KR102273658B1 - Thin Type Precise Linear Actuator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 얇은 구조로 형성되면서도 충분한 강성과 정밀도를 만족시키며 정확하게 작동이 가능한 구조를 가지는 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.
본 발명에 의한 박형 정밀 리니어 액츄에이터는, 두께가 얇으면서도 높은 정밀도로 정확하게 선형 운동이 가능하면서 견고한 구조를 가지는 장점이 있다.The present invention relates to a thin precision linear actuator, and more particularly, to a thin precision linear actuator having a structure capable of accurately operating while satisfying sufficient rigidity and precision while having a thin structure.
The thin precision linear actuator according to the present invention has the advantage of having a solid structure while being able to precisely linearly move with high precision while being thin.

Description

박형 정밀 리니어 액츄에이터{Thin Type Precise Linear Actuator}Thin Type Precise Linear Actuator

본 발명은 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 얇은 구조로 형성되면서도 충분한 강성과 정밀도를 만족시키며 정확하게 작동이 가능한 구조를 가지는 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to a thin precision linear actuator, and more particularly, to a thin precision linear actuator having a structure capable of accurately operating while satisfying sufficient rigidity and precision while having a thin structure.

반도체 부품을 검사하거나 조립하는 분야 등 다양한 분야에서 공압 실린더와 같은 기계 요소를 사용하여 선형적인 작동을 하는 리니어 액츄에이터가 널리 사용된다. Linear actuators that use mechanical elements such as pneumatic cylinders to operate linearly are widely used in various fields, such as the field of inspecting or assembling semiconductor components.

특히 소형 반도체 부품 등에 대해 작업을 하는 경우 이와 같은 리니어 액츄에이터를 다수개 병렬로 연결하여 동시에 또는 순차적으로 공정을 수행하는 경우가 많다. In particular, when working with small semiconductor components, a plurality of such linear actuators are connected in parallel and processes are often performed simultaneously or sequentially.

이와 같은 리니어 액츄에이터를 사용하여 작업을 수행하는 대상 제품의 크기가 소형화되면서 이와 같은 리니어 액츄에이터도 소형화되어 사용되고 있다. 특히, 상술한 바와 같이 다수의 리니어 액츄에이터를 병렬로 연결하여 동시에 또는 순차적으로 작업하는 경우 리니어 액츄에이터의 두께가 얇은 것이 매우 중요하다. 리니어 액츄에이터의 두께가 얇으면 좁은 공간 내에 다수의 리니어 액츄에이터를 병렬로 연결하여 소형 제품에 대한 검사, 조립, 가공 등의 작업을 수행하는 것이 가능하다.As the size of a target product for performing an operation using such a linear actuator is reduced, such a linear actuator is also reduced in size and used. In particular, when a plurality of linear actuators are connected in parallel to work simultaneously or sequentially as described above, it is very important that the thickness of the linear actuator is thin. If the thickness of the linear actuator is thin, it is possible to perform tasks such as inspection, assembly, and processing of small products by connecting multiple linear actuators in parallel in a narrow space.

그런데 대상 제품이 반도체 부품이나 휴대폰용 부품인 경우와 같이 작고 정밀한 제품인 경우에 리니어 액츄에이터의 작업 정밀도와 정확도가 매우 높은 수준으로 요구된다. 리니어 액츄에이터의 두께가 얇아지면 자체 강성이 부족하고 온도 변화나 내부 응력 등의 문제로 인해 뒤틀림과 같은 변형이 발생하기 쉽다. 이러한 경우 마이크로미터 수준의 작동 정밀도를 만족시키면서 10mm 이내의 두께를 가진 리니어 엑츄에이터를 구성하는 것에 어려움이 있다.However, when the target product is a small and precise product such as a semiconductor component or a component for a mobile phone, the work precision and accuracy of the linear actuator are required at a very high level. When the thickness of a linear actuator becomes thinner, its own rigidity is insufficient, and deformation such as distortion is easy to occur due to problems such as temperature change or internal stress. In this case, it is difficult to construct a linear actuator having a thickness of 10 mm or less while satisfying the micrometer level of operation precision.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 위하여 안출된 것으로, 두께가 얇고 크기가 작으면서도 정교하고 정밀한 선형 운동이 가능한 구조를 가지는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a thin precision linear actuator having a structure capable of precise and precise linear motion while having a small thickness and a small size.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는, 사각 프레임 형태로 형성된 프레임 몸체와, 상기 프레임 몸체의 중앙부에 빈 공간으로 형성되는 작동 공간과, 서로 마주하도록 배치되어 나란하게 연장되도록 상기 프레임 몸체에 형성되어 상기 작동 공간으로 노출되는 한 쌍의 지지 레일과, 상기 한 쌍의 지지 레일과 평행한 방향으로 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 작동 공간까지 연장되어 상기 프레임 몸체에 형성되는 적어도 한 쌍의 연마 홈을 구비하는 지지 프레임; 상기 지지 프레임의 작동 공간 내에 슬라이딩 가능하도록 배치되는 슬라이드 몸체와, 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일과 각각 마주하도록 배치되어 상기 한 쌍의 지지 레일과 나란히 연장되도록 상기 슬라이드 몸체에 형성되는 한 쌍의 슬라이드 레일을 구비하는 슬라이드 블록; 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일에 대한 상기 슬라이드 블록의 한 쌍의 슬라이드 레일의 슬라이딩이 가능하도록 상기 한 쌍의 지지 레일과 상기 한 쌍의 슬라이드 레일의 사이에 구름 가능하게 배치되는 복수의 강구; 및 상기 지지 프레임에 설치되고 상기 슬라이드 블록에 연결되어 상기 지지 프레임에 대해 상기 지지 레일을 따라 상기 슬라이드 블록을 움직이는 작동 부재;를 포함하는 점에 특징이 있다.The thin precision linear actuator according to the present invention for achieving the above object includes a frame body formed in a rectangular frame shape, an operating space formed as an empty space in the center of the frame body, and arranged to face each other and extend in parallel. A pair of support rails formed on the frame body and exposed to the working space, and at least one pair of support rails extending from the outer surface of the frame body to the working space in a direction parallel to the pair of support rails and formed in the frame body a support frame having an abrasive groove of; A slide body disposed to be slidable within the working space of the support frame, and a pair of support rails disposed to face a pair of support rails of the support frame and formed on the slide body to extend in parallel with the pair of support rails a slide block having a slide rail; a plurality of steel balls arranged to be rollable between the pair of support rails and the pair of slide rails to enable sliding of the pair of slide rails of the slide block with respect to the pair of support rails of the support frame; and an operation member installed on the support frame and connected to the slide block to move the slide block along the support rail with respect to the support frame.

본 발명에 의한 박형 정밀 리니어 액츄에이터는, 두께가 얇으면서도 높은 정밀도로 정확하게 선형 운동이 가능하면서 견고한 구조를 가지는 장점이 있다.The thin precision linear actuator according to the present invention has the advantage of having a strong structure while being able to precisely linearly move with high precision while being thin.

도 1 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 분리 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 일부분의 저면도이다.1 and 3 are perspective views of a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1 .
FIG. 4 is a bottom view of a portion of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1 .

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 분리 사시도이다.1 and 3 are perspective views of a thin precision linear actuator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the thin precision linear actuator shown in FIG. 1 .

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)과 복수의 강구(600)와 작동 부재(300) 및 워킹 부재(400)를 포함하여 이루어진다.1 to 3 , the thin precision linear actuator according to this embodiment includes a support frame 100 , a slide block 200 , a plurality of steel balls 600 , an operation member 300 , and a walking member 400 . made including

지지 프레임(100)은 프레임 몸체(110)와 작동 공간(120)과 두 쌍의 연마 홈(113)을 구비한다. The support frame 100 includes a frame body 110 , a working space 120 , and two pairs of abrasive grooves 113 .

프레임 몸체(110)는 도 2에 도시한 것과 같이 사각 프레임 형태로 형성된다. 프레임 몸체(110)의 중앙부는 사각형의 빈 공간이 형성되고 이 부분이 작동 공간(120)이 된다. 프레임 몸체(110)는 스테인리스 스틸과 같은 금속 재질로 형성되고 정밀도와 내구성을 갖도록 열처리되어 제작된다. The frame body 110 is formed in a rectangular frame shape as shown in FIG. 2 . In the central portion of the frame body 110 , a rectangular empty space is formed, and this portion becomes the working space 120 . The frame body 110 is made of a metal material such as stainless steel and is heat-treated to have precision and durability.

프레임 몸체(110)에는 한 쌍의 지지 레일(115)이 형성된다. 한 쌍의 지지 레일(115)은 서로 마주하도록 배치되어 프레임 몸체(110)의 길이 방향을 따라 연장되도록 형성되고, 작동 공간(120)을 향해 노출되도록 형성된다. 도 2에 도시한 것과 같이 한 쌍의 지지 레일(115)은 V자 형태의 홈이 연장되는 형상으로 형성된다.A pair of support rails 115 are formed on the frame body 110 . The pair of support rails 115 are disposed to face each other, are formed to extend along the longitudinal direction of the frame body 110 , and are formed to be exposed toward the working space 120 . As shown in FIG. 2 , the pair of support rails 115 is formed in a shape in which a V-shaped groove extends.

얇은 두께로 형성되면서도 열처리에 의한 변형과 자체 강성을 유지할 수 있도록 프레임 몸체(110)와 한 쌍의 지지 레일(115)로 구성되는 지지 프레임(100)은 별도의 구성으로 제작되어 조립되는 것보다는 일체로 형성되는 것이 좋다.The support frame 100 composed of the frame body 110 and a pair of support rails 115 so as to maintain its own rigidity and deformation by heat treatment while being formed in a thin thickness is integral rather than manufactured and assembled as a separate configuration. It is better to be formed by

프레임 몸체(110)에는 두 쌍의 연마 홈(113)이 형성된다. 도 2를 참조하면, 연마 홈(113)은 각각 프레임 몸체(110)의 외면에서 작동 공간(120)까지 연장되도록 형성된다. 본 실시예의 경우 도 2에 도시한 것과 같이 프레임 몸체(110)의 상면과 하면에서 각각 작동 공간(120)까지 연장되도록 형성된다. 또한, 두 쌍의 연마 홈(113)은 각각 지지 레일(115)의 상단과 하단에 연결되도록 지지 레일(115)과 평행한 방향으로 연장되도록 형성된다. 또한, 연마 홈(113)은 각각 프레임 몸체(110)의 전면에서 대응하는 지지 레일(115)까지 경사방향으로 연장되도록 형성되며, 지지 레일(115)의 V자 홈의 경사면의 경사 방향과 실질적으로 동일하거나 유사한 방향으로 연장되도록 형성된다. 이와 같은 연마 홈(113)의 구조로 인해 제작자는 프레임 몸체(110)의 상단부 또는 하단부에서 프레임 몸체(110)의 길이 방향을 따라 연마용 공구(800)를 연마 홈(113)을 통해 삽입하여 움직이면서 지지 레일(115)을 용이하게 연마할 수 있다. 즉, 프레임 몸체(110)의 다른 부분에 간섭되지 않고 연마용 공구(800)를 길이 방향으로 움직이면서 지지 레일(115)을 연마하는 것이 가능하다. 경우에 따라서는 프레임 몸체(110)를 고정할 수 있도록 제작된 지그에 복수의 지지 레일(115)을 길이 방향으로 배열하여 고정한 상태에서 연마용 공구(800)를 길이 방향으로 움직이면서 복수의 프레임 몸체(110)의 지지 레일(115)을 동시에 연마하는 것이 가능하다. Two pairs of polishing grooves 113 are formed in the frame body 110 . Referring to FIG. 2 , the polishing grooves 113 are formed to extend from the outer surface of the frame body 110 to the working space 120 , respectively. In the case of this embodiment, as shown in FIG. 2 , it is formed to extend from the upper surface and the lower surface of the frame body 110 to the working space 120 , respectively. In addition, the two pairs of polishing grooves 113 are formed to extend in a direction parallel to the support rail 115 so as to be connected to the upper end and the lower end of the support rail 115 , respectively. In addition, the polishing grooves 113 are formed to extend from the front surface of the frame body 110 to the corresponding support rail 115 in an inclined direction, respectively, and substantially in the inclined direction of the inclined surface of the V-shaped groove of the support rail 115 . They are formed to extend in the same or similar direction. Due to the structure of the abrasive groove 113 as described above, the manufacturer inserts the abrasive tool 800 through the abrasive groove 113 in the longitudinal direction of the frame body 110 from the upper end or the lower end of the frame body 110 and moves while moving. The support rail 115 can be easily polished. That is, it is possible to grind the support rail 115 while moving the polishing tool 800 in the longitudinal direction without interfering with other parts of the frame body 110 . In some cases, a plurality of support rails 115 are arranged and fixed in a longitudinal direction on a jig manufactured to fix the frame body 110, and the abrasive tool 800 is moved in the longitudinal direction while moving the plurality of frame bodies ( It is possible to simultaneously grind the support rails 115 of the 110 .

슬라이드 블록(200)은 지지 프레임(100)의 작동 공간(120) 내에 지지 프레임(100)의 길이 방향을 따라서 슬라이딩 가능하도록 배치된다. 슬라이드 블록(200)은 슬라이드 몸체(210)와 한 쌍의 슬라이드 레일(211)을 구비한다. The slide block 200 is arranged to be slidable along the longitudinal direction of the support frame 100 in the working space 120 of the support frame 100 . The slide block 200 includes a slide body 210 and a pair of slide rails 211 .

한 쌍의 슬라이드 레일(211)은 슬라이드 몸체(210)에 형성된다. 한 쌍의 슬라이드 레일(211)은 각각 한 쌍의 지지 레일(115)과 마주하도록 배치되고, 한 쌍의 지지 레일(115)과 나란히 연장되도록 형성된다. A pair of slide rails 211 are formed on the slide body 210 . The pair of slide rails 211 are respectively disposed to face the pair of support rails 115 and are formed to extend side by side with the pair of support rails 115 .

한 쌍의 슬라이드 레일(211)과 슬라이드 몸체(210)는 각각 별도로 제작되는 것보다는 일체로 형성되는 것이 좋다. 이와 같이 일체로 제작되어 열처리 후 연마 가공함으로써 얇은 두께에도 불구하고 충분한 강성과 정밀도를 가진 작동이 가능하게 된다. 한 쌍의 슬라이드 레일(211)도 한 쌍의 지지 레일(115)과 마찬가지로 V자 홈 형태로 연장되도록 형성된다. It is preferable that the pair of slide rails 211 and the slide body 210 are integrally formed rather than separately manufactured. In this way, it is integrally manufactured and by grinding after heat treatment, operation with sufficient rigidity and precision is possible despite the thin thickness. The pair of slide rails 211 are also formed to extend in a V-shaped groove like the pair of support rails 115 .

복수의 강구(600)는 한 쌍의 지지 레일(115)과 한 쌍의 슬라이드 레일(211)의 사이에 각각 구름 가능하게 배치된다. 복수의 강구(600)의 구름 운동에 의해 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 레일(211)이 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)에 대해 슬라이딩 운동하게 된다.The plurality of steel balls 600 are respectively arranged to be rolled between the pair of support rails 115 and the pair of slide rails 211 . The slide rail 211 of the slide block 200 slides with respect to the support rail 115 of the support frame 100 by the rolling motion of the plurality of steel balls 600 .

복수의 강구(600)는 케이지 부재(500)에 의해 강구(600) 사이의 간격이 유지되면서 효과적으로 구름 운동하게 된다. 케이지 부재(500)는 도 2에 도시한 것과 같이 한 쌍의 볼 케이지(510)와 연결부(520)를 구비한다. 한 쌍의 볼 케이지(510)는 각각 길이 방향으로 배열되는 복수의 강구 홀(511)을 구비한다. 복수의 강구 홀(511)에는 각각 강구(600)가 삽입되어 구르게 된다. 한 쌍의 볼 케이지(510)는 각각 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에 배치된다. 결과적으로 볼 케이지(510)의 강구 홀(511)에 삽입된 강구(600)들도 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에 위치하게 된다. 연결부(520)는 한 쌍의 볼 케이지(510)를 서로 연결한다. 한 쌍의 볼 케이지(510)가 연결부(520)에 의해 서로 연결됨으로써, 한 쌍의 볼 케이지(510)는 같이 움직이게 된다. 볼 케이지(510)에 의해 강구(600)들의 간격이 유지됨으로써 강구(600)는 서로 접촉하지 않고 원활하게 구름운동하게 된다.The plurality of steel balls 600 are effectively rolled while the distance between the steel balls 600 is maintained by the cage member 500 . The cage member 500 includes a pair of ball cages 510 and a connection part 520 as shown in FIG. 2 . The pair of ball cages 510 each has a plurality of steel ball holes 511 arranged in the longitudinal direction. A steel ball 600 is inserted into each of the plurality of steel ball holes 511 and rolled. A pair of ball cages 510 are respectively disposed between the support rail 115 and the slide rail 211 . As a result, the steel balls 600 inserted into the steel ball holes 511 of the ball cage 510 are also positioned between the support rail 115 and the slide rail 211 . The connection part 520 connects the pair of ball cages 510 to each other. As the pair of ball cages 510 are connected to each other by the connection part 520 , the pair of ball cages 510 move together. As the distance between the steel balls 600 is maintained by the ball cage 510, the steel balls 600 do not contact each other and smoothly roll.

한편, 도 2에 도시한 것과 같이 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에는 강구 삽입구(111)가 형성된다. 강구 삽입구(111)를 통해 케이지 부재(500)의 복수의 강구 홀(511)에 각각 강구(600)를 쉽게 삽입할 수 있다. 강구 삽입구(111)는 프레임 몸체(110)의 외면에서 한 쌍의 지지 레일(115)까지 연장되도록 형성된다. 강구 삽입구(111)를 통해 강구(600)들을 삽입한 후에는 강구(600)가 빠지지 않도록 무두 볼트를 강구 삽입구(111)에 체결하여 강구(600)가 이탈되거나 이물질이 유입되는 것을 방지하게 된다.On the other hand, as shown in Figure 2, the frame body 110 of the support frame 100, the steel ball insertion hole 111 is formed. The steel ball 600 can be easily inserted into each of the plurality of steel ball holes 511 of the cage member 500 through the steel ball insertion hole 111 . The steel ball insertion hole 111 is formed to extend from the outer surface of the frame body 110 to a pair of support rails 115 . After inserting the steel balls 600 through the steel ball insertion hole 111, the tanning bolt is fastened to the steel ball insertion hole 111 so that the steel ball 600 does not fall out, thereby preventing the steel ball 600 from being separated or foreign substances from being introduced.

작동 부재(300)는 지지 프레임(100)에 설치되고 슬라이드 블록(200)에 연결되어 지지 프레임(100)에 대해 슬라이드 블록(200)을 움직인다. 본 실시예의 경우 작동 부재(300)는 작동 몸체(310)와 공압 실린더(320)와 탄성 부재(330)를 구비한다.The operation member 300 is installed on the support frame 100 and connected to the slide block 200 to move the slide block 200 with respect to the support frame 100 . In this embodiment, the operation member 300 includes an operation body 310 , a pneumatic cylinder 320 , and an elastic member 330 .

작동 몸체(310)는 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에 결합된다. 공압 실린더(320)는 작동 몸체(310)에 설치되어 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 몸체(210)에 연결된다. 본 실시예의 경우 도 1 및 도 2에 도시한 것과 같이 두 개의 공압 실린더(320)가 설치된다. 공압 실린더(320)를 작동시키면 도 3에 도시한 것과 같이 공압 실린더(320)가 늘어나면서 슬라이드 블록(200)을 하측으로 이송한다. 공압 실린더(320)에 공압이 제거되면 탄성 부재(330)가 슬라이드 블록(200)을 상측으로 이송한다. The operation body 310 is coupled to the frame body 110 of the support frame 100 . The pneumatic cylinder 320 is installed on the working body 310 and connected to the slide body 210 of the slide block 200 . In this embodiment, two pneumatic cylinders 320 are installed as shown in FIGS. 1 and 2 . When the pneumatic cylinder 320 is operated, as shown in FIG. 3 , the pneumatic cylinder 320 is extended and the slide block 200 is transferred to the lower side. When the pneumatic pressure is removed from the pneumatic cylinder 320 , the elastic member 330 moves the slide block 200 upward.

본 실시예의 경우 탄성 부재(330)는 압축 스프링 형태로 형성된다. 후술하는 워킹 부재(400)와 지지 프레임(100)의 사이에 탄성 부재(330)가 설치되어 워킹 부재(400)를 지지 프레임(100)에 대해 상승시키는 방향으로 탄성력을 제공한다. 공압 실린더(320)가 작동하여 스프링을 압축시키면서 슬라이드 블록(200)을 하강시키고 공압을 제거하면 탄성 부재(330)가 워킹 부재(400)를 밀어 올려서 슬라이드 블록(200)을 상승시킨다.In this embodiment, the elastic member 330 is formed in the form of a compression spring. An elastic member 330 is installed between the walking member 400 and the support frame 100 to be described later to provide an elastic force in a direction to raise the walking member 400 with respect to the support frame 100 . When the pneumatic cylinder 320 operates to lower the slide block 200 while compressing the spring and remove the pneumatic pressure, the elastic member 330 pushes up the working member 400 to raise the slide block 200 .

워킹 부재(400)는 슬라이드 블록(200)에 연결되어 설치되고, 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에 대해 승강 가능하게 설치된다. 작동 부재(300)가 슬라이드 블록(200)을 승강시키면 슬라이드 블록(200)에 결합된 워킹 부재(400)도 슬라이드 블록(200)과 같이 승강하게 된다.The walking member 400 is connected to the slide block 200 and installed, and is installed so as to be able to move up and down with respect to the frame body 110 of the support frame 100 . When the operation member 300 elevates the slide block 200 , the working member 400 coupled to the slide block 200 also elevates like the slide block 200 .

워킹 부재(400)에는 다양한 구성이 설치되어, 작업을 수행할 수 있다. 예를 들어 워킹 부재(400)는 원통형으로 형성되고 워킹 부재(400)에 진공 공압이 연결되도록 구성할 수 있다. 이 경우 워킹 부재(400)는 진공 공압의 작용에 따라 물체를 흡착하는 작동이 가능하다. 필요에 따라서 워킹 부재(400) 또는 프레임 몸체(110)에 워킹 부재(400)의 작동 변위를 확인할 수 있는 센서를 설치하는 것도 가능하다.Various components are installed in the working member 400 to perform work. For example, the working member 400 may be formed in a cylindrical shape and may be configured such that vacuum pneumatic pressure is connected to the working member 400 . In this case, the working member 400 is capable of adsorbing an object according to the action of vacuum and pneumatic pressure. It is also possible to install a sensor capable of confirming the operating displacement of the walking member 400 on the walking member 400 or the frame body 110, if necessary.

이하 상술한바와 같이 구성된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 조립 방법 및 작동에 대해 설명한다. Hereinafter, an assembly method and operation of the thin precision linear actuator configured as described above will be described.

본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 매우 얇은 형태의 공압 액츄에이터 형태로 구성되면서도 마이크로 미터 수준의 정교한 오차 범위 내에서 왕복 운동을 수행할 수 있는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 제공하기 위한 것이다. The thin precision linear actuator according to the present invention is configured in the form of a very thin pneumatic actuator, and it is intended to provide a thin precision linear actuator that can perform reciprocating motion within a precise error range of a micrometer level.

따라서, 전체 구성의 두께가 얇으면서도 마이크로미터 범위 이상 흔들리지 않고 정교하고 정밀하게 작동하는 것이 중요하다. 이를 위해서 본 발명의 박형 정밀 리니어 액츄에이터는 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격 및 강구(600)의 공차가 매우 높은 수준으로 제작되어야 하고 사용중에 마모로 인한 품질 저하의 문제가 발생하지 않아야 하므로 열처리를 통해 매우 높은 강도로 제작되어야 한다.Therefore, it is important to operate precisely and precisely without shaking more than a micrometer range while the overall thickness of the structure is thin. To this end, the thin precision linear actuator of the present invention must be manufactured at a very high level with a gap between the support rail 115 and the slide rail 211 and the tolerance of the steel ball 600, and there is a problem of quality deterioration due to wear during use. Therefore, it must be manufactured with very high strength through heat treatment.

먼저, 지지 프레임(100) 및 슬라이드 블록(200)은 도 2에 도시한 형태로 가공된 후 열처리를 통해 표면 강도를 향상시키게 된다. 이때, 지지 프레임(100)은 앞서 설명한 바와 같이 사각 프레임 형태로 하나의 부품으로(일체로) 제작되므로 열처리 후에도 뒤틀림과 같은 형상 변형이 최소화된다. 지지 프레임(100)을 2개 이상의 부품으로 별도 제작하여 조립하는 경우는 열처리 과정에서 뒤틀림과 변형이 발생하여 필요한 수준의 정밀 동작을 구현하기 어렵게 된다. First, the support frame 100 and the slide block 200 are processed in the form shown in FIG. 2 and then the surface strength is improved through heat treatment. At this time, since the support frame 100 is manufactured as a single part (integrally) in the form of a square frame as described above, shape deformation such as distortion is minimized even after heat treatment. When the support frame 100 is separately manufactured and assembled with two or more parts, distortion and deformation occur during the heat treatment process, making it difficult to implement a required level of precision operation.

이와 같은 상태에서 슬라이드 블록(200)을 지지 프레임(100)의 작동 공간(120)에 배치하여, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)이 서로 마주하도록 배치한다. 이와 같은 상태에서 강구(600)의 외경과 동일한 외경으로 구성된 두 개의 핀 게이지를 한 쌍의 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 각각 밀어 넣는다. 이때, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 간격이 충분하지 않으면 핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 들어가지 않게 된다. In this state, the slide block 200 is disposed in the working space 120 of the support frame 100 so that the support rail 115 and the slide rail 211 face each other. In this state, two pin gauges having the same outer diameter as the outer diameter of the steel ball 600 are pushed between the pair of support rails 115 and the slide rails 211 , respectively. At this time, if the gap between the support rail 115 and the slide rail 211 is not sufficient, the pin gauge does not enter between the support rail 115 and the slide rail 211 .

상술한 바와 같이 지지 프레임(100)의 프레임 몸체(110)에는 연마 홈(113)이 형성되어 있으므로, 제작자는 연마 홈(113)을 통해 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 핀 게이지의 삽입을 시도할 수 있다.As described above, since the abrasive groove 113 is formed in the frame body 110 of the support frame 100 , the manufacturer pin gauges the pin gauge between the support rail 115 and the slide rail 211 through the abrasive groove 113 . You can try to insert

핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이로 들어가지 않으면, 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)을 분리하여 각각 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)을 연마 가공한다. If the pin gauge does not enter between the support rail 115 and the slide rail 211, the support frame 100 and the slide block 200 are separated to grind the support rail 115 and the slide rail 211, respectively. .

이때, 도 4에 도시한 것과 같이 연마용 공구(800)를 연마 홈(113)을 경유하여 움직이도록 함으로써 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)에 대한 연마 작업을 쉽게 수행할 수 있다. 지지 레일(115)은 작동 공간(120) 내에 위치하므로 연마 홈(113)이 없다면 간섭을 피하면서 연마용 공구(800)를 지지 레일(115)에 접근시키는 것이 쉽지 않지만, 본 발명의 경우와 같이 연마 홈(113)이 있는 경우에는 연마용 공구(800)의 위치를 설정한 후 연마 홈(113)을 경유시키면서 작동 공간(120) 내의 지지 레일(115)에 대한 연마 작업을 쉽게 수행할 수 있다. 특히, 상술한 바와 같이 연마 홈(113)의 형태가 지지 레일(115)의 경사면과 나란한 방향으로 형성된 경우 연마 작업을 수행하는 것이 더욱 편리해 진다. 또한, 이와 같이 연마 홈(113)이 형성된 경우 복수의 지지 프레임(100)을 길이 방향을 따라 배열하여 고정하고 연마용 공구(800)를 작동시킴으로써 복수의 지지 프레임(100)에 대한 연마 작업을 동시에 수행할 수 있는 장점이 있다. 즉, 연마 홈(113)의 구조를 이용하여 지지 레일(115)에 대한 자동화 작업의 수행이 가능하고 복수의 지지 프레임(100)을 동시 작업함으로써 생산성도 향상시킬 수 있다. 또한, 연마 홈(113)은 지지 프레임(100)의 일부분에만 홈을 형성하는 것이므로 지지 프레임(100)의 강도와 정밀도를 유지할 수 있는 장점도 있다. 도 4는 원반 형태의 연마용 공구(800)를 회전시키면서 지지 레일(115)을 연마하는 경우를 도시한 것이다. At this time, as shown in FIG. 4 , the polishing operation for the support rail 115 of the support frame 100 can be easily performed by moving the polishing tool 800 through the polishing groove 113 . Since the support rail 115 is located in the working space 120 , it is not easy to approach the abrasive tool 800 to the support rail 115 while avoiding interference if there is no abrasive groove 113 , but as in the case of the present invention If there is a polishing groove 113, after setting the position of the polishing tool 800, it is possible to easily perform a polishing operation on the support rail 115 in the working space 120 while passing through the polishing groove 113. . In particular, when the shape of the polishing groove 113 is formed in a direction parallel to the inclined surface of the support rail 115 as described above, it is more convenient to perform the polishing operation. In addition, when the abrasive groove 113 is formed in this way, by arranging and fixing the plurality of support frames 100 in the longitudinal direction, and operating the polishing tool 800 , the polishing operation for the plurality of support frames 100 is simultaneously performed. There are advantages to doing it. That is, it is possible to perform an automated operation on the support rail 115 using the structure of the abrasive groove 113 , and productivity can also be improved by simultaneously working the plurality of support frames 100 . In addition, since the polishing groove 113 forms a groove only in a part of the support frame 100 , there is an advantage in that the strength and precision of the support frame 100 can be maintained. 4 illustrates a case in which the support rail 115 is polished while rotating the disk-shaped abrasive tool 800 .

슬라이드 블록(200)은 단순 사각 평판 형태이므로 슬라이드 레일(211)의 연마 작업은 지지 레일(115)의 연마 작업에 비해 용이하게 수행 가능하다. Since the slide block 200 is in the form of a simple rectangular flat plate, the polishing operation of the slide rail 211 can be easily performed compared to the polishing operation of the support rail 115 .

이와 같이 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 연마 작업을 수행한 후 다시 핀 게이지를 이용하여 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격을 확인한다. 핀 게이지에 의한 확인과 연마 작업을 반복적으로 수행하여 핀 게이지가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이로 들어갈 때까지 연마 작업을 진행한다.After the polishing operation of the support rail 115 and the slide rail 211 is performed in this way, the gap between the support rail 115 and the slide rail 211 is checked again using a pin gauge. The grinding operation is performed until the pin gauge enters between the support rail 115 and the slide rail 211 by repeatedly performing confirmation and polishing by the pin gauge.

위와 같은 과정을 통해서, 지지 프레임(100)의 지지 레일(115)과 슬라이드 블록(200)의 슬라이드 레일(211)이 서로 대응하도록 맞춤 가공하는 것이 가능하다. 이와 같은 방법으로 단순 절삭 가공을 통해서는 달성할 수 없는 수준의 정교한 미세가공이 가능하다. 또한, 서로 조립될 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)의 상태와 조건에 맞추어 높은 정밀도와 정확도로 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)을 가공하는 것이 가능하다.Through the above process, it is possible to custom-process the support rail 115 of the support frame 100 and the slide rail 211 of the slide block 200 to correspond to each other. In this way, it is possible to achieve a level of precision micromachining that cannot be achieved through simple cutting. In addition, it is possible to process the support rail 115 and the slide rail 211 with high precision and accuracy according to the state and conditions of the support frame 100 and the slide block 200 to be assembled with each other.

이와 같은 상태에서 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)의 사이에 케이지 부재(500)의 볼 케이지(510)가 삽입되도록 배치한다. In this state, the ball cage 510 of the cage member 500 is disposed between the support frame 100 and the slide block 200 to be inserted.

다음으로 강구 삽입구(111)를 통해 강구(600)를 순차적으로 삽입하고 슬라이드 블록(200)과 케이지 부재(500)를 조금씩 움직이면서 볼 케이지(510)의 강구 홀(511)에 순차적으로 강구(600)가 안착되도록 한다. 모든 강구 홀(511)에 강구(600)가 안착되면 강구 홀(511)에 무두 볼트를 체결하여 강구 홀(511)을 폐쇄한다.Next, the steel ball 600 is sequentially inserted through the steel ball insertion hole 111 and the slide block 200 and the cage member 500 are moved little by little into the steel ball hole 511 of the ball cage 510 in sequence. to be seated. When the steel ball 600 is seated in all the steel ball holes 511 , the steel ball hole 511 is closed by fastening the headless bolt to the steel ball hole 511 .

다음으로, 지지 프레임(100)과 슬라이드 블록(200)에 작동 부재(300)와 워킹 부재(400)를 조립한다.Next, the operation member 300 and the walking member 400 are assembled to the support frame 100 and the slide block 200 .

이하, 상술한 바와 같이 조립된 박형 정밀 리니어 액츄에이터의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the thin precision linear actuator assembled as described above will be described.

작동 부재(300)의 공압 실린더(320)에 공압을 공급하면 공압 실린더(320)가 늘어나면서 지지 프레임(100)에 대해 슬라이드 블록(200)을 하측으로 이동시키게 된다. 이때, 작동 부재(300)의 탄성 부재(330)인 스프링은 워킹 부재(400)에 의해 압축된다. 도 3에 도시한 것과 같이 워킹 부재(400)는 슬라이드 블록(200)과 함께 하측으로 이동하게 된다. 상술한 바와 같이 워킹 부재(400)에 진공이 연결된 경우에는 대상물을 흡착하게 된다. When air pressure is supplied to the pneumatic cylinder 320 of the operation member 300 , the pneumatic cylinder 320 is extended to move the slide block 200 downward with respect to the support frame 100 . At this time, the spring that is the elastic member 330 of the operation member 300 is compressed by the walking member 400 . As shown in FIG. 3 , the walking member 400 moves downward together with the slide block 200 . As described above, when a vacuum is connected to the working member 400, the object is adsorbed.

다음으로 공압 실린더(320)에 공압을 제거하면 탄성 부재(330)의 힘에 의해 워킹 부재(400)와 슬라이드 블록(200)은 위쪽으로 상승하게 된다. 이와 같은 상태에서 워킹 부재(400)의 공압을 제거하면 대상물은 떨어져서 다른 곳으로 전달될 수 있는 상태가 된다.Next, when the pneumatic pressure is removed from the pneumatic cylinder 320 , the working member 400 and the slide block 200 rise upward by the force of the elastic member 330 . When the pneumatic pressure of the walking member 400 is removed in such a state, the object is in a state in which it can be delivered to another place by falling.

슬라이드 블록(200)이 움직일 때 강구(600)는 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이를 구르면서 슬라이드 블록(200)의 안정적인 운동이 가능하도록 한다. 또한, 케이지 부재(500)에 의해 강구(600)는 강구 홀(511) 내에서만 구르게 되므로 강구(600) 사이의 간격이 유지되어 강구(600)들 간에 접촉이 일어나거나 강구(600)가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에서 이탈되는 것이 방지된다. When the slide block 200 moves, the steel ball 600 rolls between the support rail 115 and the slide rail 211 to enable stable movement of the slide block 200 . In addition, since the steel ball 600 is rolled only in the steel ball hole 511 by the cage member 500, the distance between the steel balls 600 is maintained, so that contact between the steel balls 600 occurs or the steel ball 600 is supported. It is prevented from being separated between the rail 115 and the slide rail 211 .

한편, 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이의 간격은 매우 정교하게 제작되었고 소정의 응력이 강구(600)에 가해지도록 조립되므로, 케이지 부재(500)와 슬라이드 블록(200)은 서로 결합되지 않아도, 강구(600)가 구르면서 슬라이드 블록(200)이 움직이면 케이지 부재(500)도 슬라이드 블록(200)과 함께 움직이게 된다.On the other hand, since the gap between the support rail 115 and the slide rail 211 is manufactured very precisely and assembled so that a predetermined stress is applied to the steel ball 600, the cage member 500 and the slide block 200 are coupled to each other. Even if not, when the slide block 200 moves while the steel ball 600 rolls, the cage member 500 also moves together with the slide block 200 .

한편, 앞에서 강구(600)는 강구 삽입구(111)를 통해 케이지 부재(500)의 강구 홀(511)에 삽입되는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 다른 방법으로 강구(600)를 삽입하는 것도 가능하다. 예를 들어 지지 레일(115)의 연장 방향을 따라 케이지 부재(500)와 슬라이드 블록(200)이 서로 분리되도록 한 상태에서 강구 홀(511)에 강구(600)를 하나씩 순차적으로 삽입하고 케이지 부재(500)에 힘을 가하여 슬라이드 블록(200) 쪽으로 밀어 넣으면 강구(600)가 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211) 사이에서 약간의 슬립 운동을 하면서 최종적으로 강구(600)들이 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)의 사이에 위치하게 된다.Meanwhile, the steel ball 600 has been described as being inserted into the steel ball hole 511 of the cage member 500 through the steel ball insertion hole 111, but in some cases, it is also possible to insert the steel ball 600 in another method. . For example, in a state in which the cage member 500 and the slide block 200 are separated from each other along the extension direction of the support rail 115, the steel balls 600 are sequentially inserted into the steel ball holes 511 one by one, and the cage member ( When a force is applied to 500) and pushed toward the slide block 200, the steel ball 600 makes a slight slip motion between the support rail 115 and the slide rail 211 and finally the steel balls 600 are the support rail 115. and the slide rail 211 .

이상, 본 발명에 따른 박형 정밀 리니어 액츄에이터에 대해 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명한 구조와 형태로 한정되는 것은 아니다.In the above, a preferred embodiment of the thin precision linear actuator according to the present invention has been described, but the scope of the present invention is not limited to the structure and form described above.

예를 들어, 앞에서 워킹 부재(400)를 구비하는 형태의 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 예로 들어 설명하였으나, 워킹 부재(400)가 없는 구조로 본 발명의 박형 정밀 리니어 액츄에이터가 제작되어 판매 유통될 수 있다. 이 경우에는 본 발명에 따른 제품을 구매하여 사용하는 자가 필요에 따라 적절한 워킹 부재(400)를 설치하여 사용하게 된다.For example, in the previous description, a thin precision linear actuator having a working member 400 was described as an example, but the thin precision linear actuator of the present invention with a structure without a working member 400 is manufactured and sold and distributed. In this case, a person who purchases and uses the product according to the present invention installs and uses an appropriate walking member 400 as needed.

또한, 앞에서 작동 부재(300)는 공압 실린더(320)를 이용하여 슬라이드 블록(200)을 하강시키고 탄성 부재(300)를 이용하여 슬라이드 블록(200)을 상승시키는 것으로 설명하였으나 탄성 부재(330)를 사용하지 않고 공압 실린더에 의해서 슬라이드 블록을 하강 및 상승시키는 구조의 작동 부재를 사용하는 것도 가능하다. 또한, 공압 실린더(320) 이외의 다른 구조를 가지는 작동 부재를 사용하는 것도 가능하다.In addition, the operation member 300 has been described as lowering the slide block 200 using the pneumatic cylinder 320 and raising the slide block 200 using the elastic member 300, but the elastic member 330 It is also possible to use an operation member having a structure for lowering and raising the slide block by a pneumatic cylinder without use. Also, it is possible to use an operation member having a structure other than the pneumatic cylinder 320 .

또한, 앞에서 케이지 부재(500)를 구비하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 예로 들어 설명하였으나 케이지 부재(500)를 구비하지 않는 구조의 박형 정밀 리니어 액츄에이터를 구성하는 것도 가능하다. In addition, although the thin precision linear actuator having the cage member 500 has been described above as an example, it is also possible to configure the thin precision linear actuator having a structure that does not include the cage member 500 .

또한, 케이지 부재(500)는 앞에서 설명한 것과 같이 볼 케이지가 연결부에 의해 연결되지 않고 서로 분리된 형태로 구성되는 것도 가능하다.In addition, as described above, the cage member 500 may be configured in a form in which the ball cage is separated from each other without being connected by a connecting part.

또한, 지지 프레임(100)의 연마 홈(113)은 앞에서 설명한 것과 같이 지지 레일(115)의 경사 방향으로 연장되도록 구성되지 않고, 연마 공구의 형태에 따라 지지 프레임의 외면에서 작동 공간 내부의 지지 레일에 접근할 수 있는 다양한 형태로 설계 변경하는 것이 가능하다. In addition, the abrasive groove 113 of the support frame 100 is not configured to extend in the inclined direction of the support rail 115 as described above, but a support rail inside the working space from the outer surface of the support frame according to the shape of the abrasive tool. It is possible to change the design in various forms that can be accessed.

또한, 경우에 따라서는 연마 홈(113)을 지지 프레임(100)의 상단부와 하단부에 모두 형성하지 않고 상단부와 하단부 중 어느 한 쪽에만 형성하는 구조로 지지 프레임을 구성하는 것도 가능하다.In addition, in some cases, it is also possible to configure the support frame in a structure in which the polishing groove 113 is not formed on both the upper end and the lower end of the support frame 100 , but only on either one of the upper end and the lower end.

또한, 앞에서 지지 레일(115)과 슬라이드 레일(211)은 V자 형태의 홈으로 형성되는 것으로 설명하였으나, 지지 레일과 슬라이드 레일의 단면 형상이 반원형이 되거나 그 이외에 다른 형상이 되도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우 연마 공구도 지지 레일과 슬라이드 레일을 연마하기에 적당한 형상으로 된 것을 사용하게 된다. 이 경우에도 연마 홈은 지지 레일의 반원형 단면에 대응하는 연마 공구가 접근 가능한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 것이 좋다.In addition, although it has been described before that the support rail 115 and the slide rail 211 are formed as a V-shaped groove, the cross-sectional shapes of the support rail and the slide rail may be semicircular or may be configured to have other shapes. . In this case, the grinding tool also uses a shape suitable for grinding the support rail and the slide rail. Even in this case, the abrasive groove is preferably formed so as to extend in an inclined direction accessible to the abrasive tool corresponding to the semicircular cross section of the support rail.

100: 지지 프레임 110: 프레임 몸체
120: 작동 공간 113: 연마 홈
111: 강구 삽입구 115: 지지 레일
200: 슬라이드 블록 210: 슬라이드 몸체
211: 슬라이드 레일 300: 작동 부재
310: 작동 몸체 320: 공압 실린더
330: 탄성 부재 400: 워킹 부재
500: 케이지 부재 510: 볼 케이지
511: 강구 홀 520: 연결부
600: 강구 800: 연마용 공구100: support frame 110: frame body
120: working space 113: grinding groove
111: steel ball insertion hole 115: support rail
200: slide block 210: slide body
211: slide rail 300: operation member
310: working body 320: pneumatic cylinder
330: elastic member 400: walking member
500: cage member 510: ball cage
511: steel ball hole 520: connection part
600: steel ball 800: grinding tool

Claims (11)

사각 프레임 형태로 형성된 프레임 몸체와, 상기 프레임 몸체의 중앙부에 빈 공간으로 형성되는 작동 공간과, 서로 마주하도록 배치되어 나란하게 연장되도록 상기 프레임 몸체에 형성되어 상기 작동 공간으로 노출되는 한 쌍의 지지 레일과, 상기 한 쌍의 지지 레일과 평행한 방향으로 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 작동 공간까지 연장되어 상기 프레임 몸체에 형성되는 적어도 한 쌍의 연마 홈을 구비하는 지지 프레임;
상기 지지 프레임의 작동 공간 내에 슬라이딩 가능하도록 배치되는 슬라이드 몸체와, 상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일과 각각 마주하도록 배치되어 상기 한 쌍의 지지 레일과 나란히 연장되도록 상기 슬라이드 몸체에 형성되는 한 쌍의 슬라이드 레일을 구비하는 슬라이드 블록;
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일에 대한 상기 슬라이드 블록의 한 쌍의 슬라이드 레일의 슬라이딩이 가능하도록 상기 한 쌍의 지지 레일과 상기 한 쌍의 슬라이드 레일의 사이에 구름 가능하게 배치되는 복수의 강구; 및
상기 지지 프레임에 설치되고 상기 슬라이드 블록에 연결되어 상기 지지 프레임에 대해 상기 지지 레일을 따라 상기 슬라이드 블록을 움직이는 작동 부재;를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.A frame body formed in the form of a rectangular frame, an operating space formed as an empty space in the central portion of the frame body, and a pair of support rails formed in the frame body to face each other and extended in parallel are exposed to the working space and a support frame extending from an outer surface of the frame body to the working space in a direction parallel to the pair of support rails and having at least a pair of abrasive grooves formed in the frame body;
A slide body disposed to be slidable within the working space of the support frame, and a pair of support rails disposed to face a pair of support rails of the support frame and formed on the slide body to extend in parallel with the pair of support rails a slide block having a slide rail;
a plurality of steel balls arranged to be rollable between the pair of support rails and the pair of slide rails to enable sliding of the pair of slide rails of the slide block with respect to the pair of support rails of the support frame; and
and an operation member installed on the support frame and connected to the slide block to move the slide block along the support rail with respect to the support frame. 제1항에 있어서,
상기 슬라이드 블록에 의해 움직이며 작업을 수행할 수 있도록 상기 슬라이드 블록에 연결되어 설치되는 워킹 부재;를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.According to claim 1,
A thin precision linear actuator further comprising a; a walking member connected to the slide block and installed so as to move by the slide block and perform an operation. 제1항에 있어서,
상기 지지 프레임의 프레임 몸체와 한 쌍의 지지 레일은 일체로 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.According to claim 1,
A thin precision linear actuator in which the frame body of the support frame and the pair of support rails are integrally formed. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 지지 레일과 한 쌍의 슬라이드 레일 사이에 각각 배치되고 상기 복수의 강구가 각각 삽입되어 구를 수 있는 복수의 강구 홀을 구비하는 한 쌍의 볼 케이지를 구비하는 케이지 부재;를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.According to claim 1,
A cage member having a pair of ball cages disposed between the pair of support rails and a pair of slide rails, respectively, and having a plurality of steel ball holes into which the plurality of steel balls can be inserted and rolled, respectively; A thin and precise linear actuator. 제4항에 있어서,
상기 케이지 부재는 상기 한 쌍의 볼 케이지가 같이 움직이도록 서로 연결하는 연결부를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.5. The method of claim 4,
The cage member further includes a connection part for connecting the pair of ball cages to each other so that they move together. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일은 V자 형태의 홈으로 형성되고,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 경사면과 동일한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
A pair of support rails of the support frame are formed in a V-shaped groove,
The polishing groove of the support frame is formed to extend in the same inclined direction as the inclined surfaces of the pair of support rails. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 프레임의 한 쌍의 지지 레일은 반원 형태의 홈으로 형성되고,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 반원형 단면에 대응하는 연마 공구가 접근 가능한 경사 방향으로 연장되도록 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
A pair of support rails of the support frame are formed as semicircular grooves,
The abrasive groove of the support frame is formed so as to extend in an inclined direction accessible to the abrasive tool corresponding to the semicircular cross-section of the pair of support rails. 제6항에 있어서,
상기 지지 프레임의 연마 홈은, 상기 한 쌍의 지지 레일의 양단과 각각 연결되도록 상기 프레임 몸체에 두 쌍이 형성되는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.7. The method of claim 6,
The polishing groove of the support frame is a thin precision linear actuator in which two pairs are formed in the frame body so as to be respectively connected to both ends of the pair of support rails. 제6항에 있어서,
상기 작동 부재는, 상기 지지 프레임의 프레임 몸체에 결합되는 작동 몸체와, 상기 작동 몸체에 설치되어 상기 슬라이드 블록의 슬라이드 몸체에 연결되는 공압 실린더를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.7. The method of claim 6,
The operation member includes an operation body coupled to the frame body of the support frame, and a pneumatic cylinder installed on the operation body and connected to the slide body of the slide block. 제2항에 있어서,
상기 작동 부재는, 상기 지지 프레임의 프레임 몸체에 결합되는 작동 몸체와, 상기 작동 몸체에 설치되어 상기 슬라이드 블록의 슬라이드 몸체에 연결되는 공압 실린더와, 상기 작동 몸체와 상기 워킹 부재 사이에 설치되어 상기 공압 실린더에 의해 움직인 상기 워킹 부재를 복귀시키도록 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.3. The method of claim 2,
The actuating member includes an actuating body coupled to the frame body of the support frame, a pneumatic cylinder installed on the actuating body and connected to the slide body of the slide block, and installed between the actuating body and the working member, the pneumatic A thin precision linear actuator including an elastic member for providing an elastic force to return the working member moved by the cylinder. 제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 지지 프레임은, 상기 복수의 강구를 상기 케이지 부재의 복수의 강구 홀에 각각 삽입할 수 있도록 상기 프레임 몸체의 외면에서 상기 한 쌍의 지지 레일까지 연장되도록 형성되는 강구 삽입구를 더 포함하는 박형 정밀 리니어 액츄에이터.6. The method according to claim 4 or 5,
The support frame further includes a steel ball insertion hole formed to extend from the outer surface of the frame body to the pair of support rails so that the plurality of steel balls can be respectively inserted into the plurality of steel ball holes of the cage member. actuator.
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