KR20210026074A - apparatus for collecting SiOx nano powder - Google Patents

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KR20210026074A
KR20210026074A KR1020190106330A KR20190106330A KR20210026074A KR 20210026074 A KR20210026074 A KR 20210026074A KR 1020190106330 A KR1020190106330 A KR 1020190106330A KR 20190106330 A KR20190106330 A KR 20190106330A KR 20210026074 A KR20210026074 A KR 20210026074A
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김창수
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김창수
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
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    • B01D—SEPARATION
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    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0004—Details of removable closures, lids, caps or filter heads

Abstract

A silicon oxide nanopowder collection device according to an embodiment of the present invention comprises: a housing forming an exterior and having a receiving part formed therein; an inlet provided in the housing and allowing exhaust gas containing silicon oxide to be introduced; a pre-filter provided inside the housing to filter the silicon oxide; a base plate provided in the receiving part; a filter supporter provided perpendicular to the base plate; a nano filter coupled to the filter supporter to collect the silicon oxide contained in the exhaust gas; a filter cover coupled to the filter supporter to support the filter supporter; an outlet provided in the housing and discharging the exhaust gas; and a top cover coupled to an upper part of the housing. An object of the present invention is to provide a silicon oxide nanopowder collection device for effectively collecting nano-sized silicon oxide among silicon oxides discharged from a silicon generation device.

Description

실리콘산화물 나노 파우더 포집장치{apparatus for collecting SiOx nano powder}Silicon oxide nano powder collecting device {apparatus for collecting SiOx nano powder}

본 발명은 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치에 관한 것으로, 실리콘 생성장치로부터 배출된 실리콘산화물 중 나노 사이즈의 실리콘산화물을 효과적으로 포집하기 위한 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치에 관한 것이다. The present invention relates to a silicon oxide nano-powder collecting device, and to a silicon oxide nano-powder collecting device for effectively collecting nano-sized silicon oxide among silicon oxides discharged from the silicon generating device.

최근 리튬이온 이차전지, 태양전지, LED 소재로 1 ~ 100 nm 사이즈의 실리콘산화물(SiOx) 나노 파우더가 많이 이용된다. Recently, silicon oxide (SiOx) nano powders with a size of 1 to 100 nm are widely used as materials for lithium ion secondary batteries, solar cells, and LEDs.

이러한 실리콘산화물 나노 파우더 제조방법으로는 펄스 레이저 용사법(pulsed laser ablation), 플라즈마 아크 합성법(plasma arc synthesis), 열분해법(pyrolysis), PECVD(plasma-enhanced chemical vapor deposition)법 등과 같은 기상공정이 많이 사용되고 있다.Gas phase processes such as pulsed laser ablation, plasma arc synthesis, pyrolysis, and plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) are widely used as such silicon oxide nano powder manufacturing methods. have.

기상공정은 기존의 공정에 비해 고순도 입자의 대량 생산, 다성분 입자의 화학적 균질성 유지, 비교적 간단하고 깨끗한 공정 등의 장점을 가지고 있다. 기상공정에서 일반적인 입자 형성 메커니즘은 기체 상태의 화학 물질이 물리적 공정 혹은 화학 반응에 의해 과포화상태에 도달하게 되며, 이때 동질 핵생성(homogeneous nucleation)이 일어나고 생성된 핵(nuclei)에 기체가 응축되고 충돌 및 응집하면서 입자가 성장되어, 실리콘산화물 나노 파우더를 형성하게 된다. The gas phase process has advantages such as mass production of high-purity particles, maintaining chemical homogeneity of multi-component particles, and a relatively simple and clean process compared to conventional processes. In the gas phase process, the general particle formation mechanism is that a gaseous chemical substance reaches a supersaturated state by a physical process or a chemical reaction, where homogeneous nucleation occurs, and the gas condenses and collides with the generated nuclei And the particles are grown while agglomerated to form silicon oxide nano powders.

또한, 일반적인 실리콘 잉곳 성장로(grower)의 경우 실리콘 잉곳이 성장되고 남은 배기가스에 실리콘산화물이 형성되어 나노 파우더 상태로 함유될 수 있으므로, 이를 포집하는 경우에도 나노 파우더를 제조할 수 있다. In addition, in the case of a general silicon ingot growth furnace, since silicon oxide is formed in the exhaust gas remaining after the silicon ingot is grown and contained in a nano-powder state, nano-powder can be produced even when collecting the silicon ingot.

따라서, 기상공정이 수행되는 챔버 또는 실리콘 잉곳 성장로 등 실리콘 또는 실리콘산화물이 생성되는 장치(이하, '실리콘 생성장치')의 배기가스에 포함된 실리콘산화물을 추가적으로 포집하여 나노 파우더를 수득하게 되면, 실리콘산화물의 생산량 및 전체 시스템의 에너지 효율이 향상될 수 있게 된다.Therefore, when the silicon oxide contained in the exhaust gas of a silicon or silicon oxide generating device such as a chamber in which the gas phase process is performed or a silicon ingot growth furnace (hereinafter, referred to as'silicon generating device') is additionally collected to obtain nano powder, The production of silicon oxide and the energy efficiency of the entire system can be improved.

그러므로, 실리콘 생성장치로부터 배출된 실리콘산화물 중 나노 사이즈의 실리콘산화물을 효과적으로 포집하기 위한 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, it is necessary to develop a silicon oxide nano-powder collecting device for effectively collecting nano-sized silicon oxide among silicon oxides discharged from the silicon generating device.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 실리콘 생성장치로부터 배출된 실리콘산화물 중 나노 사이즈의 실리콘산화물을 효과적으로 포집하기 위한 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치를 제공하는데 있다.An object to be solved by the present invention is to provide a silicon oxide nano-powder collecting device for effectively collecting nano-sized silicon oxides among silicon oxides discharged from the silicon generating device.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치는 외관을 형성하며, 내부에 수용부가 형성되는 하우징; 상기 하우징에 구비되어 실리콘산화물을 함유하는 배기가스가 유입되는 유입구; 상기 하우징의 내부에 구비되어 상기 실리콘산화물을 여과하는 프리 필터; 상기 수용부에 구비되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 수직하게 구비되는 필터 서포터; 상기 필터 서포터에 결합되어, 상기 배기가스에 포함된 상기 실리콘산화물을 포집하는 나노 필터; 상기 필터 서포터에 결합되어 상기 필터 서포터를 지지하는 필터 커버; 상기 하우징에 구비되어 상기 배기가스가 토출되는 유출구; 및 상기 하우징의 상부에 결합되는 탑커버; 를 포함한다.A silicon oxide nano-powder collecting device according to an embodiment of the present invention for solving the above problem comprises a housing forming an exterior and having a receiving portion therein; An inlet provided in the housing through which exhaust gas containing silicon oxide is introduced; A pre-filter provided inside the housing to filter the silicon oxide; A base plate provided in the receiving portion; A filter supporter provided perpendicular to the base plate; A nano filter coupled to the filter supporter to collect the silicon oxide contained in the exhaust gas; A filter cover coupled to the filter supporter to support the filter supporter; An outlet provided in the housing through which the exhaust gas is discharged; And a top cover coupled to an upper portion of the housing. Includes.

또한, 상기 필터 서포터는 상기 베이스 플레이트에 복수개가 구비될 수 있다.In addition, a plurality of filter supporters may be provided on the base plate.

또한, 상기 베이스 플레이트에는 복수개의 관통홀이 형성될 수 있다.In addition, a plurality of through holes may be formed in the base plate.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 일 실시예에 의한 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치에 따르면, 마이크로 사이즈의 실리콘산화물은 프리 필터(20)에서 기(旣) 포집되고, 나노 필터(50)에서 나노 사이즈의 실리콘산화물을 포집하여, 실리콘 생성장치(2)로부터 배출된 실리콘산화물 중 나노 파우더 형태의 실리콘산화물(SiOx)을 효과적으로 포집할 수 있게 된다.According to the silicon oxide nano-powder collecting apparatus according to an embodiment of the present invention, the micro-sized silicon oxide is collected by the pre-filter 20, and the nano-sized silicon oxide is collected by the nano-filter 50. , It is possible to effectively collect silicon oxide (SiOx) in the form of nano powders among the silicon oxides discharged from the silicon generating device 2.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)가 연결된 전체 시스템의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 단면도이다. 1 is a schematic diagram of an entire system to which a silicon oxide nano powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention is connected.
2 is an exploded perspective view of a silicon oxide nano-powder collecting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a silicon oxide nano-powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 용어가 동일하더라도 표시하는 부분이 상이하면 도면 부호가 일치하지 않음을 미리 말해두는 바이다.In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. Even if the terms are the same, if the parts to be displayed are different, the reference numerals do not match.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 실험자 및 측정자와 같은 조작자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described later are terms set in consideration of functions in the present invention, and since these may vary according to the intention or custom of operators such as experimenters and measurers, their definitions should be made based on the contents throughout the present specification.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다. In the present specification, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element. The term and/or includes a combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. The terms used in the present specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 도면부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals shown in each drawing indicate the same member.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)에 대하여 설명한다.Hereinafter, a silicon oxide nano-powder collecting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)가 연결된 전체 시스템의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 분해사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 단면도이다. 1 is a schematic diagram of an entire system to which a silicon oxide nano powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention is connected, and FIG. 2 is a decomposition of a silicon oxide nano powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention. It is a perspective view, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a silicon oxide nano-powder collecting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)는 유입구(11)에 실리콘 생성장치(2)가 연결되고, 유출구(13)에 토출펌프(3)가 연결된다.1 to 3, in the silicon oxide nano-powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention, a silicon generating device 2 is connected to an inlet 11, and a discharge pump ( 3) is connected.

실리콘 생성장치(2)는 실리콘(Si) 또는 실리콘산화물(SiOx)을 생성한다. 예들 들어, 실리콘 생성장치(2)가 실리콘 잉곳 성장로(grower)인 경우, 실리콘 잉곳 성장로 내부에는 실리콘 잉곳이 형성되며, 실리콘 잉곳의 성장에 사용되고 남은 배기가스에 실리콘산화물이 포함될 수 있다. 이때, 실리콘 잉곳 성장로의 내부에서 산소가 발생하여 실리콘과 결합되어 실리콘산화물을 형성할 수 있다. 이 경우, 실리콘산화물을 배기가스에 포함되어 외부로 배출된다.The silicon generating device 2 generates silicon (Si) or silicon oxide (SiOx). For example, when the silicon generating device 2 is a silicon ingot growth furnace, a silicon ingot is formed inside the silicon ingot growth furnace, and silicon oxide may be included in exhaust gas remaining used for growth of the silicon ingot. At this time, oxygen is generated inside the silicon ingot growth furnace and is combined with silicon to form silicon oxide. In this case, silicon oxide is included in the exhaust gas and discharged to the outside.

실리콘 생성장치(2)가 실리콘 나노 파우더를 제조하는 기상공정을 수행하는 챔버로 실시될 경우, 마찬가지로 배기가스에 실리콘산화물이 포함될 수 있다. 이 경우, 실리콘산화물은 배기가스에 포함되어 배출된다.When the silicon generating device 2 is implemented as a chamber that performs a gas phase process for manufacturing silicon nano powders, silicon oxide may be included in the exhaust gas as well. In this case, the silicon oxide is included in the exhaust gas and is discharged.

본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)는 실리콘 생성장치(2)에 연결된다. 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 유입구(11)에 실리콘 생성장치(2)가 연결되고, 유출구(13)에 토출펌프(3)가 연결된다.The silicon oxide nano-powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention is connected to the silicon generating device 2. The silicon generating device 2 is connected to the inlet 11 of the silicon oxide nano powder collecting device 1 and the discharge pump 3 is connected to the outlet 13.

실리콘 생성장치(2)에서 배출되는 배기가스에는 상술한 실리콘 또는 실리콘산화물이 포함될 수 있다. 실리콘 생성장치(2)는 공급배관(L1)으로 유입구(11)에 연결되어, 배기가스가 본 발명의 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)로 유입된다. The above-described silicon or silicon oxide may be included in the exhaust gas discharged from the silicon generating device 2. The silicon generating device 2 is connected to the inlet 11 through a supply pipe L1, and exhaust gas is introduced into the silicon oxide nano-powder collecting device 1 of the present invention.

토출펌프(3)는 토출배관(L2)으로 본 발명의 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)의 유출구(13)에 연결된다. 토출펌프(3)는 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)에 음압(negative pressure)을 인가할 수 있다. 이에 따라, 실리콘 생성장치(2)의 배기가스가 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)로 유동될 수 있다. The discharge pump 3 is connected to the outlet 13 of the silicon oxide nano powder collecting device 1 of the present invention through a discharge pipe L2. The discharge pump 3 may apply a negative pressure to the silicon oxide nano powder collecting device 1. Accordingly, the exhaust gas of the silicon generating device 2 may flow to the silicon oxide nano-powder collecting device 1.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)는 외관을 형성하며, 내부에 수용부가 형성되는 하우징(10), 하우징(10)에 구비되어 실리콘산화물을 함유하는 배기가스가 유입되는 유입구(11), 하우징(10)의 내부에 구비되어 실리콘산화물을 여과하는 프리 필터(20), 수용부에 구비되는 베이스 플레이트(30), 베이스 플레이트(30)에 수직하게 구비되는 필터 서포터(40), 필터 서포터(40)에 결합되어, 배기가스에 포함된 실리콘산화물을 포집하는 나노 필터(50), 필터 서포터(40)에 결합되어 필터 서포터(40)를 지지하는 필터 커버(60), 하우징(10)에 구비되어 배기가스가 토출되는 유출구(13), 및 하우징(10)의 상부에 결합되는 탑커버(70)를 포함한다.Here, the silicon oxide nano-powder collecting device 1 according to an embodiment of the present invention forms an exterior, and is provided in the housing 10 in which the receiving part is formed, and the exhaust gas containing silicon oxide. The inlet 11 into which is introduced, the pre-filter 20 provided inside the housing 10 to filter silicon oxide, the base plate 30 provided in the receiving part, and a filter provided perpendicular to the base plate 30 A supporter 40, a nano filter 50 that is coupled to the filter supporter 40 to collect silicon oxide contained in exhaust gas, and a filter cover 60 that is coupled to the filter supporter 40 to support the filter supporter 40 ), an outlet 13 provided in the housing 10 to discharge exhaust gas, and a top cover 70 coupled to an upper portion of the housing 10.

하우징(10)은 외관을 형성한다. 하우징(10)의 내부에는 공동(cavity)의 수용부가 형성된다.The housing 10 forms the exterior. A receiving portion of a cavity is formed inside the housing 10.

하우징(10)의 일측에는 유입구(11)가 구비된다. 유입구(11)는 수용부에 연통된다. 유입구(11)는 하우징(10)의 하부에 구비될 수 있다. 유입구(11)에는 실리콘 생성장치(2)가 공급배관(L1)으로 연결될 수 있다. 공급배관(L1)에는 실리콘 생성장치(2)의 배기가스가 유동된다. 이때, 실리콘산화물을 함유하는 배기가스는 공급배관(L1)을 통해 유입구(11)로 유입된다. An inlet 11 is provided on one side of the housing 10. The inlet 11 communicates with the receiving portion. The inlet 11 may be provided under the housing 10. The silicon generating device 2 may be connected to the inlet 11 through a supply pipe L1. The exhaust gas of the silicon generating device 2 flows through the supply pipe L1. At this time, the exhaust gas containing silicon oxide is introduced into the inlet 11 through the supply pipe L1.

프리 필터(20)는 하우징(10)의 내부에 구비된다. 프리 필터(20)는 수용부에 구비된다. 프리 필터(20)는 유입구(11)의 상측에 구비될 수 있다. 프리 필터(20)는 배기가스에 포함된 실리콘산화물을 여과한다.The pre-filter 20 is provided inside the housing 10. The pre-filter 20 is provided in the receiving portion. The pre-filter 20 may be provided above the inlet 11. The pre-filter 20 filters silicon oxide contained in exhaust gas.

프리 필터(20)는 나노 사이즈의 공극이 형성될 수 있다. 이 경우, 나노 사이즈의 실리콘산화물은 공극을 통과하고, 마이크로 사이즈 이상의 실리콘산화물을 공극을 통과하지 않고 여과될 수 있다. 이에 따라, 나노 사이즈의 실리콘산화물이 후술하는 나노 필터(50)에서 포집되고, 마이크로 사이즈 이상의 실리콘산화물은 프리 필터(20)에서 여과된다.The pre-filter 20 may have nano-sized pores. In this case, the nano-sized silicon oxide may pass through the pores, and the micro-sized silicon oxide may be filtered without passing through the pores. Accordingly, the nano-sized silicon oxide is collected by the nano-filter 50, which will be described later, and the micro-sized or larger silicon oxide is filtered by the pre-filter 20.

하우징(10)의 하부에는 호퍼(80)가 구비될 수 있다. 호퍼(80)에는 실리콘산화물이 낙하된다. 이 경우, 호퍼(80)에는 마이크로 사이즈 이상의 실리콘산화물이 낙하하여 누적될 수 있다. 이때, 호퍼(80)에는 개폐밸브(90)가 구비될 수 있다. 호퍼(80)에 누적된 실리콘산화물은 개폐밸브(90)가 개방(open)되면 하우징(10)의 외부로 배출될 수 있다. 개폐밸브(90)가 폐쇄(close)되면 호퍼(80)가 밀폐된다.A hopper 80 may be provided under the housing 10. Silicon oxide falls on the hopper 80. In this case, silicon oxide of a micro size or larger may fall and accumulate in the hopper 80. At this time, the hopper 80 may be provided with an on-off valve 90. Silicon oxide accumulated in the hopper 80 may be discharged to the outside of the housing 10 when the on-off valve 90 is opened. When the on/off valve 90 is closed, the hopper 80 is closed.

베이스 플레이트(30)는 하우징(10)에 구비된다. 베이스 플레이트(30)는 수용부에 구비될 수 있다. 베이스 플레이트(30)는 하우징(10)의 하부에 구비될 수 있다. 베이스 플레이트(30)는 유입구(11)의 상측에 구비될 수 있다. The base plate 30 is provided in the housing 10. The base plate 30 may be provided in the receiving portion. The base plate 30 may be provided under the housing 10. The base plate 30 may be provided above the inlet 11.

이때, 베이스 플레이트(30)에는 복수개의 관통홀(h1)이 형성될 수 있다. 유입구(11)를 통해 수용부로 유입된 배기가스가 베이스 플레이트(30)를 통과하는데, 이 경우, 배기가스가 관통홀(h1)을 통해 베이스 플레이트(30)를 통과할 수 있다. 관통홀(h1)을 배기가스의 유동량에 대응되게 복수개 형성될 수 있다. In this case, a plurality of through holes h1 may be formed in the base plate 30. The exhaust gas introduced into the receiving portion through the inlet 11 passes through the base plate 30, in which case, the exhaust gas may pass through the base plate 30 through the through hole h1. A plurality of through holes h1 may be formed to correspond to the flow amount of the exhaust gas.

필터 서포터(40)는 베이스 플레이트(30)에 구비된다. 필터 서포터(40)는 베이스 플레이트(30)에 수직하게 구비될 수 있다. 이 경우, 필터 서포터(40)는 하우징(10)의 높이 방향을 따라 구비될 수 있다. 필터 서포터(40)의 일단은 베이스 플레이트(30)에 고정 결합될 수 있다.The filter supporter 40 is provided on the base plate 30. The filter supporter 40 may be provided perpendicular to the base plate 30. In this case, the filter supporter 40 may be provided along the height direction of the housing 10. One end of the filter supporter 40 may be fixedly coupled to the base plate 30.

필터 서포터(40)는 베이스 플레이트(30)에 복수개가 구비될 수 있다. 각 필터 서포터(40)는 서로 평행하게 구비될 수 있다. 이 경우, 각각의 필터 서포터(40)에는 후술하는 나노 필터(50)가 결합된다. A plurality of filter supporters 40 may be provided on the base plate 30. Each filter supporter 40 may be provided in parallel with each other. In this case, a nano filter 50 to be described later is coupled to each filter supporter 40.

나노 필터(50)는 필터 서포터(40)에 결합된다. 이 경우, 나노 필터(50)는 필터 서포터(40)에 관통되게 구비될 수 있다.The nano filter 50 is coupled to the filter supporter 40. In this case, the nano filter 50 may be provided to penetrate the filter supporter 40.

나노 필터(50)는 배기가스를 여과한다. 배기가스는 하우징(10)의 수용부 내에서 난류를 형성하여 유동되는데, 배기가스는 베이스 플레이트(30)와 필터 커버(60)사이에서 난류를 형성하여 유동된다. 이 경우, 배기가스는 나노 필터(50)를 통과하여 유동될 수 있다.The nano filter 50 filters exhaust gas. The exhaust gas flows by forming a turbulent flow in the receiving portion of the housing 10, and the exhaust gas flows by forming a turbulent flow between the base plate 30 and the filter cover 60. In this case, the exhaust gas may flow through the nano filter 50.

이때, 나노 필터(50)의 표면에 실리콘산화물이 포집된다. 여기서, 나노 필터(50)의 공극은 나노 사이즈로 형성될 수 있다. 이에 따라, 배기가스에 포함된 실리콘산화물 중 나노 사이즈의 실리콘산화물이 나노 필터(50)에 여과되어, 나노 필터(50)에 포집될 수 있다. At this time, silicon oxide is collected on the surface of the nano filter 50. Here, the pores of the nano filter 50 may be formed in a nano size. Accordingly, nano-sized silicon oxide among the silicon oxides included in the exhaust gas may be filtered by the nano filter 50 and collected by the nano filter 50.

이때, 상술한 것과 같이, 마이크로 사이즈의 실리콘산화물은 프리 필터(20)에서 기(旣) 포집되므로, 나노 필터(50)에는 나노 사이즈의 실리콘산화물이 포집될 수 있다. 이에 따라, 나노 필터(50)에 나노 사이즈의 파우더 형태 실리콘산화물이 포집될 수 있다. At this time, as described above, since the micro-sized silicon oxide is pre-collected in the pre-filter 20, the nano-sized silicon oxide may be collected in the nano-filter 50. Accordingly, nano-sized powder-type silicon oxide may be collected in the nano filter 50.

필터 커버(60)는 필터 서포터(40)의 상면에 결합된다. 필터 서포터(40)의 타단은 필터 커버(60)에 고정 결합될 수 있다. 필터 커버(60)에는 복수개의 관통홀(h2)이 형성될 수 있다. 이 경우, 수용부에서 난류를 형성하여 유동된 배기가스가 최종적으로 관통홀(h2)을 통해 필터 커버(60)를 통과할 수 있다.The filter cover 60 is coupled to the upper surface of the filter supporter 40. The other end of the filter supporter 40 may be fixedly coupled to the filter cover 60. A plurality of through holes h2 may be formed in the filter cover 60. In this case, the exhaust gas flowing by forming turbulent flow in the receiving portion may finally pass through the filter cover 60 through the through hole h2.

탑커버(70)는 하우징(10)의 상부에 구비된다. 탑커버(70)는 하우징(10)에 결합되어 수용부를 밀폐시킨다. The top cover 70 is provided on the housing 10. The top cover 70 is coupled to the housing 10 to seal the receiving portion.

하우징(10)의 일측에는 유출구(13)가 구비된다. 유출구(13)는 수용부에 연통된다. 유출구(13)는 하우징(10)의 상부에 구비될 수 있다.An outlet 13 is provided on one side of the housing 10. The outlet 13 communicates with the receiving portion. The outlet 13 may be provided on the upper portion of the housing 10.

배기가스는 유출구(13)를 통해 유동된다. 유출구(13)는 토출배관(L2)로 토출펌프(3)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치(1)에서 여과된 배기가스가 외부로 토출될 수 있다.The exhaust gas flows through the outlet 13. The outlet 13 may be connected to the discharge pump 3 by a discharge pipe L2. Accordingly, the exhaust gas filtered by the silicon oxide nano powder collecting device 1 may be discharged to the outside.

이상, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.As described above, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative and non-limiting in all respects.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims to be described later rather than the detailed description, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention. It must be interpreted.

10 : 하우징 20 : 프리 필터
30 : 베이스 플레이트 40 : 필터 서포터10: housing 20: pre-filter
30: base plate 40: filter supporter

Claims (3)

외관을 형성하며, 내부에 수용부가 형성되는 하우징;
상기 하우징에 구비되어 실리콘산화물을 함유하는 배기가스가 유입되는 유입구;
상기 하우징의 내부에 구비되어 상기 실리콘산화물을 여과하는 프리 필터;
상기 수용부에 구비되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 수직하게 구비되는 필터 서포터;
상기 필터 서포터에 결합되어, 상기 배기가스에 포함된 상기 실리콘산화물을 포집하는 나노 필터;
상기 필터 서포터에 결합되어 상기 필터 서포터를 지지하는 필터 커버;
상기 하우징에 구비되어 상기 배기가스가 토출되는 유출구; 및
상기 하우징의 상부에 결합되는 탑커버;
를 포함하는 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치.
A housing forming an exterior and having an accommodating portion therein;
An inlet provided in the housing through which exhaust gas containing silicon oxide is introduced;
A pre-filter provided inside the housing to filter the silicon oxide;
A base plate provided in the receiving portion;
A filter supporter provided perpendicular to the base plate;
A nano filter coupled to the filter supporter to collect the silicon oxide contained in the exhaust gas;
A filter cover coupled to the filter supporter to support the filter supporter;
An outlet provided in the housing through which the exhaust gas is discharged; And
A top cover coupled to an upper portion of the housing;
Silicon oxide nano powder collecting device comprising a.
 제1항에 있어서,
상기 필터 서포터는 상기 베이스 플레이트에 복수개가 구비되는 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치.
The method of claim 1,
The filter supporter is a silicon oxide nano-powder collecting device provided with a plurality of the base plate.
 제1항에 있어서,
상기 베이스 플레이트에는 복수개의 관통홀이 형성되는 실리콘산화물 나노 파우더 포집장치.The method of claim 1,
Silicon oxide nano-powder collecting device in which a plurality of through holes are formed in the base plate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102395977B1 (en) * 2021-10-01 2022-05-10 (주)자연과환경 Eco-friendly block composition using carbon dioxide capture and manufacturing method

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