JP5388664B2 - Positioning stage - Google Patents
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Description
本発明は、解析のための或る種の試料や、或る種の加工等を達成するためのワーク等を設置する位置決めステージに関するものである。 The present invention relates to a positioning stage on which a certain sample for analysis, a workpiece for achieving a certain kind of processing, and the like are placed.
光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージに於いては、光ファイバーの端面を接合する加工工程やプリズムの貼付工程、或る種の試料に例えば放射線を照射して成分を解析するような過程等で、ワークや試料等を任意の方向から観察するため、これ等を所定位置にミクロン単位で移動或いは秒単位角度で傾斜姿勢となるように極めて精度高く設置する必要があり、これを達成するための装置が多く開発されている。 In sample stages used in optical microscopes and electron microscopes, processing steps for joining the end faces of optical fibers, prism application steps, processes for analyzing components by irradiating radiation to certain types of samples, etc. In order to observe a workpiece or sample from an arbitrary direction, it is necessary to move these to a predetermined position in units of microns or incline in a unit of seconds. Many devices have been developed.
特許文献1の発明「X・Yステージ」は、固定ベースに対しX水平方向に移動するX軸ベースを組み付け、更にこのX軸ベースに対しY水平方向に移動するY軸ベースを組み付ける構成で、Y軸ベース上面に試料等を載置するものであるが、少なくとも固定ベースとX軸ベースとY軸ベースとの三段組であるから、それだけ高さ幅が大型となり、バランスが不良となる原因となって精度高い移動が期待できず、また取り付けスペースが嵩む不満があった。 The invention “X / Y stage” of Patent Document 1 is configured to assemble an X-axis base that moves in the X horizontal direction with respect to the fixed base, and further assemble a Y-axis base that moves in the Y horizontal direction with respect to this X-axis base. The sample is placed on the top surface of the Y-axis base, but it is at least a three-stage set consisting of a fixed base, an X-axis base, and a Y-axis base. As a result, it was impossible to expect high-precision movement, and there was a complaint that the installation space was large.
この点を改良したのが特許文献2の考案「2軸平面移動ステージ」である。ここでは、基板上に対向して配設された第1、第2のY軸ガイドと、このY軸ガイドに沿いY−Y’軸方向に移動する対向する第1、第2のY軸スライダと、Y軸スライダにそれぞれ固着された対向する第1、第2のX軸ガイドと、このX軸ガイドに沿いX−X’軸方向に移動するX軸スライダと、このX軸スライダのY−Y’軸方向とX−X’軸方向への移動手段を備えており、互いに直交する方向に移動可能な直進ステージの構成である。この構成では、被検物が取り付けられるX軸スライダが同一平面上でX−X’軸及びY−Y’軸方向に直進移動できるので、特許文献1の発明に較べて装置全体の高さ幅を低くすることができる。 An improvement of this point is the “biaxial planar moving stage” of Patent Document 2. Here, the first and second Y-axis guides arranged opposite to each other on the substrate, and the first and second Y-axis sliders facing each other and moving in the YY′-axis direction along the Y-axis guide. A first X-axis guide and a second X-axis guide that are fixed to the Y-axis slider, an X-axis slider that moves along the X-axis guide in the XX′-axis direction, and a Y-axis of the X-axis slider. This is a configuration of a linear stage that includes moving means in the Y′-axis direction and the XX′-axis direction and is movable in directions orthogonal to each other. In this configuration, since the X-axis slider to which the test object is attached can move linearly in the XX ′ axis direction and the YY ′ axis direction on the same plane, the height width of the entire apparatus as compared with the invention of Patent Document 1. Can be lowered.
しかしながら、X軸スライダが組み付けられる一対のX軸ガイドは、一対のY軸ガイドに組み付けられているので、X軸ガイドの長さ幅はY軸スライダの長さ幅より極端に短く、剛性の弱い問題がある。剛性はガイドの長さに比例するので、短いとそれだけ弱くなるのである。そしてこの長さが大きく異なる結果、X方向とY方向の剛性に大きな差が形成されるため、安定した精度ある移動が期待できない。また、X軸スライダとX軸ガイド及びY軸スライダとY軸ガイドとは、所謂アリ摺動の組み付きであるから、静止摩擦係数と動摩擦係数の差が大きく、作動滑りが生じ易い問題も推察される。 However, since the pair of X-axis guides to which the X-axis slider is assembled is assembled to the pair of Y-axis guides, the length of the X-axis guide is extremely shorter than the length of the Y-axis slider, and the rigidity is weak. There's a problem. Since rigidity is proportional to the length of the guide, the shorter it is, the weaker it becomes. As a result of the great difference in length, a large difference is formed in the rigidity in the X direction and the Y direction, and stable and accurate movement cannot be expected. In addition, since the X-axis slider and the X-axis guide and the Y-axis slider and the Y-axis guide are so-called ant sliding assemblies, there is a large difference between the static friction coefficient and the dynamic friction coefficient, and there is also a problem that operational slip is likely to occur. The
次に、特許文献3の発明「試料ステージ」或いは特許文献4の発明「チルトステージ」は、ステージをX方向とY方向とに夫々揺動移動できるようにしてステージ上面の所望傾斜姿勢を得ようとするものであり、ベースプレートに対し所定曲率湾曲面で面接摺動するX方向揺動ステージを組み付け、次いでこのX方向揺動ステージに対し他の所定曲率湾曲面で面接摺動するY方向揺動ステージを上下に重ねて組み付ける形態である。そのため、これ等の発明は、上述の従来例と同様に大型、バランス不良、精度不良、取り付けスペースの嵩み、等の欠点が存する。 Next, the invention “Sample Stage” in Patent Document 3 or the “Tilt Stage” in Patent Document 4 allows the stage to swing and move in the X direction and the Y direction, respectively, so as to obtain a desired tilt posture of the stage upper surface. An X-direction swinging stage that slides in a surface with a predetermined curvature curved surface is assembled to the base plate, and then a Y-direction swinging that slides in a surface with another predetermined curvature curved surface with respect to the X-direction swinging stage. This is a form in which the stages are assembled one above the other. Therefore, these inventions have drawbacks such as large size, poor balance, poor accuracy, and a large installation space, as in the above-described conventional example.
しかも特に特許文献3で触れられているように、上下に位置するX方向揺動ステージとY方向揺動ステージの、ベースプレートに対する面接摺動湾曲面或いはX方向揺動ステージに対する面接摺動湾曲面の夫々の曲率は、ステージ上面の試料等の載置位置を曲率中心としなければならないために、異なる値に設定することになり、各揺動ステージにつき異なる部材を用意する必要がある点、夫々の製造精度に高い水準が要求される点、そして相互の組み付けによる誤差の発生を常に配慮しなければならない点、等に於いて極めて多くの労力が要求されるものである。 In addition, as particularly mentioned in Patent Document 3, the surface-sliding curved surface with respect to the base plate or the surface-sliding curved surface with respect to the X-direction rocking stage of the X-direction rocking stage and the Y-direction rocking stage positioned above and below Each curvature has to be set to a different value because the mounting position of the sample on the upper surface of the stage must be the center of curvature, and it is necessary to prepare different members for each swing stage. A great amount of labor is required in that a high level of manufacturing accuracy is required and that the occurrence of errors due to mutual assembly must always be taken into account.
よって本発明は、上述した従来技術の欠点、不都合、不満を解消するべく開発された位置決めステージであって、光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージを、所定位置にミクロン単位で移動させ或いは秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることを目的とする。 Therefore, the present invention is a positioning stage developed to eliminate the above-mentioned drawbacks, inconveniences and dissatisfactions of the prior art, and moves the sample stage used for an optical microscope or an electron microscope to a predetermined position in units of microns. It is an object of the present invention to perform control with high accuracy and to suppress the size of the entire apparatus as much as possible so as to obtain an inclined posture of a second unit angle.
上記課題を解決するため、請求項1に記載の本発明は、固定ベースプレートと、この固定ベースプレート上に、X方向に延出する一対のX方向クロスローラガイドを介してX方向に水平移動可能に組み付けられる中テーブルと、この中テーブルに、Y方向に延出する一対のY方向クロスローラガイドを介してY方向に水平移動可能に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブルとから構成され、前記したX方向クロスローラガイドとY方向クロスローラガイドとを同一平面上に配することを特徴とする構成である。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention according to claim 1 is capable of horizontally moving in the X direction via a fixed base plate and a pair of X-direction cross roller guides extending in the X direction on the fixed base plate. An intermediate table to be assembled, and an installation table mounted on the intermediate table so as to be horizontally movable in the Y direction via a pair of Y-direction cross roller guides extending in the Y direction and on which the sample is placed The X direction cross roller guide and the Y direction cross roller guide are arranged on the same plane.
また、請求項2に記載の本発明は、固定ベースプレートと、この固定ベースプレート上に、θX方向に湾曲延出する一対のθX方向クロスローラガイドを介してθX方向に揺動移動可能に組み付けられる中テーブルと、この中テーブルに、θY方向に湾曲延出する一対のθY方向クロスローラガイドを介してθY方向に揺動移動可能に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブルとから構成され、前記したθX方向クロスローラガイドとθY方向クロスローラガイドとを同一平面上に配することを特徴とする構成である。 According to a second aspect of the present invention, the fixed base plate and the fixed base plate are assembled so as to be swingable in the θX direction via a pair of θX direction cross roller guides extending in the θX direction. A table and an installation table on which a sample is placed on the upper surface are assembled to the middle table so as to be swingable in the θY direction via a pair of θY-direction cross roller guides extending in the θY direction. The θX direction cross roller guide and the θY direction cross roller guide are arranged on the same plane.
上記した請求項1に記載の本発明にあって、固定ベースプレートに対して中テーブルは、X方向に延出する一対のX方向クロスローラガイドを介してX方向に水平直進移動可能となり、中テーブルに対して設置テーブルは、Y方向に延出する一対のY方向クロスローラガイドを介してY方向に水平直進移動可能となる。即ち上面に試料が載置される設置テーブルは、固定ベースプレートに対して中テーブルを介してX方向とY方向とに水平直進移動させることができ、上面の試料を所定位置に設置できるのである。 In the present invention as set forth in claim 1, the intermediate table can move horizontally in the X direction through a pair of X direction cross roller guides extending in the X direction with respect to the fixed base plate. On the other hand, the installation table can move horizontally in the Y direction via a pair of Y direction cross roller guides extending in the Y direction. That is, the installation table on which the sample is placed can be moved horizontally in the X direction and the Y direction with respect to the fixed base plate via the middle table, and the sample on the upper surface can be installed at a predetermined position.
この場合、一対のX方向クロスローラガイドと一対のY方向クロスローラガイドとは同一平面上に配されているので、位置決めステージ全体の高さ幅を実質的に設置テーブルと固定ベースプレートの高さ幅に抑えることができ、全体的に小型で取り付けスペースを最小限とし、しかもバランスの良い精度高い移動が得られる。更には、X方向クロスローラガイドとY方向クロスローラガイドとは同一の長さストロークで且つ充分の長さを確保できるため、高い剛性を維持でき、安定した精度ある移動が達成できるのである。 In this case, since the pair of X direction cross roller guides and the pair of Y direction cross roller guides are arranged on the same plane, the height width of the entire positioning stage is substantially the height width of the installation table and the fixed base plate. The overall size is small, the installation space is minimized, and a balanced and accurate movement is obtained. Furthermore, since the X-direction cross roller guide and the Y-direction cross roller guide have the same length stroke and a sufficient length can be secured, high rigidity can be maintained and stable and accurate movement can be achieved.
また、周知のようにクロスローラガイドは、精密研削加工されたV溝転送面を有する一対のローラレースと、この対向するV溝空間内に精密円筒コロを交互に直交させて組み込んだローラケージとから構成されており、ローラレース上を複数の円筒コロが転動するため停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動滑りが生じにくい利点があり、更には、線接触で荷重を支えるので剛性が高い。 Further, as is well known, the cross roller guide is composed of a pair of roller races having a V-groove transfer surface subjected to precision grinding, and a roller cage in which precision cylinder rollers are alternately and orthogonally installed in the opposing V-groove space. Since there are a plurality of cylindrical rollers rolling on the roller race, there is an advantage that the change in friction from the stop to the start (difference between static friction and dynamic friction) is small, and it is difficult to cause operating slip. Since the load is supported by line contact, the rigidity is high.
それ故、上記した本発明の如く、固定ベースプレートに対する中テーブルの水平直進移動、及び中テーブルに対する設置テーブルの水平直進移動を夫々クロスローラガイドを介して行えば、微小送りを正確に追随させ、低速から高速までの安定した動作が可能であり、高剛性及び高負荷容量を実現することができる。 Therefore, if the horizontal movement of the middle table relative to the fixed base plate and the horizontal movement of the installation table relative to the middle table are respectively performed via the cross roller guide as in the present invention described above, the minute feed can be accurately followed and the low speed can be achieved. Stable operation from high to high speed is possible, and high rigidity and high load capacity can be realized.
また、請求項2に記載の本発明にあっては、固定ベースプレートに対して中テーブルは、θX方向に湾曲延出する一対のθX方向クロスローラガイドを介してθX方向に揺動移動可能となり、中テーブルに対して設置テーブルは、θY方向に湾曲延出する一対のθY方向クロスローラガイドを介してθY方向に揺動移動可能となる。即ち上面に試料が載置される設置テーブルは、固定ベースプレートに対して中テーブルを介してθX方向とθY方向とに揺動移動させることができ、上面の試料を所定位置に設置できるのである。 In the present invention described in claim 2, the middle table can swing and move in the θX direction via a pair of θX-direction cross roller guides that are curved and extended in the θX direction with respect to the fixed base plate. The installation table can swing and move in the θY direction via a pair of θY-direction cross roller guides extending in the θY direction with respect to the middle table. That is, the installation table on which the sample is placed can be swung in the θX direction and the θY direction with respect to the fixed base plate via the middle table, and the sample on the upper surface can be installed at a predetermined position.
この場合、一対のθX方向クロスローラガイドと一対のθY方向クロスローラガイドとは同一平面上に配されているので、位置決めステージ全体の高さ幅を実質的に設置テーブルと固定ベースプレートの高さ幅に抑えることができ、全体的に小型で取り付けスペースを最小限とし、しかもバランスの良い精度高い移動が得られる。 In this case, since the pair of θX direction cross roller guides and the pair of θY direction cross roller guides are arranged on the same plane, the height width of the entire positioning stage is substantially equal to the height width of the installation table and the fixed base plate. The overall size is small, the installation space is minimized, and a balanced and accurate movement is obtained.
そしてクロスローラガイドを用いることの利点は前述の通りであり、微小送りを正確に追随させ、低速から高速までの安定した動作が可能であり、高剛性及び高負荷容量を実現することができる。 The advantages of using the cross roller guide are as described above. The micro-feed can be accurately followed, stable operation from low speed to high speed is possible, and high rigidity and high load capacity can be realized.
更には、θX方向クロスローラガイドとθY方向クロスローラガイドとは同一平面上に配されることになるので、曲率中心となる設置テーブルの上面特定点に対して全て同一曲率の湾曲成形で済むことになり、θX方向クロスローラガイドとθY方向クロスローラガイドとで異なる曲率の製品を用意する必要がない点で、更なる高度な精密動作が期待できるだけでなく、製造コストを廉価にし、組み立ての手間の軽減が図れる等、多くの優れた作用効果を奏する。 Furthermore, since the θX direction cross roller guide and the θY direction cross roller guide are arranged on the same plane, it is only necessary to perform curve forming with the same curvature with respect to a specific point on the upper surface of the installation table serving as the center of curvature. Since it is not necessary to prepare products with different curvatures for the θX direction cross roller guide and θY direction cross roller guide, not only higher precision operation can be expected, but also the manufacturing cost is reduced and the labor of assembly is reduced. It has many excellent effects such as being able to reduce this.
図1乃至図6で示した水平移動を達成する位置決めステージ10は、固定ベースプレート11と、この固定ベースプレート11上に組み付けられる中テーブル12と、この中テーブル12に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブル13とから構成される。
The
固定ベースプレート11と中テーブル12とは、中テーブル12を固定ベースプレート11上に組み付け、X方向に延出する一対のX方向クロスローラガイド14を介してX方向に水平直進移動可能となっており、中テーブル12と設置テーブル13とは、設置テーブル13を中テーブル12上に組み付け、Y方向に延出する一対のY方向クロスローラガイド15を介してY方向に水平直進移動可能になっている。
この場合、前記した中テーブル12の下面でX方向に沿った両端部に、外面にV溝14bを刻設したローラレース14aを前記したX方向クロスローラガイド14の一部としてX方向に水平延出する形態で対向して垂下設すると共に、前記した中テーブル12の下面でY方向に沿った両端部に、外面にV溝15bを刻設したローラレース15aを前記したY方向クロスローラガイド15の一部としてY方向に水平延出する形態で対向して垂下設し、前記した固定ベースプレート11の上面でX方向に沿った両端部に、内面にV溝14b’を刻設したローラレース14a’ を前記したX方向クロスローラガイド14の一部としてX方向に水平延出する形態で対向して配置し、更に、前記した設置テーブル13の下面でY方向に沿った両端部に、内面にV溝15b’を刻設したローラレース15a’を前記したY方向クロスローラガイド15の一部としてY方向に水平延出する形態で対向して垂下設する。
The fixed
In this case, a
次に、図7乃至図12で示した揺動移動を達成する位置決めステージ100は、固定ベースプレート101と、この固定ベースプレート101上に組み付けられる中テーブル102と、この中テーブル102に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブル103とから構成される。
Next, the
固定ベースプレート101と中テーブル102とは、中テーブル102を固定ベースプレート101上に組み付け、θX方向に湾曲延出する一対のθX方向クロスローラガイド104を介してθX方向に揺動移動可能となっており、中テーブル102と設置テーブル103とは、設置テーブル103を中テーブル102上に組み付け、θY方向に湾曲延出する一対のθY方向クロスローラガイド105を介してθY方向に揺動移動可能になっている。
この場合、前記した中テーブル102の下面でX方向に沿った両端部に、外面にV溝104bを刻設したローラレース104aを前記したθX方向クロスローラガイド104の一部としてθX方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設すると共に、前記した中テーブル102の下面でY方向に沿った両端部に、外面にV溝(05bを刻設したローラレース105aを前記したθY方向クロスローラガイド105の一部としてθY方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設し、前記した固定ベースプレート101の上面でX方向に沿った両端部に、内面にV溝104b’を刻設したローラレース104a’を前記したθX方向クロスローラガイド104の一部としてθX方向に湾曲延出する形態で対向して配置し、更に、前記した設置テーブル103の下面でY方向に沿った両端部に、内面にV溝105b’を刻設したローラレース105a’を前記したθY方向クロスローラガイド105の一部としてθY方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設する。
The fixed
In this case, a
図1乃至図6で、先ず、方形板形状の中テーブル12にあって、その下面に於けるX方向に沿った両端部には、ローラレース14aがX方向に水平延出する形態で対向して垂下設され、このローラレース14aの外面にV溝14bが刻設されてある。一方、中テーブル12の下面に於けるY方向に沿った両端部には、ローラレース15aがY方向に水平延出する形態で対向して垂下設され、このローラレース15aの外面にV溝15bが刻設されてある(図3参照)。即ち、中テーブル12の下面には、対向する一対のローラレース14aと対向する一対のローラレース15aとが井桁状に垂下形成されているのである。
In FIG. 1 to FIG. 6, first, in the rectangular plate-shaped intermediate table 12,
次に、中テーブル12が上方より組み付けられる方形板形状の固定ベースプレート11にあって、その上面に於けるX方向に沿った両端部にはX方向に延出する一対のブロック16が対向配置され、このブロック16の内面には夫々ローラレース14a’がX方向に水平延出する形態で配置され、このローラレース14a’の内面にV溝14b’が刻設されてある。
Next, in the rectangular plate-like fixed
そして、中テーブル12を固定ベースプレート11に組み付けた状態で、中テーブル12のローラレース14aの外面側に固定ベースプレート11のローラレース14a’を位置させ、夫々のV溝14bとV溝14b’とにより形成される空間内に精密円筒コロによる交互に直交するローラケージ(図示省略)を同時に組み込むことにより、X方向に水平延出する一組のX方向クロスローラガイド14を夫々形成するのである(図6参照)。
Then, with the intermediate table 12 assembled to the fixed
次いで、中テーブル12に上方より組み付けられる方形板形状の設置テーブル13の下面に於けるY方向に沿った両端部には、Y方向に延出する一対のブロック17が対向配置され、このブロック17の内面には夫々ローラレース15a’がY方向に水平延出する形態で配置され、内面にはV溝15b’が刻設されている。
Next, a pair of
従って、設置テーブル13を中テーブル12に上方から組み付け、中テーブル12のローラレース15aの外面側に設置テーブル13のローラレース15a’を位置させ、夫々のV溝15bとV溝15b’とにより形成される空間内に精密円筒コロによる交互に直交するローラケージ(図示省略)を同時に組み込むことにより、Y方向に水平延出する一組のY方向クロスローラガイド15を夫々形成するのである(図6参照)。
Therefore, the installation table 13 is assembled to the middle table 12 from above, the
従ってこの構成では、前述したように、中テーブル12の下面である同一平面上に一対のローラレース14aと一対のローラレース15aとが井桁状に垂下形成されているが故に、固定ベースプレート11と中テーブル12と設置テーブル13とを組み付けた状態では、X方向に水平延出する二組のX方向クロスローラガイド14とY方向に水平延出する二組のY方向クロスローラガイド14とは同一平面上に位置することになり、全体としての高さ幅を低く抑えることが可能となる。
Therefore, in this configuration, as described above, the pair of
また、固定ベースプレート11と中テーブル12との間にはX方向制御用のマイクロメーターヘッド18、設置テーブル13と中テーブル12との間にはY方向制御用のマイクロメーターヘッド19が夫々取り付けられてあり(図1の実施例ではマイクロメーターヘッド18を介して間接的に)、固定ベースプレート11に対して中テーブル12をX方向に微小ストロークで前進後退移動させ、或いは中テーブル12に対して設置テーブル13をY方向に微小ストロークで前進後退移動させ、結果として設置テーブル13上面の試料を所定位置に設置できるのである。
A
図7乃至図12で、方形板形状の中テーブル102にあって、その下面に於けるX方向に沿った両端部には、ローラレース104aがθX方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設され、このローラレース104aの外面にV溝104bが刻設されてある。一方、中テーブル102の下面に於けるY方向に沿った両端部には、ローラレース105aがθY方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設され、このローラレース105aの外面にV溝105bが刻設されてある(図9参照)。即ち、中テーブル102の下面には、対向する一対のローラレース104aと対向する一対のローラレース105aとが井桁状に垂下形成されているのである。
7 to 12, the
次に、中テーブル102が上方より組み付けられる方形板形状の固定ベースプレート101にあって、その上面に於けるX方向に沿った両端部にはX方向に延出する一対のブロック106が対向配置され、このブロック106の内面には夫々ローラレース104a’がθX方向に湾曲延出する形態で配置され、このローラレース104a’の内面にV溝104b’が刻設されてある。
Next, in the fixed
そして、中テーブル102を固定ベースプレート101に組み付けた状態で、中テーブル102のローラレース104aの外面側に固定ベースプレート101のローラレース104a’を位置させ、夫々のV溝104bとV溝104b’とにより形成される空間内に精密円筒コロによる交互に直交するローラケージ(図示省略)を同時に組み込むことにより、θX方向に湾曲延出する一組のθX方向クロスローラガイド104を夫々形成するのである(図12参照)。
Then, with the intermediate table 102 assembled to the fixed
次いで、中テーブル102に上方より組み付けられる方形板形状の設置テーブル103の下面に於けるY方向に沿った両端部には、Y方向に延出する一対のブロック107が対向配置され、このブロック107の内面には夫々ローラレース105a’がθY方向に湾曲延出する形態で配置され、内面にはV溝105b’が刻設されている。
Next, a pair of
従って、設置テーブル103を中テーブル102に上方から組み付け、中テーブル102のローラレース105aの外面側に設置テーブル103のローラレース105a’を位置させ、夫々のV溝105bとV溝105b’とにより形成される空間内に精密円筒コロによる交互に直交するローラケージ(図示省略)を同時に組み込むことにより、θY方向に湾曲延出する一組のθY方向クロスローラガイド105を夫々形成するのである(図12参照)。
Accordingly, the installation table 103 is assembled to the middle table 102 from above, and the
従ってこの構成では、前述したように、中テーブル102の下面である同一平面上に一対のローラレース104aと一対のローラレース105aとが井桁状に垂下形成されているが故に、固定ベースプレート101と中テーブル102と設置テーブル103とを組み付けた状態で、θX方向に湾曲延出する二組のθX方向クロスローラガイド104とθY方向に湾曲延出する二組のθY方向クロスローラガイド105とは同一平面上に位置することになり、全体としての高さ幅を低く抑えることが可能となる。しかも、この二組のθX方向クロスローラガイド104と二組のθY方向クロスローラガイド105とは同一平面上に位置するために、設置テーブル103の上面である特定曲率点に対して全て同一曲率の湾曲成形で済むことになる。
Therefore, in this configuration, as described above, the pair of
また、固定ベースプレート101と中テーブル102との間にはX方向制御用のマイクロメーターヘッド108、設置テーブル103と中テーブル102との間にはY方向制御用のマイクロメーターヘッド109が夫々取り付けられてあり、固定ベースプレート101に対して中テーブル102をθX方向に微小ストロークで前進後退移動させ、或いは中テーブル102に対して設置テーブル103をθY方向に微小ストロークで前進後退移動させ、結果として設置テーブル103上面の試料を所定位置に設置できるのである。
A
10 位置決めステージ
11 固定ベースプレート
12 中テーブル
13 設置テーブル
14 X方向クロスローラガイド
14a ローラレース
14b V溝
15 Y方向クロスローラガイド
15a ローラレース
15b V溝
16 ブロック
17 ブロック
18 X方向制御用のマイクロメーターヘッド
19 Y方向制御用のマイクロメーターヘッド
100 位置決めステージ
101 固定ベースプレート
102 中テーブル
103 設置テーブル
104 X方向クロスローラガイド
104a ローラレース
104b V溝
105 Y方向クロスローラガイド
105a ローラレース
105b V溝
106 ブロック
107 ブロック
108 X方向制御用のマイクロメーターヘッド
109 Y方向制御用のマイクロメーターヘッド
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記中テーブル(12)の下面でX方向に沿った両端部に、外面にV溝(14b)を刻設したローラレース(14a)を前記X方向クロスローラガイド(14)の一部としてX方向に水平延出する形態で対向して垂下設すると共に、前記中テーブル(12)の下面でY方向に沿った両端部に、外面にV溝(15b)を刻設したローラレース(15a)を前記Y方向クロスローラガイド(15)の一部としてY方向に水平延出する形態で対向して垂下設し、
前記固定ベースプレート(11)の上面でX方向に沿った両端部に、内面にV溝(14b’)を刻設したローラレース(14a’) を前記X方向クロスローラガイド(14)の一部としてX方向に水平延出する形態で対向して配置し、
更に、前記設置テーブル(13)の下面でY方向に沿った両端部に、内面にV溝(15b’)を刻設したローラレース(15a’)を前記Y方向クロスローラガイド(15)の一部としてY方向に水平延出する形態で対向して垂下設した
ことを特徴とする位置決めステージ。 A fixed base plate (11), and a middle table (12) mounted on the fixed base plate (11) so as to be horizontally movable in the X direction via a pair of X-direction cross roller guides (14) extending in the X direction. The installation table (13) is mounted on the middle table (12) so as to be horizontally movable in the Y direction via a pair of Y-direction cross roller guides (15) extending in the Y direction, and a sample is placed on the upper surface. ) And
A roller race (14a) in which V grooves (14b) are engraved on the outer surface at both ends along the X direction on the lower surface of the intermediate table (12) is used as a part of the X direction cross roller guide (14) in the X direction. The roller race (15a) is formed in a horizontally extending manner so as to oppose the lower surface of the intermediate table (12), and V-grooves (15b) are formed on the outer surface at both ends along the Y direction. As a part of the Y-direction cross roller guide (15), it hangs down oppositely in a form extending horizontally in the Y direction,
A roller race (14a ') having V grooves (14b') on the inner surface at both ends along the X direction on the upper surface of the fixed base plate (11) is used as a part of the X-direction cross roller guide (14). Arranged opposite to each other in a form extending horizontally in the X direction,
Furthermore, a roller race (15a ′) having V grooves (15b ′) formed on the inner surface at both ends along the Y direction on the lower surface of the installation table (13) is provided on one side of the Y-direction cross roller guide (15). A positioning stage characterized in that the part is vertically suspended so as to extend horizontally in the Y direction .
前記中テーブル(102)の下面でX方向に沿った両端部に、外面にV溝(104b)を刻設したローラレース(104a)を前記θX方向クロスローラガイド(104)の一部としてθX方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設すると共に、前記中テーブル(102)の下面でY方向に沿った両端部に、外面にV溝(105b)を刻設したローラレース(105a)を前記θY方向クロスローラガイド(105)の一部としてθY方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設し、
前記固定ベースプレート(101)の上面でX方向に沿った両端部に、内面にV溝(104b’)を刻設したローラレース(104a’)を前記θX方向クロスローラガイド(104)の一部としてθX方向に湾曲延出する形態で対向して配置し、
更に、前記設置テーブル(103)の下面でY方向に沿った両端部に、内面にV溝(105b’)を刻設したローラレース(105a’)を前記θY方向クロスローラガイド(105)の一部としてθY方向に湾曲延出する形態で対向して垂下設した
ことを特徴とする位置決めステージ。 A fixed base plate (101) and an intermediate table (102) mounted on the fixed base plate (101) so as to be swingable in the θX direction via a pair of θX-direction cross roller guides (104) extending in the θX direction. ) And a pair of θY-direction cross roller guides (105) extending in the θY direction so as to swing and move in the θY direction, and the sample is placed on the upper surface. The installation table (103),
A roller race (104a) in which V grooves (104b) are engraved on the outer surface at both ends along the X direction on the lower surface of the intermediate table (102) is used as a part of the θX direction cross roller guide (104) in the θX direction. Roller races (105a) are provided so as to be opposed to each other in a curvedly extending manner, and V grooves (105b) are engraved on the outer surface at both ends along the Y direction on the lower surface of the intermediate table (102). As a part of the θY-direction cross roller guide (105), it is suspended and opposed in a form extending and curving in the θY direction,
A roller race (104a ′) in which V grooves (104b ′) are formed on the inner surface at both ends along the X direction on the upper surface of the fixed base plate (101) is used as a part of the θX direction cross roller guide (104). Arranged facing each other in a form extending in the θX direction,
Further, a roller race (105a ′) having V grooves (105b ′) formed on the inner surface at both ends along the Y direction on the lower surface of the installation table (103) is provided on one of the θY direction cross roller guides (105). A positioning stage, wherein the positioning stage is provided so as to face and bend and extend in the θY direction .
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