KR200492187Y1 - connecting bolt - Google Patents
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Abstract
본 고안은 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 세라믹히터의 세라믹기판 사이에 설치되는 열선케이블을 고정하기 위하여 연결볼트의 상부나사산 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈이 형성되어 있어 열선케이블을 단단하게 고정된 상태로 연결할 수 있는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것이다.The present invention relates to a connection bolt for coupling a heating cable of a ceramic heater, and more specifically, a heating cable insertion groove in the center of the upper thread of the connection bolt in order to fix the heating cable installed between the ceramic substrates of the ceramic heater. It relates to a connection bolt for connecting a heating cable of a ceramic heater that can connect the heating cable in a tightly fixed state because of the formation of
Description
본 고안은 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 세라믹히터의 세라믹기판 사이에 설치되는 열선케이블을 고정하기 위하여 연결볼트의 상부나사산 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈이 형성되어 있어 열선케이블을 단단하게 고정된 상태로 연결할 수 있는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것이다.The present invention relates to a connection bolt for coupling a heating cable of a ceramic heater, and more specifically, a heating cable insertion groove in the center of the upper thread of the connection bolt in order to fix the heating cable installed between the ceramic substrates of the ceramic heater. It relates to a connection bolt for connecting a heating cable of a ceramic heater that can connect the heating cable in a tightly fixed state because of the formation of
종래 세라믹 히터(ceramic heater)는 반도체를 제조하는 공정 중에 반도체 웨이퍼(wafer)를 가열하기 위한 장치이며, 세라믹 히터는 질화알루미늄(AlN; aluminium nitride) 또는 산화알루미늄(Al2O3; aluminium oxide) 등의 세라믹 소재를 이용하여 제조되는 평판 부재인 세라믹 기판과 상기 세라믹 기판의 내부에 배선되어 열을 발산하는 열선케이블과 상기 세라믹 기판의 내부에 배선되며 정전기를 발생시키는 정전기 발생 전극과 열선케이블에 전기를 공급하는 전기 공급부재와 연결부재를 포함하여 구성된다. 세라믹 히터는 열선케이블에 의하여 웨이퍼를 가열하고 정전기 발생 전극에 의하여 발생되는 정전기를 이용하여 웨이퍼를 흡착하여 고정하게 된다.A conventional ceramic heater is a device for heating a semiconductor wafer during a semiconductor manufacturing process, and a ceramic heater is a ceramic material such as aluminum nitride (AlN) or aluminum oxide (Al2O3; aluminum oxide). The ceramic substrate, which is a flat member manufactured by using, and the heating wire cable that is wired inside the ceramic substrate to dissipate heat, and the electricity supplying electricity to the static electricity generating electrode and the heating wire cable that are wired inside the ceramic substrate and generate static electricity. It comprises a supply member and a connecting member. The ceramic heater heats a wafer by a heating cable and uses static electricity generated by the static electricity generating electrode to adsorb and fix the wafer.
종래의 세라믹 히터에서는 열선케이블의 말단이 연결부재의 상부면에 올려진 상태로 직접 접촉되거나 열선케이블의 말단을 볼트에 감아서 연결한다. 종래 세라믹 히터는 열선케이블과 연결부재의 접촉 면적이 비교적 크지 않아 열선케이블과 연결부재 간의 전기적 저항이 증가하여 제품 수명이 단축되고 요구되는 전기적 성능이 만족되지 못하는 문제점이 있다.In a conventional ceramic heater, the end of the heating cable is directly contacted while being placed on the upper surface of the connecting member, or the end of the heating cable is wound around a bolt to connect. Conventional ceramic heaters have a problem in that the contact area between the heating cable and the connecting member is relatively small, so that the electrical resistance between the heating cable and the connecting member increases, shortening the product life and not satisfying the required electrical performance.
종래 세라믹 히터는 세라믹 히터의 제조시 세라믹 소결 온도가 1500℃ 이상이며 세라믹 히터의 사용시 온도가 500℃ 이상인 점을 고려할 때 세라믹 히터의 제조시 또는 사용시에 발생하는 고열에 의하여 열선케이블과 연결부재 간의 간극(gap)이 발생하여 접합력이 저하됨으로써 열선케이블과 연결 부재 간의 접촉 불량으로 인한 국부적 발열이나 아킹(arcing) 현상이 발생하는 문제점도 있다.Considering that the ceramic sintering temperature is 1500℃ or higher when the ceramic heater is manufactured, and the temperature is 500℃ or higher when the ceramic heater is used, the gap between the heating cable and the connecting member due to high heat generated during the manufacture or use of the ceramic heater. There is also a problem that local heat generation or arcing occurs due to poor contact between the heating cable and the connecting member as the bonding force is lowered due to the occurrence of (gap).
종래의 세라믹히터에서 세라믹기판 사이에 설치되는 철크롬강 등으로 잘 구부러지지 않는 열선케이블을 고정하기 위하여 고정볼트에 강제로 감아서 연결하기 때문에 연결하기가 매우 힘들며 연결작업이 힘든 문제점이 있었다. In a conventional ceramic heater, since the heating cable is forcibly wound around a fixing bolt to fix a heating cable that is not bent well with iron chromium steel, etc. installed between ceramic substrates, it is very difficult to connect and the connection work is difficult.
본 고안은 종래의 문제점을 개선한 것으로서 세라믹히터의 세라믹기판 사이에 설치되는 열선케이블을 고정하기 위하여 연결볼트의 상부나사산 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈이 형성되어 있어 열선케이블을 단단하게 고정된 상태로 연결할 수 있는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is an improvement over the conventional problem. In order to fix the heating cable installed between the ceramic substrates of the ceramic heater, the heating cable insertion groove is formed in the center of the upper thread of the connecting bolt in the vertical direction to securely fix the heating cable. The purpose of this is to provide a connection bolt for connecting the heating wire cable of a ceramic heater that can be connected in the state of being.
본 고안은 세라믹히터의 세라믹기판 사이에 설치되는 열선케이블을 고정하기 위하여 사용되는 원통형 나사 볼트 형태로 형성되어 있으며, 중간 머리돌출부의 하부에는 하부나사산이 형성되어 있고, 중간 머리돌출부의 상부에는 상부나사산이 형성되어 있으며, 상기 상부나사산의 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈이 형성되어 있는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것이다.The present invention is formed in the form of a cylindrical screw bolt used to fix the heating cable installed between the ceramic substrates of the ceramic heater, and a lower thread is formed at the lower part of the middle head protrusion, and an upper thread is formed at the upper part of the middle head protrusion. It is formed and relates to a connection bolt for coupling a heating cable of a ceramic heater in which a heating cable insertion groove is formed in a vertical direction in a central portion of the upper screw thread.
본 고안은 세라믹히터의 세라믹기판 사이에 설치되는 열선케이블을 고정하기 위하여 연결볼트의 상부나사산 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈이 형성되어 있어 열선케이블을 단단하게 고정된 상태로 연결할 수 있으며, 열선케이블과 연결볼트 간의 접촉 면적이 충분히 확보되며 고온에서도 열선케이블과 연결볼트 간의 안정적인 전기 접속이 유지될 수 있는 효과가 있다.In this design, the heating cable insertion groove is formed in the vertical direction at the center of the upper thread of the connecting bolt to fix the heating cable installed between the ceramic substrates of the ceramic heater, so that the heating cable can be connected in a firmly fixed state. The contact area between the heating cable and the connecting bolt is sufficiently secured, and stable electrical connection between the heating cable and the connecting bolt can be maintained even at high temperatures.
도 1은 본 고안의 연결볼트를 나타낸 사시도.
도 2는 본 고안의 연결볼트를 나타낸 사시도.
도 3은 본 고안의 연결볼트를 나타낸 사시도.
도 4는 본 고안의 연결볼트를 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing the connection bolt of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the connection bolt of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing the connection bolt of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing the connection bolt of the present invention.
본 고안의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시예들에 제한되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 고안이 속하는 기술 분야의 통상의 기술자에게 본 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 고안은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in a variety of different forms, only these embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and those skilled in the art It is provided to completely inform the scope of the present invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 고안을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)." 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 구성요소들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 비록 "제1", "제2" 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.The terms used in the present specification are for describing exemplary embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form also includes the plural form unless specifically stated in the phrase. As used in the specification, "comprises." And/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other elements other than the mentioned elements. Throughout the specification, the same reference numerals refer to the same elements, and “and/or” includes each and all combinations of one or more of the mentioned elements. Although "first", "second", and the like are used to describe various elements, it goes without saying that these elements are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the technical idea of the present invention.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used as meanings that can be commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not interpreted ideally or excessively unless explicitly defined specifically.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 구성요소와 다른 구성요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 구성요소들의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들어, 도면에 도시되어 있는 구성요소를 뒤집을 경우, 다른 구성요소의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 구성요소는 다른 구성요소의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 구성요소는 다른 방향으로도 배향될 수 있으며, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc., as shown in the figure It can be used to easily describe the correlation between a component and other components. Spatially relative terms should be understood as terms including different directions of components during use or operation in addition to the directions shown in the drawings. For example, if a component shown in a drawing is turned over, a component described as "below" or "beneath" of another component will be placed "above" the other component. I can. Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above. Components may be oriented in other directions, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.
본 고안은 세라믹히터(100)의 세라믹기판(110) 사이에 설치되는 열선케이블(120)을 고정하기 위하여 사용되는 원통형 나사 볼트 형태로 형성되어 있으며, 중간 머리돌출부(12)의 하부에는 하부나사산(14)이 형성되어 있고, 중간 머리돌출부(12)의 상부에는 상부나사산(16)이 형성되어 있으며, 상기 상부나사산(16)의 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈(18)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트에 관한 것이다.The present invention is formed in the form of a cylindrical screw bolt used to fix the
상기 상부나사산을 형성한 상부는 하부나사산을 형성한 하부보다 굵기를 굵게 형성하여 열선케이블이 삽입홈에 삽입시에 접촉면적을 넓게 형성한 특징이 있다.The upper portion having the upper screw thread is formed thicker than the lower portion of the lower screw thread, so that a contact area is formed wider when the hot wire cable is inserted into the insertion groove.
본 고안의 연결볼트(10)는 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 삽입되고, 상부나사산(16)에 와셔(20)와 고정너트(30)가 결합되며, 하부나사산(14)에 와셔(130), 전선연결고리(140)와 고정너트(150)가 결합된 상태로 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 고정되는 것을 특징으로 한다.In the
도 1 내지 도 4와 같이 본 고안은 세라믹히터(100)의 세라믹기판(110) 사이에 설치되는 열선케이블(120)을 고정하기 위하여 사용되는 원통형 나사 볼트 형태로 형성되어 있으며, 중간 머리돌출부(12)의 하부에는 하부나사산(14)이 형성되어 있고, 중간 머리돌출부(12)의 상부에는 상부나사산(16)이 형성되어 있으며, 상기 상부나사산(16)의 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈(18)이 형성되어 있어 세라믹히터(100)의 세라믹기판(110) 사이에 설치되는 열선케이블(120)을 단단하게 고정할 수 있으며, 열선케이블과 연결볼트 간의 접촉 면적이 충분히 확보되며 고온에서도 열선케이블과 연결볼트 간의 안정적인 전기 접속이 유지될 수 있는 효과가 있다. 상기 열선케이블은 강도가 강한 니켈, 크롬강 등로 형성하여 인위적으로 감기가 어려우므로 끼워서 결합하도록 한 특징이 있다.1 to 4, the present invention is formed in the form of a cylindrical screw bolt used to fix the
도 1 내지 도 4와 같이 본 고안의 볼트(10)는 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 삽입되고, 상부나사산(16)에 와셔(20)와 고정너트(30)가 결합되며, 하부나사산(14)에 와셔(130), 전선연결고리(140)와 고정너트(150)가 결합된 상태로 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 단단하게 고정되며, 열선케이블과 연결볼트 간의 접촉 면적이 충분히 확보되며 고온에서도 열선케이블과 연결볼트 간의 안정적인 전기 접속이 유지될 수 있는 효과가 있다.1 to 4, the
상기 중간 머리돌출부는 원형, 사각형, 오각형 중에 어느 하나를 선택하여 형성한 것을 특징으로 한다.The intermediate head protrusion may be formed by selecting any one of a circle, a square, and a pentagon.
10: 연결볼트 100: 세라믹히터
110: 세라믹기판 120: 열선케이블
140: 전선연결고리 142: 볼트삽입홀
160: 전선10: connection bolt 100: ceramic heater
110: ceramic substrate 120: heating cable
140: wire connection ring 142: bolt insertion hole
160: wire
Claims (3)
상기 연결볼트는 세라믹히터(100)의 세라믹기판(110) 사이에 설치되는 열선케이블(120)을 고정하기 위하여 사용되는 원통형 나사 볼트 형태로 형성되어 있으며, 중간 머리돌출부(12)의 하부에는 하부나사산(14)이 형성되어 있고, 중간 머리돌출부(12)의 상부에는 상부나사산(16)이 형성되어 있으며, 상기 상부나사산(16)의 중앙 부위에 상하 방향으로 열선케이블 삽입홈(18)이 형성되어 있으며,
상기 연결볼트는 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 삽입되고, 상부나사산(16)에 와셔(20)와 고정너트(30)가 결합되며, 하부나사산(14)에 와셔(130), 전선연결고리(140)와 고정너트(150)가 결합된 상태로 열선케이블 삽입홈(18)에 열선케이블(120)이 고정되는 것이며,
상기 중간 머리돌출부는 원형, 사각형, 오각형 중에 어느 하나를 선택하여 형성한 것을 특징으로 하는 세라믹히터의 열선케이블 결합용 연결볼트.In the connection bolt for coupling the heating cable,
The connection bolt is formed in the form of a cylindrical screw bolt used to fix the heating cable 120 installed between the ceramic substrate 110 of the ceramic heater 100, and a lower screw thread at the lower part of the middle head protrusion 12 (14) is formed, an upper thread 16 is formed on the upper part of the intermediate head protrusion 12, and a heating cable insertion groove 18 is formed in the center of the upper thread 16 in the vertical direction. And
The connecting bolt is the heating cable 120 is inserted into the heating cable insertion groove 18, the washer 20 and the fixing nut 30 are coupled to the upper thread 16, and the washer 130 is attached to the lower thread 14. ), the heating cable 120 is fixed to the heating cable insertion groove 18 in a state in which the wire connection ring 140 and the fixing nut 150 are combined,
The intermediate head protrusion is formed by selecting any one of a circle, a square, and a pentagon.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment |