KR20210002831A - Connection member for ceramic heater - Google Patents

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KR20210002831A KR1020190078598A KR20190078598A KR20210002831A KR 20210002831 A KR20210002831 A KR 20210002831A KR 1020190078598 A KR1020190078598 A KR 1020190078598A KR 20190078598 A KR20190078598 A KR 20190078598A KR 20210002831 A KR20210002831 A KR 20210002831A
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Abstract

The present invention relates to a connection member for a ceramic heater, and more specifically, to a connection member which is included in a ceramic plate so as to electrically connect a power supply member to a molybdenum mesh, wherein the area of one surface of the connection member where the connection member comes into contact with the molybdenum mesh included in the ceramic plate is larger than the area of the other surface of the connection member where the connection member comes into contact with the power supply member. According to the present invention, provided is the connection member, in which when bonding abnormality is checked by pulling the power supply member during a maintenance process of the ceramic heater or when the maintenance work requires separation of the power supply member, the connection member is not separated along with the power supply member, and can be fixed inside the ceramic member while being in contact with the molybdenum mesh.

Description

세라믹 히터용 접속 부재{CONNECTION MEMBER FOR CERAMIC HEATER}Connection member for ceramic heater {CONNECTION MEMBER FOR CERAMIC HEATER}

본 발명은 세라믹 히터용 접속 부재에 관한 것으로서, 세라믹 히터 운용 중 세라믹 히터에 포함된 전력 공급 부재 분리 과정에서 접속 부재가 전력 공급 부재와 함께 분리되지 않고 세라믹 부재에 포함되어 고정되는 구조의 접속 부재에 관한 발명이다.The present invention relates to a connection member for a ceramic heater, wherein the connection member is not separated with the power supply member in the process of separating the power supply member included in the ceramic heater during operation of the ceramic heater. It is about the invention.

세라믹 히터(CERAMIC HEATER)는 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 플렉시블 기판 등 다양한 목적의 열처리 대상체를 소정의 가열 온도에서 열처리하기 위하여 사용된다. 일반적으로 세라믹 히터는 외부의 전극으로부터 전력을 공급받아 발열되는 세라믹 플레이트(CERAMIC PLATE)를 포함하고, 세라믹 플레이트는 세라믹 플레이트 내부에 매설되는 소정의 저항을 갖는 발열체 및 정전척(ELECTROSTATIC CHUCK)을 포함할 수 있다.Ceramic heaters are used to heat-treat objects for various purposes, such as semiconductor wafers, glass substrates, and flexible substrates, at a predetermined heating temperature. In general, a ceramic heater includes a ceramic plate that generates heat by receiving power from an external electrode, and the ceramic plate includes a heating element having a predetermined resistance and an electrostatic chuck embedded in the ceramic plate. I can.

도 1은 세라믹 히터 구조의 일 예를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an example of a ceramic heater structure.

도 1을 참조하면, 세라믹 히터(100)는 발열체를 포함하는 세라믹 플레이트(110)와 발열체에 전력을 공급하기 위해서 전력 공급 라인이 포함된 샤프트(SHAFT) (120)를 포함할 수 있다. 세라믹 플레이트(110)는 가열 대상 물체가 위치하는 가열 면을 포함할 수 있고, 발열체에서 공급되는 열을 이용하여 가열 대상 물체에 기 설계된 온도로 열을 전달할 수 있도록 설계될 수 있다. 샤프트(120)는 세라믹 플레이트(110)에 포함된 발열체에 전력을 공급할 수 있는 전력 라인을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the ceramic heater 100 may include a ceramic plate 110 including a heating element and a shaft 120 including a power supply line to supply power to the heating element. The ceramic plate 110 may include a heating surface on which the object to be heated is located, and may be designed to transfer heat to the object to be heated at a pre-designed temperature by using heat supplied from the heating element. The shaft 120 may include a power line capable of supplying power to the heating element included in the ceramic plate 110.

도 2는 종래 세라믹 히터에 포함된 종래 접속 부재(230) 구조의 일 실시 예를 도시한 도면이다.2 is a view showing an embodiment of a structure of a conventional connection member 230 included in a conventional ceramic heater.

도 2를 참조하면, 세라믹 플레이트(110)는 세라믹 부재(250)로 둘러싸인 몰리브덴 메쉬(240)를 포함할 수 있고, 몰리브덴 메쉬(240)에 전력을 공급하기 위한 전력 공급 부재(210)와 접속 부재(230)를 포함할 수 있으며, 상기 전력 공급 부재(210)의 통형 분위기를 보호하기 위한 니켈 통형 부재(220)를 포함할 수 있다. 상기 전력 공급 부재(210)는 니켈 로드(211) 및 코바르(212)(KOVAR)로 이루어질 수 있는데, 니켈 로드(211)는 전력을 공급하기 위한 부재로서 원기둥 형태일 수 있다. 그리고, 코바르(212)(KOVAR)는 니켈 로드(211)와 접속 부재(230) 사이에 고융점에서 접합 응력을 완화시키는 저열팽창 도체로서, 니켈 로드(211)와 동일한 형태인 원기둥 형태일 수 있다. 또한, 접속 부재(230)는 전력 공급 부재(210)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이에 전기적 연결을 위한 커넥터(CONNECTOR)로서, 몰리브덴 메쉬(240)와 열결합 형태로 결합되어 있을 수 있다.Referring to FIG. 2, the ceramic plate 110 may include a molybdenum mesh 240 surrounded by a ceramic member 250, and a power supply member 210 and a connection member for supplying power to the molybdenum mesh 240 It may include 230, and may include a nickel cylindrical member 220 for protecting the cylindrical atmosphere of the power supply member 210. The power supply member 210 may include a nickel rod 211 and a kovar 212 (KOVAR), and the nickel rod 211 may be a member for supplying power and may have a cylindrical shape. In addition, KOVAR is a low thermal expansion conductor that relieves bonding stress at a high melting point between the nickel rod 211 and the connection member 230, and may have a cylindrical shape that is the same shape as the nickel rod 211. have. In addition, the connection member 230 is a connector for electrical connection between the power supply member 210 and the molybdenum mesh 240, and may be coupled to the molybdenum mesh 240 in a thermally coupled form.

도 3은 종래 세라믹 히터에서 전력 공급 부재(210) 분리 과정에서 세라믹 히터에 포함된 종래 접속 부재(230)가 함께 분리되는 일 실시 예를 도시한 도면이다.3 is a view showing an embodiment in which the conventional connecting member 230 included in the ceramic heater is separated together in a process of separating the power supply member 210 from the conventional ceramic heater.

도 3을 참조하면, 세라믹 히터는 고온의 대기 분위기에 장시간 노출되면 전력 공급 부재(210)와 접속 부재(230) 사이의 접합 계면에 문제가 발생되어 전기적 접합 이상이 유발될 수 있다. 이러한 경우, 전력 공급 부재(210)를 잡아당기는 방법으로 접합 이상을 실험할 수도 있고, 접합 이상이 유력한 경우, 전력 공급 부재(210)를 세라믹 플레이트(110)로부터 분리하여 전력 공급 부재(210)의 수리를 할 수 있는데, 이러한 과정에서 종래 접속 부재(230)는 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되어 나오는 현상이 발생하였다. 이렇게 되면, 접속 부재(230)와 열결합된 몰리브덴 메쉬(240)의 일부가 접속 부재(230)에 붙어서 함께 떨어져 나오는 경우가 발생할 수 있고, 접속 부재(230)를 다시 강제로 삽입시켜 브레이징을 진행하더라도 세라믹 히터의 기능의 신뢰성이 저하되고, 세라믹 히터 수명이 단축되는 문제점이 있다.Referring to FIG. 3, when the ceramic heater is exposed to a high-temperature atmospheric atmosphere for a long time, a problem may occur at the bonding interface between the power supply member 210 and the connection member 230, resulting in an electrical bonding failure. In this case, the bonding abnormality may be tested by pulling the power supply member 210, and if the bonding abnormality is strong, the power supply member 210 is separated from the ceramic plate 110 to prevent the power supply member 210. Repair can be performed, and in this process, the conventional connection member 230 is separated from the power supply member 210 and comes out. In this case, a part of the molybdenum mesh 240 thermally coupled with the connection member 230 may be attached to the connection member 230 and come off together, and the connection member 230 is forcibly inserted again to proceed with brazing. Even so, there is a problem that the reliability of the function of the ceramic heater is deteriorated and the life of the ceramic heater is shortened.

본 발명의 목적은 세라믹 히터 유지 보수 과정에서 전력 공급 부재를 잡아당기는 방법으로 접합 이상 여부를 시험할 경우, 또는, 전력 공급 부재를 분리하여 보수 작업이 필요한 경우, 접속 부재가 전력 공급 부재와 함께 분리되어 나오지 않고, 몰리브덴 메쉬와 접촉한 상태로 세라믹 부재 내부에 고정되어 있을 수 있는 구조의 접속 부재를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to separate the connection member together with the power supply member when testing for a joint failure by pulling the power supply member during the ceramic heater maintenance process, or when the power supply member is separated and maintenance work is required. It is intended to provide a connection member having a structure that does not come out and can be fixed inside the ceramic member in a state in contact with the molybdenum mesh.

본 발명의 또 다른 목적은 세라믹 히터의 기능적 안정성이 확보되고, 안정적인 유지 보수로 인하여 세라믹 히터의 수명이 안정적으로 확보되는 접속 부재를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a connecting member in which functional stability of the ceramic heater is secured and the life of the ceramic heater is stably secured due to stable maintenance.

본 발명의 또 다른 목적은 접속 부재와 몰리브덴 메쉬 사이의 접촉 면적 증가로 접촉 저항이 개선된 접속 부재를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a connecting member having improved contact resistance by increasing a contact area between the connecting member and a molybdenum mesh.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 세라믹 플레이트에 포함되어 전력 공급 부재와 몰리브덴 메쉬 사이에 전기적 연결을 위한 접속 부재로서, 세라믹 플레이트에 포함된 몰리브덴 메쉬와 접촉되는 접속 부재의 일면의 넓이가 전력 공급 부재와 접촉되는 접속 부재의 타면의 넓이보다 넓은 것을 특징으로 하는 접속 부재를 제공한다. According to an aspect of the present invention in order to achieve the above or other objects, as a connection member for electrical connection between the power supply member and the molybdenum mesh included in the ceramic plate, the connection member in contact with the molybdenum mesh included in the ceramic plate It provides a connecting member, characterized in that the area of one side is wider than the area of the other side of the connecting member in contact with the power supply member.

또한, 상기 접속 부재의 타면의 지름은 2 mm 내지 5 mm 일 수 있다.In addition, the diameter of the other surface of the connection member may be 2 mm to 5 mm.

또한, 상기 접속 부재의 일면의 지름은 타면의 지름의 120% 내지 150% 일 수 있다.In addition, the diameter of one surface of the connection member may be 120% to 150% of the diameter of the other surface.

또한, 상기 접속 부재는 원뿔대 형상일 수 있다.In addition, the connection member may have a truncated cone shape.

또한, 접속 부재는 다각뿔대 형상일 수 있다.In addition, the connecting member may have a polygonal frustum shape.

또한, 상기 접속 부재의 종단면은 경사면이 바깥쪽으로 볼록한 모양의 사다리꼴 형태일 수 있다.In addition, the longitudinal section of the connection member may have a trapezoidal shape in which an inclined surface is convex outward.

또한, 상기 접속 부재의 종단면은 경사면이 안쪽으로 오목한 모양의 사다리꼴 형태일 수 있다.In addition, the longitudinal section of the connection member may have a trapezoidal shape having an inclined surface concave inward.

또한, 상기 접속 부재는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 형태일 수 있다. In addition, the connection member may have a form in which a second pillar having a narrow cross section is stacked on a first pillar having a wide cross section.

또한, 상기 접속 부재는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 후, 상기 제2 기둥 위에 횡단면의 넓이가 상기 제1 기둥보다 좁고, 상기 제2 기둥보다 넓은 제3 기둥이 적층된 형태일 수 있다. In addition, in the connection member, after a second pillar having a narrow cross section is stacked on a first pillar having a wide cross section, the width of the cross section is narrower than the first pillar and wider than the second pillar on the second pillar. The third pillar may be stacked.

또한, 상기 접속 부재의 모서리는 라운딩 처리된 것일 수 있다. In addition, the edge of the connection member may be rounded.

그리고, 상기 접속 부재는 몰리브데넘(Mo)일 수 있다. In addition, the connection member may be molybdenum (Mo).

본 발명에 따른 접속 부재에 의하면, 세라믹 히터 유지 보수 과정에서 전력 공급 부재를 잡아당기는 방법으로 접합 이상 여부를 시험할 경우, 또는, 전력 공급 부재를 분리하여 보수 작업이 필요한 경우, 접속 부재가 전력 공급 부재와 함께 분리되어 나오지 않고, 몰리브덴 메쉬와 접촉한 상태로 세라믹 부재 내부에 고정되어 있을 수 있는 구조의 접속 부재를 제공하는 효과가 있다.According to the connection member according to the present invention, when a connection failure is tested by pulling the power supply member in the ceramic heater maintenance process, or when maintenance work is required by separating the power supply member, the connection member supplies power. There is an effect of providing a connection member having a structure capable of being fixed inside the ceramic member in contact with the molybdenum mesh without being separated with the member.

따라서, 세라믹 히터의 기능적 안정성이 확보되는 효과와 안정적인 유지 보수로 인하여 세라믹 히터의 수명이 안정적으로 확보되는 효과가 있다.Accordingly, there is an effect of securing the functional stability of the ceramic heater and stably securing the life of the ceramic heater due to stable maintenance.

그리고, 본 발명에 따른 접속 부재에 의하면, 접속 부재와 몰리브덴 메쉬 사이의 적촉 면적이 증가되어 접속 부재와 몰리브덴 메쉬 사이의 접촉 저항이 개선된 접속 부재를 공급할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the connection member according to the present invention, the contact area between the connection member and the molybdenum mesh is increased, so that a connection member having improved contact resistance between the connection member and the molybdenum mesh can be supplied.

도 1은 세라믹 히터 구조의 일 예를 도시한 도면이다.
도 2는 종래 세라믹 히터에 포함된 종래 접속 부재 구조의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 3은 종래 세라믹 히터에서 전력 공급 부재 분리 과정에서 세라믹 히터에 포함된 종래 접속 부재가 함께 분리되는 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 세라믹 히터에 포함된 접속 부재 구조의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재의 구조를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 히터에서 전력 공급 부재 분리 과정에서 세라믹 히터에 포함된 접속 부재가 분리되지 않고 고정되어 있는 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 7 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재가 전력 공급 부재와 함께 분리되지 않는 최적의 조건을 실험한 결과 데이터를 도시한 도면이다.
도 8 내지 도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 접속 부재의 구조를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an example of a ceramic heater structure.
2 is a view showing an embodiment of a conventional connection member structure included in a conventional ceramic heater.
3 is a diagram illustrating an embodiment in which a conventional connecting member included in a ceramic heater is separated together in a process of separating a power supply member in a conventional ceramic heater.
4 is a view showing an embodiment of a connection member structure included in the ceramic heater according to the present invention.
5 is a view showing the structure of a connection member according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing an embodiment in which a connection member included in the ceramic heater is not separated but fixed in a process of separating a power supply member in the ceramic heater according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing data from an experiment result of an optimum condition in which a connection member is not separated from a power supply member according to an embodiment of the present invention.
8 to 11 are views showing a structure of a connection member according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 대해서 자세히 설명한다. 이때, 각각의 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타낸다. 또한, 이미 공지된 기능 및/또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 이하에 개시된 내용은, 다양한 실시 예에 따른 동작을 이해하는데 필요한 부분을 중점적으로 설명하며, 그 설명의 요지를 흐릴 수 있는 요소들에 대한 설명은 생략한다. 또한 도면의 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시될 수 있다. 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니며, 따라서 각각의 도면에 그려진 구성요소들의 상대적인 크기나 간격에 의해 여기에 기재되는 내용들이 제한되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this case, the same components in each drawing are indicated by the same reference numerals as possible. In addition, detailed descriptions of functions and/or configurations already known are omitted. In the following, a part necessary for understanding an operation according to various embodiments will be mainly described, and descriptions of elements that may obscure the subject matter of the description will be omitted. In addition, some elements of the drawings may be exaggerated, omitted, or schematically illustrated. The size of each component does not fully reflect the actual size, and therefore, the contents described herein are not limited by the relative size or spacing of the components drawn in each drawing.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers, such as first and second, may be used to describe various elements, but the elements are not limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it is understood that it may be directly connected or connected to the other component, but other components may exist in the middle. Should be. On the other hand, when a component is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in the middle.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance.

도 4는 본 발명에 따른 세라믹 히터에 포함된 접속 부재(400) 구조의 일 실시 예를 도시한 도면이다.4 is a view showing an embodiment of the structure of the connection member 400 included in the ceramic heater according to the present invention.

도 4를 참조하면, 세라믹 플레이트(110)는 세라믹 부재(250)로 둘러싸인 몰리브덴 메쉬(240)를 포함할 수 있고, 몰리브덴 메쉬(240)에 전력을 공급하기 위한 전력 공급 부재(210)와 접속 부재(400)를 포함할 수 있으며, 상기 전력 공급 부재(210)의 통형 분위기를 보호하기 위한 니켈 통형 부재(220)를 포함할 수 있다. 상기 전력 공급 부재(210)는 니켈 로드(211) 및 코바르(212)(KOVAR)를 포함할 수 있는데, 니켈 로드(211)는 전력을 공급하기 위한 부재로서 원기둥 형태일 수 있다. 그리고, 코바르(212)(KOVAR)는 니켈 로드(211)와 접속 부재(400) 사이에 고융점에서 접합 응력을 완화시키는 저열팽창 도체로서, 니켈 로드(211)와 동일한 형태인 원기둥 형태일 수 있고, 철(Fe), 코발트(Co) 및 니켈(Ni) 합금 소재일 수 있다. 또한, 접속 부재(400)는 전력 공급 부재(210)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이에 전기적 연결을 위한 커넥터(CONNECTOR)로서, 몰리브덴 메쉬(240)와 열결합 형태로 결합되어 있을 수 있다.Referring to FIG. 4, the ceramic plate 110 may include a molybdenum mesh 240 surrounded by a ceramic member 250, and a power supply member 210 and a connection member for supplying power to the molybdenum mesh 240 It may include 400, and may include a nickel cylindrical member 220 for protecting the cylindrical atmosphere of the power supply member 210. The power supply member 210 may include a nickel rod 211 and a kovar 212 (KOVAR), and the nickel rod 211 may be a member for supplying power and may have a cylindrical shape. In addition, KOVAR is a low thermal expansion conductor that relieves bonding stress at a high melting point between the nickel rod 211 and the connection member 400, and may have a cylindrical shape that is the same shape as the nickel rod 211. And, it may be an alloy material of iron (Fe), cobalt (Co), and nickel (Ni). In addition, the connection member 400 is a connector for electrical connection between the power supply member 210 and the molybdenum mesh 240 and may be coupled to the molybdenum mesh 240 in a thermally coupled form.

그리고, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 타면의 지름은 2 mm 내지 5 mm 일 수 있다. 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 2 mm 보다 작은 경우에는 안정적으로 전력을 공급할 수 없는 문제가 나타날 수 있고, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 5 mm 보다 큰 경우에는 접속 부재(400)에 크랙이 발생할 수 있는 문제가 나타날 수 있다. 따라서, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)은 2 mm 내지 5 mm 인 것이 안정적일 수 있다.And, the diameter of the other surface of the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may be 2 mm to 5 mm. If the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is less than 2 mm, a problem may occur that power cannot be stably supplied, and the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is greater than 5 mm There may be a problem in which a crack may occur in the connection member 400. Therefore, it may be stable that the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is 2 mm to 5 mm.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 뿔대 형상일 수 있다. 도 4에서는 본 발명에 따른 접속 부재(400)의 일 실시 예로, 접속 부재(400)를 원뿔대 형상으로 표현하였으나, 이에 한정되지 않고, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 다각뿔대 형상일 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)가 다각뿔대 형상일 경우에 접속 부재(400)의 다면의 넓이의 범위는 상기 원뿔대인 경우와 대응되도록 지름이 2 mm 내지 5 mm 인 원의 넓이에 대응되는 범위일 수 있다.In addition, the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may have a horn shape. In FIG. 4, as an example of the connection member 400 according to the present invention, the connection member 400 is expressed in a truncated cone shape, but the present invention is not limited thereto, and the connection member 400 according to an embodiment of the present invention is It can be a shape. When the connection member 400 according to an embodiment of the present invention has a polygonal frustum shape, the range of the area of the faces of the connection member 400 is the width of a circle having a diameter of 2 mm to 5 mm to correspond to the case of the truncated cone. It may be a range corresponding to.

또한, 상기 접속 부재(400)의 모든 모서리는 크랙을 방지하기 위하여 라운딩 처리될 수 있다.In addition, all corners of the connection member 400 may be rounded to prevent cracking.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 소재는 몰리브데넘(Mo)일 수 있다.In addition, the material of the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may be molybdenum (Mo).

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 구조를 도시한 도면이다.5 is a view showing the structure of the connection member 400 according to an embodiment of the present invention.

도 5(A)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)를 측면에서 바라본 모습을 도시한 도면이고, 도 5(B)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)를 위에서 바라본 모습을 도시한 도면이다. 5(A) is a view showing a side view of a connection member 400 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5(B) is a view showing a connection member 400 according to an embodiment of the present invention. It is a drawing showing the view from above.

도 5(A)를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 원뿔대 형상일 수 있고, 이를 측면에서 바라본 경우, 또는, 종단면의 모양은 사다리꼴 형태일 수 있다. 따라서, 접속 부재(400)는 세라믹 플레이트(110)에 포함된 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 넓이는 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 넓이보다 넓을 수 있다. 그러므로, 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 지름(Y)은 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)보다 클 수 있다. 또한, 상기 접속 부재(400)의 모서리는 크랙을 방지하기 위하여 라운딩 처리될 수 있다. 따라서, 도 5(A)에서 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 모서리가 라운딩 처리된 형태로 표현될 수 있고, 그에 따라 접속 부재(400)의 일면의 지름(Y) 및 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)의 측정은 어느정도 통상의 기술자가 수용할 수 있는 정도의 오차를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5A, the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may have a truncated cone shape, and when viewed from the side, or, the shape of the longitudinal section may be a trapezoidal shape. Accordingly, the connection member 400 has an area of one surface of the connection member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 included in the ceramic plate 110 and the other surface of the connection member 400 in contact with the power supply member 210 May be wider than the width of Therefore, the diameter Y of one surface of the connecting member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 may be larger than the diameter X of the other surface of the connecting member 400 in contact with the power supply member 210. In addition, the edge of the connection member 400 may be rounded to prevent cracking. Therefore, in FIG. 5(A), the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may be expressed in a form in which the corners are rounded, and accordingly, the diameter (Y) and connection of one surface of the connection member 400 Measurement of the diameter (X) of the other surface of the member 400 may include an error of a degree acceptable to a person skilled in the art.

도 5(B)를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 원뿔대 형상일 수 있고, 이를 위에서 바라본 경우, 또는, 횡단면의 모양은 원형일 수 있다. 위에서 바라본 경우에도 접속 부재(400)는 세라믹 플레이트(110)에 포함된 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 넓이는 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 넓이보다 넓을 수 있다. 그러므로, 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 지름(Y)은 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)보다 클 수 있다. Referring to FIG. 5B, the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may have a truncated cone shape, and when viewed from above, or the shape of a cross section may be circular. Even when viewed from above, the connection member 400 has an area of one surface of the connection member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 included in the ceramic plate 110 is the connection member 400 in contact with the power supply member 210 It can be wider than the width of the other side of the. Therefore, the diameter Y of one surface of the connecting member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 may be larger than the diameter X of the other surface of the connecting member 400 in contact with the power supply member 210.

따라서, 본 발명에 따른 접속 부재(400)에 의하면, 종래의 접속 부재(230)에 비하여, 접속 부재(400)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이의 적촉 면적이 증가되어 접속 부재(400)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이의 접촉 저항이 개선되는 효과가 있다.Therefore, according to the connection member 400 according to the present invention, compared to the conventional connection member 230, the contact area between the connection member 400 and the molybdenum mesh 240 is increased, so that the connection member 400 and the molybdenum mesh There is an effect of improving the contact resistance between (240).

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 히터에서 전력 공급 부재(210) 분리 과정에서 세라믹 히터에 포함된 접속 부재(400)가 분리되지 않고 고정되어 있는 일 실시 예를 도시한 도면이다.6 is a view showing an embodiment in which the connection member 400 included in the ceramic heater is not separated but fixed in a process of separating the power supply member 210 in the ceramic heater according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 세라믹 히터는 고온의 대기 분위기에 장시간 노출되면 전력 공급 부재(210)와 접속 부재(400) 사이의 접합 계면에 문제가 발생되어 전기적 접합 이상이 유발될 수 있다. 이러한 경우, 전력 공급 부재(210)를 일정한 힘으로 잡아당기는 방법으로 접합 이상 여부를 확인할 수 있고, 접합 이상인 경우, 전력 공급 부재(210)를 세라믹 플레이트(110)로부터 분리하여 전력 공급 부재(210)의 수리보수를 진행할 수 있는데, 이러한 과정에서 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는, 종래 접속 부재(230)와는 달리, 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되어 나오지 않고, 세라믹 부재(250)에 둘러싸여 몰리브덴 메쉬(240)와 안정적인 전기적 접촉을 유지한 체로 세라믹 플레이트(110) 내부에 고정되어 있을 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)는 세라믹 플레이트(110)에 포함된 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 넓이는 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 넓이보다 넓을 수 있으므로, 전력 공급 부재(210)에 의하여 접속 부재(400)에 장력이 가해지더라도 접속 부재(400)를 둘러싸고 있는 세라믹 부재(250)에 의하여 안전하게 몰리브덴 메쉬(240)에 고정될 수 있기 때문에, 전력 공급 부재(210)에 접촉된 체로 몰리브덴 메쉬(240)로 부터 분리되는 현상이 방지될 수 있다.Referring to FIG. 6, when the ceramic heater is exposed to a high-temperature atmospheric atmosphere for a long time, a problem may occur at the bonding interface between the power supply member 210 and the connection member 400, resulting in an electrical bonding failure. In this case, it is possible to check whether there is an abnormality in bonding by pulling the power supply member 210 with a constant force, and in the case of an abnormality in bonding, the power supply member 210 is separated from the ceramic plate 110 and the power supply member 210 In this process, the connection member 400 according to an embodiment of the present invention, unlike the conventional connection member 230, does not come out separately with the power supply member 210, and in this process, the ceramic member The sieve that is surrounded by 250 and maintains stable electrical contact with the molybdenum mesh 240 may be fixed inside the ceramic plate 110. In more detail, the connection member 400 according to an embodiment of the present invention has a power supply member having an area of one surface of the connection member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 included in the ceramic plate 110 ( Since it may be wider than the width of the other surface of the connection member 400 in contact with the 210, the ceramic member 250 surrounding the connection member 400 even if tension is applied to the connection member 400 by the power supply member 210 Since it can be securely fixed to the molybdenum mesh 240 by the power supply member 210, separation from the molybdenum mesh 240 with a sieve in contact with the power supply member 210 can be prevented.

따라서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)에 의하면, 세라믹 히터의 기능적 안정성이 확보되는 효과와 안정적인 유지 보수로 인하여 세라믹 히터의 수명이 안정적으로 확보되는 효과가 있다.Accordingly, according to the connection member 400 according to an embodiment of the present invention, the functional stability of the ceramic heater is secured and the life of the ceramic heater is stably secured due to stable maintenance.

도 7 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되지 않는 최적의 조건을 실험한 결과 데이터를 도시한 도면이다.7 is a diagram showing data from an experiment of an optimal condition in which the connection member 400 is not separated from the power supply member 210 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 타면의 지름은 2 mm 내지 5 mm 일 수 있다. 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 2 mm 보다 작은 경우에는 안정적으로 전력을 공급할 수 없는 문제가 나타날 수 있고, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 5 mm 보다 큰 경우에는 접속 부재(400)에 크랙이 발생할 수 있는 문제가 나타날 수 있다. 따라서, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)은 2 mm 내지 5 mm 인 것이 안정적일 수 있다.The diameter of the other surface of the connection member 400 according to an embodiment of the present invention may be 2 mm to 5 mm. If the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is less than 2 mm, a problem may occur that power cannot be stably supplied, and the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is greater than 5 mm There may be a problem in which a crack may occur in the connection member 400. Therefore, it may be stable that the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is 2 mm to 5 mm.

도 7을 참조하면, 도 7에 사용된 접속 부재(400)는 원뿔대 형태이고, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 2 mm 내지 5 mm 인 경우를 가정한 실험 데이터이다.Referring to FIG. 7, the connection member 400 used in FIG. 7 is in the shape of a truncated cone, and is experimental data on the assumption that the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is 2 mm to 5 mm.

실시예 1에서, 접속 부재(400)의 일 면의 지름을 타면의 지름(X)과 동일하게 100%로 설정하고, 접속 부재(400)에 5kgf·cm, 10kgf·cm 및 15kgf·cm의 인장력을 가한 경우, 모든 경우에 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 몰리브덴 전극으로부터 분리되어 나왔다.In Example 1, the diameter of one side of the connecting member 400 is set to 100% equal to the diameter (X) of the other side, and the tensile force of 5kgf·cm, 10kgf·cm and 15kgf·cm to the connecting member 400 When is added, in all cases, the connection member 400 is separated from the molybdenum electrode together with the power supply member 210.

실시예 2에서, 접속 부재(400)의 일 면의 지름을 타면의 지름(X)의 110% 가 되도록 크게 설정하고, 접속 부재(400)에 5kgf·cm, 10kgf·cm 및 15kgf·cm의 인장력을 가한 경우, 상기와 마찬가지로 모든 경우에 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 몰리브덴 전극으로부터 분리되어 나왔다.In Example 2, the diameter of one side of the connecting member 400 is set to be 110% of the diameter (X) of the other side, and the tensile force of 5kgf·cm, 10kgf·cm and 15kgf·cm to the connecting member 400 When is added, in all cases as above, the connection member 400 is separated from the molybdenum electrode together with the power supply member 210.

실시예 3에서, 접속 부재(400)의 일 면의 지름을 타면의 지름(X)의 120% 가 되도록 크게 설정하고, 접속 부재(400)에 5kgf·cm, 10kgf·cm 및 15kgf·cm의 인장력을 가한 경우, 모든 경우에 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되지 않고, 몰리브덴 전극과 접촉한 형태로 고정되어 있었다.In Example 3, the diameter of one side of the connecting member 400 is set to be 120% of the diameter (X) of the other side, and the tensile force of 5kgf·cm, 10kgf·cm and 15kgf·cm to the connecting member 400 When is added, in all cases, the connection member 400 was not separated from the power supply member 210 and was fixed in contact with the molybdenum electrode.

실시예 4 내지 6에서, 접속 부재(400)의 일 면의 지름을 타면의 지름(X)의 130% 내지 150% 가 되도록 크게 설정하고, 접속 부재(400)에 5kgf·cm, 10kgf·cm 및 15kgf·cm의 인장력을 가한 경우, 실시예 3과 마찬가지로 모든 경우에 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되지 않고, 몰리브덴 전극과 접촉한 형태로 고정되어 있었다.In Examples 4 to 6, the diameter of one side of the connecting member 400 is set to be 130% to 150% of the diameter (X) of the other side, and 5kgf·cm, 10kgf·cm and When a tensile force of 15 kgf·cm was applied, in all cases, as in Example 3, the connection member 400 was not separated together with the power supply member 210, but was fixed in contact with the molybdenum electrode.

다만, 접속 부재(400)의 타면의 지름(X)이 2 mm 내지 5 mm 인 범위 내에서, 접속 부재(400)의 일 면의 지름을 타면의 지름(X)의 150% 가 초과되도록 크게 설정하는 경우에는, 전체적으로 접속 부재(400)의 크기가 커지게 되어 크랙이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, within the range where the diameter (X) of the other surface of the connection member 400 is 2 mm to 5 mm, the diameter of one surface of the connection member 400 is set to exceed 150% of the diameter (X) of the other surface. In this case, there is a problem that cracks may occur due to an increase in the size of the connecting member 400 as a whole.

따라서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 일면의 지름(Y)은 타면의 지름(X)의 120% 내지 150% 인 것이 바람직할 것이다.Therefore, it will be preferable that the diameter (Y) of one side of the connection member 400 according to an embodiment of the present invention is 120% to 150% of the diameter (X) of the other side.

도 8 내지 도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 접속 부재(400)의 구조를 도시한 도면이다.8 to 11 are views showing a structure of a connection member 400 according to another embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 상기 접속 부재(400)의 종단면은 경사면이 바깥쪽으로 볼록한 모양의 사다리꼴 형태일 수 있다. 보다 자세하게, 상기 접속 부재(400)는 뿔대의 측면인 경사면이 바깥쪽으로 볼록한 형태의 뿔대 형상일 수 있다. 상기 뿔대는 원뿔대 또는 다각뿔대일 수 있다.Referring to FIG. 8, the longitudinal section of the connection member 400 may have a trapezoidal shape in which an inclined surface is convex outward. In more detail, the connection member 400 may have a shape of a horn shape in which an inclined surface, which is a side surface of the horn bar, is convex outward. The horn stem may be a conical truncated cone or a polygonal truncated cone.

도 9를 참조하면, 상기 접속 부재(400)의 종단면은 경사면이 안쪽으로 오목한 모양의 사다리꼴 형태일 수 있다. 보다 자세하게, 상기 접속 부재(400)는 뿔대의 측면인 경사면이 안쪽으로 오목한 형태의 뿔대 형상일 수 있다. 상기 뿔대는 원뿔대 또는 다각뿔대일 수 있다.Referring to FIG. 9, the longitudinal section of the connection member 400 may have a trapezoidal shape in which an inclined surface is concave inward. In more detail, the connection member 400 may have a shape of a hornbeam having an inclined surface that is a side surface of the hornbeam concave inward. The horn stem may be a conical truncated cone or a polygonal truncated cone.

도 10을 참조하면, 상기 접속 부재(400)는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 형태일 수 있다. 보다 자세하게, 상기 접속 부재(400)는 밑면의 넓이가 다른 2개의 기둥이 적층된 형태로서, 상기 기둥은 원기둥일 수 있고, 다각기둥일 수도 있다. 다만, 다각기둥인 경우에는 2개의 다각기둥의 각 모서리가 상호 대응되도록 적층된 형태일 수 있다.Referring to FIG. 10, the connection member 400 may have a form in which a second pillar having a narrow cross section is stacked on a first pillar having a wide cross section. In more detail, the connection member 400 is a form in which two pillars having different bottoms are stacked, and the pillar may be a cylinder or a polygonal pillar. However, in the case of a polygonal column, the two polygonal pillars may be stacked to correspond to each other.

도 11을 참조하면, 상기 접속 부재(400)는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 후, 상기 제2 기둥 위에 횡단면의 넓이가 상기 제1 기둥보다 좁고, 상기 제2 기둥보다 넓은 제3 기둥이 적층된 형태일 수 있다. 보다 자세하게, 상기 접속 부재(400)는 밑면의 넓이가 다른 3개의 기둥이 적층된 형태로서, 상기 기둥은 원기둥일 수 있고, 다각기둥일 수도 있다. 다만, 다각기둥인 경우에는 3개의 다각기둥의 각 모서리가 상호 대응되도록 적층된 형태일 수 있다.Referring to FIG. 11, after the second pillar having a narrow cross-section is stacked on the first pillar having a wide cross-section, the connecting member 400 has a narrower cross-section than the first pillar on the second pillar. , The third pillar wider than the second pillar may be stacked. In more detail, the connection member 400 is a form in which three pillars having different widths of the bottom surface are stacked, and the pillar may be a cylinder or a polygonal pillar. However, in the case of a polygonal column, the three polygonal pillars may be stacked to correspond to each other.

본 발명에 따른 접속 부재(400)에 의하면, 세라믹 히터 유지 보수 과정에서 전력 공급 부재(210)를 잡아당기는 방법으로 접합 이상 여부를 시험할 경우, 또는, 전력 공급 부재(210)를 분리하여 보수 작업이 필요한 경우, 접속 부재(400)가 전력 공급 부재(210)와 함께 분리되어 나오지 않고, 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉한 상태로 세라믹 부재(250) 내부에 고정되어 있을 수 있는 구조의 접속 부재(400)를 제공하는 효과가 있다.According to the connection member 400 according to the present invention, when testing for bonding abnormality by pulling the power supply member 210 in the ceramic heater maintenance process, or by separating the power supply member 210, maintenance work When this is necessary, the connection member 400 is not separated from the power supply member 210 and is in contact with the molybdenum mesh 240 and can be fixed inside the ceramic member 250 ( 400) has the effect of providing.

따라서, 세라믹 히터의 기능적 안정성이 확보되는 효과와 안정적인 유지 보수로 인하여 세라믹 히터의 수명이 안정적으로 확보되는 효과가 있다.Accordingly, there is an effect of securing the functional stability of the ceramic heater and stably securing the life of the ceramic heater due to stable maintenance.

그리고, 본 발명에 따른 접속 부재(400)에 의하면, 접속 부재(400)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이의 적촉 면적이 증가되어 접속 부재(400)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이의 접촉 저항이 개선된 접속 부재(400)를 공급할 수 있는 효과가 있다.And, according to the connection member 400 according to the present invention, the contact area between the connection member 400 and the molybdenum mesh 240 is increased, so that the contact resistance between the connection member 400 and the molybdenum mesh 240 is improved. There is an effect that the connection member 400 can be supplied.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시 예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.As described above, in the present invention, specific matters such as specific components, etc., and limited embodiments and drawings have been described, but these are provided only to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , Anyone with ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the spirit of the present invention is limited to the described embodiments and should not be determined, and not only the claims to be described later, but all technical ideas that are equivalent or equivalent to the claims are included in the scope of the present invention. Should be interpreted as.

210: 전력 공급 부재
211: 니켈 로드
212: 코바르
220: 니켈 통형 부재
230: 종래 접속 부재
240: 몰리브덴 메쉬
250: 세라믹 부재
400: 접속 부재210: power supply member
211: nickel rod
212: Kovar
220: nickel tubular member
230: conventional connection member
240: molybdenum mesh
250: ceramic member
400: connection member

Claims (11)

세라믹 플레이트(110)에 포함되어 전력 공급 부재(210)와 몰리브덴 메쉬(240) 사이에 전기적 연결을 위한 접속 부재(400)으로서,
세라믹 플레이트(110)에 포함된 몰리브덴 메쉬(240)와 접촉되는 접속 부재(400)의 일면의 넓이가 전력 공급 부재(210)와 접촉되는 접속 부재(400)의 타면의 넓이보다 넓은 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
As a connection member 400 included in the ceramic plate 110 for electrical connection between the power supply member 210 and the molybdenum mesh 240,
Characterized in that the area of one surface of the connecting member 400 in contact with the molybdenum mesh 240 included in the ceramic plate 110 is larger than the area of the other surface of the connecting member 400 in contact with the power supply member 210 Connection member 400.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)의 타면의 지름은 2 mm 내지 5 mm 인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
Connection member 400, characterized in that the diameter of the other surface of the connection member 400 is 2 mm to 5 mm.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)의 일면의 지름(Y)은 타면의 지름(X)의 120% 내지 150% 인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
Connection member 400, characterized in that the diameter (Y) of one surface of the connection member 400 is 120% to 150% of the diameter (X) of the other surface.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)는 원뿔대 형상인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
The connection member 400 is a connection member 400, characterized in that the shape of a truncated cone.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)는 다각뿔대 형상인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
The connection member 400 is a connection member 400, characterized in that the shape of a polygonal frustum.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)의 종단면은 경사면이 바깥쪽으로 볼록한 모양의 사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
The connection member 400, characterized in that the longitudinal section of the connection member 400 has a trapezoidal shape in which an inclined surface is convex outward.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)의 종단면은 경사면이 안쪽으로 오목한 모양의 사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
Connection member 400, characterized in that the longitudinal section of the connection member 400 has a trapezoidal shape having an inclined surface concave inward.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 형태인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
The connection member 400 is a connection member 400, characterized in that the second pillar having a narrow cross-section is stacked on a first pillar having a wide cross-section.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)는 횡단면의 넓이가 넓은 제1 기둥 위에 횡단면의 넓이가 좁은 제2 기둥이 적층된 후, 상기 제2 기둥 위에 횡단면의 넓이가 상기 제1 기둥보다 좁고, 상기 제2 기둥보다 넓은 제3 기둥이 적층된 형태인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
In the connection member 400, after a second pillar having a narrow cross section is stacked on a first pillar having a wide cross section, the width of the cross section is narrower than the first pillar, and is greater than the second pillar. Connection member 400, characterized in that the form in which the third wide pillars are stacked.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)의 모서리는 라운딩 처리된 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).
The method of claim 1,
The connection member 400, characterized in that the edge of the connection member 400 is rounded.
 제1항에 있어서,
상기 접속 부재(400)는 몰리브데넘(Mo)인 것을 특징으로 하는 접속 부재(400).The method of claim 1,
The connection member 400 is a connection member 400, characterized in that the molybdenum (Mo).
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