KR102241538B1 - Gas supply apparatus and gasket replacing method - Google Patents

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김용철
서철교
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주식회사 케이씨
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Abstract

The present invention is to provide a gas supply apparatus and a gasket replacing method, which can attach a gasket to a valve connector of a container so as to prevent double insertion of the gasket. The gasket replacing method of the present invention comprises the steps of: a) coupling the valve connector provided in the container and a connecting pipe connector connected to a gas consumer with the gasket interposed therebetween; b) releasing the coupling between the valve connector and the connecting pipe connector; and c) transferring the gasket after separating the gasket between the valve connector and the connecting pipe connector. The process of performing steps a) to c) includes a step of enabling a gasket holder to grip the gasket, and simultaneously transferring the gasket holder holding the gasket and the connecting pipe connector.

Description

가스공급장치와 개스킷 교체 방법{Gas supply apparatus and gasket replacing method}Gas supply apparatus and gasket replacing method

본 발명은 가스공급장치와 개스킷 교체 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 개스킷의 이탈을 방지하고, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device and a gasket replacement method, and more particularly, to a gas supply device and a gasket replacement method capable of preventing separation of the gasket and preventing the gasket from sticking to a valve connector of a container.

일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.In general, in the case of a device using gas, in particular, a device that supplies gas to a gas source where precise work is performed such as semiconductor equipment, it is required that a gas of a kind suitable for each purpose satisfies a certain concentration and pressure.

이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.In order to provide this efficiently, many types of gases are stored under high pressure. In particular, gases having harmful properties such as flammability, toxicity, and corrosiveness are strictly managed in a separate space where people are blocked.

가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.The gas storage container (hereinafter, abbreviated as'container') that stores gas is connected to the gas source, and when all the gas stored in the container is consumed, the connection pipe connected to the gas source is separated from the valve of the gas container. After the container is replaced, gas is supplied again by connecting the connection pipe connector connected to the gas source to the valve connector of the replaced container.

상기 용기의 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 결합되는 경우에는 이들 사이에 기밀 유지를 위한 개스킷(gasket)이 구비된다. 이러한 개스킷은 수지 재질로 이루어져 있어, 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 장시간 결합된 상태에서 용기의 교체를 위해 밸브 커넥터로부터 연결배관 커넥터를 분리하는 경우, 개스킷이 밸브 커넥터에 그대로 붙어 있는 경우가 발생한다.When the valve connector of the container and the connection pipe connector are coupled, a gasket is provided between them for maintaining airtightness. Such a gasket is made of a resin material, and when the connection pipe connector is disconnected from the valve connector for replacement of the container while the valve connector and the connection pipe connector are connected for a long time, the gasket may remain attached to the valve connector.

이와 같이 밸브 커넥터에 개스킷이 붙어 있는 경우에는 이를 감지하는 별도의 수단이 없고, 감지 센서 등을 이용하여 개스킷이 붙어 있는지 확인하기 위해서는 추가적인 부품이 필요하게 되므로, 장치의 제조비용이 상승하는 문제점이 있었다.In this case, when the gasket is attached to the valve connector, there is no separate means to detect it, and additional parts are required to check whether the gasket is attached using a detection sensor, so there is a problem that the manufacturing cost of the device increases. .

만약, 밸브 커넥터에 사용된 개스킷이 그대로 붙어 있는 상태에서, 새로운 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 후, 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터를 결합하게 되면, 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터 사이에는 기존 개스킷과 새로운 개스킷 2개가 이중으로 삽입되므로, 기밀이 유지되지 않아 가스가 누설되는 사고가 발생할 수 있다.If the gasket used for the valve connector is still attached and the new gasket is connected to the connection pipe connector, and then the connection pipe connector and the valve connector are combined, the existing gasket and the new gasket 2 are connected between the connection pipe connector and the valve connector. Since the dog is inserted twice, the airtightness is not maintained, and gas leakage may occur.

또한, 새로운 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태에서 연결배관 커넥터를 이송하여 연결배관 커넥터를 밸브 커넥터에 결합하게 되는데, 연결배관 커넥터를 이송하는 동안에 새로운 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 문제가 발생할 수 있다.In addition, while the new gasket is connected to the connection pipe connector, the connection pipe connector is transferred and the connection pipe connector is coupled to the valve connector.During the transfer of the connection pipe connector, the new gasket may be separated from the connection pipe connector. .

반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.As a prior art for a gas supply device for semiconductor equipment, Korean Patent Registration No. 10-0242982 has been disclosed.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙어 개스킷이 이중으로 삽입되는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.The present invention has been conceived to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a gas supply device and a gasket replacement method capable of preventing the gasket from being double-inserted by attaching the gasket to the valve connector of the container.

본 발명의 다른 목적은, 개스킷의 교체를 위해 연결배관 커넥터가 이송되는 경우 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법을 제공하고자 함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas supply device and a gasket replacement method capable of preventing the gasket from being separated from the connection pipe connector when the connection pipe connector is transferred for replacement of the gasket.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 가스공급장치의 개스킷 교체 방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계; b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하는 단계; c) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에서 상기 개스킷을 분리한 후 이송하는 이송하는 단계;를 포함하고, 상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송시키는 단계를 포함한다.A method of replacing a gasket of a gas supply device of the present invention for achieving the above object comprises: a) coupling a valve connector provided in a container and a connection pipe connector connected to a gas demand destination through a gasket; b) releasing the coupling of the valve connector and the connection pipe connector; c) transferring the gasket after separating the gasket between the valve connector and the connection pipe connector; including, a gasket holder grips the gasket in the process of performing steps a) to c), and the gasket And simultaneously transferring the gasket holder holding the gasket and the connection pipe connector.

상기 b) 단계에서 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합이 해제된 상태에서 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지할 수 있다.In the step b), the gasket holder may grip the gasket in a state in which the valve connector and the connection pipe connector are disengaged.

상기 c)단계 후, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 개스킷 수거부에 수거할 수 있다.After the step c), the gasket holder may release the gripping of the gasket to collect the gasket in the gasket collection unit.

상기 c)단계에서 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 함께 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시킬 수 있다.In the step c), the connection pipe connector and the gasket holder holding the gasket are first transferred together so that they are away from the direction opposite to the valve connector, and then the gasket holder is secondarily transferred in a direction perpendicular to the first transfer. Can be transported.

상기 a)단계는, a-1) 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합하는 단계; a-2) 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 개스킷 홀더를 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하는 단계가 포함될 수 있다.The step a) includes: a-1) the gasket holder grips a new gasket at the gasket supply unit, and transfers the gasket holder to couple the gripped gasket to the connection pipe connector; a-2) In a state in which the gasket holder grips the gasket, the gasket holder is simultaneously transferred in the same direction as the connection pipe connector, and the valve connector and the connection pipe connector are coupled with the gasket interposed therebetween. .

상기 a-2)단계에서 상기 연결배관 커넥터를 포함하는 커넥터 연결부를 제1이송수단을 구동하여 상기 밸브 커넥터의 위치까지 1차 이송하고, 연결배관 커넥터 이송수단을 구동하여 상기 연결배관 커넥터만을 2차 이송하여 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합시키는 것일 수 있다.In step a-2), the connector connecting portion including the connecting pipe connector is first transferred to the position of the valve connector by driving a first transfer means, and only the connecting pipe connector is secondary by driving the connecting pipe connector transfer means. It may be transported to couple the valve connector and the connection pipe connector.

상기 개스킷 홀더는, 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제될 수 있다.The gasket holder may hold the gasket by bringing the pair of gasket holder members closer to each other, or release the gripping state of the gasket by moving away from each other.

상기 개스킷 홀더를 이송시키는 개스킷 홀더 이송수단은 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이동하되, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향으로 이송하거나, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향에 수직인 방향으로 이송하는 것일 수 있다.The gasket holder transfer means for transferring the gasket holder may move the gasket holder in a horizontal direction, but transfer in a direction facing the valve connector or in a direction perpendicular to a direction facing the valve connector.

본 발명의 다른 개스킷 교체 방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계; b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 상기 개스킷을 개스킷 홀더가 파지하는 단계; c) 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송하여 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 단계를 포함한다.Another gasket replacement method of the present invention comprises the steps of: a) coupling a valve connector provided in a container and a connection pipe connector connected to a gas demand destination with a gasket therebetween; b) releasing the coupling of the valve connector and the connection pipe connector, and gripping the gasket by a gasket holder; c) separating the gasket from the valve connector by simultaneously transferring the gasket holder holding the gasket and the connection pipe connector.

본 발명의 가스공급장치는, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부; 상기 커넥터 체결부를 상기 밸브 커넥터 방향으로 전후진시키는 제1이송수단과 상기 전후진시키는 방향과 수직되는 수평 방향으로 이송시키는 제2이송수단; 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 개재되는 개스킷을 파지한 상태에서 이송하기 위해 개스킷 홀더를 포함하는 개스킷 이송부; 상기 연결배관 커넥터에 결합된 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 상기 연결배관 커넥터와 동시에 이송시키도록 제어하는 제어부를 포함한다.The gas supply device of the present invention comprises: a connector fastening part for connecting a connection pipe connector connected to a gas source to a valve connector provided in a container; A first transfer means for moving the connector fastening part forward and backward in a direction of the valve connector and a second transfer means for transferring the connector fastening part in a horizontal direction perpendicular to the forward and backward direction; A gasket transfer unit including a gasket holder for transferring the gasket interposed between the valve connector and the connection pipe connector while holding the gasket; And a control unit for controlling the gasket holder holding the gasket coupled to the connection pipe connector to be transferred simultaneously with the connection pipe connector.

상기 제어부는, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합된 상태에서, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 후, 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 동시에 이송시키도록 제어할 수 있다.In a state in which the valve connector and the connection pipe connector are coupled with the gasket therebetween, the control unit releases the coupling of the valve connector and the connection pipe connector, and the gasket holder grips the gasket, and then the connection pipe connector and It can be controlled to transfer the gasket holder at the same time.

상기 제어부는 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 개스킷 수거부의 위치로 이송한 후 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 상기 개스킷 수거부에 수거되도록 제어할 수 있다.The control unit may control the gasket to be collected by the gasket collecting unit by releasing the gripping of the gasket after transferring the gasket holder holding the gasket to the position of the gasket collecting unit.

상기 제어부는 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시키도록 제어할 수 있다.The control unit may control the first transfer of the connection pipe connector and the gasket holder away from a direction opposite to the valve connector, and then secondary transfer of the gasket holder in a direction perpendicular to the primary transfer.

상기 제어부는, 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합시키고, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하도록 제어할 수 있다.The control unit, wherein the gasket holder grips the new gasket from the gasket supply unit, transfers the gasket holder to couple the gripped gasket to the connection pipe connector, and the gasket holder grips the gasket, and the connection pipe By simultaneously transferring in the same direction as the connector, it is possible to control so that the valve connector and the connection pipe connector are coupled with the gasket therebetween.

상기 개스킷 홀더는 서로 가까워지거나 멀어지는 한 쌍의 개스킷 홀더부재로 이루어지고; 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재를 서로 가까워지거나 멀어지도록 이송하는 개스킷홀더 동작수단과, 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이송하는 개스킷홀더 이송수단을 더 포함하고; 상기 제어부는 상기 개스킷홀더 동작수단을 구동하여 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되도록 제어할 수 있다.The gasket holder is made of a pair of gasket holder members that are closer to or away from each other; Further comprising a gasket holder operation means for transferring the pair of gasket holder members to be close to or away from each other, and a gasket holder transfer means for transferring the gasket holder in a horizontal direction; The control unit may drive the gasket holder operation means to grip the gasket by bringing the pair of gasket holder members closer to each other, or to release the gripping state of the gasket by moving away from each other.

상기 연결배관 커넥터의 외부를 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징; 상기 연결배관 커넥터와 연결배관 커넥터 하우징을 일체로 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 제1이송수단; 상기 연결배관 커넥터 하우징을 제외하고 상기 연결배관 커넥터만 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단이 구비될 수 있다.A connection pipe connector housing surrounding the outside of the connection pipe connector; A first transfer means for integrally transferring the connection pipe connector and the connection pipe connector housing in the direction of the valve connector; A connection pipe connector transfer means may be provided for transferring only the connection pipe connector in the direction of the valve connector except for the connection pipe connector housing.

본 발명에 의하면, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙어 개스킷이 이중으로 삽입되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the gasket from being double-inserted by attaching the gasket to the valve connector of the container.

또한, 개스킷의 교체를 위해 연결배관 커넥터가 이송되는 경우 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the connection pipe connector is transferred for replacement of the gasket, it is possible to prevent the gasket from being separated from the connection pipe connector.

도 1은 본 발명의 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기의 밸브부에 고정블럭이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치에서 플러그모듈을 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치에서 개스킷 공급부를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치에서 개스킷 이송부를 보여주는 사시도
도 7은 본 발명의 가스공급장치에서 연결배관 커넥터 이송수단을 보여주는 사시도
도 8은 본 발명의 가스공급장치에서 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하기 위한 초기상태를 보여주는 평면도
도 9는 도 8의 상태에서 개스킷 공급부가 이송되어 개스킷 홀더가 개스킷을 파지하는 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 개스킷 이송부가 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10을 다른 각도에서 본 것으로 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태를 보여주는 사시도
도 12는 도 10의 상태에서 개스킷 이송부와 커넥터 체결부가 동시에 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 대향하도록 위치한 상태를 보여주는 평면도
도 13은 도 12의 상태에서 연결배관 커넥터가 회전 및 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 14는 용기를 교체하는 경우 커넥터 체결부가 회전 및 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 분리되고, 개스킷 홀더가 이송되어 개스킷을 파지한 상태를 보여주는 평면도
도 15는 도 14의 상태에서 개스킷을 파지한 개스킷 홀더가 커넥터 체결부와 함께 이송되는 상태를 보여주는 평면도
도 16은 도 15의 상태에서 개스킷 홀더의 개스킷을 개스킷 수거부에 수거한 상태를 보여주는 평면도
도 17은 도 16의 상태에서 개스킷 홀더가 초기 위치로 이송된 상태를 보여주는 평면도1 is a perspective view showing a gas supply device of the present invention
Figure 2 is a perspective view showing a state in which the fixing block is coupled to the valve part of the container in the gas supply device of the present invention
3 is a perspective view showing a lower module of the gas supply device of the present invention
Figure 4 is a perspective view showing a plug module in the gas supply device of the present invention
5 is a perspective view showing a gasket supply unit in the gas supply device of the present invention
6 is a perspective view showing a gasket transfer part in the gas supply device of the present invention
7 is a perspective view showing a connecting pipe connector transfer means in the gas supply device of the present invention
8 is a plan view showing an initial state for coupling a valve connector and a connection pipe connector in the gas supply device of the present invention
9 is a plan view showing a state in which the gasket supply unit is transferred and the gasket holder grips the gasket in the state of FIG. 8;
FIG. 10 is a plan view showing a state in which the gasket conveying unit couples the gasket to the connection pipe connector in the state of FIG. 9
11 is a perspective view showing a state in which the gasket is coupled to the connection pipe connector as viewed from a different angle of FIG. 10
FIG. 12 is a plan view showing a state in which the gasket transfer part and the connector fastening part are simultaneously transferred so that the connection pipe connector and the valve connector face each other in the state of FIG. 10
13 is a plan view showing a state in which the connection pipe connector and the valve connector are coupled by rotating and transferring the connection pipe connector in the state of FIG. 12
14 is a plan view showing a state in which the connector joint is rotated and transferred when the container is replaced to separate the connection pipe connector and the valve connector, and the gasket holder is transferred to hold the gasket
FIG. 15 is a plan view showing a state in which the gasket holder holding the gasket in the state of FIG. 14 is transferred together with the connector fastening part;
16 is a plan view showing a state in which the gasket of the gasket holder is collected in the gasket collection unit in the state of FIG. 15
17 is a plan view showing a state in which the gasket holder is transferred to an initial position in the state of FIG. 16

이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 전후 방향, Y축은 좌우 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다. 또한, 전후 방향을 구별함에 있어서는 용기(10)가 위치한 측을 전방, 하부모듈(3)이 위치한 측을 후방이라 한다. 또한, 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 기준으로 좌우 방향을 구별함에 있어서는 커버 분리부(320)가 위치한 측을 우측, 커넥터 체결부(330)가 위치한 측을 좌측으로 정의한다.Herein, referring to the direction, the X-axis illustrated in FIG. 1 is referred to as a front-rear direction, the Y-axis is referred to as a left-right direction, and a Z-axis is referred to as a vertical direction. In addition, the horizontal direction includes the left and right directions and the front and rear directions formed by the XY plane. In addition, in distinguishing the front and rear directions, the side where the container 10 is located is referred to as the front side and the side where the lower module 3 is located is referred to as the rear side. In addition, in distinguishing the left and right directions based on the cover separation part 320 and the connector fastening part 330, the side where the cover separation part 320 is located is defined as the right side, and the side where the connector fastening part 330 is located is defined as the left side. .

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트(211)를 포함하는 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되어 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30;도2)를 덮는 커버(31)를 분리하는 커버 분리부(320)와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(330)를 구비한 하부모듈(3), 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 밸브개폐모듈(4)을 포함할 수 있다.1 to 3, the gas supply device 1 of the present invention includes an upper plate 211 installed to be fixed at a position spaced upward from a valve part provided on the upper end of the container 10 The module 2 is provided under the upper module 2 to separate the cover 31 that covers the valve connector 30 (FIG. 2) provided in the valve part, and the cover separation part 320 and the gas consumption place. Includes a lower module 3 having a connector fastening part 330 for connecting the connecting pipe connector 331 to the valve connector 30 to be connected, and a valve opening/closing module 4 for opening and closing the valve of the valve part. can do.

상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다. The container 10 is configured to store and supply a process gas supplied to a gas source such as a semiconductor device, and the valve portion is provided on the upper portion of the container 10.

상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(미도시)와, 상기 밸브의 일측에 구비되어 하부모듈(3)의 커넥터 체결부(330)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)와, 상기 밸브를 개폐하는 밸브 셔터(미도시)와, 상기 밸브 셔터의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터를 승강시켜 밸브가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.The valve unit includes a valve (not shown) for controlling the supply of gas, a valve connector 30 provided on one side of the valve and fastened to the connector fastening part 330 of the lower module 3, and the valve connector A cover 31 covering 30, a valve shutter (not shown) for opening and closing the valve, and a handle 50 for opening and closing the valve by raising and lowering the valve shutter as it is connected to the upper portion of the valve shutter and rotated. It consists of including.

상기 밸브부에는 고정블럭(510,520,530)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520,530)에는 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다. Fixing blocks 510, 520, and 530 are coupled to the valve part. The first alignment unit 512 is provided in the fixed blocks 510, 520, and 530.

상기 고정블럭(510,520,530)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)으로 이루어질 수 있다. The fixing blocks 510, 520, and 530 may include a first fixing block 510, a second fixing block 520, and a third fixing block 530 surrounding the valve part.

상기 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.When the valve part is wrapped by the coupling of the second fixing block 520 and the third fixing block 530, the valve connector 30 and the cover 31 among the valve parts are separated from the fixing blocks 520 and 530. It is exposed by protruding in a lateral direction, and the handle 50 of the valve part is exposed by protruding upward with respect to the fixing blocks 520 and 530.

상기 제1고정블럭(510)은 Y축 방향의 길이를 갖는 사각통 형상으로 이루어지고, 상기 Y축 방향의 일측면에 상기 제2고정블럭(520)가 결합되고, X축 방향의 일측면에 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.The first fixing block 510 has a rectangular cylindrical shape having a length in the Y-axis direction, the second fixing block 520 is coupled to one side of the Y-axis direction, and the second fixing block 520 is coupled to one side of the X-axis direction. A first alignment unit 512 is provided.

상기 제1얼라인부(512)는 상기 X축 방향의 일측면에 오목하게 형성된 얼라인핀 삽입홈(512)으로 이루어질 수 있다. The first alignment part 512 may be formed of an alignment pin insertion groove 512 concavely formed on one side of the X-axis direction.

상기 하부모듈(3)은 상부모듈(2)에 대하여 수평방향 이송이 가능함과 동시에 수직방향으로 승하강 이송이 가능하도록 되어 있다.The lower module 3 is capable of being transported in a horizontal direction with respect to the upper module 2 and at the same time being capable of lifting and lowering in a vertical direction.

상기 제1얼라인부(512)는 하부모듈(3)의 수평방향 이송시 하부모듈(3)에 구비된 제2얼라인부(351)와의 결합에 의해 용기(10)의 얼라인이 이루어지도록 되어 있다.The first alignment unit 512 is configured to align the container 10 by coupling with the second alignment unit 351 provided in the lower module 3 when the lower module 3 is transported in the horizontal direction. .

상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에서 상기 얼라인핀 삽입홈(512)과 마주보는 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(351)으로 이루어질 수 있다.The second alignment unit 351 protrudes from the alignment block 350 of the lower module 3 to be described later in the X-axis direction facing the alignment pin insertion groove 512 and has a length in the horizontal direction. It may be formed of an alignment pin 351.

상기 얼라인핀(351)이 상기 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.Alignment of the container 10 is achieved by allowing the alignment pin 351 to be inserted into the alignment pin insertion groove 512.

본 실시예에서는 제1얼라인부(512)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성할 수도 있다.In the present embodiment, it is exemplified that the first alignment unit 512 is made of an alignment pin insertion groove, and the second alignment unit 351 is made of an alignment pin, but the first alignment unit is composed of alignment pins, The second alignment portion may be configured as an alignment pin insertion groove.

또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.In addition, in the present embodiment, the alignment pin is exemplified as being inserted into the alignment pin insertion groove, but the present invention is not limited thereto, and the first alignment unit and the second alignment unit may be fastened or coupled to each other. The method in which the first and second alignment units are inserted, fastened, and coupled is collectively defined as'combination'.

상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(512)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에 구비되어 있다.The first fixing block 510 is provided with a first coupling portion 511 at a position adjacent to the first alignment portion 512, and a second coupling portion coupled to the first coupling portion 511 ( 352 is provided in the alignment block 350 of the lower module 3.

상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(512)가 형성된 면과 같은 면에 X축 방향으로 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.The first coupling part 511 may be formed of a fixing groove 511 formed concave in the X-axis direction on the same surface of the first fixing block 510 as the surface on which the first alignment part 512 is formed.

상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.The second coupling portion 352 may be formed of a fixed block coupling member 352 protruding toward the first coupling portion 511 from an alignment block 350 located adjacent to the second alignment portion 351. have.

상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.A plurality of protrusions 352a are provided on an outer surface of the fixing block coupling member 352, and the plurality of protrusions 352a are elastically supported by a spring (not shown) provided therein. A protrusion insertion groove (not shown) into which the protrusion 352a is inserted is formed in the fixing groove 511. When the fixing block coupling member 352 is inserted into the fixing groove 511, the projection 352a is inserted into the projection insertion groove, so that the fixing block coupling member 352 is removed from the fixing groove 511. This is prevented, so that the lower module 3 can maintain a state coupled to the first fixing block 510.

상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.When the fixing block coupling member 352 is removed from the fixing groove 511, air is supplied so that the protrusion 352a overcomes the elastic force of the spring and moves from the surface of the fixing block coupling member 352 to the inside. When it enters, the protrusion 352a comes out from the protrusion insertion groove. Accordingly, the fixing block coupling member 352 can be removed from the fixing groove 511.

상기 상부모듈(2)에는 상기 하부모듈(3)을 X축과 Y축 및 Z축 방향으로 각각 이송할 수 있도록 이송가이드(미도시)가 구비될 수 있다. 작업자가 상기 하부모듈(3)을 손으로 잡고 축 방향으로 힘을 가하면, 하부모듈(3)은 X축과 Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이송된다. 또한, 이와 같은 하부모듈(3)의 이송에 의해 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 결합에 의해 용기(10)의 얼라인이 이루어질 수 있다.The upper module 2 may be provided with a transfer guide (not shown) to transfer the lower module 3 in the X-axis, Y-axis and Z-axis directions, respectively. When the operator holds the lower module 3 with his hand and applies a force in the axial direction, the lower module 3 is transferred in any one of the X-axis, Y-axis, and Z-axis. In addition, the container 10 may be aligned by combining the first alignment unit 512 and the second alignment unit 351 by the transfer of the lower module 3.

상기 하부모듈(3)에는, 복수의 하우징(311,312,313,314)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 서브모듈 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370) 및 개스킷 이송부(380)가 구비되어 있다.The lower module 3 includes a plurality of housings 311, 312, 313, 314, a cover separation part 320, a connector fastening part 330, a sub-module transfer means 340, an alignment block 350, a plug module 360, and A gasket supply unit 370 and a gasket transfer unit 380 are provided.

상기 복수의 하우징(311,312,313,314)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 Y축 방향 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313), 상기 상부하우징(311)으로부터 하측으로 이격되고 양측이 상기 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)에 결합된 하부하우징(314)으로 이루어진다.The plurality of housings 311, 312, 313, and 314 include an upper housing 311 provided in a plate shape on an upper portion of the lower module 3, and a first side housing 312 coupled to both sides of the upper housing 311 in the Y-axis direction, respectively. ), a second side housing 313, and a lower housing 314 spaced downward from the upper housing 311 and coupled to both sides of the first side housing 312 and the second side housing 313.

상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313) 및 하부하우징(314)은 상기 하부모듈(3)의 전후방을 제외하고 상부와 하부 및 양 측부를 둘러싸도록 구비되어 있다.The upper housing 311, the first and second side housings 312 and 313, and the lower housing 314 are provided to surround the upper, lower, and both sides except for the front and rear of the lower module 3.

상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다. The cover separating part 320 separates the cover 31 covering the valve connector 30 provided in the valve part from the valve connector 30.

상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)가 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 회전수단(미도시)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다. The cover separation unit 320 has a groove formed so that the cover 31 is inserted therein, and a rotating means (not shown) in a state in which the cover 31 is inserted into the groove of the cover separation unit 320 When the cover separation part 320 is rotated by driving, the cover 31 is separated from the valve connector 30. Conversely, the cover 31 separated from the cover separating part 320 may be coupled to the valve connector 30 by driving the rotating means.

상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331), 상기 연결배관 커넥터(331)의 외측을 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징(332;도 7)을 포함한다. 상기 커넥터 체결부(330)는 상기 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 핸들(50)을 회전시켜 밸브를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스 소요처에 공급된다. 상기 연결배관 커넥터(331)와 연결배관 커넥터 하우징(332)은 상기 회전수단의 구동에 의해 함께 회전한다.The connector fastening part 330 includes a connection pipe connector 331 connected to a gas source, and a connection pipe connector housing 332 (FIG. 7) surrounding the outside of the connection pipe connector 331. The connector fastening part 330 is provided to connect the connection pipe connector 331 to the valve connector 30. When the valve is opened by rotating the handle 50 while the connector fastening part 330 and the valve connector 30 are connected, the gas inside the container 10 connects the valve connector 30 and the connection pipe connector 331. It is supplied to the gas demand through. The connection pipe connector 331 and the connection pipe connector housing 332 rotate together by driving the rotating means.

상기 서브모듈 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(Y축 방향)과 전후 방향(X축 방향)으로 이송한다. 상기 서브모듈 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단(340a)과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단(340b)으로 이루어질 수 있다. The sub-module transfer means 340 integrally transfers the cover separating part 320 and the connector fastening part 330 in the left-right direction (Y-axis direction) and the front-rear direction (X-axis direction). The sub-module transfer means 340 includes a first transfer means 340a for integrally transferring the cover separation part 320 and the connector fastening part 330 in the front and rear directions, and the cover separation part 320 It may be made of a second transfer means (340b) for integrally transferring the connector fastening portion 330 in the left and right direction.

상기 제1이송수단(340a)은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단(340b)은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.The first transfer means 340a may include a transfer guide for transferring along the front-rear direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air. In addition, the second transfer means 340b may include a transfer guide for transferring along the left-right direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air.

상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다. The rotating means rotates the cover separating part 320 and the connector fastening part 330. The rotation means includes a motor and a speed reducer for generating rotational force, and includes a rotation transmission member for transmitting the rotational force to the cover separating unit 320 and the connector fastening unit 330.

상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.The rotation transmission member transmits the rotational force to the cover separation unit 320 and the connector fastening unit 330, respectively, and when the motor is driven, the cover separation unit 320 and the connector fastening unit 330 rotate at the same time. . Alternatively, the rotating means may include two motors, and the cover separating portion 320 and the connector fastening portion 330 may be respectively rotated using the two motors.

상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 설치되도록, 전방과 후방이 개방되고 좌우와 상하를 둘러싸는 내부하우징(315)이 구비될 수 있다. 상기 내부하우징(315)은 하부하우징(314)의 상부에 결합될 수 있다.In order to install the cover separating part 320 and the connector fastening part 330, an inner housing 315 may be provided that has front and rear openings and surrounds the left and right sides and upper and lower sides. The inner housing 315 may be coupled to an upper portion of the lower housing 314.

상기 얼라인블럭(350)은 상기 내부하우징(315)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 다면체 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀(351)이 상기 밸브부를 향해 돌출된 형상으로 형성되어 있고, 상기 얼라인핀(351)의 측부에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.The alignment block 350 is coupled to protrude from the front end of the inner housing 315 and has a substantially polyhedral shape. An alignment pin 351, which is a second alignment portion 351, is formed on a front surface of the alignment block 350 in a shape protruding toward the valve portion, and a side portion of the alignment pin 351 has the first The fixed block coupling member 352, which is the two coupling portion 352, is formed in a shape protruding toward the valve portion.

도 3과 도 4를 참조하여 플러그모듈(360)에 대해 설명한다.The plug module 360 will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

상기 플러그모듈(360)은, 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위해 가이드 기능을 하는 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 구동력을 제공하는 플러그 이송 구동부(365)로 이루어진다.The plug module 360 is coupled to the connector fastening part 330 to prevent foreign substances from flowing into the connector fastening part 330 when the valve connector 30 and the connector fastening part 330 are not fastened. A plug 361, a plug support member 362 for supporting an end of the plug 361, a plug support housing 363 in which the plug support member 362 is coupled and supported, the plug 361 and the plug A plug transfer guide 364 serving as a guide for transferring the support member 362 and the plug support housing 363 in the front-rear direction, the plug 361 and the plug support member 362, and the plug support housing 363 ) Consists of a plug transfer driving unit 365 that provides a driving force for transferring in the front-rear direction integrally.

도 3과 도 5를 참조하여 개스킷 공급부(370)에 대해 설명한다.The gasket supply unit 370 will be described with reference to FIGS. 3 and 5.

상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착하기 위한 새로운 개스킷(gasket)을 공급하기 위한 것으로서, 복수의 개스킷(371)을 수용하는 개스킷 수용부(372), 상기 개스킷 수용부(372)를 전후 방향으로 이송하기 위한 개스킷 수용부 이송수단(373)을 포함한다.The gasket supply unit 370 is for supplying a new gasket for mounting between the connection pipe connector 331 and the valve connector 30 when the container 10 is replaced, and provides a plurality of gaskets 371. And a gasket accommodating portion 372 to accommodate the gasket accommodating portion 372, and a gasket accommodating portion conveying means 373 for transferring the gasket accommodating portion 372 in the front-rear direction.

상기 개스킷 수용부 이송수단(373)은 전후 방향에 따른 이송을 가이드하는 이송가이드와 상기 이송가이드를 따라 이송되도록 하는 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.The gasket receiving part conveying means 373 may include a conveying guide for guiding conveyance in the front-rear direction and a driving part providing a driving force for conveying along the conveying guide.

상기 개스킷 수용부(372)에는 복수의 개스킷(371a)이 세워진 상태로 구비되고, 일측 가장자리에 있는 개스킷을 후술하는 개스킷 홀더(381)가 파지한 후 개스킷 수용부(372)에 형성된 개구부인 개스킷 배출부(372a)를 통해 빠져나올 수 있도록 되어 있다.The gasket accommodating portion 372 is provided with a plurality of gaskets 371a in an erect state, and a gasket holder 381, which will be described later, grips the gasket at one edge and then discharges the gasket, which is an opening formed in the gasket accommodating portion 372. It is designed to be able to exit through the portion 372a.

도 3과 도 6을 참조하여 개스킷 이송부(380)에 대해 설명한다.The gasket transfer unit 380 will be described with reference to FIGS. 3 and 6.

상기 개스킷 이송부(380)는, 개스킷을 파지하기 위해 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)로 이루어진 개스킷 홀더(381), 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)가 서로 가까워지거나 멀어지도록 동작시키기 위한 개스킷홀더 동작수단(382), 상기 개스킷 홀더(381)와 개스킷홀더 동작수단(382)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 제1 개스킷홀더 이송수단(383), 상기 개스킷 홀더(381)와 개스킷홀더 동작수단(382) 및 제1 개스킷홀더 이송수단(383)을 일체로 좌우 방향으로 이송하기 위한 제2 개스킷홀더 이송수단(384)으로 이루어진다.The gasket conveying unit 380 is a gasket holder 381 made of a pair of gasket holder members 381a and 381b to hold the gasket, and the pair of gasket holder members 381a and 381b so that they are close to each other or away from each other. A gasket holder operation means 382 for operating, a first gasket holder transfer means 383 for integrally transferring the gasket holder 381 and the gasket holder operation means 382 in the front-rear direction, the gasket holder 381 And a second gasket holder transfer means 384 for integrally transferring the gasket holder operation means 382 and the first gasket holder transfer means 383 in the left and right directions.

상기 제1 개스킷홀더 이송수단(383)과 제2 개스킷홀더 이송수단(384)은 전후 방향과 좌우 방향으로 이송을 가이드하기 위한 이송가이드와 상기 이송가이드를 따라 이송되도록 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.The first gasket holder transfer means 383 and the second gasket holder transfer means 384 may include a transfer guide for guiding transfer in the front and rear directions and in the left and right directions, and a driving unit providing a driving force to be transferred along the transfer guide. have.

도 7을 참조하여 연결배관 커넥터 이송수단(335)에 대해 설명한다.With reference to Figure 7, the connection pipe connector transfer means 335 will be described.

상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)는 제1이송수단(340a)에 의해 전방과 후방으로 직선 이송이 이루어질 수 있다. 상기 제1이송수단(340a)을 구동하여 상기 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합하는 것으로 구성할 수도 있지만, 상기 제1이송수단(340a)의 구동에 의해 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 포함하여 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시키기 위한 구성부품 전체가 함께 이송되므로, 그 무게로 인해 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합할 때 충격이 발생할 수 있다. The cover separation part 320 and the connector fastening part 330 may be linearly transferred forward and backward by the first transfer means 340a. It may be configured by driving the first transfer means 340a to couple the connection pipe connector 331 to the valve connector 30, but the cover separation unit 320 is driven by the first transfer means 340a. ) And the connector fastening part 330, the entire component parts for rotating the cover separation part 320 and the connector fastening part 330 are transported together. 331) can cause impact.

이러한 문제를 방지하기 위해 제1이송수단(340a)과 별도로 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구비하여, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합하는 경우에는 제1이송수단(340a)을 구동하지 않고, 연결배관 커넥터(331)만 전후 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동하는 것으로 구성할 수 있다.In order to prevent this problem, the first transfer means 340a and the connection pipe connector transfer means 335 are provided, and when the connection pipe connector 331 is coupled to the valve connector 30, the first transfer means 340a ) Without driving, it can be configured by driving the connection pipe connector transfer means 335 for transporting only the connection pipe connector 331 in the front-rear direction.

상기 연결배관 커넥터 이송수단(335)은, 연결배관 커넥터(331)의 단부에 형성된 홈(미도시)에 하부 일부가 삽입되어 연결배관 커넥터(331)와 걸림이 이루어지는 커넥터 걸림부재(335-1), 상기 커넥터 걸림부재(335-1)의 상부에 걸림되고 전후 방향으로 직선 이송될 수 있도록 구비된 걸림축(335-2), 상기 걸림축(335-2)이 전후 방향으로 직선 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(미도시), 상기 걸림축(335-2)이 직선 이송되는 경우 가이드 기능을 하는 가이드축(335-3)으로 이루어질 수 있다.The connection pipe connector transfer means 335 is a connector locking member (335-1) that is engaged with the connection pipe connector 331 by inserting a lower part into a groove (not shown) formed at the end of the connection pipe connector 331 , A locking shaft (335-2) provided to be hooked on the upper portion of the connector locking member (335-1) to be linearly transferred in the front-rear direction, so that the locking shaft (335-2) can be linearly transferred in the front-rear direction When the locking shaft 335-2 is linearly conveyed, a driving unit (not shown) that provides a driving force may be formed of a guide shaft 335-3 serving as a guide.

상기 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)가 결합되도록 인접하게 위치한 상태에서, 상기 연결배관 커넥터 이송수단(335)의 구동부를 구동하면, 상기 걸림축(335-2)과, 상기 걸림축(335-2)에 걸림되어 있는 커넥터 걸림부재(335-1)와, 상기 커넥터 걸림부재(335-1)에 걸림되어 있는 연결배관 커넥터(331)가 일체로 후방으로 이송되어, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)가 결합된다. When the valve connector 30 and the connection pipe connector 331 are positioned adjacent to each other so that the connection pipe connector 331 is coupled, the driving unit of the connection pipe connector transfer means 335 is driven, the locking shaft 335-2 and the locking shaft The connector locking member 335-1, which is caught in the connector 335-2, and the connection pipe connector 331, which is caught in the connector locking member 335-1, are integrally transferred to the rear, and the valve connector 30 ) To the connection pipe connector 331 is coupled.

이 경우 연결배관 커넥터(331)은 밸브 커넥터(30)에 결합될 때 회전수단의 구동에 의해 회전이 동시에 이루어질 수 있다. 또한, 상기 커버 분리부(320), 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시키기 위한 구성부품들은 상기 연결배관 커넥터(331)와 함께 이송되지 않으므로, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)의 결합시 충격을 최소화시킬 수 있다.In this case, when the connection pipe connector 331 is coupled to the valve connector 30, the rotation may be simultaneously performed by driving the rotating means. In addition, components for rotating the cover separation unit 320, the cover separation unit 320 and the connector fastening unit 330 are not transported together with the connection pipe connector 331, so they are connected to the valve connector 30. When the piping connector 331 is coupled, the impact can be minimized.

한편, 상기 서브모듈 이송수단(340), 회전수단, 플러그 이송 구동부(365), 개스킷 수용부 이송수단(373), 제1 개스킷홀더 이송수단(383), 제2 개스킷홀더 이송수단(384)을 포함하여 본 발명의 가스공급장치를 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다. 또한, 상기 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331) 사이에 장착되어 있던 제2개스킷을 분리한 후 수거하기 위한 개스킷 수거부(390)가 구비되어 있다.On the other hand, the sub-module transfer means 340, the rotation means, the plug transfer driving unit 365, the gasket receiving unit transfer means 373, the first gasket holder transfer means 383, the second gasket holder transfer means 384. Including, a control unit for controlling the gas supply device of the present invention is provided. In addition, a gasket collection unit 390 for separating and collecting the second gasket mounted between the valve connector 30 and the connection pipe connector 331 is provided.

도 8 내지 도 17을 참조하여 용기(10)의 교체시 이루어지는 개스킷 교체 방법에 대해 설명한다.A gasket replacement method performed when the container 10 is replaced will be described with reference to FIGS. 8 to 17.

도 8 내지 도 13은 용기(10)의 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331) 사이에 새로운 개스킷(제1개스킷)을 장착하는 과정을 나타낸 것이고, 도 14 내지 도 17은 용기(10)에 장착되어 있던 개스킷(제2개스킷)을 분리 및 제거하는 과정을 나타낸 것이다.8 to 13 show a process of attaching a new gasket (first gasket) between the valve connector 30 and the connection pipe connector 331 of the container 10, and FIGS. 14 to 17 are the container 10 It shows the process of separating and removing the gasket (the second gasket) installed on the device.

도 8에는 개스킷 교체를 위한 초기 상태가 나타나 있다. 도 8에는 나타나 있지 않지만, 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)가 결합되어 용기(10)의 얼라인이 이루어진 상태이다. 개스킷 홀더(381)는 개스킷 공급부(370)로부터 이격되어 있고, 커넥터 체결부(330)로부터도 이격되어 있다. 이때의 각 부품의 위치를 '초기위치'라 한다.8 shows an initial state for replacement of the gasket. Although not shown in FIG. 8, the first alignment unit 512 and the second alignment unit 351 are combined to achieve alignment of the container 10. The gasket holder 381 is spaced apart from the gasket supply unit 370 and is also spaced apart from the connector fastening unit 330. The position of each part at this time is called the'initial position'.

도 9를 참조하면, 도 8의 상태에서 개스킷 수용부 이송수단(373)을 구동하여, 개스킷 수용부(372)를 개스킷 홀더(381)의 위치까지 후방으로 이송한다. 이 상태에서 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b) 사이가 가까워지도록 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하면, 개스킷 수용부(372)에서 가장 후방에 있는 하나의 제1개스킷(371a)이 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b) 사이에 파지된다. Referring to FIG. 9, by driving the gasket receiving part transfer means 373 in the state of FIG. 8, the gasket receiving part 372 is transferred rearward to the position of the gasket holder 381. In this state, when the gasket holder operation means 382 is driven so that the gap between the pair of gasket holder members 381a and 381b becomes close, one first gasket 371a at the rearmost part of the gasket accommodating portion 372 is It is held between the pair of gasket holder members 381a and 381b.

도 10을 참조하면, 도 9의 상태에서 제2 개스킷홀더 이송수단(384)을 구동하여 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 우측으로 이송하고, 다시 제1 개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 개스킷 홀더(381)를 후방으로 이송하여, 연결배관 커넥터(331)의 전방 단부에 제1개스킷(371a)을 결합한다.Referring to FIG. 10, the second gasket holder transfer means 384 is driven in the state of FIG. 9 to transfer the gasket holder 381 holding the first gasket 371a to the right, and the first gasket holder transfer means again. By driving 383, the gasket holder 381 is transferred to the rear, and the first gasket 371a is coupled to the front end of the connection pipe connector 331.

도 10의 상태에서는 도 11에 나타난 바와 같이, 상기 제1개스킷(371a)에는 중앙부에 구멍이 형성되어 있고, 상기 연결배관 커넥터(331)의 전방 단부에는 원통 형상의 돌출부(331a)가 형성되어 있어, 상기 돌출부(331a)가 상기 제1개스킷(371a)의 구멍에 삽입되도록 함으로써, 연결배관 커넥터(331)에 제1개스킷(371a)의 결합이 이루어진다.In the state of FIG. 10, as shown in FIG. 11, a hole is formed in the center portion of the first gasket 371a, and a cylindrical protrusion 331a is formed at the front end of the connection pipe connector 331. , The first gasket 371a is coupled to the connection pipe connector 331 by allowing the protrusion 331a to be inserted into the hole of the first gasket 371a.

도 12를 참조하면, 도 10의 상태에서 제2이송수단(340b)과 제2개스킷홀더 이송수단(384)을 동시에 구동하여 커넥터 체결부(330)와 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 우측방향으로 1차 이송한 후, 제1개스킷홀더 이송수단(383)과 제1이송수단(340a)을 동시에 구동하여 커넥터 체결부(330)와 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 전방으로 2차 이송하면, 밸브 커넥터(30)의 후방의 근접한 위치에 제1개스킷(371a)을 사이에 두고 연결배관 커넥터(331)가 위치하게 된다. 이 경우 개스킷 수용부 이송수단(373)을 구동하여 개스킷 수용부(372)를 다시 전방으로 이송하여 초기위치가 되도록 한다. Referring to FIG. 12, the gasket holder holding the connector fastening portion 330 and the first gasket 371a by simultaneously driving the second transfer means 340b and the second gasket holder transfer means 384 in the state of FIG. 10 After first transferring 381 to the right, the first gasket holder transfer means 383 and the first transfer means 340a are simultaneously driven to grip the connector fastening part 330 and the first gasket 371a. When the gasket holder 381 is secondaryly transferred to the front, the connection pipe connector 331 is positioned at a position close to the rear of the valve connector 30 with the first gasket 371a interposed therebetween. In this case, the gasket accommodating unit transfer means 373 is driven to transfer the gasket accommodating unit 372 back to the front so that the initial position is reached.

종래에는 개스킷을 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)에 삽입하여 연결배관 커넥터(331)에 개스킷이 결합된 상태로 이송되었으므로, 개스킷이 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)로부터 이탈되는 문제가 있었으나, 본 발명의 경우 상기한 바와 같이 연결배관 커넥터(331)가 이송되는 경우 제1개스킷(371a)을 개스킷 홀더(381)가 파지한 상태로 연결배관 커넥터(331)와 함께 이송되므로, 제1개스킷(371a)이 연결배관 커넥터(331)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.Conventionally, the gasket was inserted into the protrusion 331a of the connection pipe connector 331 and transferred in a state where the gasket is coupled to the connection pipe connector 331, so that the gasket is separated from the protrusion 331a of the connection pipe connector 331. There was a problem, but in the case of the present invention, when the connection pipe connector 331 is transferred as described above, the first gasket 371a is transferred together with the connection pipe connector 331 in a state held by the gasket holder 381, It is possible to prevent the first gasket 371a from being separated from the connection pipe connector 331.

도 13을 참조하면, 도 12의 상태에서 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)가 멀어지도록 함으로써 제1개스킷(371a)의 파지 상태를 해제하고, 제2개스킷홀더 이송수단(384)을 구동하여 좌측으로 이송한다. 이 경우 제1개스킷(371a)은 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)에 삽입된 상태로 있게 된다. 또한, 회전수단을 구동시켜 커넥터 체결부(330)를 회전시킴과 동시에 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동시켜 연결배관 커넥터(331)를 전방으로 이송시켜 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)를 결합시킨다.Referring to FIG. 13, in the state of FIG. 12, the gasket holder operation means 382 is driven to move the pair of gasket holder members 381a and 381b apart, thereby releasing the gripping state of the first gasket 371a. The two gasket holder transfer means 384 are driven and transferred to the left. In this case, the first gasket 371a remains inserted into the protrusion 331a of the connection pipe connector 331. In addition, by driving the rotating means to rotate the connector fastening part 330 and at the same time driving the connection pipe connector transfer means 335 to transfer the connection pipe connector 331 to the front, the connection pipe connector 331 and the valve connector 30).

이와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 제1개스킷(371a)을 개재시킨 상태에서, 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)의 결합이 이루어진다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)의 결합이 이루어지면, 핸들(50)을 밸브 개폐부(4)가 회전시켜 밸브가 개방되어 용기(10)의 가스가 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스소요처로 공급된다.Through this process, in a state in which the first gasket 371a is interposed between the connection pipe connector 331 and the valve connector 30, the connector fastening portion 330 and the valve connector 30 are coupled. When the connector fastening part 330 and the valve connector 30 are coupled, the valve opening part 4 rotates the handle 50 to open the valve, so that the gas in the container 10 connects the connection pipe connector 331. It is supplied to gas consumers through.

도 14 내지 도 17을 참조하여, 용기(10)에 장착되어 있던 제2개스킷(371b)을 분리 및 제거하는 과정에 대해 설명한다.A process of separating and removing the second gasket 371b mounted on the container 10 will be described with reference to FIGS. 14 to 17.

도 14를 참조하면, 회전수단과 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동하여 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)의 결합을 해제하고, 제1개스킷홀더 이송수단(383)과 제2개스킷홀더 이송수단(384) 및 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 개스킷 홀더(381)가 초기위치로부터 이송되어, 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 있던 제2개스킷(371b)을 개스킷 홀더(381)가 파지한다.14, by driving the rotation means and the connection pipe connector transfer means 335 to release the coupling of the connection pipe connector 331 and the valve connector 30, the first gasket holder transfer means 383 and the second By driving the gasket holder transfer means 384 and the gasket holder operation means 382, the gasket holder 381 is transferred from the initial position, and the second gasket 371b between the connection pipe connector 331 and the valve connector 30 ) Is gripped by the gasket holder 381.

도 15를 참조하면, 도 14의 상태에서, 제1이송수단(340a)과 연결배관 커넥터 이송수단(335) 및 제1개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 후방으로 1차 이송되고, 제2이송수단(340b)과 제2개스킷홀더 이송수단(384)를 구동하여 커넥터 체결부(330)와 함께 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 좌측으로 2차 이송된다. Referring to FIG. 15, in the state of FIG. 14, by driving the first transfer means 340a, the connection pipe connector transfer means 335, and the first gasket holder transfer means 383, the gasket holder 381 becomes the second gasket. The gasket holder 381 is first transferred to the rear while holding the 371b, and drives the second transfer means 340b and the second gasket holder transfer means 384, and the gasket holder 381 is removed together with the connector fastening part 330. The two gaskets 371b are secondarily conveyed to the left while holding them.

종래의 가스공급장치의 경우, 연결배관 커넥터(331)를 밸브 커넥터(30)로부터 분리할 때 제2개스킷(371b)이 연결배관 커넥터(331)와 함께 분리되지 않고 밸브 커넥터(30)에 잔존할 수 있다. 즉, 상기 제2개스킷(371b)을 사이에 두고 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서 시간이 경과하게 되면, 상기 제2개스킷(371b)과 밸브 커넥터(30)의 접촉하는 면이 압착된다. 이 상태에서 연결배관 커넥터(331)를 밸브 커넥터(30)로부터 분리되면, 제2개스킷(371b)이 밸브 커넥터(30)의 접촉면에 붙어 제2개스킷(371b)이 연결배관 커넥터(331)와 함께 분리되지 않고 밸브 커넥터(30)에 잔존할 수 있다. 이와 같은 상태에서 새로운 제1개스킷을 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착하게 되면, 제거되지 않고 잔존한 제2개스킷과 새로운 제1개스킷이 이중으로 장착되어 가스 누설의 위험이 있다. In the case of a conventional gas supply device, when the connection pipe connector 331 is separated from the valve connector 30, the second gasket 371b is not separated together with the connection pipe connector 331 and remains in the valve connector 30. I can. That is, when time elapses in a state in which the connection pipe connector 331 and the valve connector 30 are coupled with the second gasket 371b interposed therebetween, the second gasket 371b and the valve connector 30 The contacting surface is pressed. In this state, when the connection pipe connector 331 is separated from the valve connector 30, the second gasket 371b is attached to the contact surface of the valve connector 30, and the second gasket 371b is attached to the connection pipe connector 331. It can remain in the valve connector 30 without being separated. In such a state, if a new first gasket is mounted between the connection pipe connector 331 and the valve connector 30, the second gasket remaining without being removed and the new first gasket are double-mounted, thereby reducing the risk of gas leakage. have.

본 발명의 경우 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 밸브 커넥터(30)로부터 제2개스킷(371b)을 분리하게 되므로, 제2개스킷(371b)이 용기(10)의 밸브 커넥터(30)에 붙어 제1개스킷(371a)과 함께 개스킷이 이중으로 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착되는 것을 방지할 수 있다.In the case of the present invention, the second gasket 371b is separated from the valve connector 30 with the gasket holder 381 holding the second gasket 371b, so that the second gasket 371b is Attached to the valve connector 30, it is possible to prevent the gasket from being doublely mounted between the connection pipe connector 331 and the valve connector 30 together with the first gasket 371a.

도 16을 참조하면, 도 15의 상태에서, 제1개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 제2개스킷(371b)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 전방으로 이송한 후, 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 개스킷 홀더(381)의 파지 상태를 해제한다. 상기 개스킷 홀더(381)의 파지 상태 해제에 의해 제2개스킷(371b)은 개스킷 수거부(390)에 수거된다. Referring to FIG. 16, in the state of FIG. 15, after driving the first gasket holder 383 to transfer the gasket holder 381 holding the second gasket 371b forward, the gasket holder operating means ( By driving 382, the gripping state of the gasket holder 381 is released. The second gasket 371b is collected by the gasket collection unit 390 by releasing the gripping state of the gasket holder 381.

도 17을 참조하면, 도 16의 상태에서, 좌측으로 이송하여 제2개스킷홀더 이송수단(384)를 구동하여 개스킷 홀더(381)를 초기위치로 복귀시킨다.Referring to FIG. 17, in the state of FIG. 16, the gasket holder 381 is returned to the initial position by moving to the left and driving the second gasket holder transfer means 384.

상기에서는 가스공급장치가 상부모듈(2)과 하부모듈(3)로 이루어진 구조를 예시하여 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 다양한 구조에 적용 가능하다.In the above description, the structure of the gas supply device including the upper module 2 and the lower module 3 has been exemplified, but is not limited thereto and can be applied to various structures.

또한, 용기(10)의 얼라인을 수동으로 하는 가스공급장치를 예시하여 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 용기(10)의 얼라인을 자동으로 수행하는 가스공급장치에도 적용 가능하다.In addition, the description has been made by exemplifying a gas supply device for manually aligning the container 10, but is not limited thereto and may be applied to a gas supply device that automatically aligns the container 10.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.As described above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is possible to do so, and this also belongs to the present invention.

1 : 가스공급장치 2 : 상부모듈
3 : 하부모듈 4 : 밸브개폐모듈
10 : 용기 20 : 밸브
30 : 밸브 커넥터 31 : 커버
50 : 핸들 211 : 상부플레이트
311 : 상부하우징 312 : 제1측면하우징
313 : 제2측면하우징 314 : 하부하우징
315 : 내부하우징 320 : 커버 분리부
330 : 커넥터 체결부 331 : 연결배관 커넥터
335 : 연결배관 커넥터 이송수단 335-1 : 커넥터 걸림부재
335-2 : 걸림축 335-3 : 가이드축
340 : 서브모듈 이송수단 340a : 제1이송수단
340b : 제2이송수단 350 : 얼라인블럭
351 : 제2얼라인부 352 : 제2결합부
352a : 돌기 360 : 플러그모듈
361 : 플러그 362 : 플러그 지지부재
363 : 플러그 지지 하우징 364 : 플러그 이송가이드
370 : 개스킷 공급부 371a,371b : 개스킷
372 : 개스킷 수용부 373 : 개스킷 수용부 이송수단
380 : 개스킷 이송부 381 : 개스킷 홀더
382 : 개스킷홀더 동작수단 383 : 제1 개스킷홀더 이동수단
384 : 제2 개스킷홀더 이동수단 510, 520, 530 : 고정블럭
511 : 제1결합부 512 : 제1얼라인부1: gas supply device 2: upper module
3: lower module 4: valve opening and closing module
10: container 20: valve
30: valve connector 31: cover
50: handle 211: upper plate
311: upper housing 312: first side housing
313: second side housing 314: lower housing
315: inner housing 320: cover separation unit
330: connector connection part 331: connection piping connector
335: connection pipe connector transfer means 335-1: connector locking member
335-2: locking shaft 335-3: guide shaft
340: submodule transfer means 340a: first transfer means
340b: second transfer means 350: alignment block
351: second alignment unit 352: second coupling unit
352a: protrusion 360: plug module
361: plug 362: plug support member
363: plug support housing 364: plug transfer guide
370: gasket supply unit 371a, 371b: gasket
372: gasket receiving portion 373: gasket receiving portion conveying means
380: gasket transfer unit 381: gasket holder
382: gasket holder operating means 383: first gasket holder moving means
384: second gasket holder moving means 510, 520, 530: fixed block
511: first coupling unit 512: first alignment unit

Claims (16)

a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계;
b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하는 단계;
c) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 있던 상기 개스킷을 개스킷 홀더가 파지한 상태에서 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 각각 별도의 이송수단에 의해 상기 밸브 커넥터로부터 멀어지도록 이송함으로써 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 단계;를 포함하고,
상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송시키는 단계가 포함된 가스공급장치의 개스킷 교체 방법a) a step in which a valve connector provided in the container and a connection pipe connector connected to a gas demand destination are coupled with a gasket therebetween;
b) releasing the coupling of the valve connector and the connection pipe connector;
c) by transferring the connection pipe connector and the gasket holder holding the gasket away from the valve connector by separate transfer means while the gasket holder grips the gasket between the valve connector and the connection pipe connector. Separating the gasket from the valve connector; Including,
A gasket replacement method for a gas supply device comprising the step of simultaneously transferring the gasket holder holding the gasket and the connection pipe connector in the process of performing steps a) to c) 제1항에 있어서,
상기 b) 단계에서 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합이 해제된 상태에서 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
The gasket replacement method for a gas supply device, wherein the gasket holder grips the gasket in a state in which the valve connector and the connection pipe connector are disengaged in step b). 제1항에 있어서,
상기 c)단계 후, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 개스킷 수거부에 수거하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
After the step c), the gasket replacement method of the gas supply device, characterized in that the step of collecting the gasket by the gasket holder by releasing the gripping of the gasket is performed. 제1항에 있어서,
상기 c)단계에서 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 함께 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시키는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
In the step c), the connection pipe connector and the gasket holder holding the gasket are first transferred together so that they are away from the direction opposite to the valve connector, and then the gasket holder is secondarily transferred in a direction perpendicular to the first transfer. Gasket replacement method of a gas supply device, characterized in that to transfer 제1항에 있어서,
상기 a)단계는,
a-1) 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합하는 단계;
a-2) 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 개스킷 홀더를 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하는 단계;
가 포함된 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
The step a),
a-1) the gasket holder grips the new gasket at the gasket supply unit, and transfers the gasket holder to couple the gripped gasket to the connection pipe connector;
a-2) simultaneously transferring the gasket holder in the same direction as the connection pipe connector while the gasket holder grips the gasket to connect the valve connector and the connection pipe connector with the gasket interposed therebetween;
Gasket replacement method of a gas supply device, characterized in that it includes 제5항에 있어서,
상기 a-2)단계에서 상기 연결배관 커넥터를 포함하는 커넥터 연결부를 제1이송수단을 구동하여 상기 밸브 커넥터의 위치까지 1차 이송하고, 연결배관 커넥터 이송수단을 구동하여 상기 연결배관 커넥터만을 2차 이송하여 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합시키는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 5,
In step a-2), the connector connecting portion including the connecting pipe connector is first transferred to the position of the valve connector by driving a first transfer means, and only the connecting pipe connector is secondary by driving the connecting pipe connector transfer means. Gasket replacement method of a gas supply device, characterized in that the transfer and coupling the valve connector and the connection pipe connector 제1항에 있어서,
상기 개스킷 홀더는, 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
The gasket holder is a gasket replacement method for a gas supply device, characterized in that the pair of gasket holder members grasp the gasket by being close to each other, or the gripping state of the gasket is released by moving away from each other. 제1항에 있어서,
상기 개스킷 홀더 이송수단은 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이동하되, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향으로 이송하거나, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향에 수직인 방향으로 이송하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법The method of claim 1,
The gasket holder transfer means moves the gasket holder in a horizontal direction, but transfers the gasket holder in a direction facing the valve connector, or transfers the gasket holder in a direction perpendicular to the direction facing the valve connector. How to replace a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계;
b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 있던 상기 개스킷을 개스킷 홀더가 파지하는 단계;
c) 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 각각 별도의 이송수단에 의해 동시에 이송하여 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 상기 밸브 커넥터로부터 멀어지도록 이송하여 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 단계;
를 포함하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법a) a step in which a valve connector provided in the container and a connection pipe connector connected to a gas demand destination are coupled with a gasket therebetween;
b) releasing the coupling of the valve connector and the connection pipe connector, and gripping the gasket between the valve connector and the connection pipe connector by a gasket holder;
c) The gasket holder holding the gasket and the connection pipe connector are simultaneously transferred by separate transfer means, and the connection pipe connector and the gasket holder holding the gasket are transferred away from the valve connector, and the gasket is transferred to the gasket. Separating from the valve connector;
Gasket replacement method of a gas supply device comprising a 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부;
상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송시키는 이송수단;
상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 개재되는 개스킷을 파지하는 개스킷 홀더와 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 개스킷 홀더를 이송하는 개스킷 홀더 이송수단을 포함하는 개스킷 이송부;
상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 있던 상기 개스킷을 상기 개스킷 홀더가 파지한 상태에서, 상기 연결배관 커넥터를 이송시키기 위한 이송수단에 의해 상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터로부터 멀어지도록 이송하고, 상기 개스킷 홀더 이송수단에 의해 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 상기 밸브 커넥터로부터 멀어지도록 이송함으로써 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터로부터 분리하도록 제어하는 제어부;
를 포함하는 가스공급장치A connector fastening part for connecting a connection pipe connector connected to a gas demand destination to a valve connector provided in the container;
Transfer means for transferring the connection pipe connector in the direction of the valve connector;
A gasket transfer unit including a gasket holder for gripping a gasket interposed between the valve connector and the connection pipe connector, and a gasket holder transfer unit for transferring the gasket holder while gripping the gasket;
In a state in which the gasket holder holds the gasket between the valve connector and the connection pipe connector, the connection pipe connector is transported away from the valve connector by a transport means for transporting the connection pipe connector, and the gasket A control unit for controlling to separate the gasket from the valve connector by transferring the gasket holder holding the gasket by a holder transfer means away from the valve connector;
Gas supply device comprising a 제10항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합된 상태에서, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 후, 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 동시에 이송시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
In a state in which the valve connector and the connection pipe connector are coupled with the gasket therebetween, the control unit releases the coupling of the valve connector and the connection pipe connector, and the gasket holder grips the gasket, and then the connection pipe connector and Gas supply device, characterized in that controlling so as to transfer the gasket holder at the same time 제10항에 있어서,
상기 제어부는 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 개스킷 수거부의 위치로 이송한 후 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 상기 개스킷 수거부에 수거되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
The control unit controls the gasket to be collected in the gasket collecting unit by releasing the gripping of the gasket after transferring the gasket holder holding the gasket to the position of the gasket collecting unit. 제10항에 있어서,
상기 제어부는 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
The control unit is characterized in that, after first transferring the connection pipe connector and the gasket holder away from a direction opposite to the valve connector, the control unit controls the second transfer of the gasket holder in a direction perpendicular to the first transfer. Gas supply device 제10항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합시키고, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
The control unit, wherein the gasket holder grips the new gasket from the gasket supply unit, transfers the gasket holder to couple the gripped gasket to the connection pipe connector, and the gasket holder grips the gasket, and the connection pipe Gas supply device, characterized in that the control so as to be transferred in the same direction as the connector at the same time to connect the valve connector and the connection pipe connector with the gasket therebetween. 제10항에 있어서,
상기 개스킷 홀더는 서로 가까워지거나 멀어지는 한 쌍의 개스킷 홀더부재로 이루어지고;
상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재를 서로 가까워지거나 멀어지도록 이송하는 개스킷홀더 동작수단을 더 포함하고;
상기 제어부는 상기 개스킷홀더 동작수단을 구동하여 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
The gasket holder is made of a pair of gasket holder members that are closer to or away from each other;
Further comprising a gasket holder operation means for transporting the pair of gasket holder members to be closer to each other or away from each other;
The control unit drives the gasket holder operation means to grip the gasket by bringing the pair of gasket holder members closer to each other, or to control the gripping state of the gasket to be released by moving away from each other. 제10항에 있어서,
상기 연결배관 커넥터의 외부를 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징;
상기 연결배관 커넥터와 연결배관 커넥터 하우징을 일체로 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 제1이송수단;
상기 연결배관 커넥터 하우징을 제외하고 상기 연결배관 커넥터만 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단;
이 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치The method of claim 10,
A connection pipe connector housing surrounding the outside of the connection pipe connector;
A first transfer means for integrally transferring the connection pipe connector and the connection pipe connector housing in the direction of the valve connector;
A connection pipe connector transfer means for transferring only the connection pipe connector in the direction of the valve connector except for the connection pipe connector housing;
Gas supply device, characterized in that provided with
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