KR20230007951A - 카세트 덮개 개방 장치 - Google Patents

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테오도뤼스 지.엠. 오스테를라컨
마르텐 헨드리쿠스 마리아 라메르스
니밋 코타리
샤하이 슈무엘 하나니
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
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Abstract

반도체 기판 처리 장치용 카세트 덮개 개방 장치는 하우징, 도어 어셈블리, 이송 메커니즘, 및 적어도 하나의 서스펜션을 포함한다. 하우징은, 연관된 벽 개구를 갖는 적어도 하나의 벽을 갖는다. 도어 어셈블리는, 적어도 하나의 벽의 연관된 벽 개구를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 적어도 하나의 도어 플레이트를 포함한다. 이송 메커니즘은, 도어 어셈블리에 연결되고 적어도 하나의 벽에 평행하게 도어 어셈블리를 이송하도록 구성된 캐리지를 포함한다. 적어도 하나의 서스펜션은 적어도 하나의 도어 플레이트와 이송 메커니즘 사이에 배열된다. 적어도 하나의 서스펜션은, 적어도 하나의 벽에 수직인 방향으로 적어도 하나의 도어 플레이트의 이동을 허용하는 서스펜션 스프링 어셈블리를 포함한다.

Description

카세트 덮개 개방 장치{Cassette lid opening device}
본 개시는 일반적으로 반도체 기판 처리 장치용 카세트 덮개 개방 장치에 관한 것이다.
클린룸 환경에서, 일반적으로 웨이퍼 카세트는 수직형 배치 퍼니스와 같은 반도체 기판 처리 장치로/장치로부터 웨이퍼를 이송하는 데 사용된다. 웨이퍼 카세트는, 제1 환경, 예를 들어 카세트 취급 공간과 제2 환경, 예를 들어 반도체 처리 장치의 웨이퍼 취급 공간 사이에 배열될 수 있는, 카세트 덮개 개방 장치에 대해 배치될 수 있다. 카세트 덮개 개방 장치는 제1 및 제2 환경 사이에서 웨이퍼를 전달하기 위한 벽 개구를 갖는 벽을 포함할 수 있다. 카세트 덮개 개방 장치는 두 개의 기능을 가질 수 있다.
제1 기능은, 카세트가 카세트 덮개 개방 장치에 대해 배치되지 않는 경우뿐만 아니라 카세트가 카세트 덮개 개방 장치에 대해 배치되는 시간 동안 둘 다에서, 제2 환경으로부터 제1 환경을 가스 밀봉식으로 분리하는 것일 수 있다. 이를 위해, 카세트 덮개 개방 장치는 도어 어셈블리를 포함할 수 있다. 도어 어셈블리는, 벽 개구를 통한 웨이퍼의 통과가 가능하도록, 벽 개구의 전방의 제1 위치와 벽 개구로부터 측방향으로 떨어져 있는 제2 위치 사이에서 이송 메커니즘에 의해 이송될 수 있다.
카세트 덮개 개방 장치의 제2 기능은 카세트 덮개 개방 장치에 대해 배치될 수 있는 카세트의 카세트 덮개와 체결하고, 도어 어셈블리를 제2 위치로 이동시키면서 카세트 덮개를 측방향으로 이동시켜, 카세트 및 벽 개구를 개방하고 벽 개구를 통해 웨이퍼의 통과를 허용할 수 있다. 공지된 카세트 덮개 개방 장치에서, 도어 어셈블리 및/또는 카세트 덮개를 이송하기 위한 이송 메커니즘은, 벽 개구를 밀봉 폐쇄하는 동안 가해질 수 있는 높은 힘을 견딜 수가 있도록, 높은 정밀도와 견고성을 가질 수 있다.
본 발명의 내용은 선정된 개념을 단순화된 형태로 소개하기 위해 제공된다. 이들 개념은 하기의 본 발명의 예시적 구현예의 상세한 설명에 더 상세하게 기재되어 있다. 본 발명의 내용은 청구된 요지의 주된 특징 또는 필수적인 특징을 구분하려는 의도가 아니며 청구된 요지의 범주를 제한하기 위해 사용하려는 의도 또한 아니다.
높은 정밀도 및 견고성의 관점에서, 도어 어셈블리 및/또는 카세트 덮개의 이송 메커니즘에 대한 요구 사항이 덜 엄격할 수 있는 카세트 덮개 개방 장치를 제공하는 것이 목적일 수 있다.
이를 위해, 청구범위 제1항에 따른 카세트 덮개 개방 장치가 제공될 수 있다. 보다 구체적으로, 반도체 기판 처리 장치를 위한 카세트 덮개 개방 장치가 제공될 수 있다. 카세트 덮개 개방 장치는 하우징, 도어 어셈블리, 이송 메커니즘, 및 적어도 하나의 서스펜션을 포함할 수 있다. 하우징은 연관된 벽 개구를 갖는 적어도 하나의 벽을 가질 수 있다. 도어 어셈블리는, 적어도 하나의 벽과 연관된 벽 개구를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된, 적어도 하나의 도어 플레이트를 포함할 수 있다. 이송 메커니즘은 도어 어셈블리에 연결되고, 연관된 벽 개구의 전방에 있는 제1 위치와 연관된 벽 개구로부터 측방향으로 떨어져 있는 곳 사이에서 적어도 하나의 벽에 평행하게 도어 어셈블리를 이송하여 연관된 벽 개구를 통해 웨이퍼의 통과를 허용하도록 구성될 수 있는 캐리지를 포함할 수 있다. 적어도 하나의 서스펜션은 적어도 하나의 도어 플레이트와 이송 메커니즘 사이에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 서스펜션은, 적어도 하나의 벽에 수직인 방향으로 적어도 하나의 도어 플레이트의 이동을 허용하는, 서스펜션 스프링 어셈블리를 포함할 수 있다.
선행 기술에 비해 달성되는 장점 및 본 발명을 요약하기 위해, 본 발명의 특정 목적 및 장점이 앞서 본원에 기술되었다. 물론, 모든 목적 및 장점들이 본 발명의 임의의 특별한 구현예에 따라 반드시 달성되는 것이 아니라는 것을 이해하여야 한다. 따라서, 예들 들어 당업자는, 본 발명이, 본원에 교시 또는 제안될 수 있는 다른 목적들 또는 장점들을 반드시 달성하지 않고서, 본원에 교시되거나 제시된 바와 같은 하나의 장점 또는 여러 장점들을 달성하거나 최적화하는 방식으로 구현되거나 수행될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
다양한 구현예가 종속된 청구범위에 청구되고, 도면에 나타낸 예시를 참조하여 추가로 명확해질 것이다. 구현예는 서로 별도로 적용되거나 조합될 수 있다.
이들 구현예 모두는 본원에 개시된 본 발명의 범주 내에 있는 것으로 의도된다. 본 발명은 개시된 임의의 특정 구현예(들)에 한정되지 않으며, 이들 및 다른 구현예들은 첨부된 도면들을 참조하는 특정 구현예들의 다음의 상세한 설명으로부터 당업자에게 용이하게 분명할 것이다.
본 명세서는 본 발명의 구현예로 간주되는 것을 특별히 지적하고 명백하게 주장하는 청구범위로 결론을 내지만, 본 개시의 구현예의 장점은 첨부한 도면과 관련하여 읽을 때 본 개시의 구현예의 특정 예의 설명으로부터 더욱 쉽게 확인될 수 있고, 도면 중,
도 1은, 도어 어셈블리가 제1 위치, 즉 폐쇄 위치에 있는 설명에 따라 카세트 덮개 개방 장치 예시의 사시도를 나타낸다.
도 2는 하우징이 제거된 도 1의 예시를 나타낸다.
도 3은, 도어 어셈블리가 제2 위치, 즉 개방 위치로 이동하는 도 2의 예시의 다른 사시도를 나타낸다.
도 4는 도 1의 예시의 개략적인 측면도를 나타낸다.
도 5는 도 4의 A-A 라인을 따라 단면을 나타낸다.
도 6은 도 5에서 상세한 B를 나타낸다.
도 7은 도 1의 예시의 다른 사시도를 나타낸다.
도 8은, 하우징의 전방 벽이 제거된, 도 7에서와 동일한 사시도를 나타낸다.
도 9는, 제2 도어 플레이트가 제거된, 도 7 및 도 8의 예시를 나타낸다.
도 10은 도 9에서 상세한 C를 나타낸다.
도 11은 본 설명에 따른 도어 어셈블리의 예시의 단면도를 나타낸다.
도 12는, 제2 위치에서 벽 개구로부터 측방향으로 멀리 떨어진 도어 어셈블리를 갖는, 도 8의 예시의 정면도를 나타낸다.
도 13은, 제1 도어 플레이트에 대한 제2 도어 플레이트의 이동에 영향을 주도록 구성된 액추에이터 어셈블리의 구현예일 수 있는, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘의 예시의 제1 관점으로부터의 사시도를 나타낸다.
도 14는 제2 관점에서 도 13의 예시를 나타낸다.
본원에서, 유사한 또는 대응하는 특징부는 유사한 또는 대응하는 참조 부호에 의해 표시된다. 다양한 구현예의 설명은 도면에 나타낸 예시에 한정되지 않으며, 상세한 설명에 사용된 참조 번호에 한정되지 않으며, 청구범위는 구현예의 설명에 제한되도록 의도되지 않으나 구현예를 명확하게 하도록 포함된다.
특정 구현예 및 실시예가 아래에 개시되었지만, 당업자는 본 발명이 구체적으로 개시된 구현예 및/또는 본 발명의 용도 및 이들의 명백한 변형물 및 균등물을 넘어 확장된다는 것을 이해할 것이다. 따라서, 개시된 발명의 범주는 후술되는 구체적인 개시된 구현예에 의해 제한되지 않도록 의도된다. 본원에 제시된 예시는 임의의 특정한 재료, 구조, 또는 소자의 실제 뷰를 의도하려 하는 것은 아니며, 단지 본 발명의 구현예를 설명하기 위해 사용되는 이상화된 표현이다.
본원에서 사용되는 바와 같이, 용어 "웨이퍼"는, 사용될 수 있는, 또는 그 위에 소자, 회로, 또는 막이 형성될 수 있는, 임의의 하부 재료 또는 재료들을 지칭할 수 있다.
가장 일반적인 조건에서, 본 개시는 카세트 덮개 개방 장치(10)를 제공할 수 있다. 카세트 덮개 개방 장치(10)는 반도체 기판 처리 장치에 사용하기 위해 구성될 수 있다. 카세트 덮개 개방 장치(10)는 하우징(12), 도어 어셈블리(14), 이송 메커니즘(16), 및 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)을 포함할 수 있다. 하우징(12)은 연관된 벽 개구(32, 36)를 갖는 적어도 하나의 벽(30, 34)을 가질 수 있다. 도어 어셈블리(14)는, 적어도 하나의 벽(30, 34)과 연관된 벽 개구(32, 36)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된, 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)를 포함할 수 있다.
이송 메커니즘(16)은 도어 어셈블리(14)에 연결되고, 연관된 벽 개구(32, 36)의 전방에 있는 제1 위치와 연관된 벽 개구(32, 36)로부터 측방향으로 떨어져 있는 제2 위치 사이에서 적어도 하나의 벽(30, 34)에 평행하게 도어 어셈블리(14)를 이송하여 연관된 벽 개구(32, 36)를 통해 웨이퍼의 통과를 허용하도록 구성될 수 있는 캐리지(18)를 포함할 수 있다.
적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)와 이송 메커니즘(16) 사이에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은, 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 방향으로 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)의 이동을 허용하는, 서스펜션 스프링 어셈블리(20)를 포함할 수 있다.
일반적으로, 팽창식 밀봉부(62)(도 1, 도 5 및 도 6 참조)가 도어 어셈블리, 특히 그의 제1 도어 플레이트(40)와 하우징의 제1 벽(32) 사이에 제공될 수 있다. 기밀 밀봉을 보장하기 위해, 팽창식 밀봉부(62)는 팽창될 수 있다. 종래 기술의 카세트 덮개 개방기에서, 도어 어셈블리 상의 팽창식 밀봉부에 의해 가해진 힘은 도어 어셈블리(14)의 이송 메커니즘(16), 특히 캐리지(18) 및 가이드 레일(70)에 의해 수용되었다. 팽창식 밀봉부에 의해 가해진 높은 힘을 고려하면, 공지된 카세트 덮개 개방 장치의 캐리지(18) 및 가이드 레일(70)은 견고하고 또한 매우 정밀해야 했다. 도어 어셈블리(14)를 적어도 하나의 벽(30, 34)에 평행하게 유지시켜 팽창식 밀봉부(62)에 의해 도어 어셈블리(14)의 전체 원주를 따라 도어 어셈블리(14)에 실질적으로 균일하게 분포된 폐쇄 압력이 가해지도록 보장하기 위해, 정밀도가 요구되었다.
본 설명에 따른 카세트 덮개 개방 장치(10)에서, 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은, 이송 메커니즘(16)이 전술한 높은 정밀도와 견고성을 갖지 않는 경우에도, 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)와 적어도 하나의 벽(30, 34) 사이의 적절한 체결을 보장할 수 있다. 서스펜션 스프링 어셈블리(20)로 인해, 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)는, 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 방향으로 이송 메커니즘(16)에 대해 이동 가능할 수 있다. 이는, 이송 메커니즘(16)이 적어도 하나의 도어 플레이트(40)에 평행한 평면에 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)만을 위치시킬 필요가 있을 수 있음을 의미한다. 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 방향으로의 임의의 부정확성은, 서스펜션 스프링 어셈블리(20)에 의한 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)의 허용된 이동에 의해 수용될 수 있다. 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 방향으로 도어 어셈블리(14) 상에 가해진 힘은, 스프링 어셈블리(20)를 포함하는 서스펜션(22, 44)의 존재로 인해 이들이 이송 기구(16)로 완전히 전달되지 않기 때문에, 제한될 수 있다.
일 구현예에서, 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은 도어 어셈블리 서스펜션(22)을 포함할 수 있다. 도어 어셈블리 서스펜션(22)의 서스펜션 스프링 어셈블리(20)는 두 개의 평행한 블레이드 스프링(24)을 포함할 수 있고, 각각은 제1 길이 방향 에지(26)와 캐리지(18)에 연결되고, 각각은 도어 어셈블리(14)에 제2 길이 방향 에지(28)와 연결된다.
두 개의 평행한 블레이드 스프링(24)은, 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 단일 방향으로 캐리지(18)에 대해 도어 어셈블리(14)의 이동을 가능하게 할 수 있다. 도어 어셈블리(14)의 이러한 이동 동안, 도어 어셈블리(14)는 평행한 블레이드 스프링(24) 어셈블리로 인해 적어도 하나의 벽에 평행하게 유지될 것이다.
도면에 예시가 나타난 구현예에서, 하우징(12)의 적어도 하나의 벽(30, 34)은 제1 벽(30)을 포함할 수 있고, 적어도 하나의 벽 개구(32, 36)는 제1 벽(30)에 제1 벽 개구(32)를 포함할 수 있다. 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)는, 제1 벽 개구(32)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제1 도어 플레이트(40)를 포함할 수 있다.
원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는 도어 어셈블리(14)와 하우징(12)의 제1 벽(30) 사이에 위치할 수 있다. 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는, 제1 벽 개구(32)를 둘러쌀 수 있고, 밀봉부(62)가 제1 도어 플레이트(40) 및 제1 벽(30) 중 적어도 하나와 체결되지 않는 수축된 상태를 가질 수 있다. 팽창된 상태에서, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는, 제1 벽(30) 및 제1 도어 플레이트(40)와 밀봉식으로 체결될 수 있고, 도어 어셈블리 서스펜션(22)의 서스펜션 스프링 어셈블리(20)의 스프링 힘에 대해 도어 어셈블리(14)를 제1 벽(30)으로부터 멀리 밀어버린다.
본 구현예의 추가의 상세 설명에서, 도어 어셈블리는, 제1 벽(30)으로부터 멀리 밀릴 경우에 팽창식 밀봉부(62)에 의해 유도된 도어 어셈블리(14)의 이동을 제한하도록, 하우징(12)에 대해 고정되는 정지부 체결 지점과 체결하기 위한 적어도 하나의 하드 스톱(64)을 포함할 수 있다.
도면에 예시가 나타난 구현예에서, 적어도 하나의 하드 스톱(64)은 하우징(12)의 상이한 정지부 체결 지점 상에서 체결되는 셋 이상의 하드 스톱(64)을 포함할 수 있다. 도어 어셈블리(14)가 하우징(12)의 정지부 체결 지점에 대해 그의 하드 스톱(64)으로 밀릴 수 있는 경우, 하우징에 대한 도어 어셈블리(14)의 위치는 잘 정의될 수 있고, 도어 어셈블리(14)의 제1 도어 플레이트(40)는 제1 벽(30)에 정확히 평행하게 위치할 수 있다. 또한, 도어 어셈블리(14) 상의 팽창식 밀봉부(62)에 의해 가해진 힘은, 하우징(12)에 의해 하드 스톱(64) 및 하우징(12)의 정지부 체결 지점을 통해 흡수될 수 있다. 따라서, 이들 힘은 이송 메커니즘(16)에 의해 흡수될 필요가 없다. 실제로, 도어 어셈블리 서스펜션(22)의 평행 블레이드 스프링(24)은 도어 어셈블리(14) 상의 팽창식 밀봉부(62)에 의해 가해지는 힘의 전달을 이송 메커니즘(16)으로 제한할 수 있다.
일 구현예에서, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는 제1 벽(30)에 연결될 수 있다. 팽창식 밀봉부가 도어 어셈블리(14)의 제1 도어 플레이트(40)에 연결될 때, 팽창식 밀봉부(62)가 이동식 대신에 고정식으로 장착될 수 있기 때문에, 이러한 구성이 유리할 수 있다. 고정식 밀봉부(62)를 팽창시키면, 이동식으로 장착된 팽창식 밀봉부(62)를 팽창시키는 것보다 더 편리할 수 있다.
일 구현예에서, 하우징(12)의 적어도 하나의 벽(30, 34)은, 실질적으로 서로 평행할 수 있는 제1 벽(30)과 제2 벽(34)을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 벽 개구(32, 36)는, 제1 벽(30) 내의 제1 벽 개구(32)와 제2 벽(34) 내의 제2 벽 개구(36)를 포함할 수 있다. 제1 벽 개구(32)는, 제1 벽 개구(32)의 중심을 통해 제1 벽(30)에 실질적으로 수직 연장되는 중심 벽 개구 축(38)을 따라 제1 및 제2 벽 개구(32, 36)를 통한 웨이퍼의 통과를 허용하도록, 제2 벽 개구(36)와 정렬될 수 있다. 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42), 제1 벽 개구(32)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제1 도어 플레이트(40), 및 제2 벽 개구(36)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제2 도어 플레이트(42)를 포함할 수 있다.
적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은, 제2 도어 플레이트(42)를 지지하는 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)을 포함할 수 있다. 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)은, 제2 벽(34)을 향해 그리고 제2 벽으로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제1 도어 플레이트(40)에 대해 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 수행하도록 구성된 액추에이터 어셈블리(46)를 포함할 수 있다. 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)는 액추에이터 어셈블리(46)의 일부를 구성할 수 있다.
카세트 덮개 개방 장치(10)는, 반도체 기판 처리 장치의 제1 환경, 및 반도체 기판 처리 장치의 제2 환경의 밀봉에 사용될 수 있다. 액추에이터 어셈블리(46)에 의해, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)은 제2 벽(34)과 실질적으로 수직인 방향으로 제2 도어 플레이트(42)를 이동시킬 수 있다. 따라서, 제2 도어 플레이트(42)는 제2 벽 개구(36)를 실질적으로 폐쇄할 수 있어서, 전술한 반도체 기판 처리 장치의 제1 및 제2 환경이 서로 실질적으로 폐쇄되도록 한다.
또한, 제2 도어 플레이트(42)는 웨이퍼 카세트의 덮개와 체결하고 제2 도어 플레이트(42)의 이동으로 덮개를 카세트로부터 제거하고, 이어서 도어 어셈블리의 이동으로 덮개를 카세트로부터 측방향으로 멀리 이송시키는 데 사용될 수 있다. 액추에이터 어셈블리의 부분을 구성할 수 있는 스프링 어셈블리(20)로 인해, 액추에이터 어셈블리(46)의 다른 부분의 정확도 요구 사항은 덜 엄격할 수 있다. 제2 도어 플레이트(42)의 이동에 대한 가능한 오버슈트를 유발하는 액추에이터 어셈블리(46)의 다른 부분의 임의의 부정확성은, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)의 압축에 의해 보상될 수 있다.
일 구현예에서, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)은, 제2 벽(34)을 향해 그리고 제2 벽으로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 가이드하기 위한 적어도 하나의 제2 도어 플레이트 가이드(45)를 포함할 수 있다. 액추에이터 어셈블리(46)는, 도 9 및 도 10에서 보이는 예시의 토글 레버 어셈블리 모터(50)와 작동 가능하게 연결될 수 있는, 토글 레버 어셈블리(48)로서 구성될 수 있다.
토글 레버 어셈블리 모터(50)를 작동시킴으로써, 토글 레버 어셈블리(48)가 작동되어 제2 도어 플레이트(42)가 제1 도어 플레이트(40)에 대해 이동할 수 있도록 한다.
일 구현예에서, 토글 레버 어셈블리(48)는, 제1 도어 플레이트(40)와 피봇식으로 연결될 수 있는 적어도 하나의 제1 토글 레버(52), 및 스프링 어셈블리(20)에 힌지식으로 연결될 수 있는 적어도 하나의 제2 토글 레버(54)를 포함할 수 있다. 그 구현예에서, 제 2 도어 플레이트(42)는 스프링 어셈블리(20)에 연결될 수 있다.
그 구현예의 추가 상세 설명에서, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)는, 제1 위치(58)에서 토글 레버 어셈블리(48)의 제2 토글 레버(54)와 연결될 수 있는, 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)을 포함할 수 있다. 제2 도어 플레이트(42)는 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)의 제2 위치(60)에 연결될 수 있어서, 제2 도어 플레이트(42)의 폐쇄 위치에 대응하는 토글 레버 어셈블리(48)의 위치에서, 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)은 제2 도어 플레이트(42)를 제2 벽(34)에 대해 편향시킬 수 있다.
도 5의 예시에 나타낸 바와 같이, 제2 토글 레버(54)가 블레이드 스프링(56)과 연결될 수 있는 제1 위치(58)는, 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)의 자유 단부에 있을 수 있다. 제2 위치(60)는 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)의 중간 부분에 있을 수 있다. 이 예시에서, 제2 도어 플레이트(42)는, 적어도 하나의 블레이드 스프링(56) 중 연관된 하나와 제2 위치(60)에서 연결될 수 있는, 브래킷(74)에 연결될 수 있다. 이 예시에서, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)는, 제2 도어 플레이트(42)의 대향 단부 근처에 위치한 두 개의 브래킷 및 두 개의 블레이드 스프링(56)을 포함할 수 있다.
이러한 방식으로, 토글 레버 어셈블리(48)는 제1 도어 플레이트(40)로부터 그리고 이를 향해 스프링 어셈블리(20)를 이동시킬 수 있다. 스프링 어셈블리(20)로, 제2 도어 플레이트(42)도 이동할 수 있다. 제2 도어 플레이트(42)가 제2 벽(34)에 도달할 경우, 토글 레버 어셈블리(48)에 의한 추가 이동은 스프링 어셈블리(20)의 압축을 초래할 수 있다. 토글 레버 어셈블리(48)에 의한 제2 도어 플레이트(42)의 제2 벽(34)을 향한 이동은, 매우 정밀할 필요가 없다. 임의의 부정확성은 스프링 어셈블리(20)의 압축에 의해 수용될 수 있다.
도 13 및 도 14는 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 대안적인 구현예의 예시를 나타낸다. 명확성을 위해, 제1 도어 플레이트(40)는 도 13 및 도 14에 나타내지 않았지만, 이러한 제1 도어 플레이트(40)는, 예를 들어 도 5, 도 6 및 도 11에 나타낸 제1 도어 플레이트(40)와 실질적으로 동일한 구성을 가질 수 있다. 제1 도어 플레이트(40)는 도 13 및 도 14에 나타낸 연결 고정구(106)에 연결된다. 도 5, 6, 9, 10 및 11에 도시된 구현예에서와 같이, 또한 도 13 및 14의 예시에 나타낸 구현예에서, 제2 도어 플레이트 서스펜션은, 제2 벽(34)을 향해 그리고 제2 벽으로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 가이드하기 위한 적어도 하나의 제2 도어 플레이트 가이드(45)를 포함할 수 있다. 액추에이터 어셈블리(46)는, 제1 도어 플레이트(40)를 제2 도어 플레이트(42)와 연결할 수 있는, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)으로서 구성될 수 있다. 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)를 포함할 수 있다. 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 순응성 메커니즘 구동 모터(92)와 작동 가능하게 연결될 수 있다.
순응성 메커니즘은 이동을 만들기 위해 고유한 탄성에 의존하며, 다수의 이동식 부품을 필요로 하지 않는다. 따라서, 금속 접촉부 상의 금속 수는 최소화될 수 있고, 심지어 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘에는 완전히 없을 수 있다. 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘의 장점은, 별도의 부분 사이의 베어링 또는 이동 접촉 계면이 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘 내에 존재하지 않기 때문에 입자의 방출이 최소화될 수 있다는 것일 수 있다. 실제로, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘은 플라스틱 재료로 사출 성형될 수 있는 단일 피스로 이루어질 수 있다.
일 구현예에서, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 두 개의 안정한 위치를 갖는 이중 안정형 순응성 메커니즘일 수 있다. 제1 위치에서, 제1 도어 플레이트(40)는 제2 도어 플레이트(42)로부터 제1 거리에 있을 수 있다. 제2 위치에서, 제1 도어 플레이트(40)는 제2 도어 플레이트(42)로부터 제2 거리에 있을 수 있으며, 제2 거리는 제1 거리와 상이하다.
이중 안정형의 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘은 비교적 간단할 수 있고, 제1 및 제2 위치 중 하나를 가정했을 경우에 이중 안정형 메커니즘에 힘이 가해질 필요가 없다는 이점을 가질 수 있다. 따라서, 순응성 메커니즘 구동 모터(92)는, 제1 위치용 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)을 제2 위치로 가져오고 그 반대가 되도록 매우 잠깐 활성화되어야 한다.
일 구현예에서, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 제1 도어 플레이트(40)를 제2 도어 플레이트(42)와 연결하는 가요성 도어 플레이트 연결 링크(94)를 포함할 수 있다. 가요성 도어 플레이트 연결 링크(94)는 도 13 및 도 14의 예시에 명확하게 나타낸 바와 같이, 일체식으로 형성된 링크 어셈블리(96, 98, 100,102)를 통해 순응성 메커니즘 구동 모터(92)에 일체식으로 연결될 수 있다.
일체식으로 형성된 링크 어셈블리(96, 98, 100, 102)는, 도어 플레이트 연결 링크(94) 중 연관된 하나에 연결되는 적어도 하나의 제1 링크(96)를 포함할 수 있다. 또한, 링크 어셈블리는 적어도 하나의 제2 링크(98)를 포함할 수 있으며, 그 중 제1 단부(98a)는 카세트 덮개 개방 장치의 고정 프레임 부분(108)에 힌지식으로 연결될 수 있다. 제2 링크(98)의 제2 단부(98b)는 일체식으로 형성된 힌지(100)를 통해 제3 링크(102)의 제1 단부(102a)에 연결될 수 있다. 제3 링크(102)의 제2 단부(102b)는 가요성 힌지(104)를 통해 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)의 회전자 아암(106)에 연결될 수 있다. 회전자 아암은 구동 모터(92)의 회전식 구동 샤프트(108)에 연결될 수 있다.
도 13 및 도 14에 나타낸 예시는, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)이 구성될 수 있는, 많은 가능성의 단지 하나의 예시임을 주목해야 한다. 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘의 스프링 작용은, 순응성 메커니즘의 가요성 구조에 통합되고, 또한 순응성 메커니즘(90)을 제조하였던 선택 재료의 결과이다. 메커니즘 내의 금속 접촉 지점에 대한 슬라이딩 금속의 부재는, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘 구현예의 중요한 이점인 입자의 방출을 최소화한다.
도 12에 나타낸 바와 같은 구현예에서, 제2 도어 플레이트(42)는 카세트의 덮개와 체결하도록 구성된 카세트 덮개 체결기(66)를 포함할 수 있다. 사용 시, 카세트의 덮개는 제1 도어 플레이트(40)를 향해 제2 도어 플레이트(42)의 이동에 의해 카세트로부터 제거될 수 있고, 후속하여 도어 어셈블리(14)를 제1 위치로부터 제2 벽 개구(36)로부터 측방향으로 멀리 제2 위치로 이송할 수 있다.
카세트는 복수의 적층된 웨이퍼를 포함할 수 있다. 따라서, 카세트 덮개 개방 장치(10)는 카세트의 덮개를 제거함으로써 카세트를 개방하는 데 사용될 수 있다. 도어 어셈블리(14)가 제2 벽 개구(32)로부터 측방향으로 이동할 경우, 카세트 내의 웨이퍼는 제1 및 제2 벽 개구(32, 36)를 통해 도달할 수 있다. 카세트 덮개 체결기(66)는, 트위스트록, 그리퍼, 흡입 컵, 또는 현장에서 공지된 다른 체결기로서 구현될 수 있다.
도 8 및 도 11의 예시에 나타낸 바와 같이, 제2 도어 플레이트(42)는, 사용 시 제2 도어 플레이트(42)와 카세트의 덮개와 밀봉식으로 체결하도록 제2 도어 플레이트(42)와 카세트의 덮개 사이에 위치하는, 원주 방향 카세트 덮개 밀봉부(78)를 포함할 수 있다. 카세트 덮개 밀봉부(78)는 제2 도어 플레이트(42)와 카세트의 덮개 사이에 저압 챔버를 생성하는 데 사용될 수 있으며, 이는 카세트의 덮개를 제2 도어 플레이트(42)에 부착하는 데 사용될 수 있다.
도 7 및 도 11에 나타낸 예시에서 볼 수 있는 바와 같이, 제2 벽(34)은, 사용 시 제2 벽(34)과 카세트의 몸체를 밀봉식으로 체결하기 위해 카세트의 몸체와 제2 벽(34) 사이에 위치하는, 카세트 몸체 밀봉부(80)를 포함할 수 있다.
일 구현예에서, 제2 원주 방향 밀봉부(68)는 제2 벽(34)과 제2 도어 플레이트(42) 사이에 위치할 수 있고 제2 벽 개구(36)를 둘러쌀 수 있다. 제2 원주 방향 밀봉부(68)는, 제1 도어 플레이트(40)에 대한 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 수행하도록 구성된 액추에이터 어셈블리(46)가 작동되어 제2 도어 플레이트(42)를 제2 벽(34)을 향해 이동시켜 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)가 스프링 로딩될 경우에, 제2 벽 개구(36)를 실질적으로 폐쇄할 수 있다.
따라서, 액추에이터 어셈블리(46)는 제2 도어 플레이트(42)와 함께 제2 원주 방향 밀봉부(68)를 제2 벽(34)으로 가압할 수 있다. 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)에 의해, 액추에이터 어셈블리(46)는 너무 세게 또는 너무 멀리 밀리는 것이 방지될 수 있는데, 이는 그렇게 하려고 시도하면 스프링 어셈블리(20)를 압축시키고 제2 벽(34) 또는 액추에이터 어셈블리(46) 또는 카세트 덮개 개방 장치(10)의 다른 부분의 손상을 초래하지 않기 때문이다.
제2 원주 방향 밀봉부(68)는 제2 도어 플레이트(42)에 연결될 수 있다. 대안적으로, 제2 원주 방향 밀봉부(68)는 제2 벽(34)에 또한 연결될 수 있다.
일 구현예에서, 이송 메커니즘(16)은 하우징(12)에 고정식으로 연결된 가이드 레일(70)을 포함할 수 있다. 캐리지(18)는 가이드 레일(70)에 이동식 연결될 수 있고, 가이드 레일(70)에 의해 정의된 가이드 레일 축(72)을 따라 이동 가능할 수 있다. 구동 모터(76)에 연결된 스핀들(82)은 가이드 레일(70)을 따라 캐리지의 이동에 영향을 미칠 수 있다. 가이드 레일 축(72)은 적어도 하나의 벽(30, 34)에 실질적으로 평행할 수 있다.
따라서, 가이드 레일(70)은 캐리지(18)의 이동을 허용할 수 있고, 따라서 도어 어셈블리(14)는 적어도 하나의 벽(30, 34)에 대해 실질적으로 평행할 수 있다.
본 발명의 예시적인 구현예가 첨부된 도면들을 참조하여 부분적으로 전술되었지만, 본 발명은 이들 구현예들에 한정되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 개시된 구현에 대한 변형은 도면, 개시물, 및 첨부된 청구범위에 대한 연구로부터 청구된 발명을 실시함에 있어서 당업자에 의해 이해되고 영향을 받을 수 있다.
본 명세서 전반에 걸쳐 "하나의 구현예" 또는 "일 구현예"에 대한 참조는, 본 구현예와 관련하여 설명된 특정 특징부, 구조 또는 특성이 본 발명의 적어도 하나의 구현예에 포함됨을 의미한다. 따라서, 본 기술 전반에 걸쳐 다양한 장소에서 "하나의 구현예에서" 또는 "일 구현예에서"의 문구 출현은 반드시 동일한 구현예를 지칭하지 않는다.
또한, 전술한 하나 이상의 다양한 구현예의 특정 특징부, 구조, 또는 특징은, 서로 독립적으로 수행되도록 사용될 수 있고, 새롭고 명시적으로 설명되지 않은 구현예를 형성하도록 임의의 적절한 방식으로 조합될 수 있음을 유의한다. 상세한 설명 및 청구범위에 사용된 참조 번호는 구현예의 설명을 제한하지 않으며 청구범위를 제한하지 않는다. 참조 번호는 명확히 하기 위해 단독 사용된다.
10 - 카세트 덮개 개방 장치
12 - 하우징
14 - 도어 어셈블리
16 - 이송 메커니즘
18 - 캐리지
20 - 서스펜션 스프링 어셈블리
22 - 도어 어셈블리 서스펜션
24 - (도어 어셈블리 서스펜션의) 블레이드 스프링
26 - (블레이드 스프링의) 제1 길이 방향 에지
28 - (블레이드 스프링의) 제2 길이 방향 에지
30 - 제1 벽
32 - 제1 벽 개구
34 - 제2 벽
36 - 제2 벽 개구
38 - 중심 벽 개방 축
40 - 제1 도어 플레이트
42 - 제2 도어 플레이트
44 - 제2 도어 플레이트 서스펜션
45 - 제2 도어 플레이트 가이드
46 - 액추에이터 어셈블리
48 - 토글 레버 어셈블리
50 - 토글 레버 어셈블리 모터
52 - 제1 토글 레버
54 - 제2 토글 레버
56 - (제2 도어 플레이트 서스펜션의) 블레이드 스프링
58 - (제2 도어 플레이트 서스펜션의 블레이드 스프링의) 제1 위치
60 - (제2 도어 플레이트 서스펜션의 블레이드 스프링의) 제2 위치
62 - 팽창식 밀봉부
64 - 하드 스톱
66 - 카세트 덮개 체결기
68 - 제2 원주 방향 밀봉부
70 - 가이드 레일
72 - 가이드 레일 축
74 - 브래킷
76 - 구동 모터
78 - 카세트 덮개 밀봉부 78
80 - 카세트 몸체 밀봉부
82 - 구동 스핀들
90 - 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘
92 - 순응성 메커니즘 구동 모터
94 - 가요성 도어 플레이트 연결 링크
96 - 제1 링크
98 - 제2 링크
98a - 제2 링크의 제1 단부
98b - 제2 링크의 제2 단부
100 - 일체식으로 형성된 힌지
102 - 제3 링크
102a - 제3 링크의 제1 단부
102b - 제3 링크의 제2 단부
104 - 가요성 힌지
106 - 회전자 아암
108 - 구동 샤프트

Claims (18)

  1. 반도체 기판 처리 장치용 카세트 덮개 개방 장치(10)로서, 상기 카세트 덮개 개방 장치(10)는,
    연관된 벽 개구(32, 36)가 있는 적어도 하나의 벽(30, 34)을 갖는 하우징(12);
    적어도 하나의 벽(30, 34)의 연관된 벽 개구(32, 36)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)를 포함하는 도어 어셈블리(14);
    도어 어셈블리(14)에 연결되고, 연관된 벽 개구(32, 36)의 전방에 있는 제1 위치와 연관된 벽 개구(32, 36)로부터 측방향으로 멀리 있는 제2 위치 사이에서 도어 어셈블리(14)를 적어도 하나의 벽(30, 34)에 평행하게 이송하여 연관된 벽 개구(32, 36)를 통해 웨이퍼의 통과를 허용하도록 구성된 캐리지(18)를 포함하는 이송 메커니즘(16);
    적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)와 이송 메커니즘(16) 사이에 배열된 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)을 포함하되, 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은 적어도 하나의 벽(30, 34)에 수직인 방향으로 적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)의 이동을 허용하는 서스펜션 스프링 어셈블리(20)를 포함하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은,
    도어 어셈블리 서스펜션(22)을 포함하되, 도어 어셈블리 서스펜션(22)의 서스펜션 스프링 어셈블리(20)는, 각각 제1 길이 방향 에지(26)와 캐리지(18)에 연결되고 각각 제2 길이 방향 에지(28)와 도어 어셈블리(14)에 연결되는, 두 개의 평행한 블레이드 스프링(24)을 포함하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    하우징(12)의 적어도 하나의 벽(30, 34)은 제1 벽(30)을 포함하고,
    적어도 하나의 벽 개구(32, 36)는 제1 벽(30)에 제1 벽 개구(32)를 포함하고,
    적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)는 제1 벽 개구(32)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제1 도어 플레이트(40)를 포함하고,
    원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는 하우징(12)의 제1 벽(30)과 도어 어셈블리(14) 사이에 위치하되, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는 제1 벽 개구(32)를 둘러싸고, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는, 상기 밀봉부가 제1 도어 플레이트(40) 및 제1 벽(30) 중 적어도 하나와 체결하지 않는 수축된 상태를 갖고, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)가 제1 벽(30) 및 제1 도어 플레이트(40)와 밀봉식으로 체결하고 도어 어셈블리(14)를 제1 벽(30)으로부터 멀리 도어 어셈블리 서스펜션(22)의 서스펜션 스프링 어셈블리(20)의 스프링 힘에 대해 미는 팽창된 상태를 갖는, 카세트 덮개 개방 장치.
  4. 제3항에 있어서, 도어 어셈블리(14)는, 제1 벽(30)으로부터 멀리 밀릴 경우에 팽창식 밀봉부(62)에 의해 유도된 도어 어셈블리(14)의 이동을 제한하기 위해 하우징(12)에 대해 고정된 정지부 체결 지점과 체결하기 위한 적어도 하나의 하드 스톱(64)을 포함하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 원주 방향 팽창식 밀봉부(62)는 제1 벽(30)에 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    하우징(12)의 적어도 하나의 벽(30, 34)은 실질적으로 서로 평행한 제1 벽(30) 및 제2 벽(34)을 포함하고,
    적어도 하나의 벽 개구(32, 36)는 제1 벽(30) 내의 제1 벽 개구(32) 및 제 2 벽(34) 내의 제2 벽 개구(36)를 포함하되, 제1 벽 개구(32)는 제2 벽 개구(36)와 정렬되어 제1 벽 개구(32)의 중심을 통해 제1 벽(30)에 실질적으로 수직 연장되는 중심 벽 개구 축(38)을 따라 제1 및 제2 벽 개구(32, 36)를 통해 웨이퍼의 통과를 허용하고,
    적어도 하나의 도어 플레이트(40, 42)는, 제1 벽 개구(32)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제1 도어 플레이트(40), 및 제2 벽 개구(36)를 실질적으로 폐쇄하도록 구성된 제2 도어 플레이트(42)를 포함하고,
    적어도 하나의 서스펜션(22, 44)은 제2 도어 플레이트(42)를 지지하는 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)을 포함하되, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)은, 제2 벽(34)을 향해 그리고 그로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제1 도어 플레이트(40)에 대한 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 수행하도록 구성된 액추에이터 어셈블리(46)를 포함하고, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)는 액추에이터 어셈블리(46)의 일부를 구성하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  7. 제6항에 있어서, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)은, 상기 제2 벽을 향해 그리고 그로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 가이드하기 위해 적어도 하나의 제2 도어 플레이트 가이드(45)를 포함하고, 액추에이터 어셈블리(46)는, 토글 레버 어셈블리 모터(50)와 작동 가능하게 연결되는 토글 레버 어셈블리(48)로서 구성되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  8. 제7항에 있어서, 토글 레버 어셈블리(48)는, 제1 도어 플레이트(40)와 피봇식으로 연결되는 적어도 하나의 제1 토글 레버(52), 및 스프링 어셈블리(20)에 힌지식으로 연결되는 적어도 하나의 제2 토글 레버(54)를 포함하되, 제2 도어 플레이트(42)는 스프링 어셈블리(20)에 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  9. 제8항에 있어서, 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)는 제1 위치(58)에서 토글 레버 어셈블리(48)의 제2 토글 레버(54)와 연결되는 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)을 포함하고, 제2 도어 플레이트(42)는 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)의 제2 위치(60)에 연결되어, 제2 도어 플레이트(42)의 폐쇄 위치에 대응하는 토글 레버 어셈블리(48)의 위치에서 적어도 하나의 블레이드 스프링(56)이 제2 벽(34)에 대해 제2 도어 플레이트(42)를 편향시키도록 하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 제2 도어 플레이트 서스펜션은 제2 벽(34)을 향해 그리고 그로부터 멀리 제2 벽(34)에 실질적으로 수직인 방향으로 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 가이드하기 위해 적어도 하나의 제2 도어 플레이트 가이드(45)를 포함하고, 액추에이터 어셈블리(46)는 제1 도어 플레이트(40)를 제2 도어 플레이트(42)와 연결하는 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)으로서 구성되고, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)를 포함하되, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 순응성 메커니즘 구동 모터(92)와 작동 가능하게 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  11. 제10항에 있어서, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은 두 개의 안정한 위치를 갖는 이중 안정형 순응성 메커니즘으로서, 제1 도어 플레이트(40)가 제2 도어 플레이트(42)로부터 제1 거리에 있는 제1 위치를 포함하고, 제1 도어 플레이트(40)가 제2 도어 플레이트(42)로부터 제2 거리에 있는 제2 위치를 포함하되, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리와 상이한, 카세트 덮개 개방 장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)은, 제1 도어 플레이트(40)를 제2 도어 플레이트(42)와 연결하는 가요성 도어 플레이트 연결 링크(94)를 포함하되, 가요성 도어 플레이트 연결 링크(94)는 일체식으로 형성된 링크 어셈블리(96, 98, 100,102)를 통해 순응성 메커니즘 구동 모터(92)에 일체식으로 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  13. 제12항에 있어서, 일체식으로 형성된 링크 어셈블리(96, 98, 100, 102)는 도어 플레이트 연결 링크(94) 중 연관된 하나에 연결되는 적어도 하나의 제1 링크(96)를 포함하되, 상기 링크 어셈블리는 적어도 하나의 제2 링크(98)를 포함하고, 이의 제1 단부(98a)는 상기 카세트 덮개 개방 장치의 고정 프레임 부분(108)에 힌지식으로 연결되고 이의 제2 단부(98b)는 일체식으로 형성된 힌지(100)를 통해 제3 링크(102)의 제1 단부(102a)에 연결되고, 제3 링크(102)의 제2 단부(102b)는 가요성 힌지(104)를 통해 일체식으로 형성된 순응성 메커니즘(90)의 회전자 아암(106)에 연결되고, 상기 회전자 아암은 구동 모터(92)의 회전식 구동 샤프트(108)에 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  14. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 제6항 내지 제13항 중 적어도 하나의 주제를 포함하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  15. 제6항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 도어 플레이트는 카세트의 덮개와 체결하도록 구성된 카세트 덮개 체결기(66)를 포함하되, 이에 의해 상기 카세트의 덮개는, 사용 시 제2 도어 플레이트(42)를 상기 제1 도어 플레이트를 향해 이동시킨 다음 도어 어셈블리(14)를 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 제2 벽 개구(36)로부터 측방향으로 멀리 이동시킴으로써, 상기 카세트로부터 제거되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  16. 제6항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 원주 방향 밀봉부(68)는, 제2 벽(34)과 제2 도어 플레이트(42) 사이에 위치하고 제2 벽 개구(36)를 둘러싸고, 제2 원주 방향 밀봉부(68)는, 제1 도어 플레이트(40)에 대한 제2 도어 플레이트(42)의 이동을 수행하도록 구성된 액추에이터 어셈블리(46)가 제2 도어 플레이트(42)를 제2 벽(34)을 향해 이동시키도록 작동되어 제2 도어 플레이트 서스펜션(44)의 스프링 어셈블리(20)가 스프링 로딩되는 경우에, 제2 벽 개구(36)를 실질적으로 폐쇄하는, 카세트 덮개 개방 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제2 원주 방향 밀봉부(68)는 제2 도어 플레이트(42)에 연결되는, 카세트 덮개 개방 장치.
  18. 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 이송 메커니즘(16)은 하우징(12)에 고정식으로 연결된 가이드 레일(70)을 포함하고, 캐리지(18)는 가이드 레일(70)에 이동식으로 연결되고 가이드 레일(70)에 의해 정의된 가이드 레일 축(72)을 따라 이동 가능하고, 가이드 레일 축(72)은 적어도 하나의 벽(30, 34)에 실질적으로 평행한, 카세트 덮개 개방 장치.
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