KR20210057330A - Thin Type Precise Linear Actuator - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a thin precise linear actuator, and more particularly, to a thin precise linear actuator having a structure capable of accurately operating while satisfying sufficient rigidity and precision while having a thin structure. The thin precise linear actuator according to the present invention has an advantage of having a solid structure while being able to precisely and linearly move with high precision while being thin. The present invention includes a support frame.

Description

박형 정밀 리니어 액츄에이터{Thin Type Precise Linear Actuator}Thin Type Precise Linear Actuator

본 발명은 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 얇은 구조로 형성되면서도 충분한 강성과 정밀도를 만족시키며 정확하게 작동이 가능한 구조를 가지는 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to a thin-type precision linear actuator, and more particularly, to a thin-type precision linear actuator having a structure that satisfies sufficient rigidity and precision and can operate accurately while being formed in a thin structure.

반도체 부품을 검사하거나 조립하는 분야 등 다양한 분야에서 공압 실린더와 같은 기계 요소를 사용하여 선형적인 작동을 하는 리니어 액츄에이터가 널리 사용된다. Linear actuators that perform linear operation using mechanical elements such as pneumatic cylinders are widely used in various fields, such as the field of inspecting or assembling semiconductor components.

특히 소형 반도체 부품 등에 대해 작업을 하는 경우 이와 같은 리니어 액츄에이터를 다수개 병렬로 연결하여 동시에 또는 순차적으로 공정을 수행하는 경우가 많다. In particular, when working on small semiconductor parts, etc., a plurality of such linear actuators are connected in parallel to perform processes simultaneously or sequentially.

이와 같은 리니어 액츄에이터를 사용하여 작업을 수행하는 대상 제품의 크기가 소형화되면서 이와 같은 리니어 액츄에이터도 소형화되어 사용되고 있다. 특히, 상술한 바와 같이 다수의 리니어 액츄에이터를 병렬로 연결하여 동시에 또는 순차적으로 작업하는 경우 리니어 액츄에이터의 두께가 얇은 것이 매우 중요하다. 리니어 액츄에이터의 두께가 얇으면 좁은 공간 내에 다수의 리니어 액츄에이터를 병렬로 연결하여 소형 제품에 대한 검사, 조립, 가공 등의 작업을 수행하는 것이 가능하다.As the size of the target product for performing work using such a linear actuator has been reduced, such a linear actuator has also been miniaturized and used. In particular, as described above, when a plurality of linear actuators are connected in parallel to work simultaneously or sequentially, it is very important that the thickness of the linear actuator is thin. If the thickness of the linear actuator is thin, it is possible to perform tasks such as inspection, assembly, and processing for small products by connecting a plurality of linear actuators in parallel within a narrow space.

그런데 대상 제품이 반도체 부품이나 휴대폰용 부품인 경우와 같이 작고 정밀한 제품인 경우에 리니어 액츄에이터의 작업 정밀도와 정확도가 매우 높은 수준으로 요구된다. 리니어 액츄에이터의 두께가 얇아지면 자체 강성이 부족하고 온도 변화나 내부 응력 등의 문제로 인해 뒤틀림과 같은 변형이 발생하기 쉽다. 이러한 경우 마이크로미터 수준의 작동 정밀도를 만족시키면서 10mm 이내의 두께를 가진 리니어 엑츄에이터를 구성하는 것에 어려움이 있다.However, when the target product is a small and precise product such as a semiconductor component or a mobile phone component, the working precision and accuracy of the linear actuator are required at a very high level. When the thickness of the linear actuator becomes thin, its own rigidity is insufficient, and deformation such as distortion is likely to occur due to problems such as temperature change or internal stress. In this case, it is difficult to configure a linear actuator having a thickness of less than 10mm while satisfying the operating precision of the micrometer level.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 위하여 안출된 것으로, 두께가 얇고 크기가 작으면서도 정교하고 정밀한 선형 운동이 가능한 구조를 가지는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was conceived to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a thin precision linear actuator having a structure capable of precise and precise linear motion while being thin in thickness and small in size.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는, 사각 프레임 형태로 형성된 프레임 몸체와, 상기 프레임 몸체의 중앙부에 빈 공간으로 형성되는 작동 공간과, 서로 마주하도록 배치되어 나란하게 연장되도록 상기 프레임 몸체에 형성되어 상기 작동 공간으로 노출되는 한 쌍의 지지 레일과, 상기 한 쌍의 지지 레일과 평행한 방향으로 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 작동 공간까지 연장되어 상기 프레임 몸체에 형성되는 적어도 한 쌍의 연마 홈을 구비하는 지지 프레임; 상기 지지 프레임의 작동 공간 내에 슬라이딩 가능하도록 배치되는 슬라이드 몸체와, 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일과 각각 마주하도록 배치되어 상기 한 쌍의 지지 레일과 나란히 연장되도록 상기 슬라이드 몸체에 형성되는 한 쌍의 슬라이드 레일을 구비하는 슬라이드 블록; 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일에 대한 상기 슬라이드 블록의 한 쌍의 슬라이드 레일의 슬라이딩이 가능하도록 상기 한 쌍의 지지 레일과 상기 한 쌍의 슬라이드 레일의 사이에 구름 가능하게 배치되는 복수의 강구; 및 상기 지지 프레임에 설치되고 상기 슬라이드 블록에 연결되어 상기 지지 프레임에 대해 상기 지지 레일을 따라 상기 슬라이드 블록을 움직이는 작동 부재;를 포함하는 점에 특징이 있다.The thin precision linear actuator according to the present invention for achieving the above object includes a frame body formed in a rectangular frame shape, an operating space formed as an empty space at the center of the frame body, and arranged to face each other to extend side by side. A pair of support rails formed on the frame body and exposed to the operating space, and at least one pair extending from the outer surface of the frame body to the operating space in a direction parallel to the pair of support rails to be formed on the frame body A support frame having a polishing groove of the; A slide body that is slidably disposed in the operating space of the support frame, and a pair of slide bodies formed on the slide body so that they are disposed to face each pair of support rails of the support frame and extend in parallel with the pair of support rails. A slide block having a slide rail; A plurality of steel balls that are rollably disposed between the pair of support rails and the pair of slide rails to enable sliding of a pair of slide rails of the slide block with respect to the pair of support rails of the support frame; And an operation member installed on the support frame and connected to the slide block to move the slide block along the support rail with respect to the support frame.

본 발명에 의한 박형 정밀 리니어 액츄에이터는, 두께가 얇으면서도 높은 정밀도로 정확하게 선형 운동이 가능하면서 견고한 구조를 가지는 장점이 있다.The thin precision linear actuator according to the present invention has the advantage of having a solid structure while being able to accurately linear motion with high precision while being thin in thickness.

도 1 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 분리 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 일부분의 저면도이다.1 and 3 are perspective views of a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1.
4 is a bottom view of a portion of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 분리 사시도이다.1 and 3 are perspective views of a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)과 복수의 강구(600)와 작동 부재(300) 및 워킹 부재(400)를 포함하여 이루어진다.1 to 3, the thin precision linear actuator according to the present embodiment includes a support frame 100, a slide block 200, a plurality of steel balls 600, an operation member 300, and a working member 400. Including.

지지 프레임(100)은 프레임 몸체(110)와 작동 공간(120)과 두 쌍의 연마 홈(113)을 구비한다. The support frame 100 includes a frame body 110 and an operating space 120 and two pairs of polishing grooves 113.

프레임 몸체(110)는 도 2에 도시한 것과 같이 사각 프레임 형태로 형성된다. 프레임 몸체(110)의 중앙부는 사각형의 빈 공간이 형성되고 이 부분이 작동 공간(120)이 된다. 프레임 몸체(110)는 스테인리스 스틸과 같은 금속 재질로 형성되고 정밀도와 내구성을 갖도록 열처리되어 제작된다. The frame body 110 is formed in a rectangular frame shape as shown in FIG. 2. The central portion of the frame body 110 is formed with a rectangular empty space, and this portion becomes the operating space 120. The frame body 110 is formed of a metal material such as stainless steel and is manufactured by heat treatment to have precision and durability.

프레임 몸체(110)에는 한 쌍의 지지 레일(115)이 형성된다. 한 쌍의 지지 레일(115)은 서로 마주하도록 배치되어 프레임 몸체(110)의 길이 방향을 따라 연장되도록 형성되고, 작동 공간(120)을 향해 노출되도록 형성된다. 도 2에 도시한 것과 같이 한 쌍의 지지 레일(115)은 V자 형태의 홈이 연장되는 형상으로 형성된다.A pair of support rails 115 are formed on the frame body 110. A pair of support rails 115 are disposed to face each other, are formed to extend along the longitudinal direction of the frame body 110, and are formed to be exposed toward the operating space 120. As shown in FIG. 2, a pair of support rails 115 is formed in a shape in which a V-shaped groove extends.

얇은 두께로 형성되면서도 열처리에 의한 변형과 자체 강성을 유지할 수 있도록 프레임 몸체(110)와 한 쌍의 지지 레일(115)로 구성되는 지지 프레임(100)은 별도의 구성으로 제작되어 조립되는 것보다는 일체로 형성되는 것이 좋다.The support frame 100 consisting of a frame body 110 and a pair of support rails 115 so as to maintain its own rigidity and deformation due to heat treatment while being formed in a thin thickness is manufactured in a separate configuration and is integrated rather than assembled. It is good to be formed with.

프레임 몸체(110)에는 두 쌍의 연마 홈(113)이 형성된다. 도 2를 참조하면, 연마 홈(113)은 각각 프레임 몸체(110)의 외면에서 작동 공간(120)까지 연장되도록 형성된다. 본 실시예의 경우 도 2에 도시한 것과 같이 프레임 몸체(110)의 상면과 하면에서 각각 작동 공간(120)까지 연장되도록 형성된다. 또한, 두 쌍의 연마 홈(113)은 각각 지지 레일(115)의 상단과 하단에 연결되도록 지지 레일(115)과 평행한 방향으로 연장되도록 형성된다. 또한, 연마 홈(113)은 각각 프레임 몸체(110)의 전면에서 대응하는 지지 레일(115)까지 경사방향으로 연장되도록 형성되며, 지지 레일(115)의 V자 홈의 경사면의 경사 방향과 실질적으로 동일하거나 유사한 방향으로 연장되도록 형성된다. 이와 같은 연마 홈(113)의 구조로 인해 제작자는 프레임 몸체(110)의 상단부 또는 하단부에서 프레임 몸체(110)의 길이 방향을 따라 연마용 공구(800)를 연마 홈(113)을 통해 삽입하여 움직이면서 지지 레일(115)을 용이하게 연마할 수 있다. 즉, 프레임 몸체(110)의 다른 부분에 간섭되지 않고 연마용 공구(800)를 길이 방향으로 움직이면서 지지 레일(115)을 연마하는 것이 가능하다. 경우에 따라서는 프레임 몸체(110)를 고정할 수 있도록 제작된 지그에 복수의 지지 레일(115)을 길이 방향으로 배열하여 고정한 상태에서 연마용 공구(800)를 길이 방향으로 움직이면서 복수의 프레임 몸체(110)의 지지 레일(115)을 동시에 연마하는 것이 가능하다. Two pairs of polishing grooves 113 are formed in the frame body 110. Referring to FIG. 2, the polishing grooves 113 are formed to extend from the outer surface of the frame body 110 to the operating space 120, respectively. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 2, it is formed to extend from the upper and lower surfaces of the frame body 110 to the operating space 120, respectively. In addition, the two pairs of polishing grooves 113 are formed to extend in a direction parallel to the support rail 115 so as to be connected to the upper and lower ends of the support rail 115, respectively. In addition, the polishing grooves 113 are formed to extend in an inclined direction from the front of the frame body 110 to the corresponding support rail 115, respectively, the inclined direction of the inclined surface of the V-shaped groove of the support rail 115 It is formed to extend in the same or similar direction. Due to the structure of the polishing groove 113, the manufacturer inserts and moves the polishing tool 800 through the polishing groove 113 along the length direction of the frame body 110 at the upper or lower end of the frame body 110. The support rail 115 can be easily polished. That is, it is possible to polish the support rail 115 while moving the polishing tool 800 in the longitudinal direction without interfering with other parts of the frame body 110. In some cases, while a plurality of support rails 115 are arranged in a longitudinal direction and fixed to a jig manufactured to fix the frame body 110, while moving the polishing tool 800 in the longitudinal direction, a plurality of frame bodies ( It is possible to polish the support rail 115 of 110) at the same time.

슬라이드 블록(200)은 지지 프레임(100)의 작동 공간(120) 내에 지지 프레임(100)의 길이 방향을 따라서 슬라이딩 가능하도록 배치된다. 슬라이드 블록(200)은 슬라이드 몸체(210)와 한 쌍의 슬라이드 레일(211)을 구비한다. The slide block 200 is disposed to be slidable along the longitudinal direction of the support frame 100 in the operating space 120 of the support frame 100. The slide block 200 includes a slide body 210 and a pair of slide rails 211.

한 쌍의 슬라이드 레일(211)은 슬라이드 몸체(210)에 형성된다. 한 쌍의 슬라이드 레일(211)은 각각 한 쌍의 지지 레일(115)과 마주하도록 배치되고, 한 쌍의 지지 레일(115)과 나란히 연장되도록 형성된다. A pair of slide rails 211 are formed on the slide body 210. Each of the pair of slide rails 211 is disposed to face the pair of support rails 115 and is formed to extend parallel to the pair of support rails 115.

한 쌍의 슬라이드 레일(211)과 슬라이드 몸체(210)는 각각 별도로 제작되는 것보다는 일체로 형성되는 것이 좋다. 이와 같이 일체로 제작되어 열처리 후 연마 가공함으로써 얇은 두께에도 불구하고 충분한 강성과 정밀도를 가진 작동이 가능하게 된다. 한 쌍의 슬라이드 레일(211)도 한 쌍의 지지 레일(115)과 마찬가지로 V자 홈 형태로 연장되도록 형성된다. The pair of slide rails 211 and the slide body 210 are preferably formed integrally rather than separately manufactured. In this way, it is integrally manufactured and polished after heat treatment to enable operation with sufficient rigidity and precision despite the thin thickness. Like the pair of support rails 115, the pair of slide rails 211 is formed to extend in a V-shaped groove shape.

복수의 강구(600)는 한 쌍의 지지 레일(115)과 한 쌍의 슬라이드 레일(211)의 사이에 각각 구름 가능하게 배치된다. 복수의 강구(600)의 구름 운동에 의해 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 레일(211)이 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)에 대해 슬라이딩 운동하게 된다.The plurality of steel balls 600 are disposed so as to be rollable between a pair of support rails 115 and a pair of slide rails 211, respectively. The slide rail 211 of the slide block 200 slides with respect to the support rail 115 of the support frame 100 by rolling motion of the plurality of steel balls 600.

복수의 강구(600)는 케이지 부재(500)에 의해 강구(600) 사이의 간격이 유지되면서 효과적으로 구름 운동하게 된다. 케이지 부재(500)는 도 2에 도시한 것과 같이 한 쌍의 볼 케이지(510)와 연결부(520)를 구비한다. 한 쌍의 볼 케이지(510)는 각각 길이 방향으로 배열되는 복수의 강구 홀(511)을 구비한다. 복수의 강구 홀(511)에는 각각 강구(600)가 삽입되어 구르게 된다. 한 쌍의 볼 케이지(510)는 각각 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에 배치된다. 결과적으로 볼 케이지(510)의 강구 홀(511)에 삽입된 강구(600)들도 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에 위치하게 된다. 연결부(520)는 한 쌍의 볼 케이지(510)를 서로 연결한다. 한 쌍의 볼 케이지(510)가 연결부(520)에 의해 서로 연결됨으로써, 한 쌍의 볼 케이지(510)는 같이 움직이게 된다. 볼 케이지(510)에 의해 강구(600)들의 간격이 유지됨으로써 강구(600)는 서로 접촉하지 않고 원활하게 구름운동하게 된다.The plurality of steel balls 600 are effectively rolled while maintaining the gap between the steel balls 600 by the cage member 500. The cage member 500 includes a pair of ball cages 510 and a connection part 520 as shown in FIG. 2. Each of the pair of ball cages 510 includes a plurality of steel ball holes 511 arranged in the longitudinal direction. Each steel ball 600 is inserted into the plurality of steel ball holes 511 to be rolled. A pair of ball cages 510 are disposed between the support rail 115 and the slide rail 211, respectively. As a result, the steel balls 600 inserted into the steel ball holes 511 of the ball cage 510 are also located between the support rail 115 and the slide rail 211. The connection part 520 connects the pair of ball cages 510 to each other. As the pair of ball cages 510 are connected to each other by the connection portion 520, the pair of ball cages 510 move together. By maintaining the spacing of the steel balls 600 by the ball cage 510, the steel balls 600 do not contact each other and are smoothly rolled.

한편, 도 2에 도시한 것과 같이 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에는 강구 삽입구(111)가 형성된다. 강구 삽입구(111)를 통해 케이지 부재(500)의 복수의 강구 홀(511)에 각각 강구(600)를 쉽게 삽입할 수 있다. 강구 삽입구(111)는 프레임 몸체(110)의 외면에서 한 쌍의 지지 레일(115)까지 연장되도록 형성된다. 강구 삽입구(111)를 통해 강구(600)들을 삽입한 후에는 강구(600)가 빠지지 않도록 무두 볼트를 강구 삽입구(111)에 체결하여 강구(600)가 이탈되거나 이물질이 유입되는 것을 방지하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, a steel ball insertion hole 111 is formed in the frame body 110 of the support frame 100. The steel ball 600 can be easily inserted into the plurality of steel ball holes 511 of the cage member 500 through the steel ball insertion hole 111. The steel ball insertion hole 111 is formed to extend from the outer surface of the frame body 110 to a pair of support rails 115. After inserting the steel balls 600 through the steel ball insertion hole 111, a tanning bolt is fastened to the steel ball insertion hole 111 so that the steel ball 600 does not come out, thereby preventing the steel ball 600 from being separated or foreign substances from entering.

작동 부재(300)는 지지 프레임(100)에 설치되고 슬라이드 블록(200)에 연결되어 지지 프레임(100)에 대해 슬라이드 블록(200)을 움직인다. 본 실시예의 경우 작동 부재(300)는 작동 몸체(310)와 공압 실린더(320)와 탄성 부재(330)를 구비한다.The operation member 300 is installed on the support frame 100 and is connected to the slide block 200 to move the slide block 200 with respect to the support frame 100. In this embodiment, the operation member 300 includes an operation body 310, a pneumatic cylinder 320, and an elastic member 330.

작동 몸체(310)는 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에 결합된다. 공압 실린더(320)는 작동 몸체(310)에 설치되어 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 몸체(210)에 연결된다. 본 실시예의 경우 도 1 및 도 2에 도시한 것과 같이 두 개의 공압 실린더(320)가 설치된다. 공압 실린더(320)를 작동시키면 도 3에 도시한 것과 같이 공압 실린더(320)가 늘어나면서 슬라이드 블록(200)을 하측으로 이송한다. 공압 실린더(320)에 공압이 제거되면 탄성 부재(330)가 슬라이드 블록(200)을 상측으로 이송한다. The operating body 310 is coupled to the frame body 110 of the support frame 100. The pneumatic cylinder 320 is installed on the operating body 310 and connected to the slide body 210 of the slide block 200. In the case of this embodiment, as shown in Figs. 1 and 2, two pneumatic cylinders 320 are installed. When the pneumatic cylinder 320 is operated, the pneumatic cylinder 320 is stretched as shown in FIG. 3 and the slide block 200 is transferred downward. When the pneumatic pressure is removed from the pneumatic cylinder 320, the elastic member 330 transfers the slide block 200 upward.

본 실시예의 경우 탄성 부재(330)는 압축 스프링 형태로 형성된다. 후술하는 워킹 부재(400)와 지지 프레임(100)의 사이에 탄성 부재(330)가 설치되어 워킹 부재(400)를 지지 프레임(100)에 대해 상승시키는 방향으로 탄성력을 제공한다. 공압 실린더(320)가 작동하여 스프링을 압축시키면서 슬라이드 블록(200)을 하강시키고 공압을 제거하면 탄성 부재(330)가 워킹 부재(400)를 밀어 올려서 슬라이드 블록(200)을 상승시킨다.In this embodiment, the elastic member 330 is formed in the form of a compression spring. An elastic member 330 is installed between the working member 400 and the support frame 100 to be described later to provide an elastic force in a direction in which the walking member 400 is raised with respect to the support frame 100. When the pneumatic cylinder 320 is operated to compress the spring, the slide block 200 is lowered and the pneumatic pressure is removed, the elastic member 330 pushes up the working member 400 to raise the slide block 200.

워킹 부재(400)는 슬라이드 블록(200)에 연결되어 설치되고, 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에 대해 승강 가능하게 설치된다. 작동 부재(300)가 슬라이드 블록(200)을 승강시키면 슬라이드 블록(200)에 결합된 워킹 부재(400)도 슬라이드 블록(200)과 같이 승강하게 된다.The working member 400 is installed by being connected to the slide block 200, and is installed to be elevating relative to the frame body 110 of the support frame 100. When the operation member 300 lifts the slide block 200, the working member 400 coupled to the slide block 200 is also lifted up and down like the slide block 200.

워킹 부재(400)에는 다양한 구성이 설치되어, 작업을 수행할 수 있다. 예를 들어 워킹 부재(400)는 원통형으로 형성되고 워킹 부재(400)에 진공 공압이 연결되도록 구성할 수 있다. 이 경우 워킹 부재(400)는 진공 공압의 작용에 따라 물체를 흡착하는 작동이 가능하다. 필요에 따라서 워킹 부재(400) 또는 프레임 몸체(110)에 워킹 부재(400)의 작동 변위를 확인할 수 있는 센서를 설치하는 것도 가능하다.Various configurations are installed on the working member 400 to perform work. For example, the working member 400 may be formed in a cylindrical shape and configured such that vacuum pneumatic pressure is connected to the working member 400. In this case, the working member 400 is capable of adsorbing an object according to the action of vacuum pneumatic pressure. If necessary, it is possible to install a sensor capable of checking the operating displacement of the working member 400 on the working member 400 or the frame body 110.

이하 상술한바와 같이 구성된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 조립 방법 및 작동에 대해 설명한다. Hereinafter, the assembly method and operation of the thin precision linear actuator configured as described above will be described.

본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 매우 얇은 형태의 공압 액츄에이터 형태로 구성되면서도 마이크로 미터 수준의 정교한 오차 범위 내에서 왕복 운동을 수행할 수 있는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 제공하기 위한 것이다. The thin precision linear actuator according to the present invention is to provide a thin precision linear actuator capable of performing a reciprocating motion within a fine error range of a micrometer level while being configured in the form of a very thin pneumatic actuator.

따라서, 전체 구성의 두께가 얇으면서도 마이크로미터 범위 이상 흔들리지 않고 정교하고 정밀하게 작동하는 것이 중요하다. 이를 위해서 본 발명의 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격 및 강구(600)의 공차가 매우 높은 수준으로 제작되어야 하고 사용중에 마모로 인한 품질 저하의 문제가 발생하지 않아야 하므로 열처리를 통해 매우 높은 강도로 제작되어야 한다.Therefore, it is important to operate precisely and precisely without shaking more than the micrometer range while the thickness of the entire configuration is thin. To this end, the thin precision linear actuator of the present invention has to be manufactured at a very high level of the clearance between the support rail 115 and the slide rail 211 and the tolerance of the steel ball 600, and a problem of quality deterioration due to wear during use occurs. Since it should not be made, it should be manufactured with very high strength through heat treatment.

먼저, 지지 프레임(100) 및 슬라이드 블록(200)은 도 2에 도시한 형태로 가공된 후 열처리를 통해 표면 강도를 향상시키게 된다. 이때, 지지 프레임(100)은 앞서 설명한 바와 같이 사각 프레임 형태로 하나의 부품으로(일체로) 제작되므로 열처리 후에도 뒤틀림과 같은 형상 변형이 최소화된다. 지지 프레임(100)을 2개 이상이 부품으로 별도 제작하여 조립하는 경우는 열처리 과정에서 뒤틀림과 변형이 발생하여 필요한 수준의 정밀 동작을 구현하기 어렵게 된다. First, the support frame 100 and the slide block 200 are processed into the shape shown in FIG. 2 and then heat treated to improve surface strength. At this time, since the support frame 100 is manufactured as a single component (integral) in the form of a square frame as described above, shape deformation such as distortion is minimized even after heat treatment. When two or more of the support frames 100 are separately manufactured and assembled as parts, distortion and deformation occur during the heat treatment process, making it difficult to implement a necessary level of precision operation.

이와 같은 상태에서 슬라이드 블록(200)을 지지 프레임(100)의 작동 공간(120)에 배치하여, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)이 서로 마주하도록 배치한다. 이와 같은 상태에서 강구(600)의 외경과 동일한 외경으로 구성된 두 개의 핀 게이지를 한 쌍의 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 각각 밀어 넣는다. 이때, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 간격이 충분하지 않으면 핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 들어가지 않게 된다. In this state, the slide block 200 is disposed in the operating space 120 of the support frame 100 so that the support rail 115 and the slide rail 211 face each other. In this state, two pin gauges having an outer diameter equal to the outer diameter of the steel ball 600 are pushed between the pair of support rails 115 and the slide rail 211, respectively. At this time, if the distance between the support rail 115 and the slide rail 211 is insufficient, the pin gauge does not enter between the support rail 115 and the slide rail 211.

상술한 바와 같이 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에는 연마 홈(113)이 형성되어 있으므로, 제작자는 연마 홈(113)을 통해 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 핀 게이지의 삽입을 시도할 수 있다.As described above, since the frame body 110 of the support frame 100 has a polishing groove 113 formed, the manufacturer has a pin gauge between the support rail 115 and the slide rail 211 through the polishing groove 113. You can try to insert.

핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 들어가지 않으면, 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)을 분리하여 각각 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)을 연마 가공한다. If the pin gauge does not enter between the support rail 115 and the slide rail 211, the support frame 100 and the slide block 200 are separated, and the support rail 115 and the slide rail 211 are polished, respectively. .

이때, 도 4에 도시한 것과 같이 연마용 공구(800)를 연마 홈(113)을 경유하여 움직이도록 함으로써 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)에 대한 연마 작업을 쉽게 수행할 수 있다. 지지 레일(115)은 작동 공간(120) 내에 위치하므로 연마 홈(113)이 없다면 간섭을 피하면서 연마용 공구(800)를 지지 레일(115)에 접근시키는 것이 쉽지 않지만, 본 발명의 경우와 같이 연마 홈(113)이 있는 경우에는 연마용 공구(800)의 위치를 설정한 후 연마 홈(113)을 경유시키면서 작동 공간(120) 내의 지지 레일(115)에 대한 연마 작업을 쉽게 수행할 수 있다. 특히, 상술한 바와 같이 연마 홈(113)의 형태가 지지 레일(115)의 경사면과 나란한 방향으로 형성된 경우 연마 작업을 수행하는 것이 더욱 편리해 진다. 또한, 이와 같이 연마 홈(113)이 형성된 경우 복수의 지지 프레임(100)을 길이 방향을 따라 배열하여 고정하고 연마용 공구(800)를 작동시킴으로써 복수의 지지 프레임(100)에 대한 연마 작업을 동시에 수행할 수 있는 장점이 있다. 즉, 연마 홈(113)의 구조를 이용하여 지지 레일(115)에 대한 자동화 작업의 수행이 가능하고 복수의 지지 프레임(100)을 동시 작업함으로써 생산성도 향상시킬 수 있다. 또한, 연마 홈(113)은 지지 프레임(100)의 일부분에만 홈을 형성하는 것이므로 지지 프레임(100)의 강도와 정밀도를 유지할 수 있는 장점도 있다. 도 4는 원반 형태의 연마용 공구(800)를 회전시키면서 지지 레일(115)을 연마하는 경우를 도시한 것이다. At this time, as illustrated in FIG. 4, by moving the polishing tool 800 through the polishing groove 113, the polishing operation for the support rail 115 of the support frame 100 can be easily performed. Since the support rail 115 is located within the operating space 120, it is not easy to access the polishing tool 800 to the support rail 115 while avoiding interference if there is no polishing groove 113, as in the case of the present invention. If there is a polishing groove 113, after setting the position of the polishing tool 800, it is possible to easily perform a polishing operation on the support rail 115 in the operating space 120 while passing through the polishing groove 113. . In particular, as described above, when the shape of the polishing groove 113 is formed in a direction parallel to the inclined surface of the support rail 115, it is more convenient to perform the polishing operation. In addition, when the polishing groove 113 is formed in this way, the plurality of support frames 100 are arranged and fixed along the length direction, and the polishing operation for the plurality of support frames 100 is simultaneously performed by operating the polishing tool 800. There is an advantage that can be done. That is, by using the structure of the polishing groove 113, it is possible to perform an automated operation on the support rail 115, and by simultaneously working a plurality of support frames 100, productivity may also be improved. In addition, since the polishing groove 113 forms a groove only in a portion of the support frame 100, there is also an advantage of maintaining the strength and precision of the support frame 100. 4 shows a case in which the support rail 115 is polished while rotating the disk-shaped polishing tool 800.

슬라이드 블록(200)은 단순 사각 평판 형태이므로 슬라이드 레일(211)의 연마 작업은 지지 레일(115)의 연마 작업에 비해 용이하게 수행 가능하다. Since the slide block 200 has a simple square plate shape, the polishing operation of the slide rail 211 can be performed more easily than the polishing operation of the support rail 115.

이와 같이 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 연마 작업을 수행한 후 다시 핀 게이지를 이용하여 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격을 확인한다. 픽 게이지에 의한 확인과 연마 작업을 반복적으로 수행하여 핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이로 들어갈 때까지 연마 작업을 진행한다.As described above, after the support rail 115 and the slide rail 211 are polished, the gap between the support rail 115 and the slide rail 211 is checked again using a pin gauge. The polishing operation is performed until the pin gauge enters between the support rail 115 and the slide rail 211 by repeatedly performing the check and polishing operation by the pick gauge.

위와 같은 과정을 통해서, 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)과 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 레일(211)이 서로 대응하도록 맞춤 가공하는 것이 가능하다. 이와 같은 방법으로 단순 절삭 가공을 통해서는 달성할 수 없는 수준의 정교한 미세가공이 가능하다. 또한, 서로 조립될 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)의 상태와 조건에 맞추어 높은 정밀도와 정확도로 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)을 가공하는 것이 가능하다.Through the above process, it is possible to perform custom processing so that the support rail 115 of the support frame 100 and the slide rail 211 of the slide block 200 correspond to each other. In this way, sophisticated micromachining is possible at a level that cannot be achieved through simple cutting operations. In addition, it is possible to process the support rail 115 and the slide rail 211 with high precision and accuracy according to the conditions and conditions of the support frame 100 and the slide block 200 to be assembled with each other.

이와 같은 상태에서 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)의 사이에 케이지 부재(500)의 볼 케이지(510)가 삽입되도록 배치한다. In this state, the ball cage 510 of the cage member 500 is disposed between the support frame 100 and the slide block 200 to be inserted.

다음으로 강구 삽입구(111)를 통해 강구(600)를 순차적으로 삽입하고 슬라이드 블록(200)과 케이지 부재(500)를 조금씩 움직이면서 볼 케이지(510)의 강구 홀(511)에 순차적으로 강구(600)가 안착되도록 한다. 모든 강구 홀(511)에 강구(600)가 안착되면 강구 홀(511)에 무두 볼트를 체결하여 강구 홀(511)을 폐쇄한다.Next, the steel ball 600 is sequentially inserted through the steel ball insertion hole 111 and sequentially into the steel ball hole 511 of the ball cage 510 while moving the slide block 200 and the cage member 500 little by little. Is settled. When the steel ball 600 is seated in all the steel ball holes 511, the steel ball hole 511 is closed by fastening a tanning bolt to the steel ball hole 511.

다음으로, 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)에 작동 부재(300)와 워킹 부재(400)를 조립한다.Next, the operation member 300 and the working member 400 are assembled to the support frame 100 and the slide block 200.

이하, 상술한 바와 같이 조립된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the thin precision linear actuator assembled as described above will be described.

작동 부재(300)의 공압 실린더(320)에 공압을 공급하면 공압 실린더(320)가 늘어나면서 지지 프레임(100)에 대해 슬라이드 블록(200)을 하측으로 이동시키게 된다. 이때, 작동 부재(300)의 탄성 부재(330)인 스프링은 워킹 부재(400)에 의해 압축된다. 도 3에 도시한 것과 같이 워킹 부재(400)는 슬라이드 블록(200)과 함께 하측으로 이동하게 된다. 상술한 바와 같이 워킹 부재(400)에 진공이 연결된 경우에는 대상물을 흡착하게 된다. When pneumatic pressure is supplied to the pneumatic cylinder 320 of the operation member 300, the pneumatic cylinder 320 is increased and the slide block 200 is moved downward with respect to the support frame 100. In this case, the spring, which is the elastic member 330 of the operation member 300, is compressed by the working member 400. As shown in FIG. 3, the working member 400 moves downward together with the slide block 200. As described above, when a vacuum is connected to the working member 400, the object is adsorbed.

다음으로 공압 실린더(320)에 공압을 제거하면 탄성 부재(330)의 힘에 의해 워킹 부재(400)와 슬라이드 블록(200)은 위쪽으로 상승하게 된다. 이와 같은 상태에서 워킹 부재(400)의 공압을 제거하면 대상물은 떨어져서 다른 곳으로 전달될 수 있는 상태가 된다.Next, when pneumatic pressure is removed from the pneumatic cylinder 320, the working member 400 and the slide block 200 rise upward by the force of the elastic member 330. In such a state, when the pneumatic pressure of the working member 400 is removed, the object is in a state in which the object can be separated and transmitted to another place.

슬라이드 블록(200)이 움직일 때 강구(600)는 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이를 구르면서 슬라이드 블록(200)의 안정적인 운동이 가능하도록 한다. 또한, 케이지 부재(500)에 의해 강구(600)는 강구 홀(511) 내에서만 구르게 되므로 강구(600) 사이의 간격이 유지되어 강구(600)들 간에 접촉이 일어나거나 강구(600)가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에서 이탈되는 것이 방지된다. When the slide block 200 moves, the steel ball 600 rolls between the support rail 115 and the slide rail 211 to enable stable movement of the slide block 200. In addition, since the steel balls 600 roll only within the steel balls hole 511 by the cage member 500, the gap between the steel balls 600 is maintained so that contact between the steel balls 600 occurs or the steel balls 600 are supported. Separation between the rail 115 and the slide rail 211 is prevented.

한편, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격은 매우 정교하게 제작되었고 소정의 응력이 강구(600)에 가해지도록 조립되므로, 케이지 부재(500)와 슬라이드 블록(200)은 서로 결합되지 않아도, 강구(600)가 구르면서 슬라이드 블록(200)이 움직이면 케이지 부재(500)도 슬라이드 블록(200)과 함께 움직이게 된다.On the other hand, the gap between the support rail 115 and the slide rail 211 is made very elaborately, and since it is assembled so that a predetermined stress is applied to the steel ball 600, the cage member 500 and the slide block 200 are coupled to each other. Even if not, when the slide block 200 moves while the steel ball 600 rolls, the cage member 500 also moves together with the slide block 200.

한편, 앞에서 강구(600)는 강구 삽입구(111)를 통해 케이지 부재(500)의 강구 홀(511)에 삽입되는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 다른 방법으로 강구(600)를 삽입하는 것도 가능하다. 예를 들어 지지 레일(115)의 연장 방향을 따라 케이지 부재(500)와 슬라이드 블록(200)이 서로 분리되도록 한 상태에서 강구 홀(511)에 강구(600)를 하나씩 순차적으로 삽입하고 케이지 부재(500)에 힘을 가하여 슬라이드 블록(200) 쪽으로 밀어 넣으면 강구(600)가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에서 약간의 슬립 운동을 하면서 최종적으로 강구(600)들이 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이에 위치하게 된다.Meanwhile, the steel ball 600 has been described as being inserted into the steel ball hole 511 of the cage member 500 through the steel ball insertion hole 111, but in some cases, it is possible to insert the steel ball 600 in another way. . For example, in a state in which the cage member 500 and the slide block 200 are separated from each other along the extension direction of the support rail 115, the steel balls 600 are sequentially inserted into the steel ball holes 511 one by one, and the cage member ( 500) and pushed into the slide block 200, the steel balls 600 perform a slight slip movement between the support rail 115 and the slide rail 211, and finally, the steel balls 600 are inserted into the support rail 115. It is located between the slide rail 211 and.

이상, 본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 대해 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명한 구조와 형태로 한정되는 것은 아니다.In the above, a preferred embodiment has been described for the thin precision linear actuator according to the present invention, but the scope of the present invention is not limited to the structure and form described above.

예를 들어, 앞에서 워킹 부재(400)를 구비하는 형태의 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 예로 들어 설명하였으나, 워킹 부재(400)가 없는 구조로 본 발명의 박형 정밀 리니어 액츄에이터가 제작되어 판매 유통될 수 있다. 이 경우에는 본 발명에 따른 제품을 구매하여 사용하는 자가 필요에 따라 적절한 워킹 부재(400)를 설치하여 사용하게 된다.For example, a thin precision linear actuator having a working member 400 has been described as an example, but the thin precision linear actuator of the present invention can be manufactured and distributed in a structure without the working member 400. In this case, a person who purchases and uses the product according to the present invention installs and uses an appropriate working member 400 as necessary.

또한, 앞에서 작동 부재(300)는 공압 실린더(320)를 이용하여 슬라이드 블록(200)을 하강시키고 탄성 부재(300)를 이용하여 슬라이드 블록(200)을 상승시키는 것으로 설명하였으나 탄성 부재(330)를 사용하지 않고 공압 실린더에 의해서 슬라이드 블록을 하강 및 상승시키는 구조의 작동 부재를 사용하는 것도 가능하다. 또한, 공압 실린더(320) 이외의 다른 구조를 가지는 작동 부재를 사용하는 것도 가능하다.In addition, it has been previously described that the operation member 300 lowers the slide block 200 using the pneumatic cylinder 320 and raises the slide block 200 using the elastic member 300, but the elastic member 330 It is also possible to use an actuating member having a structure that lowers and raises the slide block by a pneumatic cylinder without using it. In addition, it is also possible to use an operation member having a structure other than the pneumatic cylinder 320.

또한, 앞에서 케이지 부재(500)를 구비하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 예로 들어 설명하였으나 케이지 부재(500)를 구비하지 않는 구조의 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 구성하는 것도 가능하다. In addition, although a thin precision linear actuator having a cage member 500 has been described above as an example, it is possible to configure a thin precision linear actuator having a structure that does not include the cage member 500.

또한, 케이지 부재(500)는 앞에서 설명한 것과 같이 볼 케이지가 연결부에 의해 연결되지 않고 서로 분리된 형태로 구성되는 것도 가능하다.In addition, as described above, the cage member 500 may be configured in a form in which the ball cage is not connected by a connecting portion and separated from each other.

또한, 지지 프레임(100)의 연마 홈(113)은 앞에서 설명한 것과 같이 지지 레일(115)의 경사 방향으로 연장되도록 구성되지 않고, 연마 공구의 형태에 따라 지지 프레임의 외면에서 작동 공간 내부의 지지 레일에 접근할 수 있는 다양한 형태로 설계 변경하는 것이 가능하다. In addition, the polishing groove 113 of the support frame 100 is not configured to extend in the oblique direction of the support rail 115 as described above, but the support rail inside the operating space from the outer surface of the support frame according to the shape of the polishing tool. It is possible to change the design into a variety of forms that can be accessed.

또한, 경우에 따라서는 연마 홈(113)을 지지 프레임(100)의 상단부와 하단부에 모두 형성하지 않고 상단부와 하단부 중 어느 한 쪽에만 형성하는 구조로 지지 프레임을 구성하는 것도 가능하다.In addition, in some cases, it is possible to configure the support frame with a structure in which the polishing groove 113 is not formed at both the upper end and the lower end of the support frame 100, but is formed only at one of the upper end and the lower end.

또한, 앞에서 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)은 V자 형태의 홈으로 형성되는 것으로 설명하였으나, 지지 레일과 슬라이드 레일의 단면 형상이 반원형이 되거나 그 이외에 다른 형상이 되도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우 연마 공구도 지지 레일과 슬라이드 레일을 연마하기에 적당한 형상으로 된 것을 사용하게 된다. 이 경우에도 연마 홈은 지지 레일의 반원형 단면에 대응하는 연마 공구가 접근 가능한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 것이 좋다.In addition, it has been described above that the support rail 115 and the slide rail 211 are formed in a V-shaped groove, but the cross-sectional shape of the support rail and the slide rail may be semicircular or may be configured to have other shapes. . In this case, the grinding tool is also used in a shape suitable for grinding the support rail and slide rail. Also in this case, the polishing groove is preferably formed so that the polishing tool corresponding to the semicircular cross section of the support rail extends in an oblique direction accessible.

100: 지지 프레임 110: 프레임 몸체
120: 작동 공간 113: 연마 홈
111: 강구 삽입구 115: 지지 레일
200: 슬라이드 블록 210: 슬라이드 몸체
211: 슬라이드 레일 300: 작동 부재
310: 작동 몸체 320: 공압 실린더
330: 탄성 부재 400: 워킹 부재
500: 케이지 부재 510: 볼 케이지
511: 강구 홀 520: 연결부
600: 강구 800: 연마용 공구100: support frame 110: frame body
120: working space 113: grinding groove
111: steel ball insertion port 115: support rail
200: slide block 210: slide body
211: slide rail 300: operating member
310: working body 320: pneumatic cylinder
330: elastic member 400: working member
500: cage member 510: ball cage
511: steel ball hole 520: connection
600: steel ball 800: polishing tool

Claims (11)

사각 프레임 형태로 형성된 프레임 몸체와, 상기 프레임 몸체의 중앙부에 빈 공간으로 형성되는 작동 공간과, 서로 마주하도록 배치되어 나란하게 연장되도록 상기 프레임 몸체에 형성되어 상기 작동 공간으로 노출되는 한 쌍의 지지 레일과, 상기 한 쌍의 지지 레일과 평행한 방향으로 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 작동 공간까지 연장되어 상기 프레임 몸체에 형성되는 적어도 한 쌍의 연마 홈을 구비하는 지지 프레임;
상기 지지 프레임의 작동 공간 내에 슬라이딩 가능하도록 배치되는 슬라이드 몸체와, 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일과 각각 마주하도록 배치되어 상기 한 쌍의 지지 레일과 나란히 연장되도록 상기 슬라이드 몸체에 형성되는 한 쌍의 슬라이드 레일을 구비하는 슬라이드 블록;
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일에 대한 상기 슬라이드 블록의 한 쌍의 슬라이드 레일의 슬라이딩이 가능하도록 상기 한 쌍의 지지 레일과 상기 한 쌍의 슬라이드 레일의 사이에 구름 가능하게 배치되는 복수의 강구; 및
상기 지지 프레임에 설치되고 상기 슬라이드 블록에 연결되어 상기 지지 프레임에 대해 상기 지지 레일을 따라 상기 슬라이드 블록을 움직이는 작동 부재;를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.A frame body formed in the form of a square frame, an operating space formed as an empty space at the center of the frame body, and a pair of support rails formed on the frame body so as to extend side by side and arranged to face each other and exposed to the operating space And, a support frame having at least a pair of polishing grooves formed in the frame body by extending from an outer surface of the frame body to the operating space in a direction parallel to the pair of support rails;
A slide body that is slidably disposed in the operating space of the support frame, and a pair of slide bodies formed on the slide body so that they are disposed to face each of the pair of support rails of the support frame and extend in parallel with the pair of support rails. A slide block having a slide rail;
A plurality of steel balls that are rollably disposed between the pair of support rails and the pair of slide rails to enable sliding of the pair of slide rails of the slide block with respect to the pair of support rails of the support frame; And
And an operation member installed on the support frame and connected to the slide block to move the slide block along the support rail with respect to the support frame. 제1항에 있어서,
상기 슬라이드 블록에 의해 움직이며 작업을 수행할 수 있도록 상기 슬라이드 블록에 연결되어 설치되는 워킹 부재;를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 1,
A thin precision linear actuator further comprising a; a working member connected to and installed to the slide block to perform an operation while being moved by the slide block. 제1항에 있어서,
상기 지지 프레임의 프레임 몸체와 한 쌍의 지지 레일은 일체로 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 1,
The frame body of the support frame and a pair of support rails are integrally formed with a thin precision linear actuator. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 지지 레일과 한 쌍의 슬라이드 레일 사이에 각각 배치되고 상기 복수의 강구가 각각 삽입되어 구를 수 있는 복수의 강구 홀을 구비하는 한 쌍의 볼 케이지를 구비하는 케이지 부재;를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 1,
A cage member having a pair of ball cages each disposed between the pair of support rails and the pair of slide rails and having a plurality of steel ball holes through which the plurality of steel balls are inserted and rolled. Thin precision linear actuator. 제4항에 있어서,
상기 케이지 부재는 상기 한 쌍의 볼 케이지가 같이 움직이도록 서로 연결하는 연결부를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 4,
The cage member is a thin precision linear actuator further comprising a connection portion for connecting to each other so that the pair of ball cages move together. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일은 V자 형태의 홈으로 형성되고,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 경사면과 동일한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method according to any one of claims 1 to 5,
The pair of support rails of the support frame is formed into a V-shaped groove,
The polishing grooves of the support frame are formed to extend in the same inclined direction as the inclined surfaces of the pair of support rails. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일은 반원 형태의 홈으로 형성되고,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 반원형 단면에 대응하는 연마 공구가 접근 가능한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method according to any one of claims 1 to 5,
The pair of support rails of the support frame is formed into a semicircular groove,
The polishing groove of the support frame is formed so that the polishing tool corresponding to the semicircular cross section of the pair of support rails extends in an accessible oblique direction. 제6항에 있어서,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 양단과 각각 연결되도록 상기 프레임 몸체에 두 쌍이 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 6,
A thin precision linear actuator in which two pairs of polishing grooves of the support frame are formed in the frame body to be connected to both ends of the pair of support rails, respectively. 제6항에 있어서,
상기 작동 부재는, 상기 지지 프레임의 프레임 몸체에 결합되는 작동 몸체와, 상기 작동 몸체에 설치되어 상기 슬라이드 블록의 슬라이드 몸체에 연결되는 공압 실린더를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 6,
The operation member, a thin precision linear actuator comprising an operation body coupled to the frame body of the support frame, and a pneumatic cylinder installed on the operation body and connected to the slide body of the slide block. 제2항에 있어서,
상기 작동 부재는, 상기 지지 프레임의 프레임 몸체에 결합되는 작동 몸체와, 상기 작동 몸체에 설치되어 상기 슬라이드 블록의 슬라이드 몸체에 연결되는 공압 실린더와, 상기 작동 몸체와 상기 워킹 부재 사이에 설치되어 상기 공압 실린더에 의해 움직인 상기 워킹 부재를 복귀시키도록 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method of claim 2,
The operation member includes an operation body coupled to the frame body of the support frame, a pneumatic cylinder installed on the operation body and connected to the slide body of the slide block, and the pneumatic cylinder installed between the operation body and the working member. Thin precision linear actuator comprising an elastic member for providing an elastic force to return the working member moved by the cylinder. 제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 지지 프레임은, 상기 복수의 강구를 상기 케이지 부재의 복수의 강구 홀에 각각 삽입할 수 있도록 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 한 쌍의 지지 레일까지 연장되도록 형성되는 강구 삽입구를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.The method according to claim 4 or 5,
The support frame, thin precision linear further comprising a steel ball insertion hole formed to extend from the outer surface of the frame body to the pair of support rails so that the plurality of steel balls can be respectively inserted into the plurality of steel ball holes of the cage member Actuator.
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