KR20210065844A - Cutting apparatus - Google Patents

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KR20210065844A
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슈지 닛타
하루노부 유자와
요시오 마츠시타
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention provides a cutting apparatus which does not damage a wafer and a cutting blade, and cutting water and chips are not sucked from between a mount and the cutting blade. The cutting apparatus of the present invention is provided with a control means (70). According to the control means (70), when a value measured by a pressure gauge (56) does not reach an allowable value, start of rotation of a rotary shaft (26) and start of supply of cutting water are prevented. On the other hand, when the value measured by the pressure gauge (56) reaches an allowable value, the start of the rotation of the rotary shaft (26) is permitted. At the same time, the start of the supply of the cutting water is permitted after the rotation of the rotary shaft (26) is started.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}CUTTING APPARATUS

본 발명은, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단과, 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단과, 유지 수단과 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단을 포함하는 절삭 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a holding means for holding a workpiece, a cutting means for rotatably supporting a cutting blade having a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means on an outer periphery, and cutting water to the cutting blade and the workpiece. It relates to a cutting device including a cutting water supply means for supplying the cutting water, and a holding means and a feed means for relatively processing the cutting means.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, PC 등의 전기 기기에 이용된다.A wafer in which a plurality of devices such as IC and LSI are partitioned by a division line and formed on the surface is divided into individual device chips by a cutting device rotatably equipped with a cutting blade, and each divided device chip is a mobile phone , used in electrical devices such as PCs.

본 출원인은, 절삭 블레이드를 너트로 마운트에 체결할 때에 필요한 특수 공구의 회피, 절삭 블레이드를 너트로 마운트에 체결할 때의 개인차의 회피를 가능하게 한 절삭 장치를 제안하였다 (예를 들어 특허문헌 1 참조).The present applicant has proposed a cutting device capable of avoiding a special tool required when fastening a cutting blade to a mount with a nut and avoiding individual differences when fastening a cutting blade to a mount with a nut (for example, Patent Document 1) Reference).

이 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단과, 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단과, 유지 수단과 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단을 포함한다. 절삭 수단은, 회전축과, 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 회전축의 선단에 형성되어 절삭 블레이드를 유지하는 마운트를 구비한다. 마운트는, 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 보스부의 외주에 형성되어 절삭 블레이드의 절삭날을 노출시켜 지지하는 링상 (狀) 의 지지부와, 보스부와 지지부의 사이로 개구되어 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인공과, 흡인공을 흡인원에 연통시키는 연통로를 갖는다.This cutting device comprises: holding means for holding a workpiece; cutting means for rotatably supporting a cutting blade having a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means on an outer periphery; It includes a cutting water supply means for supplying water, and a transfer means for relatively processing the holding means and the cutting means. The cutting means includes a rotation shaft, a housing for rotatably supporting the rotation shaft, and a mount formed at the tip of the rotation shaft to hold the cutting blade. The mount includes a boss part inserted into an opening formed in the center of the cutting blade, a ring-shaped support part formed on the outer periphery of the boss part to expose and support the cutting edge of the cutting blade, and an opening between the boss part and the support part for cutting It has a suction hole for holding the blade by suction, and a communication path for communicating the suction hole with a suction source.

일본 공개특허공보 2002-154054호Japanese Patent Laid-Open No. 2002-154054

그러나, 마운트와 절삭 블레이드의 사이에 이물질이 개재되어 충분한 흡인력이 얻어지지 않는 상태에서 절삭 블레이드를 회전시켜 절삭 가공을 실시하면 웨이퍼 및 절삭 블레이드를 손상시킨다는 문제가 있다.However, if a foreign material is interposed between the mount and the cutting blade and the cutting blade is rotated in a state in which a sufficient suction force is not obtained, there is a problem in that the wafer and the cutting blade are damaged.

또, 마운트에 절삭 블레이드가 적정하게 장착되어 있는 경우라도, 절삭수를 공급했을 때에, 마운트와 절삭 블레이드 사이의 미소한 간극으로부터 절삭수와 함께 절삭 부스러기가 흡인되어 버린다는 문제가 있다.Moreover, even when the cutting blade is properly attached to the mount, there is a problem that, when cutting water is supplied, chips are sucked together with the cutting water from the minute gap between the mount and the cutting blade.

상기 사실을 감안하여 이루어진 본 발명의 과제는, 웨이퍼 및 절삭 블레이드를 손상시키지 않는 것과 함께, 마운트와 절삭 블레이드 사이로부터 절삭수 및 절삭 부스러기가 흡인되지 않는 절삭 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention made in view of the above facts is to provide a cutting device in which cutting water and chips are not sucked from between the mount and the cutting blade while not damaging the wafer and the cutting blade.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 절삭 장치를 제공한다. 즉, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단과, 그 유지 수단과 그 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단을 포함하는 절삭 장치로서, 그 절삭 수단은, 회전축과, 그 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 그 회전축의 선단에 형성되어 그 절삭 블레이드를 유지하는 마운트로 적어도 구성되고, 그 마운트는, 그 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 그 보스부의 외주에 형성되어 그 절삭 블레이드의 절삭날을 노출시켜 지지하는 링상의 지지부와, 그 보스부와 그 지지부의 사이로 개구되어 그 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인공과, 그 흡인공을 흡인원에 연통시키는 연통로를 포함하고, 그 연통로에는 압력계가 배치 형성되고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에는 그 회전축의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지하고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에는 그 회전축의 회전 개시를 허용함과 함께 그 회전축의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하는 제어 수단을 구비하는 절삭 장치를 본 발명은 제공한다.In order to solve the said subject, this invention provides the following cutting apparatus. That is, a holding means for holding a workpiece; a cutting means for rotatably supporting a cutting blade having, on its outer periphery, a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means; A cutting device comprising a cutting water supply means for supplying a cutting water, a holding means and a feed means for relatively processing and feeding the cutting means, the cutting means comprising: a rotary shaft; a housing for rotatably supporting the rotary shaft; at least a mount formed at the tip of the rotating shaft to hold the cutting blade, the mount comprising: a boss inserted into an opening formed in the center of the cutting blade; and a boss formed on the outer periphery of the boss to cut the cutting blade A ring-shaped support part for exposing and supporting the blade, a suction hole opened between the boss part and the support part to suction and hold the cutting blade, and a communication path for communicating the suction hole with a suction source, the communication path having A pressure gauge is arranged, and when the value measured by the pressure gauge does not reach the allowable value, the start of rotation of the rotary shaft and the start of supply of cutting water are blocked, and when the value measured by the pressure gauge reaches the allowable value, the rotary shaft The present invention provides a cutting device provided with a control means for allowing the start of rotation of the blade and permitting the start of supply of cutting water after the rotation of the rotation shaft is started.

바람직하게는, 그 절삭 수단은, 그 절삭 블레이드가 대향하도록 2 개 배치 형성되고, 그 제어 수단은, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달한 상태에서 쌍방의 그 절삭 수단의 그 마운트에 그 절삭 블레이드가 장착되어 있는 경우에, 일방의 그 절삭 수단에 의해서만 그 유지 수단에 유지된 피가공물의 절삭을 허용함과 함께, 타방의 그 절삭 수단의 그 회전축을 회전시킨다.Preferably, the cutting means is arranged such that the cutting blades are opposed to each other, and the control means cuts the cutting means on the mounts of both of the cutting means in a state where the value measured by the pressure gauge reaches an allowable value. When the blade is attached, the cutting of the workpiece held by the holding means is allowed only by one of the cutting means, and the rotation shaft of the other cutting means is rotated.

본 발명의 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단과, 그 유지 수단과 그 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단을 포함하고, 그 절삭 수단은, 회전축과, 그 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 그 회전축의 선단에 형성되어 그 절삭 블레이드를 유지하는 마운트로 적어도 구성되고, 그 마운트는, 그 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 그 보스부의 외주에 형성되어 그 절삭 블레이드의 절삭날을 노출시켜 지지하는 링상의 지지부와, 그 보스부와 그 지지부의 사이로 개구되어 그 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인공과, 그 흡인공을 흡인원에 연통시키는 연통로를 포함하고, 그 연통로에는 압력계가 배치 형성되고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에는 그 회전축의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지하고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에는 그 회전축의 회전 개시를 허용함과 함께 그 회전축의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하는 제어 수단을 구비하므로, 마운트와 절삭 블레이드 사이에 이물질이 개재되어 충분한 흡인력이 얻어지지 않는 경우에는, 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않기 때문에 절삭 가공이 개시되지 않아, 웨이퍼 및 절삭 블레이드를 손상시킨다는 문제가 해소한다. 또, 본 발명의 절삭 장치에 있어서는, 회전축의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하므로, 마운트 및 절삭 블레이드에 절삭수 및 절삭수가 부착되어도, 마운트 및 절삭 블레이드의 원심력에 의해 절삭수 및 절삭 부스러기를 날려보내, 마운트와 절삭 블레이드 사이의 미소한 간극으로부터 절삭수와 함께 절삭 부스러기가 흡인되지 않는다.A cutting device of the present invention comprises: a holding means for holding a workpiece; a cutting means for rotatably supporting a cutting blade having a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means on its outer periphery; A housing comprising: a cutting water supplying means for supplying cutting water to a workpiece; a holding means and a feeding means for relatively processing and feeding the cutting means, the cutting means including a rotating shaft and a housing for rotatably supporting the rotating shaft and a mount formed at the tip of the rotating shaft to hold the cutting blade, the mount comprising: a boss portion inserted into an opening formed in the center of the cutting blade; and a boss portion formed on the outer periphery of the boss portion to hold the cutting blade A ring-shaped support portion for supporting by exposing the cutting edge of the , a suction hole opening between the boss portion and the support portion to suction and hold the cutting blade, and a communication path for communicating the suction hole with a suction source, the communication A pressure gauge is arranged in the furnace, and when the value measured by the pressure gauge does not reach the allowable value, the start of rotation of the rotary shaft and the start of supply of cutting water are blocked, and when the value measured by the pressure gauge reaches the allowable value, When a foreign material is interposed between the mount and the cutting blade and a sufficient suction force is not obtained because a control means is provided for allowing the start of rotation of the rotary shaft and the start of supply of cutting water after the start of rotation of the rotary shaft In this case, since the value measured by the pressure gauge does not reach the allowable value, the cutting process is not started, and the problem of damaging the wafer and the cutting blade is solved. Further, in the cutting device of the present invention, since the start of supply of cutting water is allowed after the start of rotation of the rotating shaft, even if cutting water and cutting water adhere to the mount and the cutting blade, the cutting water is generated by the centrifugal force of the mount and the cutting blade. and blowing off the chips, so that the chips are not sucked together with the cutting water from the minute gap between the mount and the cutting blade.

도 1 은, 본 발명에 따라서 구성된 절삭 장치의 일부 사시도이다.
도 2 의 (a) 는, 도 1 에 나타내는 절삭 수단의 일부 사시도, (b) 는, (a) 에 나타내는 상태로부터 절삭수 공급부를 들어 올린 상태를 나타내는 사시도, (c) 는, (b) 에 나타내는 상태로부터 절삭 블레이드를 떼어낸 상태를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 1 에 나타내는 절삭 수단의 일부 단면도이다.1 is a partial perspective view of a cutting device constructed in accordance with the present invention;
Fig. 2 (a) is a partial perspective view of the cutting means shown in Fig. 1 , (b) is a perspective view showing a state in which the cutting water supply part is lifted from the state shown in (a), (c) is a perspective view of (b) It is a perspective view which shows the state which removed the cutting blade from the shown state.
Fig. 3 is a partial cross-sectional view of the cutting means shown in Fig. 1 .

이하, 본 발명에 따라서 구성된 절삭 장치의 적절한 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, it demonstrates, referring drawings for suitable embodiment of the cutting device comprised according to this invention.

도 1 에 나타내는 절삭 장치 (2) 는, 피가공물을 유지하는 유지 수단 (4) 과, 유지 수단 (4) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단 (6) 과, 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단 (8) (도 2 참조) 과, 유지 수단 (4) 과 절삭 수단 (6) 을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단 (10) 을 포함한다. 또한, 도 1 에는, 서로 직교하는 X 축 방향, Y 축 방향, Z 축 방향이 각각 화살표 X, Y, Z 로 나타나 있다. X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 평면은 실질상 수평이다.The cutting device 2 shown in Fig. 1 rotatably supports a cutting blade having a holding means 4 for holding a workpiece, and a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means 4 on the outer periphery. One cutting means (6), cutting water supply means (8) for supplying cutting water to the cutting blade and the workpiece (see FIG. 2), and the holding means (4) and the cutting means (6) are relatively processed and fed transport means (10). 1 , the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction orthogonal to each other are indicated by arrows X, Y, and Z, respectively. The planes defined by the X-axis direction and the Y-axis direction are substantially horizontal.

유지 수단 (4) 은, X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 기판 (12) 에 탑재된 X 축 가동판 (14) 과, X 축 가동판 (14) 의 상면에 고정된 지주 (支柱) (16) 와, 지주 (16) 의 상단에 고정된 커버판 (18) 을 구비한다. 커버판 (18) 에는 원형 개구 (18a) 가 형성되고, 원형 개구 (18a) 를 통과하여 상방으로 연장되는 척 테이블 (20) 이 지주 (16) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재되어 있다. 척 테이블 (20) 은, 지주 (16) 에 내장된 척 테이블용 모터 (도시 생략) 에 의해 상하 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 회전된다.The holding means 4 includes an X-axis movable plate 14 mounted on the substrate 12 so as to be freely movable in the X-axis direction, and a post 16 fixed to the upper surface of the X-axis movable plate 14 . and a cover plate 18 fixed to the upper end of the post 16 . A circular opening 18a is formed in the cover plate 18 , and a chuck table 20 extending upwardly through the circular opening 18a is mounted on the upper end of the post 16 so as to be rotatably free. The chuck table 20 is rotated about an axis line extending in the vertical direction by a chuck table motor (not shown) incorporated in the post 16 .

척 테이블 (20) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속된 다공질의 원형상의 흡착 척 (22) 이 배치되어 있다. 그리고, 척 테이블 (20) 에 있어서는, 흡인 수단에 의해 흡착 척 (22) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 흡착 척 (22) 의 상면에 탑재된 피가공물을 흡인 유지하도록 되어 있다. 또, 척 테이블 (20) 의 둘레 가장자리에는, 둘레 방향으로 간격을 두고 복수의 클램프 (24) 가 배치되어 있다.At the upper end of the chuck table 20, a porous circular suction chuck 22 connected to a suction means (not shown) is disposed. And in the chuck table 20, the to-be-processed object mounted on the upper surface of the suction chuck 22 is sucked and held by generating a suction force on the upper surface of the suction chuck 22 by a suction means. Moreover, at the peripheral edge of the chuck table 20, the some clamp 24 is arrange|positioned at intervals in the circumferential direction.

도시된 실시형태의 절삭 수단 (6) 은, 서로 Y 축 방향으로 간격을 두고 절삭 블레이드가 대향하도록 2 개 배치 형성된 제 1 절삭 수단 (6a) 및 제 2 절삭 수단 (6b) 을 가지고 있다. 도시된 실시형태의 절삭 수단 (6) 에 있어서는, 유지 수단 (4) 에 유지된 피가공물을 2 개의 절삭 블레이드에 의해 동시에 절삭 가공을 실시할 수 있도록 되어 있다. 도 2 및 도 3 을 참조하여 설명하면, 제 1 절삭 수단 (6a) 은, 회전축 (26) (도 3 참조) 과, 회전축 (26) 을 회전 가능하게 지지하는 하우징 (28) 과, 회전축 (26) 의 선단에 형성되고 절삭 블레이드 (30) 를 유지하는 마운트 (32) 로 적어도 구성되어 있다.The cutting means 6 of the shown embodiment has the 1st cutting means 6a and the 2nd cutting means 6b formed so that the cutting blades may oppose each other at intervals in the Y-axis direction. In the cutting means 6 of the illustrated embodiment, the workpiece held by the holding means 4 can be simultaneously cut by two cutting blades. 2 and 3, the first cutting means 6a includes a rotary shaft 26 (refer to FIG. 3), a housing 28 that rotatably supports the rotary shaft 26, and a rotary shaft 26 ) is formed at the tip of the at least and consists of a mount (32) for holding the cutting blade (30).

회전축 (26) 의 타단에는, 회전축 (26) 을 회전시키기 위한 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 하우징 (28) 의 선단에는 블레이드 커버 (34) 가 장착되어 있다. 블레이드 커버 (34) 는, 하우징 (28) 의 선단에 고정된 주부 (主部) (36) 와, 주부 (36) 에 자유롭게 요동할 수 있도록 지지된 가동부 (38) 를 포함한다. 절삭 블레이드 (30) 는, 원통상의 기대 (40) 와, 기대 (40) 의 편측면의 외주부에 장착된 환상의 절삭날 (42) 을 갖는다. 기대 (40) 의 중앙부에는 원형상의 개구 (40a) 가 형성되어 있다. 또한, 도 3 에 있어서는, 편의상, 블레이드 커버 (34) 를 생략하고 있다.A motor (not shown) for rotating the rotating shaft 26 is connected to the other end of the rotating shaft 26 . As shown in FIG. 2, the blade cover 34 is attached to the front-end|tip of the housing 28. As shown in FIG. The blade cover 34 includes a main part 36 fixed to the front end of the housing 28 , and a movable part 38 supported by the main part 36 so that it can swing freely. The cutting blade 30 has a cylindrical base 40 and an annular cutting edge 42 attached to the outer periphery of one side of the base 40 . A circular opening 40a is formed in the central portion of the base 40 . In addition, in FIG. 3, the blade cover 34 is abbreviate|omitted for convenience.

도 3 을 참조하여 설명을 계속하면, 마운트 (32) 는, 절삭 블레이드 (30) 의 중앙에 형성된 개구 (40a) 에 삽입되는 보스부 (44) 와, 보스부 (44) 의 외주에 형성되어 절삭 블레이드 (30) 의 절삭날 (42) 을 노출시켜 지지하는 링상의 지지부 (46) 와, 보스부 (44) 와 지지부 (46) 의 사이로 개구되어 절삭 블레이드 (30) 를 흡인 유지하는 흡인공 (50) 과, 흡인공 (50) 을 흡인원 (52) 에 연통시키는 연통로 (54) 를 포함한다.Continuing the description with reference to FIG. 3 , the mount 32 includes a boss portion 44 inserted into an opening 40a formed in the center of the cutting blade 30 , and formed on the outer periphery of the boss portion 44 for cutting. A ring-shaped support portion 46 that exposes and supports the cutting edge 42 of the blade 30, and a suction hole 50 that is opened between the boss portion 44 and the support portion 46 to suction and hold the cutting blade 30 ) and a communication path 54 for communicating the suction hole 50 with the suction source 52 .

보스부 (44) 는 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 보스부 (44) 의 직경은 절삭 블레이드 (30) 의 기대 (40) 의 개구 (40a) 의 직경에 대응하고 있다. 지지부 (46) 의 외경은 절삭 블레이드 (30) 의 절삭날 (42) 의 외경보다 작아, 마운트 (32) 에 절삭 블레이드 (30) 가 장착되었을 때에, 마운트 (32) 로부터 절삭날 (42) 이 노출되게 되어 있다. 또, 지지부 (46) 의 Y 축 방향 선단면은, 보스부 (44) 의 Y 축 방향 선단면보다 후퇴되어 있다.The boss portion 44 is formed in a cylindrical shape, and the diameter of the boss portion 44 corresponds to the diameter of the opening 40a of the base 40 of the cutting blade 30 . The outer diameter of the support portion 46 is smaller than the outer diameter of the cutting edge 42 of the cutting blade 30 , and when the cutting blade 30 is mounted on the mount 32 , the cutting edge 42 is exposed from the mount 32 . is meant to be Moreover, the Y-axis direction front end surface of the support part 46 is retreated from the Y-axis direction front end surface of the boss part 44. As shown in FIG.

보스부 (44) 와 지지부 (46) 의 사이에는, 지지부 (46) 의 선단보다 Y 축 방향으로 더욱 후퇴한 환상 오목부 (48) 가 형성되어 있고, 이 환상 오목부 (48) 에는, 절삭 블레이드 (30) 를 흡인 유지하기 위한 흡인공 (50) 이 형성되어 있다. 도시된 실시형태의 마운트 (32) 에는 1 쌍의 흡인공 (50) 이 형성되어 있다. 흡인공 (50) 은 1 개여도 되지만, 회전 밸런스를 양호하게 하기 위해서 등각도 간격으로 2 개 이상 형성되어 있는 것이 바람직하다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각 흡인공 (50) 은 흡인원 (52) 에 연통로 (54) 를 개재하여 연통되어 있다. 연통로 (54) 에는, 연통로 (54) 내의 압력을 계측하는 압력계 (56) 와, 연통로 (54) 를 개폐하기 위한 밸브 (58) 가 배치 형성되어 있다. 그리고, 마운트 (32) 에 있어서는, 밸브 (58) 를 연 상태로 흡인원 (52) 을 작동함으로써, 보스부 (44) 에 끼워 맞춰진 절삭 블레이드 (30) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.Between the boss part 44 and the support part 46, the annular recessed part 48 further retreated in the Y-axis direction rather than the front-end|tip of the support part 46 is formed, In this annular recessed part 48, a cutting blade A suction hole 50 for holding the suction 30 is formed. A pair of suction holes 50 are formed in the mount 32 of the illustrated embodiment. Although the number of the suction holes 50 may be one, in order to make rotation balance favorable, it is preferable that two or more are formed at equal angular intervals. As shown in FIG. 3 , each suction hole 50 communicates with the suction source 52 via a communication path 54 . In the communication path 54 , a pressure gauge 56 for measuring the pressure in the communication path 54 and a valve 58 for opening and closing the communication path 54 are arranged. And in the mount 32, by operating the suction source 52 with the valve 58 open, the cutting blade 30 fitted to the boss|hub part 44 is attracted|sucked and hold|maintained.

또, 제 1 절삭 수단 (6a) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 적절한 지지 부재 (도시 생략) 에 지지된 Y 축 가동편 (60) 과, Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 Y 축 가동편 (60) 에 지지된 Z 축 가동편 (62) 을 포함한다. Z 축 가동편 (62) 의 하단에는, 상기 하우징 (28) 이 고정되어 있다. 또한, 제 2 절삭 수단 (6b) 에 대해서는, 제 1 절삭 수단 (6a) 과 동일한 구성이면 되므로 제 1 절삭 수단 (6a) 의 구성과 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다.Moreover, as shown in FIG. 1, the 1st cutting means 6a includes the Y-axis movable piece 60 supported by the suitable support member (not shown) so that it can move freely in the Y-axis direction, and the Z-axis direction freely. and a Z-axis movable piece 62 supported on the Y-axis movable piece 60 so as to be movable. The housing 28 is fixed to the lower end of the Z-axis movable piece 62 . In addition, about the 2nd cutting means 6b, since it should just be the same structure as the 1st cutting means 6a, the same code|symbol as the structure of the 1st cutting means 6a is attached|subjected, and description is abbreviate|omitted.

도 2 를 참조하여 절삭수 공급 수단 (8) 에 대해 설명한다. 절삭수 공급 수단 (8) 은, 블레이드 커버 (34) 의 주부 (36) 에 부설된 원통상의 공급구 (64) 와, 공급구 (64) 에 연통시키는 1 쌍의 노즐 (66) 을 포함한다. 공급구 (64) 는 절삭수 공급원 (도시 생략) 에 연통되어 있고, 공급구 (64) 와 절삭수 공급원을 연통하는 수로 (도시 생략) 에는, 이 수로를 개폐하는 밸브 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 도 2 의 (b) 및 도 2 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 노즐 (66) 에는 복수의 분사공 (68) 이 형성되어 있다. 그리고, 절삭수 공급 수단 (8) 에 있어서는, 유지 수단 (4) 에 유지된 피가공물에 절삭 수단 (6) 에 의해 절삭 가공을 실시할 때에, 절삭수 공급원으로부터 공급구 (64) 에 공급된 절삭수를 노즐 (66) 의 분사공 (68) 으로부터 절삭수를 절삭 블레이드 (30) 및 피가공물을 향해 분사하도록 되어 있다.With reference to FIG. 2, the cutting water supply means 8 is demonstrated. The cutting water supply means (8) includes a cylindrical supply port (64) laid on the main part (36) of the blade cover (34), and a pair of nozzles (66) communicating with the supply port (64). . The supply port 64 communicates with a cutting water supply source (not shown), and in a water channel (not shown) communicating the supply port 64 and the cutting water supply source, a valve (not shown) for opening and closing this water channel is formed. have. As shown to FIG.2(b) and FIG.2(c), the some injection hole 68 is formed in the nozzle 66. As shown in FIG. Then, in the cutting water supply means 8 , when cutting the workpiece held by the holding means 4 is performed by the cutting means 6 , the cutting water supplied from the cutting water supply source to the supply port 64 . Cutting water is injected from the injection hole 68 of the nozzle 66 toward the cutting blade 30 and the workpiece.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 압력계 (56) 에는, 절삭 장치 (2) 의 작동을 제어하는 제어 수단 (70) 이 전기적으로 접속되어 있고, 압력계 (56) 에서 계측한 값이 제어 수단 (70) 으로 보내지도록 되어 있다. 컴퓨터로 구성되어 있는 제어 수단 (70) 은, 제어 프로그램에 따라서 연산 처리하는 중앙 처리 장치 (CPU) 와, 제어 프로그램 등을 격납하는 리드 온리 메모리 (ROM) 와, 연산 결과 등을 격납하는 읽고 쓰기 가능한 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 를 갖는다 (모두 도시 생략). 그리고, 제어 수단 (70) 은, 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에는 회전축 (26) 의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지하고, 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에는 회전축 (26) 의 회전 개시를 허용함과 함께 회전축 (26) 의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하도록 되어 있다.As shown in FIG. 3 , a control means 70 for controlling the operation of the cutting device 2 is electrically connected to the pressure gauge 56 , and the value measured by the pressure gauge 56 is transmitted to the control means 70 . is to be sent. The control means 70 constituted by a computer includes a central processing unit (CPU) that performs arithmetic processing according to a control program, a read-only memory (ROM) that stores a control program and the like, and read/write capable of storing an arithmetic result and the like. It has random access memory (RAM) (all not shown). And when the value measured by the pressure gauge 56 does not reach an allowable value, the control means 70 blocks the start of rotation of the rotating shaft 26 and the start of supply of cutting water, and the value measured by the pressure gauge 56 When this allowable value is reached, the start of rotation of the rotary shaft 26 is allowed and the start of supply of cutting water is allowed after the start of rotation of the rotary shaft 26 .

도시된 실시형태의 이송 수단 (10) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, X 축 이송 수단 (72) 과, 기대 (12) 에 걸쳐서 배치 형성된 문 (門) 형 프레임 (도시 생략) 에 배치 형성된 제 1·제 2 Y 축 이송 수단 (74a, 74b) 과, 제 1·제 2 Z 축 이송 수단 (76a, 76b) 을 포함한다. X 축 이송 수단 (72) 은, X 축 가동판 (14) 에 연결되어 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (78) 와, 볼 나사 (78) 를 회전시키는 모터 (80) 를 갖는다. 그리고, X 축 이송 수단 (72) 은, 볼 나사 (78) 에 의해 모터 (80) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 X 축 가동판 (14) 에 전달해서, 절삭 수단 (6) 에 대해 유지 수단 (4) 을 X 축 방향으로 상대적으로 가공 이송한다.As shown in FIG. 1, the conveyance means 10 of embodiment shown is the product arrange|positioned by the X-axis conveyance means 72 and the door-type frame (not shown) arrange|positioned over the base 12 and formed. The first and second Y-axis feed means 74a and 74b and the first and second Z-axis feed means 76a and 76b are included. The X-axis feed means 72 includes a ball screw 78 that is connected to the X-axis movable plate 14 and extends in the X-axis direction, and a motor 80 that rotates the ball screw 78 . And the X-axis feed means 72 converts the rotational motion of the motor 80 into a linear motion by the ball screw 78, transmits it to the X-axis movable plate 14, and is hold|maintained with respect to the cutting means 6 The means (4) is relatively machined in the X-axis direction.

제 1 Y 축 이송 수단 (74a) 은, Y 축 가동편 (60) 에 연결되어 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (82) 와, 볼 나사 (82) 를 회전시키는 모터 (84) 를 갖는다. 그리고, 제 1 Y 축 이송 수단 (74a) 은, 볼 나사 (82) 에 의해 모터 (84) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Y 축 가동편 (60) 에 전달해서, 유지 수단 (4) 에 대해 제 1 절삭 수단 (6a) 을 Y 축 방향으로 상대적으로 가공 이송 (산출 이송) 한다. 또, 제 1 Y 축 이송 수단 (74a) 에 있어서는 모터 (84) 가 볼 나사 (82) 의 Y 축 방향 일단부에 접속되어 있는 한편, 제 2 Y 축 이송 수단 (74b) 에 있어서는 모터 (84) 가 볼 나사 (84) 의 Y 축 방향 타단부에 접속되어 있는 점을 제외하고, 제 2 Y 축 이송 수단 (74b) 은 제 1 Y 축 이송 수단 (74a) 과 동일한 구성이면 된다. 그리고, 제 2 Y 축 이송 수단 (74b) 은, 유지 수단 (4) 에 대해 제 2 절삭 수단 (6b) 을 Y 축 방향으로 상대적으로 가공 이송 (산출 이송) 한다.The first Y-axis feed means 74a includes a ball screw 82 that is connected to the Y-axis movable piece 60 and extends in the Y-axis direction, and a motor 84 that rotates the ball screw 82 . Then, the first Y-axis feed means 74a converts the rotational motion of the motor 84 into a linear motion by the ball screw 82 and transmits it to the Y-axis movable piece 60 , to the holding means 4 . The first cutting means 6a is relatively machine-feed (calculated feed) in the Y-axis direction. Moreover, in the 1st Y-axis feed means 74a, the motor 84 is connected to the Y-axis direction end end of the ball screw 82, while in the 2nd Y-axis feed means 74b, the motor 84 Except for the point connected to the other end of the ball screw 84 in the Y-axis direction, the second Y-axis feed means 74b may have the same configuration as the first Y-axis feed means 74a. Then, the second Y-axis feed means 74b relatively processes the second cutting means 6b in the Y-axis direction with respect to the holding means 4 (calculated feed).

제 1 Z 축 이송 수단 (76a) 은, Z 축 가동편 (62) 에 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시 생략) 와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터 (86) 를 갖는다. 그리고, 제 1 Z 축 이송 수단 (76a) 은, 볼 나사에 의해 모터 (86) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Z 축 가동편 (62) 에 전달해서, 유지 수단 (4) 에 대해 제 1 절삭 수단 (6a) 을 Z 축 방향으로 상대적으로 가공 이송 (절입 이송) 한다. 또, 제 1 Z 축 이송 수단 (76a) 과 동일한 구성이면 되는 제 2 Z 축 이송 수단 (76b) 은, 유지 수단 (4) 에 대해 제 2 절삭 수단 (6b) 을 Z 축 방향으로 상대적으로 가공 이송 (절입 이송) 한다.The first Z-axis feeding means 76a includes a ball screw (not shown) that is connected to the Z-axis movable piece 62 and extends in the Z-axis direction, and a motor 86 that rotates the ball screw. Then, the first Z-axis feed means 76a converts the rotational motion of the motor 86 into a linear motion by means of a ball screw and transmits it to the Z-axis movable piece 62 , and the first Z-axis feed means 4 The cutting means 6a is relatively processed in the Z-axis direction (cutting feed). In addition, the second Z-axis feed means 76b, which may have the same configuration as the first Z-axis feed means 76a, processes the second cutting means 6b relative to the holding means 4 in the Z-axis direction. (Infeed feed).

상기 서술한 바와 같은 절삭 장치 (2) 에서는, 제 1 절삭 수단 (6a) 또는 제 2 절삭 수단 (6b) 중 어느 것에 있어서, 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 사이에 이물질 등이 개재되어 있으면, 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 사이에 간극이 생기고, 이 간극으로부터 연통로 (54) 내에 공기가 유입되기 때문에, 연통로 (54) 내의 압력이 허용치 (예를 들어, 절대압 0.03 ㎫ 정도) 까지 내려가지 않아, 마운트 (32) 가 절삭 블레이드 (30) 를 유지하는 흡인력이 소요의 값이 도달하지 못한다. 따라서, 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에 제어 수단 (70) 은, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지한다.In the cutting device 2 as described above, in either the first cutting means 6a or the second cutting means 6b, a foreign material or the like is interposed between the mount 32 and the cutting blade 30, If there is, a gap is created between the mount 32 and the cutting blade 30, and air flows into the communication path 54 from this gap, so that the pressure in the communication path 54 is set to an allowable value (for example, 0.03 absolute pressure). MPa), and the suction force of the mount 32 holding the cutting blade 30 does not reach the required value. Therefore, when the value measured by the pressure gauge 56 does not reach an allowable value, the control means 70 starts rotation of the rotation shaft 26 of both of the 1st and 2nd cutting means 6a, 6b, and the number of cuts. to stop the supply of

한편, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 쌍방에 있어서, 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 사이에 이물질 등이 개재되어 있지 않은 경우, 절삭 블레이드 (30) 를 마운트 (32) 에 흡인 유지 (장착) 시켰을 때에, 마운트 (32) 의 지지부 (46) 와 절삭 블레이드 (30) 가 밀착하게 된다. 그러면, 연통로 (54) 내의 압력이 허용치까지 내려가, 필요한 흡인력으로 절삭 블레이드 (30) 가 마운트 (32) 에 유지된다. 따라서, 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에 제어 수단 (70) 은, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시를 허용함과 함께, 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용한다.On the other hand, in both of the first and second cutting means 6a and 6b, when no foreign material or the like is interposed between the mount 32 and the cutting blade 30, the cutting blade 30 is mounted on the mount 32 ), the support portion 46 of the mount 32 and the cutting blade 30 come into close contact with each other. Then, the pressure in the communication passage 54 is lowered to an allowable value, and the cutting blade 30 is held by the mount 32 with the required suction force. Therefore, when the value measured by the pressure gauge 56 reaches the allowable value, the control means 70 allows the rotation of the rotation shaft 26 of both the first and second cutting means 6a and 6b to start. Together, the start of supply of cutting water is allowed after the start of rotation of both of the rotary shafts 26 .

이와 같이 도시된 실시형태의 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 어느 일방의 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에는, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지하고, 쌍방의 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에는, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시를 허용함과 함께, 쌍방의 회전축 (26) 의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하는 제어 수단 (70) 을 구비하므로, 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 사이에 이물질이 개재되어 충분한 흡인력이 얻어지지 않는 경우에는 절삭 가공이 개시되지 않기 때문에, 웨이퍼 및 절삭 블레이드 (30) 를 손상시키지 않는다.Thus, in the cutting device 2 of the illustrated embodiment, when the value measured by either pressure gauge 56 does not reach the allowable value, both of the first and second cutting means 6a and 6b The start of rotation of the rotating shaft 26 and the start of supply of cutting water are prevented, and when the values measured by both pressure gauges 56 reach the allowable values, the first and second cutting means 6a and 6b The mount 32 and the cutting blade are provided with control means 70 that allows the start of rotation of the rotary shaft 26 and permits the start of supply of cutting water after the start of rotation of both rotary shafts 26. Since a cutting process is not started when a foreign material interposes between (30) and sufficient suction force is not obtained, a wafer and the cutting blade 30 are not damaged.

또, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 회전축 (26) 의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하므로, 마운트 (32) 및 절삭 블레이드 (30) 에 절삭수 및 절삭수가 부착되어도, 마운트 (32) 및 절삭 블레이드 (30) 의 원심력에 의해 절삭수 및 절삭 부스러기를 날려보내, 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 사이의 미소한 간극으로부터 절삭수와 함께 절삭 부스러기가 흡인되지 않는다.Further, in the cutting device 2, since the start of supply of cutting water is allowed after the rotation of the rotary shaft 26 is started, even if the cutting water and cutting water are attached to the mount 32 and the cutting blade 30, the mount The cutting water and chips are blown away by the centrifugal force of 32 and the cutting blade 30 , and the cutting water and the cutting chips are not sucked from the minute gap between the mount 32 and the cutting blade 30 .

또, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 어느 일방에 의해서만, 유지 수단 (4) 에 유지된 피가공물을 절삭할 때가 있다. 이와 같은 때, 제어 수단 (70) 은, 쌍방의 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달한 상태에서 쌍방의 마운트 (32) 에 절삭 블레이드 (30) 가 장착되어 있는 경우에, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 일방에 의해서만 피가공물의 절삭을 허용함과 함께, 제 1·제 2 절삭 수단 (6a, 6b) 의 타방의 회전축 (26) 을 회전시킨다.Moreover, in the cutting device 2, the to-be-processed object hold|maintained by the holding means 4 may be cut only by either one of the 1st and 2nd cutting means 6a, 6b. In such a case, when the cutting blades 30 are attached to both mounts 32 in a state in which the values measured by the pressure gauges 56 of both sides have reached the allowable values, the control means 70 performs the first · While cutting of a to-be-processed object is permitted only by one of the 2nd cutting means 6a, 6b, the other rotating shaft 26 of the 1st and 2nd cutting means 6a, 6b is rotated.

이로써, 일방의 절삭 수단 (6) 의 절삭에 의해 발생하는 절삭 부스러기가 타방의 절삭 수단 (6) 의 마운트 (32) 에 부착되어 마운트 (32) 가 오염되는 일이 없다. 즉, 압력계 (56) 가 계측한 값이 허용치에 도달한 상태에서 타방의 절삭 수단 (6) 의 마운트 (32) 에 절삭 블레이드 (30) 가 장착되어 있음으로써, 타방의 절삭 수단 (6) 의 마운트 (32) 에 대한 절삭 부스러기의 부착이 방지된다.Thereby, chips generated by cutting of one cutting means 6 do not adhere to the mount 32 of the other cutting means 6 and the mount 32 is not contaminated. That is, the cutting blade 30 is attached to the mount 32 of the other cutting means 6 in a state where the value measured by the pressure gauge 56 has reached the allowable value, so that the mount of the other cutting means 6 is mounted. (32) Adhesion of cutting chips is prevented.

또, 타방의 절삭 수단 (6) 의 절삭 블레이드 (30) 가 마운트 (32) 에 장착되어 있어도, 일방의 절삭 수단 (6) 의 절삭에 의해 발생하는 절삭 부스러기가 절삭 블레이드 (30) 와 마운트 (32) 의 미소한 간극으로부터 흡인되지 않는다. 즉, 타방의 절삭 수단 (6) 의 회전축 (26) 을 회전시킴으로써, 회전에 의한 원심력에 의해서 마운트 (32) 와 절삭 블레이드 (30) 의 미소한 간극으로부터 절삭 부스러기가 흡인되는 것이 방지된다.Moreover, even if the cutting blade 30 of the other cutting means 6 is attached to the mount 32, the cutting chips which generate|occur|produce by cutting of the one cutting means 6 are the cutting blade 30 and the mount 32. ) is not sucked from the minute gap of That is, by rotating the rotating shaft 26 of the other cutting means 6, it is prevented that cutting chips are sucked from the minute clearance gap between the mount 32 and the cutting blade 30 by the centrifugal force by rotation.

또한, 도시된 실시형태의 절삭 장치 (2) 에 있어서 절삭 수단 (6) 을 2 개 구비하는 예를 설명했지만, 절삭 수단 (6) 은 1 개여도 된다.In addition, although the example provided with the two cutting means 6 in the cutting device 2 of illustrated embodiment was demonstrated, the one cutting means 6 may be sufficient.

2 : 절삭 장치
4 : 유지 수단
6 : 절삭 수단
6a : 제 1 절삭 수단
6b : 제 2 절삭 수단
8 : 절삭수 공급 수단
10 : 이송 수단
26 : 회전축
28 : 하우징
30 : 절삭 블레이드
32 : 마운트
42 : 절삭날
44 : 보스부
46 : 지지부
50 : 흡인공
52 : 흡인원
54 : 연통로
56 : 압력계
70 : 제어 수단2: Cutting device
4: maintenance means
6: cutting means
6a: first cutting means
6b: second cutting means
8: cutting water supply means
10: transport means
26: rotation shaft
28: housing
30: cutting blade
32 : mount
42: cutting edge
44: boss
46: support
50: suction hole
52: suction source
54: communication path
56: pressure gauge
70: control means

Claims (2)

피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭날을 외주에 구비한 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지한 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 피가공물에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 수단과, 그 유지 수단과 그 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 이송 수단을 포함하는 절삭 장치로서,
그 절삭 수단은, 회전축과, 그 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 그 회전축의 선단에 형성되어 그 절삭 블레이드를 유지하는 마운트로 적어도 구성되고,
그 마운트는, 그 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 그 보스부의 외주에 형성되어 그 절삭 블레이드의 절삭날을 노출시켜 지지하는 링상의 지지부와, 그 보스부와 그 지지부의 사이로 개구되어 그 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인공과, 그 흡인공을 흡인원에 연통시키는 연통로를 포함하고,
그 연통로에는 압력계가 배치 형성되고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달하지 않은 경우에는 그 회전축의 회전 개시 및 절삭수의 공급 개시를 저지하고, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달한 경우에는 그 회전축의 회전 개시를 허용함과 함께 그 회전축의 회전 개시시 이후에 있어서 절삭수의 공급 개시를 허용하는 제어 수단을 구비하는 절삭 장치.Cutting means for rotatably supporting a cutting blade having, on its outer periphery, a holding means for holding a workpiece, a cutting edge for cutting the workpiece held by the holding means, and cutting water is supplied to the cutting blade and the workpiece A cutting device comprising: a cutting water supply means, a holding means, and a feed means for relatively processing and feeding the cutting means,
The cutting means comprises at least a rotary shaft, a housing for rotatably supporting the rotary shaft, and a mount formed at the tip of the rotary shaft to hold the cutting blade,
The mount includes a boss part inserted into an opening formed in the center of the cutting blade, a ring-shaped support part formed on the outer periphery of the boss part to expose and support the cutting edge of the cutting blade, and the boss part and the support part. A suction hole that is opened to suction and hold the cutting blade, and a communication path for communicating the suction hole with a suction source,
A pressure gauge is arranged in the communication path, and when the value measured by the pressure gauge does not reach the allowable value, the rotation of the rotary shaft and the start of supply of cutting water are blocked, and the value measured by the pressure gauge reaches the allowable value. A cutting device comprising: a control means for permitting the start of rotation of the rotating shaft in this case, and permitting the start of supply of cutting water after the start of rotation of the rotating shaft. 제 1 항에 있어서,
그 절삭 수단은, 그 절삭 블레이드가 대향하도록 2 개 배치 형성되고,
그 제어 수단은, 그 압력계가 계측한 값이 허용치에 도달한 상태에서 쌍방의 그 절삭 수단의 그 마운트에 그 절삭 블레이드가 장착되어 있는 경우에, 일방의 그 절삭 수단에 의해서만 그 유지 수단에 유지된 피가공물의 절삭을 허용함과 함께, 타방의 그 절삭 수단의 그 회전축을 회전시키는 절삭 장치.The method of claim 1,
The cutting means are arranged so that the cutting blades face each other,
The control means is held in the holding means by only one of the cutting means when the cutting blades are mounted on the mounts of both of the cutting means in a state where the value measured by the pressure gauge has reached the allowable value. A cutting device that allows cutting of a workpiece and rotates the rotation shaft of the other cutting means.
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