KR20230061591A - Apparatus for supplying organometallic compound - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 처리하기 위한 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치는 내부에 고체 유기금속 화합물을 담고 있는 용기, 용기의 일측에 위치하여 캐리어 가스를 공급하는 공급관, 용기의 타측에 위치하여 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출하는 배출관, 용기와 상기 배출관 사이에 위치하여, 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링 하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시키는 필터 모듈을 포함한다.The present invention relates to an organometallic compound supply device for filtering an organometallic compound in the form of particles in the process of discharging a carrier gas containing the organometallic compound and effectively treating the filtered organometallic compound particles. An apparatus for supplying an organometallic compound according to the present invention includes a container containing a solid organometallic compound therein, a supply pipe located on one side of the container for supplying a carrier gas, and a supply pipe located on the other side of the container to supply the organometallic compound generated while passing through the container. A discharge pipe for discharging the containing carrier gas, located between the container and the discharge pipe, filtering the organometallic compound in the form of particles among the carrier gas containing the organometallic compound generated while passing through the container, and filtering the filtered organometallic compound particles. A sublimation filter module is included.
Description
본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 처리하기 위한 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organometallic compound supply device, and more particularly, to filter organometallic compounds in the form of particles in the process of discharging a carrier gas containing organometallic compounds, and to effectively treat the filtered organometallic compound particles. It relates to an organometallic compound supply device.
유기금속 화합물은 화합물 반도체의 에피택셜 성장에 있어서 원료로 사용되고 있다. 유기금속 화합물은 양산성 및 제어성이 우수한 유기금속 기상 성장법(Metalorganic Chemical Vapor Deposition; MOCVD법)에 사용되는 경우가 많다.Organometallic compounds are used as raw materials for the epitaxial growth of compound semiconductors. Organometallic compounds are often used in metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) with excellent mass productivity and controllability.
이러한 유기금속 화합물을 공급하는 유기금속 화합물 공급 장치는 유기금속 화합물이 충전되는 충전 용기를 구비하고, 유기금속 화합물이 담긴 충전 용기로 캐리어 가스를 공급하여 승화된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 생성하여 기상 성장 장치로 공급한다. 즉 유기금속 화합물은 충전 용기에 충전하고, 그것에 캐리어 가스를 흘림으로써, 캐리어 가스와 접촉한 유기금속 화합물이 캐리어 가스 중에 증기로서 도입되고, 캐리어 가스에 동반하여 충전 용기 밖으로 꺼내어져 기상 성장 장치에 공급되는데, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물이 함께 배출되는 문제점이 있었다.An organometallic compound supplying device for supplying such an organometallic compound has a filling container filled with the organometallic compound, and supplies a carrier gas to the filling container containing the organometallic compound to generate a carrier gas containing the sublimated organometallic compound. and supplied to the vapor phase growth device. That is, the organometallic compound is filled in a filling container and a carrier gas is passed thereto, so that the organometallic compound in contact with the carrier gas is introduced as a vapor into the carrier gas, and is taken out of the filling container along with the carrier gas and supplied to the vapor phase growth device. However, there is a problem in that the organometallic compound in the form of particles is discharged together in the carrier gas containing the organometallic compound.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 한국등록특허 제10-1695356호에는 연결 통로에 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하기 위한 필터가 설치된 유기금속 화합물 공급 장치를 개시하고 있다.In order to solve this problem, Korean Patent Registration No. 10-1695356 discloses an organometallic compound supply device in which a filter for filtering organometallic compounds in the form of particles is installed in a connecting passage.
개시된 유기금속 화합물 공급 장치는 필터를 통해 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링할 수는 있지만, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이면서, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 없는 문제점이 있었다.Although the disclosed organometallic compound supply device can filter the organometallic compound in the form of particles through a filter, the organometallic compound in the form of filtered particles accumulates on the filter, and the carrier gas containing the organometallic compound having a stable concentration and vapor pressure. There was a problem that could not be discharged.
따라서 본 발명의 목적은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 처리하기 위한 유기금속 화합물 공급 장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an organometallic compound supply device for filtering the organometallic compound in the form of particles in the process of discharging a carrier gas containing the organometallic compound and effectively treating the filtered organometallic compound particles. .
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치는 내부에 고체 유기금속 화합물을 담고 있는 용기, 상기 용기의 일측에 위치하여 캐리어 가스를 공급하는 공급관, 상기 용기의 타측에 위치하여 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출하는 배출관, 상기 용기와 상기 배출관 사이에 위치하여, 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링 하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시키는 필터 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for supplying an organometallic compound according to the present invention includes a container containing a solid organometallic compound therein, a supply pipe located on one side of the container and supplying a carrier gas, and a supply pipe located on the other side of the container and passing through the container. A discharge pipe for discharging a carrier gas containing a metal compound, located between the container and the discharge pipe, to filter organometallic compounds in particulate form among carrier gases containing organometallic compounds generated while passing through the container, and filtered It is characterized in that it comprises a filter module for sublimating organometallic compound particles.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 용기는 내부에 상기 고체 유기금속 화합물을 수용하기 위한 공간을 가지며 상부에 개방부가 형성된 용기 본체, 상기 용기 본체의 상부에 결합되어 상기 개방부를 덮으며, 상기 용기 본체를 봉합하고, 상기 공급관과 상기 배출관이 설치되는 덮개판을 포함하는 것을 특징으로 한다.In the organometallic compound supply device according to the present invention, the container has a space for accommodating the solid organometallic compound therein and an opening is formed at the top of the container body, coupled to the upper portion of the container body to cover the opening, , Sealing the container body, characterized in that it comprises a cover plate on which the supply pipe and the discharge pipe are installed.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 용기 본체는 양쪽이 개방되어 있고 내부에 공간이 형성된 관 형태를 가지며, 상부에 상기 덮개판이 결합되는 본체 및 상기 본체의 하부에 결합되는 바닥판을 포함하는 것을 특징으로 한다.In the organometallic compound supply device according to the present invention, the container body has a tubular shape with both sides open and a space formed therein, and a body to which the cover plate is coupled to the upper portion and a bottom plate coupled to the lower portion of the body It is characterized by including.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 필터 모듈은 상기 용기 본체와 상기 배출관 사이의 상기 덮개판 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.In the organometallic compound supply device according to the present invention, it is characterized in that the filter module is formed on the cover plate between the container body and the discharge pipe.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 필터 모듈은 상기 용기의 개방된 타단부를 덮으며, 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터부, 상기 필터부와 밀착 결합되어, 상기 필터부를 통과한 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 상기 배출관으로 배출되기 위한 유로가 형성된 배출부, 상기 배출부에 밀착 결합되며, 열을 발생시켜 상기 필터부에 의해 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시키는 히팅부, 상기 히팅부의 외부면에 결합되어 상기 히팅부로부터 발생되는 열을 차단하는 단열부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the organometallic compound supply device according to the present invention, the filter module covers the open other end of the container, and the organometallic compound in the form of particles in the carrier gas containing the organometallic compound generated while passing through the container A filter unit for filtering, a discharge unit closely coupled to the filter unit, and formed with a flow path through which the carrier gas containing the organometallic compound passing through the filter unit is discharged to the discharge pipe, closely coupled to the discharge unit, and generating heat It is characterized in that it includes a heating unit for sublimating the organometallic compound particles filtered by the filter unit, and a heat insulating unit coupled to an outer surface of the heating unit to block heat generated from the heating unit.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치에 있어서, 상기 배출부는 상기 배출관을 중심으로 방사형으로 형성되는 유로 패턴이 형성된 것을 특징으로 한다.In the organometallic compound supply device according to the present invention, the discharge unit is characterized in that a flow path pattern is formed radially around the discharge pipe.
본 발명에 따른 유기금속 화합물 공급 장치는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 열을 통해 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시킴으로써, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.The organometallic compound supply device according to the present invention filters the organometallic compound in the form of particles in the process of discharging the carrier gas containing the organometallic compound, and sublimates the filtered organometallic compound particles through heat, thereby filtering the organometallic compound in the form of particles. of organometallic compounds are prevented from accumulating on the filter, and a carrier gas containing the organometallic compound having a stable concentration and vapor pressure can be discharged.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A`선 단면도이다.
도 3은 도 2의 'B' 부분을 확대한 확대도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 배출부의 구조를 설명하기 위한 예시도이다.1 is a perspective view showing an organometallic compound supply device according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line AA′ of FIG. 1 .
FIG. 3 is an enlarged view of part 'B' of FIG. 2 .
4 is an exemplary view for explaining the structure of a discharge unit according to an embodiment of the present invention.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 흩트리지 않는 범위에서 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.It should be noted that in the following description, only parts necessary for understanding the embodiments of the present invention are described, and descriptions of other parts will be omitted without disturbing the gist of the present invention.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms or words used in this specification and claims described below should not be construed as being limited to ordinary or dictionary meanings, and the inventors have appropriately used the concept of terms to describe their inventions in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical spirit of the present invention based on the principle that it can be defined in the following way. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only preferred embodiments of the present invention, and do not represent all of the technical spirit of the present invention, so various equivalents that can replace them at the time of the present application. It should be understood that there may be variations and variations.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A선 단면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 필터 모듈의 구성을 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 배출부의 구조를 설명하기 위한 예시도이다.1 is a perspective view showing an organometallic compound supply device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view along line A-A of FIG. 1, and FIG. 3 is a view showing the configuration of a filter module according to an embodiment of the present invention, 4 is an exemplary view for explaining the structure of a discharge unit according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 용기(10), 공급관(20), 배출관(30) 및 필터 모듈(40)을 포함한다.1 to 4 , an organometallic
용기(10)는 내부에 고체 유기금속 화합물을 담기 위한 공간이 형성되어, 공간에 고체 유기금속 화합물을 담고 있다.The
여기서 본 발명의 실시예에서 용기(10)는 내부 공간에 고체 유기금속 화합물을 담고 있는 것으로 설명하지만, 이에 한정된 것은 아니고, 외부 용기와 내부 용기로 구분되어, 내부 용기에 고체 유기금속 화합물이 구비되고, 외부 용기와 내부 용기 사이에 열 전도성이 양호한 금속 소재의 충전제가 충전된 형태로 구성될 수도 있다. 이때 내부 용기는 공급관(20)과 배출관(30)을 연결하는 형태로 형성될 수 있으며, 직렬로 형성되거나 병렬로 형성될 수 있다.Here, in the embodiment of the present invention, the
한편 유기금속 화합물은 인듐 화합물, 아연 화합물, 알루미늄 화합물, 갈륨 화합물, 마그네슘 화합물, 하프늄 화합물, 지르코늄 화합물, 티타늄 화합물, 바륨 화합물, 란타늄 화합물, 스트론튬 화합물, 텅스텐 화합물, 루테늄 화합물, 탄탈륨 화합물 등이다. 인듐 화합물은 인듐트리클로라이드, 인듐트리플루라이드, 인듐요오다이드 화합물, 트리메틸인듐, 디메틸클로로인듐, 시클로펜타디에닐인듐, 트리메틸인듐·트리메틸아르신부가물, 트리메틸인듐·트리메틸포스핀 부가물 등이다. 아연 화합물은 에틸아연 요오다이드, 에틸시클로펜타디에닐아연, 시클로펜타디에닐아연 등이다. 알루미늄 화합물은 메틸디클로로알루미늄 등이다. 갈륨 화합물은 갈륨트리클로라이드, 메틸디클로로갈륨, 디메틸클로로갈륨, 갈륨트리요오다이드, 디메틸브로모갈륨 등이다. 마그네슘 화합물은 비스시클로펜타디에닐마그네슘 등이다. 하프늄 화합물은 하프늄 클로라이드, 테트라키스(디메틸아미노)하프늄 등이다. 지르코늄 화합물은 지르코늄 클로라이드, 테트라키스(디메틸아미노)지르코늄 등이다. 바륨 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)바륨 등이다. 란타늄 화합물은 트리스(비스(트리메틸실릴)아미도)란타늄, 트리스(이소프로필시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(에틸시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(시클로펜타디에닐)란타늄 등이다. 스트론튬 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)스트론튬 등이다. 텅스텐 화합물은 텅스텐헥사클로라이드, 텅스텐펜타클로라이드 등이다. 이러한 유기금속 화합물은 설명을 위해 예시한 것일 뿐, 본 발명에 적용 가능한 유기금속 화합물은 이러한 예들로 한정되지 않는다.Meanwhile, the organometallic compound includes an indium compound, a zinc compound, an aluminum compound, a gallium compound, a magnesium compound, a hafnium compound, a zirconium compound, a titanium compound, a barium compound, a lanthanum compound, a strontium compound, a tungsten compound, a ruthenium compound, a tantalum compound, and the like. Indium compounds include indium trichloride, indium trifluoride, indium iodide compounds, trimethyl indium, dimethylchloro indium, cyclopentadienyl indium, trimethyl indium-trimethylarsine adducts, and trimethyl indium-trimethylphosphine adducts. . Zinc compounds include ethyl zinc iodide, ethylcyclopentadienyl zinc, and cyclopentadienyl zinc. The aluminum compound is methyldichloroaluminum or the like. Gallium compounds include gallium trichloride, methyldichlorogallium, dimethylchlorogallium, gallium triiodide, and dimethylbromogallium. Magnesium compounds are biscyclopentadienyl magnesium and the like. Hafnium compounds include hafnium chloride, tetrakis(dimethylamino)hafnium, and the like. Zirconium compounds are zirconium chloride, tetrakis(dimethylamino)zirconium, and the like. The barium compound is bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)barium and the like. Lanthanum compounds include tris(bis(trimethylsilyl)amido)lanthanum, tris(isopropylcyclopentadienyl)lanthanum, tris(ethylcyclopentadienyl)lanthanum, and tris(cyclopentadienyl)lanthanum. The strontium compound is bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptandionato)strontium and the like. Tungsten compounds include tungsten hexachloride and tungsten pentachloride. These organometallic compounds are only exemplified for explanation, and organometallic compounds applicable to the present invention are not limited to these examples.
용기(10)의 소재로는 스테인리스 스틸(SUS)을 사용할 수 있으며, 관 형태로 형성될 수 있다.Stainless steel (SUS) may be used as a material for the
구체적으로 용기(10)는 용기 본체(11) 및 덮개판(14)을 포함한다.Specifically, the
용기 본체(11)는 상부에 개방부가 형성되어 있으며, 내부에 고체 유기금속 화합물을 수용하기 위한 공간이 형성된다.The
이러한 용기 본체(11)는 본체(12) 및 바닥판(13)을 포함한다.This
본체(12)는 양쪽이 개방되어 있고, 내부에 공간이 형성된 관 형태를 가지며, 상부에 덮개판(14)이 결합된다. 그리고 바닥판(13)은 본체(12)의 개방된 하부에 결합된다. 즉 본체(12)를 중심으로 상부에 덮개판(14)이 결합되고, 하부에 바닥판(13)이 결합되어 내부 공간을 봉합한다. 여기서 본체(12) 및 바닥판(13)을 일체로 형성될 수도 있다.The
덮개판(14)은 용기 본체(11)의 상부를 외부 환경으로부터 봉합한다. 이때 덮개판(14)은 용기 본체(11)를 외부로부터 완전히 차단한 상태에서 공급관(20)과 배출관(30)을 통해서만 용기 본체(11)의 내부와 용기 본체(11)의 외부를 연결하도록 할 수 있다.The
또한 덮개판(14)은 후술할 필터 모듈(40)을 배치하기 위한 공간을 형성한다.In addition, the
공급관(20)은 용기 본체(11) 내부로 캐리어 가스를 공급한다. 그리고 공급관(20)은 캐리어 가스의 공급량을 조절하는 공급 밸브(21)가 설치된다. 이러한 공급관(20)은 덮개판(14)의 일측에 형성될 수 있으며, 덮개판(14)을 관통하여 용기 본체(11) 내부로 캐리어 가스를 공급할 수 있다.The
그리고 배출관(30)은 용기 본체(11)에 연결되어, 용기 본체(11)를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출한다. 그리고 배출관(30)은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스의 배출량을 조절하는 배출 밸브(31)가 설치된다. 이러한 배출관(30)은 덮개판(14)의 타측에 형성될 수 있으며, 덮개판(14)을 관통하여 용기 본체(11)를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.And the
필터 모듈(40)은 용기 본체(11)와 배출관(30) 사이의 덮개판(14) 상에 형성된다.The
또한 필터 모듈(40)은 공급관(20)으로부터 유입된 캐리어 가스가 용기 본체(11)에 저장된 유기금속 화합물을 통과하면서, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출관(30)을 통해 배출되는 과정에서 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링 한다.In addition, in the
이때 필터 모듈(40)은 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터 모듈(40)의 입구측에 쌓이게 되는데, 축적되는 입자 형태의 유기금속 화합물에 열을 가하여 승화시키면서 배출관(30)으로 배출되도록 지원할 수 있다.At this time, in the
이러한 필터 모듈(40)은 필터부(41), 배출부(42), 히팅부(43) 및 단열부(44)를 포함한다.This
필터부(41)는 용기 본체(11)에 직접적으로 맞닿아 배치되며, 용기 본체(11)와 배출관(30) 사이에 구비되어, 용기 본체(11)로부터 배출되는 유기금속 화합물이 함유된 캐리어 가스가 필터링 된 상태로 배출관(30)으로 배출되도록 할 수 있다.The
이때 필터부(41)는 공극이 100㎛ 이하인 금속 소재의 메쉬 필터를 사용하거나, 다공성 필터를 사용할 수 있다.At this time, the
배출부(42)는 필터부(41)를 통과한 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출관(30)으로 배출되기 위한 유로를 형성한다.The
즉 배출부(42)는 필터부(41)와 맞닿아 배치되며, 필터부(41)와 맞닿아 배치된 하부면에 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출관(30)으로 배출되기 위한 유로가 형성된다.That is, the
예를 들어 배출부(42)는 도 4에 도시된 바와 같이, 배출관(30)을 중심으로 방사형으로 형성되는 유로 패턴(42a)이 형성될 수 있다. 즉 필터부(41)를 통과한 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스는 유로 패턴(42a)을 통해 배출관(30)으로 이동할 수 있다. 여기서 유로 패턴(42a)은 패턴 가공에 의해 형성될 수 있다.For example, as shown in FIG. 4 , the
한편 본 발명의 실시예에서 유로 패턴(42a)이 방사형으로 형성된 것을 예로 설명하지만, 이에 한정된 것은 아니고, 지그재그 형태 등 필터부(41)로부터 배출되는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 이동하여 배출관(30)으로 배출될 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이러한 배출부(42)는 열전도도가 양호한 알루미늄 소재가 사용될 수 있다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, the
한편 상기의 배출부(42)를 구비하지 않고, 필터부(41)와 히팅부(43)를 일정 간격으로 이격된 상태로 배치할 경우, 히팅부(43)로부터 발생되는 열이 필터부(41)에 제대로 전달되지 않기 때문에, 필터부(41)에 의해 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물의 승화가 활발히 이루어지지 않는 문제점이 발생될 수 있다.On the other hand, when the
따라서 본 발명의 실시예에서는 필터부(41)와 히팅부(43) 사이에 열 전도성이 뛰어난 재질로 형성되는 배출부(42)를 배치하고, 필터부(41)로부터 배출되는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출부(42)에 형성된 유로를 통해 이동하도록 구성함으로써, 히팅부(43)로부터 발생되는 열을 배출부(42)를 통해 효과적으로 필터부(41)에 전달할 수 있고, 이로 인해 필터부(41)에 입자 형태의 유기금속 화합물이 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.Therefore, in the embodiment of the present invention, the
히팅부(43)는 배출부(42)의 상부면에 맞닿게 배치되고, 열을 발생시켜 배출부(42)를 통해 필터부(41)에 열을 가할 수 있다.The
즉 히팅부(43)는 배출부(42)에 밀착 결합되며, 열을 발생시켜 필터부(41)에 의해 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시킬 수 있다.That is, the
이러한 히팅부(43)는 열을 발생시킬 수 있는 열선 등 다양한 형태로 구성될 수 있다.The
단열부(44)는 히팅부(43)의 상부에 결합되어, 히팅부(43)로부터 발생되는 열이 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어 단열부(44)는 미네랄울, 글라스울, 세라믹 파이버, 실리카, 펄라이트 등의 무기질 단열재나, 폴리스틸렌, 폴리우레탄, 폴리에틸렌 등의 유기질 단열재 등이 사용될 수 있다.The
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 열을 통해 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시킴으로써, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.As described above, the organometallic
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.On the other hand, the embodiments disclosed in this specification and drawings are only presented as specific examples to aid understanding, and are not intended to limit the scope of the present invention. In addition to the embodiments disclosed herein, it is obvious to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be implemented.
10 : 용기
11 : 용기 본체
12 : 본체
13 : 바닥판
14 : 덮개판
20 : 공급관
21 : 공급 밸브
30 : 배출관
31 : 배출 밸브
40 : 필터 모듈
41 : 필터부
42 : 배출부
42a : 유로 패턴
43 : 히팅부
44 : 단열부
100 : 유기금속 화합물 공급 장치10: Courage
11: container body
12: body
13: bottom plate
14: cover plate
20: supply pipe
21: supply valve
30: discharge pipe
31: discharge valve
40: filter module
41: filter unit
42: discharge unit
42a: euro pattern
43: heating part
44: insulation
100: organometallic compound supply device
Claims (6)
상기 용기의 일측에 위치하여 캐리어 가스를 공급하는 공급관;
상기 용기의 타측에 위치하여 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출하는 배출관;
상기 용기와 상기 배출관 사이에 위치하여, 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링 하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시키는 필터 모듈;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.A container containing a solid organometallic compound therein;
a supply pipe located on one side of the container and supplying a carrier gas;
a discharge pipe disposed on the other side of the container and discharging a carrier gas containing an organometallic compound generated while passing through the container;
a filter module positioned between the container and the discharge pipe to filter organometallic compounds in the form of particles in a carrier gas containing organometallic compounds generated while passing through the container, and to sublimate the filtered organometallic compound particles;
Organometallic compound supply device comprising a.
상기 용기는,
내부에 상기 고체 유기금속 화합물을 수용하기 위한 공간을 가지며 상부에 개방부가 형성된 용기 본체;
상기 용기 본체의 상부에 결합되어 상기 개방부를 덮으며, 상기 용기 본체를 봉합하고, 상기 공급관과 상기 배출관이 설치되는 덮개판;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.According to claim 1,
the container,
a container body having a space therein for accommodating the solid organometallic compound and having an opening formed thereon;
a cover plate coupled to an upper portion of the container body to cover the opening, sealing the container body, and having the supply pipe and the discharge pipe installed thereon;
Organometallic compound supply device comprising a.
상기 용기 본체는,
양쪽이 개방되어 있고 내부에 공간이 형성된 관 형태를 가지며, 상부에 상기 덮개판이 결합되는 본체; 및
상기 본체의 하부에 결합되는 바닥판;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 유기금속 화합물 공급 장치.According to claim 2,
The container body,
A main body having a tubular shape with both sides open and a space formed therein, to which the cover plate is coupled; and
a bottom plate coupled to the lower portion of the main body;
An organometallic compound supplying device having a dual structure, characterized in that it comprises a.
상기 필터 모듈은,
상기 용기 본체와 상기 배출관 사이의 상기 덮개판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.According to claim 2,
The filter module,
Organometallic compound supply device, characterized in that formed on the cover plate between the container body and the discharge pipe.
상기 필터 모듈은,
상기 용기의 개방된 타단부를 덮으며, 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터부;
상기 필터부와 밀착 결합되어, 상기 필터부를 통과한 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 상기 배출관으로 배출되기 위한 유로가 형성된 배출부;
상기 배출부에 밀착 결합되며, 열을 발생시켜 상기 필터부에 의해 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 승화시키는 히팅부;
상기 히팅부의 외부면에 결합되어 상기 히팅부로부터 발생되는 열을 차단하는 단열부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.According to claim 3,
The filter module,
a filter unit covering the open other end of the vessel and filtering the organometallic compound in the form of particles among the carrier gas containing the organometallic compound generated while passing through the vessel;
a discharge unit closely coupled to the filter unit and formed with a flow path through which the carrier gas containing the organometallic compound passing through the filter unit is discharged to the discharge pipe;
a heating unit closely coupled to the discharge unit and generating heat to sublimate the organometallic compound particles filtered by the filter unit;
a heat insulating unit coupled to an outer surface of the heating unit to block heat generated from the heating unit;
Organometallic compound supply device comprising a.
상기 배출부는,
상기 배출관을 중심으로 방사형으로 형성되는 유로 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.According to claim 4,
The discharge part,
Organometallic compound supply device, characterized in that the flow path pattern is formed radially around the discharge pipe.
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