KR20200145069A - Gate valve system - Google Patents
Gate valve system Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200145069A KR20200145069A KR1020190073509A KR20190073509A KR20200145069A KR 20200145069 A KR20200145069 A KR 20200145069A KR 1020190073509 A KR1020190073509 A KR 1020190073509A KR 20190073509 A KR20190073509 A KR 20190073509A KR 20200145069 A KR20200145069 A KR 20200145069A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- door
- bracket
- gate valve
- valve system
- passage
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/029—Electromagnetically actuated valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어를 교체할 수 있는 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve system, and more particularly, to a gate valve system capable of replacing a door without breaking the overall vacuum.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.In general, the chamber is an industrial facility facility used to manufacture advanced semiconductor devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, etc., or display devices or other medical devices that require a vacuum or high clean working environment. The gate valve attached to the chamber serves as an entrance to the chamber, and is a type of device that opens the door to move semiconductor chips or wafers into the chamber space, and closes the door again to maintain an airtight state in the chamber.
한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.On the other hand, these conventional gate valves generally use O-rings to maintain an airtight state, and the O-rings made of elastic materials are easily worn or deformed due to the internal process environment or adverse conditions such as vacuum, high pressure, and high temperature, and are replaced periodically. There was a hassle to do.
이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.As a conventional technology to solve this problem, as disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0069287, a technology capable of opening the opening/closing cover installed on a part of the valve housing and replacing only the sealing member (O-ring) from the valve body Has been developed.
그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.However, the conventional technology for replacing only such O-rings cannot be used in doors with integrated O-rings, which is a recent trend, and even if only the O-rings are replaced, the work of inserting the O-rings into the narrow O-ring grooves is very cumbersome and is made by hand. There were problems in which it was difficult to maintain airtightness due to damage or incomplete installation of O-rings.
또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.In addition, such conventional O-ring exchange technology requires a very wide area to be opened in order to exchange O-rings. Due to this large area, the volume of the equipment becomes large, which increases the manufacturing cost of the equipment, as well as increases the internal space of the equipment. There are many problems, such as taking a lot of time and cost to form a vacuum pressure.
한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 모노 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.On the other hand, conventionally, the sealing member is formed stepwise so that the passage can be opened and closed only by the raising of the door, so that a mono-type gate valve system having a relatively simple structure and excellent operability has been widely applied.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 모노 타입 도어에서도 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The idea of the present invention is to solve these problems, and since the entire door including O-rings can be replaced even in a mono-type door, the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost and cost of equipment can be reduced by reducing the volume of the equipment. It is to provide a gate valve system that can reduce the time and cost of pneumatic formation and, for example, allow replacement of the door without breaking the overall vacuum of the valve housing. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.The mono-type gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problem includes: a valve housing in which a passage having a first lower surface and a second lower surface is formed at least in part, and a door replacement area is formed in another part; A mono-type door in which a first sealing member corresponding to the first and second lower surfaces of the passage is installed so as to open and close the passage; A lifting platform supporting the door; An elevating shaft for elevating the elevating platform; And a door replacement for moving the door from the first position to the second position so that the door can be opened and closed when the door is raised or lowered from the first position, and can be moved to the door replacement area when the door is raised or lowered from the second position. It may include a moving device for;
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, in the valve housing, the door replacement area is disposed above the passage, an opening/closing door is installed in a part of the door replacement area, and at the entrance of the door replacement area or the hoisting platform. A second sealing member for sealing the door replacement area may be installed.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may be a hoisting platform forward and backward device installed on the elevating shaft and moving the hoisting platform forward and backward.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may include an elevating shaft forward and backward moving device for moving the elevating shaft forward and backward.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및 상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device includes: an elevating shaft guide hole formed in the valve housing to guide the forward and backward movement of the elevating shaft; And a bellows pipe installed in the valve housing in a shape surrounding the elevating shaft guide hole to protect the elevating shaft and the inside of the valve housing.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device may include an elevating shaft angle adjusting device that adjusts an angle of the elevating shaft in accordance with the direction of the door replacement area.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the moving device for replacing the door may be a door forward and backward device installed on the hoisting platform and moving the door forward and backward.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door forward and backward device may be a sliding type that slides along the elevating platform or a telescopic type that extends or contracts from the elevating platform.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, in the valve housing, the door replacement area is disposed below the passage, an opening and closing door is formed in a part of the door replacement area, and when the door is replaced at the entrance of the door replacement area, the A temporary closure device may be installed to temporarily seal the door replacement area.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the temporary sealing device may be a telescopic sealing device in which the sealing door is extended or contracted, or a rotary sealing device in which the sealing door is rotated.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 컨베이어 장치를 이용하여 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 전진시키는 도어 순환 교체 장치;를 포함할 수 있다.On the other hand, the door circulation replacement type gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problem, a valve housing in which a passage is formed and a door exchange area is formed in a part; A door having a sealing member installed to open and close the passage; A movable table supporting the door; A door moving device capable of moving the door in the direction of the passage; And a door circulation replacement device installed in the door exchange area, taking over the old door from the movable table and moving the new door in standby to the movable table direction by using a conveyor device.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 컨베이어 장치는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠; 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠; 및 상기 제 1 스프로킷휠과 상기 제 2 스프로킷휠 사이에 순환되도록 권취되는 벨트;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the conveyor device includes: a first sprocket wheel capable of driving rotation; A second sprocket wheel capable of driven rotation; And a belt wound to circulate between the first sprocket wheel and the second sprocket wheel.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 순환 교체 장치는, 상기 벨트에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어와 체결되어 상기 구형 도어를 상기 벨트 상에 안착시키는 도어 체결 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door circulation replacement device may further include a door fastening device installed on the belt and fastened with the falling spherical door to seat the spherical door on the belt.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 체결 장치는, 상기 도어의 삽입홈에 삽입될 수 있는 삽입 돌기 또는 상기 도어가 삽입될 수 있는 수용홈부일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door fastening device may be an insertion protrusion that can be inserted into an insertion groove of the door or an accommodation groove in which the door can be inserted.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어; 상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치; 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;를 포함할 수 있다.On the other hand, the gate valve system according to the idea of the present invention for solving the above problem, a valve housing in which a passage is formed in at least a portion and a door replacement area is formed in the other portion; A door having a first sealing member installed so as to open and close the passage, and formed in a shape corresponding to the passage; A bracket installed in the door replacement area, a plurality of door accommodating grooves formed so as to load the plurality of doors, and installed to be able to move forward and backward along a forward and backward rail; A bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward; A fastening device selectively fastened to at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket; And an elevating device for elevating the door fastened with the fastening device in the direction of the passage.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고, 상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다.In addition, according to the present invention, the valve housing has the passage having a first lower surface and a second lower surface formed at least in part, and the door comprises the first lower surface and the first lower surface of the passage so as to open and close the passage. It may be a mono-type door in which the first sealing member corresponding to the second lower surface is installed.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은, 도어 수용시, 상기 도어를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부에 안내 경사면이 형성될 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket may have a guide inclined surface formed in the door receiving groove so as to guide the door to the correct position when receiving the door.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;을 더 포함할 수 있다.In addition, the gate valve system according to the present invention further includes a separator installed between the door receiving groove of the bracket and the adjacent door receiving groove to prevent contamination of the door by a contaminated door or an external environment. can do.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓 전후진 장치는, 상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및 상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket forward and backward device includes: a camshaft member in which a front end is engaged with a clearance groove formed on a lower surface of the bracket, and a rear end is rotated by a rotation shaft; And a rotating device for axially rotating the camshaft member.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치는, 상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;을 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the fastening device may include a connecting block in which at least one insertion protrusion that can be forcibly inserted into a fastening hole formed on a lower surface of the door is formed.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성될 수 있다.In addition, according to the present invention, the insertion protrusion of the fastening device may have a branch groove formed to facilitate elastic deformation of its tip, and an inclined guide surface to guide the insertion position.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은 상기 도어의 중심부 하방에 배치되고, 상기 커넥팅 블록은, 상기 도어의 좌우 단부 하방에 각각 배치될 수 있다.In addition, according to the present invention, the bracket may be disposed below the central portion of the door, and the connecting block may be disposed below the left and right ends of the door.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, the gate valve system according to the present invention may further include a temporary fixing device for temporarily fixing the door to the bracket so that the door is fixed to the door receiving groove of the bracket and does not shake.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계; 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;를 포함할 수 있다.On the other hand, in the door replacement method of the gate valve system according to the idea of the present invention for solving the above problem, a bracket having a plurality of the doors is moved to a first position by using a bracket forward and backward device that moves the bracket forward or backward. Reversing; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the first position using a fastening device; Separating the door fastened with the fastening device from the bracket using an elevating device and raising and lowering the door in the direction of the passage; Separating the door that has been used using the elevating device from the fastening device and re-accommodating it in the bracket; Moving the bracket forward or backward to a second position using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the second position using the fastening device; And elevating the door fastened with the fastening device in the direction of the passage by using the elevating device.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to some embodiments of the present invention made as described above, the entire door including the O-ring can be replaced in the mono-type door, so that the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost of the equipment is reduced by reducing the volume of the equipment. It is possible to reduce the time and cost of forming vacuum pressure, and for example, it is possible to replace the door without breaking the overall vacuum of the valve housing, thereby simplifying the operation and operation of the equipment, thereby improving the durability and performance of the equipment. . Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치를 나타내는 사시도이다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 체결 장치를 나타내는 사시도이다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 나타내는 단면도이다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 사시도이다.
도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 정면도이다.
도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 후진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 브라켓 전후진 장치를 나타내는 사시도이다.
도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 스토퍼를 나타내는 단면도이다.
도 41은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 42는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 43은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.1 and 2 are operational views showing a mono-type gate valve system according to some embodiments of the present invention.
3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono-type gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
17 is a perspective view illustrating an example of a door of a mono-type gate valve system according to still another embodiment of the present invention.
18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replacement gate valve system according to some embodiments of the present invention.
FIG. 19 is a plan view illustrating an example of a door separation device of the gate valve system of FIG. 18.
FIG. 20 is a plan view showing another example of a door separation device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
21 is a perspective view showing a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
22 is a cross-sectional view showing stepwise an operation process of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
23 is a cross-sectional view showing an example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
24 is a cross-sectional view showing another example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
25 is a cross-sectional view showing another example of a door circulation replacement device of the door circulation replacement type gate valve system of FIG. 18.
26 is an exterior perspective view of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
27 is an exploded perspective view of a part showing the gate valve system of FIG. 26.
28 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system of FIG. 26.
29 is a perspective view illustrating a bracket and a fastening device of the gate valve system of FIG. 26.
30 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the fastening device of the gate valve system of FIG. 29.
31 is a cross-sectional view illustrating a fastening device of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 32 is a perspective view illustrating a bracket of the gate valve system of FIG. 30.
33 is a front view showing a bracket of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 34 is a side view showing an advanced state of the bracket of the gate valve system of FIG. 30.
FIG. 35 is a side view illustrating a bracket of the gate valve system of FIG. 30 in a reversed state.
FIG. 36 is a perspective view illustrating a bracket and a bracket forward and backward device of the gate valve system of FIG. 29.
37 is a cross-sectional view showing stepwise a process of moving the bracket forward and backward of the gate valve system of FIG. 26.
38 is a cross-sectional view showing an example of a temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
39 is a cross-sectional view showing another example of the temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
40 is a cross-sectional view showing a stopper of the gate valve system of FIG. 26.
41 is a cross-sectional view showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
42 is a cross-sectional view showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
43 are cross-sectional views showing stepwise a door replacement process of a gate valve system according to still another exemplary embodiment of the present invention.
44 is a flowchart illustrating a method of replacing a door of a gate valve system according to some embodiments of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more completely describe the present invention to those of ordinary skill in the art, and the following examples may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to the examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete, and to completely convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In addition, in the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated for convenience and clarity of description.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terms used in this specification are used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. As used herein, the singular form may include the plural form unless the context clearly indicates another case. Further, as used herein, "comprise" and/or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and/or groups thereof. And does not exclude the presence or addition of one or more other shapes, numbers, actions, members, elements, and/or groups.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing ideal embodiments of the present invention. In the drawings, for example, depending on manufacturing techniques and/or tolerances, variations of the illustrated shape can be expected. Accordingly, the embodiments of the inventive concept should not be construed as being limited to the specific shape of the region shown in the present specification, but should include, for example, a change in shape caused by manufacturing.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100~800)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, mono-type
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.1 and 2 are operational views showing a mono-type
먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 모노 타입의 도어(20)와, 승하강대(30)와, 승하강축(40) 및 도어 교체용 이동 장치(50)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figs. 1 and 2, the mono-type
예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 모노 타입의 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 승하강대(30)와, 상기 승하강축(40) 및 상기 도어 교체용 이동 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분에 개폐문(D)이 설치되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부 또는 상기 승하강대(30)에 상기 도어 교체 영역(A)의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, in the
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 형상으로 형성되고, 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어(20)일 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 1 and 2, the
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어(20)의 일례를 나타내는 사시도이다.17 is a perspective view illustrating an example of a
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17에 도시된 바와 같이, 모노 타입의 도어(20)에 적용되는 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 도어(20)의 상승 동작만으로 수평 방향으로 형성된 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 3차원적으로 단차지게 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 도어(20)는 도 17에 국한되지 않고, 단일 동작만으로 상기 통로를 개폐시킬 수 있는 모노 타입의 모든 도어들이 모두 적용될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 17, the first sealing member S1 applied to the mono-
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강대(30)는, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 수평 방향으로 연장되게 형성되는 테이블 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.Further, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the elevating
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강축(40)은, 상기 승하강대(30)를 승하강시킬 수 있도록 상기 승하강대(30)의 하면으로부터 수직 방향으로 연장되는 막대 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the elevating
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역(A)으로 이동될 수 있도록 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 장치일 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1 and 2, the door
여기서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)에 설치되고, 상기 승하강대(30)를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치(51)일 수 있다.Here, as shown in Figs. 1 and 2, the door
이러한, 상기 승하강대 전후진 장치(51)는 각종 유압 또는 공압 실린더 장치나, 솔레노이드나, 모터 또는 리니어 모터 등 각종 구동 장치나 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있는 것으로서, 상세한 설명은 생략한다. As such, the hoisting platform forward and
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type
이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강대 전후진 장치(51)에 의해서, 상기 승하강대(30)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 2, when the door is replaced, the hoisting
이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 2, when the
그러므로, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, it is possible to replace the entire door including the O-ring in the mono-type door, so that the replacement cost and time can be greatly reduced, and the unit cost of the equipment and the time and cost of forming vacuum pressure can be reduced by reducing the volume of the equipment. By simply lowering the movable table, the door can be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the equipment, and improving the durability and performance of the equipment.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 작동 도면들이다.3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono-type
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치(52)와, 상기 승하강축(40)의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)에 형성되는 승하강축 가이드홀부(53) 및 상기 승하강축(40)과 상기 밸브 하우징(10)의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부(53)를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징(10)에 설치되는 벨로우즈관(54)을 포함할 수 있다.3 and 4, the moving
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type
이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 전후진 장치(52)에 의해서, 상기 승하강축(40)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 4, when the door is replaced, the elevating
이어서, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 4, when the
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 작동 도면들이다.5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono-type
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어 교체 영역(A)의 방향에 맞추어 상기 승하강축(40)의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치(55)를 포함할 수 있다.5 and 6, the door
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type
이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 각도 조절 장치(55)에 의해 수직으로 세워진 상기 승하강축(40)이 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제 1 위치(제 1 각도)에서 제 2 위치(제 2 각도)로 기울어질 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 6, when the door is replaced, the elevating
이어서, 도 6의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치(각도)로 기울어지면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 6, when the
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 작동 도면들이다.7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono-type
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강대(30)에 설치되고, 상기 도어(20)를 전후진시키는 도어 전후진 장치(56)를 포함할 수 있다.7 and 8, the door
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type
이어서, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 도어 전후진 장치(56)에 의해서, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 8, when the door is replaced, the
이어서, 도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 승하강대(30)에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 8, when the
여기서, 상기 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 하단부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-1)일 수 있다.Here, the door forward and
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 작동 도면들이다.9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono-type
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-2)일 수 있다.9 and 10, the door forward/
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 작동 도면들이다.11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono-type
또한, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 전후진 장치(56)는, 또는 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 상기 승하강대(30)로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입 도어 전후진 장치(56-3)일 수 있다.In addition, as shown in Figs. 11 and 12, the door forward/
따라서, 이러한 상기 도어 전후진 장치(56)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 각종 동력 전달 장치나, 실린더나 모터나 리니어 모터 등 매우 다양한 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.Therefore, the door forward/
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 작동 도면들이다.13 and 14 are operational views illustrating a mono-type
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부에 개폐문(D)이 형성되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치(60)가 설치될 수 있다.13 and 14, in the
여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치(61)일 수 있다. Here, as shown in FIGS. 13 and 14, the
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, when explaining the operation process of the mono-type
이어서, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 14의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 신장되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 14, when the door is replaced, in the first position state in which the elevating
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 작동 도면들이다.15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono-type
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 회전되는 회전식 밀폐 장치(62)일 수 있다.15 and 16, the
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, describing the operation process of the mono-type
이어서, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 16의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 16의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 회전되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 16, when the door is replaced, in the first position state in which the elevating
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기서, 도면에 예시된 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은 L타입을 예시하였으나, 상술된 모노 타입에도 동일하게 적용될 수 있다. Hereinafter, a
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 단면도이다. 그리고, 도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 일례를 나타내는 평면도이고, 도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 다른 일례를 나타내는 평면도이고, 도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)를 나타내는 사시도이다.18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replaceable
먼저, 도 18 및 도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 도어 이동 장치(40) 및 도어 순환 교체 장치(150)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figs. 18 and 21, the door circulating replaceable
예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 통로(10a)가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 도어 이동 장치(40) 및 상기 도어 순환 교체 장치(150) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIG. 18, the
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되고, 상기 가동대(30)와 착탈 가능하게 설치되며, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 도어(20)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 도어들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in Fig. 18, the
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈 가능하게 지지하는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 가동대(30)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 가동 장치들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the movable table 30 may be a structure that supports the
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)는, 승하강축(41)을 이용하여 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상세하게 도시하진 않았지만, 각종 실린더나 모터나 리니어 모터 등 다양한 동력 전달 장치나 구동 장치를 포함하는 각종 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the
한편, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 도어 교환 영역(A)에 설치되고, 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 컨베이어 장치(151)를 이용하여 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 전진시키는 장치일 수 있다.On the other hand, for example, as shown in FIG. 18, the door
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)의 상기 컨베이어 장치(151)는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠(152)과, 상기 제 1 스프로킷휠(152)에 의해 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠(153) 및 상기 제 1 스프로킷휠(152)과 상기 제 2 스프로킷휠(153) 사이에 순환되도록 권취되는 벨트(154)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 18, the
여기서, 이러한 상기 컨베이어 장치(151)는 도면에 반드시 국한되지 않고, 밸트 타입 컨베이어, 롤러 타입 컨베이어, 체인 타입 컨베이어, 무한궤도 타입 컨베이어, 타이밍 밸트 타입 컨베이어 등 매우 다양한 컨베이어 장치들이 모두 적용될 수 있다.Here, the
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 벨트(154)에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어(20-2)와 체결되어 상기 구형 도어(20-2)를 상기 벨트(154) 상에 안착시키는 도어 체결 장치(155)를 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 18, the door
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 체결 장치(155)는, 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입될 수 있는 삽입 돌기(155-1)가 적용될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 18, the
여기서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 상기 도어(20)와의 결합시 선택적으로 신장되어 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입되고, 상기 도어(20)와 분리된 다음, 상기 벨트(154)에 의해 이동시에는 공간을 활용할 수 있도록 수축이 가능한 신축형 삽입 돌기(155-1a)가 적용될 수 있다.Here, as shown in FIG. 18, the insertion protrusion 155-1 is selectively extended when combined with the
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 예컨대, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 신축이 불가능한 일반적인 삽입 돌기나, 마그넷 자석 부착 장치 등 매우 다양한 도어 체결 장치들이 모두 적용될 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and for example, a wide variety of door fastening devices, such as a general insertion protrusion or a magnet magnet attachment device, that cannot be stretched to support the
또한, 예컨대, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 상기 가동대(30)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 낙하시키는 도어 분리 장치(160)을 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figures 18 and 19, the door circulation replacement type
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어 분리 장치(160)는, 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 도어(20)와 물림 결합되는 적어도 하나의 물림축(161) 및 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 물림축(161)로부터 상기 도어(20)를 분리시킬 수 있도록 상기 도어(20)를 가압하는 적어도 하나의 가압축(162)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in Figs. 19 and 20, the
여기서, 예컨대, 도 19의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 가압축(162)가 설치되고, 중심에 상기 물림축(161)이 설치되는 경우, 도 19의 (b)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.Here, for example, as shown in (a) of FIG. 19, when two
또한, 예컨대, 도 20의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 물림축(161)이 설치되고, 중심에 상기 가압축(162)가 설치되는 경우, 도 20의 (b)에 도시된 바와 같이, 중심의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 2개의 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.In addition, for example, as shown in (a) of FIG. 20, when two
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.FIG. 22 is a cross-sectional view showing stepwise an operation process of the
따라서, 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 22의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 폐쇄시에는, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a) 방향으로 전진되어 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 22, when explaining the operation process of the door circulating replaceable
이어서, 이러한 과정을 반복하면서, 도 22의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 상기 도어 분리 장치(160)을 이용하여 상기 도어(20)를 분리시켜서 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 자연 낙하시킬 수 있다.Subsequently, while repeating this process, as shown in (b) of FIG. 22, the
이어서, 도 22의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해 상기 가동대(30)는 상기 도어 순환 교체 장치(150)에서 대기 중인 신형 도어(20-1)와 체결될 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 22, the movable table 30 is fastened with the new door 20-1 waiting in the door
이어서, 도 22의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 이용하여 낙하된 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시키는 동시에, 대기 중인 신형 도어(20-1) 및 수용된 구형 도어(20-2)를 전진시켜서, 새로 발생될 구형 도어(20-2)를 수용할 수 있는 공간을 미리 확보할 수 있다.Subsequently, as shown in (d) of FIG. 22, the old door 20-2 that has fallen using the door
이어서, 도 22의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 과정들을 반복할 수 있다.Subsequently, as shown in (e) of FIG. 22, the state of the
이후, 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 수용된 모든 도어(20)들이 구형화되면 외부로 언로딩시키고 새로운 도어들을 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 패키지 상태로 로딩할 수 있다.Thereafter, when all the
그러므로, 복수개의 상기 도어(20)들을 동시에 컨베이어 형태로 전진시켜서 구형 도어(20-2)를 신형 도어(20-1)로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 신속한 교체가 가능하다.Therefore, by simultaneously advancing a plurality of the
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 일례를 나타내는 단면도들이다.FIG. 23 is a cross-sectional view illustrating an example of the door
즉, 도 23의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 구형 도어(20-2)를 수용하고, 이를 전방으로 전진시켜서 새로운 공간을 확보하고, 다시 구형 도어(20-2)를 수용하는 일련의 단계들을 반복하면서 내부 진공을 깨뜨리지 않고도 복수개의 신형 도어(20-1)들을 장시간 사용할 수 있다.That is, as shown in (a) of Fig. 23, the door
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.24 is a cross-sectional view showing another example of the door
도 24에 도시된 바와 같이, 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례로서, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 가이드 부재(G)에 의해 접철이 가능한 접철형 삽입 돌기(155-1b)일 수 있다.As shown in FIG. 24, as another example of the door
여기서, 접철되는 방향은 전후방향 또는 좌우방향 또는 경사진 방향 등 다양한 각도로 접철될 수 있다.Here, the folded direction may be folded at various angles such as a front-rear direction, a left-right direction, or an inclined direction.
따라서, 상기 삽입 돌기(155-1)들은 컨베이어 이송시 좁은 공간에서 선택적으로 신장과 수축이 가능하여 공간 확보 측면에서도 유리할 수 있다.Accordingly, the insertion protrusions 155-1 can be selectively extended and contracted in a narrow space during conveyor transfer, and thus, it may be advantageous in terms of securing space.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.25 is a cross-sectional view showing another example of the door
도 25에 도시된 바와 같이, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례로서, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 도어(20)가 삽입될 수 있는 수용홈부(155-2)를 포함할 수 있다.25, as another example of the door
따라서, 상기 도어(20)는 자유 낙하되어 상기 수용홈부(155-2)에 의해 안내 및 지지될 수 있다.Accordingly, the
한편, 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)에 설치된 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함하 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 18, the door circulation replacement
도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 식별 장치(80)는, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)의 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 장치로서, 예컨대, 상기 식별자(81)는 RFID 태그 등이 적용될 수 있고, 상기 식별 장치(80)는 RFID 센서나 RFID 제어 장치 등을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 18, the
따라서, 상기 도어(20)들이 정품으로 식별되는 경우에만 장비의 가동을 가능하게 하여 제품의 안정성과 원활한 작동을 보장할 수 있다.Therefore, it is possible to ensure the stability and smooth operation of the product by enabling the operation of the equipment only when the
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 단면도이고, 도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 체결 장치(90)를 나타내는 사시도이다.FIG. 26 is an external perspective view showing a
먼저, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 브라켓(70)과, 브라켓 전후진 장치(80)와, 체결 장치(90) 및 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIGS. 26 to 29, the
예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 적어도 일부분에 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 전체적으로 통형상 또는 프레임 형상의 구조체일 수 있다.For example, as shown in FIGS. 26 to 29, the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 28에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 상기 통로(10a)가 형성되는 것으로서, 일반적으로 트랜스퍼 챔버와 공정 챔버 사이 또는 트랜스퍼 챔버 내부에 설치되는 모노 타입의 게이트 밸브 하우징일 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 28, the
또한, 예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 일종의 실링 플레이트로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다. 여기서, 이러한 모노 타입의 도어는 도 17에 도시된 바와 같이, 3차원적인 형상으로 단차지거나 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 26 to 29, the
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 상기 도어 교체 영역(A)에 설치되는 것으로서, 복수개의 상기 도어(20)를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부(71)가 형성되며, 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 일종의 가동체일 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 to 29, the
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 장치이고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)와 선택적으로 체결되는 장치이며, 상기 승하강 장치(57)는 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 to 29, the bracket forward and
또한, 예컨대, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)와 이웃하는 도어 수용홈부(71) 사이의 사이홈부(H4)에 설치되는 격리판(SP)을 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 27 and 28, the
여기서, 이러한 상기 격리판(SP)의 형상은 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분을 구분할 수 있도록 상기 도어 교체 영역(A)의 형상 또는 상기 도어(20)의 형상과 유사할 수 있다.Here, the shape of the separator SP may be similar to the shape of the door replacement area A or the shape of the
또한, 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 안정적으로 배치될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 국한되지 않고, 예컨대, 상기 브라켓(70)이 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 배치되고, 상기 체결 장치(90)가 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되는 등 다양한 배치 형태가 적용될 수 있다. In addition, as shown in FIG. 29, the
이러한 장치들에 대하여 보다 상세한 설명은 도 30 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 다양한 부품들을 통해서 이루어질 수 있다. 그러나 이러한 장치들은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 다양한 변경과 수정이 가능하다.A more detailed description of these devices may be made through various parts, as shown in FIGS. 30 to 37. However, these devices are not necessarily limited to the drawings, and various changes and modifications are possible.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 나타내는 단면도이다.FIG. 30 is an enlarged perspective view illustrating the
도 30 및 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)에 하면에 형성된 체결홀(H2)에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기(92)가 형성되는 커넥팅 블록(91)을 포함할 수 있다.30 and 31, the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)의 상기 삽입 돌기(92)는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈(H3)이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면(GF)이 형성될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 31, the
따라서, 상기 도어(20)는 상기 체결 장치(90)와 체결되어 승하강하면서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 통로(10a)를 개폐시킬 수 있다.Accordingly, the
이 때, 상기 도어(20)는 처음에 상기 체결 장치(90)에 헐겁게 체결되더라도 상기 통로(10a)와 밀착되면서 상기 삽입 돌기(92)가 상기 도어(20)의 상기 체결홀(H2)에 완전히 삽입되어 억지 물림됨으로써 견고하게 고정될 수 있다.At this time, even if the
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 사시도이고, 도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 정면도이고, 도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 후진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 브라켓 전후진 장치(80)를 나타내는 사시도이고, 도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.FIG. 32 is a perspective view showing the
도 32 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 도어 수용시, 상기 도어(20)를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부(71)에 안내 경사면이 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 32 to 37, the
여기서, 상기 브라켓(70)은 전후진 방향으로 길게 장공이 형성된 상기 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능한 것으로서, 상기 브라켓(70)에는 상기 전후진 레일(R)과의 마찰력을 최소화할 수 있도록 예컨대, 복수개, 도면에서는 2개의 베어링(B) 등이 설치될 수 있다. 2개의 상기 베어링(B)이 설치되는 경우, 상기 브라켓(70)의 전후진시 상기 브라켓(70)의 각도를 항상 일정하게 유지할 수 있어서 상기 도어(20)의 수평 방향으로의 이동을 용이하게 할 수 있다.Here, the
또한, 예컨대, 도 36에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)의 하면에 형성된 여유홈(H1)에 선단 돌기(T)가 물림 결합되고, 후단이 회전축(82)에 의해 회동되는 캠축 부재(81) 및 상기 캠축 부재(81)를 축회전시키는 회전 장치(83)를 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figure 36, the bracket forward and backward (80), the front end protrusion (T) is engaged with the clearance groove (H1) formed on the lower surface of the bracket (70), the rear end is a rotating shaft It may include a
따라서, 도 36의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 정회전하면 상기 브라켓(70)이 전진하거나 또는 도 36의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 역회전하면 상기 브라켓(70)이 후진할 수 있다.Therefore, as shown in (a) of FIG. 36, when the
그러므로, 도 37에 도시된 바와 같이, 예컨대, 3개의 상기 도어(20)가 적재된 경우, 도 37의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 0도인 경우, 첫 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있고, 도 37의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 90도인 경우, 두 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있으며, 도 37의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 180도인 경우, 세 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있도록 상기 브라켓(70)을 단계적으로 전후진시킬 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 37, for example, when three
그러므로, 내부의 진공을 깨뜨리지 않고도 모노 타입의 게이트 밸브에서도 복수개의 상기 도어(20)들을 쉽게 교체하면서 장기간 사용할 수 있다.Therefore, it can be used for a long time while easily replacing the plurality of
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 일례를 나타내는 단면도이고, 도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.FIG. 38 is a cross-sectional view showing an example of the temporary fixing device E of the
도 38 및 도 39에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 상기 도어(20)가 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)에 임시 고정시키는 임시 고정 장치(E)를 더 포함할 수 있는 것으로서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10)에 설치되고, 상기 도어(20)를 탄성 가압하는 탄성체(E1)일 수 있다.38 and 39, in the
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 탄성체(E1)가 상기 브라켓(70)에 견고하게 임시 고정시킴으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.Accordingly, by temporarily fixing the
이외에도, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 브라켓(70)에 설치되고, 상기 도어(20)에 설치된 자성체(M)와 자력에 의해 결합되는 자성 부재(E2)일 수 있다.In addition, as shown in Figure 39, the temporary fixing device (E) is installed on the valve housing (10) or the bracket (70), by the magnetic body (M) installed in the
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 자성 부재(E2)의 자력에 의해 견고하게 임시 고정됨으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.Accordingly, by temporarily fixing the
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 스토퍼(ST)를 나타내는 단면도이다.40 is a cross-sectional view illustrating a stopper ST of the
도 40에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 통로(10a)에 상기 도어(20)의 밀림 현상을 방지할 수 있도록 스토퍼(ST)가 설치될 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 밀림 현상 및 이탈 현상을 방지하여 장치의 내구성과 정밀도를 향상시킬 수 있다. As shown in FIG. 40, a stopper ST may be installed in the
도 41 내지 도 43은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.41 to 43 are cross-sectional views showing stepwise a door replacement process of gate valve systems according to various embodiments of the present invention.
도 41 내지 도 43에 도시된 바와 같이, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 41에 도시된 바와 같이, 3개의 상기 도어(20)들을 수용한 경우, (1 Plate) 과정에서 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.41 to 43, a step-by-step description of the door replacement process of the gate valve systems according to various embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. 41, the three
이어서, (1 Plate Up) 과정에서 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 첫 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, at least one first door positioned on the moving line among the
이어서, (1 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.Subsequently, the
이어서, (90도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.Subsequently, in the (90-degree rotation replacement) process, the
이어서, (2 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 두 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, in the (2 Plate Up) process, at least one of the
이어서, (2 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.Subsequently, the
이어서, (180도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 3 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.Subsequently, in the (180 degree rotation replacement) process, the
이어서, (3 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 세 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.Subsequently, in the (3 Plate Up) process, at least one third of the
따라서, 3개의 상기 도어(20)들을 모두 사용할 때까지 진공을 깨뜨리고 상기 도어를 교체할 필요가 없기 때문에 장비의 중단 시간을 줄여서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.Accordingly, since there is no need to break the vacuum and replace the door until all three of the
한편, 도 42는 2개의 상기 도어(20)들을 수용하면서 상기 통로(10a)의 방향이 뒤바뀐 다른 형태의 상기 밸브 하우징(10)에 적용된 경우인데, 이러한 경우에도, 도시된 (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)들 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.On the other hand, Figure 42 is a case applied to the
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 도 43에 도시된 바와 같이, (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)를 모두 승하강시키다가 어느 하나를 상기 도어 교체 영역(A)에 남겨두고 나머지 상기 도어(20)를 선택하여 사용하는 것도 가능하다.However, it is not necessarily limited thereto, and as shown in FIG. 43, a series of processes such as (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down), etc. It is also possible to move the two
이러한, 상기 도어(20)들의 선택 개수와 사용 개수는 작업 환경이나 다양한 장비들에 따라 다양한 개수와 형태로 적용될 수 있다.The number of selected and used
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.44 is a flowchart illustrating a door replacement method of the
따라서, 도 26 내지 도 44에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S100)와, 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S200)와, 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S300)와, 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용하는 단계(S400)와, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S500)와, 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S600) 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S700)를 포함할 수 있다.Therefore, as shown in FIGS. 26 to 44, the door replacement method of the gate valve system according to some embodiments of the present invention uses a bracket forward and
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 도어 교체 영역
D: 개폐문
F1: 제 1 하면
F2: 제 2 하면
S1: 제 1 실링 부재
S2: 제 2 실링 부재
20: 도어
30: 승하강대
40: 승하강축
50: 도어 교체용 이동 장치
51: 승하강대 전후진 장치
52: 승하강축 전후진 장치
53: 승하강축 가이드홀부
54: 벨로우즈관
55: 승하강축 각도 조절 장치
56: 도어 전후진 장치
56-1, 56-2: 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치
56-3: 신축 타입 도어 전후진 장치
60: 임시 밀폐 장치
G: 밀폐문
61: 신축식 밀폐 장치
62: 회전식 밀폐 장치
100~800: 모노 타입 게이트 밸브 시스템
160: 도어 분리 장치
161: 물림축
162: 가압축
80: 식별 장치
81: 식별자
1100, 2100: 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템10: valve housing
10a: passage
A: Door replacement area
D: opening door
F1: When the first
F2: second side
S1: first sealing member
S2: second sealing member
20: door
30: hoisting platform
40: elevating axis
50: door replacement movement device
51: hoisting platform forward and backward device
52: elevating shaft forward and backward device
53: elevating shaft guide hole portion
54: bellows tube
55: elevating shaft angle adjustment device
56: door forward and backward device
56-1, 56-2: Sliding type door forward and backward device
56-3: telescopic type door forward and backward device
60: temporary closure device
G: closed door
61: telescopic closure device
62: rotary obturator
100-800: Mono type gate valve system
160: door separation device
161: bite shaft
162: pressure shaft
80: identification device
81: identifier
1100, 2100: Door circulation interchangeable gate valve system
Claims (10)
상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어;
상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓;
상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치;
상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및
상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템. A valve housing having a passage formed in at least a portion and a door replacement region formed in the other portion;
A door having a first sealing member installed so as to open and close the passage, and formed in a shape corresponding to the passage;
A bracket installed in the door replacement area, a plurality of door accommodating grooves formed so as to load the plurality of doors, and installed to be able to move forward and backward along a forward and backward rail;
A bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
A fastening device selectively fastened to at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket; And
An elevating device capable of lifting the door fastened with the fastening device in the direction of the passage;
Containing, the gate valve system.
상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고,
상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The valve housing is formed with the passage having a first lower surface and a second lower surface at least in part,
The door is a mono-type door in which the first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage is installed so as to open and close the passage.
오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;
을 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
A separator installed between the door receiving groove portion of the bracket and the adjacent door receiving groove portion to prevent contamination of the door by a contaminated door or an external environment;
The gate valve system further comprising.
상기 브라켓 전후진 장치는,
상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및
상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The bracket forward and backward device,
A camshaft member in which the front end is engaged with the clearance groove formed on the lower surface of the bracket and the rear end is rotated by the rotation shaft; And
A rotating device for axially rotating the camshaft member;
Containing, the gate valve system.
상기 체결 장치는,
상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;
을 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The fastening device,
A connecting block in which at least one insertion protrusion that can be forcibly inserted into a fastening hole formed on a lower surface of the door is formed;
Including a gate valve system.
상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성되는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 5,
In the insertion protrusion of the fastening device, a branch groove is formed to facilitate elastic deformation of a tip end, and an inclined guide surface is formed to guide the insertion position.
상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;
를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
A temporary fixing device for temporarily fixing the door to the bracket so that the door is fixed to the door receiving groove of the bracket and does not shake;
The gate valve system further comprising.
상기 임시 고정 장치는, 상기 밸브 하우징에 설치되고, 상기 도어를 탄성 가압하는 탄성체인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The temporary fixing device is an elastic body installed in the valve housing and elastically pressing the door, a gate valve system.
상기 임시 고정 장치는, 상기 밸브 하우징 또는 상기 브라켓에 설치되고, 상기 도어에 설치된 자성체와 자력에 의해 결합되는 자성 부재인, 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The temporary fixing device is a magnetic member installed on the valve housing or the bracket and coupled to a magnetic body installed on the door by magnetic force, a gate valve system.
체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계;
승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계;
상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및
상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법.Advancing or retreating the brackets loaded with the plurality of doors to a first position by using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the first position using a fastening device;
Separating the door fastened with the fastening device from the bracket using an elevating device and raising and lowering the door in the direction of the passage;
Separating the door that has been used using the elevating device from the fastening device and re-accommodating it in the bracket;
Moving the bracket forward or backward to a second position using a bracket forward and backward device for moving the bracket forward and backward;
Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the second position using the fastening device; And
Elevating and lowering the door fastened with the fastening device in the direction of the passage by using the elevating device;
Including, the door replacement method of the gate valve system.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190073509A KR102224594B1 (en) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | Gate valve system |
PCT/KR2019/007458 WO2020004868A1 (en) | 2018-06-27 | 2019-06-20 | Gate valve system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190073509A KR102224594B1 (en) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | Gate valve system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200145069A true KR20200145069A (en) | 2020-12-30 |
KR102224594B1 KR102224594B1 (en) | 2021-03-08 |
Family
ID=74088077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190073509A KR102224594B1 (en) | 2018-06-27 | 2019-06-20 | Gate valve system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102224594B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000066176A (en) * | 1999-04-14 | 2000-11-15 | 장정훈 | Buffer module one body type gate valve |
KR100756110B1 (en) * | 2004-12-17 | 2007-09-05 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Gate valve apparatus, processing system and method of exchanging a seal member |
KR20140049217A (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-25 | 주식회사 선익시스템 | Downward type evaporation source and thin-film deposition apparatus having the same |
JP2017026128A (en) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | 大日本印刷株式会社 | Gate device, processing system, and sealing part replacement method |
-
2019
- 2019-06-20 KR KR1020190073509A patent/KR102224594B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000066176A (en) * | 1999-04-14 | 2000-11-15 | 장정훈 | Buffer module one body type gate valve |
KR100756110B1 (en) * | 2004-12-17 | 2007-09-05 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Gate valve apparatus, processing system and method of exchanging a seal member |
KR20140049217A (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-25 | 주식회사 선익시스템 | Downward type evaporation source and thin-film deposition apparatus having the same |
JP2017026128A (en) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | 大日本印刷株式会社 | Gate device, processing system, and sealing part replacement method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102224594B1 (en) | 2021-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100736003B1 (en) | Isolation valves | |
KR100626275B1 (en) | Automatic positive pressure seal access door | |
US9151393B2 (en) | Two way gate valve and substrate processing system having the same | |
KR100820617B1 (en) | A dual slot valve, a method of making a dual slot valve and a method of operating a dual slot valve | |
KR20070029032A (en) | Movable transfer chamber and substrate processing apparatus comprising the same | |
KR102224594B1 (en) | Gate valve system | |
KR102131282B1 (en) | Door cam type gate valve system and semiconductor processing equipment | |
KR100622846B1 (en) | Apparatus for manufacturing fpd | |
KR20060092615A (en) | Gate valve for preventing back pressure | |
KR101320419B1 (en) | Gate valve for vaccume equipment | |
KR102133007B1 (en) | Saving space type gate valve system | |
KR102131283B1 (en) | Mono type gate valve system | |
KR102131284B1 (en) | Door exchange type gate valve system | |
KR102133008B1 (en) | Saving space type multi-plunger gate valve system | |
KR102150065B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR102160232B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR102127189B1 (en) | Door exchange type gate valve system | |
KR102121057B1 (en) | Sealing member exchange type gate valve system, sealing plate and magazine for sealing plate | |
KR102267578B1 (en) | Gate valve control system and control method thereof | |
KR102207154B1 (en) | Gate valve | |
KR102160233B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR20190136698A (en) | Guide type gate valve system and cylinder apparatus | |
KR20060072920A (en) | Fpd manufacturing machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |