KR20200057161A - 웨이퍼 보관이 가능한 웨이퍼 프로버용 로더 - Google Patents

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KR20200057161A
KR20200057161A KR1020180141031A KR20180141031A KR20200057161A KR 20200057161 A KR20200057161 A KR 20200057161A KR 1020180141031 A KR1020180141031 A KR 1020180141031A KR 20180141031 A KR20180141031 A KR 20180141031A KR 20200057161 A KR20200057161 A KR 20200057161A
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박남우
신기훈
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주식회사 쎄믹스
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Abstract

본 발명은 복수 개의 웨이퍼를 임시 보관할 수 있도록 구성된 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대의 일측면에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시키거나, 웨이퍼 프로버들로부터 회수한 다수 개의 웨이퍼들을 임시 보관할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다.

Description

웨이퍼 보관이 가능한 웨이퍼 프로버용 로더{Loader for wafer prober being capable of storing wafers}
본 발명은 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하여, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 웨이퍼들을 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성되어, 복수 개의 웨이퍼 프로버에 대한 웨이퍼 이송을 위한 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있도록 한 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것이다.
반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다. 일반적으로, 웨이퍼 프로버는 수직 및 수평 방향으로의 구동이 가능한 스테이지, 상기 스테이지 위에 안착되고 상부표면에 웨이퍼가 탑재되는 척(Chuck), 상기 웨이퍼를 검사하기 위한 전기적 시험장치 및 상기 시험 장치와 연결되어 웨이퍼와 접촉되는 프로브 카드를 포함한다.
웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암을 회전 이동, 수평 이동 및 수직 이동시키면서 카세트로부터 웨이퍼를 픽업하여 프로버 스테이지의 척(Chuck)으로 이송시키거나 척으로부터 웨이퍼를 픽업하여 카세트로 이송시키는 장치이다. 종래의 웨이퍼 프로버용 로더는 하나의 웨이퍼 프로버에 설치되어, 카세트로부터 검사할 한 장의 웨이퍼를 픽업하여 웨이퍼 프로버에 제공하거나 단일의 웨이퍼 프로버로부터 검사 완료된 한 장의 웨이퍼를 픽업하여 카세트에 적재시키도록 구성된다.
최근, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 단일의 웨이퍼 프로버용 로더를 이용하여 웨이퍼들을 제공하거나 픽업하는 기술들이 제안되고 있다. 이 경우, 웨이퍼 프로버용 로더는 다수 개의 웨이퍼 프로버들로 웨이퍼들을 검사 시간내에 정확하고 신속하게 공급하여야 한다.
하지만, 웨이퍼 프로버용 로더는 각 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 공급하기 위하여, 카세트로부터 웨이퍼를 픽업하고, 픽업된 웨이퍼를 프리-얼라인먼트(Pre-Alignment)를 완료한 후 웨이퍼 프로버에 제공하게 되며, 다시 카세트로 이동하여 웨이퍼를 픽업하여 다음 웨이퍼 프로버에 제공하는 과정을 반복하게 된다. 이때, 웨이퍼 프로버용 로더가 카세트와 웨이퍼 프로버들 간의 주행에 따른 이동 시간이 많이 소요됨에 따라, 전체 웨이퍼 프로버들에서의 웨이퍼 검사를 위한 사전 준비시간이 많이 소요되고, 그 결과 전체 웨이퍼 검사 시간도 길어지게 되어 검사 효율이 감소되는 문제가 빈번히 발생하게 된다.
한국공개특허공보 제 10-2001-0023014호
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 웨이퍼를 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성되어, 복수 개의 웨이퍼 프로버로의 웨이퍼 이송을 위한 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있도록 한 웨이퍼 프로버용 로더를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는, 단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하는 로봇암; 상기 로봇암이 이동되는 범위에 따라 제작된 로더 프레임; 상기 로봇암을 로더 프레임의 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 로봇암 구동 모듈; 상부면에 상기 로봇암이 탑재되어 상기 로봇암 구동 모듈에 연결된 로봇암 지지대; 및 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재할 수 있도록 구성되고, 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재된 버퍼 트레이; 를 구비하여, 버퍼 트레이에 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성된다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 더 구비하고, 상기 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈은 상기 버퍼 트레이와 로봇암 지지대의 사이에 배치되어, 버퍼 트레이를 로봇암 지지대의 측면에서 소정 범위를 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수직 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수직 이동 모듈을 구비하고, 상기 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대가 상기 수직 이동 모듈에 탑재되고, 상기 수직 이동 모듈은 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수직 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수평 이동 모듈을 구비하고, 상기 수평 이동 모듈은 상기 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 일체형으로 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈, 그리고 회전시키는 회전 모듈을 구비하는 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이를 더 구비하고, 상기 로봇암은 상기 클리닝 웨이퍼 트레이로부터 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이로 이송하고, 복수 개의 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들의 세정을 위하여 상기 클리닝 웨이퍼들을 복수 개의 웨이퍼 프로버들로 각각 이송하도록 구성된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임의 소정 위치에 장착된 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈을 더 구비하고, 상기 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼들을 검사전에 방향을 정렬하는 모듈로서, 상기 로봇암은 프리-얼라인먼트 모듈에 의해 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이로 이송시키는 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에 적용될 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시킬 수 있도록 구성된다. 따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과, 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 복수개의 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이를 사용함으로써, 웨이퍼 프로빙 공정중인 시간에 카세트로부터 웨이퍼들을 꺼내어 다수 개의 웨이퍼 프로버에 공급할 수 있을 만큼 사전 준비가 가능해지게 된다. 또한, 웨이퍼 프로버용 로더가 프로버 스테이지로부터 웨이퍼를 회수한 경우에도, 즉시 다시 카세트로 되돌아갈 필요없이, 회수한 웨이퍼들을 버퍼 트레이에 임시로 보관할 수 있게 됨으로써, 다른 웨이퍼 프로버의 작업을 수행할 수 있게 된다.
이러한 특징에 의하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 다수 개의 웨이퍼 프로버들에 신속하게 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 픽업하여 회수할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 인접하여 나열된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있으며, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 로더에 대한 배면도이며, 도 3은 도 1의 로더에 대한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 및 수평 이동 모듈에 의해 하부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 로봇암의 로봇 핸드가 버퍼 트레이로부터 웨이퍼를 픽업하거나 버퍼 트레이에 웨이퍼를 적재시키는 과정을 도시한 사용 상태도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 이동하여 프로버 스테이지로 이동하는 과정을 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이에 클리닝 웨이퍼들 또는 웨이퍼들이 적재된 상태를 도시한 예시도이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암 지지대에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더의 구조 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 로더에 대한 배면도이며, 도 3은 도 1의 로더에 대한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는 로봇암(100), 로봇암 지지대(110), 버퍼 트레이(120), 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈(도시되지 않음), 로더 프레임(130), 로봇암 이동 모듈을 구비한다.
상기 로봇암(100)은 단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드(102)가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하게 된다.
상기 로봇암 지지대(110)는 상부면에는 로봇암(100)이 탑재되고, 일측면에는 버퍼 트레이(120)가 탑재되어, 상기 로더 프레임에 탑재된다. 상기 로봇암 지지대는 상기 로봇암 이동 모듈을 개재하여 상기 로더 프레임에 탑재됨으로써, 상기 로봇암 지지대에 탑재된 로봇암과 버퍼 트레이는 로봇암 이동 모듈의 구동에 의해 로더 프레임의 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동될 수 있으며, 회전도 가능하게 된다.
상기 버퍼 트레이(120)는 복수 개의 웨이퍼들을 수용할 수 있도록 구성되며, 로봇암과 함께 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재되어 로봇암과 일체형으로 이동하게 된다. 상기 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 개재하여 로봇암 지지대의 일측면에 탑재됨으로서, 상기 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈의 구동에 의하여 로봇암 지지대의 일측면에서 소정의 범위내에서 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된다.
상기 로봇암은 상기 로봇암 이동 모듈의 구동에 의해 수평 및 수직 방향에 대한 위치가 결정되며, 로봇암과 일체형으로 이동되는 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈의 구동에 의해 로봇암의 측면에서 수직 방향을 따라 일정 범위를 이동하게 된다. 따라서, 버퍼 트레이가 수직 방향으로 이동함에 의해, 로봇암의 로봇 핸드가 위치한 높이와 웨이퍼를 픽업 또는 적재할 버퍼 트레이의 위치를 일치시키게 된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다. 도 4를 참조하면, 로봇암(100)의 로봇 핸드(102)가 버퍼 트레이(120)의 소정 위치로부터 웨이퍼를 픽업하거나, 버퍼 트레이의 소정 위치로 웨이퍼를 이동시켜 적재하게 된다. 로봇 핸드(102)가 버퍼 트레이의 소정 위치로 웨이퍼를 픽업하거나 적재시킬 때, 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈이 버퍼 트레이의 높이를 조정함으로써, 로봇 핸드의 높이와 픽업 또는 적재될 버퍼 트레이의 위치를 일치시키게 된다. 이러한 버퍼 트레이의 높이 조정을 한 후 로봇 핸드가 회전하여 버퍼 트레이의 특정 위치에 웨이퍼를 적재시키거나 특정 위치의 웨이퍼를 픽업하게 된다.
상기 로봇암 이동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 모듈로서, 상기 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대를 회전시키는 회전 모듈(도시되지 않음), 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대를 로더 프레임(130)의 수직 방향을 따라 이동시키는 수직 이동 모듈(140), 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키는 수평 이동 모듈(150)을 구비한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 및 수평 이동 모듈에 의해 하부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다. 도 5를 참조하면, 로봇암 지지대에 탑재된 버퍼 트레이와 로봇암이 함께 이동됨을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 로봇암의 로봇 핸드가 버퍼 트레이로부터 웨이퍼를 픽업하거나 버퍼 트레이에 웨이퍼를 적재시키는 과정을 도시한 사용 상태도이다. 도 6을 참조하면, 로봇암 지지대에 탑재된 버퍼 트레이와 로봇암이 수직 이동 모듈에 의해 로더 프레임의 하단으로 이동되며 수평 이동 모듈에 의해 수직 이동 모듈이 로더 프레임의 좌측으로 이동됨을 알 수 있다.
상기 로더 프레임(130)은 로봇암이 이동되어야 할 범위에 따라 제작지는 프레임으로서, 로봇암이 수평 이동 모듈(150) 및 수직 이동 모듈(140)의 구동에 의해 로더 프레임의 수평 및 수직 방향을 따라 이동되도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈은 벨트 및 벨트를 구동하는 모터 등으로 이루어질 수 있다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 이동하여 프로버 스테이지로 이동하는 과정을 도시한 평면도이다. 도 7을 참조하면, 로봇암과 다수 개의 웨이퍼들이 적재되어 임시 보관된 버퍼 트레이가 수평 및 수직 이동 모듈에 의해 웨이퍼 프로버로 이동됨을 알 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는, 로더 프레임에서 로봇암 및 로봇암 이동 모듈이 탑재된 면과 반대되는 면에, 웨이퍼 카세트(200), 클리닝 웨이퍼 트레이(210) 및 CC 트레이(Card Changer Tray : 220), 인스펙션 트레이(Inspection Tray : 240)을 장착하는 것이 바람직하다.
전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 버퍼 트레이에 복수 개의 클리닝 웨이퍼들을 적재하여 웨이퍼 프로버로 제공함으로써, 각 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들을 세정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이에 클리닝 웨이퍼들 또는 웨이퍼들이 적재된 상태를 도시한 예시도이다. 도 8을 참조하면, 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임(130)에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이들로부터 복수 개의 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이에 적재시킨 후 각 웨이퍼 프로버들로 이동하여, 각 웨이퍼 프로버들의 프로버 카드들을 세정할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는, 로더 프레임의 소정 위치에 웨이퍼 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈(230)을 장착하는 것이 바람직하다. 웨이퍼 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼 프로버에 이송할 웨이퍼를 검사전에 정해진 방향으로 정렬하는 모듈로서, 프리-얼라인먼트 모듈에서 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이에 이송하여 적재시킴으로써, 검사 소요 시간을 감축시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 인접하여 나열된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있으며, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 수직 및 수평 방향으로의 이동이 자유롭고, 버퍼 트레이에 의해 복수 개의 웨이퍼들을 임시 보관이 가능하므로, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수직 및 수평 방향으로 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 응용될 수 있다.
이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 웨이퍼 프로버용 로더
100 : 로봇암
102 : 로봇 핸드
110 : 로봇암 지지대
120 : 버퍼 트레이
130 : 로더 프레임
140 : 수직 이동 모듈
150 : 수평 이동 모듈
200 : 웨이퍼 카세트
210 : 클리닝 웨이퍼 트레이

Claims (8)

  1. 단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하는 로봇암;
    상기 로봇암이 이동되는 범위에 따른 형상을 갖도록 제작된 로더 프레임;
    상기 로봇암을 로더 프레임의 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 로봇암 구동 모듈;
    상부면에 상기 로봇암이 탑재되어 상기 로봇암 구동 모듈에 연결된 로봇암 지지대; 및
    하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재할 수 있도록 구성되고, 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재된 버퍼 트레이;
    를 구비하여, 버퍼 트레이에 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 더 구비하고,
    상기 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈은 상기 버퍼 트레이와 로봇암 지지대의 사이에 배치되어, 버퍼 트레이를 로봇암 지지대의 측면에서 소정 범위를 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  3. 제1항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수직 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수직 이동 모듈을 구비하고,
    상기 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대가 상기 수직 이동 모듈에 탑재되고,
    상기 수직 이동 모듈은 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수직 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  4. 제3항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수평 이동 모듈을 구비하고,
    상기 수평 이동 모듈은 상기 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  5. 제1항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 일체형으로 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈, 그리고 회전시키는 회전 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  6. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이를 더 구비하고,
    상기 로봇암은 상기 클리닝 웨이퍼 트레이로부터 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이로 이송하고, 복수 개의 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들의 세정을 위하여 상기 클리닝 웨이퍼들을 복수 개의 웨이퍼 프로버들로 각각 이송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  7. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임의 소정 위치에 장착된 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈을 더 구비하고,
    상기 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼들을 검사전에 방향을 정렬하는 모듈로서, 상기 로봇암은 프리-얼라인먼트 모듈에 의해 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이로 이송시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
  8. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에 적용되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010023014A (ko) 1997-08-28 2001-03-26 씨브이씨 프로덕츠 인코포레이티드 다중스테이션 장비용 웨이퍼 핸들러

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