KR102660572B1 - Filter module and organometallic compound supply device including the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 필터링되는 유기금속 화합물 입자를 승화시켜 제거할 수 있는 필터 모듈 및 그를 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 필터 모듈은 용기로부터 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 배출관 사이에 설치되어 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링한다. 필터와 필터관 사이에 열 전도성이 양호한 금속 볼이 충진되어 있다. 따라서 필터에 필터링되는 유기금속 화합물 입자는 금속 볼을 통하여 필터로 전달되는 열로 승화시킴으로써, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.The present invention relates to a filter module capable of sublimating and removing filtered organometallic compound particles and an organometallic compound supply device including the same. The filter module according to the present invention is installed between discharge pipes through which the carrier gas containing the organometallic compound is discharged from the container, and filters the organometallic compound in the form of particles during the process of discharging the carrier gas containing the organometallic compound. Metal balls with good thermal conductivity are filled between the filter and the filter tube. Therefore, the organometallic compound particles filtered into the filter are sublimated by the heat transferred to the filter through the metal ball, thereby preventing the organometallic compounds in the form of filtered particles from accumulating on the filter, thereby preventing the organometallic compound particles in the form of filtered particles from accumulating on the filter, thereby producing an organometallic compound containing a stable concentration and vapor pressure. Carrier gas can be discharged.
Description
본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 처리하기 위한 필터 모듈 및 그를 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organometallic compound supply device, and more specifically, to a device for filtering particulate organometallic compounds in the process of discharging a carrier gas containing organometallic compounds and effectively processing the filtered organometallic compound particles. It relates to a filter module and an organometallic compound supply device including the same.
유기금속 화합물은 화합물 반도체의 에피택셜 성장에 있어서 원료로 사용되고 있다. 유기금속 화합물은 양산성 및 제어성이 우수한 유기금속 기상 성장법(Metalorganic Chemical Vapor Deposition; MOCVD법)에 사용되는 경우가 많다.Organometallic compounds are used as raw materials in the epitaxial growth of compound semiconductors. Organometallic compounds are often used in an organic metal vapor deposition (MOCVD) method with excellent mass production and controllability.
이러한 유기금속 화합물을 공급하는 유기금속 화합물 공급 장치는 유기금속 화합물이 충전되는 충전 용기를 구비하고, 유기금속 화합물이 담긴 충전 용기로 캐리어 가스를 공급하여 승화된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 생성하여 기상 성장 장치로 공급한다. 즉 유기금속 화합물은 충전 용기에 충전하고, 그것에 캐리어 가스를 흘림으로써, 캐리어 가스와 접촉한 유기금속 화합물이 캐리어 가스 중에 증기로서 도입되고, 캐리어 가스에 동반하여 충전 용기 밖으로 꺼내어져 기상 성장 장치에 공급되는데, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물이 함께 배출되는 문제점이 있었다.The organometallic compound supply device for supplying such organometallic compounds has a charging container in which the organometallic compounds are filled, and supplies a carrier gas to the filling container containing the organometallic compounds to generate a carrier gas containing the sublimated organometallic compounds. and supplied to the vapor phase growth device. That is, the organometallic compound is filled in a charging container and a carrier gas is flowing through it, so that the organometallic compound in contact with the carrier gas is introduced as vapor into the carrier gas, is taken out of the charging container along with the carrier gas, and is supplied to the vapor phase growth device. However, there was a problem in that the organometallic compounds in the form of particles were discharged together with the carrier gas containing the organometallic compounds.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 한국등록특허 제10-1695356호에는 연결 통로에 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하기 위한 필터가 설치된 유기금속 화합물 공급 장치를 개시하고 있다.To solve this problem, Korean Patent No. 10-1695356 discloses an organometallic compound supply device installed with a filter for filtering particulate organometallic compounds in a connecting passage.
개시된 유기금속 화합물 공급 장치는 필터를 통해 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링할 수는 있지만, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이면서, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 없는 문제점이 있었다.The disclosed organometallic compound supply device is capable of filtering organometallic compounds in particle form through a filter, but as the filtered organometallic compounds in particle form accumulate on the filter, the carrier gas containing the organometallic compound having a stable concentration and vapor pressure There was a problem in that it could not be discharged.
따라서 본 발명의 목적은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 필터링 된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 처리하기 위한 필터 모듈 및 그를 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치를 제공하는 데 있다.Therefore, the purpose of the present invention is to filter organometallic compounds in the form of particles in the process of discharging the carrier gas containing organometallic compounds, and to supply a filter module for effectively processing the filtered organometallic compound particles and an organometallic compound containing the same. To provide a device.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 용기로부터 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 배출관 사이에 설치되는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈로서, 한쪽이 상기 용기에 가까운 제1 배출관에 연결되고, 다른 쪽이 상기 용기에서 먼 제2 배출관에 연결되는 필터관; 상기 필터관 내에 내설되며 상기 제2 배출관 쪽으로 개방부가 형성된 필터로서, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터; 및 상기 필터관과 상기 필터 사이에 충진되며, 상기 필터에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시키도록 열을 상기 필터로 전달하는 금속 볼;을 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a filter module for an organometallic compound supply device installed between discharge pipes through which a carrier gas containing an organometallic compound is discharged from a container, one side of which is connected to a first discharge pipe close to the container, and , a filter pipe connected at the other end to a second discharge pipe distant from the vessel; A filter installed within the filter pipe and having an opening toward the second discharge pipe, the filter filtering out organometallic compounds in the form of particles during the discharge of a carrier gas containing an organometallic compound; and a metal ball filled between the filter tube and the filter and transferring heat to the filter to sublimate the organometallic compound particles filtered in the filter.
상기 필터관은, 상기 필터가 내설되는 메인관; 상기 메인관의 한 쪽에 설치되며, 상기 제1 배출관이 연결되는 제1 연결관; 및 상기 메인관의 다른 쪽에 설치되며, 상기 제2 배출관이 연결되는 제2 연결관;을 포함할 수 있다.The filter pipe includes a main pipe in which the filter is installed; A first connection pipe installed on one side of the main pipe and to which the first discharge pipe is connected; and a second connection pipe installed on the other side of the main pipe and to which the second discharge pipe is connected.
본 발명에 따른 필터 모듈은, 한 쪽이 상기 제1 연결관에 개스킷을 매개로 연결되고, 다른 쪽에 상기 제1 배출관이 연결되는 연결구;를 더 포함할 수 있다.The filter module according to the present invention may further include a connector on one side of which is connected to the first connector through a gasket, and on the other side of which the first discharge pipe is connected.
상기 필터는, 단면이 영문자 U 자 형태로, 막힌 부분이 상기 제1 연결관을 향하고, 상기 개방부가 상기 제2 연결관을 향한다.The filter has a cross-section shaped like the letter U, with the closed portion facing the first connector and the open portion facing the second connector.
상기 금속 볼은, 상기 개스킷, 상기 제1 연결관, 상기 필터와 상기 메인관 사이에 충전될 수 있다.The metal ball may be filled between the gasket, the first connector, the filter, and the main pipe.
상기 금속 볼의 직경은 0.5 mm 내지 1.5 mm 이다.The diameter of the metal ball is 0.5 mm to 1.5 mm.
상기 금속 볼의 소재는 알루미늄, 알루미늄 합금 및 스테인리스 스틸 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.The material of the metal ball may include at least one of aluminum, aluminum alloy, and stainless steel.
상기 개스킷은, 상기 제1 배출관을 통하여 유입된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 통과할 수 있도록 복수 개의 관통구멍이 형성되어 있고, 상기 관통구멍의 크기는 상기 금속 볼 보다는 작다.The gasket is formed with a plurality of through holes through which a carrier gas containing an organometallic compound introduced through the first discharge pipe can pass, and the size of the through holes is smaller than that of the metal ball.
본 발명은 또한, 내부에 유기금속 화합물을 담고 있는 용기; 상기 용기의 일측에 의하여 캐리어 가스를 공급하는 공급관; 상기 용기의 타측에 위치하여 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출하는 배출관; 및 상기 배출관 사이에 설치되며, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스에 포함되는 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 상기 필터 모듈;을 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치를 제공한다.The present invention also provides a container containing an organometallic compound therein; a supply pipe supplying carrier gas through one side of the container; a discharge pipe located on the other side of the container and discharging a carrier gas containing an organometallic compound generated while passing through the container; and the filter module, which is installed between the discharge pipes and filters particulate organometallic compounds contained in the carrier gas containing the organometallic compounds.
본 발명에 따른 필터 모듈은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 내장된 금속 볼을 통하여 필터에 효과적으로 열을 전달하여 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시킴으로써, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터에 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.The filter module according to the present invention filters organometallic compounds in the form of particles during the discharge of the carrier gas containing organometallic compounds, and effectively transfers heat to the filter through the built-in metal ball to remove the filtered organometallic compound particles. By sublimating, it is possible to prevent organometallic compounds in the form of filtered particles from accumulating on the filter, thereby discharging a carrier gas containing organometallic compounds with a stable concentration and vapor pressure.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 필터 모듈을 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 필터 모듈을 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 2의 개스킷을 보여주는 평면도이다.1 is a perspective view showing an organometallic compound supply device including a filter module according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing the filter module of Figure 1.
Figure 3 is a plan view showing the gasket of Figure 2.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.It should be noted that in the following description, only the parts necessary to understand the embodiments of the present invention will be described, and descriptions of other parts will be omitted without departing from the gist of the present invention.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms or words used in the specification and claims described below should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, and the inventor should use the concept of terminology appropriately to explain his/her invention in the best way. It must be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined clearly. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only preferred embodiments of the present invention, and do not represent the entire technical idea of the present invention, and therefore, various equivalents can be substituted for them at the time of filing the present application. It should be understood that there may be variations.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 필터 모듈을 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1의 필터 모듈을 보여주는 단면도이다. 그리고 도 3은 도 2의 개스킷을 보여주는 평면도이다.1 is a perspective view showing an organometallic compound supply device including a filter module according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a cross-sectional view showing the filter module of Figure 1. And Figure 3 is a plan view showing the gasket of Figure 2.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기금속 화합물 공급 장치(100)는 용기(10), 공급관(20), 배출관(30) 및 필터 모듈(40)을 포함한다.1 to 3, the organometallic
용기(10)는 내부에 고체 유기금속 화합물을 담기 위한 공간이 형성되어, 공간에 고체 유기금속 화합물을 담고 있다.The
용기(10)는 내부 공간에 고체 유기금속 화합물을 담고 있는 것으로 설명하지만, 이에 한정된 것은 아니고, 외부 용기와 내부 용기로 구분되어, 내부 용기에 고체 유기금속 화합물이 구비되고, 외부 용기와 내부 용기 사이에 열 전도성이 양호한 금속 소재의 충전제가 충전된 형태로 구성될 수도 있다. 이때 내부 용기는 공급관(20)과 배출관(30)을 연결하는 형태로 형성될 수 있으며, 직렬로 형성되거나 병렬로 형성될 수 있다.The
한편 유기금속 화합물은 인듐 화합물, 아연 화합물, 알루미늄 화합물, 갈륨 화합물, 마그네슘 화합물, 하프늄 화합물, 지르코늄 화합물, 티타늄 화합물, 바륨 화합물, 란타늄 화합물, 스트론튬 화합물, 텅스텐 화합물, 루테늄 화합물, 탄탈륨 화합물 등이다. 인듐 화합물은 인듐트리클로라이드, 인듐트리플루라이드, 인듐요오다이드 화합물, 트리메틸인듐, 디메틸클로로인듐, 시클로펜타디에닐인듐, 트리메틸인듐ㅇ트리메틸아르신부가물, 트리메틸인듐ㅇ트리메틸포스핀 부가물 등이다. 아연 화합물은 에틸아연 요오다이드, 에틸시클로펜타디에닐아연, 시클로펜타디에닐아연 등이다. 알루미늄 화합물은 메틸디클로로알루미늄 등이다. 갈륨 화합물은 갈륨트리클로라이드, 메틸디클로로갈륨, 디메틸클로로갈륨, 갈륨트리요오다이드, 디메틸브로모갈륨 등이다. 마그네슘 화합물은 비스시클로펜타디에닐마그네슘 등이다. 하프늄 화합물은 하프늄 클로라이드, 테트라키스(디메틸아미노)하프늄 등이다. 지르코늄 화합물은 지르코늄 클로라이드, 테트라키스(디메틸아미노)지르코늄 등이다. 바륨 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)바륨 등이다. 란타늄 화합물은 트리스(비스(트리메틸실릴)아미도)란타늄, 트리스(이소프로필시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(에틸시클로펜타디에닐)란타늄, 트리스(시클로펜타디에닐)란타늄 등이다. 스트론튬 화합물은 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)스트론튬 등이다. 텅스텐 화합물은 텅스텐헥사클로라이드, 텅스텐펜타클로라이드 등이다. 이러한 유기금속 화합물은 설명을 위해 예시한 것일 뿐, 본 발명에 적용 가능한 유기금속 화합물은 이러한 예들로 한정되지 않는다.Meanwhile, organometallic compounds include indium compounds, zinc compounds, aluminum compounds, gallium compounds, magnesium compounds, hafnium compounds, zirconium compounds, titanium compounds, barium compounds, lanthanum compounds, strontium compounds, tungsten compounds, ruthenium compounds, and tantalum compounds. Indium compounds include indium trichloride, indium trifluoride, indium iodide compounds, trimethylindium, dimethylchloroindium, cyclopentadienylindium, trimethylindium-trimethylarsine adduct, and trimethylindium-trimethylphosphine adduct. . Zinc compounds include ethylzinc iodide, ethylcyclopentadienylzinc, and cyclopentadienylzinc. Aluminum compounds include methyldichloroaluminum. Gallium compounds include gallium trichloride, methyldichlorogallium, dimethylchlorogallium, gallium triiodide, and dimethylbromogallium. Magnesium compounds include biscyclopentadienylmagnesium. Hafnium compounds include hafnium chloride and tetrakis(dimethylamino)hafnium. Zirconium compounds include zirconium chloride and tetrakis(dimethylamino)zirconium. Barium compounds include bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)barium. Lanthanum compounds include tris(bis(trimethylsilyl)amido)lanthanum, tris(isopropylcyclopentadienyl)lanthanum, tris(ethylcyclopentadienyl)lanthanum, and tris(cyclopentadienyl)lanthanum. Strontium compounds include bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptandionato)strontium. Tungsten compounds include tungsten hexachloride and tungsten pentachloride. These organometallic compounds are only exemplified for explanation, and the organometallic compounds applicable to the present invention are not limited to these examples.
용기(10)의 소재로는 스테인리스 스틸(SUS)을 사용할 수 있으며, 관 형태로 형성될 수 있다.Stainless steel (SUS) can be used as a material for the
이러한 용기(10)는 용기 본체(11) 및 덮개판(14)을 포함한다.This
용기 본체(11)는 상부에 개방부가 형성되어 있으며, 내부에 고체 유기금속 화합물을 수용하기 위한 공간이 형성된다.The
이러한 용기 본체(11)는 본체(12) 및 바닥판(13)을 포함한다.This
본체(12)는 양쪽이 개방되어 있고, 내부에 공간이 형성된 관 형태를 가지며, 상부에 덮개판(14)이 결합된다. 그리고 바닥판(13)은 본체(12)의 개방된 하부에 결합된다. 즉 본체(12)를 중심으로 상부에 덮개판(14)이 결합되고, 하부에 바닥판(13)이 결합되어 내부 공간을 봉합한다. 여기서 본체(12) 및 바닥판(13)을 일체로 형성될 수도 있다.The
덮개판(14)은 용기 본체(11)의 상부를 외부 환경으로부터 봉합한다. 이때 덮개판(14)은 용기 본체(11)를 외부로부터 완전히 차단한 상태에서 공급관(20)과 배출관(30)을 통해서만 용기 본체(11)의 내부와 용기 본체(11)의 외부를 연결하도록 할 수 있다.The
공급관(20)은 용기 본체(11) 내부로 캐리어 가스를 공급한다. 그리고 공급관(20)은 캐리어 가스의 공급량을 조절하는 공급 밸브(21)가 설치된다. 이러한 공급관(20)은 덮개판(14)의 일측에 형성될 수 있으며, 덮개판(14)을 관통하여 용기 본체(11) 내부로 캐리어 가스를 공급할 수 있다.The
그리고 배출관(30)은 용기 본체(11)에 연결되어, 용기 본체(11)를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출한다. 그리고 배출관(30)은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스의 배출량을 조절하는 배출 밸브(31)가 설치된다. 이러한 배출관(30)은 덮개판(14)의 타측에 형성될 수 있으며, 덮개판(14)을 관통하여 용기 본체(11)를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.And the
그리고 필터 모듈(40)은 배출관(30)의 경로 상에 설치될 수 있다. 즉 필터 모듈(40)은 용기(10)와 기상 성장 장치(미도시) 사이의 배출관(30) 경로 상에 설치되어 공급관(20)으로부터 유입된 캐리어 가스가 용기 본체(11)에 저장된 유기금속 화합물을 통과하면서, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출관(30)을 통해 배출되는 과정에서 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스 중 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링 한다.And the
필터 모듈(40)은 전술된 바와 같이 배출관(30)의 경로 상에 설치된다. 여기서 배출관(30)은 용기(10)와 필터 모듈(40) 사이에 개재된 제1 배출관(33)과, 필터 모듈(40)과 기상 성장 장치 사이에 개재된 제2 배출관(35)을 포함한다.The
이러한 필터 모듈(40)은 필터관(47), 필터(55) 및 금속 볼(57)을 포함한다. 필터관(47)은 한 쪽이 용기(10)에 가까운 제1 배출관(33)에 연결되고, 다른 쪽이 용기(10)에서 먼 제2 배출관(35)에 연결된다. 필터(55)는 필터관(47) 내에 내설되며 제2 배출관(35) 쪽으로 개방부가 형성된다. 필터(55)는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링한다. 그리고 금속 볼(57)은 필터관(47)과 필터(55) 사이에 충진되며, 필터(55)에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시키도록 열을 필터(55)로 전달한다.This
여기서 필터관(47)은 유기금속 화합물 입자의 필터링과, 필터링된 유기금속 화합물 입자의 승화가 이루어진다. 이러한 필터관(47)은 메인관(49), 제1 연결관(51) 및 제2 연결관(53)을 포함한다. 메인관(49)은 필터(55)가 내설된다. 제1 연결관(51)은 메인관(49)의 한 쪽에 설치되며, 제1 배출관(33)이 연결된다. 그리고 제2 연결관(53)은 메인관(49)의 다른 쪽에 설치되며, 제2 배출관(35)이 연결된다.Here, the
메인관(49)은 양쪽이 개방된 원통관 형태로, 양쪽에 제1 및 제2 연결관(51,53)이 결합된다.The
제1 연결관(51)에는 연결구(41)가 개스킷(43)을 매개로 연결된다. 즉 연결구(41)는 한 쪽이 제1 연결관(51)에 개스킷(43)을 매개로 연결되고, 다른 쪽에 제1 배출관(33)이 연결된다. 제1 배출관(33)을 통과한 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스는 연결구(41)의 개스킷(43)을 통하여 필터관(49)으로 주입된다.A
필터(55)는 단면이 영문자 U 자 형태로, 막힌 부분이 제1 연결관(51)을 향하고, 개방부가 제2 연결관(53)을 향하도록 필터관(49)에 내설된다. 필터(55)와 메인관(49) 사이에는 공간이 형성되고, 해당 공간을 통하여 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 통과하면서 필터링된다.The
도시하진 않았지만, 필터(55)에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시키기 위해서, 필터관(47)의 외측에는 히팅 부재가 설치된다. Although not shown, a heating member is installed on the outside of the
그런데 필터(55)의 개방부가 형성된 부분이 필터관(47)에 접촉되어 있지만, 필터(55)와 메인관(49) 사이에는 공간이 형성되기 때문에, 메인관(49)을 통하여 필터 전체에 열이 균일하게 전달되지 못할 수 있다.However, the open portion of the
하지만 본 실시예에 따른 필터 모듈(40)은 금속 볼(57)이 필터(55)와 필터관(47) 사이에 충진되어 있다. 즉 금속 볼(57)은 개스킷(43), 제1 연결관(51), 필터(55)와 메인관(49) 사이에 충전되어 있다. 따라서 히팅 부재를 통하여 필터관(47)으로 열이 인가되면, 열은 필터(55)와 필터관(47) 사이에 충진된 금속 볼(57)을 통하여 필터(55)로 전달할 수 있다. 이로 인해 필터(55)에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 효과적으로 승화시킬 수 있다.However, in the
금속 볼(57)의 직경은 0.5 mm 내지 1.5 mm이다. 0.5 mm 보다 작은 경우, 금속 볼(57)이 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스의 이동을 방해할 수 있다. 반대로 1.5 mm 보다 큰 경우, 금속 볼(57)을 통하여 필터(55)로 전달되는 열이 떨어지고, 필터(55)와 필터관(47) 사이의 충진율이 떨어질 수 있다.The diameter of the
금속 볼(57)의 소재는 열전도성이 양호한 금속 소재로서, 예컨대 알루미늄, 알루미늄 합금 및 스테인리스 스틸 중에 적어도 하나가 사용될 수 있다.The material of the
그리고 개스킷(43)은 제1 배출관(33)을 통하여 유입된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 통과할 수 있도록 복수 개의 관통구멍(45)이 형성되어 있다. 개스킷(45) 안쪽으로 금속 볼(57)이 충진되기 때문에, 개스킷(43)의 관통구멍(45)을 통하여 금속 볼(57)이 제1 배출관(33) 쪽으로 빠지지 않도록, 관통구멍(45)의 크기는 금속 볼(57) 보다는 작다.In addition, the
이와 같이 본 실시예에 따른 필터 모듈(40)은 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하고, 내장된 금속 볼(57)을 통하여 필터(55)에 효과적으로 열을 전달하여 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시킴으로써, 필터링 된 입자 형태의 유기금속 화합물이 필터(55)에 쌓이는 것을 방지하여, 안정적인 농도와 증기압을 갖는 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출할 수 있다.In this way, the
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.Meanwhile, the embodiments disclosed in the specification and drawings are merely provided as specific examples to aid understanding, and are not intended to limit the scope of the present invention. It is obvious to those skilled in the art that in addition to the embodiments disclosed herein, other modifications based on the technical idea of the present invention can be implemented.
10 : 용기
11 : 용기 본체
12 : 본체
13 : 바닥판
14 : 덮개판
20 : 공급관
21 : 공급 밸브
30 : 배출관
31 : 배출 밸브
33 : 제1 배출관
35 : 제2 배출관
40 : 필터 모듈
41 : 연결구
43 : 개스킷
45 : 관통구멍
47 : 필터관
49 : 메인관
51 : 제1 연결관
53 : 제2 연결관
55 : 필터
57 : 금속 볼
59 : 온도 센서
100 : 유기금속 화합물 공급 장치10: container
11: container body
12: main body
13: Bottom plate
14: cover plate
20: supply pipe
21: supply valve
30: discharge pipe
31: discharge valve
33: first discharge pipe
35: second discharge pipe
40: Filter module
41: connector
43: gasket
45: Through hole
47: filter tube
49: Main hall
51: first connector
53: second connector
55: filter
57: metal ball
59: Temperature sensor
100: Organometallic compound supply device
Claims (15)
한쪽이 상기 용기에 가까운 제1 배출관에 연결되고, 다른 쪽이 상기 용기에서 먼 제2 배출관에 연결되는 필터관;
상기 필터관 내에 내설되며 상기 제2 배출관 쪽으로 개방부가 형성된 필터로서, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터; 및
상기 필터관과 상기 필터 사이에 충진되며, 상기 필터에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시키도록 열을 상기 필터로 전달하는 금속 볼;
을 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.A filter module for an organometallic compound supply device installed between discharge pipes through which a carrier gas containing an organometallic compound is discharged from a container, comprising:
a filter tube connected on one side to a first discharge pipe close to the container and on the other side connected to a second discharge pipe distant from the container;
A filter installed within the filter pipe and having an opening toward the second discharge pipe, the filter filtering out organometallic compounds in the form of particles during the discharge of a carrier gas containing an organometallic compound; and
a metal ball filled between the filter tube and the filter and transferring heat to the filter to sublimate the organometallic compound particles filtered in the filter;
A filter module for an organometallic compound supply device comprising a.
상기 필터가 내설되는 메인관;
상기 메인관의 한 쪽에 설치되며, 상기 제1 배출관이 연결되는 제1 연결관; 및
상기 메인관의 다른 쪽에 설치되며, 상기 제2 배출관이 연결되는 제2 연결관;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.The method of claim 1, wherein the filter tube is:
a main pipe in which the filter is installed;
A first connection pipe installed on one side of the main pipe and to which the first discharge pipe is connected; and
a second connection pipe installed on the other side of the main pipe and to which the second discharge pipe is connected;
A filter module for an organometallic compound supply device comprising a.
한 쪽이 상기 제1 연결관에 개스킷을 매개로 연결되고, 다른 쪽에 상기 제1 배출관이 연결되는 연결구;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.According to paragraph 2,
a connector on one side of which is connected to the first connection pipe through a gasket, and on the other side of which the first discharge pipe is connected;
A filter module for an organometallic compound supply device, further comprising:
단면이 영문자 U 자 형태로, 막힌 부분이 상기 제1 연결관을 향하고, 상기 개방부가 상기 제2 연결관을 향하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.The method of claim 3, wherein the filter:
A filter module for an organometallic compound supply device, characterized in that the cross-section is in the shape of the English letter U, the closed portion faces the first connector, and the open portion faces the second connector.
상기 개스킷, 상기 제1 연결관, 상기 필터와 상기 메인관 사이에 충전되는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.The method of claim 4, wherein the metal ball is:
A filter module for an organometallic compound supply device, characterized in that it is filled between the gasket, the first connector, the filter, and the main pipe.
상기 금속 볼의 직경은 0.5 mm 내지 1.5 mm인 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.According to clause 5,
A filter module for an organometallic compound supply device, characterized in that the diameter of the metal ball is 0.5 mm to 1.5 mm.
상기 금속 볼의 소재는 알루미늄, 알루미늄 합금 및 스테인리스 스틸 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.According to clause 6,
A filter module for an organometallic compound supply device, characterized in that the material of the metal ball includes at least one of aluminum, aluminum alloy, and stainless steel.
상기 제1 배출관을 통하여 유입된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 통과할 수 있도록 복수 개의 관통구멍이 형성되어 있고, 상기 관통구멍의 크기는 상기 금속 볼 보다는 작은 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치용 필터 모듈.The method of claim 6, wherein the gasket is:
An organometallic compound supply device characterized in that a plurality of through holes are formed to allow the carrier gas containing the organometallic compound introduced through the first discharge pipe to pass through, and the size of the through holes is smaller than the metal ball. For filter module.
상기 용기의 일측에 의하여 캐리어 가스를 공급하는 공급관;
상기 용기의 타측에 위치하여 상기 용기를 통과하면서 생성된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스를 배출하는 배출관; 및
상기 배출관 사이에 설치되며, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스에 포함되는 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터 모듈;을 포함하고,
상기 필터 모듈은,
한쪽이 상기 용기에 가까운 제1 배출관에 연결되고, 다른 쪽이 상기 용기에서 먼 제2 배출관에 연결되는 필터관;
상기 필터관 내에 내설되며 상기 제2 배출관 쪽으로 개방부가 형성된 필터로서, 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 배출되는 과정에서 입자 형태의 유기금속 화합물을 필터링하는 필터; 및
상기 필터관과 상기 필터 사이에 충진되며, 상기 필터에 필터링된 유기금속 화합물 입자를 승화시키도록 열을 상기 필터로 전달하는 금속 볼;
을 포함하는 유기금속 화합물 공급 장치.A container containing an organometallic compound therein;
a supply pipe supplying carrier gas through one side of the container;
a discharge pipe located on the other side of the container and discharging a carrier gas containing an organometallic compound generated while passing through the container; and
A filter module is installed between the discharge pipes and filters particulate organometallic compounds contained in the carrier gas containing the organometallic compounds,
The filter module is,
a filter tube connected on one side to a first discharge pipe close to the container and on the other side connected to a second discharge pipe distant from the container;
A filter installed within the filter pipe and having an opening toward the second discharge pipe, the filter filtering out organometallic compounds in the form of particles during the discharge of a carrier gas containing an organometallic compound; and
a metal ball filled between the filter tube and the filter and transferring heat to the filter to sublimate the organometallic compound particles filtered in the filter;
An organometallic compound supply device comprising a.
상기 필터가 내설되는 메인관;
상기 메인관의 한 쪽에 설치되며, 상기 제1 배출관이 연결되는 제1 연결관; 및
상기 메인관의 다른 쪽에 설치되며, 상기 제2 배출관이 연결되는 제2 연결관;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.The method of claim 9, wherein the filter tube is:
a main pipe in which the filter is installed;
A first connection pipe installed on one side of the main pipe and to which the first discharge pipe is connected; and
a second connection pipe installed on the other side of the main pipe and to which the second discharge pipe is connected;
An organometallic compound supply device comprising:
한 쪽이 상기 제1 연결관에 개스킷을 매개로 연결되고, 다른 쪽에 상기 제1 배출관이 연결되는 연결구;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.The method of claim 10, wherein the filter module:
A connector on one side of which is connected to the first connection pipe through a gasket and on the other side of which the first discharge pipe is connected;
An organometallic compound supply device further comprising:
단면이 영문자 U 자 형태로, 막힌 부분이 상기 제2 연결관을 향하고, 상기 개방부가 상기 제1 연결관을 향하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.The method of claim 11, wherein the filter:
An organometallic compound supply device, characterized in that the cross section is shaped like the letter U, the closed portion faces the second connection pipe, and the open portion faces the first connection pipe.
상기 개스킷, 상기 제1 연결관, 상기 필터와 상기 메인관 사이에 충전되는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.The method of claim 12, wherein the metal ball is:
An organometallic compound supply device, characterized in that the space between the gasket, the first connection pipe, the filter, and the main pipe is filled.
상기 금속 볼의 직경은 0.5 mm 내지 1.5 mm이고,
상기 금속 볼의 소재는 알루미늄, 알루미늄 합금 및 스테인리스 스틸 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.According to clause 13,
The diameter of the metal ball is 0.5 mm to 1.5 mm,
An organometallic compound supply device, characterized in that the material of the metal ball includes at least one of aluminum, aluminum alloy, and stainless steel.
상기 제1 배출관을 통하여 유입된 유기금속 화합물을 함유하는 캐리어 가스가 통과할 수 있도록 복수 개의 관통구멍이 형성되어 있고, 상기 관통구멍의 크기는 상기 금속 볼 보다는 작은 것을 특징으로 하는 유기금속 화합물 공급 장치.The method of claim 13, wherein the gasket is:
An organometallic compound supply device characterized in that a plurality of through holes are formed to allow the carrier gas containing the organometallic compound introduced through the first discharge pipe to pass through, and the size of the through holes is smaller than the metal ball. .
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