KR20230052142A - 마스크 고정장치 - Google Patents

마스크 고정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230052142A
KR20230052142A KR1020210135347A KR20210135347A KR20230052142A KR 20230052142 A KR20230052142 A KR 20230052142A KR 1020210135347 A KR1020210135347 A KR 1020210135347A KR 20210135347 A KR20210135347 A KR 20210135347A KR 20230052142 A KR20230052142 A KR 20230052142A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
metal support
electrostatic chuck
support frame
substrate
Prior art date
Application number
KR1020210135347A
Other languages
English (en)
Inventor
황인호
양동주
김재만
Original Assignee
주식회사 선익시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 선익시스템 filed Critical 주식회사 선익시스템
Priority to KR1020210135347A priority Critical patent/KR20230052142A/ko
Publication of KR20230052142A publication Critical patent/KR20230052142A/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 증착을 위해 배치되는 마스크를 보다 효과적으로 고정하여 쉐도우 현상을 저감할 수 있는 마스크 고정장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따르면, 증착이 이루어져야 할 기판을 상측에서 정전기를 이용하여 고정하는 기판 정전척; 상기 기판의 하측에 배치되는 마스크를 지지하는 메탈 서포트; 상기 메탈 서포트의 테두리에 배치되어 상기 메탈 서포트와 용접되는 메탈 서포트 프레임; 상기 마스크의 하측에서 상기 마스크를 고정하는 마스크 정전척; 상기 메탈 서포트 프레임과 상기 마스크 정전척이 배치되는 마스크 척 스테이지; 를 포함하는, 마스크 고정장치가 개시된다.

Description

마스크 고정장치{Device for Chucking Mask}
본 발명은 마스크 고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판 증착을 위해 배치되는 마스크를 보다 효과적으로 고정하여 쉐도우 현상을 저감할 수 있는 마스크 고정장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이를 제조할 때, 일반적으로 기판(10)의 표면에 증착을 통한 성막공정을 행한다.
이때, 기판(10)에 형성되는 성막의 패턴을 형성하기 위한 마스크(20)가 배치되며, 이러한 기판(10) 및 마스크(20)는 정전 척 등에 의해 고정될 수 있다.
도 1은 종래의 기판(10) 및 마스크(20)의 고정구조를 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 증착이 이루어져야 할 기판(10)의 상측에 기판(10)을 정전기력으로서 고정하는 기판 정전척(40)이 구비된다. 또한 상기 기판 정전척(40)의 상측에는 마그넷(30)이 구비된다.
상기 기판(10)의 하측에는 마스크(20)가 배치된다. 그리고, 상기 마스크(20)의 하측에 상기 마스크(20)를 지지하기 위한 서포트(50)가 구비된다. 상기 서포트(50)는 상측에 구비된 마그넷(30)에 의해 당겨지게 되어 중력에 의해 쳐지는 마스크(20)를 하측에서 지지할 수 있다.
최근, 보다 고해상도 증착을 위해 보다 얇은 실리콘 재질등의 마스크를 적용해야 할 필요가 대두되고 있는데, 이러한 실리콘 재질의 마스크는 얇고 무게가 가벼워 진동 등의 움직임이 발생하며, 중력에 의한 쳐짐현상 도한 발생되는 바, 이러한 움직임과 쳐짐 등에 의해 고해상도 증착에 어려움을 겪고 있어 이러한 문제를 해결할 수 있는 마스크 고정장치의 필요성이 대두되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증착패턴의 해상도 및 유효수율면적을 증가시킬 수 있는 마스크 고정장치를 제공하는 것이 과제이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 형태에 따르면, 증착이 이루어져야 할 기판을 상측에서 정전기를 이용하여 고정하는 기판 정전척; 상기 기판의 하측에 배치되는 마스크를 지지하는 메탈 서포트; 상기 메탈 서포트의 테두리에 배치되어 상기 메탈 서포트와 용접되는 메탈 서포트 프레임; 상기 마스크의 하측에서 상기 마스크를 고정하는 마스크 정전척; 상기 메탈 서포트 프레임과 상기 마스크 정전척이 배치되는 마스크 척 스테이지; 를 포함하는 마스크 고정장치가 개시된다.
상기 메탈 서포트 프레임은 상기 마스크의 둘레외측에 대응되는 위치의 마스크 척 스테이지에 배치될 수 있다.
상기 메탈 서포트는 상기 메탈 서포트 프레임의 상단까지 연장된 후, 상기 메탈 서포트 프레임의 상단과 용접되며, 상기 메탈 서포트의 하측의 상기 마스크 정전척은 상기 메탈 서포트 프레임의 테두리 내측에 배치될 수 있다.
상기 마스크 정전척은 상기 마스크와 접촉되는 척킹면이 상기 메탈 서포트 둘레에 비 연속적으로 이격되어 노출되며, 상기 메탈 서포트와 상기 메탈 서포트 프레임은 상기 마스크 정전척의 척킹면이 이격된 사이로 상호 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 마스크 정전척 및 상기 메탈 서포트 프레임은 원형으로 형성될 수 있다.
상기 마스크 정전척은, 상기 마스크와 접촉되며, 상호 이격되어 형성되는 복수개의 척킹면; 상기 척킹면과 척킹면이 이격된 사이에 형성되는 골;을 포함할 수 있다.
상기 메탈 서포트는, 상기 마스크를 지지하도록 격자 형태로 형성되는 네트부; 상기 네트부의 외측으로부터 상기 마스크 정전척의 골을 통해 상기 마스크 정전척의 외측둘레에 배치된 메탈 서포트 프레임까지 연장되는 리브;를 포함할 수 있다.
본 발명의 마스크 고정장치에 따르면 메탈 서포트와 메탈 서포트 프레임이 용접되는 부분이 마스크의 외측에 위치되므로 마스크와 메탈 서포트간의 밀착을 방해하지 아니하여 마스크와 메탈 서포트간의 밀착성이 마스크의 외곽부분에까지 유지될 수 있어 쉐도우 현상이 줄어들며, 증측패턴의 해상도 및 유효수율면적을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 종래의 마스크 고정장치의 구조를 도시한 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 구조를 도시한 도면;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치 중 메탈 서포트와 메탈 서포트 프레임 및 마스크 정전척을 도시한 사시도;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 정전척을 도시한 사시도;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈 서포트 및 메탈 서포트 프레임을 도시한 사시도 이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
이하, 본 발명의 마스크(20) 고정장치의 일 실시예에 대해서 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 마스크(20) 고정장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 정전척(140), 메탈 서포트(150), 메탈 서포트 프레임(160), 마스크 정전척(170), 마스크 척 스테이지(180)를 포함할 수 있다.
상기 기판 정전척(140)은 증착이 이루어져야 할 기판(10)을 상측에서 정전기를 이용하여 고정하는 구성요소이다. 따라서 상기 기판 정전척(140)의 하측에 기판(10)이 배치된다. 그리고, 상기 기판 정전척(140)의 상측에 마그넷(130)이 구비될 수 있다.
상기 기판(10)의 하측에는 마스크(20)가 배치된다. 상기 마스크(20)는 실리콘 재질일 수 있으며, 상기 기판(10)에 증착되는 증착물질의 증착패턴을 형성할 수 있다. 실리콘 재질의 마스크(20)는 보다 고해상도에 대응할 수 있어 최근 그 사용이 증대되고 있다.
그리고, 상기 마스크(20)의 하측에서 마스크(20)를 지지하는 메탈 서포트(150)가 구비된다.
상기 메탈 서포트(150)는 격자의 그믈 형태로 이루어져 상기 마스크(20)가 중력에 의해 쳐지는 것을 지지하는 구성요소이다.
그리고, 상기 메탈 서포트(150)의 외측 테두리에 배치되어 상기 메탈 서포트(150)와 용접되어 상기 메탈 서포트(150)를 지지하는 메탈 서포트 프레임(160)이 구비된다.
그리고, 상기 마스크 정전척(170)은 상기 마스크(20)의 하측에서 상기 마스크(20)를 정전기력으로 고정하도록 구비될 수 있다.
그리소, 상기 메탈 서포트 프레임(160)과 상기 마스크 정전척(170)이 배치되는 마스크 척 스테이지(180)가 배치된다. 상기 마스크 척 스테이지(180) 상에 상기 마스크 정전척(170)과 상기 메탈 서포트 프레임(160)이 배치될 수 있다.
이 때, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 메탈 서포트 프레임(160)은 상기 마스크(20)의 둘레외측에 대응되는 위치의 마스크 척 스테이지(180)에 배치되며, 상기 메탈 서포트(150)는 상기 메탈 서포트 프레임(160)의 상단까지 연장되어 상기 메탈 프레임의 상단과 용접될 수 있다.
상기 메탈 서포트(150)가 상기 마스크(20) 외측에 배치된 메탈 서포트 프레임(160)까지 연장된 후 용접되므로, 용접에 의해 생성되는 용접비드(165)가 상기 마스크(20)의 외측에 형성될 수 있다.
따라서, 상기 메탈 서포트(150)가 상기 마스크(20)를 지지하는데 상기 용접비드(165)가 방해되지 아니할 수 있다.
이 때, 상기 마스크 정전척(170)은 상기 마스크(20)의 하측에 구비되어야 하므로 상기 메탈 서포트 프레임(160)의 테두리 내측에 위치된다. 그런데, 이와 같이 상기 마스크 정전척(170)이 상기 메탈 서포트 프레임(160)의 테두리 내측에 위치되면 상기 마스크 정전척(170)이 상기 메탈 서포트(150)의 하측에 배치되게 되는데, 상기 마스크 정전척(170)과 상기 마스크(20)의 사이에 상기 메탈 서포트(150)가 위치되면 정전기력을 이용한 척킹(Chucking)이 방해될 수 있다.
따라서, 상기 마스크 정전척(170)이 상기 마스크(20)와 직접 접촉되도록 상기 메탈 서포트(150)의 일부를 개구하여 상기 마스크 정전척(170)과 상기 마스크(20)가 직접 접촉되도록 할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 정전척(170) 및 상기 메탈 서포트 프레임(160)은 원형으로 형성되는데, 상기 마스크 정전척(170)은 상기 마스크(20)와 접촉되는 척킹면(172)이 상기 메탈 서포트(150) 둘레에 비 연속적으로 이격되어 상기 마스크(20)를 향해 노출되며, 상기 메탈 서포트(150)와 상기 메탈 서포트 프레임(160)은 상기 마스크 정전척(170)의 척킹면(172)이 이격된 사이로 상호 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 마스크 정전척(170)은, 상기 마스크(20)의 하측면과 접촉되는 척킹면(172)이 상호 이격되어 복수개 형성될 수 있다. 상기 척킹면(172)은 상기 마스크(20)와 직접 접촉되어 정전기력으로 상기 마스크(20)를 고정하는 부분을 칭한다.
그리고, 상기 척킹면(172)과 척킹면(172)이 이격된 사이에는 골(174)이 형성될 수 있다.
상기 메탈 서포트(150)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 전체적으로 원형으로 형성되며, 네트부(152)와 리브(154)를 포함할 수 있다.
상기 네트부(152)는, 상기 마스크(20)를 지지하도록 격자 형태로 형성되며, 상기 리브(154)는 상기 네트부(152)의 외측으로부터 상기 마스크 정전척(170)의 척킹면(172)이 이격된 사이에 형성된 골(174)을 통해 상기 마스크 정전척(170)의 외측둘레에 배치된 메탈 서포트 프레임(160)까지 연장되어 상기 메탈 서포트 프레임(160)에 용접되는 부분이다.
즉, 상기 메탈 서포트(150)가 상기 마스크(20) 외측에 배치된 메탈 서포트 프레임(160)까지 연장된 후 용접되므로, 용접에 의해 생성되는 용접비드(165)가 상기 마스크(20)의 외측에 형성되므로, 상기 메탈 서포트(150)가 상기 마스크(20)를 지지하는데 상기 용접비드(165)가 방해되지 아니할 수 있으므로, 상기 마스크(20)를 보다 평평하게 지지할 수 있으며, 상기 메탈 서포트(150)와 상기 마그넷(130)간의 간격이 보다 좁아져 상기 메탈 서포트(150)가 상측으로 당겨지는 변위량이 보다 커지므로 쉐도우 증가를 억제하여 유효수율면적을 증대시킬 수 있다.
또한, 상기 메탈 서포트(150)의 네트부(152)와 상기 메탈 서포트 프레임(160)을 연결하는 리브(154)가 상기 마스크 정전척(170)의 척킹면(172)의 골(174)을 통해 연장되어 용접되며, 상기 마스크 정전척(170)의 척킹면(172)은 상기 마스크(20)를 향해 노출되므로 상기 마스크 정전척(170)이 원할하게 상기 마스크(20)를 정전기력으로 척킹할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 기판 20: 마스크
130: 마그넷 140: 기판 정전척
150: 메탈 서포트 152: 네트부
154: 리브 160: 메탈 서포트 프레임
170: 마스크 정전척 172: 척킹면
174: 리브 180: 마스크 척 스테이지

Claims (7)

  1. 증착이 이루어져야 할 기판을 상측에서 정전기를 이용하여 고정하는 기판 정전척;
    상기 기판의 하측에 배치되는 마스크를 지지하는 메탈 서포트;
    상기 메탈 서포트의 테두리에 배치되어 상기 메탈 서포트와 용접되는 메탈 서포트 프레임;
    상기 마스크의 하측에서 상기 마스크를 고정하는 마스크 정전척;
    상기 메탈 서포트 프레임과 상기 마스크 정전척이 배치되는 마스크 척 스테이지;
    를 포함하는, 마스크 고정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메탈 서포트 프레임은 상기 마스크의 둘레외측에 대응되는 위치의 마스크 척 스테이지에 배치되고, 상기 메탈 서포트는 상기 메탈 서포트 프레임의 상단까지 연장된 후, 상기 메탈 서포트 프레임의 상단과 용접되는, 마스크 고정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 메탈 서포트의 하측의 상기 마스크 정전척은 상기 메탈 서포트 프레임의 테두리 내측에 배치되는, 마스크 고정장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 마스크 정전척은 상기 마스크와 접촉되는 척킹면이 상기 메탈 서포트 둘레에 비 연속적으로 이격되어 노출되며, 상기 메탈 서포트와 상기 메탈 서포트 프레임은 상기 마스크 정전척의 척킹면이 이격된 사이로 상호 연결되도록 형성되는, 마스크 고정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 정전척 및 상기 메탈 서포트 프레임은 원형으로 형성되는, 마스크 고정장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 마스크 정전척은,
    상기 마스크와 접촉되며, 상호 이격되어 형성되는 복수개의 척킹면;
    상기 척킹면과 척킹면이 이격된 사이에 형성되는 골;
    을 포함하는, 마스크 고정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 메탈 서포트는,
    상기 마스크를 지지하도록 격자 형태로 형성되는 네트부;
    상기 네트부의 외측으로부터 상기 마스크 정전척의 골을 통해 상기 마스크 정전척의 외측둘레에 배치된 메탈 서포트 프레임까지 연장되는 리브;
    를 포함하는, 마스크 고정장치.
KR1020210135347A 2021-10-12 2021-10-12 마스크 고정장치 KR20230052142A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210135347A KR20230052142A (ko) 2021-10-12 2021-10-12 마스크 고정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210135347A KR20230052142A (ko) 2021-10-12 2021-10-12 마스크 고정장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230052142A true KR20230052142A (ko) 2023-04-19

Family

ID=86142330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210135347A KR20230052142A (ko) 2021-10-12 2021-10-12 마스크 고정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230052142A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100626041B1 (ko) 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법
CN103911584B (zh) 一种掩膜板
EP1209522A2 (en) Mask for fabricating display panel
KR102373326B1 (ko) 증착 장치 및 증착 장치 내 기판 정렬 방법
US11275315B2 (en) High-precision shadow-mask-deposition system and method therefor
WO2022068372A1 (zh) 掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件
TW201710527A (zh) 蒸鍍用磁性掩模板的製作方法
US20060038974A1 (en) Pellicle frame and pellicle for photolithography using the same
JP2011158585A (ja) ペリクルおよびペリクルの製造方法
WO2018146869A1 (ja) 蒸着マスク
JP2007034298A (ja) 表示装置用基板の製造装置及び製造方法
JPS63110634A (ja) Ｘ線ステツパ−用マスク
WO2017067307A1 (zh) 一种蒸镀用复合磁性掩模板的制作方法
KR102126515B1 (ko) 마스크 조립체의 제조 장치 및 그 방법
JP4604593B2 (ja) メタルマスクの製造方法
KR20230052142A (ko) 마스크 고정장치
EP3432061A1 (en) Diffuser plate supporter, backlight unit, and electronic device
CN210193986U (zh) 掩模板组件
JP2006216289A (ja) マスク及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
KR20050031441A (ko) 펠리클과 펠리클용 프레임
CN115110028A (zh) 掩模板框架及掩模板组件
TWI250557B (en) Method of producing a photo mask blank
TW202028857A (zh) 一種掩模元件以及一種顯示裝置
KR100446467B1 (ko) 보조 마스크를 사용한 평판 표시 소자의 제조 방법
KR20120021055A (ko) 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법