치될 수 있으며, 그 개수 역시 한정되지 않는다.
상기 얼라인 가이드(122)를 이용하여 상기 광학필름 장착수단(123) 상의 일측 모서리를 기준으로 상기 광학필름을 정렬시킬 수 있다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예로서, 광학필름 검사시 광학필름을 평탄화시키는 구성으로서 업다운 스테이지 유닛(130)을 포함하는 광학필름 검사 장치에 대해 설명하기 위한 도면으로서, 도 4는 광학필름 검사 장치의 광학필름 검사시 장치 구동에 대해 설명하기 위한 예시도이고, 도 5는 광학필름 검사 장치의 업다운 스테이지 유닛(130)의 형상에 대해 설명하기 위한 사시도이다.
이에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치는 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)의 광학필름 장착유닛에 광학필름을 장착시켜 검사 장치 내부로 인입시킨 후, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상부에 구비되는 상기 업다운 스테이지 유닛(130)의 필름커버(132)가 하강하여 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상의 광학필름에 진공 밀착되어 상기 광학필름을 평탄화시킴으로써, 광학필름 검사결과의 정확도를 향상시킨다.
이를 위해, 상기 업다운 스테이지 유닛(130)은 실린더(131)를 이용하여 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상부에서 업/다운 하는 방식으로 구동된다. 상기 업다운 스테이지 유닛(130)이 하강하면, 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 장착된 광학필름 면과 수직으로 필름커버(132) 면이 맞닿게 되며, 조사되는 조명은 상기 필름커버(132)를 투과하여 상기 광학필름의 영상을 촬영할 수 있도록 구성된다. 상기 필름커버(132)는 폴리카보네이트, 강화유리 등 투과율이 70% 이상인 소재로 구성할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사 장치에서의 광학필름 밀착 방식에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
이에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치 내 업다운 스테이지 유닛(130)은 상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름과 맞닿는 필름커버(132)의 테두리를 따라 진공용 씰(seal)이 구비될 수 있으며, 상기 필름커버(132)의 중앙을 기준으로 상기 진공용 씰 보다 내측에 위치한 적어도 하나 이상의 포트에서 진공원을 사용하여 내기를 외부로 배출하여 진공 압력으로 상기 필름커버(132)가 상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름에 밀착되도록 할 수 있다.
한편, 도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예로서, 광학필름 검사시 광학필름을 평탄화시키는 구성으로서 필름 흡착 유닛(124) 및 필름 그립 유닛(125)을 포함하는 광학필름 검사 장치에 대해 설명하기 위한 도면으로서, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛(124) 및 필름 그립 유닛(125)에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 필름 흡착 유닛(124)은 상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 상기 광학필름 장착수단(123) 상에 장착된 광학필름의 상부 표면을 흡착한 후 상승하는 방식으로 광학필름을 상기 광학필름 장착수단(123)의 상부 방향으로 소정 거리 상승시킨다.
또한, 상기 필름 그립 유닛(125) 상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 상기 필름 흡착 유닛(124)에 의해 상승된 광학필름의 모서리 방향 상하부면을 그립하는 방식으로 광학필름을 상기 광학필름 장착수단(123)으로부터 소정 거리 상부방향에 고정시킨다.
이때 상기 필름 그립 유닛(125)은 광학필름의 각 모서리 방향 상하부면을 그립한 후, 광학필름의 각 모서리를 잇는 가상의 선 상에서 상기 광학필름의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 소정의 장력을 가하여 광학필름을 평탄화 시킨다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 흡착 유닛(124)과 필름 그립 유닛(125)의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 8에 나타난 바와 같이, 상기 필름 흡착 유닛(124)은 회전 실린더(124-1); 상승/하강 실린더(124-2); 및 필름 흡착부(124-3);을 포함한다.
상기 광학필름 장착수단(123) 상에 광학필름 장착시, 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 상기 광학필름 상부방향으로 이동되고, 상기 상승/하강 실린더(124-2)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 하강하여 광학필름을 흡착한 후 상승하며, 상기 필름 그립 유닛(125)이 광학필름을 그립한 후 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 광학필름 상부방향의 바깥방향으로 이동한다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 그립 유닛(125)의 상세 구조 및 동작에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 10에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치는, 필름 그립 유닛이 광학필름의 모서리를 그립한 상태에서도 광학필름 전면부의 검사가 가능하도록 구성된다. 이를 위하여 상기 필름 그립 유닛(125)은, 각각 독립적으로 구동가능한 좌측 그립 유닛(125-1); 및 우측 그립 유닛(125-2);을 포함하며, 광학필름 검사시 상기 좌측 그립 유닛(125-1)과 우측 그립 유닛(125-1)이 교대로 광학필름을 그립하는 방식으로 광학필름 전체부위를 검사할 수 있도록 한다.
예를 들어, 최초 좌측 그립 유닛(125-1) 및 우측 그립 유닛(125-2)이 광학필름을 그립한 상태에서, 먼저 좌측 그립 유닛(125-1)은 광학필름 그립 상태를 유지하고 우측 그립 유닛(125-2)은 광학필름 그립을 해제한 후 광학필름 영역 밖으로 이동한 상태에서 광학필름의 검사를 수행하고, 다시 우측 그립 유닛(125-2)이 광학필름 영역으로 이동하여 광학필름을 그립한 후 좌측 그립 유닛(125-1)이 광학필름 그립 상태를 해제한 후 광학필름 영역 밖으로 이동한 상태에서 광학필름 검사를 수행한다. 이와 같이 좌측 그립 유닛(125-1)과 우측 그립 유닛(125-2)이 서로 교대로 광학필름을 그립하고, 광학필름을 그립하고 있지 않은 그립 유닛은 광학필름 영역에서 벗어남으로써, 광학필름 검사시 상기 필름 그립 유닛(125)이 광학필름 모서리를 그립하고 있더라도 광학필름의 모서리 전체에 대한 결함 검사를 수행할 수 있다.
한편, 상기 제어용 유닛(170)은 상기 카메라 이동거리 측정모듈로부터 카메라 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 조명 모듈(142)의 이동 및 조명 조사 제어와, 카메라 모듈(141)의 이동 및 촬영 제어를 포함하는 카메라 및 조명 구동부의 제어를 수행하며, 상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상 데이터를 분석하여, 조명의 빛이 광학필름을 통과할 때 결함에 반사되는 위치에 따라 결함이 발생한 필름 층의 위치를 검출한다.
더욱 상게하게는, 본 발명에 따른 광학필름 검사 장치는 조명 모듈(142)과 카메라 모듈(141)이 동일한 거리 및 방향으로 이동하면서 광학필름을 촬영하는데, 조명의 빛이 광학필름을 사선으로 관통하기 때문에 다층 필름 구조에서 필름 상층부에 결함이 있을수록 조명의 빛에 따른 반사광이 촬영되는 거리(조명으로부터의 거리)가 짧아진다.
이와 같이, 조명에 의해 사선으로 조사되는 빛에 의해 반사되는 결함의 반사광의 위치를 기반으로 해당 결함이 다층 필름 구조에서 어느 층에 위치하는지 분석할 수 있다.
또한, 상기 제어용 유닛(170)은 상기 검사 장치 내 각 구성에 대해 제어신호를 입력하는 제어신호 입력수단 및 상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상과, 광학필름 내 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 검사결과를 출력하는 검사결과 출력수단을 포함하여 구성된다.
이때, 상기 제어신호 입력수단과 검사결과 출력수단은, 별도의 수단을 통해 구성될 수도 있고, 터치스크린 패널을 통해 일체형으로 구성될 수도 있다.
이상으로 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참조하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술에 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 것을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 광학필름 검사 장치
110 : 하부 프레임 유닛
120 : 슬라이드 스테이지 유닛
121 : 이오나이저
122 : 얼라인 가이드
123 : 광학필름 장착수단(강화유리)
124 : 필름 흡착 유닛
124-1 : 회전 실린더
124-2 : 상승/하강 실린더
124-3 : 필름 흡착부
125 : 필름 그립 유닛
125-1 : 좌측 그립 유닛
125-2 : 우측 그립 유닛
130 : 업다운 스테이지 유닛
131 : 실린더
132 : 필름커버
133 : 진공용 씰(seal)
134 : 포트(port)
140 : 카메라 및 조명 구동 유닛
141, 142 : 조명 모듈, 카메라 모듈
143 : X축 로봇
144 : Y축 로봇
150 : 상부 커버 유닛
160 : 팬 필터 유닛
170 : 제어용 유닛
110 : 하부 프레임 유닛
120 : 슬라이드 스테이지 유닛
121 : 이오나이저
122 : 얼라인 가이드
123 : 광학필름 장착수단(강화유리)
124 : 필름 흡착 유닛
124-1 : 회전 실린더
124-2 : 상승/하강 실린더
124-3 : 필름 흡착부
125 : 필름 그립 유닛
125-1 : 좌측 그립 유닛
125-2 : 우측 그립 유닛
130 : 업다운 스테이지 유닛
131 : 실린더
132 : 필름커버
133 : 진공용 씰(seal)
134 : 포트(port)
140 : 카메라 및 조명 구동 유닛
141, 142 : 조명 모듈, 카메라 모듈
143 : X축 로봇
144 : Y축 로봇
150 : 상부 커버 유닛
160 : 팬 필터 유닛
170 : 제어용 유닛
Claims (15)
- 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치에 있어서,
상기 광학필름 검사 장치의 최하부에 위치하는, 하부 프레임 유닛(110);
상기 광학필름 검사 장치의 내부로 삽입되어 상기 하부 프레임 유닛(110) 상부면에 안착될 수 있으며, 광학필름을 장착시킬 수 있는 광학필름 장착수단(123)을 포함하는, 슬라이드 스테이지 유닛(120);
상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에서 수직 상방향으로 소정의 간격 이격되어 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)이 위치하고, 상기 카메라 모듈(141)과 조명 모듈(142)이 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 X축 로봇(143) 및 Y축 로봇(144)을 포함하는 카메라 및 조명 구동 유닛(140); 및
상기 광학필름 검사 장치에 포함된 각 구성의 동작을 제어하고, 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 촬영된 영상을 기반으로 검사결과를 도출하는 제어용 유닛(170);을 포함하며,
광학필름 검사 시 상기 조명 모듈(142)이 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 장착된 광학필름의 표면을 향해 조명을 조사하고, 상기 카메라 모듈(141)이 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)에 장착된 광학필름의 표면에서 반사되는 반사광을 수광하며, 결함에 대응하는 반사광이 수광된 위치를 기반으로, 복수의 필름이 적층된 광학필름 내에서 결함이 발생한 층과 그 위치를 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)은,
광학필름 검사전 정전기를 방지하기 위한 이오나이저(121); 및/또는
광학필름을 정렬시키기 위한 적어도 하나 이상의 얼라인 가이드(122);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)과 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140) 사이에 위치하고, 업/다운으로 이동하여 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상에 장착되는 광학필름을 진공방식으로 압착 및 평탄화시키는 업다운 스테이지 유닛(130);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 업다운 스테이지 유닛(130)은,
상기 슬라이드 스테이지 유닛(120)을 업/다운시키는 실린더(131)를 포함하며, 상기 슬라이드 스테이지에 장착된 광학필름 면과 수직으로 맞닿는 필름커버(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 업다운 스테이지 유닛(130)은,
상기 슬라이드 스테이지 상의 광학필름과 맞닿는 필름커버(132)의 테두리를 따라 진공용 씰(seal)이 구비되며, 진공 압력으로 상기 필름커버(132)가 상기 슬라이드 스테이지 유닛(120) 상의 광학필름에 밀착되도록 하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 필름 흡착부(124-3)를 통해 상기 광학필름 장착수단(123) 상에 장착된 광학필름의 상부 표면을 흡착한 후 상기 필름 흡착부(124-3)의 일단에 연결되는 회전 실린더(124-1) 및 상승/하강 실린더(124-2)에 의해 상승하는 방식으로 광학필름을 상기 광학필름 장착수단(123)의 상부 방향으로 소정 거리 이격시키는 필름 흡착 유닛(124); 및
상기 광학필름 장착수단(123)의 각 모서리 방향 위치에 구비되며, 상기 필름 흡착 유닛(124)에 의해 상기 광학필름 장착수단(123)의 상부 방향으로 소정 거리 이격된 광학필름의 모서리 방향 상하부면을 그립하여 광학필름을 고정시키는 필름 그립 유닛(125);을 포함하며,
상기 필름 그립 유닛(125)은 광학필름에 소정의 장력을 가하여 광학필름을 평탄화 시키는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 필름 흡착 유닛(124)은,
상기 광학필름 장착수단(123) 상에 광학필름 장착시, 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 상기 광학필름 상부방향으로 이동되고,
상기 상승/하강 실린더(124-2)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 하강하여 광학필름을 흡착한 후 상승하며,
상기 필름 그립 유닛(125)이 광학필름을 그립한 후 상기 회전 실린더(124-1)에 의해 상기 필름 흡착부(124-3)가 광학필름 상부방향의 바깥방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 필름 그립 유닛(125)은,
각각 독립적으로 구동가능한 좌측 그립 유닛(125-1);및 우측 그립 유닛(125-2);을 포함하며,
광학필름 검사시 상기 좌측 그립 유닛(125-1)과 우측 그립 유닛(125-1)이 교대로 광학필름을 그립하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 검사 장치의 상부를 밀폐하기 위하여 상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)에서 소정 거리 이격되어 상부에 구비되는, 상부 커버 유닛(150);을 포함하고,
상기 상부 커버 유닛(150)에 구비되어 팬 필터 방식으로 상기 검사 장치 내부의 이물을 흡착 배출하는 팬 필터 유닛(160);을 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 카메라 및 조명 구동 유닛(140)는,
상기 카메라 모듈(141)의 이동 정보 또는 좌표 정보를 측정하기 위한 카메라 이동거리 측정모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제10항에 있어서,
상기 제어용 유닛(170)은,
상기 카메라 이동거리 측정모듈로부터 카메라 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 조명 모듈(142)의 이동 및 조명 조사 제어와, 카메라 모듈(141)의 이동 및 촬영 제어를 포함하는 카메라 및 조명 구동 유닛(140)의 제어를 수행하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제어용 유닛(170)은,
상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상 데이터를 분석하여, 조명의 빛이 광학필름을 통과할 때 결함에 반사되는 위치에 따라 결함이 발생한 필름 층의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 검사결과는 광학필름 내 이물, 찍힘 및 긁힘을 포함하는 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제어용 유닛(170)은,
상기 검사 장치 내 각 구성에 대한 제어신호를 입력하는 제어신호 입력수단; 및
상기 카메라 모듈(141)을 통해 촬영되는 광학필름의 영상과, 광학필름 내 결함, 필름 사이즈 및 표면 경사각을 포함하는 검사결과를 출력하는 검사결과 출력수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
- 제14항에 있어서,
상기 제어신호 입력수단과 검사결과 출력수단은,
터치스크린 패널인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는, 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220048026A KR20230148978A (ko) | 2022-04-19 | 2022-04-19 | 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220048026A KR20230148978A (ko) | 2022-04-19 | 2022-04-19 | 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230148978A true KR20230148978A (ko) | 2023-10-26 |
Family
ID=88509106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220048026A KR20230148978A (ko) | 2022-04-19 | 2022-04-19 | 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20230148978A (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100025082A (ko) | 2008-08-27 | 2010-03-09 | 주식회사 에이스 디지텍 | 광학필름용 검사장치 |
| KR20170010675A (ko) | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 주식회사 엘지화학 | 광학필름 검사장치 및 광학필름 검사방법 |
| KR102102610B1 (ko) | 2019-12-06 | 2020-04-21 | (주)티엘씨테크퍼스트 | 디스플레이 보호 필름 얼룩 검사장치 및 그 방법 |
-
2022
- 2022-04-19 KR KR1020220048026A patent/KR20230148978A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100025082A (ko) | 2008-08-27 | 2010-03-09 | 주식회사 에이스 디지텍 | 광학필름용 검사장치 |
| KR20170010675A (ko) | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 주식회사 엘지화학 | 광학필름 검사장치 및 광학필름 검사방법 |
| KR102102610B1 (ko) | 2019-12-06 | 2020-04-21 | (주)티엘씨테크퍼스트 | 디스플레이 보호 필름 얼룩 검사장치 및 그 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101146722B1 (ko) | 디스플레이용 패널의 검사장치 | |
| JP3967759B2 (ja) | 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法 | |
| US20100007887A1 (en) | Glazing inspection | |
| JP2001041905A (ja) | シート材料の検査装置 | |
| KR101582859B1 (ko) | 밸브 스프링 특성 측정장치 및 특성 측정방법 | |
| KR101514409B1 (ko) | 비전검사장치 | |
| JP2002529698A (ja) | ガラス検査装置 | |
| KR101032089B1 (ko) | 기판검사장치 | |
| US20200378899A1 (en) | Glass processing apparatus and methods | |
| TWI232931B (en) | Inspecting method for end faces of brittle-material-made substrate and device therefor | |
| KR20230144770A (ko) | 광학필름 검사 방법 | |
| KR101445126B1 (ko) | 백라이트유닛 검사장치 및 검사방법 | |
| KR20130143226A (ko) | 도광판 검사장치 | |
| CN109633948A (zh) | 显示面板检测方法及显示面板检测装置 | |
| KR20230148978A (ko) | 복수의 필름이 적층된 광학필름 검사 장치 | |
| JP4592070B2 (ja) | 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 | |
| TWM514002U (zh) | 光學檢測設備 | |
| KR102008224B1 (ko) | 곡면 검사가 가능한 검사시스템 | |
| KR102409426B1 (ko) | Oca필름 외관 검사장치 및 방법 | |
| KR101610316B1 (ko) | 백라이트유닛 검사장치 | |
| KR101391312B1 (ko) | 백라이트유닛 불량검사용 카메라 조립체 | |
| CN114111615B (zh) | 背光板翘曲自动检测设备 | |
| CN215005050U (zh) | 真空吸附式背光模组缺陷检测装置 | |
| CN114878578A (zh) | 一种液晶屏的外观检测设备 | |
| CN211652024U (zh) | 一种背光源成品外观检测机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |