JP7062411B2 - 端面清掃方法、及び、切削装置 - Google Patents
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Description
10 チャックテーブル
20 切削ユニット
21 切削ブレード
22 スピンドル
24 マウントフランジ
24A ボス部
24B フランジ部
24C 端面
30 加工送りユニット
31 ガイドレール
33 移動基台
40 割り出し送りユニット
50 切り込み送りユニット
60 制御ユニット
100、110 端面清掃ユニット
101 研磨シート
101A 接触面
102 シート固定部
103 位置付けユニット
103A ロッド
111 流体噴射ノズル(噴射ノズル)
112 噴射口
123 流体
200 被加工物
Claims (10)
- スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃し、
該流体は、液体とエアーとが混合された2流体である端面清掃方法。 - スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
加圧噴射した流体で該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃し、
該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である端面清掃方法。 - スピンドルの先端に装着され、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードに接触して支持するマウントフランジの端面を清掃する端面清掃方法であって、
弾性力を有するブラシ、又は弾性力を有する研磨シートで該端面に付着した該切削ブレードの構成材料を清掃する端面清掃方法。 - 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備え、
該流体は、液体とエアーとが混合された2流体である切削装置。 - 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
該端面清掃ユニットは、加圧した流体を噴射する噴射ノズルを備え、
該流体は、研磨用砥粒が混合された流体である切削装置。 - 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
該端面清掃ユニットは、弾性力を有するブラシを備え、端面清掃の際に該ブラシを該端面に接触させる切削装置。 - 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジで切削ブレードを固定し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに接触して支持する該マウントフランジの端面を清掃する端面清掃ユニットと、を備える切削装置であって、
該端面清掃ユニットは、弾性力を有する研磨シートを備え、端面清掃の際に該研磨シートを該端面に接触させる切削装置。 - 該端面清掃ユニットは、該研磨シートが固定されるシート固定部を備え、
該シート固定部の該チャックテーブルの外周側の面に該研磨シートが固定される請求項7に記載の切削装置。 - 該研磨シートの該マウントフランジの該端面に接触する接触面の高さは、該マウントフランジの該端面の幅よりも大きい請求項7又は請求項8に記載の切削装置。
- 該端面清掃ユニットは、該チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送りユニットの該チャックテーブルを支持する移動基台上に固定されている請求項4から請求項9のうちいずれか一項に記載の切削装置。
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