JP7062411B2 - 端面清掃方法、及び、切削装置 - Google Patents

端面清掃方法、及び、切削装置 Download PDF

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Description

本発明は、マウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法、及び、端面清掃ユニットを備える切削装置に関する。
一般に、ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置は、切削ブレードをマウントフランジによってスピンドルの先端に固定している。マウントフランジは、切削ブレードの一側面に環状の端面を接触させた状態で固定ナットにより切削ブレードを挟持する。この種のマウントフランジでは、端面に切削ブレードの構成材料の一部（付着物ともいう）が付着することで、端面に凹凸が発生すると切削ブレードの挟持が部分的になる。また、スピンドルの回転軸と直交する面に対して端面が斜めに設定されていたりする場合がある。すると、切削ブレードの挟持が部分的になり、切削時に回転軸に対して切削ブレードが振れ易くなったり、斜めに回転してしまい、被加工物の欠けや切削ブレードの破損の原因となる。そこで、定期的に又はマウントフランジ交換時に、該マウントフランジの端面を研磨砥石で研磨して付着物を除去し、端面を平坦で回転軸と垂直な面にする端面修正という作業が実施されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
特開平０８－３３９９７７号公報 特開２０１７－０１９０４３号公報
ところで、上記した端面修正の作業は、被加工物の加工（生産）を停止して実施される。具体的には、研磨砥石を固定した専用治具をチャックテーブルに固定し、回転するマウントフランジの端面に対して研磨砥石を接触させて該端面を研磨する。このため、端面修正の作業では、チャックテーブルを専用チャックテーブルに交換し、専用治具を用意し、研磨砥石と端面とを所定の位置に位置付ける調整をし、研磨後に元のチャックテーブルへ交換し、交換したチャックテーブルの表面に切削ブレードを接触させて切り込み送り方向の基準位置を再度設定することを要し、端面修正の作業に非常に工数がかかり煩雑になるという問題があった。また、研磨砥石をマウントフランジの端面に接触させて研磨するためには、研磨砥石とマウントフランジの端面とを精密に位置付けする必要があり、位置付け操作が煩雑になるという問題もあった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、マウントフランジの端面の付着物を簡単な構成で除去できる端面清掃方法、及び切削装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の端面清掃方法は、スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃するものであり、該流体は、液体とエアーとが混合された２流体である。
また、本発明の端面清掃方法は、スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃するものであり、該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である。
また、本発明の端面清掃方法は、スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、弾性力を有するブラシ、又は弾性力を有する研磨シートで該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃するものである。
また、本発明の切削装置は、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備えるものであり、該流体は、液体とエアーとが混合された２流体である。
また、本発明の切削装置は、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備えるものであり、該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である。
また、本発明の切削装置は、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、該端面清掃ユニットは、弾性力を有するブラシを備え、端面清掃の際に該ブラシを該端面に接触させるものである。
また、本発明の切削装置は、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、該端面清掃ユニットは、弾性力を有する研磨シートを備え、端面清掃の際に該研磨シートを該端面に接触させるものである。また、該端面清掃ユニットは、該研磨シートが固定されるシート固定部を備え、該シート固定部の該チャックテーブルの外周側の面に該研磨シートが固定されてもよい。また、該研磨シートの該マウントフランジの該端面に接触する接触面の高さは、該マウントフランジの該端面の幅よりも大きくてもよい。また、該端面清掃ユニットは、該チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送りユニットの該チャックテーブルを支持する移動基台上に固定されていてもよい。
本発明によれば、マウントフランジの端面に付着した切削ブレードの構成材料に対して流体を加圧噴射、もしくは、ブラシ又は研磨シートを接触させることにより、端面に付着した切削ブレードの構成材料を除去することができるため、マウントフランジの端面の清掃を容易に行うことができる。さらに、研磨砥石をマウントフランジの端面に接触させて端面を研磨するものと比べて、マウントフランジの端面に対する噴射ノズル、ブラシ又は研磨シートの精密な位置付けを不要とするため、マウントフランジの端面の清掃をより容易に行うことができる。
図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す外観斜視図である。 図２は、切削装置の加工送りユニットの構成を示す部分断面図である。 図３は、切削装置の切削ユニットの構成を示す分解斜視図である。 図４は、端面清掃ユニットによりマウントフランジの端面の清掃を行っている状態を示す側面図である。 図５は、図４に相当する上面図である。 図６は、図４に相当する要部拡大図である。 図７は、別の実施形態に係る端面清掃ユニットによりマウントフランジの端面の清掃を行っている状態を示す側面図である。 図８は、端面清掃ユニットの要部を示す上面図である。
本発明の実施形態に係る切削装置について説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す外観斜視図である。図２は、切削装置の加工送りユニットの構成を示す部分断面図である。図３は、切削装置の切削ユニットの構成を示す分解斜視図である。切削装置１は、被加工物２００を切削加工して、被加工物２００を個々のチップに分割する装置である。本実施形態では、被加工物２００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板形状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。これらのウエーハは、表面に格子状に形成された分割予定ラインを有し、この分割予定ラインで区画された各領域にデバイスが形成されている。切削装置１は、分割予定ラインに沿って切削してウエーハをデバイスチップに分割する。被加工物２００は、裏面側にダイシングテープ２０１が貼着され、このダイシングテープ２０１に環状フレーム２０２が貼着される。これにより、被加工物２００は、ダイシングテープ２０１を介して環状フレーム２０２に支持される。また、被加工物２００には、円板状のウエーハだけでなく、矩形板状に形成されたパッケージ基板、セラミクス基板、ガラス基板などが含まれる。
切削装置１は、図１に示すように、環状フレーム２０２に支持された被加工物２００を保持面１１で吸引保持する回転可能なチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に切削水を供給しながら該被加工物２００を切削ブレード２１で切削（加工）する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させる加工送りユニット３０と、切削ユニット２０をＸ軸方向と直交するＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動させる割り出し送りユニット４０と、切削ユニット２０をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ直交するＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切り込み送りユニット５０と、制御ユニット６０とを備える。切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた構成であるが、切削ユニット２０を１つ備えた構成であってもよい。
チャックテーブル１０は、直方体状の装置本体２の上面に配置されており、被加工物２００が載置されて吸引される保持面１１と、この保持面１１の外周側に複数配置されて被加工物２００に貼着された環状フレーム２０２を固定するクランプ部１２とを有している。チャックテーブル１０は、保持面１１を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、真空吸引経路（不図示）を介して真空吸引源（不図示）と接続され、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引することで保持する。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニット３０により装置本体２の上面をＸ軸方向（加工送り方向）に移動自在であるとともに、回転駆動源（不図示）によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転される。
加工送りユニット３０は、チャックテーブル１０を保持面１１と平行なＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。加工送りユニット３０は、図２に示すように、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール３１と、これらガイドレール３１と平行に配設されたボールねじ３２と、このボールねじ３２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール３１に沿って移動する移動基台３３とを備える。この移動基台３３には支持基台３４が立設され、該支持基台３４にチャックテーブル１０が支持される。また、ボールねじ３２の一端には、該ボールねじ３２を回転させるパルスモータ（不図示）が連結され、ボールねじ３２の回転によって、移動基台３３（チャックテーブル１０）は、ガイドレール３１に沿ってＸ軸方向に移動する。本構成では、ガイドレール３１、ボールねじ３２及びパルスモータが移動基台３３を移動させる駆動部として機能する。
切削装置１は、図１に示すように、切削時に供給された切削水が加工送りユニット３０に浸入することを防止する防水カバー３５と、この防水カバー３５に連結される一対の蛇腹部３６とを備える。防水カバー３５は、図２に示すように、移動基台３３に立設される複数の支柱３７により支持されて該移動基台３３を覆う。防水カバー３５は、中央部に支持基台３４が貫通する開口部３５Ａ１を有する上面部３５Ａと、この上面部３５Ａの側縁から下方に延びる側面部３５Ｂとを備え、樹脂材料を用いて一体に形成される。防水カバー３５の開口部３５Ａ１と支持基台３４との間にはシール材（不図示）が設けられている。蛇腹部３６（図１）は、それぞれ防水カバー３５の側面部３５Ｂに連結され、ボールねじ３２の上方を覆って、Ｘ軸方向（加工送り方向）に延在する。
装置本体２の上面には、Ｙ軸方向に沿って延在するとともに、チャックテーブル１０を跨いで配置される門型の支持構造３が設けられる。割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０は、上記支持構造３に設けられている。割り出し送りユニット４０は、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＸ軸方向と直交する割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。割り出し送りユニット４０は、図１に示すように、支持構造３に配置されてＹ軸方向に延びる一対のガイドレール４１と、これらガイドレール４１と平行に配設されたボールねじ４２と、このボールねじ４２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール４１に沿って移動するブレード移動基台４３とを備える。ボールねじ４２の一端には、該ボールねじ４２を回転させるパルスモータ４４が連結され、ボールねじ４２の回転によって、ブレード移動基台４３は、ガイドレール４１に沿ってＹ軸方向に移動する。
切り込み送りユニット５０は、切削ユニット２０を保持面１１と直交する切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。切り込み送りユニット５０は、図１に示すように、ブレード移動基台４３に配置されてＺ軸方向に延びる一対のガイドレール５１と、これらガイドレール５１と平行に配設されたボールねじ５２と、このボールねじ５２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール５１に沿って移動する切り込み移動基台５３とを備える。この切り込み移動基台５３には、上記した切削ユニット２０が支持されている。また、ボールねじ５２の一端には、該ボールねじ５２を回転させるパルスモータ５４が連結され、ボールねじ５２の回転によって、切り込み移動基台５３は、ガイドレール５１に沿ってＺ軸方向に移動する。
切削ユニット２０は、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。切削ユニット２０は、図３に示すように、ハウジング２３と、スピンドル２２と、マウントフランジ２４と、切削ブレード２１と、固定ナット２５とを備える。また、切削ユニット２０は、図示は省略するが、切削加工時に、切削ブレード２１の刃先、及び、加工点に向けてそれぞれ切削水を供給するノズルを備えている。
切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、金属（例えばアルミニウム）で形成された円盤状の基台２１Ａの外周に固定されて、被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１Ｂを備える。切り刃２１Ｂは、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、切削ブレードとして、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。
スピンドル２２は、切削ブレード２１を回転させることで被加工物２００を切削する。スピンドル２２は、ハウジング２３内に収容され、このハウジング２３は、切り込み送りユニット５０の切り込み移動基台５３に支持されている。切削ユニット２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。また、スピンドル２２の一端側は、ハウジング２３の一端部から外部に突出し、スピンドル２２の他端側には、該スピンドル２２を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。また、スピンドル２２の一端部の外周に、マウントフランジ２４が装着される。
マウントフランジ２４は、切削ブレード２１を支持する。マウントフランジ２４は、金属製であり、スピンドル２２の一端部の外周に取り付けられる円筒状のボス部２４Ａと、ボス部２４Ａの外周面から径方向外向きに延出したフランジ部２４Ｂとを備える。マウントフランジ２４は、ボス部２４Ａ内にスピンドル２２の一端部が嵌め込まれ、ボルト２６がスピンドル２２の一端部にねじ込まれることにより、スピンドル２２に固定される。また、切削ブレード２１は、ボス部２４Ａの外周部に嵌め込まれて、このボス部２４Ａの外周に固定ナット２５が螺合される。これにより、切削ブレード２１の基台２１Ａを固定ナット２５とマウントフランジ２４とで挟持して固定する。マウントフランジ２４のフランジ部２４Ｂには、切削ブレード２１の基台２１Ａと当接して切削ブレード２１を支持する端面２４Ｃが形成されている。また、切削ユニット２０は、図１に示すように、被加工物２００の上面を撮像する撮像部２９が一体的に移動するように固定されている。撮像部２９は、チャックテーブル１０に保持された加工前の被加工物２００の分割すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを行うための画像を取得し、取得した画像を制御ユニット６０に出力する。
また、切削装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット７０が載置されかつカセット７０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ７５と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄手段８０と、カセット７０とチャックテーブル１０と洗浄手段８０との間で被加工物２００を搬送する搬送手段（不図示）とを備える。
ところで、上述したように、切削ブレード２１は、切削ブレード２１の基台２１Ａを固定ナット２５とマウントフランジ２４の端面２４Ｃとで挟持して固定している。ここで、例えば、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに基台２１Ａを構成するアルミニウム金属（構成材料）の一部が付着することにより、マウントフランジ２４の端面２４Ｃが平坦でない場合や、端面２４Ｃとスピンドル２２の軸心とのなす角度が直角でない場合には、スピンドル２２の回転時に切削ブレード２１がばたつき、精密に切削できないという問題が生じる可能性がある。
この種の問題に対して、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを、定期的に、又はマウントフランジ２４の交換時に研磨砥石で研磨することで修正することも想定されるが、研磨砥石をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触させて研磨するためには、研磨砥石を端面２４Ｃに対して精密に位置付けする必要があり、位置付け操作が煩雑になるという問題もあった。また、発明者は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに付着したアルミニウム金属（切削ブレードの構成部材の一部）の付着物は研磨によらなくても清掃により除去できるとの知見を得た。
このため、本構成では、切削装置１は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃する端面清掃ユニット１００を備える。この端面清掃ユニット１００は、定期的に、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃して、この端面２４Ｃに付着した付着物（アルミニウム金属）を除去するものである。
端面清掃ユニット１００は、図２に示すように、移動基台３３上に固定されるとともに、防水カバー３５を貫通し、チャックテーブル１０に隣接して配置される。図２には端面清掃ユニット１００を１つしか描いていないが、切削装置１は、２つの端面清掃ユニット１００を備え、これら端面清掃ユニット１００は、図１に示すように、各切削ユニット２０に対応して防水カバー３５の角部にそれぞれ配置されている。
端面清掃ユニット１００は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃと接触する研磨シート１０１が固定されるシート固定部（固定部）１０２と、シート固定部１０２に連結されて研磨シート１０１の位置をＺ軸に沿って上下方向に移動させる位置付けユニット１０３とを備える。端面清掃ユニット１００は、切削加工時に供給される切削水が飛び散る方向と反対側に設けられており、端面清掃ユニット１００の位置付けユニット１０３は移動基台３３の上に固定される。これにより、端面清掃ユニット１００の研磨シート１０１に切削水や切削屑が付着することを防止している。また、端面清掃ユニット１００は、例えば、防水カバー３５に取り付けられて、研磨シート１０１及びシート固定部１０２を開閉自在に覆う不図示のカバー体を備えても良い。この構成では、端面清掃ユニット１００を使用する際に、カバー体を開けて端面２４Ｃの清掃を実行し、端面清掃ユニット１００を使用しない場合は、カバー体を閉じておく。この構成によっても、端面清掃ユニット１００の研磨シート１０１に切削水や切削屑が付着することを防止できる。
研磨シート１０１は、例えば、ナイロン繊維をシート状に押し固めたナイロン不織布が用いられる。研磨シート１０１は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触して端面２４Ｃの付着物を除去する接触面１０１Ａを有し、この接触面１０１Ａは、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの径方向の幅Ｗ（図３）よりも十分に大きい高さＨに形成される。シート固定部１０２は、防水カバー３５の外側空間に配置され、研磨シート１０１の接触面１０１ＡがＹ軸方向の装置外側を向くように研磨シート１０１を固定する。すなわち、研磨シート１０１の接触面１０１Ａは、Ｘ軸方向とＺ軸方向との双方とほぼ平行になる。また、研磨シート１０１は、ある程度の弾力性を備えるため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状に合わせて変形する。このため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状を変えることなく、端面２４Ｃに付着したアルミニウム金属（切削ブレードの構成部材の一部）の付着物を除去することができる。
また、本構成では、端面清掃ユニット１００は、研磨シート１０１を備える構成としたが、これに限るものではなく、例えば、ナイロン繊維を束ねて形成されたブラシを備えた構成としてもよい。また、これら研磨シート及びブラシは、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを傷つけることなく、この端面２４Ｃの付着物を除去できる硬さを有する材料であれば、他の材料を使用できることは勿論である。
位置付けユニット１０３は、例えば、エアシリンダ油圧シリンダを用いて構成され、シート固定部１０２に固定された研磨シート１０１をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触させる作用位置と、マウントフランジ２４から退避する退避位置とに位置付ける。具体的には、切削ユニット２０が切削加工時には、図２に示すように、位置付けユニット１０３を収縮させて、シート固定部１０２がマウントフランジ２４から退避する退避位置に位置付ける。また、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの加工時には、位置付けユニット１０３を伸張させて、研磨シート１０１が端面２４Ｃに接触させる作用位置に位置付ける。
次に、本実施形態に係る端面清掃の作業手順を説明する。図４は、端面清掃ユニットによりマウントフランジの端面の清掃を行っている状態を示す側面図である。図５は、図４に相当する上面図である。図６は、図４に相当する要部拡大図である。
端面清掃は、定期的に行われる。オペレータは、切削装置１の運転を停止し、切削ユニット２０の固定ナット２５及び切削ブレード２１（図２）を取り外す。この状態では、図４及び図５に示すように、マウントフランジ２４は、端面２４Ｃが露出した状態となっている。この際、端面清掃ユニット１００は、図２に示すように、位置付けユニット１０３を収縮させて、研磨シート１０１が退避位置に位置付けられている。
次に、オペレータは、制御ユニット６０に端面清掃作業を実行させる。制御ユニット６０は、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０を動作させて、図４及び図５に示すように、切削ユニット２０を予め定められた初期位置に位置付けるとともに、端面清掃ユニット１００の位置付けユニット１０３のロッド１０３Ａを伸張させて、シート固定部１０２が端面２４Ｃと対面する予め定められた作用位置に位置付ける。
次に、制御ユニット６０は、割り出し送りユニット４０を動作させて、マウントフランジ２４の端面２４Ｃと研磨シート１０１の接触面１０１Ａとが接触する所定位置まで、切削ユニット２０をＹ軸方向に割り出し送りさせる。この場合、マウントフランジ２４と研磨シート１０１との接触を電流値（抵抗値）変化により検出してもよいし、カメラ等の撮像画像に基づいて接触を検知してもよい。また、割り出し送りユニット４０のパルスモータ４４の負荷電流値を監視し、この負荷電流値の変動（上昇）により接触を検知しても良い。制御ユニット６０は、マウントフランジ２４と研磨シート１０１とが接触した状態で割り出し送りユニット４０の動作を停止する。
次に、制御ユニット６０は、スピンドル２２を回転させつつ、加工送りユニット３０で移動基台３３、すなわち研磨シート１０１をＸ軸方向に端面２４Ｃ全体に接触できる所定範囲内で往復移動させながら研磨シート１０１でマウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃（研磨）する。本構成では、研磨シート１０１の接触面１０１Ａは、図６に示すように、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの径方向の幅Ｗよりも十分に大きい高さＨに形成されるため、研磨シート１０１（端面清掃ユニット１００）をＸ軸方向に沿って往復移動する際に、研磨シート１０１の接触面１０１Ａと端面２４Ｃとが偏って接触することが防止され、研磨シート１０１の偏摩耗が防止される。また、研磨シート１０１は、ある程度の弾力性を備えるため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状に合わせて変形する。このため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状を変えることなく、端面２４Ｃの付着物のみを研磨して除去することができる。制御ユニット６０は、移動基台３３の往復動作を予め定められた所定時間又は所定回数行うと、端面清掃作業を終了する。この例では、端面清掃作業を制御ユニット６０に実行させた構成を説明したが、オペレータが各ユニットを動作させて端面清掃作業を実行してもよいことは勿論である。また、研磨シート１０１（端面清掃ユニット１００）をＸ軸方向に沿って往復移動している最中に、割り出し送りユニット４０を駆動させて、マウントフランジ２４の端面２４Ｃを研磨シート１０１に向けて押し付ける動作を行ってもよい。
次に、端面清掃ユニットの別の構成について説明する。図７は、別の実施形態に係る端面清掃ユニットによりマウントフランジの端面の清掃を行っている状態を示す側面図である。図８は、端面清掃ユニットの要部を示す上面図である。この別の構成では、端面清掃ユニット１１０は、図７に示すように、流体噴射ノズル１１１と、この流体噴射ノズル１１１に清掃用の流体を供給する流体供給ユニット（不図示）とを備える。この端面清掃ユニット１１０は、流体噴射ノズル１１１から流体を噴射することにより、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに付着したアルミニウム金属（切削ブレードの構成部材の一部）の付着物を除去するものである。
流体噴射ノズル１１１は、図７に示すように、移動基台３３上に固定されるとともに、防水カバー３５を貫通してチャックテーブル１０に隣接して配置される。流体噴射ノズル１１１は、流体を噴射する噴射口１１２を有し、この噴射口１１２が、図８に示すように、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに向けるとともに、スピンドル２２の軸心に対して斜め外側を向くように配置されている。
流体供給ユニットは、所定経路を通じて流体噴射ノズル１１１に流体１２３を供給する。流体１２３としては、例えば、圧縮空気（エアー）に水等の液体を混入させた２流体が用いられる。この構成では、圧縮空気に混入された水がマウントフランジ２４の端面２４Ｃに噴射されることにより、この水が衝突した衝撃によって付着物を除去することができる。
次に、本構成に係る端面清掃の作業手順を説明する。上述のように、オペレータは、切削装置の運転を停止し、切削ユニット２０の固定ナット２５及び切削ブレード２１（図２）を取り外す。この状態では、図７に示すように、マウントフランジ２４は、端面２４Ｃが露出した状態となっている。
次に、オペレータは、制御ユニット６０に端面清掃作業を実行させる。制御ユニット６０は、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０を動作させて、図７に示すように、切削ユニット２０を予め定められた初期位置に位置付ける。次に、制御ユニット６０は、スピンドル２２を回転させつつ、流体供給ユニットを作動させ、図８に示すように、流体噴射ノズル１１１の噴射口１１２からマウントフランジ２４の端面２４Ｃに向けて流体１２３を噴射する。この流体１２３に含まれる水は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに吹き付けられるため、この水が衝突した衝撃により端面２４Ｃに付着した付着物が除去される。この場合、流体噴射ノズル１１１の噴射口１１２は、スピンドル２２の軸心に対して斜め外側を向いているため、流体１２３によって除去された付着物は、マウントフランジ２４の外側に排出されてマウントフランジ２４の端面２４Ｃに再度付着することが防止される。
この構成では、端面清掃ユニット１１０の流体噴射ノズル１１１がマウントフランジ２４の端面２４Ｃと直接接触しないため、流体噴射ノズル１１１に対するマウントフランジ２４の端面２４Ｃの位置付け精度を高める必要がなく、端面清掃を容易に自動化することができる。
上記した構成では、流体１２３として、圧縮空気に水を混入させた２流体を用いていたが、これに限るものではなく、流体１２３として、例えば上記２流体に、ホワイトアランダム（ＷＡ）やグリーンカーボランダム（ＧＣ）等の研磨用砥粒を混入させたものを用いてもよい。この構成によれば、混入した研磨用砥粒が端面２４Ｃに衝突することで、この端面２４Ｃに強固に付着した切削ブレード２１の構成材料（アルミニウム）であっても容易に除去することができる。この場合、流体１２３は、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに付着した付着物を除去しつつも、マウントフランジ２４を傷付けない程度の噴射速度に設定されている。また、この構成では、研磨用砥粒が端面２４Ｃに付着するおそれがあるため、清掃後に洗浄水を端面２４Ｃに噴射して、研磨用砥粒を洗い流すことが好ましい。
また、流体１２３として、圧縮空気（エアー）にドライアイス粒を混入したものを用いることもできる。ドライアイス粒は、ドライアイスを所定の大きさ（例えば数ｍｍ）に粉砕したペレットであり、圧縮空気とともに流体噴射ノズル１１１の噴射口１１２から噴射される。この構成によれば、混入したドライアイス粒が端面２４Ｃに衝突することで、この端面２４Ｃに強固に付着した切削ブレード２１の構成材料（アルミニウム）であっても容易に除去することができる。さらに、ドライアイス粒が端面２４Ｃに衝突した際に破砕して端面２４Ｃと付着物との間に進入することが期待される。この進入したドライアイス粒は、二酸化炭素ガスに昇華する際に体積が急激に膨張するため、端面２４Ｃに付着した切削ブレード２１の構成材料をより容易に除去することができる。
以上のように、本実施形態に係るスピンドル２２の先端に装着され、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を固定するマウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃する端面清掃方法は、加圧噴射した流体１２３、ブラシ、又は研磨シート１０１で端面２４Ｃに付着した切削ブレード２１の構成材料を除去するため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの清掃を容易に行うことができる。さらに、例えば、研磨砥石をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触させて端面２４Ｃを研磨するものと比べて、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに対する流体噴射ノズル１１１、ブラシ又は研磨シート１０１の精密な位置付けを不要とするため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの清掃の自動化をより容易に行うことができる。
また、流体１２３は、水と圧縮空気とが混合された２流体としたため、圧縮空気に含まれる水が端面２４Ｃに衝突することにより、端面２４Ｃに付着した切削ブレード２１の構成材料を容易に除去することができる。
また、流体１２３は、研磨用砥粒が混合された流体であるため、研磨用砥粒が端面２４Ｃに衝突することにより、端面２４Ｃに強固に付着した切削ブレード２１の構成材料であっても容易に除去することができる。
また、本実施形態に係る切削装置は、板状の被加工物２００を保持するチャックテーブル１０と、スピンドル２２の先端に固定されたマウントフランジ２４で切削ブレード２１を固定し該チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、該切削ブレード２１に接触して支持する該マウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃する端面清掃ユニット１１０と、を備え、該端面清掃ユニット１１０は、加圧した流体１２３を噴射する流体噴射ノズル１１１を備えるため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに付着した切削ブレード２１の構成材料に対して流体１２３を加圧噴射することにより、この切削ブレード２１の構成材料を除去することができ、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの清掃を容易に行うことができる。さらに、研磨砥石をマウントフランジ２４の端面２４Ｃに接触させて端面を研磨するものと比べて、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに対する流体噴射ノズル１１１の精密な位置付けを不要とするため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの清掃の自動化を容易に行うことができる。
また、本実施形態に係る切削装置１は、板状の被加工物２００を保持するチャックテーブル１０と、スピンドル２２の先端に固定されたマウントフランジ２４で切削ブレード２１を固定し該チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、該切削ブレード２１に接触して支持する該マウントフランジ２４の端面２４Ｃを清掃する端面清掃ユニット１００と、を備え、該端面清掃ユニット１００は、端面２４Ｃに接触するブラシ又は研磨シート１０１を備えるため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃに付着した切削ブレード２１の構成材料をブラシ又は研磨シート１０１によって除去することができる。さらに、ブラシ又は研磨シート１０１は、ある程度の弾力性を備えるため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状に合わせて変形する。このため、マウントフランジ２４の端面２４Ｃの形状を変えることなく、端面２４Ｃの付着物のみを研磨して除去することができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記した実施形態では、切削装置１は、Ｙ軸方向に対向して配置される２台の切削ユニット２０，２０と、これら切削ユニット２０，２０にそれぞれ対応する位置に２つの端面清掃ユニット１００，１００とを備えるため、各切削ユニット２０におけるマウントフランジ２４の端面２４Ｃを同時に清掃することができる効果を有する。ただし、この構成に限るものではなく、１台の切削ユニット２０を備える構成では、この切削ユニット２０に対応する位置に１つの端面清掃ユニット１００を設けた構成としてもよい。
１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
２４ マウントフランジ
２４Ａ ボス部
２４Ｂ フランジ部
２４Ｃ 端面
３０ 加工送りユニット
３１ ガイドレール
３３ 移動基台
４０ 割り出し送りユニット
５０ 切り込み送りユニット
６０ 制御ユニット
１００、１１０ 端面清掃ユニット
１０１ 研磨シート
１０１Ａ 接触面
１０２ シート固定部
１０３ 位置付けユニット
１０３Ａ ロッド
１１１ 流体噴射ノズル（噴射ノズル）
１１２ 噴射口
１２３ 流体
２００ 被加工物

Claims (10)

  1. スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
    加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃し、
    該流体は、液体とエアーとが混合された２流体である端面清掃方法。
  2. スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
    加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃し、
    該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である端面清掃方法。
  3. スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
    弾性力を有するブラシ、又は弾性力を有する研磨シートで該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃する端面清掃方法。
  4. 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
    該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備え、
    該流体は、液体とエアーとが混合された２流体である切削装置。
  5. 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
    該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備え、
    該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である切削装置。
  6. 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
    該端面清掃ユニットは、弾性力を有するブラシを備え、端面清掃の際に該ブラシを該端面に接触させる切削装置。
  7. 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
    該端面清掃ユニットは、弾性力を有する研磨シートを備え、端面清掃の際に該研磨シートを該端面に接触させる切削装置。
  8. 該端面清掃ユニットは、該研磨シートが固定されるシート固定部を備え、
    該シート固定部の該チャックテーブルの外周側の面に該研磨シートが固定される請求項７に記載の切削装置。
  9. 該研磨シートの該マウントフランジの該端面に接触する接触面の高さは、該マウントフランジの該端面の幅よりも大きい請求項７又は請求項８に記載の切削装置。
  10. 該端面清掃ユニットは、該チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送りユニットの該チャックテーブルを支持する移動基台上に固定されている請求項４から請求項９のうちいずれか一項に記載の切削装置。
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