KR20200124285A - 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법 - Google Patents

반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20200124285A
KR20200124285A KR1020207027847A KR20207027847A KR20200124285A KR 20200124285 A KR20200124285 A KR 20200124285A KR 1020207027847 A KR1020207027847 A KR 1020207027847A KR 20207027847 A KR20207027847 A KR 20207027847A KR 20200124285 A KR20200124285 A KR 20200124285A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
command
vehicle
conveyance
transfer
transport
Prior art date
Application number
KR1020207027847A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102392084B1 (ko
Inventor
마사유키 다카하라
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20200124285A publication Critical patent/KR20200124285A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102392084B1 publication Critical patent/KR102392084B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/34—Devices for discharging articles or materials from conveyor 
    • B65G47/46—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points
    • B65G47/51—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination
    • B65G47/5104—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination for articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
    • G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
    • G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명의 과제는, 반송 명령이 할당되어 있던 반송차를 정지시키는 일 없이, 새로운 반송 장소로 하물을 반송시키는 반송 명령을 그 반송차에 다시 할당하는 것이 가능한 반송 시스템을 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 반송 시스템(SYS)은, 물품(W)을 반송하는 반송차(V)와, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령에 근거하여, 반송차(V)를 제어하는 반송 컨트롤러(TC)를 구비하며, 반송 컨트롤러(TC)는, 상위 반송 명령에 따라, 반송차(V)에 대해, 하물 픽업 장소의 물품(W)을, 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 반송 명령부(44)와, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당하는 덮어쓰기 처리부(47)와, 덮어쓰기 처리부(47)에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신하는 완료 보고부(49)를 구비한다.

Description

반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법
[0001] 본 발명은, 반송(搬送) 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법에 관한 것이다.
[0002] 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 있어서, 예컨대 반도체 웨이퍼 혹은 레티클을 수용한 하물[荷物](물품)은, 반송 시스템에 의해 반송된다. 반송 시스템은, 예컨대, 하물의 반송을 제어하는 상위 컨트롤러와, 궤도를 주행하는 복수의 반송차와, 복수의 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러를 구비하고 있다. 상위 컨트롤러는, 하물의 반송에 관한 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러에 송신한다. 복수의 반송차는, 각각, 무선 등의 통신에 의해 현재 위치 등의 정보를 반송 컨트롤러에 송신한다. 반송 컨트롤러는, 상위 컨트롤러로부터 상위 반송 명령을 수신한 경우, 반송차의 위치 등에 근거하여 상위 반송 명령을 실행시킬 반송차를 결정하고, 그 반송차에 대해 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당한다.
[0003] 상기의 반송 시스템에 있어서, 반송 명령에 근거하여 반송차가 반송원(搬送元: 반송을 하는 곳)을 향해 주행하고 있을 때 또는 반송처(搬送處: 반송을 받는 곳)를 향해 하물을 반송하고 있을 때, 그 하물의 반송처가 변경되는 경우가 있다. 특허문헌 1에는, 하물의 반송처인 로드 포트에 다른 하물이 소재하기 때문에 그 로드 포트에 하물을 올려 놓을 수 없는 경우, 그 하물의 반송처를 그 로드 포트 근방의 버퍼로 변경하는 기술이 개시(開示)되어 있다. 이 경우, 반송차가 변경 전의 반송처에 잘못하여 하물을 이재(移載: 옮겨 싣기)하는 것을 확실히 방지하기 위해, 먼저 상위 컨트롤러가 상위 반송 명령의 실행을 중지하는 명령을 반송 컨트롤러에 송신한다. 명령을 수신한 반송 컨트롤러는, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령이 할당된 반송차에 대해, 그 반송 명령을 삭제하는 중지 명령을 송신한다. 중지 명령을 수신한 반송차는, 일단 정지하는 동시에 자신(自機)에게 할당되어 있던 반송 명령을 삭제하고, 삭제가 완료되었다는 취지의 보고를 반송 컨트롤러에 송신한다. 보고를 수신한 반송 컨트롤러는, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령의 삭제가 완료되었다는 취지의 보고를 상위 컨트롤러에 송신한다. 상위 컨트롤러는, 이 보고를 수신한 후, 상기 하물을 새로운 반송처로 반송시키는 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러에 송신한다. 즉, 반송차가, 자신에게 할당되어 있던 반송 명령의 삭제가 완료되었다는 취지의 보고를 반송 컨트롤러(상위 컨트롤러)에 송신하지 않으면, 새로운 반송처로 하물을 반송시키는 반송 명령이 발생하지 않는다.
일본 특허공보 제4337683호
[0005] 그러나, 상기의 반송 시스템에서는, 중지 명령을 수신한 반송차가, 반송 명령의 삭제가 완료되었다는 취지의 보고를 송신하기 전에 일단 정지할 필요가 있어, 반송 효율이 저하되는 요인이 되고 있었다.
[0006] 본 발명은, 반송 명령이 할당되어 있던 반송차를 정지시키는 일 없이, 새로운 반송처로 하물을 반송시키는 반송 명령을 그 반송차에 다시 할당하는 것이 가능한 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0007] 본 발명의 반송 시스템은, 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차와, 상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 근거하여, 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러를 가지는 반송 시스템으로서, 반송 컨트롤러는, 상위 컨트롤러로부터 수신한 상위 반송 명령에 따라, 반송차에 대해, 하물 픽업(pick-up) 장소의 물품을 하물 언로딩(unloading) 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 반송 명령부와, 상위 컨트롤러로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩은 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기(overwrite)하여 그 반송차에 할당하는 덮어쓰기 처리부와, 덮어쓰기 처리부에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신하는 완료 보고부를 구비한다.
[0008] 또한, 반송 명령부는, 덮어쓰기 처리부에 의해 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차에 대해, 상위 컨트롤러가 중지 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차가 유지(保持)하고 있는 물품에 관해 새롭게 나오는 상위 반송 명령에 따른 반송 명령을 할당해도 된다. 또한, 덮어쓰기 처리부는, 소정 위치를, 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로의 분기부에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정해도 된다. 또한, 덮어쓰기 처리부는, 소정 위치를, 반송 명령이 할당되어 있는 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 반송차의 현재 위치로부터 하물 픽업 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하고, 반송차가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 반송차의 현재 위치로부터 하물 언로딩 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정해도 된다. 또한, 반송 명령부는, 소정 위치로서, 덮어쓰기 처리부가 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기하여 할당하였을 때, 그 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우, 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차에 대해, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소로의 반송 명령만을 할당해도 된다.
[0009] 본 발명의 반송 컨트롤러는, 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차를, 상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 근거하여 제어하는 반송 컨트롤러로서, 상위 컨트롤러로부터 수신한 상위 반송 명령에 따라, 반송차에 대해, 하물 픽업 장소의 물품을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 반송 명령부와, 상위 컨트롤러로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차에 할당하는 덮어쓰기 처리부와, 덮어쓰기 처리부에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신하는 완료 보고부를 구비한다.
[0010] 본 발명의 반송차의 제어 방법은, 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차를 제어하는 반송차의 제어 방법으로서, 상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 따라, 반송차에 대해, 하물 픽업 장소의 물품을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 것과, 상위 컨트롤러로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차에 할당하는 것과, 이동 명령의 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신하는 것을 구비한다.
[0011] 본 발명에 따른 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법에 의하면, 상위 컨트롤러로부터 상위 중지 명령을 수신하였을 때, 반송 컨트롤러가, 반송차에 할당되어 있는 반송 명령을 삭제하는 것이 아니라, 소정 위치까지 주행시키고 또한 그 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하고, 그 덮어쓰기가 완료되었을 때 상기 상위 중지 명령의 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신함으로써, 반송 명령이 할당되어 있던 반송차를 정지시키는 일 없이, 상기 완료 보고에 따라 상위 컨트롤러로부터 송신되는 새로운 반송 명령을 상기 반송차에 다시 할당할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법에 의하면, 반송 컨트롤러의 덮어쓰기 처리부가, 상위 중지 명령에 따라, 반송차에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령에 덮어쓰기하여, 완료 보고부가 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신하므로, 반송차를 정지시키는 일 없이, 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러에 조기에 확실하게 송신할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법에 의하면, 상위 컨트롤러는, 중지 완료 보고를 수신함으로써 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러에 송신할 수 있으며, 이 상위 반송 명령에 근거하여, 반송 컨트롤러가 새로운 반송 명령을 주행 중인 반송차에 할당하므로, 상위 반송 명령의 중지에 수반하는 물품의 반송 효율의 저하를 확실히 억제할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법은, 기존의 반송 시스템에 있어서의 상위 컨트롤러를 변경하는 일 없이, 반송 컨트롤러만을 변경함으로써 실시할 수 있으므로, 간편하게 저비용으로 도입할 수 있다.
[0012] 또한, 반송 명령부가, 덮어쓰기 처리부에 의해 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차에 대해, 상위 컨트롤러가 중지 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차가 유지하고 있는 물품에 관해 새롭게 나오는 상위 반송 명령에 따른 반송 명령을 그 반송차에 할당하는 형태에서는, 덮어쓰기 처리부에 의해 반송 명령을 덮어쓰기한 반송차가 유지하고 있는 물품에 관한 새로운 상위 반송 명령을 다른 반송차에 대해 할당하면, 물품을 교체하여 실을 필요가 있어 반송 효율이 저하되는데, 본 형태에 의하면, 반송차가 유지하고 있는 물품에 관해 새롭게 나오는 상위 반송 명령을 그 반송차에 대해 할당하므로, 그 물품에 대한 반송 효율이 저하되는 것을 확실히 억제할 수 있다.
[0013] 또한, 덮어쓰기 처리부가, 소정 위치로서, 반송 명령을 덮어쓰기한 반송차의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로의 분기부에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하는 형태에서는, 이동 명령의 목적지가, 반송차가 주행을 예정하고 있던 경로 상의 위치가 되어, 원래 그 경로를 주행 중이기 때문에, 반송차는 새로운 경로를 주행할 수 있게 된다. 그 결과, 반송차(V)에 대한 덮어쓰기 처리를 보다 확실하게 실행할 수 있다.
[0014] 또한, 덮어쓰기 처리부가, 소정 위치로서, 반송 명령이 할당되어 있는 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 그 반송차의 현재 위치로부터 하물 픽업 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하고, 그 반송차가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 반송차의 현재 위치로부터 하물 언로딩 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하는 형태에서는, 덮어쓰기 처리부에 의해 덮어쓰기된 반송차에 있어서의 새로운 이동 장소가, 그 반송차가 반송 명령을 덮어쓰기하기 전의 반송 명령의 이동 장소와 동일하므로, 덮어쓰기 처리를 용이하게 행함으로써 반송 컨트롤러의 부담을 경감할 수 있다.
[0015] 또한, 반송 명령부가, 덮어쓰기 처리부가 반송 명령에 덮어쓰기하여 이동 명령을 할당하였을 때, 그 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우, 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차에 대해, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소로의 반송 명령만을 할당하는 형태에서는, 반송 명령이 중지된 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있으므로, 그 반송차에 새로운 반송 명령을 할당함으로써 하물 픽업 장소의 물품을 조기에 픽업시킬 수 있어, 그 물품에 있어서의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
도 1은, 실시형태에 따른 반송 시스템의 일례를 나타낸 도면이다.
도 2는, 반송차의 일례를 나타낸 도면이다.
도 3은, 반송 컨트롤러의 기능 블록 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
도 4는, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
도 5는, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 도면이다.
도 6은, 도 5에 이어서, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
도 8은, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
도 9는, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
도 10은, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
도 11은, 반송 시스템의 동작의 일례를 나타낸 플로우챠트이다.
[0017] 이하에서는, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 이 형태로 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시형태를 설명하기 위해, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 도 2에서는, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 내의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면으로 한다. 이 XY 평면에 있어서 반송차(V)가 주행하는 방향을 X방향으로 표기하고, X방향에 직교하는 방향을 Y방향으로 표기한다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z방향으로 표기한다. X방향, Y방향 및 Z방향의 각각은, 도면 내의 화살표 방향이 ＋방향이고, 화살표와 반대되는 방향이 -방향인 것으로 하여 설명한다.
[0018] 도 1은, 실시형태에 따른 반송 시스템 및 반송 컨트롤러의 일례를 나타낸 도면이다. 본 실시형태에 따른 반송 시스템(SYS)은, 반송차(V)에 의해 물품(W)을 반송하는 시스템이다. 반송 시스템(SYS)은, 예컨대, 반도체 공장에 설치된다. 물품(W)은, 예컨대, 웨이퍼 또는 레티클 등을 수용 가능한 FOUP, SMIF Pod, 레티클 Pod 등이다.
[0019] 반송 시스템(SYS)은, 예컨대, 상위 컨트롤러(MC)와, 본 실시형태에 따른 반송 컨트롤러(TC)와, 복수의 반송차(V)를 구비한다. 또한, 도 1 등에서는, 복수의 반송차(V) 중 1대의 반송차(V)만을 나타내는 경우도 있다.
[0020] 각 반송차(V)는, 소정의 궤도(TA)(경로)를 따라 주행하며, 물품(W)을 반송한다. 경로(TA)는, 분기부(10) 및 합류부(11)를 포함한다. 경로(TA)는, 임의로 설정이 가능하다. 각 반송차(V)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터 할당된 반송 명령에 따라, 물품(W)을 반송한다.
[0021] 반송차(V)의 구성에 대해 설명한다. 도 2는, 반송차(V)의 구성의 일례를 나타낸 것이다. 반송차(V)는, 예컨대, 건물의 천장(1) 등에 매달린 궤도(TA)를 따라 ＋X방향으로 주행하여, 궤도(TA)의 하방(수직 하방), 혹은 하방인 동시에 측방(Y방향을 포함하는 방향)에 배치된 하물 픽업 장소에서 물품(W)을 픽업하고, 궤도(TA)의 하방, 혹은 하방인 동시에 측방에 배치된 하물 언로딩 장소에서 물품(W)을 언로딩하는 천장 반송차이다.
[0022] 반송차(V)는, 차재(車載) 컨트롤러(VC)를 구비하고 있다. 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)의 각종 동작(예컨대, 주행, 속도 제어(가속, 감속, 정지), 하물 픽업의 실행에 관한 동작, 하물 언로딩의 실행에 관한 동작)을 제어한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터 송신되는 명령에 따라, 반송차(V)를 제어한다. 반송 컨트롤러(TC)는, 예컨대, 반송차(V)를 제어하는 명령으로서, 상기한 반송 명령, 이후에 설명할 이동 명령 등을, 반송차(V)에 송신한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 예컨대, CPU, 메인 메모리, 기억 장치, 통신 장치 등을 구비하며, 각종 정보의 처리를 행하는 컴퓨터 장치이다. 차재 컨트롤러(VC)는, 예컨대, 각종 정보(데이터)의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행한다.
[0023] 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)의 상태를 나타내는 상태 정보를 관리한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터 정기적으로 송신되는 상태 정보 요구에 응답하는 양식으로, 상태 정보를 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 차재 컨트롤러(VC)와 반송 컨트롤러(TC) 간에 행해지는 상태 정보 요구 및 상태 정보에 관한 통신은, 소정의 시간마다 정기적으로 행해진다. 반송 컨트롤러(TC)는, 각 반송차(V)로부터 상태 정보를 정기적으로 수신함으로써, 관리하의 각 반송차(V)의 최신 상태, 반송 컨트롤러(TC) 자신이 반송차(V)에 송신한 각종 명령의 최신 상태를 파악하여 관리한다.
[0024] 반송차(V)의 상태 정보는, 예컨대, 반송차(V)의 현재 위치를 나타내는 정보(현재 위치 정보), 주행에 관한 정보(예컨대, 속도, 정지 등), 물품(W)의 유지(保持) 유무에 관한 정보, 반송 컨트롤러(TC)로부터 송신된(할당된) 각종 명령의 상태(상황)에 관한 정보를 포함한다. 상태 정보에 있어서의 각종 명령의 상태에 관한 정보는, 예컨대, 각종 명령의 할당 완료 혹은 실패(불가능), 각종 명령(예컨대, 반송 명령, 이동 명령)의 실행 완료 혹은 실패, 각종 명령에 관한 동작 혹은 처리(예컨대, 주행, 하물 픽업, 하물 언로딩)의 실행 완료 혹은 실패 등을 나타내는 정보 등을 포함한다. 반송 컨트롤러(TC)는, 각 반송차(V)로부터 정기적으로 송신되는 상태 정보를 수신함으로써, 각 반송차(V)의 상태, 각 반송차(V)에 대한 명령의 실행 상태 등을 파악하여, 각 반송차(V)의 관리 및 제어를 행한다.
[0025] 반송차(V)는, 주행부(M)와, 본체부(3)를 구비한다. 주행부(M)는, 차륜(4)을 구비하며, 도시되지 않은 주행 구동부에 의해 궤도(TA)(경로)를 따라 주행한다. 본체부(3)는, 주행부(M)의 하방에 매달린 상태로 설치된다. 본체부(3)는, 이재 장치(5)를 구비한다. 이재 장치(5)는, 물품(W)을 유지하는 물품 유지부(6)와, 물품 유지부(6)를 승강시키는 승강 구동부(7)와, 승강 구동부(7)를 궤도(TA)의 측방(＋Y방향 또는 -Y방향)으로 이동시키는 횡출(橫出) 기구(8)를 구비한다.
[0026] 물품 유지부(6)는, 이동 가능한 클로(claw)부(6a)를 가지는 척(chuck)이며, 클로부(6a)를 물품(W)의 플랜지부(Wa)의 하방으로 진입시켜, 물품(W)을 매달아 유지한다. 물품 유지부(6)는, 와이어 또는 벨트 등의 서스펜딩(suspending) 부재(6b)와 접속되어 있다. 승강 구동부(7)는, 예컨대, 호이스트(hoist)이며, 서스펜딩 부재(6b)를 풀어내거나 감음으로써 물품 유지부(6)를 승강시킨다. 횡출 기구(8)는, 복수의 가동판(可動板)을 슬라이딩시킴으로써, 물품 유지부(6) 및 승강 구동부(7)를, 본체부(3)에 격납(格納)한 위치로부터 궤도(TA)의 측방으로 이동시킨다. 반송차(V)에 의한 물품(W)의 픽업 및 언로딩은, 상기한 물품 유지부(6), 혹은, 승강 구동부(7) 및 횡출 기구(8)를 이용하여 실시된다. 물품 유지부(6), 승강 구동부(7), 및 횡출 기구(8)의 동작은, 차재 컨트롤러(VC)에 의해 제어된다.
[0027] 차재 컨트롤러(VC)는, 하물 픽업 장소에서 물품(W)의 픽업을 행하는 경우, 반송차(V)를 하물 픽업 장소에 맞추어 정지시키고, 승강 구동부(7), 혹은 승강 구동부(7)와 횡출 기구(8)를 동작시켜서 물품 유지부(6)를 소정 위치로 이동시킴으로써, 하물 픽업 장소에서 물품(W)의 픽업을 행하도록 지시한다. 예컨대, 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소가, 도 1에 나타낸 위치(P1a)(하물 픽업 장소(P1a))인 경우, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)를 하물 픽업 장소(P1a)에 맞춘 위치(P1)(하물 픽업 장소에 대응하는 경로(TA) 상의 위치)에 정지시킨 후, 승강 구동부(7), 횡출 기구(8) 등을 동작시켜, 하물 픽업 장소(P1a)에서 물품(W)의 픽업을 행하도록, 반송차(V)의 각부(各部)를 제어한다. 하물 픽업 장소는, 반송 시스템(SYS)에 있어서, 임의로 설정이 가능하다. 하물 픽업 장소는, 예컨대, 처리 장치 혹은 스토커(stocker)의 로드 포트, 물품(W)을 올려 놓을 수 있는 선반부가 건물의 천장(1) 등에 매달려 설치된 오버헤드 버퍼 등이다.
[0028] 또한, 하물 언로딩 장소에서 물품(W)의 언로딩을 행하는 경우, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)를 하물 언로딩 장소에 맞추어 정지시키고, 승강 구동부(7), 혹은 승강 구동부(7)와 횡출 기구(8)를 동작시켜서 물품 유지부(6)를 소정 위치로 이동시킴으로써, 하물 언로딩 장소에서 물품(W)의 언로딩을 행하도록 지시한다. 예컨대, 반송 명령에 있어서의 하물 언로딩 장소가, 도 1에 나타낸 위치(P3a)인 경우(하물 언로딩 장소(P3a)), 차재 컨트롤러(VC)는, 반송차(V)를 하물 언로딩 장소에 맞춘 위치(P3)(하물 언로딩 장소에 대응하는 경로(TA) 상의 위치)에 정지시킨 후, 승강 구동부(7), 횡출 기구(8) 등을 동작시켜서, 하물 언로딩 장소(P3a)에 물품(W)의 언로딩을 행하도록, 반송차(V)의 각부를 제어한다. 하물 언로딩 장소는, 반송 시스템(SYS)에 있어서, 임의로 설정이 가능하다. 하물 언로딩 장소는, 예컨대, 처리 장치 혹은 스토커의 로드 포트, 물품(W)을 올려 놓을 수 있는 선반부가 건물의 천장(1) 등에 매달려 설치된 오버헤드 버퍼 등이다.
[0029] 반송 컨트롤러(TC)와 차재 컨트롤러(VC)는, 예컨대, 무선 LAN(Local Area Network), 피더 케이블(feeder cable)을 이용한 피더 통신 등의 전송로를 통해 무선 통신 접속되어 있다. 반송 컨트롤러(TC)와 상위 컨트롤러(MC)는, 유선 LAN, 무선 LAN 등의 전송로를 통해 통신 접속되어 있다.
[0030] 도 3은, 상위 컨트롤러(MC) 및 반송 컨트롤러(TC)의 기능 블록 구성의 일례를 나타낸 도면이다. 상위 컨트롤러(MC)는, 상위 반송 명령 결정부(31)와, 상위 중지 명령 결정부(32)를 구비한다. 상위 컨트롤러(MC)는, 예컨대, CPU, 메인 메모리, 기억 장치, 통신 장치 등을 구비하여, 각종 정보의 처리를 행하는 컴퓨터 장치이다. 상위 컨트롤러(MC)는, 예컨대, 각종 정보(데이터)의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행한다.
[0031] 상위 컨트롤러(MC)는, 물품(W)의 반송을 제어한다. 상위 컨트롤러(MC)에는, 각 하물 픽업 장소 혹은 각 하물 언로딩 장소의 상태에 관한 정보, 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 명령의 상태에 관한 정보 등이 반송 컨트롤러(TC)를 포함하는 시스템의 각부로부터 송신되고, 상위 컨트롤러(MC)는, 각 물품(W)의 위치 정보, 각 하물 픽업 장소 혹은 각 하물 언로딩 장소의 상태(예컨대, 장치 등의 가동(稼動) 상태, 물품(W)의 점유 상태)에 관한 정보, 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 명령의 상태(예컨대, 실행 중, 실행 완료, 실행 실패 등)에 관한 정보 등을 관리한다.
[0032] 상위 컨트롤러(MC)는, 소정의 물품(W)을 반송원으로부터 반송처로 반송시키는 명령인 상위 반송 명령을, 반송 컨트롤러(TC)에 송신하고, 반송 컨트롤러(TC)를 통해, 반송차(V)에 의한 물품(W)의 반송을 제어한다. 상위 반송 명령은, 예컨대, 반송 대상인 물품(W)의 위치(반송원, 하물 픽업 장소)를 나타내는 하물 픽업 장소 정보(「하물 픽업 장소」라고 간략하게 기재하는 경우도 있음)와, 반송 대상인 물품(W)의 반송처(하물 언로딩 장소)의 위치를 나타내는 하물 언로딩 장소 정보(「하물 언로딩 장소」라고 간략하게 기재하는 경우도 있음)와, 하물 픽업 장소의 물품(W)을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 명령을 포함한다.
[0033] 상위 컨트롤러(MC)에서는, 상위 반송 명령 결정부(31)가, 상위 반송 명령의 실행을 결정한다. 상위 반송 명령 결정부(31)는, 상위 반송 명령을 생성하여, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 상위 반송 명령 결정부(31)는, 예컨대, 각 하물 픽업 장소의 상태 혹은 각 하물 언로딩 장소의 상태에 관한 정보 등에 근거하여, 상위 반송 명령의 실행을 결정하고, 상위 반송 명령을 생성한다.
[0034] 상위 중지 명령 결정부(32)는, 상위 반송 명령의 실행 중지를 명령하는 상위 중지 명령의 실행을 결정한다. 상위 중지 명령 결정부(32)는, 상위 중지 명령을 생성하여, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 상위 중지 명령 결정부(32)는, 예컨대, 각 하물 픽업 장소의 상태 혹은 각 하물 언로딩 장소의 상태에 관한 정보 등에 근거하여, 상위 중지 명령의 실행을 결정하고, 상위 중지 명령을 생성한다. 상위 중지 명령 결정부(32)는, 예컨대, 하물 픽업 장소 혹은 하물 언로딩 장소가 트러블로 인해 사용이 불가능해졌음을 상위 컨트롤러(MC)가 검지하였을 때, 그 검지한 정보에 근거하여, 상위 중지 명령의 실행을 결정하고, 상위 중지 명령을 생성한다.
[0035] 반송 컨트롤러(TC)는, 각 반송차(V)를 제어한다. 반송 컨트롤러(TC)는, 각종 명령을 반송차(V)에 송신함으로써, 각 반송차(V)를 제어한다. 반송 컨트롤러(TC)는, 예컨대, 상태 정보 요구부(41)와, 상태 정보 수신부(42)와, 상위 반송 명령 수신부(43)와, 반송 명령부(44)와, 상위 중지 명령 수신부(46)와, 덮어쓰기 처리부(47)와, 반송차 정보 격납부(48)와, 완료 보고부(49)를 구비한다. 반송 컨트롤러(TC)는, 예컨대, CPU, 메인 메모리, 기억 장치, 통신 장치 등을 구비하여, 각종 정보의 처리를 행하는 컴퓨터 장치이다. 반송 컨트롤러(TC)는, 예컨대, 각종 정보(데이터)의 처리, 정보의 기억, 정보의 입출력, 정보의 통신(송수신) 등을 행한다. 반송 컨트롤러(TC)에는, 각 반송차(V)의 제어에 필요한 정보(예컨대, 경로 정보(맵 정보)) 혹은 제어 프로그램이, 도시되지 않은 기억 장치에 의해 격납되어 있다. 또한, 반송 컨트롤러(TC)의 구성은, 도 3에 나타낸 구성은 일례이며, 다른 구성이어도 된다.
[0036] 상태 정보 요구부(41)는, 각 반송차(V)에 상태 정보의 보고를 요구(명령)하는 상태 정보 요구를 송신한다. 상태 정보 요구부(41)는, 예컨대, 반송 컨트롤러(TC)의 관리하의 복수의 반송차(V)의 각각에 대해 소정의 시간 간격(예컨대, 1초 이내)마다, 정기적으로 상태 정보 요구를 송신한다. 상태 정보 요구를 수신한 각 반송차(V)는, 즉시, 상태 정보 요구의 응답으로서 상태 정보를 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0037] 상태 정보 수신부(42)는, 각 반송차(V)로부터의 상태 정보를 수신한다. 상태 정보 수신부(42)가 수신한 각 반송차(V)로부터의 상태 정보는, 반송차 정보 격납부(48)에 격납된다. 반송 컨트롤러(TC)는, 반송차 정보 격납부(48)에 격납된 각 반송차(V)로부터의 상태 정보에 근거하여, 각 반송차(V)의 상태(예컨대, 반송차(V)의 현재 위치, 주행 상태(주행 중, 정지 중), 하물의 유지 여부, 하물 픽업 혹은 하물 언로딩 동작의 완료 등), 자신이 반송차(V)에 송신한 명령(예컨대, 반송 명령, 이동 명령 등)의 상태(예컨대, 명령 할당 완료, 명령 할당 실패, 명령 실행 중, 명령 실행 완료, 명령 실행 실패 등)에 관한 정보 등을 취득하여, 이들 정보를 관리한다.
[0038] 상위 반송 명령 수신부(43)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 상위 반송 명령을 수신한다. 상위 반송 명령 수신부(43)는, 수신한 상위 반송 명령을 반송 명령부(44)에 송신한다.
[0039] 반송 명령부(44)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령에 따라, 반송차(V)에 대해, 하물 픽업 장소의 물품(W)을, 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당한다.
[0040] 반송 명령은, 상위 반송 명령에 근거한 물품(W)의 반송을, 반송차(V)에 실행시키는 명령이다. 반송 명령은, 예컨대, 상위 반송 명령과 동일한 하물 픽업 장소 정보 및 하물 언로딩 장소 정보, 그리고, 하물 픽업 장소에 대응하는 위치까지 주행하다가 정지하여, 하물 픽업 장소에서 물품(W)을 픽업하고, 하물 언로딩 장소에 대응하는 위치까지 주행하다가 정지하여, 하물 언로딩 장소에서 물품(W)을 언로딩하는 것을 반송차(V)에 실행시키는 명령을 포함한다.
[0041] 반송 명령부(44)는, 복수의 반송차(V)로부터 상위 반송 명령에 근거한 물품(W)의 반송을 담당할 반송차(V)를 결정(선택)하고, 결정한 반송차(V)에 대해 반송 명령을 할당한다. 반송 명령부(44)는, 예컨대, 상위 반송 명령에 포함되는 정보(예컨대, 하물 픽업 장소 정보 및 하물 언로딩 장소 정보)와 각 반송차(V)의 상태를 나타내는 정보(예컨대, 상태 정보(현재 위치 정보 등))에 근거하여, 반송 명령을 할당할 반송차(V)를 결정한다. 반송 명령부(44)에 의한 반송 명령의 할당에 관해서는, 이후의 설명에 있어서, 추가로 설명한다.
[0042] 반송 명령 혹은 이동 명령이 할당된 반송차(V)는, 이들 명령이 정상적으로 할당되었음을 나타내는 할당 완료 보고를 상태 정보로서, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 또한, 할당된 반송 명령 혹은 이동 명령의 실행이 완료된 경우, 할당된 반송 명령(이동 명령)의 실행이 완료되었음을 나타내는 반송(이동) 완료 보고를 상태 정보로서, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 또한, 할당되어 있던 반송 명령 혹은 이동 명령을 삭제(캔슬)하는 명령을 반송 컨트롤러(TC)로부터 수신하고, 명령의 삭제가 정상적으로 완료되었을 경우, 명령의 삭제가 완료되었음을 나타내는 삭제 완료 보고를 상태 정보로서, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 또한, 반송차(V)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터 할당되는 반송 명령을 실행할 수 없는 경우(반송 명령을 할당할 수 없는 경우), 반송 명령의 할당 실패를 나타내는 보고를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 예컨대, 반송차(V)는, 반송에 관한 동작을 실시할 장치의 트러블, 하물 픽업 장소 혹은 하물 언로딩 장소에 정지가 불가능한 상태(상황) 등과 같이, 반송에 관한 동작을 실행할 수 없는 상태(상황)인 경우, 차재 컨트롤러(VC)가 반송 컨트롤러(TC)로부터 할당되는 반송 명령을 실행할 수 없다고 판정하고, 반송 명령의 할당 실패를 나타내는 보고를 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0043] 완료 보고부(49)는, 상태 정보 수신부(42)가 반송차(V)로부터 반송 완료 보고를 수신한 경우, 반송 완료 보고를 받은 반송 명령에 대응하는 상위 반송 명령이 완료되었음을 나타내는 상위 반송 명령 완료 보고를, 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 또한, 완료 보고부(49)는, 상태 정보 수신부(42)가 반송차(V)로부터 덮어쓰기 완료 보고를 수신한 경우, 덮어쓰기 완료 보고를 받은 반송 명령에 대응하는 상위 반송 명령의 삭제가 완료되었음을 나타내는 상위 중지 명령 완료 보고를, 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 상위 컨트롤러(MC)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터의 상위 반송 명령 완료 보고 혹은 상위 중지 명령 완료 보고를 수신함으로써, 상위 컨트롤러(MC) 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 상위 반송 명령이 완료 혹은 삭제되었음을 파악한다.
[0044] 상위 중지 명령 수신부(46)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 상위 중지 명령을 수신한다. 상위 중지 명령 수신부(46)는, 상위 중지 명령을 수신한 경우, 덮어쓰기 처리부(47)에 상위 중지 명령에 관한 정보를 송신한다.
[0045] 덮어쓰기 처리부(47)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령(이하 「이동 명령」이라고 간략하게 기재하는 경우도 있음)을 덮어쓰기한다. 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기함으로써, 상기 반송 명령이 상기 반송차(V)에 할당되어 있지 않은 상태로 할 수가 있으며, 결과적으로, 상기 반송차(V)에 할당되어 있던 상기 반송 명령이 삭제된 상태로 할 수 있다.
[0046] 이동 명령은, 예컨대, 소정 위치를 나타내는 정보와, 소정 위치까지의 주행을 반송차(V)에 실행시키는 명령을 포함한다. 이동 명령에 있어서의 상기 소정 위치는, 임의로 설정이 가능하다. 본 실시형태의 덮어쓰기 처리부(47)는, 소정 위치로서, 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정한다.
[0047] 또한, 도 1에 실선으로 나타낸 반송차(V)의 상태는, 반송차(V)가 위치(P1a)의 하물 픽업 장소(하물 픽업 장소(P1a))에서 물품(W)을 픽업하여, 위치(P3a)의 하물 언로딩 장소(하물 언로딩 장소(P3a))에 대응하는 위치(P3)까지 주행하고, 물품(W)을 하물 언로딩 장소(P3a)에 언로딩하는 반송 명령이 할당되어 있으며, 하물 픽업 장소(P1a)에서 물품(W)을 픽업한 후, 하물 언로딩 장소(P3a)에 대응하는 위치(P3)를 향해 주행 중이며, 반송차(V)의 현재 위치는 위치(Pc)인 것으로 한다(이하, 「도 1의 예」라고 간략하게 기재하는 경우도 있음).
[0048] 덮어쓰기 처리부(47)는, 예컨대, 상기의 「도 1의 예」의 경우, 이동 명령에 있어서의 소정 위치로서, 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)의 현재 위치(Pc)로부터 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)에 이르기까지의 어느 하나의 위치인 위치(P2, P3, P4, P5) 중 어느 하나로 설정하고, 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)를 통과한 위치인 위치(P6)를, 이동 명령에 있어서 설정하는 소정 위치로부터 제외한다.
[0049] 반송차(V)는, 상기 이동 명령을 수신하였을 때, 그 이동 명령의 목적지까지의 경로를 주행 가능한지의 여부를 판단하고, 가능하면 반송 컨트롤러(TC)에 정상적으로 할당되었다는 취지의 보고를 송신하고, 불가능하면 할당할 수 없다는 취지의 보고를 송신한다. 상기한 바와 같이, 덮어쓰기 처리부(47)가, 이동 명령에 있어서의 소정 위치로서, 반송차(V)의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하는 구성에서는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 반송 명령이 덮어쓰기되는 반송차(V)에 있어서의 새로운 이동 장소와 현재의 반송차(V)의 위치 사이에 분기부(10)가 포함되어 있지 않기 때문에, 이동 명령의 목적지가, 반송차(V)가 주행을 예정하고 있던 경로(TA) 상의 위치가 되어, 원래 그 경로를 주행 중이기 때문에, 반송차(V)는 새로운 경로(TA)를 주행할 수 있게 된다. 그 결과, 반송차(V)에 대한 덮어쓰기 처리를 보다 확실하게 실행할 수 있다.
[0050] 상위 컨트롤러(MC)로부터 상위 중지 명령이 송신되었을 경우, 그 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령에 정해진 하물 픽업 장소에서의 반송차(V)의 하물 픽업, 혹은 하물 언로딩 장소에서의 반송차(V)의 하물 언로딩은 행해져서는 안 된다. 종래의 기술에 있어서는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 상위 중지 명령이 송신되었을 경우, 반송 컨트롤러(TC)는, 그 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령이 할당되어 있는 반송차(V)에 삭제 명령을 송신하였다. 삭제 명령을 수신한 반송차(V)는 감속 정지하고, 정지된 시점에서 반송 명령의 삭제 완료 보고를 반송 컨트롤러(TC)에 송신하였다. 이 처리에 의해, 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령에 정해진 하물 픽업 장소에서의 반송차(V)의 하물 픽업, 혹은 하물 언로딩 장소에서의 반송차(V)의 하물 언로딩을 방지하였다.
[0051] 본 실시형태에 있어서는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 상위 중지 명령이 송신되었을 경우, 반송 컨트롤러(TC)는, 그 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령이 할당되어 있는 반송차(V)에 이동 명령을 송신하여, 상기 반송 명령에 그 이동 명령을 덮어쓰기함으로써, 상기 반송차(V)에 상기 반송 명령이 할당되어 있지 않은 상태로 한다. 여기서, 상기 반송차(V)에 대한 이동 명령의 덮어쓰기 처리가 원활하게 행해지지 않을 경우, 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령에 정해진 하물 픽업 장소에서의 반송차(V)의 하물 픽업, 혹은 하물 언로딩 장소에서의 반송차(V)의 하물 언로딩이 실행될 우려가 있다. 본 실시형태에 있어서의 덮어쓰기 처리부(47)는, 반송차(V)가 주행을 예정하고 있던 경로(TA) 상의 위치를 목적지로 하는 이동 명령을, 상기 반송 명령에 덮어쓰기함으로써, 반송차(V)에 대한 덮어쓰기 처리를 확실히 실행하고, 이 처리에 의해, 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령에 정해진 하물 픽업 장소에서의 반송차(V)의 하물 픽업, 혹은 하물 언로딩 장소에서의 반송차(V)의 하물 언로딩을 방지한다.
[0052] 한편, 반송차(V)에 있어서의 현재 위치(Pc)로부터 새로운 이동 장소인 소정 위치까지의 경로(TA)에 분기부(10)가 포함되는 경우, 덮어쓰기 처리의 대상인 반송차(V)가 주행할 가능성이 있는 경로(TA)가 복수가 되기 때문에, 상기한 반송 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)에 있어서의 현재 위치로부터 새로운 이동 장소까지의 경로(TA)가 단일한 경우에 비해, 이동 명령을 반송차(V)에 덮어쓰기할 수 없을 가능성이 높아질 뿐만 아니라, 덮어쓰기 처리의 대상인 반송차(V)가 주행할 가능성이 있는 복수의 경로(TA)에 대해 각각, 이동 명령의 소정 위치를 설정 가능한지의 여부를 판정하는 처리가 필요하므로, 처리가 복잡해진다.
[0053] 또한, 덮어쓰기 처리부(47)는, 이동 명령에 있어서의 소정 위치로서, 상기 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 그 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소에 대응하는 위치로 설정한다. 예컨대, 상기 반송차(V)의 현재 위치로부터 상기 하물 픽업 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정한다. 또한, 상기 반송차(V)가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 그 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에 있어서의 하물 언로딩 장소에 대응하는 위치로 설정한다. 예컨대, 상기 반송차(V)의 현재 위치로부터 상기 하물 언로딩 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정한다. 이 구성의 덮어쓰기 처리부(47)에서는, 상기한 도 1의 예의 경우, 덮어쓰기 처리의 대상이 되는 반송차(V)가 하물 언로딩 장소(P3a)를 향해 주행하고 있으므로, 이동 명령의 소정 위치를, 하물 언로딩 장소(P3a)에 대응하는 위치(P3)로 설정한다.
[0054] 상기한 바와 같이, 덮어쓰기 처리부(47)가, 소정 위치로서, 그 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소에 대응하는 위치로 설정하고, 그 반송차(V)가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 하물 언로딩 장소에 대응하는 위치로 설정하는 구성에서는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 덮어쓰기된 반송차(V)에 있어서의 새로운 이동 장소가, 그 반송차(V)가 반송 명령을 덮어쓰기하기 전의 반송 명령의 이동 장소와 동일하므로, 원래 그 경로(TA)를 주행 중이기 때문에, 반송차(V)는 새로운 경로(TA)를 주행할 수 있게 된다. 그 결과, 반송차(V)에 대한 덮어쓰기 처리를 보다 확실하게 실행할 수 있다. 또한, 덮어쓰기 처리를 용이하게 행함으로써 반송 컨트롤러(TC)의 부담을 경감할 수 있다.
[0055] 반송차(V)는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 이동 명령이 할당된 경우, 이동 명령을 즉시 실행하여, 이동 명령에 근거한 이동 장소로의 주행을 실시한다. 즉, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))에서는, 상위 컨트롤러(MC)에 의해 상위 중지 명령이 실행되었을 때, 반송차(V)가 즉시 이동 명령에 근거한 주행을 행하므로, 반송차(V)는 한번도 정지하지 않고 주행하는 상태를 유지한다. 이 처리에 의해, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))은, 상위 반송 명령의 중지로 인한 시스템의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
[0056] 반송차(V)는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 이동 명령이 정상적으로 할당된 경우, 그러한 취지의 보고 즉 반송 명령에 대한 이동 명령의 덮어쓰기가 완료되었음을 나타내는 덮어쓰기 완료 보고를, 상태 보고로서 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 덮어쓰기 완료 보고는, 상위 반송 명령의 삭제가 완료되었음을 나타내는 정보를 포함한다.
[0057] 완료 보고부(49)는, 덮어쓰기 처리부(47)가 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기하였을 때, 상위 중지 명령의 실행(상위 반송 명령의 삭제)이 완료되었음을 나타내는 상위 중지 명령 완료 보고(중지 완료 보고)를, 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 완료 보고부(49)는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령 완료 보고(중지 완료 보고)를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 완료 보고부(49)는, 상태 정보 수신부(42)가 반송차(V)로부터 덮어쓰기 완료 보고를 수신하였을 때, 즉시, 상위 컨트롤러(MC)에, 상위 중지 명령 완료 보고를 송신한다.
[0058] 상위 컨트롤러(MC)는, 완료 보고부(49)로부터 상위 중지 명령 완료 보고를 수신함으로써, 상위 컨트롤러(MC) 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 상위 중지 명령의 실행이 완료되었음을 파악한다.
[0059] 상위 컨트롤러(MC)는, 상위 중지 명령 완료 보고를 반송 컨트롤러(TC)로부터 수신한 것을 조건으로 하여, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 즉, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))은, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 반송 명령의 실행을 중지하고, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신하는 경우, 상위 컨트롤러(MC)는, 상위 중지 명령 완료 보고를 반송 컨트롤러(TC)로부터 수신한 후에, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신하는, SEMI 규격에 준거한 구성을 가진다. 즉, 상위 컨트롤러(MC)는, 일단 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 상위 반송 명령의 반송원 혹은 반송처를, 다른 반송원 혹은 반송처로 변경하는 경우, 먼저, 반송 컨트롤러(TC)에 상기 상위 반송 명령의 상위 중지 명령을 송신하고, 반송 컨트롤러(TC)로부터 상위 중지 명령 완료 보고를 수신한 후에, 반송원 혹은 반송처를 변경한 새로운 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0060] 반송 명령부(44)에 의한 반송 명령의 할당에 대해 설명한다. 반송 명령부(44)는, 예컨대, 미리 설정된 소정의 조건에 의해, 복수의 반송차(V)로부터 반송 명령을 할당할 반송차(V)를 결정한다. 예컨대, 반송 명령부(44)는, 반송 명령이 할당되어 있지 않은 아이들(idle) 주행 중인 반송차(V) 또는 대기 중인 반송차(V)에 대해, 반송 명령을 할당한다. 또한, 예컨대, 반송 명령부(44)는, 시스템에 있어서의 반송 효율이 가능한 한 높아지도록, 적절한 반송차(V)를 복수의 반송차(V)로부터 선택하고, 선택한 반송차(V)에 반송 명령을 할당한다.
[0061] 예컨대, 반송 명령부(44)는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)에 대해, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 중지 명령의 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관하여 새롭게 나오는 상위 반송 명령에 따른 반송 명령을 할당한다.
[0062] 상위 컨트롤러(MC)가 상위 반송 명령을 중지한 경우, 반송 컨트롤러(TC)가 반송차(V)에 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간에 있어서, 상위 컨트롤러(MC)로부터 중지한 상위 반송 명령에 관한 물품(W)에 대한 새로운 상위 반송 명령이 반송 컨트롤러(TC)에 송신되는 케이스가 많이 존재한다. 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 다른 반송차(V)에 대해 할당하면, 그 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)을 언로딩시킨 후, 그 언로딩한 물품(W)을 다른 반송차(V)에 픽업시켜 반송시키는 물품(W)의 바꾸어 싣기가 필요해져 반송 효율이 저하된다. 상기한 바와 같이, 반송 명령부(44)가, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)에 대해, 상위 컨트롤러(MC)가 중지 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관하여 새롭게 나오는 상위 반송 명령에 따른 반송 명령을 할당하는 구성에서는, 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관하여 새롭게 나오는 상위 반송 명령을 그 반송차(V)에 대해 할당하므로, 그 물품(W)에 대한 반송 효율이 저하되는 것을 확실히 억제할 수 있다.
[0063] 반송 명령부(44)는, 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 반송차(V)에 대해, 덮어쓰기 처리부(47)가 반송 명령에 덮어쓰기하여 이동 명령을 할당하였을 때, 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차(V)에 대해, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함하는 반송 명령만을 할당하는 구성으로 해도 된다. 이 구성에 있어서의 소정의 기간은, 예컨대 시스템의 구성 등에 따라, 임의로 설정이 가능하며, 예컨대, 몇 초 정도로 설정된다. 또한, 반송 명령부(44)는, 반송 명령을 할당하는 조건으로서, 상기 이외의 다른 조건이 설정되어도 된다.
[0064] 또한, 반송 컨트롤러(TC)의 관리 영역 내에, 반송 명령이 할당되어 있지 않은 반송차(V)가 존재하지 않는 상황에 있어서, 반송 컨트롤러(TC)가, 이미 상위 컨트롤러(MC)로부터 송신된 상위 반송 명령에 대응하는 반송 명령의 할당을 보류하고 있는 케이스가 있다. 이러한 케이스에서는, 반송 명령이 할당되어 있지 않은 반송차(V)가 새롭게 발생하였을 경우, 보류되어 있던 반송 명령이 그 반송차(V)에 할당된다. 여기서, 덮어쓰기 처리부(47)가 반송 명령에 덮어쓰기하여 이동 명령을 할당한 반송차(V)는, 반송 명령이 할당되어 있지 않기 때문에, 원래의 반송 명령(상위 반송 명령)의 반송 대상인 물품(W)과는 상이한 물품에 관한 반송 명령이, 상기 반송차(V)에 할당될 우려가 있는데, 상기한 바와 같이, 반송 명령부(44)가, 덮어쓰기 처리부(47)가 반송 명령에 덮어쓰기하여 이동 명령을 할당하였을 때, 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차(V)에 대해, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함하는 반송 명령만을 할당하는 구성에서는, 반송 명령이 중지된 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있으므로, 그 반송차(V)에 새로운 반송 명령을 할당함으로써 하물 픽업 장소의 물품(W)을 조기에 픽업시킬 수 있어, 그 물품(W)에 있어서의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
[0065] 도 4는, 반송 시스템(SYS)의 동작 플로우의 일례를 나타낸 것이다. 여기서는, 우선, 도 4에 나타낸 동작 플로우를 참조하여, 반송 시스템(SYS)에 있어서의 상위 컨트롤러(MC)의 상위 반송 명령에 근거하는 물품(W)의 반송을 반송차(V)에 실행시키는 동작에 대해 설명한다. 또한, 본 명세서에서는, 본 실시형태의 반송차의 제어 방법을, 반송 시스템(SYS)의 동작에 근거하여 설명한다. 도 5의 (A) 및 (B), 그리고, 도 6의 (A) 내지 (D)는, 각각, 도 4에 나타낸 동작 플로우에 있어서의 반송 시스템(SYS)의 동작을 나타내는 도면이다. 도 4의 동작 플로우의 설명에서는, 도 1 내지 도 6을 참조한다.
[0066] 반송 시스템(SYS)에서는, 상위 컨트롤러(MC)의 상위 반송 명령에 근거하는 물품(W)의 반송을 반송차(V)에 실행시킬 때, 도 4의 단계 S1에서, 도 5의 (A)에 나타낸 바와 같이, 상위 컨트롤러(MC)의 상위 반송 명령 결정부(31)가 상위 반송 명령의 실행을 결정하여, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 또한, 도 5의 (A)에 나타낸 예에 있어서, 상위 반송 명령은, 반송할 물품이 물품(W)이며, 그 하물 픽업 장소가 위치(P1a)이며, 하물 언로딩 장소가 위치(P3a)인 것으로 한다.
[0067] 반송 컨트롤러(TC)의 상위 반송 명령 수신부(43)(도 3 참조)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터 송신된 상위 반송 명령을 수신한다. 상위 반송 명령 수신부(43)는, 반송 명령부(44)에, 수신한 상위 반송 명령에 관한 정보를 송신한다.
[0068] 도 4의 단계 S2에서, 도 5의 (B)에 나타낸 바와 같이, 반송 컨트롤러(TC)의 반송 명령부(44)는, 수신한 상위 반송 명령에 따라, 반송차(V)에 대해, 반송 명령을 할당한다. 반송 명령부(44)는, 상술한 설명과 같이, 복수의 반송차(V)로부터 소정의 반송차(V)를 결정하고, 결정한 반송차(V)에 대해 반송 명령을 송신한다.
[0069] 또한, 도 5의 (B)에 나타낸 예에 있어서, 반송 명령은, 하물 픽업 장소를 위치(P1a)로 하는 하물 픽업 장소 정보와, 하물 언로딩 장소를 위치(P3a)로 하는 하물 언로딩 장소 정보와, 하물 픽업 장소인 위치(P1a)에 대응하는 위치(P1)까지 주행하다가 정지하여, 하물 픽업 장소인 위치(P1a)의 물품(W)을 픽업하고, 하물 언로딩 장소인 위치(P3a)에 대응하는 위치(P3)까지 주행하다가 정지하여, 하물 언로딩 장소인 위치(P3a)에서 물품(W)을 언로딩할 것을 반송차(V)에 실행시키는 명령을 포함하는 것으로 한다.
[0070] 도 4의 단계 S3에서, 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 반송 컨트롤러(TC)로부터 반송 명령을 수신하면, 차재 컨트롤러(VC)는, 수신한 반송 명령이 실행 가능한지의 여부를 판정한다.
[0071] 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 수신한 반송 명령을 실행할 수 없다고 판정한 경우(도 4의 단계 S3; NO), 단계 S4에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송 명령의 할당 실패를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(할당 실패 보고).
[0072] 반송 컨트롤러(TC)의 상태 정보 수신부(42)가, 반송차(V)로부터의 할당 실패 보고를 수신하였을 때, 도 4의 단계 S5에서, 할당 실패 보고에 관한 정보가 반송차 정보 격납부(48)로부터 반송 명령부(44)로 송신되고, 반송 명령부(44)는, 반송 명령의 할당이 실패한 반송차(V) 이외의 다른 반송차(V)에 대해 반송 명령을 할당한다.
[0073] 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 수신한 반송 명령을 실행 가능하다고 판정한 경우(도 4의 단계 S3; YES), 수신한 반송 명령이 반송차(V)에 할당되며, 반송차(V)는, 할당된 반송 명령의 실행을 개시(開始)한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 단계 S6에서, 반송 명령의 할당 완료를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(할당 완료 보고).
[0074] 반송차(V)가 할당된 반송 명령을 실행할 때, 도 4의 단계 S7에서, 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)는, 반송 명령에 따라, 물품(W)의 픽업 장소인 위치(P1a)에 대응하는 위치(P1)까지 주행하다가 정지한다(하물 픽업 주행).
[0075] 도 4의 단계 S7에서 반송차(V)의 하물 픽업 주행이 완료되면, 단계 S8에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 하물 픽업 주행의 완료를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(하물 픽업 주행 완료 보고).
[0076] 반송차(V)는, 도 4의 단계 S9에서, 도 6의 (B)에 나타낸 바와 같이, 반송 명령에 따라, 하물 픽업 장소인 위치(P1a)의 물품(W)을 픽업하여 유지한다(하물 픽업).
[0077] 도 4의 단계 S9에서 반송차(V)의 하물 픽업이 완료되면, 단계 S10에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 하물 픽업의 완료를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(하물 픽업 완료 보고).
[0078] 반송차(V)는, 도 4의 단계 S11에서, 도 6의 (C)에 나타낸 바와 같이, 반송 명령에 따라, 물품(W)의 언로딩 장소인 위치(P3a)에 대응하는 위치(P3)까지 주행하다가 정지한다(하물 언로딩 주행). 또한, 본 실시형태에서는, 상기한 반송차(V)에 있어서의 하물 픽업 주행(단계 S7) 및 하물 언로딩 주행(단계 S11)을 「반송 주행」이라고 칭한다.
[0079] 도 4의 단계 S11에서 반송차(V)의 하물 언로딩 주행이 완료되면, 단계 S12에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 하물 언로딩 주행의 완료를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(하물 언로딩 주행 완료 보고).
[0080] 반송차(V)는, 도 4의 단계 S13에서, 도 6의 (D)에 나타낸 바와 같이, 반송 명령에 따라, 유지하고 있는 물품(W)을, 하물 언로딩 장소인 위치(P3a)에 언로딩한다(하물 언로딩).
[0081] 도 4의 단계 S13에서 반송차(V)의 하물 언로딩이 완료되면, 단계 S14에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송 명령의 실행 완료를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(반송 명령 완료 보고).
[0082] 반송 컨트롤러(TC)의 상태 정보 수신부(42)가, 반송차(V)로부터 반송 명령의 실행 완료를 나타내는 정보를 포함하는 상태 정보를 수신하면, 도 4의 단계 S15에서, 반송차 정보 격납부(48)로부터 그 반송 명령의 실행 완료를 나타내는 정보가 완료 보고부(49)에 송신되고, 완료 보고부(49)는, 상위 반송 명령의 실행 완료를 나타내는 상위 반송 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다.
[0083] 상위 컨트롤러(MC)는, 반송 컨트롤러(TC)로부터의 상위 반송 명령 완료 보고를 수신함으로써, 상위 컨트롤러(MC) 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 상위 반송 명령이 완료되었음을 파악한다. 반송 시스템(SYS)에서는, 상기 단계 S1부터 단계 S15의 동작에 의해, 상위 컨트롤러(MC)의 상위 반송 명령이 실행된다.
[0084] 도 7 내지 도 9는, 반송 시스템(SYS)의 동작 플로우의 일례를 나타낸 것이다. 여기서는, 반송 시스템(SYS)에 있어서의 상위 컨트롤러(MC)의 상위 중지 명령에 근거하여, 상위 반송 명령의 중지를 실행시키는 동작의 일례에 대해 설명한다. 이 동작 플로우의 설명에서는, 도 1 내지 도 6을 참조한다. 또한, 상술한 설명과 동일한 설명에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 적절히 생략하거나 혹은 간략화한다.
[0085] 도 7의 예에서는, 단계 S1에서, 상위 컨트롤러(MC)로부터 상위 반송 명령이 반송 컨트롤러(TC)에 송신된다. 단계 S2에서, 반송 컨트롤러(TC)로부터 반송차(V)에 반송 명령이 할당된다. 반송차(V)는, 단계 S7∼S13에서, 할당된 반송 명령을 실행한다.
[0086] 상기한 바와 같이, 상위 컨트롤러(MC)는, 실행을 결정한 상위 반송 명령을 중지하는 경우가 있다. 이 경우, 상위 컨트롤러(MC)의 상위 중지 명령 결정부(32)는, 단계 S21에서, 상위 중지 명령의 실행을 결정하고, 상위 중지 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0087] 반송 컨트롤러(TC)의 상위 중지 명령 수신부(46)는, 상위 컨트롤러(MC)로부터의 상위 중지 명령을 수신한다. 상위 중지 명령 수신부(46)가 상위 중지 명령을 수신하면, 상위 중지 명령에 관한 정보를 덮어쓰기 처리부(47)에 송신한다.
[0088] 상위 중지 명령을 수신한 덮어쓰기 처리부(47)는, 도 7의 단계 S22에서, 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당한다. 즉, 상위 중지 명령의 대상인 상위 반송 명령에 대응하는 반송 명령이 할당되어 있는 반송차(V)에 대해, 소정 위치를 목적지로 하는 이동 명령을 할당한다. 덮어쓰기 처리부(47)는, 단계 S22에서, 상술한 바와 같이, 소정 위치를, 이동 명령의 덮어쓰기 대상이 되는 반송차(V)의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정한다. 혹은, 소정 위치를, 이동 명령의 덮어쓰기 대상이 되는 반송차(V)의 현재 위치로부터 그 반송차(V)에 할당되어 있던 반송 명령의 하물 픽업 장소 또는 하물 언로딩 장소까지의 어느 하나의 위치로 설정한다.
[0089] 도 7의 단계 S23에서, 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 반송 컨트롤러(TC)로부터 이동 명령을 수신하면, 차재 컨트롤러(VC)는, 수신한 이동 명령을 반송 명령에 덮어쓰기 가능한지의 여부를 판정한다. 차재 컨트롤러(VC)는, 자신의 상태 정보에 근거하여, 수신한 이동 명령을 실행할 수 있다고 판정한 경우에, 이동 명령을 덮어쓰기 가능하다고 판정한다.
[0090] 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 수신한 이동 명령을 덮어쓰기할 수 없다고 판정한 경우(단계 S23; NO), 단계 S24에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 이동 명령의 덮어쓰기 실패를 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(덮어쓰기 실패 보고).
[0091] 반송 컨트롤러(TC)의 상태 정보 수신부(42)가, 반송차(V)로부터 이동 명령의 덮어쓰기 실패를 나타내는 정보를 포함하는 상태 정보를 수신하면, 단계 S25에서, 반송 컨트롤러(TC)는, 수신한 상위 중지 명령의 실행이 실패하였음을 나타내는 상위 중지 명령 실패 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다.
[0092] 상위 컨트롤러(MC)가 상위 중지 명령 실패 보고를 수신하면, 단계 S26에서, 상위 컨트롤러(MC)는 상위 중지 명령을 취소한다.
[0093] 또한, 상위 중지 명령의 실행이 실패하였을 경우, 반송차(V)는, 도 4의 단계 S7∼S13을 실행하여, 덮어쓰기 전의 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 실행한다. 그리고, 단계 S14에서 반송차(V)로부터 반송 명령 완료 보고가 반송 컨트롤러(TC)에 보내지고, 단계 S15에서, 반송 컨트롤러(TC)로부터 상위 컨트롤러(MC)에, 상위 반송 명령의 완료 보고가 송신된다.
[0094] 반송차(V)의 차재 컨트롤러(VC)가 수신한 이동 명령을 덮어쓰기할 수 있다고 판정한 경우(단계 S23; YES), 단계 S27에서, 차재 컨트롤러(VC)는, 반송 명령에 대한 이동 명령의 덮어쓰기가 완료되었음을 나타내는 정보를, 상태 정보로서 반송 컨트롤러(TC)에 보고한다(덮어쓰기 완료 보고). 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령이 이동 명령에 의해 덮어쓰기됨으로써, 반송차(V)에는 반송 명령이 할당되어 있지 않은 상태가 된다.
[0095] 반송 명령에 이동 명령이 덮어쓰기된 반송차(V)는, 단계 S29에서, 이동 명령에 따라, 이동 명령에 있어서의 이동 장소로 주행한다. 이와 같이, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))에서는, 상위 반송 명령을 중지할 때, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당하므로, 반송차(V)를 정지시키는 일 없이 반송차(V)의 주행 상태를 유지시킬 수가 있다.
[0096] 반송 컨트롤러(TC)의 상태 정보 수신부(42)가, 반송차(V)로부터 이동 명령의 덮어쓰기의 완료를 나타내는 정보를 포함하는 상태 정보를 수신하면, 단계 S28에서, 반송 컨트롤러(TC)의 완료 보고부(49)는, 수신한 상위 중지 명령의 실행이 완료되었음을 나타내는 상위 중지 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 즉, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))에서는, 반송 컨트롤러(TC)가 상위 중지 명령을 수신하였을 때, 그 상위 중지 명령에 대응하는 반송 명령이 할당되어 있는 반송차(V)에 삭제 명령을 송신하는 것이 아니라, 그 대신에 이동 명령을 할당한다(덮어쓰기한다). 그리고, 반송차(V)에 이동 명령이 정상적으로 덮어쓰기된 것을, 그 반송차(V)에 그때까지 할당되어 있던 반송 명령이 삭제된 것으로 하고, 반송 컨트롤러(TC)는, 그 반송 명령(상위 반송 명령)과 관련된 상위 중지 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다.
[0097] 상위 컨트롤러(MC)는, 완료 보고부(49)로부터 상위 중지 명령 완료 보고를 수신함으로써, 상위 컨트롤러(MC) 자신이 반송 컨트롤러(TC)에 송신한 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 정보를 취득한다.
[0098] 상위 컨트롤러(MC)에서는, 상위 중지 명령 완료 보고를 수신한 것을 조건으로 하여, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을, 반송 컨트롤러(TC)에 송신하는 것이 허가되며, 상위 컨트롤러(MC)는, 단계 S30에서, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다. 예컨대, 그 물품에 관한 상위 반송 명령이며, 중지한 상위 반송 명령과는 하물 픽업 장소 또는 하물 언로딩 장소가 상이한 상위 반송 명령을, 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0099] 또한, 반송 컨트롤러(TC)는, 단계 S22에서, 반송 명령에 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당할 때, 다른 플로우를 이용하는 구성이어도 된다.
[0100] 예컨대, 도 8에 나타낸 바와 같이, 단계 S21의 상위 중지 명령을 수신한 반송 컨트롤러(TC)의 덮어쓰기 처리부(47)는, 단계 S32에서, 상기한 바와 같이, 소정 위치로서, 반송 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 경로(TA)의 분기부(10)에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하고, 소정 위치까지의 주행을 실행시키는 이동 명령을, 반송차(V)에 할당해도 된다. 이 구성의 경우, 상기한 바와 같이, 새롭게 할당되는 반송 명령을 용이하게 실행할 수 있게 된다.
[0101] 또한, 예컨대, 단계 S21의 상위 중지 명령을 수신한 반송 컨트롤러(TC)의 덮어쓰기 처리부(47)는, 도 9의 단계 S33∼S35에서, 상기한 바와 같이, 소정 위치로서, 그 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 덮어쓰기할 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소에 대응하는 위치로 설정하고, 그 반송차(V)가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 하물 언로딩 장소에 대응하는 위치로 설정하는 구성으로 해도 된다. 이 구성의 경우, 덮어쓰기 처리부(47)는, 단계 S33에서, 덮어쓰기 처리를 할 대상인 반송차(V)가 하물 픽업 주행 전인지의 여부를 판정한다. 덮어쓰기 처리부(47)가, 대상인 반송차(V)가 하물 픽업 주행 전이라고 판정한 경우(단계 S33의 YES), 덮어쓰기 처리부(47)는, 단계 S34에서, 소정 위치로서, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소에 대응하는 위치로 설정하고, 소정 위치까지의 주행을 실행시키는 이동 명령을 반송차(V)에 할당한다. 또한, 덮어쓰기 처리부(47)가, 대상인 반송차(V)가 하물 픽업 주행 후라고 판정한 경우(단계 S33의 NO), 덮어쓰기 처리부(47)는, 단계 S35에서, 소정 위치로서, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 언로딩 장소에 대응하는 위치로 설정하고, 소정 위치까지의 주행을 실행시키는 이동 명령을 반송차(V)에 할당한다. 이 구성의 경우, 상기한 바와 같이, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 이동 명령이 덮어쓰기된 반송차(V)에 있어서의 새로운 이동 장소가, 덮어쓰기되기 전의 반송 명령의 이동 장소와 동일하므로, 원래 그 경로를 주행 중이기 때문에, 반송차(V)는 새로운 경로를 주행할 수 있게 된다. 그 결과, 반송차(V)에 대한 덮어쓰기 처리를 보다 확실하게 실행할 수 있다.
[0102] 도 10 및 도 11은, 반송 시스템(SYS)의 동작 플로우의 일례를 나타낸 것이다. 여기서는, 반송 시스템(SYS)에 있어서의 상위 컨트롤러(MC)의 상위 중지 명령이 완료된 후, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 중지 명령을 실시한 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 행하는 동작의 일례에 대해 설명한다. 이 동작 플로우의 설명에서는, 도 1 내지 도 8을 참조한다. 또한, 상술한 설명과 동일한 설명에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 적절히 생략하거나 혹은 간략화한다.
[0103] 도 10에 나타낸 바와 같이, 상위 컨트롤러(MC)는, 상위 중지 명령 완료 보고를 수신하고, 단계 S30에서, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신한다.
[0104] 반송 컨트롤러(TC)의 상위 반송 명령 수신부(43)는, 상위 반송 명령을 수신하고, 상위 반송 명령에 관한 정보를 반송 명령부(44)에 송신한다. 반송 명령부(44)는, 덮어쓰기 처리부(47)에 의해 이동 명령을 덮어쓰기한 반송차(V)에 대해, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 중지 명령 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관하여 새롭게 나오는 상위 반송 명령에 따른 반송 명령을 그 반송차(V)에 할당한다. 예컨대, 반송 명령부(44)는, 단계 S40에서, 상위 반송 명령에 관한 물품(W)이, 덮어쓰기 처리(상위 중지 명령)를 실행한 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)인지의 여부를 판정한다.
[0105] 반송 명령부(44)가, 상위 반송 명령에 관한 물품(W)이 덮어쓰기 처리를 실행한 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)이 아니라고 판정한 경우(단계 S40의 NO), 반송 명령부(44)는, 단계 S41에서, 도 4의 단계 S2와 마찬가지로, 상위 반송 명령을 담당하는 반송차(V)를 결정하고, 결정한 반송차(V)에 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당한다.
[0106] 반송 명령부(44)가, 상위 반송 명령에 관한 물품(W)이 덮어쓰기 처리를 실행한 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)이라고 판정한 경우(단계 S40)의 YES), 반송 명령부(44)는, 단계 S42에서, 덮어쓰기 처리를 실행한 반송차(V)에, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당한다. 이 구성의 경우, 상기한 바와 같이, 반송차(V)가 유지하고 있는 물품(W)에 관하여 새롭게 나오는 상위 반송 명령을 그 반송차(V)에 대해 할당하므로, 그 물품(W)에 대한 반송 효율이 저하되는 것을 확실히 억제할 수 있다. 반송 명령이 할당된 반송차(V)는, 도 4와 동일한 단계 S7∼S13에서, 반송 명령을 실행하고, 단계 S14에서, 반송 컨트롤러(TC)에 대해 반송 완료 보고를 상태 보고로서 송신한다. 반송 컨트롤러(TC)의 완료 보고부(49)는, 도 4와 동일한 단계 S15에서, 상위 반송 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다.
[0107] 또한, 반송 컨트롤러(TC)는, 단계 S40에서, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 반송차(V)에 할당할 때, 도 11에 나타낸 플로우를 이용하는 구성이어도 된다. 도 11에 나타낸 예에서는, 반송 명령부(44)가, 덮어쓰기 처리부(47)가 반송 명령에 덮어쓰기하여 이동 명령을 할당하였을 때, 그 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우, 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차(V)에 대해, 덮어쓰기된 반송 명령에 있어서의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함하는 반송 명령만을 할당한다.
[0108] 예컨대, 이 반송 명령부(44)는, 도 11의 단계 S45에서, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당할 반송차(V)가, 하물 픽업 장소를 향해 주행 중이고 또한 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간(시간)이 경과하였는지의 여부를 판정한다.
[0109] 반송 명령부(44)가, 반송 명령을 할당할 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행 중이고 또한 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간이 경과되지 않았다고(소정의 기간 내라고) 판정한 경우(단계 S45의 YES), 반송 명령부(44)는, 단계 S46에서, 상위 반송 명령이 덮어쓰기된 반송 명령의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함하는지의 여부를 판정한다.
[0110] 반송 명령부(44)가, 상위 반송 명령이 덮어쓰기된 반송 명령의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함하지 않는다고 판정한 경우(단계 S46)의 NO), 반송 명령부(44)는, 단계 S47)에서, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을, 덮어쓰기 처리를 실시한 반송차(V)에 할당하지 않고 , 다른 반송차(V)에 할당한다.
[0111] 반송 명령부(44)가, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당할 반송차(V)가, 하물 픽업 장소를 향해 주행 중이고 또한 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간(시간)이 경과하였다고 판정한 경우(단계 S45의 NO), 및, 반송 명령부(44)가, 상위 반송 명령이 덮어쓰기된 반송 명령의 하물 픽업 장소와 동일한 하물 픽업 장소를 포함한다고 판정한 경우(단계 S46의 YES), 반송 명령부(44)는, 도 10의 단계 S42와 마찬가지로, 덮어쓰기 처리를 실행한 반송차(V)에, 상위 반송 명령에 근거한 반송 명령을 할당한다. 이 구성의 경우, 상기한 바와 같이, 반송 명령이 중지된 반송차(V)가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있으므로, 그 반송차(V)에 새로운 반송 명령을 할당함으로써 하물 픽업 장소의 물품(W)을 조기에 픽업시킬 수 있어, 그 물품(W)에 있어서의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다. 반송 명령이 할당된 반송차(V)는, 도 4와 동일한 단계 S7∼S13에서, 반송 명령을 실행하고, 단계 S14에서, 반송 컨트롤러(TC)에 대해 반송 완료 보고를 상태 보고로서 송신한다. 반송 컨트롤러(TC)의 완료 보고부(49)는, 도 4와 동일한 단계 S15에서, 상위 반송 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신한다. 반송 시스템(SYS)에서는, 상기의 도 9 내지 도 11에 나타낸 동작에 의해, 상위 컨트롤러(MC)의 상위 중지 명령이 완료된 후, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 중지 명령을 실시한 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령이 실행된다.
[0112] 이상의 설명과 같이, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC))은, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당하는 덮어쓰기 처리부(47)와, 덮어쓰기 처리부(47)에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신하는 완료 보고부(49)를 구비한다. 또한, 본 실시형태의 반송차의 제어 방법은, 소정의 경로(TA)를 따라 주행하며, 물품(W)을 반송하는 반송차(V)를 제어하는 방법으로서, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 물품(W)의 반송에 관한 상위 반송 명령에 따라, 반송차(V)에 대해, 하물 픽업 장소의 물품(W)을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 것과, 상위 컨트롤러(MC)로부터 수신한 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차(V)에 할당하는 것과, 상기 이동 명령의 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신하는 것을 구비한다. 또한, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC)), 및 반송차의 제어 방법의 각각에 있어서, 상기 이외의 구성은 임의의 구성이며, 상기 이외의 구성은 있어도 되고, 없어도 된다. 또한, 본 실시형태의 제어 방법은, 상기의 제어 방법을 컴퓨터 장치에 실행시키는 프로그램, 혹은 그 프로그램이 기억(기록)되는 기억 매체에 의해 공급되어도 된다.
[0113] 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC)) 및 반송차의 제어 방법에 있어서, 상기의 구성은, 상위 컨트롤러(MC)가 상위 반송 명령의 실행을 중지하고, 중지한 상위 반송 명령의 물품(W)에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신하는 경우, 상위 컨트롤러(MC)는, 상위 반송 명령의 실행 중지가 완료되었음을 나타내는 완료 보고를 반송 컨트롤러(TC)로부터 수신한 후에, 중지한 상위 반송 명령의 하물에 관한 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신하는 구성이 되며, SEMI 규격에 준하는 구성이 된다. 또한, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC)) 및 반송차의 제어 방법에 의하면, 반송 컨트롤러(TC)의 덮어쓰기 처리부(47)가, 상위 중지 명령에 따라, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하고, 완료 보고부(49)가 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 송신하므로, 반송차(V)를 정지시키는 일 없이, 중지 완료 보고를 상위 컨트롤러(MC)에 조기에 확실하게 송신할 수 있다. 또한, 상위 컨트롤러(MC)는, 중지 완료 보고를 수신함으로써 새로운 상위 반송 명령을 반송 컨트롤러(TC)에 송신할 수 있으며, 이 상위 반송 명령에 근거하여, 반송 컨트롤러(TC)가 새로운 반송 명령을 주행 중인 반송차(V)에 할당하므로, 상위 반송 명령의 중지에 수반하는 물품(W)의 반송 효율의 저하를 확실히 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS)(반송 컨트롤러(TC)) 및 반송차의 제어 방법은, 기존의 반송 시스템에 있어서의 상위 컨트롤러를 변경하는 일 없이, 반송 컨트롤러만을 변경함으로써 실시할 수 있으므로, 간편하게 저비용으로 도입할 수 있다.
[0114] 이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법에 의하면, 상위 컨트롤러로부터 상위 중지 명령을 수신하였을 때, 반송 컨트롤러(TC)가, 반송차(V)에 할당되어 있는 반송 명령을 삭제하는 것이 아니라, 소정 위치까지 주행시키고 또한 그 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여, 그 덮어쓰기가 완료되었을 때 상위 중지 명령 완료 보고를 상위 컨트롤러에 송신함으로써, 반송 명령이 할당되어 있던 반송차(V)를 정지시키는 일 없이, 완료 보고에 따라 상위 컨트롤러로부터 송신되는 새로운 반송 명령을 상기 반송차(V)에 다시 할당할 수 있다.
[0115] 이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는, 상기한 실시형태에 한정되지 않는다. 상기한 실시형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 분명하다. 또한, 그러한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 또한, 상기한 실시형태 등에서 설명한 요건 중 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또한, 상기한 실시형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또한, 법령에 허용되는 한, 일본 특허출원인 특원2018-059595호, 및 상술한 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시(開示)를 원용하여 본문 기재의 일부로 한다. 또한, 본 실시형태에서 나타낸 각 처리의 실행 순서는, 앞(前)의 처리의 출력을 나중(後)의 처리에서 이용하는 처리가 아닌 한, 임의의 순서로 실현 가능하다. 또한, 상기한 실시형태에 있어서의 동작에 관하여, 편의상 「우선」, 「다음으로」, 「이어서」 등을 이용하여 설명하였다고 하더라도, 이 순서대로 실시하는 것이 필수는 아니다.
W: 물품
MC: 상위 컨트롤러
TC: 반송 컨트롤러
TA: 궤도(경로)
10: 분기부
11: 합류부
31: 상위 반송 명령 결정부
32: 상위 중지 명령 결정부
41: 상태 정보 요구부
42: 상태 정보 수신부
43: 상위 반송 명령 수신부
44: 반송 명령부
46: 상위 중지 명령 수신부
47: 덮어쓰기 처리부
48: 반송차 정보 격납부
49: 완료 보고부

Claims (7)

  1. 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차와, 상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 근거하여, 상기 반송차를 제어하는 반송 컨트롤러를 구비하는 반송 시스템으로서,
    상기 반송 컨트롤러는,
    상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 상위 반송 명령에 따라, 상기 반송차에 대해, 상기 하물 픽업 장소의 물품을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 반송 명령부와,
    상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 상기 반송차에 할당되어 있는 상기 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 상기 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차에 할당하는 덮어쓰기 처리부와,
    상기 덮어쓰기 처리부에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상기 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상기 상위 컨트롤러에 송신하는 완료 보고부를 구비하는, 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 명령부는, 상기 덮어쓰기 처리부에 의해 상기 이동 명령을 덮어쓰기한 상기 반송차에 대해, 상기 상위 컨트롤러가 상기 중지 완료 보고를 수신한 후에 그 반송차가 유지하고 있는 물품에 관해 새롭게 나오는 상기 상위 반송 명령에 따른 상기 반송 명령을 할당하는, 반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 덮어쓰기 처리부는, 상기 소정 위치로서, 상기 이동 명령을 덮어쓰기한 상기 반송차의 현재 위치로부터 주행 방향에 있어서 상기 경로의 분기부에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하는, 반송 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 덮어쓰기 처리부는, 상기 소정 위치로서, 상기 반송 명령이 할당되어 있는 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 상기 반송차의 현재 위치로부터 상기 하물 픽업 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하고, 상기 반송차가 하물 언로딩 장소를 향해 주행하고 있는 경우에는, 상기 반송차의 현재 위치로부터 상기 하물 언로딩 장소에 이르기까지의 어느 하나의 위치로 설정하는, 반송 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 명령부는,
    상기 덮어쓰기 처리부가 상기 반송 명령에 덮어쓰기하여 상기 이동 명령을 할당하였을 때, 상기 반송차가 하물 픽업 장소를 향해 주행하고 있는 경우, 상기 이동 명령을 할당하고 나서 소정의 기간은, 그 반송차에 대해, 상기 반송 명령에 있어서의 상기 하물 픽업 장소와 동일한 상기 하물 픽업 장소로의 반송 명령만을 할당하는, 반송 시스템.
  6. 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차를, 상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 근거하여 제어하는 반송 컨트롤러로서,
    상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 상위 반송 명령에 따라, 상기 반송차에 대해, 하물 픽업 장소의 물품을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 반송 명령부와,
    상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 상기 반송차에 할당되어 있는 상기 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 상기 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차에 할당하는 덮어쓰기 처리부와,
    상기 덮어쓰기 처리부에 의한 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상기 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상기 상위 컨트롤러에 송신하는 완료 보고부를 구비하는, 반송 컨트롤러.
  7. 소정의 경로를 따라 주행하며, 물품을 반송하는 반송차를 제어하는 방법으로서,
    상위 컨트롤러로부터 수신한 물품의 반송에 관한 상위 반송 명령에 따라, 상기 반송차에 대해, 하물 픽업 장소의 물품을 하물 언로딩 장소로 반송시키는 반송 명령을 할당하는 것과,
    상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 상위 반송 명령을 중지하는 상위 중지 명령에 따라, 상기 반송차에 할당되어 있는 상기 반송 명령에, 소정 위치까지 주행시키고 또한 상기 소정 위치에서의 하물의 언로딩을 행하지 않는 이동 명령을 덮어쓰기하여 그 반송차에 할당하는 것과,
    상기 이동 명령의 덮어쓰기가 완료되었을 때, 상기 상위 중지 명령이 완료되었음을 나타내는 중지 완료 보고를 상기 상위 컨트롤러에 송신하는 것을 구비하는, 반송차의 제어 방법.


KR1020207027847A 2018-03-27 2019-02-04 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법 KR102392084B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018059595 2018-03-27
JPJP-P-2018-059595 2018-03-27
PCT/JP2019/003838 WO2019187631A1 (ja) 2018-03-27 2019-02-04 搬送システム、搬送コントローラ、及び、搬送車の制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200124285A true KR20200124285A (ko) 2020-11-02
KR102392084B1 KR102392084B1 (ko) 2022-04-27

Family

ID=68058998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207027847A KR102392084B1 (ko) 2018-03-27 2019-02-04 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US11339008B2 (ko)
EP (1) EP3778435A4 (ko)
JP (1) JP6897865B2 (ko)
KR (1) KR102392084B1 (ko)
CN (1) CN111902347B (ko)
SG (1) SG11202009524SA (ko)
TW (1) TWI777049B (ko)
WO (1) WO2019187631A1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019230046A1 (ja) * 2018-05-31 2019-12-05 村田機械株式会社 搬送システム
TWI733593B (zh) * 2020-04-28 2021-07-11 盟立自動化股份有限公司 防碰撞的控制方法及軌道車控制系統
CN115818098B (zh) * 2023-02-17 2023-05-05 成都思越智能装备股份有限公司 一种小车搬送控制***及搬运方法
CN117518935A (zh) * 2023-11-30 2024-02-06 弥费科技(上海)股份有限公司 一种空中运输车及其行进控制***

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006054389A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Murata Mach Ltd 搬送システム
KR20100062919A (ko) * 2008-12-02 2010-06-10 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
KR20110118674A (ko) * 2009-03-03 2011-10-31 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000153906A (ja) * 1998-11-17 2000-06-06 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2001100841A (ja) * 1999-10-04 2001-04-13 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2001296922A (ja) 2000-04-12 2001-10-26 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2002175116A (ja) * 2000-12-05 2002-06-21 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP4023193B2 (ja) * 2002-04-01 2007-12-19 村田機械株式会社 搬送システム
JP3982407B2 (ja) * 2002-12-26 2007-09-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4462199B2 (ja) 2006-01-30 2010-05-12 村田機械株式会社 搬送車システム
CN101376456B (zh) * 2007-08-29 2011-03-23 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 货物搬运监控***及方法
JP4487321B2 (ja) * 2008-03-10 2010-06-23 村田機械株式会社 走行車システム
US9811090B2 (en) * 2011-07-07 2017-11-07 Murata Machinery, Ltd. Guided vehicle system and guided vehicle travel schedule generation method
KR20150020757A (ko) * 2013-08-19 2015-02-27 삼성전자주식회사 기판 처리 시스템 및 이의 제어 방법
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
US9818633B2 (en) * 2014-10-17 2017-11-14 Lam Research Corporation Equipment front end module for transferring wafers and method of transferring wafers
JP6504266B2 (ja) * 2015-12-09 2019-04-24 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6928941B2 (ja) 2016-10-07 2021-09-01 若井ホールディングス株式会社 パッキンを用いたネジのシール装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006054389A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP4337683B2 (ja) 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
KR20100062919A (ko) * 2008-12-02 2010-06-10 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
KR20110118674A (ko) * 2009-03-03 2011-10-31 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US20210047134A1 (en) 2021-02-18
EP3778435A4 (en) 2022-01-19
WO2019187631A1 (ja) 2019-10-03
TWI777049B (zh) 2022-09-11
KR102392084B1 (ko) 2022-04-27
CN111902347B (zh) 2022-06-28
CN111902347A (zh) 2020-11-06
US11339008B2 (en) 2022-05-24
JP6897865B2 (ja) 2021-07-07
SG11202009524SA (en) 2020-10-29
TW201945262A (zh) 2019-12-01
JPWO2019187631A1 (ja) 2021-03-18
EP3778435A1 (en) 2021-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102392084B1 (ko) 반송 시스템, 반송 컨트롤러, 및, 반송차의 제어 방법
EP1627834B1 (en) Carrying system
JP4366663B2 (ja) 搬送台車システム
JPWO2017090334A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP7136214B2 (ja) 搬送車システム
JP6863329B2 (ja) 走行車システム及び走行車の制御方法
KR102384236B1 (ko) 반송차 시스템 및 반송차 제어 방법
KR102376371B1 (ko) 반송 시스템
JP7069845B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
WO2020230427A1 (ja) 搬送システム及び搬送制御方法
JP2002175116A (ja) 無人搬送車システム
WO2023199628A1 (ja) 搬送システム及び搬送制御方法
JP7327666B2 (ja) 走行車システム、及び走行車の制御方法
TW202147054A (zh) 台車系統及台車控制方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant