KR20220061877A - Transport vehicle - Google Patents

Transport vehicle Download PDF

Info

Publication number
KR20220061877A
KR20220061877A KR1020210149673A KR20210149673A KR20220061877A KR 20220061877 A KR20220061877 A KR 20220061877A KR 1020210149673 A KR1020210149673 A KR 1020210149673A KR 20210149673 A KR20210149673 A KR 20210149673A KR 20220061877 A KR20220061877 A KR 20220061877A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
posture
holding
holding unit
angle
Prior art date
Application number
KR1020210149673A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
다케시 아베
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20220061877A publication Critical patent/KR20220061877A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
  • Handcart (AREA)

Abstract

A holding part (20) comprises: a first portion (21) connected to a lifting device; a second portion (22) connected to the lifting device via the first portion (21) and also in contact with an article; and an angle adjusting mechanism (40) installed between the first portion (21) and the second portion (22) and configured to change an inclination angle, A, of the second portion (22) for the first portion (21).

Description

반송차{TRANSPORT VEHICLE}transport vehicle {TRANSPORT VEHICLE}

본 발명은, 물품을 반송(搬送)하는 반송차에 관한 것이다.The present invention relates to a transport vehicle for transporting articles.

상기와 같은 반송차의 일례가, 일본공개특허 제2012-64799호 공보(특허문헌1)에 개시되어 있다. 이하, 배경기술의 설명에 있어서 괄호 내에 나타낸 부호는 특허문헌 1의 것이다. 특허문헌 1에는, 물품을 반송하는 반송차로서, 수납 용기(4)를 반송하는 천장 반송차(A)가 개시되어 있다. 이 천장 반송차(A)는, 주행 경로(3)를 따라 주행하는 주행부(11)와, 수납 용기(4)를 유지하는 유지부(10)와, 유지부(10)를 주행부(11)에 대하여 승강시키는 승강 장치를 구비하고 있다. An example of such a transport vehicle is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-64799 (Patent Document 1). Hereinafter, reference numerals in parentheses in the description of the background art are those of Patent Document 1. Patent Document 1 discloses an overhead transport vehicle A for transporting a storage container 4 as a transport vehicle for transporting articles. This overhead transport vehicle A includes a traveling unit 11 traveling along a traveling path 3 , a holding unit 10 holding the storage container 4 , and a traveling unit 11 using the holding unit 10 . ) is provided with a lifting device for raising and lowering.

특허문헌 1에서는, 수납 용기(4)는, 기판(5)을 출납하기 위한 개구(6)가 측면에 형성된 오픈 카세트다. 유지부(10)에 유지되고 있는 수납 용기(4)의 개구(6)로부터, 기판(5)이 튀어나오는 것을 방지하기 위하여, 특허문헌 1의 천장 반송차(A)에는, 기판(5)의 측면에 접촉하는 접촉 위치와 기판(5)의 측면으로부터 이격되는 이격 위치로 이동 가능한 접촉체(26)를 구비한 튀어나옴 방지 기구(機構)(9)가 설치되어 있다.In patent document 1, the storage container 4 is an open cassette in which the opening 6 for putting in and out the board|substrate 5 was formed in the side surface. In order to prevent the board|substrate 5 from protruding from the opening 6 of the storage container 4 held by the holding part 10, in the ceiling conveyance vehicle A of patent document 1, the board|substrate 5 A jumping-out prevention mechanism 9 provided with a contact body 26 movable to a contact position in contact with the side surface and a spaced position spaced apart from the side surface of the substrate 5 is provided.

반송차의 주행 시에는 유지부에 유지되고 있는 물품에 진동이 전해지기 쉽기 때문에, 특허문헌 1의 튀어나옴 방지 기구와 같은 기구의 유무에 관계없이, 반송차의 주행 시에는, 진동에 대한 허용도를 높게 확보하기 쉬운 자세로 물품이 수용부 내에서 지지되는 것이 바람직하다. 이와 같이, 반송차의 주행 시에는, 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 물품이 유지부에 유지되는 것이 바람직하지만, 반송차의 주행 시에 적합한 물품의 자세가, 이송탑재(移載) 대상 개소(유지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 개소)에 있어서 요구되는 물품의 자세와 상이한 경우가 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에서는, 물품이 측면에 개구가 형성된 수납 용기이며, 이송탑재 대상 개소가, 수납 용기로부터 꺼내어진 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치의 로드 포트이다. 그러므로, 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 수납 용기의 자세가, 특허문헌 1의 도 5에 나타낸 바와 같이, 수납 용기에 대하여 기판을 출납하기 쉬운 자세(구체적으로는, 개구가 수평 방향을 향하는 수평 자세)가 되는 것에 대하여, 반송차의 주행 시에 적합한 수납 용기의 자세는, 기판이 개구로부터 수납 용기의 외부에 이동하기 어려운 자세(예를 들면, 개구가 비스듬하게 위쪽을 향하는 경사 자세)가 된다.Since vibration is easily transmitted to the articles held in the holding unit when the transport vehicle is traveling, the degree of tolerance for vibration when the transport vehicle is traveling is irrespective of the presence or absence of a mechanism such as the jumping-out prevention mechanism in Patent Document 1 It is preferable that the article is supported in the accommodating part in a posture that is easy to secure high. As described above, when the transport vehicle is traveling, the article is preferably held by the holder in a suitable posture when the transport vehicle is running. It may differ from the attitude|position of the article requested|required in (a location where an article is conveyed and mounted between a holding part). For example, in Patent Document 1, the article is a storage container having an opening in the side thereof, and the transfer target location is a load port of a processing apparatus that processes a substrate taken out of the storage container. Therefore, as shown in Fig. 5 of Patent Document 1, the posture of the storage container required at the transfer target location is the posture in which the substrate is easily put in and out with respect to the storage container (specifically, the horizontal posture in which the opening faces the horizontal direction). ), a suitable posture of the storage container when the transport vehicle is traveling is a posture in which the substrate is less likely to move from the opening to the outside of the storage container (for example, an inclined attitude in which the opening is obliquely upward).

반송차의 주행 시에 적합한 물품의 자세가, 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 물품의 자세와 상이한 경우, 단지 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 물품이 유지부에 유지되는 구성으로 하면, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에 이송탑재 대상 개소에 배치되는 물품의 자세도, 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 된다. 그러므로, 반송차의 주행 시에 적합한 자세와 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세 사이에서 물품의 자세를 변경하는 기구를 이송탑재 대상 개소에 설치하여, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 동작과는 별도로, 이송탑재 대상 개소에 있어서 물품의 자세 변경 동작을 행할 필요가 생기고, 물품의 처리 효율이 저하될 우려가 있다.If the posture of the article suitable when the transport vehicle is running is different from the posture of the article required at the location to be transported, if it is configured such that the article is held by the holder in the posture suitable when the transport vehicle is running, the holding unit The posture of the article disposed at the transfer target location when the article is transferred between the and the transfer target location also becomes a suitable posture when the transport vehicle is running. Therefore, a mechanism for changing the posture of the article between the posture suitable when the transport vehicle is running and the posture required at the transfer target location is installed at the transfer target location, Separately from the transfer and mounting operation, it is necessary to perform an operation to change the posture of the article at the transfer target location, and there is a fear that the processing efficiency of the article may be lowered.

그래서, 반송차의 주행 시에 적합한 물품의 자세가 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 물품의 자세와 상이한 경우에, 반송차의 주행 시에는 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 물품을 유지부에 의해 유지하면서, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에 이송탑재 대상 개소에 배치되는 물품의 자세를, 해당 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세로 하는 것이 가능한 기술의 실현이 요망된다.Therefore, when the posture of the article suitable for the transport of the transport vehicle is different from that required at the location to be transported, the holding unit holds the article in a posture suitable for the transport of the transport vehicle while the transport vehicle is running. It is desirable to realize a technique capable of changing the posture of the article disposed at the transfer target location to the posture required at the transfer target location while maintaining the transfer and mounting of the article between the holding unit and the transfer target location. do.

본 개시에 관한 반송차는, 물품을 반송하는 반송차로서, 이동 경로를 따라 이동하는 본체부와, 상기 물품을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 본체부에 대하여 승강 방향으로 승강시키는 승강 장치를 구비하고, 상기 유지부는, 상기 승강 장치에 연결된 제1 부분과, 상기 제1 부분을 통하여 상기 승강 장치에 연결되고 또한 상기 물품에 접촉하는 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 설치되고, 상기 제1 부분에 대한 상기 제2 부분의 경사 각도를 변경하는 각도 조정 기구를 구비하고 있다.A transport vehicle according to the present disclosure is a transport vehicle for transporting articles, comprising: a body part moving along a movement path; a holding part holding the article; wherein the holding part comprises: a first part connected to the lifting device; a second part connected to the lifting device through the first part and in contact with the article; and between the first part and the second part. It is provided with the angle adjustment mechanism which changes the inclination angle of the said 2nd part with respect to the said 1st part.

본 구성에 의하면, 유지부가 각도 조정 기구를 구비하므로, 유지부의 자세를 변경하기 위한 기구를 승강 장치에 설치하지 않아도, 각도 조정 기구에 의해 제1 부분에 대한 제2 부분의 경사 각도를 변경함으로써, 제2 부분이 접촉하는 물품(즉, 유지부에 유지되고 있는 물품)의 자세를 원하는 자세로 할 수 있다. 따라서, 반송차의 주행 시에서의 물품의 자세를, 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 하면서, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에서의 물품의 자세를, 해당 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세로 할 수 있다. 따라서, 반송차의 주행 시에는 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 물품을 유지부에 의해 유지하면서, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에 이송탑재 대상 개소에 배치되는 물품의 자세를, 해당 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세 로 하는 것이 가능하게 되고 있다. 그리고, 본 구성에서는, 유지부의 자세를 변경하기 위한 기구를 승강 장치에 설치할 필요가 없기 때문에, 승강 장치의 복잡화를 억제하면서 본 개시의 반송차를 실현할 수 있다.According to this configuration, since the holding unit is provided with the angle adjusting mechanism, by changing the inclination angle of the second part with respect to the first part by the angle adjusting mechanism without providing a mechanism for changing the posture of the holding part in the lifting device, The posture of the article with which the second part is in contact (that is, the article held by the holding unit) can be set to a desired posture. Therefore, while the posture of the article when the transport vehicle is running is set to a posture suitable for driving the transport vehicle, the posture of the article when transporting and mounting the article between the holding unit and the transfer target location is set to the transport position. It can be set in the position requested|required in the target location. Accordingly, when the transport vehicle is traveling, the article is held by the holding unit in a suitable posture when the transport vehicle is traveling, and the article is disposed at the transport target location when the article is transferred between the holding unit and the transport target location. It has become possible to set the posture of the to the posture required in the transfer target location. In addition, in the present configuration, since it is not necessary to provide a mechanism for changing the posture of the holding unit in the lifting device, it is possible to realize the transport vehicle of the present disclosure while suppressing the complexity of the lifting device.

반송차의 가일층의 특징과 이점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.Further characteristics and advantages of the transport vehicle will become clear from the following description of the embodiment described with reference to the drawings.

[도 1] 반송차의 사시도
[도 2] 반송차의 정면도
[도 3] 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서 물품이 이송탑재되는 상황을 나타내는 도면
[도 4] 경사 각도가 제2 각도로 조정되고 있는 상태에서의 유지부의 사시도
[도 5] 경사 각도가 제1 각도로 조정되고 있는 상태에서의 유지부의 사시도
[도 6] 이송탑재 대상 개소로부터의 물품의 반출 동작의 설명도
[도 7] 이송탑재 대상 개소로부터의 물품의 반출 동작의 설명도
[도 8] 이송탑재 대상 개소로부터의 물품의 반출 동작의 설명도
[도 9] 이송탑재 대상 개소로의 물품의 반입 동작의 설명도
[도 10] 이송탑재 대상 개소로의 물품의 반입 동작의 설명도
[도 11] 이송탑재 대상 개소로의 물품의 반입 동작의 설명도
[도 12] 이송탑재 대상 개소로의 물품의 반입 동작의 설명도
[도 13] 이송탑재 대상 개소로의 물품의 반입 동작의 설명도
[도 14] 제어 블록도[FIG. 1] A perspective view of a transport vehicle
[Fig. 2] Front view of the transport vehicle
[FIG. 3] A view showing a situation in which an article is transported and mounted between the holding unit and the transfer target location
[FIG. 4] A perspective view of the holding part in a state in which the inclination angle is adjusted to the second angle
[FIG. 5] A perspective view of the holding part in a state in which the inclination angle is adjusted to the first angle
[FIG. 6] An explanatory diagram of the operation of taking out the article from the transfer target location
[FIG. 7] An explanatory diagram of the operation of taking out the article from the transfer target location
[FIG. 8] An explanatory diagram of the operation of taking out the article from the transfer target location
[FIG. 9] An explanatory diagram of an operation of carrying in an article to a transfer target location
[FIG. 10] An explanatory diagram of an operation of carrying in an article to a transfer target location
[FIG. 11] An explanatory diagram of the operation of carrying in the article to the transfer target location
[FIG. 12] An explanatory diagram of an operation of carrying in an article to a transfer target location
[FIG. 13] An explanatory view of the operation of carrying in the article to the transfer target location
[Fig. 14] Control block diagram

반송차의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.DESCRIPTION OF EMBODIMENTS An embodiment of a transport vehicle will be described with reference to the drawings.

반송차(1)는, 도 3에 예시한 바와 같은 물품 반송 설비(100)에 있어서, 이동 경로(2)를 따라 주행해 물품(90)을 반송한다. 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는, 이동 경로(2)를 따라 이동하는 본체부(10)와, 물품(90)을 유지하는 유지부(20)와, 유지부(20)를 본체부(10)에 대하여 연직 방향(V)로 승강시키는 승강 장치(50)를 구비하고 있다. 여기서, 이동 경로(2)의 길이 방향(이동 경로(2)가 연장되는 방향)으로 경로 길이 방향(L)로 하고, 이동 경로(2)의 폭 방향을 경로 폭 방향(W)로 한다. 경로 폭 방향(W)는, 경로 길이 방향(L) 및 연직 방향(V)의 양쪽에 직교하는 방향이다. 또한, 반송차(1)를 기준으로 하여 정의되는 방향(즉, 반송차(1)의 자세에 따라 변화하는 방향)으로서, 이동 경로(2)에 배치된 상태에서 경로 길이 방향(L)에 따른 방향을 차체 전후 방향(X)로 하고, 반송차(1)를 기준으로 하여 정의되는 방향으로서, 이동 경로(2)에 배치된 상태에서 경로 폭 방향(W)를 따른 방향을 차체 좌우 방향(Y)로 한다. 본 실시형태에서는, 연직 방향(V)가 「승강 방향」에 상당한다.The transport vehicle 1 travels along a movement path 2 to transport the article 90 in the article transport facility 100 as illustrated in FIG. 3 . 1 to 3 , the transport vehicle 1 includes a main body 10 moving along a movement path 2 , a holding unit 20 holding an article 90 , and a holding unit ( A lifting device 50 for lifting and lowering 20 in the vertical direction V with respect to the body portion 10 is provided. Here, let the longitudinal direction (direction in which the movement path 2 extends) of the movement path 2 be the path length direction L, and let the width direction of the movement path 2 be the path width direction W. The path width direction W is a direction orthogonal to both the path length direction L and the perpendicular direction V. In addition, as a direction defined with respect to the transport vehicle 1 as a reference (that is, a direction that changes depending on the posture of the transport vehicle 1), in the state arranged on the movement path 2, the direction along the path length direction L The direction is the vehicle body front-rear direction (X), and the direction is defined with respect to the transport vehicle 1 as a reference. ) to be In the present embodiment, the vertical direction V corresponds to the “elevating direction”.

이동 경로(2)는 물리적으로 형성되어도 되고 가상적으로 설정되어도 된다. 본 실시형태에서는, 이동 경로(2)는 레일(3)을 이용하여 물리적으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 물품 반송 설비(100)는, 이동 경로(2)를 따라 배치된 레일(3)(여기서는, 경로 폭 방향(W)로 간극을 두고 배치된 한 쌍의 레일(3))을 구비하고 있고, 본체부(10)는 레일(3)을 따라 이동한다. 또한, 본 실시형태에서는, 레일(3)은, 천장(4)으로부터 매달아 지지되어 있고, 이동 경로(2)는 천장(4)을 따라 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 반송차(1)는, 천장(4)을 따라 형성된 이동 경로(2)를 따라 주행하는 천장 반송차다. 그리고, 반송차(1)는 천장 반송차이외의 반송차라도 된다.The movement path 2 may be physically formed or may be set virtually. In this embodiment, the movement path 2 is physically formed using the rail 3 . Specifically, the article transport facility 100 includes rails 3 arranged along a movement path 2 (here, a pair of rails 3 arranged with a gap in the path width direction W). And, the body portion 10 moves along the rail (3). In addition, in this embodiment, the rail 3 is suspended from the ceiling 4, and is supported, and the movement path 2 is formed along the ceiling 4. That is, in the present embodiment, the transport vehicle 1 is a overhead transport vehicle that travels along a movement path 2 formed along the ceiling 4 . Incidentally, the transport vehicle 1 may be a transport vehicle other than the overhead transport vehicle.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본체부(10)는, 레일(3)(여기서는, 한 쌍의 레일(3))의 주행면을 전동(轉動)하는 차륜(12)을 구비한 주행부(11)와, 주행부(11)에 연결된 커버부(14)를 구비하고 있다. 레일(3)의 주행면은, 연직 방향(V)의 위쪽(V1)을 향하는 면이며, 차륜(12)은, 연직 방향(V)에 직교하는 축심(軸心) 주위로 회전한다. 주행부(11)는, 차륜(12)을 회전시키는 주행 구동부(70)(예를 들면, 서보 모터 등의 전동 모터, 도 14 참조)를 구비하고 있고, 차륜(12)가 주행 구동부(70)에 의해 회전 구동됨으로써, 주행부(11)가 레일(3)을 따라 주행한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 주행부(11)는, 레일(3)의 안내면을 전동하는 안내륜(13)을 구비하고 있고, 주행부(11)는, 안내륜(13)이 레일(3)의 안내면에 접촉 안내된 상태로, 레일(3)을 따라 주행한다. 레일(3)의 안내면은, 경로 폭 방향(W)의 내측(한 쌍의 레일(3) 사이의 경로 폭 방향(W)의 중심 위치를 향하는 측)을 향하는 면이며, 안내륜(13)은 연직 방향(V)를 따른 축심 주위로 회전한다(본 예에서는, 유전(遊轉)함). 도 1에 나타낸 예에서는, 본체부(10)는, 주행부(11)를 차체 전후 방향(X)로 배열되도록 한 쌍 구비하고 있다.1 and 2, the main body part 10 is a running part provided with the wheel 12 which rolls the running surface of the rail 3 (here, a pair of rails 3). (11) and the cover part 14 connected to the traveling part 11 is provided. The running surface of the rail 3 is a surface facing the upper side V1 in the vertical direction V, and the wheel 12 rotates around an axis orthogonal to the vertical direction V. The traveling unit 11 includes a traveling driving unit 70 for rotating the wheel 12 (eg, an electric motor such as a servo motor, see FIG. 14 ), and the wheel 12 is a traveling driving unit 70 . By being rotationally driven by , the traveling unit 11 travels along the rail 3 . As shown in FIG. 2 , in the present embodiment, the traveling unit 11 is provided with a guide wheel 13 for rolling the guide surface of the rail 3 , and the traveling unit 11 is a guide wheel 13 . It travels along the rail 3 in the state guided by contact with the guide surface of this rail 3 . The guide surface of the rail 3 is a surface facing the inner side of the path width direction W (the side facing the center position in the path width direction W between the pair of rails 3), and the guide wheel 13 is It rotates around the axis along the vertical direction V (in this example, it is dielectric). In the example shown in FIG. 1, the body part 10 is provided with a pair of traveling parts 11 so that it may be arranged in the vehicle body front-back direction X.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 커버부(14)는, 주행부(11)에 대하여 연직 방향(V)의 아래쪽(V2)에 배치된 상태에서, 주행부(11)에 지지되고 있다. 반송차(1)의 주행 시에는, 유지부(20)에 유지된 상태의 물품(90)은, 커버부(14)의 내부 공간에 배치된다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 커버부(14)의 내부 공간은, 차체 전후 방향(X)의 양측이 패쇄되어 있고 또한, 차체 좌우 방향(Y) 중 적어도 한쪽 측이 개방되어 있다. 따라서, 커버부(14)의 내부 공간에 배치된 물품(90)은, 커버부(14)의 벽부에 의해 적어도 차체 전후 방향(X)의 양측으로부터 덮인다.As shown in FIG. 1 , in the present embodiment, the cover 14 is supported by the traveling unit 11 in a state disposed below V2 in the vertical direction V with respect to the traveling unit 11 , there is. When the transport vehicle 1 is traveling, the article 90 held by the holding unit 20 is disposed in the interior space of the cover unit 14 . As shown in Fig. 1, in the present embodiment, the inner space of the cover portion 14 is closed on both sides in the vehicle body front-rear direction X, and at least one side in the vehicle body left-right direction Y is open. . Accordingly, the articles 90 disposed in the interior space of the cover portion 14 are covered by the wall portions of the cover portion 14 from at least both sides in the vehicle body front-rear direction X. As shown in FIG.

도 4에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)는, 물품(90)에 형성된 피유지부(91)(도 2 참조)를 지지하는 지지부(23)를 구비하고 있고, 지지부(23)를 이용하여 물품(90)을 유지한다. 도 2에 나타낸 예에서는, 유지부(20)는, 물품(90)을 위쪽(V1)로부터 유지한다. 구체적으로는, 피유지부(91)는, 물품(90)의 상면(90a)를 구성하는 상면부(예를 들면, 판형의 천판부(天板部))에 형성된 플랜지부이며, 지지부(23)는, 해당 지지부(23)의 지지 부분이 피유지부(91)와 상면부 사이의 공간(이하, 「지지용 공간」이라고 함)에 삽입된 상태로, 피유지부(91)를 아래쪽(V2)로부터 지지한다. 지지부(23)는, 위쪽(V1)을 향하는 지지면(23a)(도 4 참조)을 구비하고 있고, 지지면(23a)를 피유지부(91)의 하면에 접촉시켜 피유지부(91)를 아래쪽(V2)로부터 지지한다. 그리고, 피유지부(91)는, 물품(90)의 상부에 형성되는 플랜지부에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품(90)의 상면부(구체적으로는, 상면부의 외주 부분)이 피유지부(91)로서 사용되는 구성, 물품(90)의 측면(90b)를 구성하는 측면부에 피유지부(91)가 형성되는 구성, 혹은, 물품(90)의 바닥면(90c)를 구성하는 바닥면부 (예를 들면, 판형의 바닥판부)가 피유지부(91)로서 사용되는 구성으로 할 수 있다.As shown in FIG. 4 , the holding unit 20 includes a supporting unit 23 for supporting the held unit 91 (see FIG. 2 ) formed on the article 90 , and using the supporting unit 23 , Holds article 90 . In the example shown in FIG. 2 , the holding unit 20 holds the article 90 from the upper side V1 . Specifically, the held portion 91 is a flange portion formed on an upper surface portion (eg, a plate-shaped top plate portion) constituting the upper surface 90a of the article 90 , and the supporting portion 23 ) indicates that the supported part of the supporting part 23 is inserted into the space between the held part 91 and the upper surface (hereinafter referred to as "supporting space"), and the held part 91 is moved downward ( from V2). The support part 23 is provided with the support surface 23a (refer FIG. 4) which faces the upper part V1, The to-be-held part 91 is made to contact the lower surface of the to-be-held part 91, The support surface 23a is made to contact. is supported from the bottom (V2). In addition, the to-be-held part 91 is not limited to the flange part formed in the upper part of the article 90, For example, the upper surface part of the article 90 (specifically, the outer peripheral part of the upper surface part) is a to-be-held part. A configuration used as the portion 91 , a configuration in which the held portion 91 is formed in a side portion constituting the side surface 90b of the article 90 , or a bottom constituting the bottom surface 90c of the article 90 . It can be set as the structure in which a face part (for example, a plate-shaped bottom plate part) is used as the to-be-held part 91. As shown in FIG.

유지부(20)는, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지 및 유지 해제를 행하기 위한 유지 구동부(72)(예를 들면, 솔레노이드나 전동 모터, 도 14 참조)를 구비하고 있고, 유지 구동부(72)의 구동에 의하여, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지 및 유지 해제가 행해진다. 본 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)는 한 쌍의 지지부(23)를 구비하고 있고, 유지 구동부(72)는, 한 쌍의 지지부(23)(구체적으로는, 한 쌍의 지지부(23)의 한쪽의 지지 부분과 다른 쪽의 지지 부분)을 서로 접근 및 이격시키도록 구성되어 있다. 그리고, 지지 부분은, 지지면(23a)이 형성된 부분이다.The holding unit 20 includes a holding drive unit 72 (for example, a solenoid or an electric motor, see FIG. 14 ) for holding and releasing the article 90 by the holding unit 20 , , by the driving of the holding driving unit 72 , holding and releasing of the article 90 by the holding unit 20 are performed. In the present embodiment, as shown in FIG. 4 , the holding unit 20 includes a pair of supporting units 23 , and the holding driving unit 72 includes a pair of supporting units 23 (specifically, one One support portion and the other support portion of the pair of support portions 23) are configured to approach and separate from each other. And the support part is the part in which the support surface 23a was formed.

한 쌍의 지지부(23)가 서로 접근 및 이격되는 방향(바꿔 말하면, 한 쌍의 지지부(23)의 배열 방향)을 대상 방향으로 하면, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지를 행하는 경우, 유지 구동부(72)는, 한 쌍의 지지부(23)를 서로 접근시켜, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를, 한 쌍의 지지부(23)의 간격이 피유지부(91)의 대상 방향의 폭보다 작게 되는 유지 자세로 전환한다. 또한, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지 해제를 행하는 경우, 유지 구동부(72)는, 한 쌍의 지지부(21)를 서로 이격시켜, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를, 한 쌍의 지지부(23)의 간격이 피유지부(91)의 대상 방향의 폭보다 크게 되는 유지 해제 자세로 전환한다. 여기서, 자세는, 위치 및 방향의 적어도 한쪽을 포함하는 개념으로서 사용하고 있다. 도 4 및 도 5에 나타낸 예에서는, 차체 전후 방향(X)가 대상 방향이다.If the direction in which the pair of support parts 23 approaches and separates from each other (in other words, the arrangement direction of the pair of support parts 23) is the target direction, holding the article 90 by the holding part 20 is performed. In this case, the holding and driving unit 72 brings the pair of support parts 23 close to each other, the posture of the pair of support parts 23 , and the distance between the pair of support parts 23 is the target of the held part 91 . Switch to a holding posture that is smaller than the width of the direction. In addition, when holding and releasing the article 90 by the holding unit 20, the holding and driving unit 72 separates the pair of supporting units 21 from each other to adjust the posture of the pair of supporting units 23, It switches to a holding release posture in which the distance between the pair of supporting parts 23 is larger than the width in the target direction of the held part 91 . Here, the posture is used as a concept including at least one of a position and a direction. In the examples shown in FIGS. 4 and 5 , the vehicle body front-rear direction X is the target direction.

유지부(20)가 후술하는 제2 위치(P2)(도 3, 도 6, 도 11 참조)에 배치되어 있는 상태에서, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를 유지 해제 자세로부터 유지 자세로 전환함으로써, 한 쌍의 지지부(23)의 각각의 지지 부분이, 이송탑재 대상 개소(6)에 배치되어 있는 물품(90)의 지지용 공간에 삽입된다. 이 상태에서 유지부(20)를 상승시킴으로써, 물품(90)이 유지부(20)와 함께 상승한다. 또한, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 배치되어 있는 상태에서, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를 유지 자세로부터 유지 해제 자세로 전환함으로써, 한 쌍의 지지부(23)의 각각의 지지 부분이, 유지부(20)에 유지되고 있던 물품(90)의 지지용 공간으로부터 빼내어진다. 이 상태에서 유지부(20)를 상승시킴으로써, 물품(90)을 이송탑재 대상 개소(6)에 남긴 상태로 유지부(20)만이 상승한다.In a state in which the holding part 20 is disposed at a second position P2 (refer to FIGS. 3, 6, and 11 ) to be described later, the posture of the pair of supporting parts 23 is switched from the holding release posture to the holding posture By doing so, each supporting part of the pair of supporting parts 23 is inserted into the space for supporting the article 90 arranged at the transfer target location 6 . By raising the holding part 20 in this state, the article 90 is raised together with the holding part 20 . In addition, in the state where the holding part 20 is disposed at the second position P2 , each of the pair of supporting parts 23 is changed by switching the posture of the pair of supporting parts 23 from the holding posture to the holding releasing posture. The supporting portion of is withdrawn from the space for supporting the article 90 held by the holding unit 20 . By raising the holding unit 20 in this state, only the holding unit 20 rises while the article 90 is left at the transfer target location 6 .

물품(90)의 종류는 이것에 한정되지 않지만, 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품(90)은 측면(90b)에 개구부(92)를 가지는 용기이다. 개구부(92)는, 물품(90)에 대하여 수용물을 출납하기 위해 형성되어 있고, 개구부(92)를 통하여 물품(90)에 대한 수용물의 출납이 행해진다. 개구부(92)와는 다른 개구(예를 들면, 경량화나 세정을 위한 개구, 혹은 물품(90)의 구조상 형성되는 개구)가, 물품(90)의 측면(90b)에 형성되어 있어도 되지만, 물품(90)에 수용되어 있는 수용물은, 개구부(92)를 통하지 않으면 물품(90)의 외부에 이동할 수 없도록, 물품(90)이 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판(93)(수용물의 일례)이, 물품(90)에 수용된다. 또한, 본 실시형태에서는, 물품(90)은, 복수 개의 기판(93)을 상하 방향(바닥면(90c)이 수평으로 배치된 상태에서 연직 방향(V)을 따른 방향)으로 배열하여 수용 가능하게 구성되어 있다.The type of the article 90 is not limited thereto, but as shown in FIG. 2 , in the present embodiment, the article 90 is a container having an opening 92 on the side surface 90b. The opening 92 is formed for loading and unloading the stored items into and out of the article 90 , and the stored items are loaded into and out of the article 90 through the opening 92 . An opening different from the opening 92 (eg, an opening for weight reduction or cleaning, or an opening formed in the structure of the article 90 ) may be formed in the side surface 90b of the article 90 , but the article 90 . ), the article 90 is configured such that it cannot move to the outside of the article 90 without passing through the opening 92 . In the present embodiment, a substrate 93 (an example of a contained object) such as a glass substrate or a semiconductor wafer is accommodated in the article 90 . In addition, in the present embodiment, the article 90 arranges the plurality of substrates 93 in the vertical direction (the direction along the vertical direction V with the bottom surface 90c horizontally arranged) so that it can be accommodated. Consists of.

본 실시형태에서는, 물품(90)은, 개구부(92)를 닫는 커버를 구비하고 있지 않다. 예를 들면, 오픈 카세트를 물품(90)으로서 사용할 수 있다. 물품(90)이, 개구부(92)를 폐쇄하는 커버를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)를 물품(90)으로서 사용할 수 있다.In the present embodiment, the article 90 does not include a cover for closing the opening 92 . For example, an open cassette can be used as article 90 . The article 90 may be configured to include a cover for closing the opening 92 . In this case, for example, a Front Opening Unified Pod (FOUP) can be used as the article 90 .

도 4 및 도 5에서는, 한 쌍의 지지부(23)가 차체 전후 방향(X)로 서로 접근 및 이격되는 방향에서, 유지부(20)가 배치되는 경우를 예시하고 있지만, 한 쌍의 지지부(23)가 차체 좌우 방향(Y)로 서로 접근 및 이격되는 방향에서, 유지부(20)가 배치되어도 된다. 또한, 도 1∼도 3에서는, 개구부(92)가 차체 좌우 방향(Y)의 한쪽 측을 향하는 방향에서, 물품(90)이 유지부(20)에 유지되는 경우를 예시하고 있지만, 개구부(92)가 차체 전후 방향(X)의 한쪽 측을 향하는 방향에서, 물품(90)이 유지부(20)에 유지되어도 된다. 그리고, 반송차(1)가, 유지부(20)를 본체부(10)에 대하여 연직 방향(V)를 따르는 축심 주위로 회전시키는 기구를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 물품(90)에 수용되고 있는 기판(93)이, 반송차(1)의 주행 시에 개구부(92)로부터 물품(90)의 외부에 이동하는 것을 보다 확실하게 방지한다는 관점에서, 개구부(92)가 커버부(14)의 벽부를 향하는 방향에서, 물품(90)이 유지부(20)에 유지되는 구성으로 하면 바람직하다.In FIGS. 4 and 5 , the case in which the holding parts 20 are disposed in the direction in which the pair of support parts 23 approach and separate from each other in the vehicle body front-rear direction X is exemplified, but the pair of support parts 23 ) may be disposed in a direction in which the vehicle body approaches and separates from each other in the left-right direction Y of the vehicle body. 1 to 3 exemplify a case in which the article 90 is held by the holder 20 in the direction in which the opening 92 faces one side of the vehicle body left-right direction Y. However, the opening 92 The article 90 may be held by the holding part 20 in a direction in which ) faces one side of the vehicle body front-rear direction X. In addition, the transport vehicle 1 may be configured to include a mechanism for rotating the holding unit 20 about an axis along the vertical direction V with respect to the main body unit 10 . From the viewpoint of more reliably preventing the substrate 93 accommodated in the article 90 from moving from the opening 92 to the outside of the article 90 when the transport vehicle 1 is traveling, the opening 92 is It is preferable to have a configuration in which the article 90 is held by the holding portion 20 in the direction toward the wall portion of the temporary cover portion 14 .

승강 장치(50)는, 유지부(20)를 승강시키기 위한 승강 구동부(71)(예를 들면, 서보 모터 등의 전동 모터, 도 14 참조)를 구비하고 있고, 승강 구동부(71)의 구동에 의하여, 유지부(20)가 승강된다. 승강 장치(50)는, 제1 위치(P1)(도 2 및 도 3 참조)와, 제1 위치(P1)보다 아래쪽(V2)의 제2 위치(P2)(도 3 참조) 사이에서, 유지부(20)를 승강시킨다. 제1 위치(P1)는, 승강 방향(연직 방향(V))의 상단(上端)의 위치이다. 제1 위치(P1)는, 본체부(10)가 이동하는 경우의 유지부(20)의 연직 방향(V)의 위치이다. 즉, 제1 위치(P1)는, 반송차(1)의 주행 시에서의 유지부(20)의 위치이다. 본 실시형태에서는, 제1 위치(P1)는, 유지부(20)에 유지된 상태의 물품(90)이 커버부(14)의 내부 공간에 배치되는 바와 같은 유지부(20)의 위치이다. 또한, 제2 위치(P2)는, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지 및 유지 해제를 행하는 경우의 유지부(20)의 연직 방향(V)의 위치이다. 즉, 제2 위치(P2)는, 유지부(20)에 의한 물품(90)의 유지 및 유지 해제를 하는 위치이며, 바꿔 말하면, 유지부(20)와 이송탑재 대상 개소(6) 사이에서의 물품(90)의 이송탑재 시에서의 유지부(20)의 위치이다. 제2 위치(P2)는, 각 이송탑재 대상 개소(6)의 높이(연직 방향(V)의 위치)에 따라 설정된다. 본 실시형태에서는, 제2 위치(P2)는, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를 유지 자세와 유지 해제 자세로 전환함으로써, 이송탑재 대상 개소(6)에 배치되어 있는 물품(90)의 지지용 공간에, 한 쌍의 지지부(23)의 각각의 지지 부분을 삽탈(揷脫) 가능한 높이로 설정된다.The lifting device 50 includes a lifting drive unit 71 (eg, an electric motor such as a servo motor, see FIG. 14 ) for raising and lowering the holding unit 20 , and is configured to drive the lifting drive unit 71 . Accordingly, the holding unit 20 is raised and lowered. The lifting device 50 is held between a first position P1 (see FIGS. 2 and 3 ) and a second position P2 (see FIG. 3 ) lower than the first position P1 ( V2 ). The unit 20 is raised and lowered. The 1st position P1 is a position of the upper end of the raising/lowering direction (vertical direction V). The first position P1 is a position in the vertical direction V of the holding part 20 when the main body part 10 moves. That is, the first position P1 is the position of the holding unit 20 when the transport vehicle 1 is traveling. In the present embodiment, the first position P1 is a position of the holding unit 20 such that the article 90 held by the holding unit 20 is disposed in the inner space of the cover unit 14 . In addition, the second position P2 is a position in the vertical direction V of the holding unit 20 when holding and releasing the article 90 by the holding unit 20 . That is, the second position P2 is a position where the holding unit 20 holds and releases the article 90 , in other words, between the holding unit 20 and the transfer target location 6 . This is the position of the holding part 20 when the article 90 is transported and mounted. The 2nd position P2 is set according to the height (position of the vertical direction V) of each transfer mounting target location 6 . In the present embodiment, the second position P2 supports the article 90 disposed at the transfer target location 6 by switching the postures of the pair of support portions 23 into the holding posture and the holding release posture. In the space for use, each support part of the pair of support parts 23 is set to a height at which insertion and removal are possible.

도 3에서는, 이송탑재 대상 개소(6)의 일례로서, 처리 장치(5)에 인접하여 배치되는 로드 포트를 나타내고 있다. 처리 장치(5)는, 물품(90)을 처리 대상으로 하는 장치이며, 본 실시형태에서는, 물품(90)으로부터 꺼내어진 기판(93)에 대하여 처리를 행한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품(90)은, 개구부(92)가 처리 장치(5) 측을 향하도록 이송탑재 대상 개소(6)에 배치된다.In FIG. 3 , a load port disposed adjacent to the processing device 5 is shown as an example of the transfer target location 6 . The processing apparatus 5 is an apparatus for processing the article 90 , and in the present embodiment, the processing is performed on the substrate 93 taken out from the article 90 . As shown in FIG. 3 , the article 90 is disposed at the transfer target location 6 so that the opening 92 faces the processing apparatus 5 side.

도 2에 간략화하여 모식적으로 나타낸 바와 같이, 승강 장치(50)는, 회전 구동되는 회전체(51)와, 회전체(51)에 권취(卷取) 및 조출(繰出) 가능하게 권회(卷回)된 전동(傳動) 부재(52)를 구비하고 있다. 승강 장치(50)는, 또한 회전체(51)를 회전 구동시키는 전술한 승강 구동부(71)(도 14 참조)를 구비하고 있다. 회전체(51) 및 승강 구동부(71)는, 본체부(10)에 지지되어 있고, 본 실시형태에서는, 커버부(14)의 내부 공간에서의 위쪽(V1)의 부분에 배치되어 있다. 예를 들면, 전동 부재(52)가 벨트이며, 회전체(51)가 벨트를 권취하는 권취 풀리인 구성으로 하거나, 또는 전동 부재(52)가 와이어이며, 회전체(51)가 와이어를 권취하는 권취 드럼인 구성으로 할 수 있다. 전동 부재(52)는 유지부(20)에 연결되어 있다. 구체적으로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 전동 부재(52)에서의 회전체(51)로부터 조출되는 선단측에 형성된 연결부(52a)가, 유지부(20)에 연결되어 있다. 승강 장치(50)는, 회전체(51)를 승강 구동부(71)의 구동에 의해 회전시켜, 전동 부재(52)를 권취 또는 조출함으로써, 유지부(20)를 상승 또는 하강시킨다(즉, 승강시킴). 이와 같이, 승강 장치(50)는, 유지부(20)를 매달아 지지한 상태로, 유지부(20)를 승강시킨다.As schematically illustrated in FIG. 2 , the elevating device 50 includes a rotating body 51 that is rotationally driven, and a rotating body 51 that can be wound and wound so as to be drawn out.回) is provided with a transmission member (52). The raising/lowering device 50 is further provided with the above-mentioned raising/lowering drive part 71 (refer FIG. 14) which rotationally drives the rotating body 51. FIG. The rotating body 51 and the lifting/lowering drive part 71 are supported by the main body part 10, and in this embodiment, it is arrange|positioned at the upper part V1 in the internal space of the cover part 14. As shown in FIG. For example, the transmission member 52 is a belt and the rotating body 51 is a winding pulley that winds the belt, or the transmission member 52 is a wire and the rotating body 51 winds the wire. It can be set as the structure which is a winding drum. The transmission member 52 is connected to the holding part 20 . Specifically, as shown in FIG. 3 , the connecting portion 52a formed on the tip side drawn out from the rotating body 51 in the transmission member 52 is connected to the holding portion 20 . The elevating device 50 rotates the rotating body 51 by driving the elevating driving unit 71 and winding or feeding the transmission member 52 to raise or lower the holding unit 20 (ie, elevating/lowering). Sikkim). In this way, the lifting device 50 raises and lowers the holding unit 20 in a state in which the holding unit 20 is suspended and supported.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 승강 장치(50)는, 복수의 회전체(51)를 구비하고 있고, 복수의 회전체(51)의 각각에 전동 부재(52)가 권회되어 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 예에서는, 승강 장치(50)는, 3개의 회전체(51)를 구비하고 있다. 그리고, 복수의 전동 부재(52)(본 예에서는, 3개의 전동 부재(52))의 각각의 연결부(52a)가, 유지부(20)에 연결되어 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수의 연결부(52a)는 유지부(20)에서의 서로 상이한 부분에 연결되어 있다. 그리고, 도 2 및 도 3에서는, 승강 장치(50)가 복수의 회전체(51)를 구비하고 있는 것을 나타내기 위하여, 복수의 회전체(51)를 각각 별도의 축에 배치하고 있지만, 복수의 회전체(51)는, 동축(同軸)에 나란히 배치되어도 된다. 또한, 도 3에서는, 전동 부재(52)의 연결부(52a)가, 해당 전동 부재(52)가 권회된 회전체(51)의 바로 아래에 배치되어 있지만, 전동 부재(52)에서의 회전체(51)로부터 조출된 부분이, 안내용 회전체(안내용 풀리 등)에 감기고, 전동 부재(52)의 연결부(52a)가, 해당 안내용 회전체의 바로 아래에 배치되는 구성으로 해도 된다.2 and 3 , in the present embodiment, the lifting device 50 includes a plurality of rotating bodies 51 , and a transmission member 52 is provided in each of the plurality of rotating bodies 51 . it is recommended In the example shown in FIGS. 2 and 3 , the lifting device 50 includes three rotating bodies 51 . And each connection part 52a of the some transmission member 52 (in this example, the three transmission member 52) is connected with the holding|maintenance part 20. As shown in FIG. As shown in FIG. 4 , the plurality of connecting portions 52a are connected to different portions of the holding portion 20 . In addition, in FIG. 2 and FIG. 3, in order to show that the lifting device 50 is equipped with the some rotation body 51, although the some rotation body 51 is arrange|positioned on separate shafts, respectively, a plurality of The rotating body 51 may be arranged coaxially and side by side. In addition, in FIG. 3, although the connection part 52a of the transmission member 52 is arrange|positioned just below the rotating body 51 on which the said transmission member 52 was wound, the rotating body in the transmission member 52 ( The portion drawn out from 51 ) is wound around a rotating body for guidance (such as a pulley for guidance), and the connection part 52a of the transmission member 52 is good also as a structure arrange|positioned just below the said rotating body for guidance.

본 실시형태에서는, 물품(90)은, 측면(90b)에 형성된 개구부(92)를 통하여 기판(93)이 출입되는 용기다. 그러므로, 반송차(1)의 주행 시에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(90)의 자세를 개구부(92)가 비스듬하게 위쪽을 향하는 경사 자세(S1)로 함으로써, 물품(90)에 수용된 기판(93)이 개구부(92)로부터 물품(90)의 외부에 이동하기 어렵게 할 수 있다. 한편, 도 3에 나타낸 예와 같이, 이송탑재 대상 개소(6)에 있어서 물품(90)에 대한 기판(93)의 출납이 행해지는 경우에는, 물품(90)의 자세를 개구부(92)가 수평 방향을 향하는 수평 자세(S2)로 함으로써, 개구부(92)를 통한 기판(93)의 물품(90)에 대한 출납을 행하기 쉽게 된다. 즉, 도 3에 나타낸 예에서는, 이송탑재 대상 개소(6)에 있어서 요구되는 물품(90)의 자세가 수평 자세(S2)가 된다. 본 실시형태에서는, 유지부(20)가 이하에 설명하는 각도 조정 기구(40)를 구비하고 있고, 이에 의해, 반송차(1)의 주행 시에는 경사 자세(S1)로 물품(90)을 유지부(20)에 의해 유지하면서, 이송탑재 대상 개소(6)에 배치되는 물품(90)의 자세를 수평 자세(S2)로 하는 것이 가능하게 되고 있다.In the present embodiment, the article 90 is a container through which the substrate 93 enters and exits through the opening 92 formed in the side surface 90b. Therefore, when the transport vehicle 1 is traveling, as shown in FIG. 2 , the posture of the article 90 is set to an inclined posture S1 in which the opening 92 is obliquely upward, so that the article 90 is accommodated. It can make it difficult for the substrate 93 to move from the opening 92 to the outside of the article 90 . On the other hand, as in the example shown in FIG. 3 , when the substrate 93 is put in and out of the article 90 at the transfer target location 6 , the posture of the article 90 is adjusted so that the opening 92 is horizontal. By setting it as the horizontal posture S2 facing the direction, it becomes easy to put the substrate 93 into and out of the article 90 through the opening 92 . That is, in the example shown in FIG. 3 , the posture of the article 90 required at the transfer target location 6 is the horizontal posture S2 . In the present embodiment, the holding unit 20 is provided with an angle adjusting mechanism 40 described below, whereby the article 90 is held in the inclined posture S1 when the transport vehicle 1 is traveling. It has become possible to set the posture of the article 90 disposed at the transfer target location 6 to the horizontal posture S2 while being held by the portion 20 .

도 2∼도 5에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)는, 승강 장치(50)에 연결된 제1 부분(21)과, 제1 부분(21)을 통하여 승강 장치(50)에 연결되고 또한 물품(90)에 접촉하는 제2 부분(22)과, 각도 조정 기구(40)를 구비하고 있다. 유지부(20)는, 또한 각도 조정 기구(40)를 구동하는 요동 구동부(73)(예를 들면, 전동 모터나 솔레노이드, 도 14 참조)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 요동 구동부(73)가 「구동부」에 상당한다.2 to 5 , the holding unit 20 includes a first part 21 connected to the lifting device 50 , and an article connected to the lifting device 50 via the first part 21 . A second portion 22 in contact with 90 and an angle adjustment mechanism 40 are provided. The holding part 20 is further equipped with the rocking|fluctuation drive part 73 (for example, an electric motor and a solenoid, refer FIG. 14) which drives the angle adjustment mechanism 40. As shown in FIG. In this embodiment, the rocking|fluctuation drive part 73 corresponds to a "drive part".

본 실시형태에서는, 제1 부분(21)은 전동 부재(52)에 연결되어 있다. 제1 부분(21)은, 복수의 전동 부재(52)의 각각에(구체적으로는, 복수의 전동 부재(52)의 각각의 연결부(52a)에) 연결되어 있다. 그러므로, 제1 부분(21)의 자세는, 복수의 연결부(52a)(여기서는, 3개의 연결부(52a)) 사이의 고저차(高低差)에 따라 정해진다. 본 실시형태에서는, 복수의 회전체(51)를 회전 구동시키는 공통의 승강 구동부(71)가 형성되어 있고, 제1 부분(21)은, 자세가 특정한 자세(여기서는, 모든 연결부(52a)가 같은 높이에 배치되는 자세)가 유지되도록 승강 장치(50)에 의해 승강된다. 그러므로, 도 3에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)가 제1 위치(P1)에 위치하는 상태, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 위치하는 상태, 및 유지부(20)가 제1 위치(P1)과 제2 위치(P2) 사이의 제3 위치(P3)에 위치하는 상태 중 어느 상태에 있어서도, 제1 부분(21)은 상기 특정한 자세로 배치된다.In the present embodiment, the first portion 21 is connected to the transmission member 52 . The first part 21 is connected to each of the plurality of transmission members 52 (specifically, to each connection portion 52a of the plurality of transmission members 52 ). Therefore, the posture of the first portion 21 is determined according to the difference in elevation between the plurality of connecting portions 52a (here, the three connecting portions 52a). In the present embodiment, a common lifting/lowering drive unit 71 for rotationally driving the plurality of rotating bodies 51 is formed, and the first portion 21 has a specific posture (here, all the connecting portions 52a are the same). It is raised and lowered by the elevating device 50 so that the posture arranged at the height) is maintained. Therefore, as shown in FIG. 3 , the state in which the holding part 20 is positioned at the first position P1, the state in which the holding part 20 is positioned at the second position P2, and the holding part 20 are In any of the states located at the third position P3 between the first position P1 and the second position P2, the first part 21 is disposed in the specific posture.

제2 부분(22)은, 유지부(20)에서의 물품(90)에 접촉하는 부분이다. 그러므로, 유지부(20)에 유지되고 있는 물품(90)의 자세는, 제2 부분(22)의 자세에 따라 정해진다. 제2 부분(22)은 지지부(23)(본 실시형태에서는, 한 쌍의 지지부(23))를 구비하고 있고, 제2 부분(22)를 구성하는 지지부(23)가, 물품(90)(구체적으로는, 피유지부(91))에 접촉한다.The second portion 22 is a portion in the holding portion 20 that comes into contact with the article 90 . Therefore, the posture of the article 90 held by the holding unit 20 is determined according to the posture of the second part 22 . The second portion 22 includes a support portion 23 (a pair of support portions 23 in the present embodiment), and the support portion 23 constituting the second portion 22 includes an article 90 ( Specifically, it contacts the to-be-held part 91).

각도 조정 기구(40)는, 제1 부분(21)과 제2 부분(22) 사이에 설치되고, 제1 부분(21)에 대한 제2 부분(22)의 경사 각도 A(도 2, 도 5 참조)를 변경한다. 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 각도 조정 기구(40)는, 수평 방향을 따르는 축심(R) 주위에 제2 부분(22)를 요동시킴으로써(제1 부분(21)에 대하여 요동시키는) 경사 각도 A를 변경한다. 여기서는, 유지부(20)(구체적으로는, 제2 부분(22))에 유지되고 있는 물품(90)이 수평 자세(S2)로 배치되는 경우를 0도 로 하도록, 경사 각도 A를 정의한다. 도 4는, 경사 각도 A가 0도인 상태의 유지부(20)를 나타내고 있다. 또한, 유지부(20)에 유지되고 있는 물품(90)이, 개구부(92)가 비스듬하게 위쪽을 향하는 경사 자세(S1)로 배치되는 경우(도 2 참조)에 플러스의 예각으로 되도록, 경사 각도 A를 정의한다. 여기서는, 개구부(92)를 통한 수용물(본 실시형태에서는, 기판(93))의 출입이 행해질 때의 수용물의 이동 방향을 따라, 물품(90)의 외부에 향하는 방향을, 개구부(92)의 방향으로 하고 있고, 본 실시형태에서는, 물품(90)의 바닥면(90c)이 수평면을 따르는 자세가, 개구부(92)가 수평 방향을 향하는 수평 자세(S2)가다.The angle adjustment mechanism 40 is provided between the first part 21 and the second part 22 , and the inclination angle A of the second part 22 with respect to the first part 21 ( FIGS. 2 and 5 ). see) change. 4 and 5 , in the present embodiment, the angle adjustment mechanism 40 swings the second part 22 around the axis R along the horizontal direction (to the first part 21 ). change the inclination angle A). Here, the inclination angle A is defined so that the case where the article 90 held by the holding part 20 (specifically, the second part 22) is arranged in the horizontal posture S2 is 0 degrees. 4 : has shown the holding part 20 in the state where the inclination angle A is 0 degree|times. Further, the inclination angle is such that the article 90 held by the holding unit 20 becomes a positive acute angle when the opening 92 is disposed in the obliquely upward inclined posture S1 (see FIG. 2 ). define A. Here, the direction toward the outside of the article 90 is the direction of the opening 92 along the moving direction of the stored object when the stored object (in this embodiment, the substrate 93 in this embodiment) enters and exits through the opening 92 . direction, and in the present embodiment, the posture in which the bottom surface 90c of the article 90 follows the horizontal plane is the horizontal posture S2 in which the opening 92 faces the horizontal direction.

본 실시형태에서는, 축심(R)은, 차체 전후 방향(X)를 따르도록 배치되어 있고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 부분(22)이 제1 부분(21)에 대하여 경사져 있는 경우(구체적으로는, 경사 각도 A가 플러스의 예각인 경우)에는, 제2 부분(22)은, 차체 좌우 방향(Y)의 한쪽 측이 다른 쪽 측보다 높게 된다. 그러므로, 본 실시형태에서는, 물품(90)은, 개구부(92)가 평면에서 볼 때(연직 방향(V)에 따른 방향에 볼 때) 차체 좌우 방향(Y)의 해당 한쪽 측을 향하는 방향에서, 유지부(20)에 유지된다.In the present embodiment, the shaft center R is disposed along the vehicle body front-rear direction X, and as shown in FIG. 5 , when the second part 22 is inclined with respect to the first part 21 ( Specifically, when the inclination angle A is a positive acute angle), one side of the second portion 22 in the vehicle body left-right direction Y is higher than the other side. Therefore, in the present embodiment, the article 90 has the opening 92 in a direction toward the corresponding one side of the vehicle body left-right direction Y when viewed in plan (viewed in the direction along the vertical direction V), It is held by the holding part 20 .

도 4 및 도 5에 일례를 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 각도 조정 기구(40)는, 제2 부분(22)에 고정된 요동 부재(41)와, 제1 부분(21)에 고정된 지지 부재(42)를 구비하고 있고, 지지 부재(42)는, 요동 부재(41)를 축심(R) 주위에 회전 가능하게 지지하고 있다. 그리고, 요동 구동부(73)는, 요동 부재(41)를 축심(R) 주위에 요동시키도록 구성되어 있다. 요동 부재(41)는 제2 부분(22)에 고정되어 있으므로, 이와 같이 요동 부재(41)를 축심(R) 주위에 요동시킴으로써, 제2 부분(22)를 축심(R) 주위에 요동시켜, 경사 각도 A를 변경할 수 있다. 그리고, 요동 구동부(73)는 제1 부분(21)에 고정되어 있다.As an example is shown in FIGS. 4 and 5 , in the present embodiment, the angle adjustment mechanism 40 includes a swinging member 41 fixed to the second part 22 and a swinging member 41 fixed to the first part 21 . The support member 42 is provided, and the support member 42 is rotatably supporting the rocking|fluctuation member 41 around the axial center R. And the rocking|fluctuation drive part 73 is comprised so that the rocking|fluctuation member 41 may rock|fluctuate around the axial center R. Since the swinging member 41 is fixed to the second part 22, by swinging the swinging member 41 around the axis R in this way, the second part 22 is swinging around the shaft center R, The inclination angle A can be changed. And the rocking|fluctuation drive part 73 is being fixed to the 1st part 21. As shown in FIG.

도 4 및 도 5에 나타낸 예에서는, 요동 부재(41)는, 축심(R) 상에 배치되는 축 부재이며, 고정 부재(43)를 통하여 제2 부분(22)에 고정되어 있다. 본 예에서는, 축심(R)을 따른 방향(여기서는, 차체 전후 방향(X))의 2개소에서, 요동 부재(41)가 고정 부재(43)를 통하여 제2 부분(22)(구체적으로는, 제2 부분(22)이 구비하는 본체부)에 고정되어 있다. 한 쌍의 지지부(23)는, 안내 기구(46)에 의하여, 서로 접근 및 이격되는 방향(여기서는, 축심(R)을 따른 방향)의 이동이 안내된다. 본 예에서는, 안내 기구(46)는, 축심(R)을 따르는 방향으로 연장되는 안내 레일과, 안내 레일에 걸어맞추어지는 안내 블록을 구비한 직동(直動) 기구이며, 안내 레일이 제2 부분(22)의 상기 본체부에 고정되고, 안내 블록이 한 쌍의 지지부(23)의 각각에 고정되어 있다.In the example shown in FIG. 4 and FIG. 5, the rocking|fluctuation member 41 is a shaft member arrange|positioned on the shaft center R, and is being fixed to the 2nd part 22 via the fixing member 43. As shown in FIG. In this example, in two places in the direction along the axis R (here, in the vehicle body front-rear direction X), the swing member 41 passes through the fixing member 43 to the second part 22 (specifically, It is fixed to the main body part with which the 2nd part 22 is provided. The pair of support parts 23 are guided by the guide mechanism 46 to move in a direction approaching and spaced apart from each other (here, in a direction along the axis R). In this example, the guide mechanism 46 is a linear mechanism provided with a guide rail extending in a direction along the axis R, and a guide block engaged with the guide rail, and the guide rail is a second part A guide block is fixed to each of the pair of support portions 23 and is fixed to the main body portion of 22 .

한 쌍의 지지부(23)를 구동하는 유지 구동부(72)는, 제2 부분(22)의 상기 본체부에 고정되어 있다. 본 예에서는, 유지 구동부(72)는, 운동 변환 기구(45)를 통하여 한 쌍의 지지부(23)를 구동한다. 여기서는, 운동 변환 기구(45)는, 볼 나사 기구이며, 유지 구동부(72)로서의 전동 모터에 의해 회전 구동되는 회전축의 회전 운동이, 한 쌍의 지지부(23)의 각각의 직선 운동으로 변환된다. 그리고, 한 쌍의 지지부(23)가, 축심(R)을 따른 방향으로 서로 접근 및 이격되는 구성이 아니라, 한 쌍의 지지부(23)가, 평면에서 볼 때 축심(R)에 직교하는 방향(본 예에서는, 차체 좌우 방향(Y))으로 서로 접근 및 이격되는 구성으로 해도 된다.The holding drive part 72 which drives the pair of support parts 23 is fixed to the said main body part of the 2nd part 22. As shown in FIG. In this example, the holding drive part 72 drives the pair of support parts 23 via the motion conversion mechanism 45 . Here, the motion conversion mechanism 45 is a ball screw mechanism, and the rotational motion of the rotating shaft rotationally driven by the electric motor as the holding|maintenance drive part 72 is converted into linear motion of each of the pair of support parts 23 . In addition, the pair of support parts 23 are not configured to approach and spaced apart from each other in a direction along the axis R, but in a direction perpendicular to the axis R when viewed in a plan view. In this example, it is good also as a structure which approaches and separates from each other in the vehicle body left-right direction (Y).

도 4 및 도 5에 나타낸 예에서는, 요동 부재(41)는, 축심(R)을 따른 방향의 2개소에서, 축심(R) 주위에 회전 가능하게 지지 부재(42)에 지지되고 있다. 구체적으로는, 한 쌍의 고정 부재(43)에 대하여 축심(R)을 따른 방향의 양측의 각각에 지지 부재(42)가 설치되어 있고, 지지 부재(42)의 각각은, 요동 부재(41)를 제1 부분(21)에 대하여 회전 가능하게 지지하고 있다. 그리고, 본 예에서는, 제1 부분(21)에 고정되어 있는 요동 구동부(73)가, 기어 기구(44)(예를 들면, 감속 기구)를 통하여 요동 부재(41)에 연결되어 있고, 요동 구동부(73)로서의 전동 모터의 회전이 기어 기구(44)를 통하여 요동 부재(41)에 전달되어, 요동 부재(41)가 요동된다. 그리고, 도 4 및 도 5에서의 각 부의 치수나 형상은 개념적인 것이며, 실제의 치수나 형상은 이것에 한정되지 않는다.In the example shown in FIG. 4 and FIG. 5, the rocking|fluctuation member 41 is supported by the support member 42 rotatably around the axis R at two places in the direction along the axis R. Specifically, a support member 42 is provided on each of both sides in the direction along the axis R with respect to the pair of fixing members 43 , and each of the support members 42 is a rocking member 41 . is rotatably supported with respect to the first part 21 . And in this example, the rocking|fluctuation drive part 73 fixed to the 1st part 21 is connected to the rocking|fluctuation member 41 via the gear mechanism 44 (for example, a reduction mechanism), and a rocking|fluctuation drive part Rotation of the electric motor as (73) is transmitted to the swinging member 41 via the gear mechanism 44, and the swinging member 41 swings. In addition, the dimension and shape of each part in FIGS. 4 and 5 are conceptual, and an actual dimension and shape are not limited to this.

도 14에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 반송차(1)의 동작을 제어하는 제어부(80)를 구비하고 있다. 제어부(80)는, CPU 등의 연산 처리 장치를 구비하고 또한 메모리 등의 주변회로를 구비하고, 이들 하드웨어와, 연산 처리 장치 등의 하드웨어상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의하여, 제어부(80)의 각 기능이 실현된다. 제어부(80)는, 반송차(1)에 설치되어도 되고, 반송차(1)과는 독립적으로 설치되어도 된다. 또한, 제어부(80)가 서로 통신 가능하게 분리된 복수의 하드웨어를 구비하는 경우, 일부의 하드웨어가 반송차(1)에 설치되고, 나머지의 하드웨어가 반송차(1)와는 독립적으로 설치되어도 된다.14 , the article transport facility 100 includes a control unit 80 that controls the operation of the transport vehicle 1 . The control unit 80 includes an arithmetic processing device such as a CPU and peripheral circuits such as a memory. Each function is realized. The control unit 80 may be installed in the transport vehicle 1 , or may be installed independently of the transport vehicle 1 . In addition, when the control unit 80 includes a plurality of hardware separated communicatively from each other, some hardware may be installed in the transport vehicle 1 , and the remaining hardware may be installed independently of the transport vehicle 1 .

제어부(80)는, 주행 구동부(70)의 구동을 제어함으로써, 이동 경로(2)를 따라 이동하는 이동 동작을 본체부(10)에 행하게 한다. 구체적으로는, 제어부(80)는, 주행 구동부(70)의 구동을 제어함으로써, 레일(3)을 따라 주행하는 주행 동작을 주행부(11)에 행하게 한다. 본 실시형태에서는, 주행부(11)의 주행 동작에 의해 본체부(10)의 이동 동작이 실현된다. 제어부(80)는, 유지부(20)가 유지하고 있는 물품(90)을 이송탑재 대상 개소(6)에 반송하는 경우에, 유지부(20)가 물품(90)을 유지한 상태로 주행부(11)에 주행 동작을 행하게 한다. 또한, 제어부(80)는, 승강 구동부(71)의 구동을 제어함으로써, 유지부(20)를 승강시키는 승강 동작을 승강 장치(50)에 행하게 한다. 또한, 제어부(80)는, 유지 구동부(72)의 구동을 제어함으로써, 물품(90)을 유지하는 유지 동작이나 물품(90)의 유지를 해제하는 유지 해제 동작을 유지부(20)에 행하게 한다. 본 실시형태에서는, 물품(90)의 유지 동작은, 한 쌍의 지지부(23)를 서로 접근시키는 동작(바꿔 말하면, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를 유지 자세로 전환하는 동작)이며, 물품(90)의 유지 해제 동작은, 한 쌍의 지지부(23)를 서로 이격시키는 동작(바꿔 말하면, 한 쌍의 지지부(23)의 자세를 유지 해제 자세로 전환하는 동작)이다. 또한, 제어부(80)는, 요동 구동부(73)의 구동을 제어함으로써, 제1 부분(21)에 대한 제2 부분(22)의 경사 각도 A를 변경하는 경사 각도 변경 동작을 유지부(20)에 행하게 한다.The control unit 80 causes the body unit 10 to perform a movement operation along the movement path 2 by controlling the driving of the travel driving unit 70 . Specifically, the control unit 80 causes the traveling unit 11 to perform a traveling operation traveling along the rail 3 by controlling the driving of the traveling driving unit 70 . In the present embodiment, the movement operation of the main body portion 10 is realized by the travel operation of the travel unit 11 . When conveying the article 90 held by the holding unit 20 to the transfer-mounted location 6 , the control unit 80 is configured to maintain the moving unit in a state where the holding unit 20 holds the article 90 . Let (11) perform a running operation. Moreover, the control part 80 causes the raising/lowering device 50 to perform the raising/lowering operation|movement which raises/lowers the holding|maintenance part 20 by controlling the drive of the raising/lowering drive part 71. In addition, the control unit 80 controls the driving of the holding drive unit 72 to cause the holding unit 20 to perform a holding operation for holding the article 90 or a holding release operation for releasing the holding of the article 90 . . In the present embodiment, the holding operation of the article 90 is an operation of bringing the pair of support parts 23 closer to each other (in other words, an operation of changing the posture of the pair of support parts 23 to the holding posture), and the article The holding and releasing operation at (90) is an operation for separating the pair of support parts 23 from each other (in other words, an operation for switching the posture of the pair of support parts 23 to the holding release posture). In addition, the control unit 80 controls the driving of the swing driving unit 73 to perform an inclination angle changing operation of changing the inclination angle A of the second portion 22 with respect to the first portion 21 by the holding unit 20 . to do on

이송탑재 대상 개소(6)로부터 유지부(20)에 물품(90)을 이송탑재하는 경우(즉, 이송탑재 대상 개소(6)로부터 물품(90)을 반출하는 경우), 제어부(80)는, 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 위치(여기서는, 이송탑재 대상 개소(6)보다 위쪽(V1)이며, 평면에서 볼 때 이송탑재 대상 개소(6)와 중복되는 위치)까지 반송차(1)를 주행시키는 주행 동작을 주행부(11)에 행하게 한 후, 물품(90)을 유지하고 있지 않은 유지부(20)를 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)까지 하강시키는 승강 동작을, 승강 장치(50)에 행하게 한다(도 6 참조). 본 실시형태에서는, 요동 구동부(73)는, 물품(90)을 유지하고 있지 않은 유지부(20)가 제2 위치(P2)를 향하여 하강하고 있는 동안, 경사 각도 A를 후술하는 제2 각도로 한다. 구체적으로는, 물품(90)을 유지하고 있지 않은 유지부(20)는, 경사 각도 A가 제2 각도로 된 상태로 제1 위치(P1)에 배치되어 있고, 유지부(20)가 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)까지 하강하고 있는 동안, 경사 각도 A가 제2 각도로 유지된다. 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 도달하면, 제어부(80)는, 물품(90)의 유지 동작을 유지부(20)에 행하게 하고, 그 후, 유지부(20)를 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)까지 상승시키는 승강 동작을 승강 장치(50)에 행하게 한다(도 7, 도 8 참조). 이로써, 물품(90)을 유지하고 있는 유지부(20)가 제1 위치(P1)까지 상승한다.When the article 90 is transferred from the transfer target point 6 to the holding unit 20 (that is, when the article 90 is unloaded from the transfer mount target location 6), the control unit 80, Transport vehicle 1 to a position corresponding to the transfer target point 6 (here, it is above (V1) above the transfer target point 6 and overlaps with the transfer mount target point 6 in plan view) After causing the traveling unit 11 to perform a traveling operation for moving , to the lifting device 50 (refer to Fig. 6). In the present embodiment, the swing driving unit 73 sets the inclination angle A to a second angle described later while the holding unit 20 that does not hold the article 90 is descending toward the second position P2. do. Specifically, the holding unit 20 that does not hold the article 90 is disposed at the first position P1 with the inclination angle A being the second angle, and the holding unit 20 is positioned at the first While descending from the position P1 to the second position P2, the inclination angle A is maintained at the second angle. When the holding unit 20 reaches the second position P2 , the control unit 80 causes the holding unit 20 to perform a holding operation of the article 90 , and then moves the holding unit 20 to the second position P2 . The lifting device 50 is made to perform a lifting operation of raising it from the position P2 to the first position P1 (refer to Figs. 7 and 8). Thereby, the holding part 20 holding the article 90 rises to the first position P1.

한편, 유지부(20)로부터 이송탑재 대상 개소(6)에 물품(90)을 이송탑재하는 경우(즉, 이송탑재 대상 개소(6)에 물품(90)을 반입하는 경우), 제어부(80)는, 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 위치까지 반송차(1)를 주행시키는 주행 동작을 주행부(11)에 행하게 한 후, 물품(90)을 유지하고 있는 유지부(20)를 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)까지 하강시키는 승강 동작을, 승강 장치(50)에 행하게 한다(도 9∼도 11 참조). 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 도달하면, 제어부(80)는, 물품(90)의 유지 해제 동작을 유지부(20)에 행하게 하고, 그 후, 유지부(20)를 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)까지 상승시키는 승강 동작을 승강 장치(50)에 행하게 한다(도 11 참조). 이로써, 물품(90)을 이송탑재 대상 개소(6)에 남긴 상태에서, 물품(90)을 유지하고 있지 않은 유지부(20)가 제1 위치(P1)까지 상승한다. 본 실시형태에서는, 요동 구동부(73)는, 물품(90)을 유지하고 있지 않은 유지부(20)가 제2 위치(P2)로부터 상승하고 있는 동안, 경사 각도 A를 제2 각도로 한다.On the other hand, when the article 90 is transferred from the holding unit 20 to the transfer target location 6 (that is, when the article 90 is brought into the transfer mount target location 6), the control unit 80 makes the traveling unit 11 perform a traveling operation of driving the conveyance vehicle 1 to a position corresponding to the transfer target location 6, and then removes the holding unit 20 holding the article 90 The raising/lowering operation of descending from the 1st position P1 to the 2nd position P2 is made to perform the raising/lowering device 50 (refer FIGS. 9-11). When the holding unit 20 reaches the second position P2 , the control unit 80 causes the holding unit 20 to perform a holding release operation of the article 90 , and then removes the holding unit 20 . It is made to perform the raising/lowering operation|movement which raises it from the 2nd position P2 to the 1st position P1 (refer FIG. 11). As a result, in the state where the article 90 is left at the transfer target location 6 , the holding part 20 that does not hold the article 90 rises to the first position P1 . In the present embodiment, the swing driving unit 73 sets the inclination angle A as the second angle while the holding unit 20 that does not hold the article 90 is rising from the second position P2 .

본 실시형태에서는, 요동 구동부(73)가, 유지부(20)가 물품(90)을 유지하고 있는 경우에, 경사 각도 조정 제어를 실행하도록 구성되어 있다. 요동 구동부(73)는, 제어부(80)에 의한 제어를 받아, 경사 각도 조정 제어를 실행한다. 연직 방향(V)에서의 제2 위치(P2)를 포함하는 영역을 규정 영역 ΔV2로 하여(도 6, 도 11 참조), 경사 각도 조정 제어는, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 외부에 배치되어 있는 상태에서는, 경사 각도 A를 제1 각도로 하고, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 배치되어 있는 상태에서는, 경사 각도 A를 제2 각도로 하는 제어이다. 여기서, 제1 각도는, 물품(90)(유지부(20)에 유지되고 있는 물품(90), 이하 동일)의 자세가 경사 자세(S1)(개구부(92)가 비스듬하게 위쪽을 향하는 물품(90)의 자세)가 되는 각도이며, 예를 들면, 5도로 된다. 또한, 제2 각도는, 물품(90)의 자세가 수평 자세(S2)(개구부(92)가 수평 방향을 향하는 물품(90)의 자세)가 되는 각도이며, 본 실시형태에서는 0도이다. 그리고, 도 6∼도 13에서는, 연직 방향(V)에서의 규정 영역 ΔV2의 외부의 영역을 외부 영역 ΔV1로 하고 있다.In the present embodiment, the swing driving unit 73 is configured to execute the inclination angle adjustment control when the holding unit 20 holds the article 90 . The rocking|fluctuation drive part 73 receives control by the control part 80, and performs inclination angle adjustment control. The region including the second position P2 in the vertical direction V is set as the specified region ΔV2 (see FIGS. 6 and 11 ), and in the inclination angle adjustment control, the holding unit 20 is positioned outside the specified region ΔV2. It is control which makes the inclination angle A a 1st angle in the arrange|positioned state, and makes the inclination angle A a 2nd angle in the state where the holding|maintenance part 20 is arrange|positioned at the 2nd position P2. Here, the first angle is an article in which the posture of the article 90 (the article 90 held by the holding unit 20, the same hereinafter) is an inclined posture S1 (the opening 92 is obliquely upward) 90)), for example, 5 degrees. The second angle is an angle at which the posture of the article 90 becomes the horizontal posture S2 (the posture of the article 90 in which the opening 92 faces the horizontal direction), and is 0 degrees in the present embodiment. Incidentally, in Figs. 6 to 13, the region outside the specified region ΔV2 in the vertical direction V is the external region ΔV1.

규정 영역 ΔV2는 제1 위치(P1)을 포함하지 않도록 설정된다. 즉, 제1 위치(P1)는, 규정 영역 ΔV2의 상한보다 위쪽(V1)에 배치되고, 외부 영역 ΔV1에 포함된다. 그러므로, 요동 구동부(73)가 경사 각도 조정 제어를 실행함으로써, 유지부(20)가 제1 위치(P1)에 배치되는 반송차(1)의 주행 시나, 유지부(20)가 외부 영역 ΔV1에 배치되어 있는 상태에서의 유지부(20)의 승강 시에는, 물품(90)의 자세를, 물품(90)에 수용된 수용물(본 실시형태에서는, 기판(93))이 개구부(92)로부터 물품(90)의 외부에 이동하기 어려운 경사 자세(S1)로 할 수 있다. 또한, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 배치되는 물품(90)의 이송탑재 시에는, 물품(90)의 자세를, 이송탑재 대상 개소(6)에 있어서 요구되는 수평 자세(S2)로 할 수 있다.The prescribed area ?V2 is set not to include the first position P1. That is, the first position P1 is disposed above the upper limit of the prescribed region ΔV2 ( V1 ) and is included in the outer region ΔV1 . Therefore, when the swing drive unit 73 executes the inclination angle adjustment control, when the carrier vehicle 1 is traveling in which the holding unit 20 is disposed at the first position P1, or when the holding unit 20 is in the external region ΔV1 When the holding part 20 is raised and lowered in the arranged state, the posture of the article 90 is changed, and the storage object (in this embodiment, the substrate 93 in this embodiment) accommodated in the article 90 moves from the opening 92 to the article. It can be set as the inclination attitude|position S1 which is hard to move to the outside of (90). In addition, at the time of transfer and mounting of the article 90 in which the holding unit 20 is disposed at the second position P2 , the posture of the article 90 is set to the horizontal posture S2 required at the transfer target location 6 . ) can be done with

유지부(20)가 물품(90)을 유지하고 있는 경우에 요동 구동부(73)가 경사 각도 조정 제어를 실행하므로, 이송탑재 대상 개소(6)로부터 유지부(20)에 물품(90)을 이송탑재하는 경우에는, 물품(90)의 유지 동작 후의, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 배치되어 있는 상태에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 경사 각도 A가 제2 각도로 됨으로써, 물품(90)의 자세가 수평 자세(S2)로 된다. 그 후, 유지부(20)를 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)까지 상승시키는 승강 동작이 개시되면, 유지부(20)가 외부 영역 ΔV1에 진입할 때까지의 사이에, 경사 각도 A를 제2 각도로부터 제1 각도로 변경하는 경사 각도 변경 동작이 행해진다. 이로써, 유지부(20)가 외부 영역 ΔV1에 있어서 상승하고 있는 동안, 도 8에 나타낸 바와 같이, 경사 각도 A가 제1 각도로 됨으로써, 물품(90)의 자세가 경사 자세(S1)로 된다.When the holding unit 20 holds the article 90 , the swing driving unit 73 executes the inclination angle adjustment control, so that the article 90 is transferred from the transfer target location 6 to the holding unit 20 . In the case of mounting, after the holding operation of the article 90, in the state in which the holding part 20 is disposed at the second position P2, as shown in FIG. 6 , the inclination angle A becomes the second angle, The posture of the article 90 becomes the horizontal posture S2. After that, when the lifting operation for raising the holding unit 20 from the second position P2 to the first position P1 is started, the holding unit 20 is inclined until it enters the outer region ΔV1. An inclination angle changing operation of changing the angle A from the second angle to the first angle is performed. As a result, while the holding unit 20 is rising in the outer region ΔV1 , as shown in FIG. 8 , the inclination angle A becomes the first angle, so that the posture of the article 90 becomes the inclination posture S1 .

도 7 및 도 8에서는, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 상한(규정 영역 ΔV2보다 위쪽(V1)의 외부 영역 ΔV1과 규정 영역 ΔV2과의 경계)에 도달하는 데 맞추어 경사 각도 변경 동작이 행해져, 물품(90)의 자세가 도 7에 나타낸 수평 자세(S2)로부터 도 8에 있어서 2점 쇄선으로 나타낸 경사 자세(S1)로 변경되는 경우를 예시하고 있다. 이 경우, 규정 영역 ΔV2의 상한에 있어서 유지부(20)의 상승 속도를 그 이전의 속도로부터 제로 혹은 제로보다 큰 값까지 저하시키는 구성으로 해도 된다. 유지부(20)를 상승시키면서 자세 변경 동작을 행하는 경우에는, 예를 들면, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 상한에 도달하기 전에 경사 각도 변경 동작이 개시되고, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 상한에 도달한 시점에서 경사 각도 변경 동작이 종료하도록, 경사 각도 변경 동작이 행해진다. 물품(90)이 경사 자세(S1)로 승강되는 승강 범위를 될 수 있는 한 크게 확보하기 위하여, 규정 영역 ΔV2의 상한은, 경사 각도 변경 동작에 따른 물품(90)의 자세 변화에 의해 물품(90)이 이송탑재 대상 개소(6)에 접촉하지 않는 범위에서, 될 수 있는 한 제2 위치(P2)에 가까운 위치에 설정하면 바람직하다.7 and 8, the inclination angle changing operation is performed in accordance with the holding unit 20 reaching the upper limit of the specified area ΔV2 (the boundary between the specified area ΔV1 and the specified area ΔV2 outside the specified area ΔV2 above (V1)). , the case where the posture of the article 90 is changed from the horizontal posture S2 shown in FIG. 7 to the inclined posture S1 shown by the dashed-dotted line in FIG. 8 is exemplified. In this case, it is good also as a structure which reduces the raising speed of the holding|maintenance part 20 to zero or a value larger than zero in the upper limit of the prescribed|regulated area (DELTA)V2 from the previous speed|rate. When the posture change operation is performed while the holding unit 20 is raised, for example, the inclination angle changing operation is started before the holding unit 20 reaches the upper limit of the prescribed area ΔV2, and the holding unit 20 is prescribed The inclination angle changing operation is performed so that the inclination angle changing operation ends when the upper limit of the region ΔV2 is reached. In order to secure the lifting range in which the article 90 is raised and lowered in the inclination posture S1 as large as possible, the upper limit of the prescribed area ΔV2 is set at ) is preferably set at a position as close to the second position P2 as possible in a range that does not contact the transfer-mounted point 6 .

또한, 유지부(20)로부터 이송탑재 대상 개소(6)에 물품(90)을 이송탑재하는 경우에는, 유지부(20)를 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)까지 하강시키는 승강 동작이 개시되면, 유지부(20)가 외부 영역 ΔV1에 있어서 하강하고 있는 동안, 도 9에 나타낸 바와 같이, 경사 각도 A가 제1 각도로 됨으로써, 물품(90)의 자세가 경사 자세(S1)로 된다. 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2에 진입하면, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 도달할 때까지의 사이에, 경사 각도 A를 제1 각도로부터 제2 각도로 변경하는 경사 각도 변경 동작이 행해진다. 이로써, 도 11에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)의 자세가 경사 자세(S1)로부터 수평 자세(S2)로 변경된 후, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 도달한다.In addition, when the article 90 is transferred from the holding unit 20 to the transfer target location 6 , the holding unit 20 is lowered from the first position P1 to the second position P2 . When the operation is started, while the holding unit 20 is descending in the outer region ΔV1, as shown in FIG. 9 , the inclination angle A becomes the first angle, so that the posture of the article 90 is changed to the inclination posture S1 . becomes When the holding unit 20 enters the prescribed area ΔV2, the inclination angle at which the holding unit 20 reaches the second position P2, the inclination angle A is changed from the first angle to the second angle A change operation is performed. As a result, as shown in FIG. 11 , after the posture of the holding unit 20 is changed from the inclined posture S1 to the horizontal posture S2 , the holding unit 20 reaches the second position P2 .

도 9 및 도 10에서는, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 상한에 도달하는 데 맞추어 경사 각도 변경 동작이 행해져, 물품(90)의 자세가 도 9에 있어서 실선으로 나타낸 경사 자세(S1)로부터 도 10에 나타낸 수평 자세(S2)로 변경되는 경우를 예시하고 있다. 이 경우, 규정 영역 ΔV2의 상한에 있어서 유지부(20)의 하강 속도를 그 이전의 속도로부터 제로 혹은 제로보다 큰 값까지 저하시키는 구성으로 해도 된다. 유지부(20)를 하강시키면서 자세 변경 동작을 행하는 경우에는, 예를 들면, 유지부(20)가 규정 영역 ΔV2의 상한에 도달한 시점에서 경사 각도 변경 동작이 개시되고, 유지부(20)가 제2 위치(P2)에 도달하기 전에 경사 각도 변경 동작이 종료하도록, 경사 각도 변경 동작이 행해진다.9 and 10 , the inclination angle changing operation is performed as the holding unit 20 reaches the upper limit of the prescribed region ΔV2, and the posture of the article 90 is changed from the inclination posture S1 indicated by the solid line in FIG. 9 . The case of changing to the horizontal attitude|position S2 shown in FIG. 10 is exemplified. In this case, it is good also as a structure which reduces the descending speed of the holding|maintenance part 20 from the previous speed to zero or a value larger than zero in the upper limit of the prescribed|regulated area (DELTA)V2. When the posture change operation is performed while the holding unit 20 is lowered, for example, when the holding unit 20 reaches the upper limit of the prescribed area ΔV2, the inclination angle changing operation is started, and the holding unit 20 is The inclination angle changing operation is performed so that the inclination angle changing operation ends before reaching the second position P2.

그런데, 도 12 및 도 13에 일례를 나타낸 바와 같이, 이송탑재 대상 개소(6)이 복수의 높이로 나뉘어 배치되는 경우가 있다. 이 경우, 이송탑재 대상 개소(6)가 배치되는 복수의 높이의 각각에 따라 제2 위치(P2)가 설정되므로, 제2 위치(P2)는, 제1 위치(P1)보다 아래쪽(V2)의 복수의 위치를 포함한다. 도 12 및 도 13에 나타낸 예에서는, 제2 위치(P2)는, 실선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)와, 2점 쇄선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)(도 12 및 도 13에서는 도시를 생략)을 포함한다.By the way, as an example is shown in FIG.12 and FIG.13, the transfer mounting target location 6 may be divided and arrange|positioned by several height. In this case, since the second position P2 is set according to each of a plurality of heights at which the transfer target point 6 is arranged, the second position P2 is lower than the first position P1 (V2). It contains multiple locations. In the examples shown in FIGS. 12 and 13 , the second position P2 is a second position P2 corresponding to the transfer target point 6 indicated by a solid line, and a transfer object location 6 indicated by a dashed-dotted line. ) corresponding to a second position P2 (not shown in FIGS. 12 and 13 ).

이와 같이 제2 위치(P2)가 복수의 위치를 포함하는 경우, 복수의 제2 위치(P2) 중, 유지부(20)의 승강 동작의 시점 또는 종점이 되는 제2 위치(P2)를 대상 제2 위치(P2a)로 하여(도 13 참조), 본 실시형태에서는, 요동 구동부(73)가, 대상 제2 위치(P2a)를 포함하는 영역을 규정 영역 ΔV2에 설정하여 경사 각도 조정 제어를 실행하도록 구성되어 있다. 그리고, 규정 영역 ΔV2는, 기본적으로는 대상 제2 위치(P2a)만을 포함하도록 설정되지만, 대상 제2 위치(P2a)에 가까운 높이에 존재하는 별도의 제2 위치(P2)가 규정 영역 ΔV2에 포함되는 경우도 있다. 도 12 및 도 13에 나타낸 예에서는, 실선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 물품(90)을 반입하는 경우를 상정하고 있고, 실선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)가 대상 제2 위치(P2a)로 되어 있다. 그리고, 본 예에서는, 대상 제2 위치(P2a)만을 포함하도록(즉, 2점 쇄선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)를 포함하지 않도록) 규정 영역 ΔV2가 설정되어 있고, 2점 쇄선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)는, 외부 영역 ΔV1에 포함되어 있다. 이로써, 2점 쇄선으로 나타낸 이송탑재 대상 개소(6)에 대응하는 제2 위치(P2)를 포함하는 비교적 큰 승강 범위에 있어서, 경사 자세(S1)로 물품(90)을 유지하는 것이 가능하게 되고 있다.In this way, when the second position P2 includes a plurality of positions, the second position P2 serving as the starting point or the end point of the lifting operation of the holding unit 20 among the plurality of second positions P2 is selected as the target second position P2. As the second position P2a (see Fig. 13), in the present embodiment, the swing drive unit 73 sets the region including the target second position P2a in the prescribed region ΔV2 to execute the inclination angle adjustment control Consists of. In addition, although the prescribed area ΔV2 is basically set to include only the target second position P2a, a separate second position P2 existing at a height close to the target second position P2a is included in the prescribed area ΔV2 sometimes it becomes In the examples shown in FIGS. 12 and 13 , it is assumed that the article 90 is brought into the transfer target location 6 indicated by the solid line, and the second position corresponding to the transfer target location 6 indicated by the solid line. (P2) is the target second position P2a. And in this example, the prescribed area ΔV2 is set to include only the target second position P2a (that is, not to include the second position P2 corresponding to the transfer target point 6 indicated by the dashed-dotted line). and the second position P2 corresponding to the transfer target location 6 indicated by the dashed-dotted line is included in the outer region ΔV1. Thereby, in a relatively large elevating range including the second position P2 corresponding to the transfer target location 6 indicated by the dashed-dotted line, it becomes possible to hold the article 90 in the inclined posture S1. there is.

[기타의 실시형태][Other embodiments]

다음으로, 반송차의 기타의 실시형태에 대하여 설명한다.Next, other embodiments of the transport vehicle will be described.

(1) 상기의 실시형태에서는, 각도 조정 기구(40)를 구동하는 구동부(요동 구동부(73))가, 제2 부분(22)에 고정된 요동 부재(41)를 축심(R) 주위에 요동시킴으로써, 제1 부분(21)에 대한 제2 부분(22)의 경사 각도 A를 변경하는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 제2 부분(22)이 링크 기구를 통하여 제1 부분(21)에 연결되고, 각도 조정 기구(40)를 구동하는 구동부가, 해당 링크 기구를 구동하여 경사 각도 A를 변경하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 상기의 실시형태에서는, 각도 조정 기구(40)를 구동하는 구동부가, 제1 부분(21)에 고정되는 구성을 예로서 설명하였으나, 각도 조정 기구(40)의 구성에 따라서는, 각도 조정 기구(40)를 구동하는 구동부가 제2 부분(22)에 고정되어도 된다.(1) In the above embodiment, the driving unit (oscillation driving unit 73 ) that drives the angle adjustment mechanism 40 oscillates the swinging member 41 fixed to the second part 22 around the axis R By doing so, the configuration in which the inclination angle A of the second part 22 with respect to the first part 21 is changed has been described as an example. However, the present disclosure is not limited to such a configuration, and for example, the second part 22 is connected to the first part 21 via a link mechanism, and a driving unit for driving the angle adjusting mechanism 40 is , it can also be set as the structure which drives the said link mechanism to change the inclination angle A. In addition, in the said embodiment, although the structure in which the drive part which drives the angle adjustment mechanism 40 is fixed to the 1st part 21 was demonstrated as an example, depending on the structure of the angle adjustment mechanism 40, angle adjustment A drive for driving the mechanism 40 may be fixed to the second portion 22 .

(2) 상기의 실시형태에서는, 축심(R)이 차체 전후 방향(X)를 따르도록 배치되는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 축심(R)이 차체 좌우 방향(Y)를 따르도록 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 제2 부분(22)이 제1 부분(21)에 대하여 경사져 있는 경우(구체적으로는, 경사 각도 A가 플러스의 예각인 경우)에는, 제2 부분(22)은, 차체 전후 방향(X)의 한쪽 측이 다른 쪽 측보다 높게 되고, 물품(90)은, 개구부(92)가 평면에서 볼 때 차체 전후 방향(X)의 상기 한쪽 측을 향하는 방향에서, 유지부(20)에 유지된다.(2) In the above embodiment, the configuration in which the shaft center R is disposed along the vehicle body front-rear direction X has been described as an example. However, the present disclosure is not limited to such a configuration, and it may be configured such that the axis R is disposed along the left-right direction Y of the vehicle body. In this case, when the second part 22 is inclined with respect to the first part 21 (specifically, when the inclination angle A is a positive acute angle), the second part 22 is in the front-rear direction ( One side of X) becomes higher than the other side, and the article 90 is held by the holding portion 20 in a direction in which the opening 92 faces the one side of the vehicle body front-rear direction X in plan view. do.

(3) 상기의 실시형태에서는, 제2 위치(P2)가 복수의 위치를 포함하는 경우에, 요동 구동부(73)가, 대상 제2 위치(P2a)를 포함하는 영역을 규정 영역 ΔV2로 설정하여 경사 각도 조정 제어를 실행하는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 제2 위치(P2)에 포함되는 복수의 위치 사이의 고저차가 작은 경우 등에, 모든 제2 위치(P2)를 포함하는 영역이 규정 영역 ΔV2로 설정되는 구성으로 해도 된다.(3) In the above embodiment, when the second position P2 includes a plurality of positions, the swing drive unit 73 sets the region including the target second position P2a as the prescribed region ΔV2, The configuration for executing the inclination angle adjustment control has been described as an example. However, the present disclosure is not limited to such a configuration, and, for example, when a difference in elevation between a plurality of positions included in the second position P2 is small, the region including all the second positions P2 is It is good also as a structure set in the prescribed|regulated area (DELTA)V2.

(4) 상기의 실시형태에서는, 제2 각도가, 물품(90)의 자세가 수평 자세(S2)가 되는 각도로 되는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제2 각도를, 물품(90)의 자세가 경사 자세(S1)이 되는 각도로서 제1 각도와는 상이한 각도(예를 들면, 제1 각도보다 작은 각도)로 할 수도 있다.(4) In the above embodiment, the configuration in which the second angle is an angle at which the posture of the article 90 becomes the horizontal posture S2 has been described as an example. However, the present disclosure is not limited to such a configuration, and the second angle is an angle at which the posture of the article 90 becomes the inclined posture S1 and is different from the first angle (eg, the first angle). smaller angle).

(5) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용하는 것(기타의 실시형태로서 설명한 실시형태끼리의 조합을 포함함)도 가능하다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변을 행하는 것이 가능하다.(5) In addition, unless inconsistency does not arise, the configuration disclosed in each embodiment described above is applied in combination with the configuration disclosed in other embodiments (including combinations of embodiments described as other embodiments). It is possible. Also regarding other structures, embodiment disclosed in this specification is only a mere illustration in every point. Accordingly, it is possible to appropriately make various modifications without departing from the spirit of the present disclosure.

[상기 실시형태의 개요][Summary of the above embodiment]

이하, 상기에 있어서 설명한 반송차의 개요에 대하여 설명한다.Hereinafter, the outline of the transport vehicle described above will be described.

물품을 반송하는 반송차로서, 이동 경로를 따라 이동하는 본체부와, 상기 물품을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 본체부에 대하여 승강 방향으로 승강시키는 승강 장치를 구비하고, 상기 유지부는, 상기 승강 장치에 연결된 제1 부분과, 상기 제1 부분을 통하여 상기 승강 장치에 연결되고 또한 상기 물품에 접촉하는 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 설치되고, 상기 제1 부분에 대한 상기 제2 부분의 경사 각도를 변경하는 각도 조정 기구를 구비하고 있다.A transport vehicle for transporting articles, comprising: a main body moving along a movement path; a holding part for holding the article; and an elevating device for lifting and lowering the holding part with respect to the main body part in a lifting/lowering direction, the holding part comprising: a first portion connected to the lifting device; a second portion connected to the lifting device through the first portion and in contact with the article; provided between the first portion and the second portion; and an angle adjusting mechanism for changing the inclination angle of the second part with respect to the part.

본 구성에 의하면, 유지부가 각도 조정 기구를 구비하므로, 유지부의 자세를 변경하기 위한 기구를 승강 장치에 설치하지 않아도, 각도 조정 기구에 의해 제1 부분에 대한 제2 부분의 경사 각도를 변경함으로써, 제2 부분이 접촉하는 물품(즉, 유지부에 유지되고 있는 물품)의 자세를 원하는 자세로 할 수 있다. 따라서, 반송차의 주행 시에서의 물품의 자세를, 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 하면서, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에서의 물품의 자세를, 해당 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세로 할 수 있다. 따라서, 반송차의 주행 시에는 반송차의 주행 시에 적합한 자세로 물품을 유지부에 의해 유지하면서, 유지부와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 물품의 이송탑재 시에 이송탑재 대상 개소에 배치되는 물품의 자세를, 해당 이송탑재 대상 개소에 있어서 요구되는 자세 로 하는 것이 가능하게 되고 있다. 그리고, 본 구성에서는, 유지부의 자세를 변경하기 위한 기구를 승강 장치에 설치할 필요가 없기 때문에, 승강 장치의 복잡화를 억제하면서 본 개시의 반송차를 실현할 수 있다.According to this configuration, since the holding unit is provided with the angle adjusting mechanism, by changing the inclination angle of the second part with respect to the first part by the angle adjusting mechanism without providing a mechanism for changing the posture of the holding part in the lifting device, The posture of the article with which the second part is in contact (that is, the article held by the holding unit) can be set to a desired posture. Therefore, while the posture of the article when the transport vehicle is running is set to a posture suitable for driving the transport vehicle, the posture of the article when transporting and mounting the article between the holding unit and the transfer target location is set to the transport position. It can be set in the position requested|required in the target location. Accordingly, when the transport vehicle is traveling, the article is held by the holding unit in a suitable posture when the transport vehicle is traveling, and the article is disposed at the transport target location when the article is transferred between the holding unit and the transport target location. It has become possible to set the posture of the to the posture required in the transfer target location. In addition, in the present configuration, since it is not necessary to provide a mechanism for changing the posture of the holding unit in the lifting device, it is possible to realize the transport vehicle of the present disclosure while suppressing the complexity of the lifting device.

여기서, 상기 승강 장치는, 회전 구동되는 복수의 회전체와, 복수의 상기 회전체의 각각에 권취 및 조출 가능하게 권회된 전동 부재를 구비하고, 상기 제1 부분은, 상기 전동 부재에 연결되어 있으면 바람직하다.Here, the lifting device includes a plurality of rotating bodies that are rotationally driven, and a transmission member wound around each of the plurality of rotation bodies so as to be able to be wound and fed, and the first part is connected to the transmission member. desirable.

본 구성에 의하면, 복수의 회전체를 회전시켜 전동 부재를 권취 또는 조출함으로써, 유지부를 매달아 지지한 상태에서 유지부를 승강시킬 수 있다. 본 개시의 반송차에서는, 전술한 바와 같이, 유지부의 자세를 변경하기 위한 기구를 승강 장치에 설치할 필요가 없다. 그러므로, 본 구성과 같이 승강 장치가 구성되는 경우에, 매달아 지지되는 유지부의 자세를 변경 가능하게 각 부(회전체, 전동 부재, 회전체을 회전 구동시키는 구동부 등)을 구성할 필요는 없고, 승강 장치의 간소화를 도모할 수 있다.According to this structure, the holding|maintenance part can be raised/lowered in the state which hung and supported the holding|maintenance part by rotating a some rotating body and winding up or drawing out a transmission member. In the transport vehicle of the present disclosure, as described above, it is not necessary to provide a mechanism for changing the posture of the holding unit in the elevating device. Therefore, when the lifting device is configured as in this configuration, it is not necessary to configure each part (rotator, transmission member, driving unit for rotationally driving the rotating body, etc.) so that the posture of the holding part suspended and supported is changeable, and the lifting device is not required. simplification can be achieved.

또한, 상기 각도 조정 기구는, 상기 제2 부분에 고정된 요동 부재와, 상기 제1 부분에 고정되어 있고 또한 상기 요동 부재를 수평 방향을 따르는 축심 주위에 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 각도 조정 기구를 구동하는 구동부가, 상기 요동 부재를 상기 축심 주위에 요동시키도록 구성되어 있으면 바람직하다.Further, the angle adjustment mechanism includes a swinging member fixed to the second part, and a support member fixed to the first part and rotatably supporting the swinging member around an axis along a horizontal direction, It is preferable if the drive part which drives the said angle adjustment mechanism is comprised so that the said rocking|fluctuation member may rock|fluctuate around the said shaft center.

본 구성에 의하면, 구동부에 의해 요동 부재를 축심 주위에 요동시킴으로써, 제1 부분에 대한 제2 부분의 경사 각도를 커지도록 변화시키거나 작아지도록 변화시키거나 할 수 있고, 해당 경사 각도를 변경하는 각도 조정 기구를 적절하게 설치할 수 있다.According to this configuration, the inclination angle of the second part with respect to the first part can be changed to be large or changed to be small by swinging the swinging member around the axis by the driving unit, and the angle at which the inclination angle is changed The adjustment mechanism can be properly installed.

또한, 상기 물품은, 측면에 개구부를 가지는 용기이며, 상기 승강 장치는, 제1 위치와, 상기 유지부에 의한 상기 물품의 유지 및 유지 해제를 하는 위치로서 상기 제1 위치보다 아래쪽의 제2 위치 사이에서, 상기 유지부를 승강시키고, 상기 승강 방향에서의 상기 제2 위치를 포함하는 영역을 규정 영역으로 하고, 상기 개구부가 비스듬하게 위쪽을 향하는 상기 물품의 자세를 경사 자세로 하고, 상기 개구부가 수평 방향을 향하는 상기 물품의 자세를 수평 자세로 하여, 상기 각도 조정 기구를 구동하는 구동부는, 상기 유지부가 상기 물품을 유지하고 있는 경우에, 경사 각도 조정 제어를 실행하고, 상기 경사 각도 조정 제어는, 상기 유지부가 상기 규정 영역의 외부에 배치되어 있는 상태에서는, 상기 경사 각도를, 상기 물품의 자세가 상기 경사 자세가 되는 각도인 제1 각도로 하고, 상기 유지부가 상기 제2 위치에 배치되어 있는 상태에서는, 상기 경사 각도를, 상기 물품의 자세가 상기 수평 자세가 되는 각도인 제2 각도로 하는 제어이면 바람직하다.In addition, the article is a container having an opening on a side surface, and the lifting device has a first position and a second position lower than the first position as a position for holding and releasing the article by the holding unit the holding part is raised and lowered, the area including the second position in the raising/lowering direction is defined as a prescribed area, the posture of the article in which the opening faces obliquely upward is an oblique posture, and the opening is horizontal The driving unit for driving the angle adjustment mechanism by setting the posture of the article facing the direction as a horizontal posture executes inclination angle adjustment control when the holding unit holds the article, the inclination angle adjustment control includes: In a state in which the holding part is disposed outside the prescribed area, the inclination angle is a first angle that is an angle at which the posture of the article becomes the inclination posture, and the holding part is disposed at the second position It is preferable if the control is such that the inclination angle is a second angle that is an angle at which the posture of the article becomes the horizontal posture.

본 구성과 같이, 물품이 측면에 개구부를 가지는 용기인 경우, 물품의 자세를 경사 자세로 함으로써, 물품의 자세가 수평 자세인 경우와 비교하여, 물품에 수용된 수용물이 개구부로부터 물품의 외부에 이동하기 어렵게 할 수 있다. 또한, 물품의 자세를 수평 자세로 함으로써, 개구부를 통한 수용물 물품에 대한 출납을 행하기 쉽게 된다. 본 구성에 의하면, 유지부가 물품을 유지하고 있는 경우에 경사 각도 조정 제어가 실행되므로, 반송차의 주행 시에서의 유지부의 위치를 규정 영역의 외부의 위치(예를 들면, 제1 위치)로 함으로써, 반송차의 주행 시나 규정 영역의 외부에서의 유지부의 승강 시에는, 물품의 자세를 경사 자세로 하면서, 유지부에 의한 물품의 유지 또는 유지 해제를 하는 물품의 이송탑재 시에는, 물품의 자세를 수평 자세로 할 수 있다.As in this configuration, in the case where the article is a container having an opening on the side thereof, by setting the posture of the article to an inclined posture, the contents accommodated in the article move from the opening to the outside of the article, compared to the case where the posture of the article is a horizontal posture can make it difficult to do. In addition, by setting the posture of the article to be a horizontal posture, it becomes easy to deposit and withdraw the stored article through the opening. According to this configuration, since the inclination angle adjustment control is executed when the holding unit holds the article, the position of the holding unit when the transport vehicle is traveling is set to a position outside the prescribed area (eg, the first position). , When the transport vehicle is traveling or when the holding unit is raised or lowered outside the specified area, the posture of the article is set to an inclined posture. This can be done in a horizontal position.

상기한 바와 같이 상기 구동부가 상기 경사 각도 조정 제어를 실행하는 구성에 있어서, 상기 제2 위치는, 상기 제1 위치보다 아래쪽의 복수의 위치를 포함하고, 복수의 상기 제2 위치 중, 상기 유지부의 승강 동작의 시점 또는 종점이 되는 상기 제2 위치를 대상 제2 위치로 하여, 상기 구동부는, 상기 대상 제2 위치를 포함하는 영역을 상기 규정 영역으로 설정하여 상기 경사 각도 조정 제어를 실행하면 바람직하다.In the configuration in which the driving unit executes the inclination angle adjustment control as described above, the second position includes a plurality of positions lower than the first position, and among the plurality of second positions, the holding unit Preferably, the second position serving as the starting point or ending point of the lifting operation is the target second position, and the driving unit executes the inclination angle adjustment control by setting the region including the target second position as the prescribed region. .

본 구성에 의하면, 제2 위치가 복수의 위치를 포함하는 경우에, 규정 영역보다 위쪽의 영역과 규정 영역의 경계를, 그 시점에서 승강 동작의 시점 또는 종점이 되고 있는 대상 제2 위치에 비교적 가까운 근접 위치에 설정할 수 있다. 따라서, 유지부가 제1 위치와 근접 위치 사이의 비교적 큰 승강 범위 내에 배치되어 있는 동안, 경사 자세로 물품을 유지할 수 있고, 유지부에 유지된 물품을 적절하게 승강시키기 쉬워진다.According to this configuration, when the second position includes a plurality of positions, the boundary between the region above the specified region and the specified region is relatively close to the target second position that is the starting or ending point of the lifting operation at that time. It can be set to a nearby location. Accordingly, while the holding portion is disposed within a relatively large lifting/lowering range between the first position and the proximal position, it is possible to hold the article in the inclined posture, and it becomes easy to properly raise and lower the article held by the holding portion.

또한, 상기 구동부는, 상기 물품을 유지하고 있지 않은 상기 유지부가 상기 제2 위치를 향하여 하강하고 있는 동안, 상기 경사 각도를 상기 제2 각도로 하면 바람직하다.In addition, it is preferable that the inclination angle of the driving unit is the second angle while the holding unit not holding the article is lowered toward the second position.

본 구성에 의하면, 물품을 유지하고 있지 않은 유지부를 제2 위치를 향하여 하강시키는 경우에도, 물품을 유지하고 있는 유지부를 제2 위치를 향하여 하강시키는 경우와 마찬가지로, 유지부가 규정 영역의 외부에 배치되어 있는 상태에서는 경사 각도를 제1 각도로 하는 경우와 비교하여, 경사 각도를 제1 각도로부터 제2 각도로 변경하는 제어를 유지부가 규정 영역에 진입하고 나서 행할 필요가 없는 만큼, 제어의 간소화나 처리의 고속화를 도모할 수 있다.According to this configuration, even when the holding part that does not hold the article is lowered toward the second position, similarly to the case where the holding part holding the article is lowered toward the second position, the holding part is disposed outside the prescribed area. In the existing state, compared with the case where the inclination angle is set to the first angle, the control for changing the inclination angle from the first angle to the second angle does not need to be performed after the holding unit enters the prescribed area, so the control is simplified and processed. can be accelerated.

본 개시에 관한 반송차는, 전술한 각 효과 중, 적어도 하나를 이룰 수 있으면 된다.The transport vehicle according to the present disclosure may achieve at least one of the aforementioned effects.

1: 반송차
2: 이동 경로
10: 본체부
20: 유지부
21: 제1 부분
22: 제2 부분
40: 각도 조정 기구
41: 요동 부재
42: 지지 부재
50: 승강 장치
51: 회전체
52: 전동 부재
73: 요동 구동부(구동부)
90: 물품
90b: 측면
92: 개구부
A: 경사 각도
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
P2a: 대상 제2 위치
R: 축심
S1: 경사 자세
S2: 수평 자세
V: 연직 방향(승강 방향)
V2: 아래쪽
ΔV2: 규정 영역1: Carrier
2: travel route
10: body part
20: maintenance unit
21: first part
22: second part
40: angle adjustment mechanism
41: no oscillation
42: support member
50: elevating device
51: rotating body
52: transmission member
73: swing drive unit (drive unit)
90: Goods
90b: side
92: opening
A: inclination angle
P1: first position
P2: second position
P2a: target second location
R: axial center
S1: Inclined posture
S2: horizontal posture
V: Vertical direction (elevating direction)
V2: Down
ΔV2: specified area

Claims (6)

물품을 반송(搬送)하는 반송차로서,
이동 경로를 따라 이동하는 본체부; 상기 물품을 유지하는 유지부; 및 상기 유지부를 상기 본체부에 대하여 승강 방향으로 승강시키는 승강 장치;를 구비하고,
상기 유지부는, 상기 승강 장치에 연결된 제1 부분과, 상기 제1 부분을 통하여 상기 승강 장치에 연결되고 또한 상기 물품에 접촉하는 제2 부분과, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 설치되고, 상기 제1 부분에 대한 상기 제2 부분의 경사 각도를 변경하는 각도 조정 기구를 구비하고 있는,
반송차.As a transport vehicle that transports goods,
a body portion moving along a movement path; a holding part for holding the article; and a lifting device for lifting and lowering the holding part in a lifting direction with respect to the main body part;
The holding part is provided between a first part connected to the lifting device, a second part connected to the lifting device through the first part and in contact with the article, and the first part and the second part, , an angle adjustment mechanism for changing the inclination angle of the second part with respect to the first part,
return vehicle. 제1항에 있어서,
상기 승강 장치는, 회전 구동되는 복수의 회전체와, 복수의 상기 회전체의 각각에 권취(卷取) 및 조출(繰出) 가능하게 권회(卷回)된 전동(傳動) 부재를 구비하고,
상기 제1 부분은, 상기 전동 부재에 연결되어 있는, 반송차.According to claim 1,
The lifting device includes a plurality of rotating bodies that are rotationally driven, and a transmission member wound around each of the plurality of rotating bodies so as to be able to be wound and drawn out,
The first portion is connected to the transmission member. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 각도 조정 기구는, 상기 제2 부분에 고정된 요동 부재와, 상기 제1 부분에 고정되어 있고 또한 상기 요동 부재를 수평 방향을 따르는 축심(軸心) 주위로 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 구비하고,
상기 각도 조정 기구를 구동하는 구동부가, 상기 요동 부재를 상기 축심 주위에 요동시키도록 구성되어 있는, 반송차.3. The method of claim 1 or 2,
The angle adjusting mechanism includes: a swinging member fixed to the second part; and a support member fixed to the first part and rotatably supporting the swinging member around an axis in a horizontal direction. do,
and a driving unit for driving the angle adjustment mechanism is configured to swing the swinging member around the axis. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 물품은, 측면에 개구부를 가지는 용기이며,
상기 승강 장치는, 제1 위치와, 상기 유지부에 의한 상기 물품의 유지 및 유지 해제를 하는 위치로서 상기 제1 위치보다 아래쪽의 제2 위치 사이에서, 상기 유지부를 승강시키고,
상기 승강 방향에서의 상기 제2 위치를 포함하는 영역을 규정 영역으로 하고, 상기 개구부가 비스듬하게 위쪽을 향하는 상기 물품의 자세를 경사 자세로 하고, 상기 개구부가 수평 방향을 향하는 상기 물품의 자세를 수평 자세로 하여,
상기 각도 조정 기구를 구동하는 구동부는, 상기 유지부가 상기 물품을 유지하고 있는 경우에, 경사 각도 조정 제어를 실행하고,
상기 경사 각도 조정 제어는, 상기 유지부가 상기 규정 영역의 외부에 배치되어 있는 상태에서는, 상기 경사 각도를, 상기 물품의 자세가 상기 경사 자세가 되는 각도인 제1 각도로 하고, 상기 유지부가 상기 제2 위치에 배치되어 있는 상태에서는, 상기 경사 각도를, 상기 물품의 자세가 상기 수평 자세가 되는 각도인 제2 각도로 하는 제어인, 반송차.3. The method of claim 1 or 2,
The article is a container having an opening on the side,
wherein the lifting device raises and lowers the holding unit between a first position and a second position lower than the first position as a position for holding and releasing the article by the holding unit;
An area including the second position in the elevating direction is defined as a prescribed area, the posture of the article in which the opening faces obliquely upward is an oblique posture, and the posture of the article in which the opening faces in the horizontal direction is horizontal posture,
a driving unit for driving the angle adjustment mechanism executes inclination angle adjustment control when the holding unit holds the article;
In the inclination angle adjustment control, in a state in which the holding unit is disposed outside the prescribed region, the inclination angle is a first angle that is an angle at which the posture of the article becomes the inclination posture; in the state arranged at the second position, a control wherein the inclination angle is a second angle, which is an angle at which the posture of the article becomes the horizontal posture. 제4항에 있어서,
상기 제2 위치는, 상기 제1 위치보다 아래쪽의 복수의 위치를 포함하고,
복수의 상기 제2 위치 중, 상기 유지부의 승강 동작의 시점 또는 종점이 되는 상기 제2 위치를 대상 제2 위치로 하여,
상기 구동부는, 상기 대상 제2 위치를 포함하는 영역을 상기 규정 영역으로 설정하여 상기 경사 각도 조정 제어를 실행하는, 반송차.5. The method of claim 4,
The second location includes a plurality of locations below the first location,
Among the plurality of second positions, the second position serving as a starting point or an end point of the lifting operation of the holding unit is set as a target second position;
and the driving unit executes the inclination angle adjustment control by setting an area including the target second position as the prescribed area. 제4항에 있어서,
상기 구동부는, 상기 물품을 유지하고 있지 않은 상기 유지부가 상기 제2 위치를 향하여 하강하고 있는 동안, 상기 경사 각도를 상기 제2 각도로 하는, 반송차.5. The method of claim 4,
and the driving unit sets the inclination angle to the second angle while the holding unit not holding the article is lowered toward the second position.
KR1020210149673A 2020-11-06 2021-11-03 Transport vehicle KR20220061877A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-185880 2020-11-06
JP2020185880A JP7342841B2 (en) 2020-11-06 2020-11-06 Transport vehicle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220061877A true KR20220061877A (en) 2022-05-13

Family

ID=81362583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210149673A KR20220061877A (en) 2020-11-06 2021-11-03 Transport vehicle

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP7342841B2 (en)
KR (1) KR20220061877A (en)
CN (1) CN114435876A (en)
TW (1) TW202222669A (en)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3981885B2 (en) 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク Transport device
JP4538729B2 (en) * 2005-02-04 2010-09-08 株式会社ダイフク Transport vehicle
JP4389181B2 (en) 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク Article processing equipment
JP6641926B2 (en) * 2015-11-26 2020-02-05 株式会社ダイフク Goods transport equipment
JP2017154840A (en) * 2016-02-29 2017-09-07 株式会社ダイフク Article conveyance facility
JP7373953B2 (en) * 2019-09-19 2023-11-06 株式会社ディスコ Accommodation cassette

Also Published As

Publication number Publication date
CN114435876A (en) 2022-05-06
JP2022075222A (en) 2022-05-18
JP7342841B2 (en) 2023-09-12
JP2023107777A (en) 2023-08-03
TW202222669A (en) 2022-06-16
JP7480887B2 (en) 2024-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102480674B1 (en) ceiling hanging shelf
EP2447193A1 (en) Storage container
JP6477439B2 (en) Goods transport equipment
JP3832745B2 (en) Overhead traveling vehicle system
KR20220061877A (en) Transport vehicle
JP7054460B2 (en) Ceiling carrier
JP7306364B2 (en) carrier
KR20220063741A (en) Transport vehicle
KR20210032905A (en) Article transport apparatus
CN115280482A (en) Gripper device, transport vehicle, and transport method
JP7268667B2 (en) carrier
JP2022083397A (en) Transport vehicle
WO2023079882A1 (en) Overhead conveying vehicle
JP7302579B2 (en) carrier
US20240017929A1 (en) Conveyance device
JP2024008689A (en) Article conveyance vehicle
CN114538005A (en) Transport vehicle