KR20120021055A - 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프레임의 변형을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킨 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 적어도 두 개의 개구부를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 구비하는 프레임과, 상기 프레임의 테두리면에 얼라인되는 제1 마스터 기판과, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인되며, 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 포함하는 마스터 기판과, 셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들을 구비하며, 상기 패턴부들이 상기 적어도 두 개의 개구부에 위치하도록 고정되는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법{MASK FRAME ASSEMBLY AND DEPOSITINGMETHOD USING THE SAME}

본 발명은 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것으로, 특히, 프레임의 변형을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킨 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube,CRT)의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시 장치가 차세대 표시 장치로 각광 받고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Display) 등이 있다.

여기서, 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다. 그러나, 소정의 색상을 구현하는 유기 발광층은 수분 및 산소에 치명적이기 때문에 유기 발광층을 증착과 동시에 패터닝하는 제조 방법이 제안되었다. 이와 같이, 소정의 패턴을 가지는 전극, 발광층을 형성하기 위한 방법 중 마스크를 이용하여 증착하는 방법이 사용될 수 있다. 마스크는 개구부를 구비하는 프레임에 고정되어 증착용 마스크 프레임 조립체를 구성하는 것이 일반적인데, 프레임에 고정되는 공정에서 마스크가 왜곡되는 문제가 발생될 수 있으며, 마스크의 왜곡에 따른 프레임도 휨 현상이 발생된다.

다시 말하여, 프레임에 부착될 마스크는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임에 부착되므로, 마스크와 프레임이 결합된 후에는 마스크에 작용되었던 인장력이 프레임에도 작용하게 된다. 이와 같이 휨 현상이 발생된 프레임을 이용하여 발광층을 증착하게 되면, 정밀도가 저하될 수 있다. 또한, 프레임은 마스크가 대형화됨에 따라 프레임의 좌, 우에 미치는 힘이 커져 좌, 우 휨 현상이 더욱 심해지며, 휨 현상이 큰 프레임을 이용한 증착 공정을 하게 되면, 정밀도는 더욱 심하게 저하될 수 있다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 프레임의 변형을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킨 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법을 제공하는 것이다.

이를 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 적어도 두 개의 개구부를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 구비하는 프레임과, 상기 프레임의 테두리면에 얼라인되는 제1 마스터 기판과, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인되며, 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 포함하는 마스터 기판과, 셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들을 구비하며, 상기 패턴부들이 상기 적어도 두 개의 개구부에 위치하도록 고정되는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며, 상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체를 이용한 증착 방법은 프레임의 테두리면에 제1 마스터 기판을 얼라인시키는 단계와, 상기 프레임의 구조 보강 지지대에 의해 구분된 적어도 두 개의 개구부 각각에 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 얼라인시키는 단계와, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 내에 셀 단위로 증착하기 위한 마스크를 위치시키는 단계와, 상기 제1 마스터 기판과 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 제거한 뒤, 상기 프레임 상에 부착된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며, 상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 프레임에 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 형성하여 적어도 두 개의 개구부를 형성한다. 이와 같이, 프레임에 구조 보강용 지지대를 형성함으로써 프레임의 개구부의 면적이 분할되어 마스크 인장 과정에서 양 끝단으로만 작용했던 힘을 분산시키게 된다. 이에 따라, 구조 보강 지지대는 프레임의 휨 방지를 할 수 있으며, 프레임을 경량화시킬 수 있다. 또한, 대형 마스크를 사용하게 되더라도 적어도 두 개의 개구부가 형성된 프레임은 인장력에 대한 영향을 줄일 수 있어 프레임의 휨을 방지할 수 있다. 이와 같이, 본 발명은 휨 현상이 없는 프레임을 이용하여 박막층을 증착하게 되므로 정밀도가 우수한 증착 공정을 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임과 제1 마스터 기판, 프레임과 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 2b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 3b은 도 3a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크가 부착된 프레임을 이용하여 박막층을 형성하는 단면도이다.
도 5은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임과 제1 마스터 기판, 프레임과 적어도 네 개의 제2 마스터 기판을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 6b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 7a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 7b은 도 7a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크가 부착된 프레임을 이용하여 박막층을 형성하는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 구성 및 그에 따른 작용 효과는 이하의 상세한 설명을 통해 명확하게 이해될 것이다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 동일한 구성 요소에 대해서는 다른 도면 상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호로 표시하며, 공지된 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 구체적인 설명은 생략하기로 함에 유의한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(120), 마스크(110), 마스터 기판(132,134,138)를 구비한다.

마스크(110)는 자성을 띤 금속 박판으로 이루어져 있으며, 박막이 증착될 기판 즉, 피증착 기판에 셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들(112)을 구비한다. 이러한, 마스크(110)의 패턴부들(112)은 다수의 단위표시소자와 대응되는 패턴으로 형성되며, 마스크(110)의 패턴부들(112)은 프레임(120)의 개구부(122a,122b)에 위치하도록 마스크(110)가 프레임(120)에 고정된다. 마스크(110)의 패턴부(112)의 형태는 다수의 단위표시소자에 한정되지 않으며, 사용자가 원하는 패턴으로 형성될 수 있다.

또한, 도 1에 도시된 마스크(110)는 복수의 단위 마스크들로 분할된 형태로 형성함으로써 인장력을 가하여 프레임(120)에 고정되는 과정에서 발생할 수 있는 패턴부들(112)의 왜곡을 최소화할 수 있다. 그리고, 증착 공정 시, 복수의 단위 마스크들 중 불량이 발생된 해당 마스크만 교체할 수 있으므로, 증착 마스크 전체를 교체하는 마스크에 비해 비용을 절감시킬 수 있다.

프레임(120)은 마스크(110)를 고정 및 지지하며, 적어도 두 개의 개구부(122a,122b)를 구비하여 증착시 증착 물질이 통과할 수 있도록 한다. 또한, 마스크(110)가 프레임(120)에 인장력이 가해지도록 고정되므로, 프레임(120)은 강성을 가지는 재질이며, 증착이 되는 기판 등과 접촉할 때 화학적 물리적 손상을 주지 않는 물질로 형성될 수 있다.

프레임(120)은 마스크(110)를 고정 및 지지할 수 있도록 상,하,좌,우 지지대(124,126)를 구비하며, 적어도 두 개의 개구부(122a,122b)를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대(128)를 포함한다. 이때, 프레임(120)은 적어도 하나의 구조 보강 지지대(128)를 형성하나, 본 발명의 제1 실시 예로 프레임(120)에 하나의 구조 보강 지지대(128)를 형성한 것을 예로 들어 설명하기로 한다.

구체적으로, 구조 보강 지지대(128)는 도 1에 도시된 바와 같이 프레임(120)의 개구부 중앙에 좌,우 지지대(126)와 평행하도록 열방향으로 형성할 수 있으며, 도면에 도시되지 않았으나, 개구부 중앙에 상,하 지지대(124)와 평행하도록 행방향으로 형성할 수 있다. 프레임(120)은 구조 보강 지지대(128)로 인해 프레임(120)의 개구부가 구분되어 제1 및 제2 개구부(122a,122b)가 형성된다.

이러한, 구조 보강 지지대(128)는 프레임(120)의 휨을 방지할 수 있으며, 프레임(120)을 경량화시킬 수 있다.

다시 말하여, 마스크(110)는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임(120)에 부착되므로, 마스크(110)와 프레임(120)이 결합된 후에는 마스크(110)에 작용되었던 인장력이 프레임(120)에도 작용하게 된다. 이때, 프레임(120)에 구조 보강용 지지대(128)를 형성함으로써 프레임(120)의 개구부의 면적이 분할되어 마스크(110) 인장 과정에서 양 끝단으로만 작용했던 힘을 분산시키게 된다. 이에 따라, 구조 보강 지지대(128)는 프레임(120)의 휨 방지를 할 수 있으며, 프레임(120)을 경량화시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 도시된 단위 마스크(110)를 사용하지 않고, 대형 마스크를 사용하게 되면 인장력이 단위 마스크(110)에 비해 크게 작용하여 프레임(120)의 양 끝단의 휨은 더욱 심하게 된다. 하지만, 본 발명과 같이 프레임(120)에 구조 보강 지지대(128)가 형성되면, 인장력에 대한 영향을 줄일 수 있어 프레임(120)의 휨을 방지할 수 있다.

한편, 구조 보강 지지대(128)를 프레임(120)의 개구부 중앙에 형성하는 것을 예를 들어 설명하지만, 유기 발광 소자의 크기나, 유기 발광 표시 장치의 크기에 따라 위치를 변경할 수 있으므로 이에 한정하지 않는다. 또한, 구조 보강 지지대(128)는 도 1에 도시된 바와 같이 프레임(120)의 개구부에 열방향으로 하나 형성할 수 있지만, 열방향으로 다수개가 형성될 수 있으며, 행방향으로 다수개가 형성될 수 있다. 그리고, 구조 보강 지지대(128)의 폭은 프레임의 크기나 유기 발광 표시 장치의 크기에 고려하여 형성할 수 있으며, 사용자의 필요에 따라 변경이 가능하므로 이에 한정하지 않는다.

마스터 기판(132,134,138)은 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126)의 테두면과 대응되는 크기의 제1 마스터 기판(138)과, 구조 보강 지지대(128)에 의해 구분된 프레임(120)의 개구부의 크기와 대응되는 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 포함한다.

여기서, 제1 마스터 기판(138)은 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126)의 테두면에 안착되어 고정되며, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134) 중 하나(132)는 프레임(120)의 제1 개구부(122a)에 안착되며, 두 개의 제2 마스터 기판 중 다른 하나(134)는 프레임(120)의 제2 개구부(122b)에 안착된다. 이를 위해, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시키기 위해 도 2b에 도시된 바와 같이 제2 마스터 기판의 갯 수와 동일하게 스테이지(202,204)를 구비한다.

제1 마스터 기판(138)은 스크라이빙 되지 않은 마스터 기판으로 단위 셀 패턴을 형성하지 않는다. 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)은 기판 상에 유기 발광 표시 장치의 단위 셀 패턴(132)을 형성한다. 즉, 제2 마스터 기판(132,134)은 하나의 유기 발광 표시 장치로 기능하게 될 단위 셀들을 구비하는 기판과 동일한 위치에 단위 셀들의 패턴(132)이 형성된 기판을 말한다.

여기서, 제2 마스터 기판은 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 마련하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 제2 마스터 기판(132,134)은 구조 보강 지지대(128)를 기준으로 나눠지는 개구부 수와 대응되는 갯 수로 구비되며, 나눠진 개구부의 크기와 대응되거나 개구부 내에 안착될 수 있는 크기로 형성된다.

도 2a 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법의 각 공정을 나타낸 평면도 및 단면도들이다.

먼저, 도 2a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임(120)과 제1 마스터 기판(138), 프레임(120)과 적어도 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 2b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 스크라이빙 되지 않은 제1 마스터 기판(138)을 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126) 상에 얼라인한 뒤, 단위 셀 패턴(136)이 형성된 두 개의 제2 마스터 기판들(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시킨다.

구체적으로, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시키기 위해 제1 및 제2 스테이지(202,204)를 구비한다. 제1 스테이지(202)는 제1 개구부(122a)와 대응되는 위치에 배치되어 제2 마스터 기판들 중 하나(132)를 제1 개구부(122a)에 얼라인시키며, 제2 스테이지(204)는 제2 개구부(122b)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 다른 하나(134)를 제2 개구부(122b)에 얼라인시킨다. 이때, 제1 및 제2 스테이지(202,204)는 동시에 같은 방향으로 움직인다.

다음, 도 3a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크(120)를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 3b은 도 3a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 마스크(110)의 패턴부들(112)과 제2 마스터 기판들(132,134)에 형성된 단위 셀들의 패턴(136)을 비교하면서, 마스크(110)에 대한 텐션량을 조절한다. 이때, 마스크(110)는 인장 장치에 고정되어 양 방향으로 인장력을 가하도록 하며, 마스크(110)의 패턴부들(112)과 제2 마스터 기판들(132,134)에 형성된 단위 셀들의 패턴(136)이 서로 일치되도록 한다.

이어서, 도 4는 제1 마스터 기판(138) 및 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 제거한 뒤, 프레임(120)에 부착된 마스크(110)를 이용하여 박막층을 예로 들어, 발광층을 형성하는 단면도이다.

도 4를 참조하면, 증착원(142)에 대응하도록 마스크가 부착된 프레임(100)을 설치하고 이 상부에 기판(140)을 위치시킨 후 증착을 수행하여 기판(140)에 발광층을 형성한다.

도 5은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 5을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(150), 마스크(190), 마스터 기판(162,164,166,168)를 구비한다. 마스크(190)는 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1 실시 예와 동일하므로 생략하기로 한다.

프레임(150)은 마스크(190)를 고정 및 지지하며, 적어도 두 개의 개구부(152a,152b,152c,152d)를 구비하여 증착시 증착 물질이 통과할 수 있도록 한다. 또한, 마스크(190)가 프레임(150)에 인장력이 가해지도록 고정되므로, 프레임(150)은 강성을 가지는 재질이며, 증착이 되는 기판 등과 접촉할 때 화학적 물리적 손상을 주지 않는 물질로 형성될 수 있다.

프레임(150)은 마스크(190)를 고정 및 지지할 수 있도록 상,하,좌,우 지지대(154,156)를 구비하며, 두 개의 구조 보강 지지대(158a,158b)가 서로 교차하여 형성한다. 구체적으로, 프레임(150)은 프레임(150)의 좌, 우 지지대(156)와 평행하도록 열방향으로 형성된 제1 구조 보강 지지대(158a)와, 제1 구조 보강 지지대(158a)와 교차되며 프레임(150)의 상, 하 지지대(154)와 평행하도록 행방향으로 형성된 제2 구조 보강 지지대(158b)를 포함한다. 프레임(150)은 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)로 인해 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d)가 형성된다.

이와 같이, 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)가 교차로 형성된 프레임(150)은 대형의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때, 프레임(150)의 휨 현상 없음과 동시에 프레임(150)의 경량화를 가능하게 할 수 있다.

다시 말하여, 대형의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 그에 따른 마스크(190)의 크기와 프레임(150)의 크기가 커지게 됨으로써 인장력이 프레임(150)이나 마스크(190)에 크게 작용하게 된다. 이때, 프레임(150)에 구조 보강용 지지대들(158a,158b)을 서로 교차하여 형성함으로써 개구부의 면적이 4개로 분할되어 인장력이 분할되어 작용되며, 휨 없이 안정화된 상태를 유지할 수 있다.

한편, 구조 보강 지지대(158a,158b)는 도 5에 도시된 바와 같이 열방향으로 형성된 제1 구조 보강 지지대(158a)와 행방향으로 형성된 제2 구조 보강 지지대(158b)를 서로 교차하여 형성할 수 있지만, 유기 발광 표시 장치의 크기나 유기 발광 표시 소자의 크기에 따라 열방향으로 다수 개의 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 다수 개의 제2 구조 보강 지지대를 서로 교차하여 형성할 수 있다.

마스터 기판(162,164,166,168,170)은 프레임(150)의 상,하, 좌, 우 지지대(154,156)의 테두면과 대응되는 크기의 제1 마스터 기판(170)과, 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)에 의해 구분된 프레임(150)의 개구부(152a,152b,152c,152d)의 크기와 대응되는 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 포함한다.

여기서, 제1 마스터 기판(170)은 프레임(150)의 상,하, 좌, 우 지지대(154,156)의 테두면에 안착되어 고정되며, 네 개의 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)은 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 안착된다. 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시키기 위해 도 6b에 도시된 바와 같이 제2 마스터 기판의 갯 수와 동일하게 스테이지(212,214,216,218)를 구비한다.

제1 마스터 기판(170)은 스크라이빙 되지 않은 마스터 기판으로 단위 셀 패턴을 형성하지 않는다. 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)은 기판 상에 유기 발광 표시 장치의 단위 셀 패턴(180)을 형성한다. 즉, 제2 마스터 기판(162,164,166,168)은 하나의 유기 발광 표시 장치로 기능하게 될 단위 셀들을 구비하는 기판과 동일한 위치에 단위 셀들의 패턴(180)이 형성된 기판을 말한다.

여기서, 제2 마스터 기판은 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 마련하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 제2 마스터 기판은 다수의 제1 및 구조 보강 지지대와, 이와 교차되는 다수의 제2 구조 보강 지지대로 형성할 수 있으며, 다수의 제1 및 제2 구조 보강 지지대로 나눠진 개구부의 크기와 대응되거나 개구부 내에 안착될 수 있는 크기로 형성된다.

도 6a 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법의 각 공정을 나타낸 평면도 및 단면도들이다.

먼저, 도 6a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임(150)과 제1 마스터 기판(170), 프레임(150)과 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 6b는 도 6a를 Ⅲ-Ⅲ' 및 Ⅳ-Ⅳ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 스크라이빙 되지 않은 제1 마스터 기판(170)을 프레임(150)의 상,하,좌,우 지지대(154,156) 상에 얼라인한 뒤, 단위 셀 패턴(180)이 형성된 네 개의 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시킨다.

구체적으로, 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시키기 위해 제1 내지 제4 스테이지(212,214,216,218)를 구비한다. 제1 스테이지(212)는 제1 개구부(152a)와 대응되는 위치에 배치되어 제2 마스터 기판들 중 하나(162)를 제1 개구부(152a)에 얼라인시키며, 제2 스테이지(214)는 제2 개구부(152b)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(164)를 제2 개구부(152b)에 얼라인시키며, 제3 스테이지(216)는 제3 개구부(152c)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(164)를 제3 개구부(152c)에 얼라인시키며, 제4 스테이지(218)는 제4 개구부(152d)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(168)를 제4 개구부(152d)에 얼라인시킨다. 이때, 제1 내지 제4 스테이지(152a,152b,152c,152d)는 동시에 같은 방향으로 움직인다.

다음, 도 7a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크(190)를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 7b는 도 7a를 Ⅴ-Ⅴ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 마스크(190)의 패턴부들(192)과 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)에 형성된 단위 셀들의 패턴(180)을 비교하면서, 마스크(190)에 대한 텐션량을 조절한다. 이때, 마스크(190)는 인장 장치에 고정되어 양 방향으로 인장력을 가하도록 하며, 마스크(190)의 패턴부들(192)과 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)에 형성된 단위 셀들의 패턴(180)이 서로 일치되도록 한다. 그리고, 제1 마스터 기판 및 네 개의 제2 마스터 기판들을 제거하여 마스크 프레임 조립체의 제조를 완료한다.

이어서, 도 8은 제1 마스터 기판(170) 및 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 제거한 뒤, 프레임(150)에 부착된 마스크(190)를 이용하여 박막층을 예로 들어, 발광층을 형성한다.

도 8을 참조하면, 증착원(142)에 대응하도록 마스크가 부착된 프레임(100)을 설치하고 이 상부에 기판(140)을 위치시킨 후 증착을 수행하여 기판(140)에 발광층을 형성하는 단면도이다.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.

100 : 마스크 프레임 조립체 110,190 : 마스크
112, 192 : 마스크의 패턴부 120,150 : 프레임
122a, 122b,152a,152b,152c,152d : 프레임의 개구부들
124,154 : 상,하 지지대 126,156 : 좌,우 지지대
128, 158a,158b : 구조 보강 지지대
132,134,162,164,166,168 : 제2 마스터 기판
138, 170 : 제1 마스터 기판 202,204,212,214,216,218 : 스테이지

Claims (8)

1. 적어도 두 개의 개구부를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 구비하는 프레임과;
   상기 프레임의 테두리면에 얼라인되는 제1 마스터 기판과, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인되며, 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 포함하는 마스터 기판과;
   셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들을 구비하며, 상기 패턴부들이 상기 적어도 두 개의 개구부에 위치하도록 고정되는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
2. 제1항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
   상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며,
   상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
3. 제1항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
   열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와,
   행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
4. 제1항에 있어서,
   상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
5. 프레임의 테두리면에 제1 마스터 기판을 얼라인시키는 단계와;
   상기 프레임의 구조 보강 지지대에 의해 구분된 적어도 두 개의 개구부 각각에 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 얼라인시키는 단계와;
   상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 내에 셀 단위로 증착하기 위한 마스크를 위치시키는 단계와;
   상기 제1 마스터 기판과 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 제거한 뒤, 상기 프레임 상에 부착된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
   상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며,
   상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
7. 제5항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
   열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와,
   행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
8. 제5항에 있어서,
   상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.

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