KR102267578B1 - Gate valve control system and control method thereof - Google Patents

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KR102267578B1
KR102267578B1 KR1020200013071A KR20200013071A KR102267578B1 KR 102267578 B1 KR102267578 B1 KR 102267578B1 KR 1020200013071 A KR1020200013071 A KR 1020200013071A KR 20200013071 A KR20200013071 A KR 20200013071A KR 102267578 B1 KR102267578 B1 KR 102267578B1
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KR
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driving unit
unit
driving
air
control unit
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KR1020200013071A
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Inventor
최기선
김상민
정규재
Original Assignee
프리시스 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a gate valve. More specifically, the present invention relates to a gate valve control system and a control method thereof, wherein the gate valve control system can configure a first driving unit and a second driving unit including a single-acting cylinder, control the driving of the first driving unit and the second driving unit by a simple operation of supplying or recollecting the air to or from a single pneumatic unit, and control the opening/closing the gate valve thereby. In accordance with the present invention, the gate valve control system comprises: a valve housing (100) with openings on both sides to provide a flow passage, and have a driving space (120) inside; a blade (200) slidably placed in the driving space (120) to open/close the flow passage; a driving unit (300) which includes a first driving unit (310) rotating and driving the blade (200) and a second driving unit (320) elevating/lowering and driving the blade (200); a pneumatic unit (400) which provides a pneumatic pressure for driving the driving unit (300); and a control unit (500) which transfers the air supplied from the pneumatic unit (400), and controls the entry/exit of the air of the first driving unit (310) or the second driving unit (320). The control unit (500) includes: a first control unit (510) opened/closed to control the entry/exit of the air of the first driving unit (310) in accordance with whether the second driving unit (320) is driven or not; and a second control unit (520) opened/closed to control the entry/exit of the air of the second driving unit (320) in accordance with whether the first driving unit (310) is driven or not.

Description

게이트 밸브 제어시스템 및 그 제어방법{Gate valve control system and control method thereof}Gate valve control system and control method thereof

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 상세하게는 단동식 실린더를 포함하는 제1구동부 및 제2구동부를 구성하되 하나의 공압부에서 공기를 공급 또는 회수하는 간단한 조작에 의해 제1구동부와 제2구동부의 구동을 제어함으로써 게이트 밸브의 개폐를 제어하는 것을 특징으로 하는, 게이트 밸브 제어시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, by a simple operation of supplying or recovering air from one pneumatic unit to a first driving unit and a second driving unit including a single-acting cylinder, the first driving unit and the second driving unit It relates to a gate valve control system and a control method thereof, characterized in that the opening and closing of the gate valve is controlled by controlling the driving of the .

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 LCD 기판이나 반도체 소자 및 솔라 셀(solar cell)등을 제조하기 위한 공정은 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구된다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되게 되는데, 이때 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐 기술은 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.In general, since semiconductors require high precision, a process for manufacturing LCD substrates, semiconductor devices, and solar cells requires high cleanliness and special manufacturing technology. For this reason, semiconductor devices are manufactured in a vacuum state that can most completely block the contact of foreign substances contained in the air. At this time, the sealing technology between the vacuum working area and the atmosphere of the semiconductor manufacturing equipment greatly affects the quality of semiconductor products. .

반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 동안 공정 압력조절 및 공정챔버 내부에서 반응한 가스 및 이물질 등이 다음 공정에 영향을 끼치지 않도록 배출하기 위한 과정을 갖는다. 이러한 공정 압력조절 및 공정챔버 내부의 가스 및 이물질을 배출하기 위한 장비로 진공펌프가 사용되며, 상기 진공펌프와 공정챔버 사이에 구비되어 진공펌프의 흡입력이 공정챔버로 전달되는 것을 개폐하기 위해 펜듈럼(Pendulum, 진자) 타입의 게이트 밸브(Gate Valve)가 사용되고 있다.During the process of integrating semiconductor devices, there is a process for regulating process pressure and discharging gases and foreign substances reacted inside the process chamber so as not to affect the next process. A vacuum pump is used as equipment for controlling the process pressure and discharging gas and foreign substances inside the process chamber, and is provided between the vacuum pump and the process chamber to open and close a pendulum ( A pendulum type gate valve is being used.

종래 기술인 특허 문헌1의 "반도체 설비용 진자 밸브"에는, 공정챔버와 진공펌프를 연결하는 배기라인에 설치되는 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치되는 진자 플레이트; 상기 진자 플레이트의 진자이동과 업다운이동을 위한 구동부재를 포함하는 구성에 대해 게시하고 있다.The "pendulum valve for semiconductor equipment" of Patent Document 1, which is a prior art, includes a body installed in an exhaust line connecting a process chamber and a vacuum pump; a pendulum plate installed inside the body; A configuration including a driving member for pendulum movement and up-down movement of the pendulum plate has been published.

통상적으로, 진자 타입의 게이트 밸브 조립체는 밸브 하우징, 밸브 하우징 내부에 중심축을 기준으로 진자운동을 하게 되는 진자 플레이트, 상기 진자 플레이트를 업다운 시키는 제2구동부, 그리고 상기 진자 플레이트를 회전시키는 제1구동부를 포함할 수 있다. Typically, a pendulum-type gate valve assembly includes a valve housing, a pendulum plate for pendulum movement with respect to a central axis inside the valve housing, a second driving unit for moving the pendulum plate up and down, and a first driving unit for rotating the pendulum plate. may include

대개 상기 진자 플레이트의 이동은 완전개방위치와 중간위치 사이에서 제1구동부에 의해 회전 이동한 다음, 상기 중간위치로부터 제2구동부에 의해 진자 플레이트가 출구의 밸브 시트와 밀접하게 접촉하는 폐쇄위치로 길이방향 이동을 하게 되면서 게이트 밸브를 밀폐하게 된다.Usually, the movement of the pendulum plate is a rotational movement by a first actuator between a fully open position and an intermediate position, and then a length from the intermediate position to a closed position in which the pendulum plate is in close contact with the valve seat at the outlet by a second actuator. The directional movement closes the gate valve.

그러나, 제1구동부와 제2구동부를 분리하여 구동하는 과정에서 구동부를 구동하기 위한 공압 회로가 점점 복잡해지고, 이에 따라 게이트 밸브 제어시스템을 효율적으로 구성하기가 곤란하며 그 제어방법 또한 단순하지 않은 단점이 발생한다.However, in the process of separating and driving the first and second driving units, the pneumatic circuit for driving the driving unit becomes increasingly complex, and accordingly, it is difficult to efficiently configure the gate valve control system, and the control method thereof is also not simple. This happens.

특허 문헌1. 대한민국 등록특허공보 제10-1637217호Patent Document 1. Republic of Korea Patent Publication No. 10-1637217

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은, 게이트 밸브의 개폐를 위해 분리 구성되는 제1구동부와 제2구동부의 구동을 제어하는 제어시스템을 개선하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention devised in order to solve the problems of the prior art as described above, aims to improve a control system for controlling the driving of the first driving unit and the second driving unit that are separately configured to open and close a gate valve.

따라서, 단동식 실린더를 포함하는 제1구동부 및 제2구동부를 구성하되, 하나의 공압부/유압부에서 공기/유체를 공급 또는 회수하는 간단한 조작에 의해 제1구동부와 제2구동부의 구동을 제어함으로써, 게이트 밸브의 개폐가 정확하게 이루어지도록 한다.Accordingly, the first and second actuators including the single-acting cylinder are configured, and the driving of the first and second actuators is controlled by a simple operation of supplying or recovering air/fluid from one pneumatic/hydraulic unit. By doing so, the opening and closing of the gate valve is performed accurately.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the following description. will be able

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 게이트 밸브 제어시스템은, 공정챔버와 진공펌프에 연결되되 양측이 개구된 상태로 형성되어 유동통로를 제공하며, 내부에는 구동공간이 형성되는 밸브하우징; 상기 구동공간 내에서 슬라이딩 가능하도록 구비되어 유동통로를 개폐하도록 하는 블레이드; 공압 등의 구동력에 의해 상기 블레이드를 회전 구동하는 제1구동부와 승강 구동하는 제2구동부를 포함하는 구동부; 상기 구동부를 구동하기 위한 공압을 제공하는 공압부; 및 상기 공압부로부터 공급되는 공기를 상기 구동부로 전달하되, 상기 제1구동부 또는 상기 제2구동부의 공기의 출입을 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는 상기 제2구동부의 구동 여부에 따라 공기의 상기 제1구동부의 출입을 제어하도록 개폐되는 제1제어부와, 상기 제1구동부의 구동 여부에 따라 공기의 상기 제2구동부의 출입을 제어하도록 개폐되는 제2제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the gate valve control system of the present invention includes: a valve housing connected to a process chamber and a vacuum pump and formed in an open state on both sides to provide a flow path, and a driving space is formed therein; a blade provided to be slidable in the driving space to open and close the flow passage; a driving unit including a first driving unit for rotating and driving the blade by a driving force such as pneumatic and a second driving unit for lifting and lowering; a pneumatic unit providing pneumatic pressure for driving the driving unit; and a control unit that transmits the air supplied from the pneumatic unit to the driving unit, and controls the inflow of air from the first driving unit or the second driving unit; and a first control unit that opens and closes to control the entry and exit of the first driving unit, and a second control unit that opens and closes to control the entry and exit of the second driving unit of air according to whether the first driving unit is driven do.

또한, 상기 제1구동부 및 상기 제1구동부는 각각 제1실린더/제2실린더 내에서 공압에 의해 구동되는 제1피스톤/제2피스톤, 및 일측은 상기 제1피스톤/제2피스톤에 연결되고 타측은 제1스토퍼/제2스토퍼에 연결되는 제1피스톤로드/제2피스톤로드로 구성되되, 상기 제1구동부의 상기 제1피스톤의 구동 여부에 따라 상기 제1스토퍼가 상기 제2제어부를 개폐하여 상기 제2구동부의 공기의 출입을 제어하고, 상기 제2구동부의 상기 제2피스톤의 구동 여부에 따라 상기 제2 스토퍼가 상기 제1제어부를 개폐하여 상기 제1구동부의 공기의 출입을 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first driving part and the first driving part are respectively a first piston/second piston driven by pneumatic pressure in the first cylinder/second cylinder, and one end is connected to the first piston/second piston, and the other The side is composed of a first piston rod/second piston rod connected to the first stopper/second stopper, and the first stopper opens and closes the second control unit according to whether the first piston is driven by the first driving unit. controlling the inlet and out of the air of the second driving unit, and the second stopper opens and closes the first control unit according to whether the second piston of the second driving unit is driven to control the air in and out of the first driving unit characterized.

또한, 상기 제1제어부 및 상기 제2제어부는 각각 파일럿 방식의 제1체크밸브/제2체크밸브, 및 상기 제1체크밸브/제2체크밸브를 파일럿 개방하는 제1가이드/ 제2가이드로 구성되되, 상기 제1스토퍼가 상기 제2제어부의 상기 제2가이드에 연결 또는 분리되어 상기 제2체크밸브를 개폐함으로써 상기 제2구동부의 공기의 출입을 제어하고, 상기 제2스토퍼는 상기 제1제어부의 상기 제1가이드에 연결또는 분리되어 상기 제1체크밸브를 개폐함으로써 상기 제1구동부의 공기의 출입을 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first control unit and the second control unit are each composed of a pilot type first check valve/second check valve, and a first guide/second guide for pilot-opening the first check valve/second check valve. However, the first stopper is connected to or separated from the second guide of the second control unit to open and close the second check valve to control the inlet and exit of the air of the second driving unit, and the second stopper is the first control unit It is connected to or separated from the first guide of the opening and closing the first check valve, characterized in that to control the inlet and out of the air of the first driving unit.

또한, 완전개방위치에서 공압을 회수함으로써 상기 제1피스톤이 복귀하면서 상기 제1스토퍼는 상기 제2가이드에 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고, 상기 제2피스톤이 복귀하면서 상기 제2스토퍼는 상기 제1가이드와 분리되는 상태의 폐쇄위치가 되며, 다시 공압을 공급함으로써 상기 제2피스톤이 구동되면서 상기 제2스토퍼는 상기 제1가이드와 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고, 상기 제1피스톤이 구동되면서 상기 제1스토퍼는 상기 제2가이드와 분리되는 상태의 상기 완전개방위치가 되는 것을 특징으로 한다.In addition, by recovering the pneumatic pressure from the fully open position, the first stopper becomes an intermediate open position in a state connected to the second guide while the first piston is returned, and as the second piston returns, the second stopper becomes the It becomes a closed position separated from the first guide, and as the second piston is driven by supplying air again, the second stopper becomes an intermediate open position in a state in which it is connected to the first guide, and the first piston is While being driven, the first stopper is characterized in that it becomes the fully open position in a state in which it is separated from the second guide.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법은, 상기 공압부에서 공기를 공급하여, 상기 제2구동부의 상기 제2스토퍼는 상기 제1제어부의 상기 제1가이드에 연결되고 상기 제1구동부의 상기 제1스토퍼는 상기 제2제어부의 상기 제2가이드와 분리되는 단계; 상기 공압부에서 공기를 회수하여, 상기 제1구동부의 상기 제1스토퍼는 상기 제2제어부의 상기 제2가이드에 연결되는 단계; 상기 공압부에서 공기의 회수를 계속 진행하여, 상기 제2구동부의 상기 제2스토퍼는 상기 제1제어부의 상기 제1가이드와 분리되는 단계; 및 상기 공압부에서 공기를 공급하여, 상기 제2구동부의 상기 제2스토퍼는 상기 제1제어부의 상기 제1가이드에 연결되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, in the gate valve control method according to an embodiment of the present invention, by supplying air from the pneumatic unit, the second stopper of the second driving unit is connected to the first guide of the first control unit and the first separating the first stopper of the driving unit from the second guide of the second control unit; recovering air from the pneumatic unit, and connecting the first stopper of the first driving unit to the second guide of the second control unit; continuing the recovery of air from the pneumatic unit so that the second stopper of the second driving unit is separated from the first guide of the first control unit; and supplying air from the pneumatic unit so that the second stopper of the second driving unit is connected to the first guide of the first control unit.

본 발명의 게이트 밸브 제어시스템에 따르면, 게이트 밸브의 개폐를 위해 분리 구성되는 제1구동부와 제2구동부의 구동을 최적으로 제어하는 제어시스템을 구성할 수 있게 된다.According to the gate valve control system of the present invention, it is possible to configure a control system that optimally controls the driving of the first driving unit and the second driving unit, which are separately configured for opening and closing the gate valve.

따라서, 단동식 실린더를 포함하는 제1구동부 및 제2구동부를 구성하되, 하나의 공압부에서 공기를 공급 또는 회수하는 간단한 조작에 의해 제1구동부와 제2구동부의 구동/복귀를 제어함으로써, 게이트 밸브의 개폐가 적절히 이루어지는 효과가 있다. Therefore, by controlling the driving/returning of the first and second driving units by a simple operation of supplying or recovering air from one pneumatic unit, the first driving unit and the second driving unit including the single-acting cylinder are configured, and the gate There is an effect that the opening and closing of the valve is performed properly.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects obtainable in the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains from the description below. .

본 발명에 관한 이해를 돕기 위해 상세한 설명의 일부로 포함되는, 첨부 도면은 본 발명에 대한 실시 예를 제공하고, 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 특징을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어시스템의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법에 따른 제1 동작도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법에 따른 제2 동작도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법에 따른 제3 동작도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법에 따른 제4 동작도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included as a part of the detailed description to help the understanding of the present invention, provide embodiments of the present invention, and together with the detailed description, explain the technical features of the present invention.
1 is a perspective view of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram of a gate valve control system according to an embodiment of the present invention.
4 is a first operation diagram according to a gate valve control method according to an embodiment of the present invention.
5 is a second operation diagram according to a gate valve control method according to an embodiment of the present invention.
6 is a third operation diagram according to a gate valve control method according to an embodiment of the present invention.
7 is a fourth operation diagram according to a gate valve control method according to an embodiment of the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to their ordinary or dictionary meanings, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best describe his invention. It should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that there is.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the configuration shown in the embodiments and drawings described in the present specification is merely the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all the technical spirit of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used with the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not to be interpreted ideally or excessively unless clearly defined in particular.

본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 게이트 밸브 제어시스템 및 그 제어방법의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 하며, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, an embodiment of the gate valve control system and the control method of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in the drawings, it should be noted that the same components or parts are indicated by the same reference numerals as much as possible, and in describing the present invention, detailed descriptions of related known functions or configurations are provided so as not to obscure the gist of the present invention. omit to do

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 사시도 및 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어시스템의 구성도이다. 또한, 도 4 내지 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법에 따른 동작상태를 연속적으로 나타내는 그림들이다.1 and 2 are a perspective view and a plan view of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a configuration diagram of a gate valve control system according to an embodiment of the present invention. In addition, FIGS. 4 to 7 are diagrams continuously showing operating states according to the gate valve control method according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 게이트 밸브는 공정챔버와 진공펌프에 연결되되 양측이 개구된 상태로 형성되어 유동통로를 제공하며, 내부에는 구동공간(120)이 형성되는 밸브하우징(100); 구동공간(120) 내에서 슬라이딩 가능하도록 구비되어 유동통로를 개폐하도록 하는 블레이드(200), 및 블레이드(200)를 회전 구동하는 제1구동부(310)와 승강 구동하는 제2구동부(320)를 포함하는 구동부(300)를 포함하여 구성된다.1 to 2, the gate valve of the present invention is connected to the process chamber and the vacuum pump and formed with both sides open to provide a flow path, and a valve housing in which a driving space 120 is formed. (100); A blade 200 that is provided to be slidable in the driving space 120 to open and close the flow passage, and a first driving unit 310 that rotates and drives the blade 200 and a second driving unit 320 that lifts and lowers the blade 200 . It is configured to include a driving unit (300).

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 게이트 밸브 제어시스템은 구동부(300)를 구동하기 위한 공압을 제공하는 공압부(400); 및 공압부(400)로부터 공급되는 공기를 구동부(300)로 전달하되, 제1구동부(310) 및/또는 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하는 제어부(500);를 포함하며, 제어부(500)는, 제2구동부(320)의 구동 여부에 따라 공기의 제1구동부(310)의 출입을 제어하도록 개폐되는 제1제어부(510)와, 제1구동부(310)의 구동 여부에 따라 공기의 제2구동부(320)의 출입을 제어하도록 개폐되는 제2제어부(520)를 포함하여 구성된다.In addition, as shown in FIG. 3 , the gate valve control system of the present invention includes a pneumatic unit 400 providing pneumatic pressure for driving the driving unit 300 ; and a control unit 500 that transmits the air supplied from the pneumatic unit 400 to the driving unit 300, and controls the inlet and exit of the air of the first driving unit 310 and/or the second driving unit 320; The control unit 500 includes a first control unit 510 that opens and closes to control the entry and exit of the first driving unit 310 of air according to whether the second driving unit 320 is driven, and whether the first driving unit 310 is driven. Accordingly, it is configured to include a second control unit 520 that opens and closes to control the entry and exit of the second driving unit 320 of air.

즉, 본 발명의 게이트 밸브 제어시스템은 크게 분류하면 밸브하우징(100), 블레이드(200), 구동부(300), 공압부(400), 제어부(500)를 모두 포함하여 구성되며, 이하에서 상세히 설명하기로 한다.That is, when broadly classified, the gate valve control system of the present invention is configured to include all of the valve housing 100 , the blade 200 , the driving unit 300 , the pneumatic unit 400 , and the control unit 500 , which will be described in detail below. decide to do

먼저 밸브하우징(100)에 대해 설명한다. 밸브하우징(100)은 양측이 개구된 상태로 형성되되, 공정챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)의 사이에 설치되어서 개구된 각 측이 공정챔버와 진공펌프에 연결되어 유체의 유동통로를 제공하게 된다. 유동통로는 블레이드(200)에 의해 선택적으로 개폐된다. First, the valve housing 100 will be described. The valve housing 100 is formed in an open state on both sides, and is installed between the process chamber (not shown) and the vacuum pump (not shown) so that each opened side is connected to the process chamber and the vacuum pump to flow the fluid. will provide The flow passage is selectively opened and closed by the blade 200 .

또한, 밸브하우징(100)의 내부에는 구동공간(120)이 형성된다. 따라서 하기의 제1구동부(310)에 의해 회전하게 되는 상기 블레이드(200)가 구동공간(120) 내에서 슬라이딩 하면서 유동통로를 개방하거나 폐쇄하도록 한다. In addition, a driving space 120 is formed inside the valve housing 100 . Accordingly, the blade 200 rotated by the following first driving part 310 opens or closes the flow passage while sliding in the driving space 120 .

다음으로 블레이드(200)에 대해 설명한다. 블레이드(200)는 구동부(300)에 의해 밸브하우징(100)의 내부에 형성되는 구동공간(120) 내에서 슬라이딩 가능하도록 구비되어 유동통로를 개방하거나 폐쇄하도록 구성되며, 특히 블레이드(200)의 슬라이딩은 구동부(300)의 제1구동부(310)에 의해 회전하게 되면서 진자 운동하는 방식으로 이루어진다.Next, the blade 200 will be described. The blade 200 is slidably provided in the driving space 120 formed inside the valve housing 100 by the driving unit 300 to open or close the flow passage, and in particular, the sliding of the blade 200 . is rotated by the first driving unit 310 of the driving unit 300 and is made in such a way that the pendulum moves.

즉, 블레이드(200)는 유동통로를 통한 유동이 완전히 허용되는 위치인 완전개방위치와, 블레이드(200)가 슬라이딩되어 유동통로와 일치하는 상태에서 블레이드(200)와 밸브하우징(100)의 이격한 틈 사이로 유동이 제한적으로 허용되는 위치인 중간개방위치 사이를, 진자 운동하면서 슬라이딩 하게 된다.That is, the blade 200 has a fully open position, which is a position where flow through the flow passage is completely allowed, and the blade 200 and the valve housing 100 are spaced apart in a state where the blade 200 is slid and coincides with the flow passage. It slides with pendulum motion between the intermediate open positions, which are positions where the flow is limitedly allowed between the gaps.

블레이드(200)는 제1구동부(310)의 기어장치(316)의 회전축(미도시)에 일 측이 연결되어, 완전개방위치와 중간개방위치 사이에서 밸브의 유동통로의 상하 방향 축에 대하여 측방향으로 슬라이딩 이동하게 된다. One side of the blade 200 is connected to the rotational shaft (not shown) of the gear device 316 of the first driving unit 310, and the side with respect to the vertical axis of the flow passage of the valve between the fully open position and the intermediate open position. sliding in the direction.

또한, 블레이드(200)는 제1구동부(310)가 구동되어 블레이드(200)가 완전개방위치와 중간개방위치 사이에서 선택적으로 슬라이딩 이동하게 되는 것 이외에도, 블레이드(200)가 중간개방위치에 있을 때에는 제2구동부(320)가 구동되어 블레이드(200) 전체 또는 일부 구성요소가 상승 또는 하강함으로써 블레이드(200)가 폐쇄위치에 놓이게 되어 유동통로를 완전히 밀폐하도록 한다.In addition, the blade 200 is driven by the first driving unit 310 to selectively slide the blade 200 between the fully open position and the intermediate open position. When the blade 200 is in the intermediate open position, The second driving unit 320 is driven to raise or lower all or some of the components of the blade 200 so that the blade 200 is placed in a closed position to completely seal the flow passage.

다음으로, 구동부(300)에 대해 설명한다, 구동부(300)는 공압(또는 유압)에 의해 완전개방위치와 중간개방위치 사이에서 블레이드(200)를 슬라이딩 회동하도록 구동되는 제1구동부(310)와, 중간개방위치에서 블레이드(200)를 승강하도록 구동되는 제2구동부(320)로 구성된다.Next, the driving unit 300 will be described. The driving unit 300 is a first driving unit 310 driven to slide and rotate the blade 200 between a fully open position and an intermediate open position by pneumatic (or hydraulic) pressure. , and a second driving unit 320 driven to elevate the blade 200 in an intermediate open position.

제1구동부(310)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이 밸브하우징(100)의 일 측에 구비되되 제1실린더(312)와 기어장치(316)를 포함하여 구성되며, 제1실린더(312)의 내부에서 왕복 구동되는 제1피스톤(313)과, 제1피스톤(313)과 연결되며 제1피스톤(313)의 운동을 제1실린더(312) 외부로 전달하는 제1피스톤로드(314)가 구비되며, 제1피스톤로드(314)의 외주면에는 길이방향을 따라 수평기어(미도시)가 추가로 형성된다. The first driving unit 310 is provided on one side of the valve housing 100 as shown in FIGS. 1 and 2 , and includes a first cylinder 312 and a gear device 316 , and a first cylinder 312 . ), the first piston 313 reciprocally driven inside, and the first piston rod 314 connected to the first piston 313 and transmitting the motion of the first piston 313 to the outside of the first cylinder 312 . is provided, and a horizontal gear (not shown) is additionally formed on the outer peripheral surface of the first piston rod 314 in the longitudinal direction.

기어장치(316)는 제1실린더(312)의 제1피스톤로드(314)의 수평기어에 치합되어서 제1피스톤로드(314)의 이동에 따라 회전되면서 블레이드(200)를 회전시키도록 구성된다.The gear device 316 is meshed with the horizontal gear of the first piston rod 314 of the first cylinder 312 and is configured to rotate the blade 200 while rotating according to the movement of the first piston rod 314 .

즉, 제1구동부(310)는 블레이드(200)를 회전시켜 밸브하우징(100)의 구동공간(120) 내에서 슬라이딩 되도록 구성되어서, 유동통로(110)를 폐쇄하고자 하는 경우에 블레이드(200)를 중간개방위치까지 회전시켜 유동통로(110)와 일치시키도록 하며, 반대로 유동통로(110)를 개방하고자 하는 경우 블레이드(200)를 폐쇄시의 역방향으로 완전개방위치까지 회전시키도록 한다.That is, the first driving unit 310 is configured to rotate the blade 200 to slide within the driving space 120 of the valve housing 100, so that when the flow passage 110 is to be closed, the blade 200 is operated. It is rotated to the intermediate open position to coincide with the flow passage 110 , and on the contrary, when the flow passage 110 is to be opened, the blade 200 is rotated to the fully open position in the reverse direction at the time of closing.

제2구동부(320)는 아래에서 설명하는 실린더 및 피스톤으로 구성되되, 블레이드(200)의 내부에 구비되어, 블레이드(200)가 제1구동부(310)에 의해 중간개방위치로 이동된 상태에서, 공압부(400) 등으로부터 제공되는 구동력에 의해 블레이드(200)를 승강하도록 구비될 수 있다.The second driving unit 320 is composed of a cylinder and a piston described below, provided inside the blade 200, in a state in which the blade 200 is moved to the intermediate open position by the first driving unit 310, It may be provided to elevate the blade 200 by a driving force provided from the pneumatic unit 400 and the like.

또한, 제2구동부(320)는 실린더 및 피스톤으로 구성되되, 제1구동부(310)와 마찬가지로 밸브하우징(100)의 일 측에 구비되어, 공압부(400) 등으로부터 제공되는 구동력에 의해 구동되고 블레이드(200)를 승강하도록 구비될 수 있다.In addition, the second driving unit 320 is composed of a cylinder and a piston, and is provided on one side of the valve housing 100 like the first driving unit 310 and is driven by a driving force provided from the pneumatic unit 400 and the like. It may be provided to elevate the blade 200 .

도 3 내지 7에 도시된 바와 같이, 제1구동부(310)는 제1실린더포트(311)를 통해 제1실린더(312) 내로 유입되는 공기에 의해 구동되어 블레이드(200)를 회전하도록 하는 제1피스톤(313)과, 일측은 제1피스톤(313)에 연결되고 타측은 제1스토퍼(315)에 연결되는 제1피스톤로드(314)를 포함한다.3 to 7 , the first driving unit 310 is driven by air introduced into the first cylinder 312 through the first cylinder port 311 to rotate the blade 200 . It includes a piston 313 and a first piston rod 314 having one end connected to the first piston 313 and the other end connected to the first stopper 315 .

제2구동부(320)는 제2실린더포트(321)를 통해 제2실린더(322) 내에서 공압에 의해 구동되어 블레이드(200)를 승강하도록 하는 제2피스톤(323)과, 일측은 제2피스톤(323)에 연결되고 타측은 제2스토퍼(325)에 연결되는 제2피스톤로드(324)를 포함한다.The second driving unit 320 is driven by pneumatic pressure in the second cylinder 322 through the second cylinder port 321 to elevate the blade 200 with a second piston 323 and one side of the second piston It is connected to the 323 and the other side includes a second piston rod 324 connected to the second stopper (325).

구동부(300)는 제어부(500)와 연동하여 작동하도록 구성되는데, 구동부(300)의 제1, 제2피스톤(313, 323)의 구동 여부에 따라 제1, 제2피스톤(313, 323)에 제1, 제2피스톤로드(314, 324)를 통해 외부에 연결된 제1, 제2스토퍼(315, 325)를 이용하여 제어부(500)를 개폐하도록 제어한다.The driving unit 300 is configured to operate in conjunction with the control unit 500, depending on whether the first and second pistons 313 and 323 of the driving unit 300 are driven. The control unit 500 is controlled to open and close using the first and second stoppers 315 and 325 connected to the outside through the first and second piston rods 314 and 324 .

상세하게는, 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)의 구동 여부에 따라 제1스토퍼(315)가 제어부(500) 가운데 하기의 제2제어부(520)를 개폐함으로써 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하고, 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)의 구동 여부에 따라 제2 스토퍼(325)가 하기의 제1제어부(510)를 개폐함으로써 제1구동부(310)의 공기의 출입을 제어하게 된다.In detail, the first stopper 315 opens and closes the second control unit 520 of the control unit 500 according to whether the first piston 313 of the first driving unit 310 is driven, thereby the second driving unit 320 ), and the second stopper 325 opens and closes the following first control unit 510 according to whether the second piston 323 of the second driving unit 320 is driven, thereby the first driving unit 310 ) to control the inflow of air.

한편, 구동부(300)의 각 실린더가 단동식으로 작동하는 구조인 경우에는 제1, 제2실린더포트(311, 321)는 제1, 제2실린더(312, 322)로 공기가 유입되거나, 제1, 제2실린더(312, 322)로부터 공기가 유출되는 통로를 겸용하게 된다.On the other hand, when each cylinder of the driving unit 300 has a single-acting structure, the first and second cylinder ports 311 and 321 air flows into the first and second cylinders 312 and 322, or It serves as a passage through which air flows out from the first and second cylinders (312, 322).

즉, 구동부(300)의 실린더는 단동식으로 구성되어 제1, 제2실린더(312, 322)의 제1, 제2실린더포트(311, 321)를 통해 공압을 제공하거나 차단하는 방식으로 작동되는 것이 바람직하며, 또는 도시된 바와 같이 공압에 의해 이동된 제1, 제2피스톤(313, 323)의 복귀를 위한 스프링 부재(도번 없음)가 구비될 수도 있다. That is, the cylinder of the driving unit 300 is configured as a single-acting type and is operated in such a way as to provide or block air pressure through the first and second cylinder ports 311 and 321 of the first and second cylinders 312 and 322 . Preferably, as shown, a spring member (not illustrated) for returning the first and second pistons 313 and 323 moved by pneumatic pressure may be provided.

마찬가지로 구동부(300)는 복동식으로 구성되는 것을 제한하지 않는다.Likewise, the driving unit 300 is not limited to being configured as a double-acting type.

다음으로, 공압부(400)는 공기를 제어부(500)를 통하여 구동부(300)에 공급하거나 구동부(300)에 공급된 공기를 제어부(500)를 통하여 회수하도록 한다.Next, the pneumatic unit 400 supplies air to the driving unit 300 through the control unit 500 or recovers the air supplied to the driving unit 300 through the control unit 500 .

다음으로 제어부(500)에 대해 설명한다. 제어부(500)는 공압부(400)로부터 공급되는 공기를 구동부(300)로 전달하는 과정 및 구동부(300)로 공급된 공기를 공압부(400)로 회수하는 과정에서, 제1구동부(310) 또는 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하기 위해 개폐되도록 구성된다.Next, the control unit 500 will be described. In the process of transferring the air supplied from the pneumatic unit 400 to the driving unit 300 and recovering the air supplied to the driving unit 300 to the pneumatic unit 400 , the control unit 500 includes the first driving unit 310 . Alternatively, the second driving unit 320 is configured to open and close in order to control the inflow of air.

즉, 제어부(500)는 제2구동부(320)의 구동 여부에 따라 공기의 제1구동부(310)의 출입을 제어하는 제1제어부(510)와, 제1구동부(310)의 구동 여부에 따라 공기의 제2구동부(320)의 출입을 제어하는 제2제어부(520)를 포함하여 구성된다.That is, the control unit 500 includes a first control unit 510 that controls the entry and exit of the first driving unit 310 of air according to whether the second driving unit 320 is driven, and depending on whether the first driving unit 310 is driven. It is configured to include a second control unit 520 for controlling the entry and exit of the second driving unit 320 of the air.

다시, 제1제어부(510) 및 제2제어부(520)는 각각 파일럿 방식의 제1, 제2체크밸브(511, 521)와, 제1, 제2체크밸브(511, 521)를 파일럿 개방하는 제1. 제2가이드(512, 522)로 구성된다.Again, the first control unit 510 and the second control unit 520 pilot-open the first and second check valves 511 and 521 and the first and second check valves 511 and 521 of the pilot type, respectively. Article 1. It is composed of second guides (512, 522).

따라서, 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에는 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 연결 또는 분리되도록 하여 소정의 경우 제2가이드(522)가 제2체크밸브(521)를 개폐함으로써 제2제어부(520)가 개폐되어, 제2구동부(320)로 유입되는 또는 제2구동부(320)에서 유출되는 공기의 출입을 제어하게 된다.Accordingly, the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to or disconnected from the second guide 522 of the second control unit 520, so that in a predetermined case, the second guide 522 is connected to the second check valve ( By opening and closing the 521 , the second control unit 520 is opened and closed to control the ingress of air flowing into the second driving unit 320 or flowing out of the second driving unit 320 .

또한, 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에는 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)가 연결또는 분리되도록 하여 소정의 경우 제1가이드(512)가 제1체크밸브(511)를 개폐함으로써 제1제어부(510)가 개폐되어 , 제1구동부(310)로 유입되거나 제1구동부(310)에서 유출되는 공기의 출입을 제어하도록 한다.In addition, the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to or separated from the first guide 512 of the first control unit 510, so that in a predetermined case, the first guide 512 is connected to the first check valve ( By opening and closing the 511 , the first control unit 510 is opened and closed, so as to control the entry and exit of the air flowing into the first driving unit 310 or flowing out of the first driving unit 310 .

제1제어부(510)는 제1체크밸브(511), 제1가이드(512) 이외에, 공압부(400) 측에 연결되어 공압부(400)의 공기가 유입되도록 하는 제1입구포트(513) 및 제1구동부(310) 측에 연결되어서 제1입구포트(513)로 유입된 공기가 제1구동부(310)로 유출되도록 하는 제1출구포트(514)로 구성된다.The first control unit 510 is connected to the pneumatic unit 400 in addition to the first check valve 511 and the first guide 512 to allow the air of the pneumatic unit 400 to flow in the first inlet port 513 . and a first outlet port 514 connected to the first driving unit 310 so that the air introduced into the first inlet port 513 flows out to the first driving unit 310 .

마찬가지로, 제2제어부(520)는 제2체크밸브(521), 제2가이드(522) 이외에, 공압부(400) 측에 연결되어서 공압부(400)의 공기가 유입되도록 하는 제2입구포트(523) 및 제2구동부(320) 측에 연결되어서 제2입구포트(523)로 유입된 공기가 제2구동부(320)로 유출되도록 하는 제2출구포트(524)로 구성된다.Similarly, the second control unit 520 is connected to the pneumatic unit 400 side in addition to the second check valve 521 and the second guide 522 so that the air of the pneumatic unit 400 flows in the second inlet port ( 523 ) and a second outlet port 524 connected to the second driving unit 320 so that the air introduced into the second inlet port 523 flows out to the second driving unit 320 .

한편, 제1제어부(510) 및 제2제어부(520)의 각 입구포트(513, 523) 및 출구포트(514, 524)는 공기의 흐름 방향에 따라 출구포트 또는 입구포트가 될 수 있다. On the other hand, each of the inlet ports 513 and 523 and the outlet ports 514 and 524 of the first control unit 510 and the second control unit 520 may be an outlet port or an inlet port according to an air flow direction.

공압부(400)에서 공기를 공급하는 경우에는 공기가 제어부(500)의 입구포트(513, 523)로 유입되고 출구포트(514, 524)로 유출되어 구동부(300)로 공급되게 되지만, 공압부(400)에서 공압을 회수(또는 차단)하게 되는 경우에는 구동부(300) 내의 공기가 출구포트(514, 524)로 유입되고 입구포트(513, 523)로 유출되어 공압부(400)로 되돌아가게 되는 것이다. When air is supplied from the pneumatic unit 400 , air flows into the inlet ports 513 and 523 of the control unit 500 and flows out through the outlet ports 514 and 524 to be supplied to the driving unit 300 , but the pneumatic unit When the pneumatic pressure is recovered (or blocked) at 400 , the air in the driving unit 300 flows into the outlet ports 514 and 524 and flows out to the inlet ports 513 and 523 to return to the pneumatic unit 400 . will become

본 발명의 게이트 밸브 제어시스템은, 블레이드(200)가 완전개방위치 -> 중간개방위치 -> 폐쇄위치 -> 중간개방위치 -> 완전개방위치로 이동하도록 하는 구조이다.The gate valve control system of the present invention has a structure such that the blade 200 moves to a fully open position -> intermediate open position -> closed position -> intermediate open position -> fully open position.

블레이드(200)가 완전개방위치에 있을 때를 시작으로, 공압부(400)에서 공압의 공급을 차단(또는 회수)하는 간단한 조작에 의해 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 복귀하도록 하여 중간개방위치에 오도록 하고, 연속적으로 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 복귀하도록 하여 폐쇄위치에 오도록 할 수 있다.Starting when the blade 200 is in the fully open position, the first piston 313 of the first driving unit 310 is returned by a simple operation of blocking (or recovering) the supply of air pressure from the pneumatic unit 400 . The second piston 323 of the second driving part 320 may be returned to the closed position by continuously returning it to the intermediate open position.

또한, 블레이드(200)가 폐쇄위치에 있을 때에 공압부(400)에서 공압을 공급하는 조작에 의해, 제2구동부(320) 만을 구동하여 중간개방위치에 오도록 하고, 연속적으로 제1구동부(310)를 구동하여 완전개방위치에 오도록 할 수 있다.In addition, by the operation of supplying air pressure from the pneumatic unit 400 when the blade 200 is in the closed position, only the second driving unit 320 is driven to come to the intermediate open position, and the first driving unit 310 is continuously operated. can be driven to bring it to the fully open position.

상세히 설명하면, 공압부(400)의 공기에 의해 제1구동부(310)와 승강회전부(320)에 공압이 공급되어 제1피스톤(313) 및 제2피스톤(323)이 구동된 상태의 완전개방위치에서, 공압부(400)가 공압을 회수하도록 하면,In detail, the air pressure of the pneumatic unit 400 is supplied to the first driving unit 310 and the lifting rotating unit 320 to fully open the first piston 313 and the second piston 323 in a driven state. In the position, when the pneumatic unit 400 recovers the pneumatic pressure,

제1제어부(510)가 개방 상태 즉, 제2구동부의 제2스토퍼(325)가 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결된 상태에서, 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 복귀하면서 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고,When the first control unit 510 is open, that is, in a state in which the second stopper 325 of the second driving unit is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 , the first piston of the first driving unit 310 is As 313 returns, the first stopper 315 of the first driving unit 310 becomes an intermediate open position in a state of being connected to the second guide 522 of the second control unit 520,

연속적으로, 앞서 제2제어부(520)가 개방된 상태이므로 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 복귀하면서 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 분리되는 상태의 폐쇄위치가 되는 것이다.Continuously, since the second control unit 520 is in an open state, the second piston 323 of the second driving unit 320 returns while the second stopper 325 of the second driving unit 320 is moved to the first control unit 510 . ) of the first guide 512 and the closed position of the separated state.

다시, 폐쇄위치에서 공압부(400)가 공압을 공급하도록 하면,Again, if the pneumatic unit 400 supplies air pressure in the closed position,

제2제어부(520)가 개방된 상태 즉, 제1구동부의 제1스토퍼(315)가 제2제어부의 제2가이드(522)에 연결된 상태에서 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 구동되면서 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고,The second piston 323 of the second driving unit 320 is in the open state of the second control unit 520 , that is, in a state in which the first stopper 315 of the first driving unit is connected to the second guide 522 of the second control unit. As this is driven, the second stopper 325 of the second driving unit 320 becomes an intermediate open position in a state in which it is connected to the first guide 512 of the first control unit 510,

연속적으로, 앞서 제1제어부(510)가 개방된 상태이므로 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 구동하면서 회전강구동부(310)의 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)와 분리되는 상태의, 완전개방위치가 되는 것이다.Continuously, since the first control unit 510 is in an open state, the first stopper 315 of the rotary steel driving unit 310 is driven by the first piston 313 of the first driving unit 310 while the second control unit 520 is driven. ) in a state of being separated from the second guide 522, it becomes a fully open position.

완전개방위치에서 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)과 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)은 공급된 공압에 의해 각각 구동된 상태(open. open)이다. In the fully open position, the first piston 313 of the first driving unit 310 and the second piston 323 of the second driving unit 320 are each driven by the supplied pneumatic pressure (open. open).

공압을 회수하기 시작하여 먼저 중간개방위치가 되면 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)은 복귀된 상태(close)로 변하게 되며, 폐쇄위치가 되면 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)도 복귀된 상태(close)로 변하게 된다.When the pneumatic pressure is recovered and the first piston 313 of the first driving part 310 is in the middle open position, the first piston 313 of the first driving part 310 is changed to a closed position, and when it is in the closed position, the second piston of the second driving part 320 is reached. 323 is also changed to a closed state.

다시 공압을 공급하기 시작하여 중간개방위치가 되면, 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 구동된 상태(open)로 변하게 되며, 완전개방위치가 되면 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 구동된 상태(open)로 변하게 된다.When the air pressure is supplied again and the intermediate open position is reached, the second piston 323 of the second driving part 320 is changed to the driven state (open), and when the first driving part 310 is in the fully open position, the second piston 323 of the second driving part 320 is opened. One piston 313 is changed to a driven state (open).

본 발명의 게이트 밸브 제어시스템의 상세는 하기의 게이트 밸브 제어방법에 의해 부연 설명될 수 있다.The details of the gate valve control system of the present invention can be further described by the following gate valve control method.

본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 제어방법은, 공압부(400)에서 공기를 공급하여, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결되고 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)와 분리되는 과정에서 블레이드(200)가 게이트 밸브를 완전히 개방하는 완전개방위치에 오는 단계; 공압부(400)에서 공기를 회수하여, 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되도록 하여 중간개방위치에 오는 단계; 공압부(400)에서 공기를 추가로 회수하여, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 분리되도록 하여 블레이드(200)가 폐쇄위치에 오는 단계; 및 공압부(400)에서 공기를 공급하여, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결되도록 하여 블레이드(200)가 중간개방위치에 오는 단계; 를 포함하여 구성된다.In the gate valve control method according to an embodiment of the present invention, air is supplied from the pneumatic unit 400 , and the second stopper 325 of the second driving unit 320 is operated by the first guide ( 512) and the first stopper 315 of the first driving unit 310 is fully opened in which the blade 200 completely opens the gate valve in the process of being separated from the second guide 522 of the second control unit 520 coming to the site; recovering air from the pneumatic unit 400 so that the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 to come to an intermediate open position; By additionally recovering air from the pneumatic unit 400 , the second stopper 325 of the second driving unit 320 is separated from the first guide 512 of the first control unit 510 so that the blade 200 is closed. coming to the site; And by supplying air from the pneumatic unit 400, the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510, so that the blade 200 is opened in the middle. coming to the site; is comprised of

도 4 내지 7에서 블레이드(200)가 연속적으로 구동되는 동작 패턴에 따라 설명될 수 있는데, 도 4는 게이트 밸브가 완전개방위치에 있을 때, 도 5는 중간개방위치에 있을 때, 도 6은 폐쇄위치에 있을 때, 도 7은 다시 중간개방위치에 있을 때를 각각 나타낸다. It can be described according to the operation pattern in which the blade 200 is continuously driven in FIGS. 4 to 7 , when the gate valve is in the fully open position, FIG. 5 is in the middle open position, and FIG. 6 is closed. When in the position, Fig. 7 respectively shows when it is again in the mid-open position.

아래에서는 그림을 참고하여, 블레이드(200)가 밸브하우징(100)의 유동통로를 완전히 개방한 상태인 완전개방위치에 있는 경우를 기준으로 설명하도록 한다.Hereinafter, with reference to the figure, the description will be made based on the case in which the blade 200 is in a fully open position in a state in which the flow passage of the valve housing 100 is fully opened.

한편, 실린더 내의 피스톤이 공압에 의해 구동된 상태는 <open> 이고, 실린더 내의 공기가 회수되어 피스톤이 원래의 위치로 복귀된 상태는 <close>로 도시하였다.Meanwhile, a state in which the piston in the cylinder is driven by pneumatic pressure is shown as <open>, and a state in which the air in the cylinder is recovered and the piston is returned to its original position is shown as <close>.

그러나, 피스톤이 공압에 의해 구동된 상태를 <close> , 공압이 회수되어 피스톤이 원래의 위치로 복귀된 상태를 <open>으로 구성할 수도 있음은 당연하다.However, it is natural that the state in which the piston is driven by pneumatic <close> and the state in which the pneumatic pressure is recovered and the piston is returned to its original position may be configured as <open>.

먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 공압부(400)에서 공기를 제어부(500)를 거쳐 구동부(300)로 공급하여, 블레이드(200)가 완전개방위치에 오도록 하는 단계이다.First, as shown in FIG. 4 , air is supplied from the pneumatic unit 400 to the driving unit 300 through the control unit 500 so that the blade 200 comes to the fully open position.

즉, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결되고, 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)와 분리되는 단계이다.That is, the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 , and the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second control unit. It is a step of being separated from the second guide 522 of the 520 .

제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결되므로 제1가이드(512)가 제1체크밸브(511)를 밀어 올려 제1제어부(510)의 내부 통로를 개방한 상태이다. Since the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 , the first guide 512 pushes up the first check valve 511 to the first control unit. The internal passage of the 510 is opened.

따라서 제1제어부(510)로 전달되는 공기는 제1입구포트(513)로 유입되어 제1출구포트(514)로 유출되고, 제1구동부(310)의 제1실린더포트(311)를 통해 제1실린더(312) 내부로 유입되어서 제1피스톤(313)을 구동하도록 한다.Accordingly, the air delivered to the first control unit 510 flows into the first inlet port 513 and flows out to the first outlet port 514 , and through the first cylinder port 311 of the first driving unit 310 , the air It is introduced into the first cylinder 312 to drive the first piston 313 .

제1피스톤(313)의 구동이 완료된 상태에서는, 제1피스톤(313)에 제1피스톤로드(314)로 연결된 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)와 분리되게 된다.In a state in which the driving of the first piston 313 is completed, the first stopper 315 connected to the first piston 313 by the first piston rod 314 is coupled to the second guide 522 of the second control unit 520 and will be separated

하지만, 제1스토퍼(315)가 제2가이드(522)와 분리된 상태에서도 제2제어부(520)로 전달되는 공기는 제2입구포트(523)으로 유입되어 제2체크밸브(521)를 유동 방향으로 밀어 내면서 진행이 가능하므로 제2체크밸브(521)를 개방하면서 제2출구포트(524)를 통해 유출된다.However, even when the first stopper 315 is separated from the second guide 522 , the air delivered to the second control unit 520 flows into the second inlet port 523 to flow the second check valve 521 . Since it is possible to proceed while pushing in the direction, it flows out through the second outlet port 524 while opening the second check valve 521 .

이렇게 제2제어부(520)를 나오는 공기는 제2구동부(320)의 제2실린더포트(321)을 통해 제2실린더(322)의 내부로 유입되어 제2피스톤(323)을 상향 구동하도록 한다.The air exiting the second control unit 520 is introduced into the second cylinder 322 through the second cylinder port 321 of the second driving unit 320 to drive the second piston 323 upward.

상기와 같이 이 단계에서는 공기의 유동 (A) 및 유동 (B)가 모두 존재하여서, 제1피스톤(313) 및 제2피스톤(323)이 모두 구동된 상태(open, open)가 되며, 블레이드(200)가 게이트 밸브를 완전히 개방하는 완전개방위치에 오게 된다.As described above, in this step, both the flow (A) and the flow (B) of air exist, so that both the first piston 313 and the second piston 323 are driven (open, open), and the blade ( 200) comes to the fully open position, which fully opens the gate valve.

다음으로는 도 5에 도시된 바와 같이, 공압부(400)에서 이미 공급한 공기를 회수(또는 차단)하여 블레이드(200)가 중간개방위치에 오도록 하는 단계이다.Next, as shown in FIG. 5 , it is a step of recovering (or blocking) the air already supplied by the pneumatic unit 400 so that the blade 200 comes to an intermediate open position.

즉, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 계속 연결된 상태에서, 공기를 회수함에 따라 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되기까지의 단계이다.That is, in a state in which the second stopper 325 of the second driving unit 320 is continuously connected to the first guide 512 of the first control unit 510 , as air is recovered, the first stopper of the first driving unit 310 is This is a step until the 315 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 .

제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결되어 제1제어부(510)가 개방된 상태이므로, 공압부(400)에서 이미 공급한 공기를 역으로 회수하는 과정에서 제1구동부(310)의 제1실린더(312) 내의 공기가 제1실린더포트(311)로 유출되고 제1제어부(510)를 통해 공압부(400)로 진행하는 유동 (C)가 존재하게 된다.Since the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 and the first control unit 510 is in an open state, the pneumatic unit 400 has already supplied it. In the process of recovering one air in reverse, the air in the first cylinder 312 of the first driving unit 310 flows out to the first cylinder port 311 and proceeds to the pneumatic unit 400 through the first control unit 510 . A flow (C) will exist.

따라서, 제1피스톤(313)은 원래의 위치로 복귀하게 되고(close), 복귀를 완료하면 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결된다.Accordingly, the first piston 313 returns to its original position (close), and upon completion of the return, the first stopper 315 of the first driving unit 310 moves the second guide 522 of the second control unit 520 . ) is connected to

결국, 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 원래의 위치로 복귀하는 과정에서 블레이드(200)가 회전하도록 하므로, 블레이드(200)는 밸브하우징(100)의 유동통로와 일치하게 되지만 유동통로의 일부가 개방되는 중간개방위치에 오게 된다.As a result, since the blade 200 rotates in the process of returning the first piston 313 of the first driving unit 310 to its original position, the blade 200 coincides with the flow path of the valve housing 100, but A portion of the flow passage is brought to an open intermediate position.

참고로, 제1구동부(310)의 제1피스톤(313)이 원래의 위치로 복귀하기 전까지는 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되지 않은 상태이다. For reference, until the first piston 313 of the first driving unit 310 returns to its original position, the first stopper 315 of the first driving unit 310 moves to the second guide ( 522) is not connected.

따라서, 제2체크밸브(521)는 제2제어부(520) 내부의 유동통로를 차단하고 있게 되므로, 제2구동부(320)의 제2실린더(322) 내부의 공기가 제2제어부(520)를 통해 공압부(400)로 회수되는 흐름은 존재하지 않는다.Accordingly, since the second check valve 521 blocks the flow passage inside the second control unit 520 , the air inside the second cylinder 322 of the second driving unit 320 moves the second control unit 520 . There is no flow returned to the pneumatic unit 400 through the

상기와 같이, 이 단계에서는 공기의 유동 (C)만이 존재하여서, 제1피스톤(313)은 구동전의 원래 위치로 복귀된 상태(close)이고, 제2피스톤(323)은 구동된 상태(open)가 된다.As described above, in this step, only the air flow C exists, so that the first piston 313 is returned to its original position before driving (close), and the second piston 323 is driven (open). becomes

다음으로 도 6에 도시된 바와 같이, 공압부(400)에서 공기의 회수를 계속 진행하여 블레이드(200)가 폐쇄위치에 오도록 하는 단계이다.Next, as shown in FIG. 6 , the pneumatic unit 400 continues to recover the air to bring the blade 200 to the closed position.

즉, 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결된 상태에서, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)가 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 분리되도록 하는 단계이다.That is, in a state in which the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 , the second stopper 325 of the second driving unit 320 moves to the first This is a step of separating from the first guide 512 of the control unit 510 .

제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되어 제2제어부(520)가 개방된 상태이므로, 공압부(400)에서 이미 공급한 공기를 역으로 회수하는 과정에서 제2구동부(320)의 제2실린더(322) 내의 공기가 제2실린더포트(321)로 유출되고 제2제어부(520)를 통해 공압부(400)로 진행하는 유동 (D)가 존재하게 된다.Since the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 and the second control unit 520 is in an open state, the pneumatic unit 400 has already supplied it. In the process of recovering one air in reverse, the air in the second cylinder 322 of the second driving unit 320 flows out to the second cylinder port 321 and proceeds to the pneumatic unit 400 through the second control unit 520 . A flow (D) will exist.

따라서, 제2피스톤(323)은 원래의 위치로 복귀하게 되고, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)가 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 분리된다.Accordingly, the second piston 323 returns to its original position, and the second stopper 325 of the second driving unit 320 is separated from the first guide 512 of the first control unit 510 .

이 단계에서는 제1피스톤(313) 및 제2피스톤(323)이 모두 복귀한 상태(close, close)가 된다.In this step, both the first piston 313 and the second piston 323 are returned to the state (close, close).

결국, 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 원래의 위치로 복귀하는 과정에서 블레이드(200)가 승강하도록 하므로, 블레이드(200)는 밸브하우징(100)의 유동통로와 일치한 상태에서 유동통로를 완전히 밀폐하는 폐쇄위치에 오게 된다.As a result, the blade 200 moves up and down while the second piston 323 of the second driving part 320 returns to its original position, so that the blade 200 coincides with the flow path of the valve housing 100 . in the closed position, which completely seals the flow passage.

참고로, 전 단계인 중간개방위치에서 제1구동부(310)의 제1실린더(312) 내의 공기가 이미 유출된 상태이므로, 이 단계에서는 제1제어부(510)를 통한 공기의 회수 흐름인 유동 (C)는 더 이상 존재하지 않고 유동 (D)만 발생하게 되는 것이다.For reference, since the air in the first cylinder 312 of the first driving unit 310 has already flowed out at the intermediate open position, which is the previous step, in this step, the flow (recovery flow of air through the first control unit 510) C) no longer exists and only flow (D) occurs.

다음으로는 도 7에 도시된 바와 같이, 공압부(400)에서 공기를 공급하여 블레이드(200)가 다시 중간개방위치에 오도록 하는 단계이다.Next, as shown in FIG. 7 , the air is supplied from the pneumatic unit 400 to bring the blade 200 back to the intermediate open position.

즉, 제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결된 상태에서, 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)가 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 연결되도록 하는 단계이다.That is, in a state in which the first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 , the second stopper 325 of the second driving unit 320 moves to the first This is a step of connecting to the first guide 512 of the control unit 510 .

제1구동부(310)의 제1스토퍼(315)가 제2제어부(520)의 제2가이드(522)에 연결되어 제2체크밸브(421)가 밀어 올려져 제2제어부(520)가 개방된 상태이므로, 공기가 제2제어부(520)의 제2입구포트(523)로 유입되고 제2출구포트(524)로 유출된다. 따라서 제2제어부(520)로부터 유출된 공기가 제2구동부(320)의 제2실린더포트(321)를 통해 제2실린더(322) 내로 유입되면서 제2피스톤(323)을 상향 구동시키는 유동 (E)가 존재하게 된다. 유동 (E)는 완전개방위치를 도시한 도 4에서의 유동 (B)와 동일하다.The first stopper 315 of the first driving unit 310 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520, the second check valve 421 is pushed up, and the second control unit 520 is opened. state, air flows into the second inlet port 523 of the second control unit 520 and flows out through the second outlet port 524 . Therefore, while the air discharged from the second control unit 520 flows into the second cylinder 322 through the second cylinder port 321 of the second driving unit 320, the flow (E) that drives the second piston 323 upward. ) will exist. Flow (E) is the same as flow (B) in FIG. 4 showing the fully open position.

따라서, 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)의 구동이 완료된 상태(open)에서는 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)의 제2피스톤로드(324)에 연결된 제2스토퍼(325)가 제1제어부(510)의 제1가이드(512)와 연결되게 된다.Accordingly, when the driving of the second piston 323 of the second driving unit 320 is completed (open), the second stopper connected to the second piston rod 324 of the second piston 323 of the second driving unit 320 is opened. 325 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 .

참고로, 제2스토퍼(325)가 제1가이드(512)에 연결되기 전까지는 제1체크밸브(511)에 대하여 역방향의 흐름이라 할 수 있는 제1제어부(510)의 제1입구포트(513)로 유입되고 제1출구포트(514)로 유출되는 흐름을 제1체크밸브(511)가 차단하게 되므로, 제1구동부(310)로는 공압이 더 이상 전달되지 않는다.For reference, until the second stopper 325 is connected to the first guide 512, the first inlet port 513 of the first control unit 510, which can be said to be a reverse flow with respect to the first check valve 511, ) and the first check valve 511 blocks the flow flowing out to the first outlet port 514 , the pneumatic pressure is no longer transmitted to the first driving unit 310 .

결국, 제2구동부(320)의 제2피스톤(323)이 구동되는 과정에서 블레이드(200)가 승강하도록 하므로, 블레이드(200)는 밸브하우징(100)의 유동통로와 일치한 상태에서 승강하여 유동통로를 일부 개방하는 중간개방위치에 오게 된다.As a result, since the blade 200 is raised and lowered while the second piston 323 of the second driving unit 320 is driven, the blade 200 moves up and down while matching the flow passage of the valve housing 100 . It comes to an intermediate open position that partially opens the passage.

도시되지는 않았지만, 이후에 계속하여 공압이 제공되는 경우에는 제2구동부(320)의 제2스토퍼(325)는 제1제어부(510)의 제1가이드(512)에 연결된 상태에서, 제1가이드(512)가 제1체크밸브(511)를 밀어올려 제1제어부(310) 내부의 통로를 개방함으로써 제1구동부(310)의 공기가 제1제어부(310)를 거쳐 제1구동부(310)로 공급된다. Although not shown, when pneumatic pressure is continuously provided thereafter, the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 while the first guide 512 pushes up the first check valve 511 to open a passage inside the first control unit 310 , so that the air of the first driving unit 310 passes through the first control unit 310 to the first driving unit 310 . is supplied

제1구동부(310)로 공급되는 공기 유동은 결국 완전개방위치에 대해 도시한 도 4에서의 유동 (A)에 해당된다. 따라서 제1피스톤(313)이 구동된 상태(open) 되면서 제1피스톤(313)의 제1피스톤로드(314)에 연결된 제1스토퍼(315)는 제2제어부(520)의 제2가이드(522)와 분리됨으로써, 블레이드(200)는 다시 도 4에서처럼 완전개방위치에 오게 된다.The air flow supplied to the first driving unit 310 corresponds to the flow (A) in FIG. 4 shown in the fully open position. Accordingly, while the first piston 313 is driven (open), the first stopper 315 connected to the first piston rod 314 of the first piston 313 is connected to the second guide 522 of the second control unit 520 . ) and by being separated, the blade 200 comes to a fully open position again as in FIG. 4 .

상기한 바와 같이, 본 발명의 게이트벨브 제어방법에 따르면, 단동식으로 작동하는 실린더를 포함하는 제1구동부(310) 및 제2구동부(320)와, 상기 제1구동부(310) 또는 제2구동부(320)의 공기의 출입을 각각 제어하는 제1제어부(510) 및 제2제어부(520)를 분리 구성하되, 게이트 밸브의 개폐 제어를 위해 공압부(400)에서 공기를 공급 또는 차단(또는 회수)하는 단순한 조작에 의해 블레이드(200)가 완전개방위치 -> 중간개방위치 -> 폐쇄위치 -> 중간개방위치 -> 완전개방위치로 순차적이고 반복적으로 이동하도록 하되, 정확히 해당 위치에 위치하도록 할 수 있게 된다.As described above, according to the gate valve control method of the present invention, the first driving unit 310 and the second driving unit 320 including a single-acting cylinder, and the first driving unit 310 or the second driving unit The first control unit 510 and the second control unit 520 for controlling the inlet and out of the air of 320 are separated and configured, but air is supplied or blocked (or recovered) from the pneumatic unit 400 for opening and closing control of the gate valve ), the blade 200 is sequentially and repeatedly moved to the fully open position -> intermediate open position -> closed position -> intermediate open position -> fully open position, but it can be positioned at the exact position there will be

즉, 하나의 공압부(400)에서 제1제어부(510) 및/또는 제2제어부(520)로 공기를 공급 또는 회수하는 조작에 의해 제1구동부(310) 및/또는 제2구동부(320)의 구동을 제어함으로써 블레이드(200)가 원하는 위치에 오도록 할 수 있는 것이다.That is, by the operation of supplying or recovering air from one pneumatic unit 400 to the first control unit 510 and/or the second control unit 520 , the first driving unit 310 and/or the second driving unit 320 . By controlling the drive of the blade 200 can be brought to the desired position.

블레이드(200)가 완전개방위치에 있을 때를 시작으로, 공압부(400)에서 공압의 공급을 차단(또는 회수)하는 간단한 조작에 의해 제1구동부(310)의 구동을 복귀하도록 하여 중간개방위치에 오도록 하고, 연속적으로 제2구동부(320)의 구동을 복귀하도록 하여 폐쇄위치에 오도록 할 수 있다.Starting when the blade 200 is in the fully open position, the first driving unit 310 is restored to the middle open position by a simple operation of blocking (or recovering) the supply of air pressure from the pneumatic unit 400 . to come to, and to continuously return the driving of the second driving unit 320 to come to the closed position.

또한, 블레이드(200)가 폐쇄위치에 있을 때에 공압부(400)에서 공압을 공급하는 조작에 의해, 제2구동부(320) 만을 구동하여 중간개방위치에 오도록 하고, 연속적으로 제1구동부(310)를 구동하여 완전개방위치에 오도록 할 수 있다.In addition, by the operation of supplying air pressure from the pneumatic unit 400 when the blade 200 is in the closed position, only the second driving unit 320 is driven to come to the intermediate open position, and the first driving unit 310 is continuously operated. can be driven to bring it to the fully open position.

상기의 과정들은 하나의 공압부(400)에서 공압을 공급하거나 회수하는 단순한 조작에 의해 연속적으로 일어나게 되는 것이다.The above processes will occur continuously by a simple operation of supplying or recovering air pressure from one pneumatic unit 400 .

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been illustrated and described with reference to preferred embodiments as described above, it is not limited to the above-described embodiments, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains within the scope not departing from the spirit of the present invention Various changes and modifications will be possible.

100 : 밸브하우징
120 : 구동공간
200 : 블레이드
300 : 구동부
310 : 제1구동부
320 : 제2구동부
311, 321 : 제1, 제2실린더포트
312, 322 : 제1, 제2실린더
313, 323 : 제1, 제2피스톤
314, 324 : 제1, 제2피스톤로드
315, 325 : 제1, 제2스토퍼
316 : 기어장치
400 : 공압부
500 : 제어부
510 : 제1제어부
520 : 제2제어부
511, 521 : 제1, 제2체크밸브
512, 522 : 제1, 제2가이드
513, 523 : 제1, 제2입구포트
514, 524 : 제1, 제2출구포트100: valve housing
120: drive space
200: blade
300: drive unit
310: first driving unit
320: second driving unit
311, 321: 1st, 2nd cylinder port
312, 322: first and second cylinders
313, 323: 1st, 2nd piston
314, 324: first, second piston rod
315, 325: first and second stoppers
316: gear device
400: pneumatic unit
500: control unit
510: first control unit
520: second control unit
511, 521: first and second check valves
512, 522: first and second guides
513, 523: first and second inlet ports
514, 524: first and second exit ports

Claims (5)

삭제delete 양측이 개구된 상태로 형성되어 유동통로를 제공하며, 내부에는 구동공간(120)이 형성되는 밸브하우징(100);
상기 구동공간(120) 내에서 슬라이딩 가능하도록 구비되어 유동통로를 개폐하도록 하는 블레이드(200);
상기 블레이드(200)를 회전 구동하는 제1구동부(310)와 승강 구동하는 제2구동부(320)를 포함하는 구동부(300);
상기 구동부(300)를 구동하기 위한 공압을 제공하는 공압부(400); 및
상기 공압부(400)로부터 공급되는 공기를 상기 구동부(300)로 전달하되, 상기 제1구동부(310) 또는 상기 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하는 제어부(500);를 포함하며,
상기 제어부(500)는, 상기 제2구동부(320)의 구동 여부에 따라 공기의 상기 제1구동부(310)의 출입을 제어하도록 개폐되는 제1제어부(510)와, 상기 제1구동부(310)의 구동 여부에 따라 공기의 상기 제2구동부(320)의 출입을 제어하도록 개폐되는 제2제어부(520)를 포함하여 구성되되,
상기 제1구동부(310) 및 상기 제2구동부(320)는 각각 제1, 제2실린더(312, 322) 내에서 공압에 의해 구동되는 제1, 제2피스톤(313, 323)과, 일측은 상기 제1, 제2피스톤(313, 323)에 연결되고 타측은 제1, 제2스토퍼(315, 325)에 연결되는 제1, 제2피스톤로드(314, 324)로 구성되되, 상기 제1구동부(310)의 상기 제1피스톤(313)의 구동 여부에 따라 상기 제1스토퍼(315)가 상기 제2제어부(520)를 개폐하여 상기 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하고,
상기 제2구동부(320)의 상기 제2피스톤(323)의 구동 여부에 따라 상기 제2 스토퍼(325)가 상기 제1제어부(510)를 개폐하여 상기 제1구동부(310)의 공기의 출입을 제어하는 것을 특징으로 하는, 게이트 밸브 제어시스템.
The valve housing 100 is formed in an open state on both sides to provide a flow passage, and a driving space 120 is formed therein;
a blade 200 provided to be slidable in the driving space 120 to open and close the flow passage;
a driving unit 300 including a first driving unit 310 for rotationally driving the blade 200 and a second driving unit 320 for lifting and lowering;
a pneumatic unit 400 providing pneumatic pressure for driving the driving unit 300; and
The air supplied from the pneumatic unit 400 is delivered to the driving unit 300, but the first driving unit 310 or the second driving unit 320 is controlled by a control unit 500 for controlling the inlet and exit of the air; and ,
The control unit 500 includes a first control unit 510 that opens and closes to control the entry and exit of the first driving unit 310 of air according to whether the second driving unit 320 is driven, and the first driving unit 310 . It is configured to include a second control unit 520 that opens and closes to control the entry and exit of the second driving unit 320 of air according to whether the
The first driving unit 310 and the second driving unit 320 include first and second pistons 313 and 323 driven by pneumatic pressure in the first and second cylinders 312 and 322, respectively, and one side The first and second piston rods 314 and 324 are connected to the first and second pistons 313 and 323 and the other end is connected to the first and second stoppers 315 and 325, and the first The first stopper 315 opens and closes the second control unit 520 according to whether the first piston 313 of the driving unit 310 is driven to control the inlet and exit of the air of the second driving unit 320,
According to whether the second piston 323 of the second driving unit 320 is driven, the second stopper 325 opens and closes the first control unit 510 to control the air in and out of the first driving unit 310 . Controlling, characterized in that the gate valve control system.
 청구항 2에 있어서,
상기 제1제어부(510) 및 상기 제2제어부(520)는 각각 파일럿 방식의 제1, 제2체크밸브(511, 521)와, 상기 제1, 제2체크밸브(511, 521)를 파일럿 개방하는 제1, 제2가이드(512, 522)로 구성되되,
상기 제1스토퍼(315)는 상기 제2제어부(520)의 상기 제2가이드(522)에 연결 또는 분리되어 상기 제2체크밸브(521)를 개폐함으로써, 상기 제2구동부(320)의 공기의 출입을 제어하고,
상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1제어부(510)의 상기 제1가이드(512)에 연결또는 분리되어 상기 제1체크밸브(511)를 개폐함으로써, 상기 제1구동부(310)의 공기의 출입을 제어하는 것을 특징으로 하는, 게이트 밸브 제어시스템.
3. The method according to claim 2,
The first control unit 510 and the second control unit 520 each pilot-open the first and second check valves 511 and 521 and the first and second check valves 511 and 521 of the pilot type. It is composed of first and second guides 512 and 522,
The first stopper 315 is connected to or disconnected from the second guide 522 of the second control unit 520 to open and close the second check valve 521, so that the air of the second driving unit 320 is removed. control access,
The second stopper 325 is connected to or disconnected from the first guide 512 of the first control unit 510 to open and close the first check valve 511, so that the air of the first driving unit 310 is removed. Characterized in controlling the entrance and exit, the gate valve control system.
 청구항 3에 있어서,
완전개방위치에서 공압을 회수함으로써, 상기 제1스토퍼(315)는 상기 제2가이드(522)에 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고 상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1가이드(512)와 분리되는 상태의 폐쇄위치가 되며,
다시 공압을 공급함으로써, 상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1가이드(512)와 연결되는 상태의 중간개방위치가 되고, 상기 제1스토퍼(315)는 상기 제2가이드(522)와 분리되는 상태의 상기 완전개방위치가 되는 것을 특징으로 하는, 게이트 밸브 제어시스템.
4. The method according to claim 3,
By recovering the pneumatic pressure from the fully open position, the first stopper 315 becomes an intermediate open position in a state in which it is connected to the second guide 522 , and the second stopper 325 is connected with the first guide 512 . It becomes a closed position in a separated state,
By supplying pneumatic pressure again, the second stopper 325 becomes an intermediate open position connected to the first guide 512 , and the first stopper 315 is separated from the second guide 522 . The gate valve control system, characterized in that the fully open position of the state.
 청구항 3항에 따른 게이트 밸브 제어시스템을 이용하되,
상기 공압부(400)에서 공기를 공급하여, 상기 제2구동부(320)의 상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1제어부(510)의 상기 제1가이드(512)에 연결되고, 상기 제1구동부(310)의 상기 제1스토퍼(315)는 상기 제2제어부(520)의 상기 제2가이드(522)와 분리되는 단계;
상기 공압부(400)에서 공기를 회수하여, 상기 제1구동부(310)의 상기 제1스토퍼(315)는 상기 제2제어부(520)의 상기 제2가이드(522)에 연결되는 단계;
상기 제2구동부(320)의 상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1제어부(510)의 상기 제1가이드(512)와 분리되는 단계; 및
상기 공압부(400)에서 공기를 공급하여, 상기 제2구동부(320)의 상기 제2스토퍼(325)는 상기 제1제어부(510)의 상기 제1가이드(512)에 연결되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 게이트 밸브 제어방법.







Using the gate valve control system according to claim 3,
By supplying air from the pneumatic unit 400 , the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510 , and the first separating the first stopper 315 of the driving unit 310 from the second guide 522 of the second control unit 520;
recovering air from the pneumatic unit 400 and connecting the first stopper 315 of the first driving unit 310 to the second guide 522 of the second control unit 520;
separating the second stopper 325 of the second driving unit 320 from the first guide 512 of the first control unit 510; and
supplying air from the pneumatic unit 400 so that the second stopper 325 of the second driving unit 320 is connected to the first guide 512 of the first control unit 510; Characterized in that, the gate valve control method.
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