KR20230022092A - Firing furnace - Google Patents

Firing furnace Download PDF

Info

Publication number
KR20230022092A
KR20230022092A KR1020220014281A KR20220014281A KR20230022092A KR 20230022092 A KR20230022092 A KR 20230022092A KR 1020220014281 A KR1020220014281 A KR 1020220014281A KR 20220014281 A KR20220014281 A KR 20220014281A KR 20230022092 A KR20230022092 A KR 20230022092A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
separation unit
firing furnace
separator
unit
exhaust port
Prior art date
Application number
KR1020220014281A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정완호
최승훈
강승온
김강준
손운식
신지윤
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Publication of KR20230022092A publication Critical patent/KR20230022092A/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B9/3077—Arrangements for treating electronic components, e.g. semiconductors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016—Chamber type furnaces
    • F27B17/0025—Especially adapted for treating semiconductor wafers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016—Chamber type furnaces
    • F27B17/0083—Chamber type furnaces with means for circulating the atmosphere
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
    • F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)

Abstract

The present invention is to provide an integrated complex firing furnace that reduces process waiting time and secures reliability and productivity of MLCC through a continuous heat treatment process and atmosphere control in the firing furnace. One embodiment of the present invention provides a firing furnace comprising a firing furnace body having an internal passage from an inlet to an outlet; a transfer roller disposed in the internal passage; upper and lower heaters respectively disposed in upper and lower portions of the inner passage; and at least one separator installed so that the internal passage has a boundary for each zone, wherein at least one of the separators includes an exhaust port.

Description

소성로{Firing furnace} Firing furnace

본 발명은 소성로에 관한 것이다.The present invention relates to a kiln.

적층형 세라믹 전자부품의 제조에 있어서 전기적 특성을 부여하기 위해 소성 시 내부전극과 유전체는 서로 소성 온도가 다르다. 금속인 내부전극이 저온 영역에서 먼저 소성되고, 그 이후 고온 영역에서 유전체가 소성된다. In the manufacture of multilayer ceramic electronic components, internal electrodes and dielectrics have different firing temperatures during firing to impart electrical characteristics. Internal electrodes, which are metal, are first fired in a low-temperature region, and then the dielectric is fired in a high-temperature region.

이처럼 내부전극과 유전체 간의 소성 온도가 다르기 때문에 소성로를 이용한 열처리 공정에서는 각각 다른 온도와 분위기를 사용하고 있다.As such, since the firing temperature between the internal electrode and the dielectric is different, different temperatures and atmospheres are used in the heat treatment process using the firing furnace.

단일 소성로에서 2가지 이상의 분위기 농도를 고정하여 제어하는 것은 어려운 기술이며, 지금까지 적층세라믹콘덴서(이하, MLCC)에 전기적 특성을 부여하기 위해서 각 열처리 공정마다 다른 소성로를 사용해왔다.It is difficult to fix and control two or more atmosphere concentrations in a single firing furnace, and until now, different firing furnaces have been used for each heat treatment process to impart electrical characteristics to multilayer ceramic capacitors (MLCCs).

하지만, 다른 소성로를 사용함으로써 소성 시 MLCC의 세라믹 입자는 고온과 저온 및 다른 분위기에 노출될 수 있었으며, 이로 인하여 생산성 저하와 공정간 대기시간에 의한 불량을 초래할 수 있다.However, by using a different firing furnace, the ceramic particles of the MLCC may be exposed to high and low temperatures and different atmospheres during firing, which may cause a decrease in productivity and defects due to waiting time between processes.

대한민국 특허공보 10-1577670호Korean Patent Publication No. 10-1577670

본 발명의 일 실시형태의 목적은 연속적인 열처리 공정과 소성로내 분위기 제어를 통해 공정 대기시간을 줄이고, MLCC의 신뢰성과 생산성을 확보하는 일체형 복합 소성로를 제공하는 것이다.An object of one embodiment of the present invention is to provide an integrated complex sintering furnace that reduces process waiting time and secures reliability and productivity of MLCC through a continuous heat treatment process and atmosphere control in the sintering furnace.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시형태는 입구부터 출구까지 내부통로를 갖는 소성로 본체; 상기 내부통로에 배치된 이송 롤러; 상기 내부통로의 상부와 하부에 각각 배치된 상부 및 하부 히터; 및 상기 내부통로가 구역별 경계를 갖도록 설치되는 적어도 하나의 분리부;를 포함하며, 상기 적어도 하나의 분리부 중 적어도 하나는 배기구를 포함하는 소성로를 제공한다.One embodiment of the present invention in order to solve the above problems is a kiln body having an internal passage from the inlet to the outlet; a conveying roller disposed in the inner passage; upper and lower heaters respectively disposed on upper and lower portions of the inner passage; and at least one separation unit installed so that the inner passage has a boundary for each zone, wherein at least one of the at least one separation unit includes an exhaust port.

상기 분리부는 배기구의 유무에 따라 제1 분리부와 제2 분리부로 나눌 수 있으며, 제1 분리부는 제2 분리부보다 폭이 넓을 수 있으며, 제2 분리부에 의해 나누어진 복수의 구역들은 배기부와 급기부를 구비할 수 있다.The separation unit may be divided into a first separation unit and a second separation unit according to the presence or absence of an exhaust port, the first separation unit may be wider than the second separation unit, and a plurality of zones divided by the second separation unit may be divided into an exhaust unit. And an air supply unit may be provided.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 분리부의 배기구를 통한 강제배기로 인하여 연속된 열처리 공정 내에서 가스 농도와 분위기가 고정되게 제어 가능하고, 이로서 열처리 공정을 통합하여 공정 대기시간에 따른 MLCC의 신뢰성과 생산성을 확보한다. According to one embodiment of the present invention, due to the forced exhaust through the exhaust port of the separation unit, it is possible to control the gas concentration and atmosphere in a fixed manner in the continuous heat treatment process, thereby integrating the heat treatment process to improve the reliability and reliability of the MLCC according to the waiting time of the process. secure productivity.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성로의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성로 내부 기류의 흐름을 나타낸 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 분리부(200)를 확대하여 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the structure of a sintering furnace according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view showing the flow of airflow inside a sintering furnace according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged cross-sectional view of the separator 200 according to an embodiment of the present invention.

이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to specific embodiments and accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, the embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for clearer explanation, and elements indicated by the same reference numerals in the drawings are the same elements.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성로의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a sintering furnace according to an embodiment of the present invention.

도1을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성로는 입구부터 출구까지 일정 길이의 내부통로(120)를 갖는 소성로 본체(110)와, 내부통로(120)에 배치된 이송 롤러(130)와, 내부통로(120)의 상부와 하부에 각각 설치되는 상부히터(150)와 하부히터(160)와, 내부통로(120)가 구역별 경계를 갖도록 설치되는 적어도 하나의 분리부(200)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a kiln body 110 having an inner passage 120 of a certain length from the inlet to the outlet of the kiln according to an embodiment of the present invention, and a conveying roller 130 disposed in the inner passage 120 And, the upper heater 150 and the lower heater 160 installed at the upper and lower parts of the inner passage 120, respectively, and at least one separator 200 installed so that the inner passage 120 has a boundary for each zone include

또한, 이송 롤러(130)의 상부에 안착되어 일정 속도로 출구 측 방향으로 이동이 이루어지는 트레이(140)와, 내부통로(120)의 내부로 분위기 가스를 공급하도록 소성로 본체(110)의 하부 일 측에 관통되게 설치되는 급기부(170)와, 급기부(170)를 통해 내부통로(120)로 공급된 분위기 가스가 외부로 배출되도록 소성로 본체(110)의 상부 타측에 관통되게 설치되는 배기부(180)가 구비될 수 있다.In addition, the tray 140 seated on the upper part of the conveying roller 130 and moving in the exit direction at a constant speed, and one lower side of the kiln main body 110 to supply atmospheric gas to the inside of the inner passage 120 An air supply unit 170 installed to pass through the air supply unit 170, and an exhaust unit installed to penetrate the other upper side of the kiln body 110 so that the atmospheric gas supplied to the inner passage 120 through the air supply unit 170 is discharged to the outside ( 180) may be provided.

트레이(140)에 소성 제품이 놓여진 상태에서 트레이(140)가 이송롤러(130)에 의해 출구 측 방향으로 이송 시, 이송 롤러(130)의 상부 및 하부에 각각 설치되어 있는 상부히터(150) 및 하부히터(160)로 공급되는 열원과, 소성로 본체(110)의 하부에 관통되게 설치되어 있는 급기부(170)를 통해 공급되는 분위기 가스에 의해 소성 제품의 소성이 이루어질 수 있다.When the tray 140 is transferred in the exit direction by the transfer roller 130 in a state where the fired product is placed on the tray 140, the upper heater 150 installed on the top and bottom of the transfer roller 130, respectively, and Baking products may be fired by a heat source supplied to the lower heater 160 and atmospheric gas supplied through an air supply unit 170 penetrating the lower part of the firing furnace body 110 .

급기부(170)를 통해 내부통로(120)의 내부로 공급된 분위기 가스는 소성로 본체(110)의 상부 타측에 고정되게 설치되어 있는 배기부(180)를 통해 소성로 본체(110)의 외부로 배출될 수 있다.Atmospheric gas supplied to the inside of the inner passage 120 through the air supply unit 170 is discharged to the outside of the kiln body 110 through the exhaust unit 180 fixedly installed on the other upper side of the kiln body 110. It can be.

이때, 트레이(140)에 놓여진 소성 제품은 트레이(140)가 이송 롤러(130)에 의해 출구 측 방향으로 이동되면서 소성로 내부의 온도나 분위기 조건이 다른 복수의 구역들을 통과하게 되고, 이를 통해 승온 단계, 유지 단계 및 냉각 단계를 거치게 된다.At this time, the fired product placed on the tray 140 passes through a plurality of zones having different temperature or atmospheric conditions inside the firing furnace while the tray 140 is moved toward the outlet side by the conveying roller 130, and through this, the temperature raising step , it goes through a holding step and a cooling step.

내부통로(120)의 각 구역의 열교환이나 분위기 가스의 흐름을 제어하여 각 구역별 내부 온도 및 분위기 조건을 다르게 제어하기 위해서 적어도 하나의 분리부(200)가 배치된다.At least one separation unit 200 is disposed to differently control internal temperature and atmospheric conditions for each zone by controlling heat exchange or flow of atmospheric gas in each zone of the inner passage 120 .

분리부(200)는 소성 제품이 내부 온도나 분위기 조건이 상이한 단계로 이송될 때 전 단계의 내부통로 공기가 소성 제품이 이송된 후의 단계의 내부통로로 전달되지 않도록 세퍼레이터(Seperator) 역할을 한다.Separator 200 serves as a separator to prevent air from the inner passage of the previous step from being transferred to the inner passage of the step after the baked product is transferred when the fired product is transferred to a step with different internal temperature or atmospheric conditions.

분리부(200)는 각 구역의 열교환이나 분위기 가스의 흐름을 제어할 수 있는 것이라면 특별히 제한되지 않는다.The separator 200 is not particularly limited as long as it can control heat exchange in each zone or flow of atmospheric gas.

적어도 하나의 분리부(200) 중 적어도 하나는 배기구(220)를 포함하며, 여기서, 배기구(220)를 포함하는 분리부를 제1 분리부(210)로 칭할 수 있다. 그리고 복수 개의 분리부 중 배기구를 포함하지 않는 분리부를 제2 분리부(230)로 칭할 수 있다.At least one of the at least one separation unit 200 includes an exhaust port 220 , and here, the separation unit including the exhaust port 220 may be referred to as a first separation unit 210 . Also, among the plurality of separation units, a separation unit not including an exhaust port may be referred to as a second separation unit 230 .

제1 분리부(210)는 배기구(220)를 포함하여 상기 복수의 구역들에서의 분위기 가스가 섞이지 않도록 외부로 강제 배기할 수 있다. 복수의 구역들에서의 분위기 가스가 섞이게 되면 각 구역에서 분위기 가스 농도와 온도가 변화하며, 이는 MLCC의 불량과 신뢰성 저하로 이어진다. 따라서, 복수의 구역들 간의 기류를 완벽하게 분리하여 배기경로로 배출시킴으로써 소성로 내의 분위기를 제어할 수 있다.The first separation unit 210 includes an exhaust port 220 and can forcibly exhaust atmospheric gases from the plurality of zones to the outside so that they do not mix. When atmospheric gases in a plurality of zones are mixed, the concentration and temperature of atmospheric gases in each zone change, which leads to defects and reliability of the MLCC. Therefore, the atmosphere in the kiln can be controlled by perfectly separating the air flow between the plurality of zones and discharging it through the exhaust passage.

배기구(220)는 소성로 내부의 압력과 벤추리를 이용한 압력 차이를 이용하여 소성로 내의 가스를 외부로 방출하는 것일 수 있다.The exhaust port 220 may discharge gas inside the sintering furnace to the outside by using a pressure difference between the pressure inside the sintering furnace and the pressure using the venturi.

제1 분리부(210)는 제2 분리부(230)보다 넓은 폭을 가질 수 있다. 제1 분리부(210)의 폭을 제2 분리부(230)보다 넓게 구비함으로써 강제배기를 효과적으로 구현할 수 있다.The first separator 210 may have a wider width than the second separator 230 . By having the width of the first separator 210 wider than that of the second separator 230, forced exhaust can be effectively implemented.

제1 분리부(210)의 폭은 150mm 이상이고 배기구(220)의 지름은 100mm 이상일 수 있다.The width of the first separator 210 may be 150 mm or more and the diameter of the exhaust port 220 may be 100 mm or more.

제2 분리부(230)는 제1 분리부(210)보다 입구 또는 출구 측에 복수 개 배치될 수 있으며, 복수의 제2 분리부(230)에 의하여 분리된 복수의 구역들은 각각 급기부(170)와 배기부(180)를 구비할 수 있다.A plurality of second separators 230 may be disposed on the inlet or outlet side of the first separator 210, and the plurality of zones separated by the plurality of second separators 230 are each connected to the air supply unit 170. ) and an exhaust unit 180.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 소성로 내부 기류의 흐름을 나타낸 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view showing the flow of airflow inside a sintering furnace according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 어느 하나의 구역의 급기부(170)에서 급기된 가스가 제1 분리부(210) 아래를 통과하여 다른 구역으로 가지 않고, 배기부(180) 혹은 제1 분리부의 배기구(220)를 따라 외부로 배기된다. 이로써 구역들 간의 기류가 분리되어 유지되고, 상온 대기시간 없이 열처리 공정을 통합할 수 있게 된다. 이와 같은 배기구(220)가 없는 경우, 각 구역의 기류가 서로 섞여 공정간 통합이 불가능하게 되고, 별도의 공정간 상온 대기시간을 두어 공정을 분리해야 한다. 이는 MLCC의 신뢰성 및 전기적 특성을 저하시키는 불량을 야기할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the gas supplied from the air supply unit 170 of one zone passes under the first separation unit 210 and does not go to another area, and the exhaust unit 180 or the exhaust port of the first separation unit ( 220) is exhausted to the outside. This keeps the air flow between the zones separate and allows integration of the heat treatment process without room temperature waiting time. In the absence of such an exhaust port 220, the air flow in each zone is mixed with each other, making integration between processes impossible, and separate processes must be separated by a room temperature waiting time between processes. This may cause defects that degrade the reliability and electrical characteristics of the MLCC.

도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 분리부(200)를 확대하여 나타낸 단면도이다.3 is an enlarged cross-sectional view of the separator 200 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 제1 분리부(210)와 제2 분리부(230)에는 내화물(M)이 배치될 수 있다. 내화물은 분리부(200)에 의하여 분리된 구역을 일체로 둘러쌀 수 있으며, 이 때 배기구(220)는 제1 분리부(210)에서 내화물을 관통하는 형태로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3 , a refractory material M may be disposed in the first separator 210 and the second separator 230 . The refractory may integrally surround the area separated by the separation unit 200, and at this time, the exhaust port 220 may be formed in the first separation unit 210 to penetrate the refractory.

본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.The present invention is not limited by the above-described embodiments and accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims.

따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.Therefore, various forms of substitution, modification, and change will be possible by those skilled in the art within the scope of the technical spirit of the present invention described in the claims, which also falls within the scope of the present invention. something to do.

110: 소성로 본체
120: 내부통로
130: 이송 롤러
140: 트레이
150: 상부히터
160: 하부히터
170: 급기부
180: 배기부
200: 분리부
210: 제1 분리부
220: 배기구
230: 제2 분리부
M: 내화물110: sintering furnace body
120: internal passage
130: conveying roller
140: tray
150: upper heater
160: lower heater
170: air supply
180: exhaust
200: separation unit
210: first separator
220: exhaust port
230: second separator
M: Refractory

Claims (8)

입구부터 출구까지 내부통로를 갖는 소성로 본체;
상기 내부통로에 배치된 이송 롤러;
상기 내부통로의 상부와 하부에 각각 배치된 상부 및 하부 히터; 및
상기 내부통로가 구역별 경계를 갖도록 설치되는 적어도 하나의 분리부;를 포함하며,
상기 적어도 하나의 분리부 중 적어도 하나는 배기구를 포함하는 소성로
A kiln body having an internal passage from the inlet to the outlet;
a conveying roller disposed in the inner passage;
upper and lower heaters disposed on upper and lower portions of the inner passage, respectively; and
At least one separator installed so that the inner passage has a boundary for each zone; includes,
At least one of the at least one separation unit is a sintering furnace including an exhaust port.
 제 1항에 있어서,
상기 배기구를 포함하는 분리부를 제1 분리부라 할 때
상기 분리부는 복수 개 구비되며 상기 복수의 분리부 중 적어도 하나의 분리부는 배기구를 포함하지 않는 제2 분리부인 소성로.
According to claim 1,
When the separation unit including the exhaust port is referred to as the first separation unit
The separation unit is provided in plurality, and at least one separation unit among the plurality of separation units is a second separation unit that does not include an exhaust port.
 제 2항에 있어서,
상기 제1 분리부는 상기 제2 분리부보다 넓은 폭을 갖는 소성로.
According to claim 2,
The first separating part has a wider width than the second separating part.
 제 3항에 있어서,
상기 제2 분리부는 상기 제1 분리부보다 입구 측에 복수 개 배치된 소성로.
According to claim 3,
A firing furnace in which a plurality of second separation units are disposed at an inlet side of the first separation unit.
 제 4항에 있어서,
상기 제2 분리부에 의하여 분리된 복수의 구역들은 각각 급기부와 배기부를 포함하는 소성로.
According to claim 4,
The plurality of zones separated by the second separation unit include an air supply unit and an exhaust unit, respectively.
 제 3항에 있어서,
상기 제2 분리부는 상기 제1 분리부보다 출구 측에 복수 개 배치된 소성로.
According to claim 3,
A firing furnace in which a plurality of second separators are disposed at an outlet side of the first separator.
 제 6항에 있어서,
상기 제2 분리부에 의하여 분리된 복수의 구역들은 각각 급기부와 배기부를 포함하는 소성로.
According to claim 6,
The plurality of zones separated by the second separation unit include an air supply unit and an exhaust unit, respectively.
 제 1항에 있어서,
상기 분리부에는 내화물이 배치되는 소성로.
According to claim 1,
A firing furnace in which a refractory material is disposed in the separator.
KR1020220014281A 2021-08-06 2022-02-03 Firing furnace KR20230022092A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20210103995 2021-08-06
KR1020210103995 2021-08-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230022092A true KR20230022092A (en) 2023-02-14

Family

ID=85221021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220014281A KR20230022092A (en) 2021-08-06 2022-02-03 Firing furnace

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230022092A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101577670B1 (en) 2015-07-01 2015-12-28 주식회사 신명 One-piece composite furnace

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101577670B1 (en) 2015-07-01 2015-12-28 주식회사 신명 One-piece composite furnace

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0908928B1 (en) Baking furnace and control method therefor
JPS589355B2 (en) A particulate material heat treatment device that has multiple combustion devices attached to a heat exchange device.
KR20010105243A (en) Method for heat-treating ceramics and tunnel furnace therefor, method and apparatus for manufacturing ceramic electronic components and carriers for use in heat-treating ceramic electronic components
US11796252B2 (en) Continuous heating furnace and operating method thereof
US5266027A (en) Roller-hearth continuous furnace
KR20230022092A (en) Firing furnace
KR20140088352A (en) A continuous type furnace and a control method of the same
TWI741120B (en) Heat treatment furnace
US20180243942A1 (en) Manufacturing method of ceramic body
CN210718620U (en) Atmosphere protection roller kiln
JP3218719B2 (en) Continuous firing furnace
KR20150124207A (en) Firing furnace
JP2008110893A (en) Method and apparatus for baking honeycomb structure
US11920786B2 (en) Regenerative burner, industrial furnace and method for producing a fired article
JP5429534B2 (en) Pusher type continuous firing furnace
JP3023184B2 (en) Continuous tunnel furnace
JP5339029B2 (en) Baking furnace control method and baking apparatus
US1643775A (en) Tunnel kiln
JPH03158696A (en) Kiln
CN219223319U (en) Sintering furnace suitable for ceramic tube shell
JPH085255A (en) Continuous kiln
JP3865859B2 (en) Laura Heartilkin and how to drive it
JP2005331162A (en) Continuous furnace
KR800001458B1 (en) Tunnel kiln
JPH06323738A (en) Roller hearth kiln