KR20210018060A - 엣지 트리밍 장치 - Google Patents

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KR20210018060A
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고키치 미나토
폴 빈센트 아텐디도
다케시 기타우라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 엣지 트리밍 장치에 있어서, 유지면에 가공 부스러기가 부착되지 않은 테이블에서 웨이퍼를 유지시킨다.
[해결수단] 엣지 트리밍 장치는, 웨이퍼 외직경보다 작은 외직경의 환형홈을 흡인원에 연통시켜 환형홈으로 웨이퍼 하면을 흡인 유지하는 척 테이블과, 절삭 블레이드를 회전시켜 척 테이블에 유지된 웨이퍼 외주 부분을 환형으로 절삭하는 절삭 유닛과, 테이블의 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 테이블의 상면을 세정하는 세정 유닛을 포함한다. 세정 유닛을 테이블의 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 척 테이블의 상면에 위치시키고, 척 테이블을 회전시켜, 환형홈과 상면을 세정한다.

Description

엣지 트리밍 장치{EDGE TRIMMING DEVICE}
본 발명은 웨이퍼의 외주 부분을 트리밍하는 엣지 트리밍 장치에 관한 것이다.
웨이퍼를 연삭 지석으로 연삭하여 두께를 얇게 하면, 웨이퍼의 외주의 모따기부가 샤프 엣지가 되어, 그 샤프 엣지를 기점으로 웨이퍼가 깨진다고 하는 문제가 있다. 그래서, 웨이퍼의 외주 부분을 연삭 전에 제거하기 위한 엣지 트리밍 장치가 있다(예컨대, 특허문헌 1 또는 특허문헌 2 참조).
엣지 트리밍 장치는, 척 테이블의 유지면에서 유지된 웨이퍼의 외주 부분에 지석을 접촉시키고, 웨이퍼를 회전시켜 외주 부분을 제거하고 있다. 이 엣지 트리밍 가공에 의해 배출된 가공 부스러기가 웨이퍼의 하면과 척 테이블의 유지면 사이에 진입하여 유지면 상에 부착되어 있으면, 유지면에서 유지된 웨이퍼의 하면의 높이가 일정해지지 않는다. 그 때문에, 예컨대, 특허문헌 2에 개시되어 있는 방법과 같이, 접착제로 서브스트레이트에 웨이퍼를 접합한 접합 웨이퍼의 모따기부를 완전히 잘라내는 경우에는, 접합면에 있는 접착제가 절삭 블레이드에 부착되어 절삭 가공을 할 수 없게 된다고 하는 문제가 있다.
이 문제를 해결하기 위해, 척 테이블이 평탄한 상면은, 웨이퍼의 외직경보다 약간 작은 외직경의 환형홈이 형성되고, 환형홈을 흡인원에 연통시켜, 환형홈으로 웨이퍼를 흡인 유지하고, 척 테이블의 상면의 대부분을 활주면으로 하여 가공 부스러기가 부착되기 어렵게 하고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2010-165802호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2017-004989호 공보
그러나, 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 척 테이블과 웨이퍼 사이에 가공 부스러기가 진입하여, 척 테이블의 상면의 환형홈 부근에 가공 부스러기가 부착되는 경우가 있어 문제가 된다.
따라서, 본 발명의 목적은, 유지면에 가공 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블에서 웨이퍼를 유지할 수 있는 엣지 트리밍 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 엣지 트리밍 장치로서, 웨이퍼의 외직경보다 작은 외직경의 환형홈을 가지고, 상기 환형홈을 흡인원에 연통시켜 상기 환형홈으로 웨이퍼의 하면을 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블을 회전시키는 테이블 회전 기구와, 절삭 블레이드를 장착한 스핀들을 회전시켜 상기 척 테이블에 유지된 웨이퍼의 외주 부분을 환형으로 절삭하는 절삭 유닛과, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면을 세정하는 세정 유닛을 구비하고, 상기 세정 유닛을 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 위치시키고, 상기 테이블 회전 기구로 상기 척 테이블을 회전시켜, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면을 세정하는 엣지 트리밍 장치가 제공된다.
바람직하게는, 엣지 트리밍 장치는, 상기 절삭 유닛을 상기 스핀들의 축심 방향으로 이동시키는 수평 이동 기구를 더 구비하고, 상기 절삭 유닛은, 상기 절삭 블레이드를 장착하는 마운트를 연결시킨 상기 스핀들을 회전시키는 스핀들 유닛과, 상기 마운트와 상기 절삭 블레이드를 둘러싸는 블레이드 커버를 포함한다. 상기 세정 유닛은, 상기 블레이드 커버에 장착되어 하방향으로 고압수를 분사하는 세정 노즐을 포함하고, 상기 수평 이동 기구로 상기 세정 노즐로부터 분사되는 고압수의 착지 영역을, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 위치시켜 세정한다.
바람직하게는, 상기 세정 유닛은, 스폰지와, 상기 스폰지에 세정수를 공급하는 스폰지용 노즐을 포함하고, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 상기 스폰지를 위치시키고, 상기 스폰지용 노즐로부터 세정수가 공급되는 스폰지로 세정한다.
본 발명에 따르면, 세정되어 상면에 가공 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블에서 웨이퍼를 평탄하게 하여 유지할 수 있기 때문에, 웨이퍼의 외주 가장자리에 엣지 트리밍 가공으로 형성한 오목부의 깊이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 척 테이블의 환형홈 내를 세정할 수 있기 때문에, 환형홈에 가공 부스러기가 가득 참으로써 발생할 수 있는 척 테이블의 흡인력의 저하를 막는 것이 가능해진다.
또한, 예컨대, 절삭 유닛을 2개 대향하도록 구비한 엣지 트리밍 장치에서는, 각각의 절삭 유닛에 세정 유닛으로서 세정 노즐을 구비하고, 각각의 세정 영역을 다르게 하여 세정의 역할을 바꿀 수 있다. 예컨대, 한쪽의 세정 노즐을 척 테이블의 상면의 환형홈보다 바로 외측의 영역에 대한 집중적인 세정 전용으로서 원기둥형으로 고압수를 분사시키고, 다른쪽의 세정 노즐을 주로 척 테이블의 상면과 환형홈에 대한 광범위한 세정 전용으로서 부채꼴로 고압수를 분사시킴으로써, 보다 효율적으로척 테이블의 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 척 테이블의 상면을 세정할 수 있다.
또한, 세정 유닛이, 스폰지와, 스폰지에 세정수를 공급하는 스폰지용 노즐을 포함하는 경우에는, 척 테이블의 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 척 테이블의 상면에 스폰지를 위치시키고, 스폰지용 노즐로부터 세정수가 공급되는 스폰지로 세정함으로써, 세정되어 상면에 가공 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블에서 웨이퍼를 평탄하게 하여 유지할 수 있기 때문에, 웨이퍼의 외주 가장자리에 엣지 트리밍 가공으로 형성한 오목부의 깊이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 환형홈 내를 세정할 수 있기 때문에, 척 테이블의 흡인력의 저하를 막는 것이 가능해진다.
도 1은 세정 유닛이 세정 노즐을 구비하는 엣지 트리밍 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 척 테이블의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 3은 제1 절삭 유닛 및 세정 노즐을 포함하는 세정 유닛의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 4는 제1 절삭 유닛의 샤워 노즐, 2개의 절삭수 노즐, 한쌍의 블레이드 냉각 노즐 및 세정 노즐의 구조 및 배치 위치를 설명하는 모식적인 평면도이다.
도 5는 제2 절삭 유닛의 샤워 노즐, 2개의 절삭수 노즐, 한쌍의 블레이드 냉각 노즐 및 세정 노즐의 구조 및 배치 위치를 설명하는 모식적인 평면도이다.
도 6은 세정 노즐을 구비하는 세정 유닛으로, 척 테이블의 상면(유지면)의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 척 테이블의 상면을, 척 테이블을 회전시키면서 세정하고 있는 상태를 설명하는 단면도이다.
도 7은 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 상면이 세정된 척 테이블에서 접합 웨이퍼를 흡인 유지하고, 제1 절삭 유닛에 의해 웨이퍼의 모따기부를 엣지 트리밍하는 경우를 설명하는 단면도이다.
도 8은 세정 유닛이 스폰지를 구비하는 엣지 트리밍 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 9는 스폰지를 구비하는 세정 유닛으로, 척 테이블의 상면의 환형홈보다 외측의 영역과 환형홈을 포함한 척 테이블의 상면을, 척 테이블을 회전시키면서 세정하고 있는 상태를 설명하는 단면도이다.
(제1 실시형태)
본 발명에 따른 도 1에 나타내는 엣지 트리밍 장치(1)[이하, 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)라고 함]는, 척 테이블(30)에 유지된 웨이퍼(W)를 회전하는 절삭 블레이드(613)를 구비한 제1 절삭 유닛(61) 또는 제2 절삭 유닛(62)에 의해 엣지 트리밍할 수 있는 장치이다. 또한, 엣지 트리밍 장치(1)는, 웨이퍼(W)를 듀얼 컷트(2축 동시 절삭) 가능한 형태의 것에 한정되지 않는다.
도 1에 나타내는 웨이퍼(W)는, 예컨대, 실리콘을 모재로 하는 외형이 원형인 반도체 웨이퍼이고, 그 표면(Wa)은, 격자형으로 구획된 각 영역에 IC 등의 도시하지 않는 디바이스가 각각 형성되어 있다. 웨이퍼(W)는, 외주 가장자리가 모따기 가공되어 있어 단면이 대략 원호형인 모따기부(Wd)(도 2 참조)가 형성되어 있다. 또한, 웨이퍼(W)는 실리콘 이외에 갈륨비소, 사파이어, 질화갈륨, 세라믹스, 수지, 또는 실리콘 카바이드 등으로 구성되어 있어도 좋고, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 좋다.
웨이퍼(W)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 예컨대 소위 접합 웨이퍼(W1)로 되어 있다. 즉, 원형의 웨이퍼(W)는, 도 2에 있어서 하측을 향하고 있는 표면(Wa)에, 대략 동직경의 서브스트레이트(SB)(지지 기판)가 접착제(SB1) 등으로 접합되어 있다. 그 때문에, 웨이퍼(W)와 서브스트레이트(SB)를 일체로 취급하여 가공을 함으로써, 웨이퍼(W)의 핸들링성이 향상하고, 또한, 가공 시의 웨이퍼(W)의 휘어짐이나 파손을 막는 것이 가능하게 되어 있다. 웨이퍼(W)의 중심과 서브스트레이트(SB)의 중심은 대략 합치하고 있다.
엣지 트리밍 장치(1)의 베이스(10) 상에는, 척 테이블(30)을 X축 방향으로 이동시키는 절삭 이송 기구(13)가 배치되어 있다. 절삭 이송 기구(13)는, X축 방향으로 연장되는 축심을 갖는 볼나사(130)와, 볼나사(130)와 평행하게 배치된 한쌍의 가이드 레일(131)과, 볼나사(130)를 회전 운동시키는 모터(132)와, 내부의 너트가 볼나사(130)에 나사 결합하며 바닥부가 가이드 레일(131)에 미끄럼 접촉하는 가동판(133)으로 구성된다. 그리고, 모터(132)가 볼나사(130)를 회전 운동시키면, 이에 따라 가동판(133)이 가이드 레일(131)에 가이드되어 X축 방향으로 이동하여, 가동판(133) 상에 배치되어 접합 웨이퍼(W1)를 흡인 유지하는 척 테이블(30)이 가동판(133)의 이동에 따라 X축 방향으로 절삭 이송된다.
도 2에 나타내는 척 테이블(30)은, 예컨대, 그 외형이 평면에서 보아 원형상인 베이스부(30A)를 구비하고 있고, 베이스부(30A)의 상면에 예컨대 세라믹스, 또는 스테인레스강 등의 합금인 무구의 부재를 포함하는 평면에서 보아 원환형의 환형 볼록부(30B)가 세워서 마련되어 있다. 환형 볼록부(30B)의 상면은, 웨이퍼(W)의 표면(Wa)에 접착되어 있는 서브스트레이트(SB)의 하면의 외주측 영역을 흡인 유지하는 평활한 유지면(300)이 된다.
예컨대, 원환형의 유지면(300)의 고리폭의 대략 중간 위치에는, 서브스트레이트(SB)의 외직경보다 작은 외직경의 환형홈(301)이 형성되어 있다. 그리고, 환형홈(301)의 홈바닥에는, 둘레 방향으로 등간격을 두고 복수의 흡인 구멍(301a)이, 환형 볼록부(30B) 및 베이스부(30A)를 두께 방향(Z축 방향)으로 관통하여 형성되어 있다. 각 흡인 구멍(301a)의 하단측에는, 수지 튜브 또는 금속 배관 등의 흡인 유로(390)가 연통하고 있고, 상기 흡인 유로(390)는, 진공 발생 장치 또는 이젝터 기구 등의 흡인원(39)에 접속되어 있다. 여기서, 척 테이블(30)의 환형 볼록부(30B)의 상면(300)인 유지면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역을, 영역(300a)으로 한다.
각 흡인 구멍(301a)에는, 척 테이블(30)의 유지면(300)에 에어(air)를 공급하는 컴프레서 등을 포함하는 에어 공급원(38)이 접속되어 있다. 예컨대, 척 테이블(30)에 의한 접합 웨이퍼(W1)의 흡인 유지를 해제하고, 척 테이블(30)로부터 접합 웨이퍼(W1)를 반출하고자 하는 경우에는, 에어 공급원(38)이 압축 에어를 흡인 구멍(301a)에 공급한다. 그 결과, 흡인 구멍(301a)으로부터 유지면(300) 상에 분출하는 에어에 의해, 유지면(300)과 접합 웨이퍼(W1) 사이에 잔존하는 진공 흡착력을 배제하고, 접합 웨이퍼(W1)를 유지면(300)으로부터 클램프 등에 의해 파지하여 이탈 가능한 상태로 할 수 있다.
베이스부(30A)의 상면과 환형 볼록부(30B)의 내측면으로 형성되는 오목형의 공간에는, 평면에서 보아 원형판형의 승강 테이블(31)이 배치되어 있다. 승강 테이블(31)의 상면은 무구 부재 등을 포함하는 평활면으로 되어 있다. 그리고, 승강 테이블(31)은, 베이스부(30A)에 내장된 에어 실린더(310)에 의해 Z축 방향으로 상하 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 에어 실린더(310)는 전동 실린더여도 좋다. 예컨대, 상승하지 않는 상태의 승강 테이블(31)의 상면은, 환형 볼록부(30B)의 유지면(300)과 동일 평면으로 되어 있다.
승강 테이블(31)은, 예컨대, 유지면(300)에 유지된 서브스트레이트(SB)에 접착된 웨이퍼(W)에 엣지 트리밍 가공이 실시된 후, 유지면(300)으로부터 접합 웨이퍼(W1)를 반출할 때에, 접합 웨이퍼(W1)를 유지면(300)보다 상방으로 들어 올려, 도시하지 않는 반송 수단이 서브스트레이트(SB)의 외주 가장자리를 엣지 클램프할 수 있도록 한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 척 테이블(30)은, 그 하측에 배치된 모터 및 축 방향이 Z축 방향(연직 방향)인 회전축 등을 포함하는 테이블 회전 기구(32)에 의해 회전 가능하게 되어 있다.
도 1에 나타내는 베이스(10) 상의 후방측(-X 방향측)에는, 문형 칼럼(14)이 척 테이블(30)의 이동 경로 상을 걸치도록 세워서 마련되어 있다. 문형 칼럼(14)의 전면에는, 예컨대, X축 방향과 Z축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 제1 절삭 유닛(61)을 왕복 이동시키는 제1 수평 이동 기구(15)가 배치되어 있다.
제1 수평 이동 기구(15)는, 예컨대, Y축 방향으로 연장되는 축심을 갖는 볼나사(150)와, 볼나사(150)와 평행하게 배치된 한쌍의 가이드 레일(151)과, 볼나사(150)의 일단에 연결된 도시하지 않는 모터와, 내부의 너트가 볼나사(150)에 나사 결합하며 측부가 가이드 레일(151)에 미끄럼 접촉하는 가동판(153)을 구비하고 있다. 그리고, 도시하지 않는 모터가 볼나사(150)를 회전 운동시키면, 이에 따라 가동판(153)이 가이드 레일(151)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하여, 가동판(153) 상에 제1 절입 이송 기구(17)를 통해 배치된 제1 절삭 유닛(61)이 Y축 방향으로 수평 이동(인덱싱 이송)된다.
제1 절입 이송 기구(17)는, Z축 방향으로 제1 절삭 유닛(61)을 왕복 이동시킬 수 있고, Z축 방향으로 연장되는 축심을 갖는 볼나사(170)와, 볼나사(170)와 평행하게 배치된 한쌍의 가이드 레일(171)과, 볼나사(170)에 연결된 모터(172)와, 제1 절삭 유닛(61)을 지지하여 내부의 너트가 볼나사(170)에 나사 결합하며 측부가 가이드 레일(171)에 미끄럼 접촉하는 지지 부재(173)를 구비하고 있다. 모터(172)가 볼나사(170)를 회전 운동시키면, 지지 부재(173)가 한쌍의 가이드 레일(171)에 가이드되어 Z축 방향으로 이동하고, 이에 따라, 제1 절삭 유닛(61)이 Z축 방향으로 절입 이송된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 절삭 유닛(61)은, 절삭 블레이드(613)를 장착하는 도시하지 않는 마운트를 연결시킨 스핀들(610)을 회전시키는 스핀들 유닛(61A)과, 도시하지 않는 마운트와 절삭 블레이드(613)를 둘러싸는 블레이드 커버(614)를 구비하고 있다.
스핀들 유닛(61A)는, 축 방향이 Y축 방향인 스핀들(610)과, 제1 절입 이송 기구(17)의 지지 부재(173)의 하단측에 고정되어 스핀들(610)을 회전이 자유롭게 지지하는 스핀들 하우징(611)과, 스핀들(610)을 회전시키는 모터(612)를 구비하고 있다. 스핀들 하우징(611) 중에 회전 가능하게 수용되어 있는 스핀들(610)은, 스핀들 하우징(611) 내로부터 그 선단측이 -Y 방향측으로 돌출하고 있고, 상기 선단측에 도시하지 않는 마운트가 장착되어 있다.
도 3에 나타내는 절삭 블레이드(613)는, 원환판형으로 형성되며 중앙에 스핀들(610)을 삽입하는 구멍을 구비하고, 다이아몬드 지립 등을 적절한 바인더에 의해 고정함으로써 형성된 원환형의 절삭날(613b)을 외주에 갖는 원환형의 와셔형의 블레이드이다.
절삭 블레이드(613)는, 도시하지 않는 고정 너트를 스핀들(610)에 나사 결합시켜 체결함으로써, 도시하지 않는 마운트와 고정 너트에 의해 Y축 방향 양측으로부터, 절삭 블레이드(613)가 마운트와 스핀들(610)을 삽입하는 구멍을 구비하는 고정 플랜지(613a)로 사이에 끼워져 고정되어 스핀들(610)에 장착된 상태, 즉, 도 1, 3에 나타내는 바와 같이 제1 절삭 유닛(61)이 조립된 상태가 된다. 절삭 블레이드(613)의 회전 중심과 스핀들(610)의 축심은 대략 합치한 상태로 되어 있다. 그리고, 스핀들(610)의 후단측에 연결된 모터(612)에 의해 스핀들(610)이 회전 구동되는 것에 따라, 절삭 블레이드(613)가 회전한다.
도시하지 않는 마운트와 절삭 블레이드(613)를 상방으로부터 둘러싸는 블레이드 커버(614)는, 블레이드 커버 베이스부(614a)와, 블레이드 커버 베이스부(614a)에 배치되며 블레이드 커버 베이스부(614a)에 대하여 X축 방향으로 슬라이드 가능한 슬라이드 커버부(614b)로 구성되어 있다.
블레이드 커버 베이스부(614a)의 +X 방향측의 측면에는, 노즐 지지 블록(614c)이 배치되어 있고, 노즐 지지 블록(614c)에는, 절삭 블레이드(613)의 직경 방향 외측으로부터 절삭 블레이드(613)를 향하여 절삭수를 분사하는 샤워 노즐(651)이, 예컨대 1개 배치되어 있다. 샤워 노즐(651)에는, 수지 튜브(680)를 통해 순수 등을 송출 가능한 물 공급원(68)이 연통하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 샤워 노즐(651)로부터 절삭 블레이드(613)에 공급되는 절삭수는, 주로 절삭 블레이드(613)를 냉각하는 역할을 달성한다.
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 노즐 지지 블록(614c)에는, 절삭 블레이드(613)와 웨이퍼(W)의 접촉 부위(가공점)를 향하여 경사 상방으로부터 절삭수를 분사하여 공급하는 절삭수 노즐(652)이, 예컨대 2개 배치되어 있다. 2개의 절삭수 노즐(652)은, 예컨대, 평면에서 보아, 절삭 블레이드(613)를 대칭축으로 하여 Y축 방향에 서로 대칭으로 배치되어 있다. 절삭수 노즐(652)에는, 수지 튜브(681)를 통해 물 공급원(68)이 연통하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 2개의 절삭수 노즐(652)로부터 가공점에 공급되는 절삭수는, 주로 가공점에 발생하는 절삭 부스러기를 웨이퍼(W) 상으로부터 세정 제거하는 역할을 달성한다.
슬라이드 커버부(614b)는, 도시하지 않는 에어 실린더를 통해 블레이드 커버 베이스부(614a)에 연결되어 있고, X축 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 절삭 블레이드(613)를 스핀들(610)에 장착한 후에, 블레이드 커버(614)를 스핀들 하우징(611)의 -Y 방향측의 전면에 장착하고, 개방된 상태의 슬라이드 커버부(614b)를 +X 방향을 향하여 슬라이드시켜 블레이드 커버(614)를 폐쇄하면, 절삭 블레이드(613)를 블레이드 커버(614)의 대략 중앙의 개구 내에 수용할 수 있어, 제1 절삭 유닛(61)이 웨이퍼(W)를 절삭 가능한 상태가 된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 슬라이드 커버부(614b)는, -Y 방향측에서 보아 대략 L자 형상의 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653)을 지지하고 있다. 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653)은, 슬라이드 커버부(614b) 내를 지나 하방으로 연장된 후, 절삭 블레이드(613)의 하부를 사이에 끼우도록 하여 +X 방향측으로 서로 평행하게 연장되어 있다. 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653)의 각각의 상단은, 수지 튜브(683)를 통해 물 공급원(68)에 연통하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653)은 절삭 블레이드(613)의 측면을 향하는 복수의 슬릿(653a)을 구비하고 있고, 슬릿(653a)으로부터 분사되는 절삭수에 의해, 절삭 블레이드(613)는 냉각 및 세정된다.
도 1에 나타내는 엣지 트리밍 장치(1)는, 척 테이블(30)의 유지면(300)[즉, 상면(300)]의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함한 척 테이블(30)의 상면(300)을 세정하는 세정 유닛(7)을 구비하고 있다. 도 1, 3에 나타내는 세정 유닛(7)은, 예컨대, 블레이드 커버(614)에 장착되며 하방향(-Z 방향)으로 고압수를 분사하는 세정 노즐(70)을 구비하고 있다. 이하, 세정 유닛(7)을, 세정 노즐(70)을 구비하는 제1 실시형태의 세정 유닛(7)으로 한다.
예컨대, 세정 노즐(70)은, 슬라이드 커버부(614b)의 -X 방향측의 측면에 장착된 세정 노즐 지지 블록(71)에 의해 지지되어 있다. 세정 노즐(70)은, 그 하단에 형성된 분사구(700)가, 예컨대, 도 4에 나타내는 바와 같이, 길이 방향이 Y축 방향의 직사각형상으로 되어 있고, 분사구(700)로부터 하방을 향하여 넓어지는 대략 부채꼴로 세정수를 분사 가능하게 되어 있다. 세정 노즐(70)의 상단은, 수지 튜브(72)를 통해 물 공급원(68)에 연통하고 있다.
또한, 세정 노즐(70)은, 도시하지 않는 에어 공급원에도 접속되어 있고, 물 공급원(68)으로부터 공급된 물과, 에어 공급원으로부터 공급된 에어를 혼합한 이류체를 분사 가능하여도 좋다. 또한, 세정 노즐(70)은 초음파 진동을 부여한 세정수를 분사 가능하여도 좋다.
도 1, 3에 나타내는 바와 같이, 제1 절삭 유닛(61)의 근방에는, 척 테이블(30) 상에 유지된 웨이퍼(W)의 절삭해야 하는 모따기부(Wd)의 위치를 검출하는 얼라인먼트 유닛(11)이 배치되어 있다. 얼라인먼트 유닛(11)은, 카메라(110)에 의해 취득한 촬상 화상에 기초하여 패턴 매칭 등의 화상 처리를 행하여, 모따기부(Wd)의 좌표 위치를 검출할 수 있다.
도 1에 나타내는 문형 칼럼(14)의 전면에는, 예컨대, Y축 방향으로 제2 절삭 유닛(62)을 왕복 이동시키는 제2 수평 이동 기구(16)가 배치되어 있다. 제2 수평 이동 기구(16)는, 예컨대, Y축 방향으로 연장되는 축심을 갖는 볼나사(160)와, 볼나사(160)와 평행하게 배치된 한쌍의 가이드 레일(151)과, 볼나사(160)에 연결된 모터(162)와, 내부의 너트가 볼나사(160)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(161)에 미끄럼 접촉하는 가동판(163)을 구비하고 있다. 그리고, 모터(162)가 볼나사(160)를 회전 운동시키면, 이에 따라 가동판(163)이 가이드 레일(151)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하여, 가동판(163) 상에 제2 절입 이송 기구(18)를 통해 배치된 제2 절삭 유닛(62)이 Y축 방향으로 수평 이동(인덱싱 이송)된다.
제2 절입 이송 기구(18)는, Z축 방향으로 제2 절삭 유닛(62)을 왕복 이동시킬 수 있고, Z축 방향으로 연장되는 축심을 갖는 볼나사(180)와, 볼나사(180)와 평행하게 배치된 한쌍의 가이드 레일(181)과, 볼나사(180)에 연결된 모터(182)와, 제2 절삭 유닛(62)을 지지하며 내부의 너트가 볼나사(180)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(181)에 미끄럼 접촉하는 지지 부재(183)를 구비하고 있다. 그리고, 모터(182)가 볼나사(180)를 회전 운동시키면, 지지 부재(183)가 한쌍의 가이드 레일(181)에 가이드되어 Z축 방향으로 이동하고, 이에 따라, 제2 절삭 유닛(62)이 Z축 방향으로 절입 이송된다.
제2 절삭 유닛(62)은, 제1 절삭 유닛(61)과 Y축 방향에 있어서 대향하도록 배치되어 있다. 상기 제1 절삭 유닛(61)과 제2 절삭 유닛(62)은 대략 동일하게 구성되어 있기 때문에, 제2 절삭 유닛(62)의 자세한 설명은 생략한다.
제2 절삭 유닛(62)의 블레이드 커버(614)에도, 세정 유닛(7)은 배치되어 있다. 제2 절삭 유닛(62)의 블레이드 커버(614)에 배치된 세정 유닛(7)은, 세정 노즐 지지 블록(71)에 지지되는 세정 노즐(73)을 구비하고 있다. 세정 노즐(73)은, 도 5에 나타내는 바와 같이, 그 하단 부분에 형성된 분사구(730)가, 예컨대 원형상으로 되어 있어, 분사구(730)로부터 하방으로 대략 원기둥형의 세정수를 분사 가능하게 되어 있다. 세정 노즐(73)의 상단은, 도시하지 않는 수지 튜브를 통해 도 3에 나타내는 물 공급원(68)에 연통하고 있다. 예컨대, 세정 노즐(73)은, 도시하지 않는 에어 공급원에도 접속되어 있고, 물 공급원(68)으로부터 공급된 물과, 에어 공급원으로부터 공급된 에어를 혼합한 이류체를 분사 가능하여도 좋다. 또한, 세정 노즐(73)은 초음파 진동을 부여한 세정수를 분사 가능하여도 좋다. 또한, 제2 절삭 유닛(62)에 세정 노즐(70)을 배치하여도 좋고, 제1 절삭 유닛(61)에 세정 노즐(73)을 배치하여도 좋다.
또한, 도 3에 나타내는 샤워 노즐(651), 2개의 절삭수 노즐(652), 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653), 세정 노즐(70) 및 세정 노즐(73)은, 각각 연통하는 각 수지 튜브 내에 배치된 도시하지 않는 개폐 밸브의 개폐를 전환함으로써, 물 공급원(68)과 연통한 상태 또는 연통하지 않은 상태가 된다.
이하에, 도 1에 나타내는 엣지 트리밍 장치(1)에 있어서, 척 테이블(30)의 상면(300)[유지면(300)]의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함한 척 테이블(30)의 상면(300)을 세정한 후, 세정된 척 테이블(30)에서 접합 웨이퍼(W1)를 유지하고, 웨이퍼(W)의 외주 부분의 모따기부(Wd)를 환형으로 엣지 트리밍하는 경우에 대해서 설명한다.
척 테이블(30)의 세정에 있어서는, 먼저, 도 1에 나타내는 접합 웨이퍼(W1)를 유지하지 않는 척 테이블(30)이, 절삭 이송 기구(13)에 의해 X축 방향으로 이동되어, 제1 절삭 유닛(61)의 블레이드 커버(614)에 배치된 세정 유닛(7) 및 제2 절삭 유닛(62)의 블레이드 커버(614)에 배치된 세정 유닛(7)의 하방에 척 테이블(30)이 위치된다.
엣지 트리밍 장치(1)의 장치 전체의 제어를 행하는 도시하지 않는 제어 유닛은, 척 테이블(30)의 중심 위치를 파악하고 있기 때문에, 상기 중심 위치로부터 직경 방향 외측으로 소정 거리 떨어진 환형홈(301)의 위치도 파악할 수 있다. 그리고, 제1 수평 이동 기구(15)가, 예컨대, 척 테이블(30)의 중심 위치를 기준으로 하여, 제1 절삭 유닛(61)과 함께 블레이드 커버(614)에 배치된 세정 유닛(7)의 세정 노즐(70)을 Y축 방향으로 이동시켜, 환형홈(301)의 홈폭의 중심과 세정 노즐(70)의 중심을 대략 합치시킨다. 그 결과, 도 6에 나타내는 바와 같이, 지면 앞쪽(+X 방향측)에서 보아 대략 선형으로 하방으로 넓어지도록 세정 노즐(70)로부터 분사되는 고압의 세정수의 착지 영역이, 환형홈(301)과 척 테이블(30)의 유지면(300)에 위치된다.
또한, 제2 수평 이동 기구(16)가, 예컨대, 척 테이블(30)의 중심 위치를 기준으로 하여, 제2 절삭 유닛(62)과 함께 블레이드 커버(614)에 배치된 세정 유닛(7)의 세정 노즐(73)을 Y축 방향으로 이동시켜, 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)에 대하여 원기둥형으로 하방으로 세정수를 분사하는 세정 노즐(73)의 중심을 위치시킨다.
계속해서, 도 1에 나타내는 제1 절입 이송 기구(17)가, 세정 노즐(70)을 Z축 방향으로 이동시켜 적절한 높이에 위치시키고, 제2 절입 이송 기구(18)가, 세정 노즐(73)을 Z축 방향으로 이동시켜 적절한 높이에 위치시킨다.
이 상태로, 도 6에 나타내는 물 공급원(68)이 세정 노즐(70)에 고압수를 공급한다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 세정 노즐(70)의 분사구(700)로부터 세정수가 하방을 향하여 대략 부채꼴로 넓어져 분사되어, 상기 세정수에 의해 주로 환형홈(301)의 홈바닥 및 측벽에 부착되어 있던 절삭 부스러기나 유지면(300)[상면(300)]에 부착되어 있던 절삭 부스러기 등이 광범위에 걸쳐 세정 제거된다. 또한, 물 공급원(68)이 세정 노즐(73)에 고압수를 공급함으로써, 도 6에 나타내는 바와 같이, 세정 노즐(73)의 분사구(730)로부터 세정수가 하방을 향하여 원기둥형으로 분사되어, 상기 세정수에 의해 유지면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)이 핀 포인트로 집중적으로 세정되어, 영역(300a)에 부착되어 있던 절삭 부스러기 등이 제거된다.
또한, 테이블 회전 기구(32)가 척 테이블(30)을 소정의 회전 속도로 회전시키는 것에 따라, 환형홈(301)의 전체 둘레 및 유지면(300)의 전체 둘레가, 세정 노즐(70)로부터 분사되는 세정수 및 세정 노즐(73)로부터 분사되는 세정수에 의해 빠짐없이 세정된다.
소정 시간 환형홈(301)의 전체 둘레의 세정 및 유지면(300)의 전체 둘레의 세정, 특히, 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)의 전체 둘레의 집중적인 세정이 행해지면, 물 공급원(68)이 세정 노즐(70) 및 세정 노즐(73)에 대한 물의 공급을 정지한다. 그 후, 예컨대, 척 테이블(30)은, 회전에 의한 회전 건조, 또는, 도시하지 않는 에어 공급원에 연통하는 세정 노즐(70, 73)로부터 에어를 분출시켜 건조시킨다.
계속해서, 도 1에 나타내는 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 트리밍 가공이 개시된다. 먼저, 웨이퍼(W)의 중심과 척 테이블(30)의 유지면(300)의 중심이 대략 합치하도록 하여, 접합 웨이퍼(W1)가 서브스트레이트(SB)를 하방을 향하게 한 상태로 유지면(300)에 환형홈(301)을 막도록 배치된다. 그리고, 도 7에 나타내는 흡인원(39)이 구동하여 만들어지는 흡인력이 흡인 구멍(301a) 및 환형홈(301)을 지나 유지면(300)에 전달되어, 척 테이블(30)이 유지면(300) 상에서 웨이퍼(W)의 하면(Wa)[표면(Wa)]에 접착되어 있는 서브스트레이트(SB)의 외주 영역을 흡인 유지한다. 또한, 접합 웨이퍼(W1)는, 승강 테이블(31)의 상면에 배치된 상태가 된다.
도 1에 나타내는 절삭 이송 기구(13)가 척 테이블(30)을 X축 방향으로 이동시키며, 예컨대, 제1 수평 이동 기구(15)가, 얼라인먼트 유닛(11)의 카메라(110)를 Y축 방향으로 이동시켜, 카메라(110)의 촬상 영역 내에 웨이퍼(W)의 외주 가장자리에 형성된 모따기부(Wd)가 들어가도록 척 테이블(30)이 소정 위치에 위치된다. 카메라(110)에 의해 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 촬상이 행해지고, 얼라인먼트 유닛(11)은, 상기 촬상 화상을 기초로 하여, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 좌표의 위치를 결정한다.
예컨대, 상기한 바와 같이 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 좌표의 위치가 검출된 후, 척 테이블(30)에 유지된 접합 웨이퍼(W1)가, 예컨대, 제1 절삭 유닛(61)의 절삭 블레이드(613)의 하방에 위치된다. 그리고, 제1 수평 이동 기구(15)가, 엣지 얼라인먼트로 얻어진 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 좌표의 위치를 기준으로 하여, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 절삭 유닛(61)을 Y축 방향으로 이동시켜, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)로부터 소정 거리만큼 직경 방향 내측의 위치에 절삭 블레이드(613)를 위치시킨다. 즉, 예컨대, 절삭 블레이드(613)의 하단면의 약 2/3가, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)에 접촉하도록 절삭 블레이드(613)가 위치된다.
계속해서, 스핀들(610)을 +Y 방향측에서 보아 반시계 방향 방향으로 고속 회전시킴으로써, 스핀들(610)에 고정된 절삭 블레이드(613)가 +Y 방향측에서 보아 반시계 방향 방향으로 고속 회전된다. 또한, 도 1에 나타내는 제1 절입 이송 기구(17)가 제1 절삭 유닛(61)을 하강시켜, 절삭 블레이드(613)를 웨이퍼(W)의 이면(Wb)으로부터 소정 깊이 절입시킨다. 절삭 블레이드(613)의 절입 깊이는, 예컨대, 모따기부(Wd)를 완전히 잘라내며, 접착제(SB1)에 절삭 블레이드(613)가 이르지 않는, 또는 약간 절입하는 깊이가 된다. 절삭 블레이드(613)를 소정의 높이 위치까지 절입 이송한 후, 절삭 블레이드(613)를 계속해서 회전시킨 상태로, 척 테이블(30)을 +Z 방향측에서 보아 반시계 방향으로 360도 회전시킴으로써, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd) 전체 둘레를 절삭한다. 또한, 제1 절삭 유닛(61)과 제2 절삭 유닛(62)에 의해, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)를 듀얼 엣지 트리밍하여도 좋다.
상기 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 트리밍 중에 있어서는, 도 3 및 도 4에 나타내는 샤워 노즐(651)에 의해, 절삭 블레이드(613)의 직경 방향 외측으로부터 절삭수가 절삭 블레이드(613)에 공급되어, 주로 절삭 블레이드(613)의 냉각이 행해진다. 또한, 2개의 절삭수 노즐(652)에 의해, 절삭 블레이드(613)와 웨이퍼(W)의 접촉 부위에 절삭수가 공급되어, 주로 상기 절삭수에 의해 접촉 부위의 냉각 및 접촉 부위에 발생한 절삭 부스러기의 세정 제거가 행해진다. 또한, 한쌍의 블레이드 냉각 노즐(653)에 의해, 절삭 블레이드(613)에 대하여 절삭 블레이드(613)의 두께 방향(Y축 방향)으로부터 절삭수가 공급되어, 절삭 블레이드(613)의 냉각이 행해진다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 엣지 트리밍 장치(1)는, 척 테이블(30)의 상면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함한 척 테이블(30)의 상면(300)을 세정하는 세정 유닛(7)을 구비하고, 세정 유닛(7)을 상기 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함하는 척 테이블(30)의 상면(300)에 위치시켜, 테이블 회전 기구(32)로 척 테이블(30)을 회전시키고, 상기 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함하는 척 테이블(30)의 상면(300)을 세정함으로써, 세정되어 상면(300)에 절삭 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블(30)에서 접합 웨이퍼(W1)를 평탄하게 하여 유지할 수 있기 때문에, 웨이퍼(W)의 외주 가장자리의 모따기부(Wd)의 엣지 트리밍 가공으로 형성한 오목부의 깊이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 환형홈(301) 내를 세정할 수 있기 때문에, 환형홈(301)에 절삭 부스러기가 가득 참으로써 발생할 수 있는 척 테이블(30)의 흡인력의 저하를 막는 것이 가능해진다.
본 발명에 따른 엣지 트리밍 장치(1)에 있어서, 제1 실시형태의 세정 유닛(7)은, 블레이드 커버(614)에 장착되며 하방향으로 고압수를 분사하는 세정 노즐(70, 73)로서, 제1 수평 이동 기구(15)로 세정 노즐(70)로부터 분사되는 고압수의 착지 영역을, 척 테이블(30)의 상면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함하는 척 테이블(30)의 상면(300)에 위치시키고, 척 테이블(30)을 회전시키면서 세정함으로써, 세정되어 상면(300)에 가공 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블(30)에서 접합 웨이퍼(W1)를 평탄하게 하여 유지할 수 있기 때문에, 웨이퍼(W)의 모따기부(Wd)의 엣지 트리밍 가공으로 형성한 오목부의 깊이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 환형홈(301) 내를 세정할 수 있기 때문에, 환형홈(301)에 가공 부스러기가 가득 참으로써 발생할 수 있는 척 테이블(30)의 흡인력의 저하를 막는 것이 가능해진다. 또한, 예컨대, 본 제1 실시형태와 같은 제1 절삭 유닛(61)과 제2 절삭 유닛(62)을 2개 대향하도록 구비한 엣지 트리밍 장치(1)에서는, 예컨대, 제1 절삭 유닛(61)에 세정 유닛(7)으로서 세정 노즐(70)을 구비하고, 제2 절삭 유닛(62)에 세정 유닛(7)으로서 세정 노즐(73)을 구비하고, 각각의 세정 노즐의 세정 영역을 다르게 하여 세정의 역할을 바꿀 수 있다. 예컨대, 한쪽의 세정 노즐(73)을 척 테이블(30)의 상면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)에 대한 집중적인 세정 전용으로서 원기둥형으로 고압의 세정수를 분사시켜 영역(300a)에 도달시키고, 다른쪽의 세정 노즐(70)을 척 테이블(30)의 상면(300)과 환형홈(301)의 광범위한 세정 전용으로서 대략 부채꼴로 고압의 세정수를 분사시킴으로써, 보다 효율적으로 환형홈(301)과 척 테이블(30)의 상면(300)을, 세정되지 않은 개소가 없도록 하여 세정할 수 있다.
또한, 펌프 등을 포함하는 물 공급원(68)이, 예컨대 고압수를 세정 노즐(70, 73)에 송출할 수 있는 형태의 것이 아니어도, 세정 노즐(70, 73)을 물 공급원(68)에 더하여 에어 공급원에도 연통시키고, 예컨대 각 노즐 내에서 에어를 혼합시키고, 각 분사구로부터 이류체를 분사시켜, 에어의 압력으로 세정 영역 내의 착지점에 닿는 물방울을 고압으로 하여도 좋다.
(제2 실시형태)
도 8에 나타내는 제2 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1A)는, 도 1에 나타내는 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)의 구성 요소의 일부를 변경한 장치이다. 이하에, 제2 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1A)의 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)와 구성이 상이한 부분에 대해서 설명한다.
엣지 트리밍 장치(1A)는, 예컨대, 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)의 세정 노즐(70)을 구비하는 세정 유닛(7) 대신에, 도 8에 나타내는 스폰지(80)와, 스폰지(80)에 세정수를 공급하는 스폰지용 노즐(81)을 구비하는 제2 실시형태의 세정 유닛(8)을 구비하고 있다.
예컨대, 엣지 트리밍 장치(1A)의 베이스(10) 상에는, 척 테이블(30)의 이동 경로를 걸치도록 하여, 지지 브릿지(88)가 세워서 마련되어 있고, 세정 유닛(8)은 지지 브릿지(88)에 부착되어 있다. 세정 유닛(8)은, 예컨대, 도시하지 않는 슬라이더에 의해 지지 브릿지(88) 상을 Y축 방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있어도 좋다. 스폰지용 노즐(81)의 분사구는 스폰지(80)를 향하여 개구하고 있으며, 물 공급원(68)에 연통하고 있다.
스폰지(80)의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 예컨대, PVA 스폰지 등이 이용된다. 스폰지(80)는, 예컨대, 원기둥형으로 형성되어 있고, 지지 브릿지(88)에 부착된 스폰지 승강 기구(84)에 의해 Z축 방향으로 상하 이동 가능하게 되어 있다. 스폰지(80)의 형상은, 본 예에 한정되지 않는다.
스폰지 승강 기구(84)는, 예컨대, 에어 실린더이며, 내부에 도시하지 않는 피스톤을 구비하는 통형의 실린더 튜브(840)와, 실린더 튜브(840)에 삽입되며 상단측이 피스톤에 부착된 피스톤 로드(841)를 구비한다. 그리고, 피스톤 로드(841)의 하단측에 스폰지(80)가 착탈 가능하게 부착되어 있다.
예컨대, 지지 브릿지(88)에는, Y축 방향으로 연장되는 에어 노즐(86)이 부착되어 있다. 에어 노즐(86)은, 예컨대, 척 테이블(30)의 외직경 이상의 길이를 가지고 있고, 그 측면에는 하측을 향하는 복수의 슬릿(860)을 구비하고 있다. 그리고, 에어 노즐(86)은, 슬릿(860)으로부터 분사되는 압축 에어에 의해, 척 테이블(30)의 유지면(300)이나 환형홈(301) 내부를 건조시킬 수 있다. 에어 노즐(86)은, 컴프레서 등을 포함하며, 압축 에어를 공급 가능한 에어 공급원(869)에 수지 튜브 등을 통해 연통하고 있다.
이하에, 도 8에 나타내는 엣지 트리밍 장치(1A)에 있어서, 척 테이블(30)의 환형홈(301)과 척 테이블(30)의 상면의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)을 세정한 후, 세정된 척 테이블(30)에서 접합 웨이퍼(W1)를 유지하고, 웨이퍼(W)의 외주 부분의 모따기부(Wd)를 환형으로 엣지 트리밍하는 경우에 대해서 설명한다.
척 테이블(30)의 세정에 있어서는, 먼저, 도 8에 나타내는 접합 웨이퍼(W1)를 유지하지 않는 척 테이블(30)이, 절삭 이송 기구(13)에 의해 X축 방향으로 이동되어, 세정 유닛(8)의 스폰지(80)의 하방에 척 테이블(30)이 위치된다. 이에 의해, 스폰지(80)가, 척 테이블(30)의 상면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함한 척 테이블(30)의 상면(300)을 홈폭 방향으로 대략 횡단하도록 위치된다.
계속해서, 도 8에 나타내는 스폰지 승강 기구(84)가, 스폰지(80)를 강하시켜, 도 9에 나타내는 바와 같이 변형되는 스폰지(80)를, 척 테이블(30)의 환형홈(301)의 홈바닥과 유지면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)에 접촉시킨다.
또한, 물 공급원(68)이 스폰지용 노즐(81)에 대하여 세정수를 송출하여, 스폰지용 노즐(81)로부터 분사된 세정수를 스폰지(80)가 흡수함으로써, 스폰지(80)가 팽창되어 탄력성을 갖게 된다. 또한, 스폰지(80)는, 세정수를 흡수하여도 팽창되지 않는 것이어도 좋다. 또한, 스폰지용 노즐(81)로부터, 척 테이블(30)의 환형홈(301) 및 영역(300a)에 대하여 직접 세정수를 공급하여도 좋다.
또한, 테이블 회전 기구(32)가 척 테이블(30)을 소정의 회전 속도로 회전시키는 것에 따라, 환형홈(301)의 전체 둘레 및 유지면(300)의 전체 둘레가, 세정수가 공급되는 스폰지(80)에 의해 세정되어, 부착되어 있던 절삭 부스러기 등이 제거되어 간다.
소정 시간 환형홈(301)의 전체 둘레 및 유지면(300), 특히, 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)의 전체 둘레의 집중적인 세정이 행해지면, 물 공급원(68)이 스폰지용 노즐(81)에 대한 물의 공급을 정지한다. 또한, 스폰지 승강 기구(84)가 스폰지(80)를 상승시켜, 척 테이블(30)로부터 이격시킨다.
다음에, 도 1에 나타내는 절삭 이송 기구(13)에 의해, 척 테이블(30)이 에어 노즐(86)의 하방을 X축 방향으로 이동하며, 에어 노즐(86)로부터 척 테이블(30)의 유지면(300)을 향하여 고압 에어가 뿜어진다. 그 결과, 유지면(300) 및 환형홈(301)에 부착되어 있던 세정수가, 에어에 의해 날아가, 유지면(300) 및 환형홈(301)이 건조한다. 또한, 예컨대, 척 테이블(30)은, 회전에 의한 회전 건조, 또는, 도시하지 않는 에어 공급원에 연통하는 스폰지용 노즐(81)로부터 에어를 분출하여 건조시켜도 좋다.
계속해서, 웨이퍼(W)의 엣지 트리밍 가공이 개시된다. 웨이퍼(W)의 엣지 트리밍은, 앞서 설명한 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)에 있어서의 경우와 동일하게 행해진다.
본 발명에 따른 제2 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1A)에 있어서, 세정 유닛(8)은, 스폰지(80)와, 스폰지(80)에 세정수를 공급하는 스폰지용 노즐(81)을 구비하고, 스폰지(80)를 척 테이블(30)의 상면(300)의 환형홈(301)보다 외측의 영역(300a)과 환형홈(301)을 포함한 척 테이블(30)의 상면(300)에 위치시키고, 스폰지용 노즐(81)로부터 세정수가 공급되는 스폰지(80)로 세정함으로써, 세정되어 상면(300)에 가공 부스러기가 부착되지 않은 척 테이블(30)에서 접합 웨이퍼(W1)를 평탄하게 하여 유지할 수 있기 때문에, 웨이퍼(W)의 외주 가장자리의 모따기부(Wd)의 엣지 트리밍 가공으로 형성한 오목부의 깊이를 일정하게 할 수 있다. 또한, 환형홈(301) 내를 세정할 수 있기 때문에, 환형홈(301)에 절삭 부스러기가 가득 참으로써 발생할 수 있는 척 테이블(30)의 흡인력의 저하를 막는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 따른 엣지 트리밍 장치(1)는 상기 제1, 제2 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 또한, 첨부 도면에 도시되어 있는 장치의 각 구성 등에 대해서도, 이에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다. 예컨대, 제2 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1A)의 에어 노즐(86)을, 제1 실시형태의 엣지 트리밍 장치(1)는 구비하여도 좋다.
W: 웨이퍼 Wa: 웨이퍼의 표면 Wb: 웨이퍼의 상면(이면) Wd: 모따기부
SB: 서브스트레이트 SB1: 접착제 W1: 접합 웨이퍼
1: 엣지 트리밍 장치 10: 베이스 11: 얼라인먼트 유닛 13: 절삭 이송 기구
30: 척 테이블 30A: 베이스부 30B: 환형 볼록부 300: 척 테이블의 유지면(상면) 300a: 환형홈보다 외측의 영역
301: 환형홈 301a: 흡인 구멍 390: 흡인 유로 39: 흡인원 38: 에어 공급원
31: 승강 테이블 310: 에어 실린더 32: 테이블 회전 기구
14: 문형 칼럼 15: 제1 수평 이동 기구 150: 볼나사 151: 한쌍의 가이드 레일 153: 가동판
17: 제1 절입 이송 기구 170: 볼나사 172: 모터
61: 제1 절삭 유닛
61A: 스핀들 유닛 610: 스핀들 611: 스핀들 하우징 612: 모터 613: 절삭 블레이드 613b: 절삭날 613a: 고정 플랜지
614: 블레이드 커버 614a: 블레이드 커버 베이스부
614b: 슬라이드 커버부 614c: 노즐 지지 블록 651: 샤워 노즐
652: 절삭수 노즐 653: 블레이드 냉각수 노즐 653a: 슬릿
68: 물 공급원
7: 세정 유닛 70: 세정 노즐 700: 분사구 71: 세정 노즐 지지 블록
16: 제2 수평 이동 기구 160: 볼나사 162: 모터
18: 제2 절입 이송 기구 180: 볼나사 182: 모터
62: 제2 절삭 유닛
73: 세정 노즐 730: 분사구
1A: 엣지 트리밍 장치
8: 세정 유닛 80: 스폰지 81: 스폰지용 노즐
88: 지지 브릿지 84: 스폰지 승강 기구 86: 에어 노즐

Claims (3)

  1. 엣지 트리밍 장치로서,
    웨이퍼의 외직경보다 작은 외직경의 환형홈을 가지며, 상기 환형홈을 흡인원에 연통시켜 상기 환형홈으로 웨이퍼의 하면을 흡인 유지하는 척 테이블과,
    상기 척 테이블을 회전시키는 테이블 회전 기구와,
    절삭 블레이드를 장착한 스핀들을 회전시켜 상기 척 테이블에 유지된 웨이퍼의 외주 부분을 환형으로 절삭하는 절삭 유닛과,
    상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면을 세정하는 세정 유닛
    을 구비하고,
    상기 세정 유닛을 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 위치시키고, 상기 테이블 회전 기구로 상기 척 테이블을 회전시켜, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면을 세정하는 것인 엣지 트리밍 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절삭 유닛을 상기 스핀들의 축심 방향으로 이동시키는 수평 이동 기구
    를 더 구비하고,
    상기 절삭 유닛은,
    상기 절삭 블레이드를 장착하는 마운트를 연결시킨 상기 스핀들을 회전시키는 스핀들 유닛과,
    상기 마운트와 상기 절삭 블레이드를 둘러싸는 블레이드 커버
    를 포함하고,
    상기 세정 유닛은, 상기 블레이드 커버에 장착되어 하방향으로 고압수를 분사하는 세정 노즐을 포함하고,
    상기 수평 이동 기구로 상기 세정 노즐로부터 분사되는 고압수의 착지 영역을, 상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 위치시켜 세정하는 것인 엣지 트리밍 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 스폰지와 이 스폰지에 세정수를 공급하는 스폰지용 노즐을 포함하고,
    상기 척 테이블의 상면의 상기 환형홈보다 외측의 영역과 상기 환형홈을 포함한 상기 척 테이블의 상면에 상기 스폰지를 위치시키고, 상기 스폰지용 노즐로부터 세정수가 공급되는 스폰지로 세정하는 것인 엣지 트리밍 장치.
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