KR20210133015A - Gas supply apparatus having align function and align method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 저장 용기의 교체시 가스 저장 용기의 밸브 커넥터와 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 체결하기 전에 가스 저장 용기를 얼라인할 수 있는 가스공급장치 및 얼라인 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device and an alignment method having an alignment function, and more particularly, before the valve connector of the gas storage container and the connecting pipe connector connected to the gas consumer are connected when replacing the gas storage container. It relates to a gas supply device capable of aligning a gas storage vessel and an aligning method.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.In general, in the case of an apparatus using gas, in particular, an apparatus for supplying gas to a gas consumer where precise work is performed such as semiconductor equipment, a type of gas suitable for each purpose is required to satisfy a certain concentration and pressure.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.In order to efficiently provide this, many kinds of gases are stored under high pressure, and in particular, gases having harmful properties such as flammability, toxicity, and corrosiveness are strictly managed in a separate space where people are blocked.
가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.A gas storage container (hereinafter abbreviated as 'container') that stores gas is connected to the gas consumer, and when all the gas stored in the container is consumed, the connection pipe connected to the gas consumer is separated from the valve of the gas container. After replacing the container, the valve connector of the replaced container is connected to the connecting pipe connector connected to the gas consumer to supply gas again.
이와 같이 용기를 교체하는 경우 작업자가 용기를 용기 적재부의 정위치에 올려 놓아야 하지만, 용기를 정위치에 올려놓기 위한 자동화 장치가 구비되지 않으면, 작업자가 가스통을 정확히 정위치에 올려놓기가 어려운 문제점이 있다. When replacing the container in this way, the operator must put the container in the correct position of the container loading part, but if an automated device for placing the container in the correct position is not provided, it is difficult for the operator to put the gas cylinder in the correct position. have.
물론, 자동화 장치를 구비하게 되면, 용기를 정위치에 올려 놓는 것이 가능하지만, 장치의 구성이 복잡하고, 제조비용이 높은 문제점이 있다.Of course, if the automated device is provided, it is possible to put the container in place, but there are problems in that the configuration of the device is complicated and the manufacturing cost is high.
반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.As a prior art for a gas supply device for semiconductor equipment, Korean Patent Registration No. 10-0242982 has been disclosed.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and it is intended to provide a gas supply device capable of preventing damage to the alignment part by allowing vertical elevation and lowering and alignment during horizontal transport. There is a purpose.
본 발명의 다른 목적은, 수평방향 이송시 얼라인부의 회전이 가능하도록 함으로써 보다 정확한 얼라인이 이루어지도록 하는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas supply device that enables more accurate alignment by enabling rotation of an alignment unit during horizontal transfer.
본 발명의 다른 목적은, 상부모듈과 하부모듈을 용기측에 구비된 고정블럭에 견고하게 결합된 상태를 유지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas supply device capable of maintaining a state in which an upper module and a lower module are firmly coupled to a fixed block provided on the container side.
본 발명의 다른 목적은, 커버와 커버분리부의 결합시 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas supply device capable of preventing damage when a cover and a cover separation unit are coupled.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기와의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 수평방향 및 수직방향으로 이송이 가능한 하부모듈;을 포함하고, 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 위치한 경우 상기 얼라인시 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합될 수 있도록 구비된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a gas supply device with an align function, comprising: an upper module having an upper plate installed to be fixed at a position spaced upward from a valve unit provided at an upper end of a container; A cover separating unit for separating a cover covering the valve connector provided in the valve unit, a connector coupling unit for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector, and a first aligner provided in the valve unit A lower module comprising a second alignment part aligned with the container by coupling with a worker, wherein the lower module can be transported in a horizontal direction and a vertical direction with respect to the upper module, wherein the cover is separated from the cover part When positioned to face each other in a state not inserted into the aligner, a portion of the first alignment unit and the second alignment unit may be coupled to each other during the alignment.
상기 제1얼라인부와 제2얼라인부 중 어느 하나는 수평방향의 길이를 갖는 핀 형상의 얼라인핀으로 이루어지고, 나머지 하나는 상기 얼라인핀이 삽입되는 얼라인핀 삽입홈으로 이루어져 있다.One of the first alignment unit and the second alignment unit is formed of a pin-shaped alignment pin having a horizontal length, and the other is formed of an alignment pin insertion groove into which the alignment pin is inserted.
상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부 방향으로 전후진시키는 커넥터 체결부 이송수단이 구비되고; 상기 제2얼라인부의 수평방향 이송과 상기 커넥터 체결부 이송수단에 의한 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 이송은 독립적으로 이루어질 수 있다.a connector fastening part transfer means for moving the cover separating part and the connector fastening part back and forth in the direction of the valve part integrally is provided; The horizontal transfer of the second alignment part and the transfer of the cover separation part and the connector fastening part by the connector fastening part transfer means may be independently performed.
상기 제2얼라인부는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 외측을 적어도 일부 둘러싸고 상기 상부모듈에 구비된 이송가이드를 따라 상기 밸브부 방향으로 전후진하는 하우징에 결합될 수 있다.The second alignment part may be coupled to a housing that at least partially surrounds the outside of the cover separation part and the connector coupling part and moves forward and backward in the valve part direction along a transfer guide provided in the upper module.
상기 하우징에는 얼라인 블럭이 결합되고, 상기 제2얼라인부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비될 수 있다.An alignment block may be coupled to the housing, and the second alignment unit may be provided on a surface facing the valve unit from the alignment block.
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고; 상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부에 결합되도록 하기 위한 제2결합부가 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비되고; 상기 제2얼라인부가 상기 제1얼라인부 방향으로 이송되어, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되면, 상기 제1결합부와 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합 상태가 유지될 수 있다.the first alignment unit is provided on a fixed block coupled to the valve unit; a second coupling part for coupling to the first coupling part provided adjacent to the first alignment part in the fixing block is provided adjacent to the second alignment part in the lower module; When the second alignment unit is transferred in the direction of the first alignment unit and the first alignment unit and the second alignment unit are in a fully coupled state in a partially coupled state, the first coupling unit and the second coupling unit are coupled to each other and the The coupling state of the fixed block and the lower module may be maintained.
상기 하부모듈에는 얼라인 블럭이 결합되고; 상기 제2결합부는 상기 얼라인블럭에 구비되어 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어지고; 상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지며; 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정홈 내부에서 홈과 돌기의 걸림에 의해 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 홈과 돌기의 걸림이 해제되어 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있다.an align block is coupled to the lower module; the second coupling part is provided on the align block and is formed of a fixing block coupling member protruding toward the first coupling part; The first coupling portion is made of a fixing groove formed in the fixing block so that the fixing block coupling member is inserted; When the fixing block coupling member is inserted into the fixing groove, the fixing block coupling member is prevented from being pulled out from the fixing groove by the engagement of the groove and the projection inside the fixing groove, and when air is supplied, the groove and the projection are caught. This is released so that the fixing block coupling member can be separated from the fixing groove.
상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서, 상기 하부모듈을 상기 밸브부 방향으로 이송시키면, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되고, 상기 커버가 커버 분리부의 홈의 형상에 형합되면서 삽입될 수 있다.When the lower module is transferred in the direction of the valve part in a state in which the cover separating part is rotated, the first and second aligning parts are in a fully engaged state in a partially coupled state, and the cover is inserted into the groove of the cover separating part. It can be inserted while being molded into the shape.
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평방향으로 회전될 수 있다.The lower module may be rotated in a horizontal direction with respect to the upper module.
상기 하부모듈의 상부와 상기 상부모듈의 하부는 고정핀에 의해 결합되고; 상기 하부모듈과 상부모듈 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성될 수 있다.an upper portion of the lower module and a lower portion of the upper module are coupled by a fixing pin; At least one guide pin is coupled to any one of the lower module and the upper module, and the guide pin is inserted into the other, so that a guide pin insertion hole may be formed so that the fixing pin can be rotated around the rotation center.
상기 가이드핀과 가이드핀 삽입구멍은 상기 고정핀의 양측에 한 쌍이 각각 구비될 수 있다.A pair of the guide pin and the guide pin insertion hole may be provided on both sides of the fixing pin, respectively.
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평 방향으로 회전과 동시에 직선 이동될 수 있다.The lower module may be rotated in a horizontal direction with respect to the upper module and moved linearly at the same time.
상기 상부모듈에는, 상기 하부모듈이 수평방향 중 어느 하나인 제1방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위해 구비된 제1이송가이드; 상기 하부모듈이 수평방향 중 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위한 제2이송가이드가 구비될 수 있다.The upper module includes: a first transfer guide provided to guide the lower module to be transferred in a first direction that is any one of the horizontal directions; A second transfer guide for guiding that the lower module is transferred in a second direction orthogonal to the first direction among horizontal directions may be provided.
상기 상부플레이트와 중간플레이트와 하부플레이트가 상부에서부터 하부로 서로 이격되도록 구비되고; 상기 상부플레이트와 중간플레이트 사이에 상기 제1이송가이드가 구비되고; 상기 중간플레이트와 하부플레이트 사이에 상기 제2이송가이드가 구비될 수 있다.the upper plate, the intermediate plate, and the lower plate are provided to be spaced apart from each other from the top to the bottom; the first transfer guide is provided between the upper plate and the intermediate plate; The second transfer guide may be provided between the intermediate plate and the lower plate.
상기 상부모듈에는 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드가 구비될 수 있다.The upper module may be provided with a third transfer guide for guiding the vertical transfer of the lower module.
상기 하부모듈의 수직방향 이송을 제동하기 위한 수직방향 제동부; 상기 수평방향 중 상기 밸브부를 향하는 방향에 수직인 제1방향으로의 직선이송을 제동하기 위한 수평방향 제동부가 구비될 수 있다.a vertical braking unit for braking the vertical transfer of the lower module; A horizontal braking unit for braking the linear transfer in a first direction perpendicular to a direction toward the valve unit in the horizontal direction may be provided.
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고; 상기 수직방향 제동부에 의해 수직방향 이송이 제동되고, 상기 수평방향 제동부에 의해 제1방향 이송이 제동된 상태에서, 상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부와 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비된 제2결합부가 결합됨으로써 상기 수평방향 중 상기 제1방향에 수직인 제2방향 이송이 제동될 수 있다.the first alignment unit is provided on a fixed block coupled to the valve unit; In a state in which the vertical transfer is braked by the vertical brake unit and the first direction feed is braked by the horizontal brake unit, a first coupling unit provided adjacent to the first alignment unit in the fixed block and In the lower module, the second coupling unit provided adjacent to the second alignment unit may be coupled, so that transport in a second direction perpendicular to the first direction among the horizontal directions may be braked.
상기 수평방향 제동부와 수직방향 제동부의 제동력 인가 및 해제를 위한 스위치가 구비되고, 상기 스위치가 작동된 상태에서는 상기 제동력이 해제되고, 상기 스위치의 작동이 해제된 상태에서는 상기 제동력이 인가될 수 있다.A switch is provided for applying and releasing the braking force of the horizontal braking unit and the vertical braking unit, and the braking force is released in a state in which the switch is operated, and the braking force is applied in a state in which the operation of the switch is released. have.
상기 하부모듈에는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부에 대하여 전후 방향과 좌우 방향으로 이송하기 위한 커넥터 체결부 이송수단, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 회전시키기 위한 회전수단이 구비되고; 상기 이송수단의 이송과 상기 회전수단의 회전을 제어하기 위한 제어부가 구비될 수 있다.The lower module includes a connector fastening unit transfer means for transferring the cover separating part and the connector fastening part integrally to the front, back and left and right directions with respect to the valve part, and a rotating means for rotating the cover separating part and the connector fastening part. become; A control unit for controlling the transfer of the transfer means and the rotation of the rotating means may be provided.
상기 상부모듈에는, 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드와, 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 핸들을 회전시키기 위한 밸브개폐부와, 상기 밸브개폐부를 상기 제3이송가이드에 의한 수직방향 이송과 독립적으로 수직방향으로 이송하기 위한 밸브개폐부 이송수단이 구비될 수 있다.In the upper module, a third transfer guide for guiding the vertical transfer of the lower module, a valve opening and closing part for rotating a handle for opening and closing the valve of the valve part, and the valve opening and closing part by the third transfer guide A valve opening/closing unit transfer means for transferring in the vertical direction independently of the vertical transfer may be provided.
상기 커넥터 체결부와 커버 분리부의 정방향 회전과 역방향 회전 및 정지를 위한 스위치가 구비될 수 있다.A switch for forward rotation and reverse rotation and stopping of the connector fastening part and the cover separating part may be provided.
본 발명에 의한 가스공급장치의 얼라인 방법은, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈;이 구비된 가스공급장치의 얼라인 방법에 있어서, a) 상기 하부모듈을 상기 상부모듈에 구비된 복수의 이송가이드를 따라 수평방향과 수직방향으로 이송하는 단계; b) 상기 a)단계의 이송에 의해 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 하고, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와 상기 하부모듈에 구비된 제2얼라인의 일부가 결합되도록 상기 하부모듈을 위치시키는 단계; c) 상기 하부모듈을 수평방향으로 이송하여 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부를 완전 결합하는 단계를 포함한다.An aligning method of a gas supply apparatus according to the present invention includes: an upper module having an upper plate installed to be fixed at a position spaced upward from a valve unit provided at an upper end of a container; A gas supply device having; a cover separating part for separating a cover covering the valve connector provided in the valve part, and a lower module including a connector fastening part for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector; A method of aligning the method comprising: a) transporting the lower module in a horizontal direction and a vertical direction along a plurality of transfer guides provided in the upper module; b) By the transfer of step a), the covers face each other in a state in which the cover separation unit is not inserted, and the first alignment unit provided in the valve unit and the second alignment unit provided in the lower module are formed. positioning the lower module so that a part is coupled; c) transporting the lower module in a horizontal direction to completely couple the first alignment unit and the second alignment unit.
상기 b)단계에서 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합된 상태에서 상기 커버 분리부를 회전시키고, 상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서 상기 c)단계가 이루어질 수 있다.In step b), the cover separation unit is rotated in a state in which a part of the first alignment unit and the second alignment unit are coupled, and step c) may be performed in a state in which the cover separation unit is rotated.
상기 c)단계 이후 상기 상부모듈에 구비된 밸브개폐부가 상기 하부모듈의 수직방향 이송과 독립적으로 이루어지는 수직방향 이송에 의해 하강하여 상기 밸브부에 구비된 핸들을 회전시켜 상기 밸브부의 밸브를 개방할 수 있다.After step c), the valve opening/closing unit provided in the upper module descends by vertical transfer independent of the vertical transfer of the lower module, and the handle provided in the valve unit rotates to open the valve of the valve unit. have.
본 발명에 의하면, 하부모듈이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent damage to the alignment part by allowing the lower module to be vertically moved and aligned during horizontal transfer.
또한, 하부모듈이 상부모듈에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다.In addition, by making the lower module rotatable with respect to the upper module, alignment can be performed more accurately.
또한, 작업자가 용기를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.In addition, since the correct alignment of the container can be achieved even if the operator does not put the container on the correct position of the container loading part, the operation is convenient.
또한, 상부모듈과 하부모듈을 용기측에 구비된 고정블럭에 견고하게 결합된 상태를 유지할 수 있다.In addition, it is possible to maintain the state firmly coupled to the upper module and the lower module to the fixed block provided on the side of the container.
또한, 커버와 커버분리부의 결합시 파손을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent damage when the cover and the cover separation unit are combined.
도 1(a),(b)는 본 발명의 가스공급장치를 일측과 타측에서 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기의 밸브부에 고정블럭이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 도 3과 다른 방향에서 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈에서 상부플레이트를 제거한 상태를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 하부에서 바라본 사시도
도 7은 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 8은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈에서 바닥플레이트와 고정핀 및 가이드핀을 보여주는 도면
도 9는 본 발명의 가스공급장치에서 제1얼라인부와 제2얼라인부가 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 하부모듈을 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10의 상태에서 하부모듈을 더 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 완전 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 12는 도 11의 상태에서 커버 분리부가 밸브 커넥터로부터 분리되고, 커버 분리부와 커넥터 체결부가 일체로 Y방향으로 이송되어 커넥터 체결부가 밸브 커넥터에 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도1 (a), (b) is a perspective view showing the gas supply device of the present invention from one side and the other side;
2 is a perspective view showing a state in which the fixing block is coupled to the valve part of the container in the gas supply device of the present invention;
3 is a perspective view showing an upper module of the gas supply device of the present invention;
4 is a perspective view showing the upper module of the gas supply device of the present invention in a different direction from that of FIG.
5 is a perspective view showing a state in which the upper plate is removed from the upper module of the gas supply device of the present invention;
6 is a perspective view of the upper module of the gas supply device of the present invention viewed from the bottom;
7 is a perspective view showing a lower module of the gas supply device of the present invention;
8 is a view showing a bottom plate, a fixing pin, and a guide pin in the upper module of the gas supply device of the present invention;
9 is a plan view showing a state in which the first alignment unit and the second alignment unit are positioned to face each other in the gas supply device of the present invention;
10 is a plan view showing a state in which the first alignment part and the second alignment part are partially coupled by advancing the lower module in the state of FIG. 9;
11 is a plan view showing a state in which the first alignment part and the second alignment part are fully coupled by further advancing the lower module in the state of FIG. 10 ;
12 is a plan view showing a state in which the cover separating part is separated from the valve connector in the state of FIG. 11, the cover separating part and the connector fastening part are integrally transferred in the Y direction, and the connector fastening part is positioned to face the valve connector;
이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 전후 방향, Y축은 좌우 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다.Here, in referring to the direction, the X axis shown in FIG. 1 is referred to as a front-rear direction, the Y axis is referred to as a left-right direction, and the Z axis is referred to as a vertical direction. In addition, the horizontal direction includes the left-right direction and the front-rear direction formed by the XY plane.
도 1을 참조하면, 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트(211)를 포함하는 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되고 수평방향 이송시 상기 용기(10) 측에 구비된 제1얼라인부(512; 도 2)와의 결합에 의해 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부(351; 도 8)를 포함하되 상기 상부모듈(2)에 대하여 수직방향으로 승하강 이송이 가능한 하부모듈(3)을 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1 , the
상기 상부모듈(2)에는, 상기 하부모듈(3)의 수직방향 이송과 독립적으로 수직방향으로 이송가능하도록 구비되어 상기 밸브부의 상단에 구비된 핸들을 회전시켜 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 밸브개폐부(400)가 구비되어 있다.The upper module (2) is provided so as to be transportable in the vertical direction independently of the vertical transport of the lower module (3), and rotates a handle provided at the upper end of the valve part to open and close the valve of the valve part. 400 is provided.
도 2를 참조하면, 상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다. Referring to FIG. 2 , the
상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(미도시)와, 상기 밸브의 일측에 구비되어 하부모듈(3)의 커넥터 체결부(330; 도7)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)와, 상기 밸브를 개폐하는 밸브 셔터(미도시)와, 상기 밸브 셔터의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터를 승강시켜 밸브가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.The valve part includes a valve (not shown) for controlling the supply of gas, a
상기 밸브부에는 고정블럭(510,520,530)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520,530)에는 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다. Fixing blocks 510, 520, and 530 are coupled to the valve unit. The
상기 고정블럭(510,520,530)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)으로 이루어질 수 있다. The fixing blocks 510 , 520 , and 530 may include a
상기 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.When the valve part is surrounded by the combination of the
상기 제1고정블럭(510)은 Y축 방향의 길이를 갖는 사각통 형상으로 이루어지고, 상기 Y축 방향의 일측면에 상기 제2고정블럭(520)가 결합되고, X축 방향의 일측면에 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.The
상기 제1얼라인부(512)는 상기 X축 방향의 일측면에 오목하게 형성된 얼라인핀 삽입홈(512)으로 이루어질 수 있다.The
도 7을 참조하면, 상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에서 상기 얼라인핀 삽입홈(512)과 마주보는 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(351)으로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 7 , the
상기 얼라인핀(351)이 상기 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.The alignment of the
본 실시예에서는 제1얼라인부(512)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성할 수도 있다.In this embodiment, the
또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.In addition, in the present embodiment, the alignment pin is exemplified as being inserted into the alignment pin insertion groove, but the present invention is not limited thereto, and the first alignment unit and the second alignment unit may be coupled or coupled. A method in which the first alignment part and the second alignment part are inserted, fastened, and coupled is collectively defined as 'coupled'.
상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(512)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에 구비되어 있다.A
상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(512)가 형성된 면과 같은 면에 X축 방향으로 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.The
상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.The
상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.A plurality of protrusions 352a are provided on the outer surface of the fixing
상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.When the fixing
도 3 내지 도 6을 참조하면, 상기 상부모듈(2)에는, 상부플레이트(211), 중간플레이트(212), 하부플레이트(213), 제1이송가이드(220), 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242), 밸브개폐부(400)가 구비되어 있다.3 to 6 , the
상기 상부플레이트(211)는 평판 형상으로 이루어진 것으로서, 도시되지 않은 캐비넷과 같이 위치가 고정된 상대물에 결합되어 있다.The
상기 중간플레이트(212)도 평판 형상으로 이루어지되, 중간부가 높도록 단차진 형상으로 이루어진 것으로서, 상기 상부플레이트(211)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다. The
상기 하부플레이트(213)도 평판 형상으로 이루어지고, 상기 중간플레이트(212)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다.The
상기 제1이송가이드(220)는 상기 상부플레이트(211)와 중간플레이트(212) 사이에 구비되어, 상기 중간플레이트(212)와 제2이송가이드(230)와 하부플레이트(213)와 제3이송가이드(241,242)와 하부모듈(3) 및 밸브개폐부(400)를 포함하여 상기 중간플레이트(212)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향인 Y축 방향(제1방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The
상기 제2이송가이드(230)는 상기 중간플레이트(212)와 하부플레이트(213) 사이에 구비되어, 상기 하부플레이트(231)와 제3이송가이드(241,242)와 하부모듈(3) 및 밸브개폐부(400)를 포함하여 상기 하부플레이트(231)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향으로서 Y축에 직교하는 X축 방향(제2방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The
상기 하부플레이트(213)에는 Y축 방향의 양측면에 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)가 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)로부터 이격된 위치에 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)가 구비되어 있다. A pair of transport
상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)는 상기 하부플레이트(213)의 일측과 타측에 서로 대향하도록 구비되어 있고, 상하 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로 이루어져 있다.The pair of transfer
상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)와 타측의 이송가이드 지지부재(252)는 상하 방향의 길이를 갖는 직사각형의 플레이트 형상으로 이루어지고, 상기 일측의 이송가이드 결합플레이트(243)와 타측의 이송가이드 결합플레이트(244)로부터 각각 Y축 방향의 외측으로 이격되어 구비된다.The transfer
상기 일측의 이송가이드 결합플레이트(243)와 이송가이드 지지부재(251) 사이, 상기 타측의 이송가이드 결합플레이트(244)와 이송가이드 지지부재(252) 사이에는 제3이송가이드(242)가 각각 구비되어 있다. A
상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)와 타측의 이송가이드 지지부재(252)의 하단부에는 Y축 방향의 길이를 갖는 직사각형 형상의 바닥플레이트(253)의 일측면과 타측면이 각각 결합되어 있다. 상기 바닥플레이트(253)의 하부에 상기 하부모듈(3)이 결합되어 있다.the one side One side and the other side of the
상기 제3이송가이드(241,242)는 상기 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)와 바닥플레이트(253) 및 상기 바닥플레이트(253)에 결합된 하부모듈(3)을 일체로 수직방향으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.The third transfer guides 241,242 guide the pair of transfer guide support members 251,252 and the
상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 구동수단이 연결되지 않고, 작업자가 수동으로 이송할 수 있도록 가이드 기능만 한다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 손으로 잡고 X축, Y축, Z축 방향으로 힘을 가하게 되면 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드를 따라 하부모듈(3)이 이송된다.A driving means is not connected to the first to third transfer guides 220 , 230 , 241,242 , and serves only as a guide function so that an operator can manually transfer it. That is, when the operator holds the
상기 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에는 브레이크 기능을 하는 제동부가 구비될 수 있다. The
상기 제1이송가이드(220)에 의해 가이드되어 제1방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(225)가 구비될 수 있다. When guided by the
상기 제3이송가이드(241,242)에 의해 수직방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수직방향 제동부(260)가 구비될 수 있다.When vertically transferred by the third transfer guides 241,242, a
상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 스프링(미도시)의 누르는 힘으로 LM가이드의 레일을 잡고 있는 상태에서는 제동력이 유지되고, 에어(air)를 공급하여 상기 스프링의 누르는 힘을 레일로부터 제거하면 제동력이 해제되는 것으로 구성할 수 있다.The
상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 동작 신호를 인가하기 위한 스위치박스(270)가 구비될 수 있다. A
상기 스위치박스(270)에는 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력 인가 및 해제를 위한 제1스위치(271), 후술하는 커넥터 체결부(330)와 커버 분리부(320)의 회전 및 정지를 위한 제2스위치(272)가 구비되어 있다. 상기 제1스위치(271)와 제2스위치(272)는 작업자가 손으로 작동시키는 방식으로 구성할 수도 있고, 솔레노이드 밸브와 같이 손으로 작동시키지 않고도 온/오프시키는 방식으로 구성할 수도 있다.The
작업자가 상기 스위치박스(270)의 제1스위치(271)를 눌러 작동된 상태에서는 에어(air)의 공급에 의해 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 해제되어 하부모듈(3)이 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되어 Y축 및 Z축 방향으로 자유롭게 움직일 수 있게 된다. 작업자가 제1스위치(271)에서 손을 떼 스위치의 작동이 해제된 순간 스위치는 스프링의 힘에 의해 자동 복귀되어 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 인가되어 하부모듈(3)이 움직이지 않고 고정된 상태를 유지할 수 있다.In a state in which the operator presses the
상기 제2스위치(272)는 토글 스위치로 이루어질 수 있다. 상기 제2스위치(272)는 상기 커넥터 체결부(330)와 커버 분리부(320)를 정방향으로 회전시키거나, 역방향으로 회전시킬 수 있도록 구비되어 있다.The
상기 하부모듈(3)의 상부와 상기 상부모듈(2)의 하부는 고정핀에 의해 결합되고, 상기 하부모듈(3)과 상부모듈(2) 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 하부모듈(3)이 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성되도록 구성할 수 있다. 이와 같은 구성의 일례를 도 8을 참조하여 설명한다.The upper part of the
도 8을 참조하면, 상기 바닥플레이트(253)의 중앙에는 고정핀(254)이 삽입되는 고정핀 삽입구멍(미도시)이 형성되어 있고, 상기 고정핀 삽입구멍의 양측부에는 한 쌍의 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 8 , a fixing pin insertion hole (not shown) into which a
상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)은 X축 방향의 길이를 갖는 장공(長孔)으로 이루어질 수 있다. 상기 한 쌍의 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)에는 한 쌍의 가이드핀(255,256)이 각각 삽입되어 있다.The guide
상기 고정핀(254)과 가이드핀(255,256)의 머리부는 바닥플레이트(253)의 상부로 노출되고, 몸통부는 고정핀 삽입구멍과 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)에 각각 삽입되어 있으며, 하단부는 후술하는 하부모듈(3)의 상부하우징(311)에 나사 결합되어 있다. 상기 고정핀(254)은 상기 고정핀 삽입구멍을 통과하도록 삽입되어 있어 바닥플레이트(253)에 대하여 상대 회전이 가능하다.The head of the fixing
상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 각각은 장공으로 이루어져 있어, 상기 가이드핀(255,256)은 상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)의 길이방향을 따라 이동가능하다. 또한, 상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)은 가이드핀(255,256)이 고정핀(254)을 중심으로 회전되도록 하기 위해 원호 형상으로 이루어질 수 있다.Each of the guide
이와 같이 구성하게 되면, 상기 하부모듈(3)은 상기 상부모듈(2)에 대하여 수평방향으로 회전 가능하게 된다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 회전시키고자 하는 방향으로 힘을 가하게 되면, 하부모듈(3)이 고정핀(254)을 회전 중심으로 하여 회전하게 된다. 이 경우 상기 가이드핀(255,256)이 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 내에서 가이드되고, 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)의 길이에 의해 회전각도가 제한된다.With this configuration, the
이와 같이 상기 하부모듈(3)은 상기 상부모듈(3)에 대하여 수평 방향으로 회전되고, 이와 동시에 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에 의해 X축, Y축, Z축 방향으로 직선 이동 가능하므로, 작업자가 손쉽게 얼라인을 할 수 있고, 정확한 얼라인이 가능하므로 얼라인시에 제1얼라인부와 제2얼라인부가 충돌하는 것을 방지할 수 있다.In this way, the
상기 밸브개폐부(400)는 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 핸들(50)을 회전시킬 수 있도록 구비되어 있다.The valve opening and closing
상기 밸브개폐부(400)는 상기 핸들(50)이 내부공간(411)에 삽입되는 핸들결합부(410), 상기 핸들결합부(410)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 핸들구동부(420)를 포함한다. The valve opening/
상기 핸들결합부(410)의 내부에는 핸들(50)의 형상에 대응하도록 내측으로 돌출되어 핸들과 걸림되어 일체로 회전되도록 하는 복수의 핸들걸림부(412)가 형성되어 있다. 상기 핸들(50)이 내부공간(411)에 삽입된 상태에서 핸들구동부(420)를 구동하면, 핸들(50)이 회전하여 밸브부의 밸브가 개폐된다.A plurality of
상기 밸브개폐부(400)를 수직방향으로 이송하기 위한 밸브개폐부 이송수단(미도시)이 구비된다. 상기 밸브개폐부 이송수단은 상기 제3이송가이드(241,242)와는 독립적으로 수직방향으로 이송되도록 구비되어 있다. 즉, 하부모듈(3) 전체는 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되면서 수직방향으로 이동가능하고, 상기 하부모듈(3)에서 밸브개폐부(400)만 별도로 상기 밸브개폐부 이송수단에 의해 수직방향으로 이동가능하도록 되어 있다. 이를 위해 상기 밸브개폐부 이송수단은, 수직방향으로의 이송을 가이드하기 위한 제4이송가이드(430)와, 상기 제4이송가이드(430)를 따라 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(미도시)와, 상기 제4이송가이드(430)가 결합되는 밸브개폐부 지지부재(440)로 이루어질 수 있다. 상기 제4이송가이드(430)는 LM가이드로 이루어질 수 있다. 상기 밸브개폐부 지지부재(440)는 수직 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로서, 바닥플레이트(253)에 결합되어 바닥플레이트(253)와 일체로 승하강되도록 되어 있다.A valve opening/closing unit transfer means (not shown) for transferring the valve opening/
도 7을 참조하여 하부모듈(3)에 대해 설명한다.The
상기 하부모듈(3)에는, 복수의 하우징(311,312,313,314)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 커넥터 체결부 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370)가 구비되어 있다.In the
상기 복수의 하우징(311,312,313,314)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 Y축 방향 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313), 상기 상부하우징(311)으로부터 하측으로 이격되고 양측이 상기 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)에 결합된 하부하우징(314)으로 이루어진다.The plurality of
상기 상부하우징(311)에는 상부모듈(2)의 고정핀(254)과 가이드핀(255,256)의 하단부가 결합된다. 상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313) 및 하부하우징(314)은 상기 하부모듈(3)의 전후방을 제외하고 상부와 하부 및 양 측부를 둘러싸도록 구비되어 있다.The fixing
상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다. The
상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)가 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 회전수단(미도시)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다.The
상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 밸브(20)를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스 소요처에 공급된다.The
상기 커넥터 체결부 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(Y축 방향)과 전후 방향(X축 방향)으로 이송한다. 상기 커넥터 체결부 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단으로 이루어질 수 있다. The connector fastening part transfer means 340 transfers the
상기 제1이송수단은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.The first transfer means may include a transfer guide for transferring in the front-rear direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air. In addition, the second conveying means may include a conveying guide for conveying in the left and right directions, and an air cylinder for applying a conveying force by supply of air.
상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다. The rotating means rotates the
상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단(380)은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.The rotation transmission member transmits the rotational force to the
상기 밸브개폐부 이송수단과 커넥터 체결부 이송수단(340)과 상기 회전수단을 포함하여 본 발명의 가스공급장치 전체를 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다.A control unit for controlling the entire gas supply apparatus of the present invention, including the valve opening/closing unit transferring means, the connector fastening
상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 설치되도록, 전방과 후방이 개방되고 좌우와 상하를 둘러싸는 내부하우징(315)이 구비될 수 있다. 상기 내부하우징(315)은 하부하우징(314)의 상부에 결합될 수 있다.In order to install the
상기 얼라인블럭(350)은 상기 내부하우징(315)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 다면체 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀(351)이 상기 밸브부를 향해 돌출된 형상으로 형성되어 있고, 상기 얼라인핀(351)의 측부에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.The
상기 플러그모듈(360)은, 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그 이송가이드(364)가 결합되어 지지되고 상기 제1측면하우징(312)에 결합된 플러그 모듈 지지대(316)를 포함하여 이루어진다.The
상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)에 새로운 개스킷을 장착하기 위한 것으로서, 개스킷(미도시)을 파지하는 개스킷 홀더(미도시), 복수의 개스킷을 수용하는 개스킷 수용부(미도시), 상기 개스킷 수용부에 수용된 개스킷을 상기 연결배관 커넥터(331)에 장착하기 위해 이송하는 개스킷 이송수단을 포함하여 이루어진다. 상기 개스킷 이송수단은 상기 개스킷 홀더에 개스킷이 파지된 상태에서 Y축 방향을 따라 왕복 이동하도록 구비되어 있다.The
도 9 내지 도 12를 참조하여 본 발명에 의한 가스공급장치의 동작에 대해 설명한다.An operation of the gas supply device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 9 to 12 .
먼저, 용기를 교체하기 위해 새로운 용기(10)를 용기 적재부(미도시) 위에 적재한다. 이 경우 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 제동이 이루어진 상태이므로, 하부모듈(3)은 Y축 방향 및 Z축 방향으로는 움직이지 않고 고정된 상태를 유지하고 있다.First, a
그 다음 작업자가 제1스위치(271)를 누른다. 상기 제1스위치(271)를 누르고 있으면 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 해제되어 하부모듈(3)이 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되어 Y축 및 Z축 방향으로 자유롭게 움직일 수 있는 상태가 된다.Next, the operator presses the
이 상태에서 작업자가 하부모듈(3)에 힘을 가하여 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 움직여 도 9에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)가 제1얼라인부(512)와 마주보도록 얼라인이 이루어진다. 이 경우 제2결합부(352)가 제1결합부(511)와 마주보도록 위치하게 된다.In this state, the operator applies a force to the
이와 같이 얼라인을 할 때 작업자가 하부모듈(3)에 수평방향으로 회전되도록 힘을 가하게 되면, 고정핀(254)을 회전 중심으로 하여 한 쌍의 가이드핀(255,256)이 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 내부에서 전후 방향으로 움직이게 되어 하부모듈(3)이 XY평면 상에서 회전되므로 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있다. When aligning as described above, when the operator applies force to the
도 9의 상태에서 계속하여 작업자가 하부모듈(3)의 위치를 조절하여, 도 10에 나타난 바와 같이 얼라인핀(351)의 일부만 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 한다.Continuing from the state of FIG. 9 , the operator adjusts the position of the
도 9의 상태와 도 10의 상태는 작업자의 연속적인 작업으로 인해 한 번의 동작으로 이루어질 수 있다.The state of FIG. 9 and the state of FIG. 10 may be performed in one operation due to the continuous operation of the operator.
이와 같이 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로의 이송과 함께 수평방향으로 회전시키면 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)를 손쉽게 얼라인시킬 수 있다.In this way, when the operator rotates the
한편, 얼라인핀(351)이 얼라인블럭(350)으로부터 돌출된 길이가 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 얼라인블럭(350)으로부터 돌출된 길이보다 길게 형성되어 있어, 상기 얼라인핀(351)의 일부만 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되면, 제1결합부(511)와 제2결합부(352)는 결합되지 않은 상태이고, 커버 분리부(320)와 커버(31)가 덮인 밸브 커넥터(30)가 대향하도록 위치하게 된다.On the other hand, the length of the
이와 같은 상태가 되면 작업자는 제1스위치(271)에서 손을 뗀다. 상기 제1스위치(271)에서 손을 떼면, 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 제동력이 인가되어 하부모듈(3)은 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동되지 않고 고정된 상태를 유지하게 된다.When this state is reached, the operator releases the hand from the
이 상태에서 작업자는 제2스위치(272)를 조작하면 회전수단이 구동되어 상기 커버 분리부(320)가 회전된다. 상기 커버(31)의 형상이 일례로, 육각형으로 이루어져 있는 경우 상기 커버 분리부(320)의 홈도 그에 대응하도록 육각형으로 이루어지게 된다. In this state, when the operator operates the
상기 커버 분리부(320)의 홈의 육각형과 커버(31)의 육각형의 위상이 일치되지 않은 상태에서, 상기 커버 분리부(320)의 홈 내부에 커버(31)를 삽입하기 위해 하부모듈(3)을 전진시키면, 커버 분리부(320)와 커버(31)의 충돌이 발생하게 된다.In a state in which the hexagon of the groove of the
따라서 본 발명에서는 작업자가 제2스위치(272)를 조작하여 커버 분리부(320)를 회전시키면서 하부모듈(3)을 전진시키면, 커버 분리부(320)의 홈과 커버(31)의 위상이 일치되는 순간 커버 분리부(320)와 커버(31)의 형합이 이루어져 충돌없이 결합이 가능해진다. Therefore, in the present invention, when the
또한, 센서를 이용하여 커버(31)의 육각형 형상을 감지하여 커버 분리부(320)와의 위상을 일치시키는 방법도 있으나, 본 발명에 의하면 센서를 구비할 필요가 없다.In addition, there is a method of detecting the hexagonal shape of the
도 10의 상태에서 하부모듈(3)을 전방으로 더 밀면, 도 11에 나타난 바와 같이, 얼라인핀(351)의 전체가 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되어 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 완전 결합 상태가 된다. 이 경우 제1결합부(511)에 제2결합부(352)가 삽입되어 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입됨으로써 상기 제1결합부(511)와 제2결합부(352)의 결합이 이루어져 하부모듈(3)이 X축 방향으로 이동되지 않고 고정된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 커버 분리부(320)의 홈에 커버(31)가 삽입된다.When the
이와 같은 상태가 되면, 하부모듈(3)은 Y축과 Z축 방향으로의 이송은 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)에 의해 제동되고, X축 방향으로의 이송은 제1결합부(511)와 제2결합부(352)의 결합에 의해 제동되므로, X,Y,Z축 모든 방향에 대하여 고정된 상태를 유지할 수 있다. When this state is reached, the
도 11의 상태가 되면, 그 이후의 동작은 작업자가 동작 신호를 인가하여 제어부에 의해 자동으로 동작이 이루어진다.When the state of FIG. 11 is reached, subsequent operations are automatically performed by the control unit by the operator applying an operation signal.
상기 제어부에 의해 회전수단이 구동되어 커버 분리부(320)를 회전시킴과 동시에, 상기 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 후방으로 이동시키면, 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된다.When the rotating means is driven by the control unit to rotate the
상기 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된 후 커넥터 체결부 이송수단(340)의 제2이송수단을 구동하면, 도 12에 나타난 바와 같이 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 일체로 Y축 방향을 따라 이동하여 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 마주보도록 위치하게 된다.After the
그 후 개스킷 이송수단을 구동하여 개스킷 홀더에 개스킷이 파지된 상태에서 Y축 방향을 따라 이송되어 밸브 커넥터(30)의 단부에 개스킷(371)이 위치하게 된다.Thereafter, the gasket transfer means is driven to transfer the gasket in the Y-axis direction while the gasket is gripped by the gasket holder, so that the gasket 371 is positioned at the end of the
그 다음 커넥터 체결부 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)를 전방으로 이송함과 동시에 회전수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)가 회전하게 되면, 커넥터 체결부(330)의 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합되고, 개스킷 이송수단을 구동하여 개스킷 홀더는 밸브 커넥터(30)로부터 벗어난 위치로 이동하게 된다.Then, when the
상기와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서, 밸브개폐부 이송수단의 구동부를 구동하면, 밸브개폐부(400)가 제4이송가이드(430)에 의해 가이드되어 수직방향으로 하향 이동하게 되고, 핸들결합부(410)의 내부공간(411)에 핸들(50)이 삽입된다.When the
상기 핸들결합부(410)에 핸들(50)이 삽입된 상태에서 핸들구동부(420)를 구동하면, 핸들(50)이 회전되어 밸브부의 밸브가 개방되고, 용기(10)에 수용된 가스가 가스소요처에 공급된다.When the
상기와 같은 구성에 의하면, 하부모듈(3)이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 제1얼라인부와 제2얼라인부의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 하부모듈(3)이 상부모듈(2)에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 또한, 작업자가 용기(10)를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.According to the above configuration, the
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.As described above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are made within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is possible to carry out and this also belongs to the present invention.
1 : 가스공급장치
2 : 상부모듈
3 : 하부모듈
10 : 용기
20 : 밸브
30 : 밸브 커넥터
31 : 커버
50 : 핸들
211 : 상부플레이트
212 : 중간플레이트
213 : 하부플레이트
220 : 제1이송가이드
225 : 수평방향 제동부
230 : 제2이송가이드
241,242 : 제3이송가이드
243,244 : 이송가이드 결합플레이트
251,252 : 이송가이드 지지부재
253 : 바닥플레이트
253a,253b : 가이드핀 삽입구멍
254 : 고정핀
255,256 : 가이드핀
260 : 수직방향 제동부
270 : 스위치박스
271 : 제1스위치
272 : 제2스위치
311 : 상부하우징
312 : 제1측면하우징
313 : 제2측면하우징
314 : 하부하우징
315 : 내부하우징
316 : 플러그 모듈 지지대
320 : 커버 분리부
330 : 커넥터 체결부
331 : 연결배관 커넥터
340 : 이송수단
350 : 얼라인블럭
351 : 제2얼라인부
352 : 제2결합부
352a : 돌기
360 : 플러그모듈
361 : 플러그
362 : 플러그 지지부재
363 : 플러그 지지 하우징
364 : 플러그 이송가이드
370 : 개스킷 공급부
371 : 개스킷
372 : 개스킷 홀더
374 : 개스킷 이동수단
380 : 회전수단
400 : 밸브개폐부
410 : 핸들결합부
412 : 핸들걸림부
420 : 핸들구동부
510, 520, 530 : 고정블럭
511 : 제1결합부
512 : 제1얼라인부1: gas supply device 2: upper module
3: lower module 10: container
20: valve 30: valve connector
31: cover 50: handle
211: upper plate 212: middle plate
213: lower plate 220: first transfer guide
225: horizontal braking unit 230: second transfer guide
241,242: third transfer guide 243,244: transfer guide coupling plate
251,252: transfer guide support member 253: bottom plate
253a, 253b: guide pin insertion hole 254: fixing pin
255,256: guide pin 260: vertical brake
270: switch box 271: first switch
272: second switch 311: upper housing
312: first side housing 313: second side housing
314: lower housing 315: inner housing
316: plug module support 320: cover separation part
330: connector fastening part 331: connecting pipe connector
340: transport means 350: align block
351: second alignment part 352: second coupling part
352a: projection 360: plug module
361: plug 362: plug support member
363: plug support housing 364: plug transport guide
370: gasket supply 371: gasket
372: gasket holder 374: gasket moving means
380: rotation means 400: valve opening and closing part
410: handle coupling portion 412: handle engaging portion
420: handle driving
511: first coupling part 512: first alignment part
Claims (24)
상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기와의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 수평방향 및 수직방향으로 이송이 가능한 하부모듈;
을 포함하고,
상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 위치한 경우 상기 얼라인시 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합될 수 있도록 구비된 가스공급장치an upper module having an upper plate installed to be fixed at a position spaced upward from the valve unit provided at the upper end of the container;
A cover separating unit for separating a cover covering the valve connector provided in the valve unit, a connector coupling unit for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector, and a first aligner provided in the valve unit a lower module including a second alignment part that is aligned with the container by coupling with a worker, and capable of being transported in a horizontal direction and a vertical direction with respect to the upper module;
including,
When the covers are positioned to face each other in a state in which they are not inserted into the cover separation unit, a gas supply device provided so that a part of the first alignment unit and the second alignment unit can be coupled to each other during the alignment.
상기 제1얼라인부와 제2얼라인부 중 어느 하나는 수평방향의 길이를 갖는 핀 형상의 얼라인핀으로 이루어지고, 나머지 하나는 상기 얼라인핀이 삽입되는 얼라인핀 삽입홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
One of the first alignment part and the second alignment part is formed of a pin-shaped alignment pin having a horizontal length, and the other is formed of an alignment pin insertion groove into which the alignment pin is inserted. gas supply device
상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부 방향으로 전후진시키는 커넥터 체결부 이송수단이 구비되고;
상기 제2얼라인부의 수평방향 이송과 상기 커넥터 체결부 이송수단에 의한 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 이송은 독립적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
a connector fastening part transfer means for moving the cover separating part and the connector fastening part back and forth in the direction of the valve part integrally is provided;
The horizontal transfer of the second alignment part and the transfer of the cover separating part and the connector fastening part by the connector fastening part transfer means are independently performed.
상기 제2얼라인부는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 외측을 적어도 일부 둘러싸고 상기 상부모듈에 구비된 이송가이드를 따라 상기 밸브부 방향으로 전후진하는 하우징에 결합된 것을 특징으로 하는 가스공급장치4. The method of claim 3,
The second alignment part is coupled to a housing that at least partially surrounds the outside of the cover separation part and the connector fastening part and moves forward and backward in the valve part direction along a transfer guide provided in the upper module.
상기 하우징에는 얼라인 블럭이 결합되고, 상기 제2얼라인부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치5. The method of claim 4,
An alignment block is coupled to the housing, and the second alignment unit is provided on a surface facing the valve unit from the alignment block.
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고;
상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부에 결합되도록 하기 위한 제2결합부가 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비되고;
상기 제2얼라인부가 상기 제1얼라인부 방향으로 이송되어, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되면, 상기 제1결합부와 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합 상태가 유지되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
the first alignment unit is provided on a fixed block coupled to the valve unit;
a second coupling part for coupling to the first coupling part provided adjacent to the first alignment part in the fixing block is provided adjacent to the second alignment part in the lower module;
When the second alignment unit is transferred in the direction of the first alignment unit and the first alignment unit and the second alignment unit are in a fully coupled state in a partially coupled state, the first coupling unit and the second coupling unit are coupled to each other and the Gas supply device, characterized in that the coupling state of the fixed block and the lower module is maintained
상기 하부모듈에는 얼라인 블럭이 결합되고;
상기 제2결합부는 상기 얼라인블럭에 구비되어 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어지고;
상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지며;
상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정홈 내부에서 홈과 돌기의 걸림에 의해 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 홈과 돌기의 걸림이 해제되어 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있는 것을 특징으로 하는 가스공급장치7. The method of claim 6,
an align block is coupled to the lower module;
the second coupling part is provided on the align block and is formed of a fixing block coupling member protruding toward the first coupling part;
The first coupling portion is made of a fixing groove formed in the fixing block so that the fixing block coupling member is inserted;
When the fixing block coupling member is inserted into the fixing groove, the fixing block coupling member is prevented from being pulled out from the fixing groove by the engagement of the groove and the projection inside the fixing groove, and when air is supplied, the groove and the projection are caught. This is released so that the fixing block coupling member can be pulled out from the fixing groove.
상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서, 상기 하부모듈을 상기 밸브부 방향으로 이송시키면, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되고, 상기 커버가 커버 분리부의 홈의 형상에 형합되면서 삽입되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치7. The method of claim 6,
When the lower module is transferred in the direction of the valve part in a state in which the cover separating part is rotated, the first and second aligning parts are in a fully engaged state in a partially coupled state, and the cover is inserted into the groove of the cover separating part. Gas supply device, characterized in that it is inserted while being molded into the shape
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평방향으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
The lower module is a gas supply device, characterized in that it is rotatable in a horizontal direction with respect to the upper module.
상기 하부모듈의 상부와 상기 상부모듈의 하부는 고정핀에 의해 결합되고;
상기 하부모듈과 상부모듈 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성된 것;
을 특징으로 하는 가스공급장치10. The method of claim 9,
an upper portion of the lower module and a lower portion of the upper module are coupled by a fixing pin;
at least one guide pin is coupled to any one of the lower module and the upper module, and the guide pin is inserted into the other, so that a guide pin insertion hole is formed so that the fixing pin can be rotated around the rotation center;
Gas supply device characterized in that
상기 가이드핀과 가이드핀 삽입구멍은 상기 고정핀의 양측에 한 쌍이 각각 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치11. The method of claim 10,
A pair of the guide pin and the guide pin insertion hole are provided on both sides of the fixing pin, respectively.
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평 방향으로 회전과 동시에 직선 이동 가능한 것을 특징으로 하는 가스공급장치10. The method of claim 9,
The lower module rotates in a horizontal direction with respect to the upper module and is linearly movable at the same time.
상기 상부모듈에는,
상기 하부모듈이 수평방향 중 어느 하나인 제1방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위해 구비된 제1이송가이드;
상기 하부모듈이 수평방향 중 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위한 제2이송가이드;
가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
In the upper module,
a first transfer guide provided to guide the lower module to be transferred in a first direction, which is any one of the horizontal directions;
a second conveying guide for guiding that the lower module is conveyed in a second direction orthogonal to the first direction among horizontal directions;
Gas supply device, characterized in that provided with
상기 상부플레이트와 중간플레이트와 하부플레이트가 상부에서부터 하부로 서로 이격되도록 구비되고;
상기 상부플레이트와 중간플레이트 사이에 상기 제1이송가이드가 구비되고;
상기 중간플레이트와 하부플레이트 사이에 상기 제2이송가이드가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치14. The method of claim 13,
the upper plate, the intermediate plate, and the lower plate are provided to be spaced apart from each other from the top to the bottom;
the first transfer guide is provided between the upper plate and the intermediate plate;
Gas supply device, characterized in that the second transfer guide is provided between the intermediate plate and the lower plate.
상기 상부모듈에는 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
Gas supply device, characterized in that the upper module is provided with a third transfer guide for guiding the vertical transfer of the lower module.
상기 하부모듈의 수직방향 이송을 제동하기 위한 수직방향 제동부;
상기 수평방향 중 상기 밸브부를 향하는 방향에 수직인 제1방향으로의 직선이송을 제동하기 위한 수평방향 제동부;
가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
a vertical braking unit for braking the vertical transfer of the lower module;
a horizontal braking unit for braking the linear transfer in a first direction perpendicular to the direction toward the valve unit in the horizontal direction;
Gas supply device, characterized in that provided with
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고;
상기 수직방향 제동부에 의해 수직방향 이송이 제동되고, 상기 수평방향 제동부에 의해 제1방향 이송이 제동된 상태에서, 상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부와 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비된 제2결합부가 결합됨으로써 상기 수평방향 중 상기 제1방향에 수직인 제2방향 이송이 제동되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치17. The method of claim 16,
the first alignment unit is provided on a fixed block coupled to the valve unit;
In a state in which the vertical transfer is braked by the vertical brake unit and the first direction feed is braked by the horizontal brake unit, a first coupling unit provided adjacent to the first alignment unit in the fixed block and In the lower module, a second coupling part provided adjacent to the second aligning part is coupled to thereby brake a second transfer in a second direction perpendicular to the first direction among the horizontal directions.
상기 수평방향 제동부와 수직방향 제동부의 제동력 인가 및 해제를 위한 스위치가 구비되고, 상기 스위치가 작동된 상태에서는 상기 제동력이 해제되고, 상기 스위치의 작동이 해제된 상태에서는 상기 제동력이 인가되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치17. The method of claim 16,
A switch for applying and releasing the braking force of the horizontal braking unit and the vertical braking unit is provided, the braking force is released when the switch is operated, and the braking force is applied when the operation of the switch is released Gas supply device characterized by
상기 하부모듈에는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부에 대하여 전후 방향과 좌우 방향으로 이송하기 위한 커넥터 체결부 이송수단, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 회전시키기 위한 회전수단이 구비되고;
상기 이송수단의 이송과 상기 회전수단의 회전을 제어하기 위한 제어부가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
The lower module includes a connector fastening unit transfer means for transferring the cover separating part and the connector fastening part integrally to the front, back and left and right directions with respect to the valve part, and a rotating means for rotating the cover separating part and the connector fastening part. become;
Gas supply device, characterized in that the control unit for controlling the transfer of the transfer means and rotation of the rotating means is provided.
상기 상부모듈에는, 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드와, 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 핸들을 회전시키기 위한 밸브개폐부와, 상기 밸브개폐부를 상기 제3이송가이드에 의한 수직방향 이송과 독립적으로 수직방향으로 이송하기 위한 밸브개폐부 이송수단이 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
In the upper module, a third transfer guide for guiding the vertical transfer of the lower module, a valve opening and closing part for rotating a handle for opening and closing the valve of the valve part, and the valve opening and closing part by the third transfer guide Gas supply device, characterized in that provided with a valve opening and closing unit transfer means for transferring in the vertical direction independently of the vertical transfer
상기 커넥터 체결부와 커버 분리부의 정방향 회전과 역방향 회전 및 정지를 위한 스위치가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치According to claim 1,
Gas supply device, characterized in that a switch is provided for forward rotation and reverse rotation and stop of the connector fastening part and the cover separating part
a) 상기 하부모듈을 상기 상부모듈에 구비된 복수의 이송가이드를 따라 수평방향과 수직방향으로 이송하는 단계;
b) 상기 a)단계의 이송에 의해 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 하고, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와 상기 하부모듈에 구비된 제2얼라인의 일부가 결합되도록 상기 하부모듈을 위치시키는 단계;
c) 상기 하부모듈을 수평방향으로 이송하여 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부를 완전 결합하는 단계;
를 포함하는 가스공급장치의 얼라인 방법an upper module having an upper plate installed to be fixed at a position spaced upward from the valve unit provided at the upper end of the container; A gas supply device having; a cover separating part for separating a cover covering the valve connector provided in the valve part, and a lower module including a connector fastening part for connecting a connecting pipe connector connected to a gas source to the valve connector; In the alignment method of
a) transferring the lower module in horizontal and vertical directions along a plurality of transfer guides provided in the upper module;
b) By the transfer of step a), the covers face each other in a state in which the cover separation unit is not inserted, and the first alignment unit provided in the valve unit and the second alignment unit provided in the lower module are formed. positioning the lower module so that a part is coupled;
c) transferring the lower module in a horizontal direction to completely combine the first alignment part and the second alignment part;
Alignment method of a gas supply device comprising a
상기 b)단계에서 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합된 상태에서 상기 커버 분리부를 회전시키고, 상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서 상기 c)단계가 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 얼라인 방법23. The method of claim 22,
The gas supply device, characterized in that in step b), the cover separation unit is rotated in a state in which the first alignment unit and the second alignment unit are partially coupled, and step c) is performed in a state in which the cover separation unit is rotated. align method of
상기 c)단계 이후 상기 상부모듈에 구비된 밸브개폐부가 상기 하부모듈의 수직방향 이송과 독립적으로 이루어지는 수직방향 이송에 의해 하강하여 상기 밸브부에 구비된 핸들을 회전시켜 상기 밸브부의 밸브를 개방하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 얼라인 방법23. The method of claim 22,
After step c), the valve opening/closing unit provided in the upper module descends by vertical transfer independent of the vertical transfer of the lower module, and rotating the handle provided in the valve unit to open the valve of the valve unit. Alignment method of the gas supply device, characterized in that
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