KR20200046791A - Tem sample holding device - Google Patents

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KR20200046791A KR1020180128410A KR20180128410A KR20200046791A KR 20200046791 A KR20200046791 A KR 20200046791A KR 1020180128410 A KR1020180128410 A KR 1020180128410A KR 20180128410 A KR20180128410 A KR 20180128410A KR 20200046791 A KR20200046791 A KR 20200046791A
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한국기초과학지원연구원
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Abstract

According to one embodiment of the present invention, a sample holding device, which may be used in optical microscope, may comprise: a sample holder capable of receiving a plurality of samples; and a support unit including a base and a connection unit to support the sample holder in a state that the sample holder is spaced apart in a vertical direction with respect to the base. The sample holder may include an upper thin plate including a plurality of sample receiving holes, a lower thin plate disposed on a lower surface of the upper thin plate and including a sample support unit overlapping at least one of the sample receiving holes to support the samples housed in the sample receiving holes from a lower side, and a support bar fixing the lower thin plate against the upper thin plate by pressing the lower thin plate.

Description

TEM 시료 지지 장치{TEM SAMPLE HOLDING DEVICE}TEM sample holding device {TEM SAMPLE HOLDING DEVICE}

아래의 설명은 TEM 시료 지지 장치에 관한 것이다.The description below relates to a TEM sample support device.

전자 현미경은 전자선과 전자 렌즈를 사용하여 시료의 미세 구조를 관찰하는 장치로서, 크게 시료를 투과한 전자빔을 스캔하는 투과 전자 현미경(Transmission Electron Microscope, TEM)과 시료에서 충돌되어 반사된 전자빔을 스캔하는 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 구분된다.An electron microscope is a device that observes the microstructure of a sample using an electron beam and an electron lens.It scans an electron beam that is collided and reflected in a sample with a transmission electron microscope (TEM) that scans the electron beam that has largely transmitted through the sample. It is classified into a scanning electron microscope (SEM).

최근 원자 단위로 시료를 더 자세하게 분석하기 위해 주사 투과 전자 현미경(Scanning Transmission Electron Microscope, STEM)이 알려져 있다.Recently, a scanning transmission electron microscope (STEM) has been known to analyze a sample in more detail in atomic units.

STEM의 이미징을 위해 얇은 TEM 시료를 지지할 수 있는 장치가 필요하지만, 검출기마다 측정 위치 또는 방향이 상이하고, 챔버 내부의 공간이 협소하다는 문제점 때문에 해당 조건을 만족하는 시료 지지 장치를 구성하는 것에 제약에 존재하였으며, 또한, 시료로부터 반사된 전자빔이 시료 지지 장치에 조사되면서 반사, 간섭 또는 굴절되어 복수개의 검출기의 이미징 품질이 저하되고, 호환성이 떨어지는 문제점이 존재하였다.A device capable of supporting a thin TEM sample is required for imaging of the STEM, but is limited in constructing a sample support device that satisfies the conditions due to the problem that the measurement position or direction is different for each detector and the space inside the chamber is narrow. In addition, as the electron beam reflected from the sample is irradiated to the sample support device, there is a problem that the imaging quality of the plurality of detectors is deteriorated and the compatibility is poor due to reflection, interference, or refraction.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above-described background art is possessed or acquired by the inventor during the derivation process of the present invention, and is not necessarily a known technology disclosed to the general public before filing the present invention.

일 실시 예의 목적은 전자 현미경용 시료 지지 장치를 제공하는 것이며, 나아가 광학 현미경에서도 사용할 수 있는 시료 지지 장치를 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a sample support device for an electron microscope, and furthermore, to provide a sample support device that can also be used in an optical microscope.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치는, 복수개의 시료를 수용 가능한 시료 홀더; 및 베이스와, 상기 베이스에 대하여 상기 시료 홀더를 상하 방향으로 이격된 상태에서 지지하도록 연결부를 포함하는 지지부를 포함할 수 있고, 상기 시료 홀더는, 복수개의 시료 수용 구멍을 포함하는 상측 박판; 상기 상측 박판의 하면에 배치되어 상기 시료 수용 구멍 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 상기 시료 수용 구멍에 수용된 상기 시료를 하측으로부터 지지하는 시료 지지부를 포함하는 하측 박판; 및 상기 상측 박판에 대해 상기 하측 박판을 가압함으로써 상기 하측 박판을 고정하는 지지 바를 포함할 수 있다.A sample support device according to an embodiment includes a sample holder capable of accommodating a plurality of samples; And a support portion including a base and a connecting portion to support the sample holder in a state spaced apart in the vertical direction with respect to the base, wherein the sample holder includes: an upper thin plate including a plurality of sample receiving holes; A lower thin plate disposed on a lower surface of the upper thin plate and overlapping at least one of the sample receiving holes to include a sample supporting portion supporting the sample accommodated in the sample receiving hole from the lower side; And a support bar for fixing the lower thin plate by pressing the lower thin plate against the upper thin plate.

상기 상측 박판의 상면은 평편하고, 상기 시료 홀더는 상기 상면으로부터 상측으로 돌출되는 부분을 갖지 않을 수 있다.The upper surface of the upper thin plate is flat, and the sample holder may not have a portion protruding upward from the upper surface.

상기 상측 박판은, 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 측면부를 더 포함하고, 상기 시료 홀더는, 상기 측면부를 측면에서 관통하여 상기 지지 바를 상기 상측 박판에 고정시키는 지지 바 고정 부재를 더 포함할 수 있다.The upper thin plate further includes a side portion protruding downward from both sides of an edge of the lower surface, and the sample holder further includes a supporting bar fixing member penetrating the side portion from the side and fixing the supporting bar to the upper thin plate. You can.

상기 지지 바는, 상기 상측 박판의 하면에 접촉하는 접촉부; 및 상기 접촉부로부터 함몰 형성되고, 상기 하측 박판의 하면에 접촉하는 함몰부를 포함할 수 있다.The support bar includes a contact portion in contact with a lower surface of the upper thin plate; And a depression formed in a depression from the contact portion and contacting a lower surface of the lower thin plate.

상기 복수개의 시료 수용 구멍은, 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함할 수 있고, 상기 시료 지지부는 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부를 포함할 수 있고, 상기 시료는 상기 단차부 및 돌출부 사이에 수용될 수 있다.The plurality of sample accommodating holes may include a stepped portion in which a diameter of a lower side is wider than an upper side, and the sample support portion may include a protruding portion with an edge portion protruding upward to engage a wider diameter portion of the stepped portion. The sample may be accommodated between the stepped portion and the protruding portion.

상기 하측 박판이 상기 상측 박판과 결합될 경우, 상기 복수개의 시료 지지부의 돌출부 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부의 돌출부는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍의 단차부에 형합되도록 맞물릴 수 있다.When the lower thin plate is combined with the upper thin plate, at least two or more of the projecting portions of the plurality of sample supporting portions may be engaged to match the step portion of the at least two or more sample receiving holes facing each other.

상기 시료 지지부는 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함할 수 있다.The sample support portion may further include an expansion portion that is expanded so that the diameter of the lower side is wider than the upper side.

상기 상측 박판은, 상기 연결부의 말단에 연결되어 고정될 수 있는 체결 봉을 더 포함할 수 있고, 상기 시료 홀더는 상기 지지부로부터 탈부착 가능할 수 있다.The upper thin plate may further include a fastening rod connected to and fixed to the end of the connecting portion, and the sample holder may be detachable from the supporting portion.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치는 상기 시료 홀더를 수용하는 안착부를 포함하는 광학 현미경용 가이드; 및 상기 베이스 및 시료 홀더 사이에 설치되어 광의 반사를 조절하는 반사 조절 플레이트를 더 포함할 수 있다.The sample support apparatus according to an embodiment includes: a guide for an optical microscope including a seating portion accommodating the sample holder; And a reflection adjustment plate installed between the base and the sample holder to control reflection of light.

상기 복수개의 시료 수용 구멍은 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함할 수 있고, 상기 시료 지지부는, 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부; 및 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함할 수 있다.The plurality of sample accommodating holes may include a stepped portion in which a diameter of a lower side is wider than an upper side, and the sample support portion may include a protrusion having an edge portion protruding upward so as to engage a wider portion of the stepped portion; And it may further include an expanding portion that is expanded so that the diameter of the lower side is wider than the upper side.

상기 반사 조절 플레이트는 상기 지지부 또는 상기 광학 현미경용 가이드에 대해 상하 방향으로 슬라이딩 가능할 수 있다.The reflection adjustment plate may be slidable in the vertical direction with respect to the support or the optical microscope guide.

일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 시료 홀더의 상면 부분 중, 시료 수용 구멍을 제외한 부분은 홈, 굴곡, 체결부 또는 체결 부재가 없이 평편하게 형성됨에 따라서, 시료 홀더에 충돌한 이후 반사되는 전자빔이 검출기에 감지되는 경향을 최소화시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, the portion of the upper surface of the sample holder, except for the sample receiving hole, is formed flat without grooves, bends, fastenings or fastening members, and thus the electron beam reflected after colliding with the sample holder The tendency to be detected by the detector can be minimized.

일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 시료로부터 상측 박판의 상면까지의 높이를 최소화시키기 유리한 구조를 가지게 되므로, 전자빔이 시료 상에 조사되는 과정에서의 간섭을 감소시킬 수 있고, 더불어 시료로부터 반사되는 전자빔 또는 X-ray가 검출기를 향해 비행하는 과정에서의 간섭 역시 감소시킬 수 있기 때문에, 전자 현미경의 이미지 및 분석데이터 품질을 크게 향상시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, since it has an advantageous structure to minimize the height from the sample to the upper surface of the upper thin plate, it is possible to reduce the interference in the process of the electron beam being irradiated on the sample, and also the electron beam reflected from the sample Alternatively, since the interference in the process of the X-ray flying toward the detector can also be reduced, the quality of the image and analysis data of the electron microscope can be greatly improved.

일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 얇은 하측 박판을 통해 시료를 지지할 수 있기 때문에, 하측 박판의 시료 지지부의 구멍을 통과하는 전자빔의 간섭을 감소시킬 수 있으며, 더불어, 시료 지지부는 하측으로 확개되는 형상을 가지기 때문에, 전자빔이 시료를 투과하는 과정에서의 간섭을 최소화시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, since the sample can be supported through the thin lower thin plate, the interference of the electron beam passing through the hole of the sample supporting portion of the lower thin plate can be reduced, and the sample supporting portion is expanded downward. Since it has a shape, it is possible to minimize interference in the process of electron beam passing through the sample.

도 1은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 분리 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 저면 사시도이다.
도 5는 도 2의 선 I-I를 따라 절취한 시료 홀더의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 시료 홀더의 확대 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 정면도이다.
도 9는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.
2 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment.
3 is an exploded perspective view of a sample holder according to an embodiment.
4 is a bottom perspective view of a sample holder according to an embodiment.
5 is a cross-sectional view of the sample holder taken along line II of FIG. 2.
6 is an enlarged cross-sectional view of the sample holder shown in FIG. 5.
7 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment.
8 is a front view of a sample support device according to an embodiment.
9 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the embodiments, when it is determined that detailed descriptions of related well-known configurations or functions interfere with understanding of the embodiments, detailed descriptions thereof will be omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in any one embodiment and components including a common function will be described using the same name in other embodiments. Unless there is an objection to the contrary, the description described in any one embodiment may be applied to other embodiments, and a detailed description will be omitted in the overlapped range.

도 1은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 분리 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 저면 사시도이고, 도 5는 도 2의 선 I-I를 따라 절취한 시료 홀더의 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 시료 홀더의 확대 단면도이다.1 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment, FIG. 2 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment, FIG. 3 is an exploded perspective view of a sample holder according to an embodiment, and FIG. 4 is a 5 is a cross-sectional perspective view of a sample holder taken along line II of FIG. 2, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the sample holder shown in FIG. 5.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)는, 전자 현미경에서 복수개의 시료(15)를 관찰하기 위해 복수개의 시료(15)를 수용하는 장치일 수 있다.1 to 6, the sample support device 1 according to an embodiment may be a device that accommodates a plurality of samples 15 to observe a plurality of samples 15 in an electron microscope.

예를 들어, 전자 현미경은 투과 전자 현미경(Transmission Electron Microscope, TEM), 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 또는 주사 투과 전자 현미경(Scanning Transmission Electron Microscope, STEM)일 수 있다.For example, the electron microscope may be a Transmission Electron Microscope (TEM), a Scanning Electron Microscope (SEM), or a Scanning Transmission Electron Microscope (STEM).

예를 들어, 시료 지지 장치(1)는 투과전자 현미경(TEM)에서 사용되는 시료(15)를 주사전자 현미경(SEM)에서도 활용할 수 있는 시료 장치일 수 있다. 시료 지지 장치(1)는 예를 들어, 시료 지지 장치(1)는 전자 현미경에 구비되는 에너지 분산형 분광기(5)(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)를 통해 전자빔이 시료(15)가 조사되어 반응하는 X-ray를 분석하여 시료(15)의 구조 및 화학 조성을 측정하는 EDS 분석에서도 사용 가능하다.For example, the sample support device 1 may be a sample device that can utilize the sample 15 used in a transmission electron microscope (TEM) in a scanning electron microscope (SEM). The sample support device 1 is, for example, the sample support device 1 is an electron beam through the energy dispersive spectrometer (5) (Energy Dispersive Spectrometer, EDS) provided in the electron microscope, the sample 15 is irradiated and reacts It can also be used in EDS analysis to measure the structure and chemical composition of the sample 15 by analyzing X-rays.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)는, 지지부(12) 및 시료 홀더(11)를 포함할 수 있다.The sample support device 1 according to an embodiment may include a support part 12 and a sample holder 11.

지지부(12)는 전자 현미경의 챔버 내부에 수용되어 시료 홀더(11)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 지지부(12)는 베이스(121) 및 연결부(122)를 포함할 수 있다.The support part 12 may be accommodated inside the chamber of the electron microscope to support the sample holder 11. For example, the support part 12 may include a base 121 and a connection part 122.

베이스(121)는 시료 지지 장치(1)가 전자 현미경에 대해서 설치 또는 고정되는 부분일 수 있다.The base 121 may be a portion where the sample support device 1 is installed or fixed with respect to an electron microscope.

연결부(122)는 베이스(121)로부터 연장되고, 연장된 말단으로 시료 홀더(11)를 고정할 수 있다.The connection part 122 may extend from the base 121 and fix the sample holder 11 with the extended end.

예를 들어, 연결부(122)는 수직 연장 부재(1221), 체결 단부(1222), 체결 구멍(1223) 및 체결 나사(1224)를 포함할 수 있다.For example, the connection portion 122 may include a vertically extending member 1221, a fastening end 1222, a fastening hole 1223, and a fastening screw 1224.

수직 연장 부재(1221)는, 베이스(121)로부터 STEM의 전자빔의 조사 방향과 평행한 방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다.The vertically extending member 1221 may have a shape extending from the base 121 in a direction parallel to the irradiation direction of the electron beam of the STEM.

체결 단부(1222)는, 수직 연장 부재(1221)의 말단으로서 시료 홀더(11)와 결합될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)는 체결 봉(1112)과 연결되어 결합될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)에는 체결 봉(1112)이 삽입되어 수용될 수 있는 구멍을 구비할 수 있다.The fastening end 1222 may be coupled to the sample holder 11 as an end of the vertically extending member 1221. For example, the fastening end 1222 may be coupled to and connected to the fastening rod 1112. For example, a fastening rod 1112 may be inserted into the fastening end 1222 to have a hole through which it can be accommodated.

체결 구멍(1223)은, 체결 단부(1222)에 체결 봉(1112)이 결합되는 부분에 설치되어 체결 나사(1224)를 통해 체결 봉(1112)을 체결 단부(1222)상에 단단히 고정하기 위한 나사 체결 구멍일 수 있다.The fastening hole 1223 is installed in a portion where the fastening rod 1112 is coupled to the fastening end 1222, and a screw for firmly fixing the fastening rod 1112 through the fastening screw 1224 on the fastening end 1222. It may be a fastening hole.

체결 나사(1224)는 체결 구멍(1223)에 체결될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)에 체결 봉(1112)이 결합된 이후, 체결 구멍(1223)에 체결 나사(1224)가 체결될 경우, 체결 나사(1224)는 체결 봉(1112)을 가압함으로써 체결 봉(1112)을 체결 단부(1222)에 고정시킬 수 있다.The fastening screw 1224 may be fastened to the fastening hole 1223. For example, after the fastening rod 1112 is coupled to the fastening end 1222, when the fastening screw 1224 is fastened to the fastening hole 1223, the fastening screw 1224 presses the fastening rod 1112 The fastening rod 1112 may be fixed to the fastening end 1222.

시료 홀더(11)는, 복수개의 시료를 수용할 수 있고, 지지부(12)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다.The sample holder 11 can accommodate a plurality of samples, and can be detachably coupled to the support 12.

예를 들어, 시료 홀더(11)는 상측 박판(111), 하측 박판(112), 지지 바(113) 및 지지 바 고정 부재(114)를 포함할 수 있다. For example, the sample holder 11 may include an upper thin plate 111, a lower thin plate 112, a supporting bar 113, and a supporting bar fixing member 114.

상측 박판(111)은, 복수개의 시료(15)를 수용할 수 있는 얇은 플레이트형 부재일 수 있다. 예를 들어, 상측 박판(111)의 부분 중 상면은 평편하게 형성되어 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되는 부분을 가지지 않을 수 있다. 예를 들어, 상측 박판(111)은 사각 형상을 가질 수 있다.The upper thin plate 111 may be a thin plate-shaped member that can accommodate a plurality of samples 15. For example, the upper surface of the portion of the upper thin plate 111 may be formed to be flat, and may not have a portion protruding to the upper side of the sample holder 11. For example, the upper thin plate 111 may have a square shape.

예를 들어, 상측 박판(111)은 복수개의 시료 수용 구멍(1111), 체결 봉(1112) 및 측면부(1113)를 포함할 수 있다.For example, the upper thin plate 111 may include a plurality of sample receiving holes 1111, fastening rods 1112, and side portions 1113.

복수개의 시료 수용 구멍(1111)은, 상측 박판(111)을 수직 방향으로 관통하도록 형성되어 그 내부에 시료(15)를 수용할 수 있다. 예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은 전자 현미경의 전자 총(4)으로부터 발생하는 전자빔이 시료(15)를 투과하여 하측으로 통과하는 경로를 형성할 수 있다.The plurality of sample accommodating holes 1111 are formed to penetrate the upper thin plate 111 in the vertical direction to accommodate the sample 15 therein. For example, the plurality of sample receiving holes 1111 may form a path through which the electron beam generated from the electron gun 4 of the electron microscope passes through the sample 15 and passes downward.

예를 들어, 시료(15)는 원형의 박판으로 형성될 수 있고, 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 역시 원형의 형상을 가질 수 있다.For example, the sample 15 may be formed of a circular thin plate, and the plurality of sample receiving holes 1111 may also have a circular shape.

예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은, 서로 일정한 간격으로 이격되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은 격자 또는 그리드 형태로 배열되어 있을 수 있다.For example, the plurality of sample accommodating holes 1111 may be formed spaced apart from each other at regular intervals. For example, the plurality of sample receiving holes 1111 may be arranged in a grid or grid form.

예를 들어, 시료 수용 구멍(1111)의 상단의 직경은 시료(15)의 직경보다 작고, 하단의 직경은 시료(15)의 직경보다 크게 형성될 수 있어서, 시료(15)는 상측 박판(111)의 하측으로부터 삽입될 수 있다.For example, the diameter of the upper end of the sample receiving hole 1111 may be smaller than the diameter of the sample 15, and the diameter of the lower end may be formed larger than the diameter of the sample 15, so that the sample 15 is the upper thin plate 111 ).

예를 들어, 시료 수용 구멍(1111)은 단차부(11111)를 포함할 수 있다.For example, the sample receiving hole 1111 may include a stepped portion 11111.

단차부(11111)는, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)의 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되도록 상측 박판(111)의 하면으로부터 단차지도록 함몰 형성된 부분일 수 있다.The step portion 11111 may be a portion formed to be recessed so as to be stepped from the lower surface of the upper thin plate 111 so that the diameter of the lower side of the plurality of sample receiving holes 1111 is wider.

예를 들어, 단차부(11111)에는 시료(15)가 하측으로부터 수용될 수 있고, 시료(15)는 단차부(11111)에 의해 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되거나 이탈되지 않을 수 있다.For example, the sample 15 may be accommodated in the stepped portion 11111 from the lower side, and the sample 15 may not protrude or deviate from the upper side of the sample holder 11 by the stepped portion 11111.

예를 들어, 단차부(11111)가 형성하는 공간의 직경은 원형의 시료(15)의 직경과 동일할 수 있어서, 시료(15)는 단차부(11111)에 정확히 맞물려 형합될 수 있다.For example, the diameter of the space formed by the stepped portion 11111 may be the same as the diameter of the circular sample 15, so that the sample 15 can be molded by being accurately engaged with the stepped portion 11111.

예를 들어, 시료(15)로부터 시료 수용 구멍(1111)의 상단까지의 높이는 단차부(11111)가 형성하는 높이보다 작을 수 있다. 예를 들어, 시료(15)로부터 시료 수용 구멍(1111)의 상단까지의 높이는 시료(15)에 충돌하여 반사되는 전자빔의 간섭되는 경향을 최소화하기 위해 가능한 낮게 설계되는 것이 유리할 수 있다.For example, the height from the sample 15 to the top of the sample receiving hole 1111 may be smaller than the height formed by the stepped portion 11111. For example, it may be advantageous for the height from the sample 15 to the top of the sample receiving hole 1111 to be designed as low as possible in order to minimize the tendency to interfere with the reflected electron beam impacting the sample 15.

체결 봉(1112)은 연결부(122)의 말단인 체결 단부(1222)에 연결되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 체결 봉(1112)은 체결 단부(1222) 상에 함몰 형성된 구멍에 삽입되어 형성될 수 있다.The fastening rod 1112 may be fixed by being connected to a fastening end 1222 which is an end of the connection part 122. For example, the fastening rod 1112 may be formed by being inserted into a hole formed in a recess on the fastening end 1222.

측면부(1113)는, 상측 박판(111) 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 부재일 수 있다. 예를 들어, 측면부(1113)는 사각 형상의 상측 박판(111)의 서로 마주보는 2개의 모서리 부분에 형성될 수 있다.The side portion 1113 may be a member that protrudes downward from both sides of an edge of the lower surface of the upper thin plate 111. For example, the side portion 1113 may be formed at two corner portions facing each other of the upper thin plate 111 having a square shape.

예를 들어, 측면부(1113)는 상측 박판(111)의 하측에 결합되는 하측 박판(112)을 고정하기 위한 지지 바(113)를 고정할 수 있다. 예를 들어, 서로 마주보는 2 개의 측면부(1113) 사이에 지지 바(113)가 수직한 방향으로 배치되어 지지 바(113)의 양단이 각각 마주보는 측면부(1113)에 고정될 수 있다.For example, the side portion 1113 may fix the support bar 113 for fixing the lower thin plate 112 coupled to the lower side of the upper thin plate 111. For example, the support bars 113 are disposed in the vertical direction between the two side parts 1113 facing each other so that both ends of the support bars 113 can be fixed to the side parts 1113 facing each other.

예를 들어, 측면부(1113)는 제 1 고정 구멍(11131)을 포함할 수 있다. 제 1 고정 구멍(11131)은 2 개의 측면부(1113)가 마주보는 방향으로 관통 형성된 구멍으로서, 후술할 지지 바 고정 부재(114)를 통해 측면부(1113)와 지지 바(113)를 함께 체결하기 위한 구멍일 수 있다. 지지 바 고정 부재(114) 및 상기 구멍에는 각각 서로 대응하는 나사산이 형성되어, 나선 결합될 수 있다. For example, the side portion 1113 may include a first fixing hole 11131. The first fixing hole 11131 is a hole formed through two side portions 1113 facing each other, for fastening the side portion 1113 and the supporting bar 113 through the supporting bar fixing member 114 to be described later. It can be a hole. Screws corresponding to each other are formed in the support bar fixing member 114 and the hole, and may be spirally coupled.

상측 박판(111)에 의하면, 상측 박판(111)의 상면의 부분 중, 시료 수용 구멍(1111)을 제외한 부분은 별도의 홈, 굴곡, 체결부 또는 체결 부재가 없이 평편하게 형성됨에 따라서, 시료 홀더(11)에 충돌한 이후 반사되는 전자빔이 검출기에 감지되어 노이즈를 형성하는 것을 방지할 수 있다.According to the upper thin plate 111, a portion of the upper surface of the upper thin plate 111, except for the sample accommodating hole 1111, is formed flat without a separate groove, bend, fastening portion, or fastening member, so that the sample holder The electron beam reflected after the collision with (11) is sensed by the detector, thereby preventing the formation of noise.

또한, 시료(15)로부터 상측 박판(111)의 상면까지의 높이를 아주 작게 설계하기 유리한 구조를 가지게 되므로, 전자빔이 시료(15) 상에 조사되는 과정에서의 간섭을 감소시킬 수 있고, 더불어 시료(15)로부터 반사되는 전자빔 또는 X-ray가 검출기 또는 EDS(5)를 향해 비행하는 과정에서의 간섭 역시 감소시킬 수 있기 때문에, 전자 현미경의 이미지 및 분석데이터 품질을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, since it has an advantageous structure for designing a very small height from the sample 15 to the top surface of the upper thin plate 111, it is possible to reduce interference in the process of the electron beam being irradiated on the sample 15, and also the sample Since the electron beam or X-ray reflected from (15) can also reduce the interference in the process of flying toward the detector or the EDS 5, it is possible to greatly improve the quality of the image and analysis data of the electron microscope.

하측 박판(112)은, 상측 박판(111)의 하측으로부터 결합되는 얇은 플레이트형 부재일 수 있다. 하측 박판(112)은 상측 박판(111)의 복수개의 시료 수용 구멍(1111)에 수용된 시료(15)를 하측으로부터 지지할 수 있다.The lower thin plate 112 may be a thin plate-shaped member coupled from the lower side of the upper thin plate 111. The lower thin plate 112 can support the sample 15 accommodated in the plurality of sample receiving holes 1111 of the upper thin plate 111 from the lower side.

예를 들어, 하측 박판(112)은 상측 박판(111)의 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 일부의 구멍(1111)의 하측을 커버할 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 일방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 사각 형상의 상측 박판(111)의 2 개의 변의 길이 방향 중 하나의 방향으로 상측 박판(111)을 가로지르도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 서로 마주보는 2 개의 측면부(1113)가 마주보는 방향과 수직한 방향을 따라서 상측 박판(111)을 가로지르도록 설치될 수 있다.For example, the lower thin plate 112 may cover the lower side of some of the plurality of sample receiving holes 1111 of the upper thin plate 111. For example, the lower thin plate 112 may have a shape extending in one direction. For example, the lower thin plate 112 may be installed to cross the upper thin plate 111 in one of the longitudinal directions of two sides of the quadrangular upper thin plate 111. For example, the lower thin plate 112 may be installed such that two side portions 1113 facing each other traverse the upper thin plate 111 along a direction perpendicular to the opposite direction.

예를 들어, 하측 박판(112)은, 격자 형태로 배열된 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 하나의 열을 형성하는 시료 수용 구멍(1111)의 하측만을 커버할 수 있다. 이 경우, 하측 박판(112)은 복수개로 구성되어 상측 박판(111)에 결합될 수도 있다는 점을 밝혀둔다.For example, the lower thin plate 112 may cover only the lower side of the sample receiving hole 1111 forming one row of the plurality of sample receiving holes 1111 arranged in a grid shape. In this case, it is noted that the lower thin plate 112 may be composed of a plurality and may be coupled to the upper thin plate 111.

예를 들어, 하측 박판(112)은 복수개의 시료 지지부(1121)를 포함할 수 있다.For example, the lower thin plate 112 may include a plurality of sample supports 1121.

복수개의 시료 지지부(1121)는 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 시료 수용 구멍(1111)에 수용된 시료(15)를 하측으로부터 지지하는 동시에, 시료(15)를 투과하는 전자빔의 이동 경로를 형성할 수 있다.The plurality of sample support parts 1121 overlap with at least one of the plurality of sample accommodating holes 1111 to support the sample 15 accommodated in the sample accommodating hole 1111 from the lower side, and at the same time, transmit an electron beam through the sample 15 It can form a moving path.

예를 들어, 시료 지지부(1121)는 돌출부(1122) 및 확개부(1123)를 포함할 수 있다.For example, the sample support 1112 may include a protrusion 1122 and an extension 1123.

돌출부(1122)는, 시료 지지부(1121)의 가장자리 부분을 따라서 상측으로 돌출 형성될 수 있다. 돌출부(1122)는 시료 수용 구멍(1111)의 하측으로부터 삽입되어 시료(15)와 접촉함으로써 시료(15)를 고정할 수 있다. 예를 들어, 돌출부(1122)는 단차부(11111)에 정확히 맞물려 형합될 수 있다.The protruding portion 1122 may be formed to protrude upwardly along the edge portion of the sample support portion 1121. The protruding portion 1122 is inserted from the lower side of the sample receiving hole 1111 so that the sample 15 can be fixed by contacting the sample 15. For example, the protruding portion 1122 may be molded by being correctly engaged with the stepped portion 11111.

위의 구조에 의하면, 시료 수용 구멍(1111)의 단차부(11111)에 시료(15)가 정확히 맞물려 수용된 상태에서, 돌출부(1122)가 단차부(11111)에 정확히 맞물려 결합됨으로써, 시료(15)는 상측 및 하측 양측으로부터 가압되어 시료 홀더(11) 상에 단단히 고정될 수 있다.According to the above structure, in a state in which the sample 15 is accurately engaged and accommodated in the step portion 11111 of the sample receiving hole 1111, the protrusion 1122 is engaged with and coupled to the step portion 11111, so that the sample 15 Is pressed from both the upper and lower sides can be securely fixed on the sample holder (11).

하측 박판(112)이 상측 박판(111)과 결합될 경우, 복수개의 시료 지지부(1121)의 돌출부(1122) 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부(1121)의 돌출부(1122)는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍(1111)의 단차부(11111)에 맞물리도록 형성될 수 있다.When the lower thin plate 112 is combined with the upper thin plate 111, at least two or more of the protrusions 1122 of the sample supporting portion 1121 among the protrusions 1122 of the plurality of sample supporting portions 1121 are at least two facing each other. It may be formed to engage the step portion 11111 of the sample receiving hole 1111.

위의 구조에 의하면, 하측 박판(112)이 상측 박판(111)에 결합된 상태에서 상하 방향을 제외한 방향으로 2 개의 박판(11, 12) 상대적으로 이동하거나 회전되는 것을 방지할 수 있으므로, 시료(15)를 더 효과적으로 고정할 수 있다.According to the above structure, since the lower thin plate 112 can be prevented from moving or rotating relative to the two thin plates 11 and 12 in a direction other than the vertical direction in a state where the lower thin plate 112 is coupled to the upper thin plate 111, the sample ( 15) can be fixed more effectively.

확개부(1123)는, 시료 지지부(1121) 내벽의 직경이 상측에서 하측으로 갈수록 넓어지도록 확개되는 부분일 수 있다.The expanded portion 1123 may be a portion that is expanded so that the diameter of the inner wall of the sample support portion 1121 increases from the upper side to the lower side.

예를 들어, 확개부(1123)는 시료 지지부(1121)의 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 테이퍼, 플레어, 또는 라운드 등의 형상을 갖도록 형성될 수 있다.For example, the expanded portion 1123 may be formed to have a shape such as a taper, flare, or round so that the diameter of the lower portion of the sample support portion 1121 is wider than the upper side.

확개부(1123)에 의하면, 시료(15)를 투과한 전자빔이 시료 지지부(1121)의 구멍을 통과하면서, 시료 지지부(1121)의 내벽에 간섭되는 경향을 감소시킬 수 있으므로, 시료(15)를 투과하는 전자빔으로 획득되는 이미지의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the expanded portion 1123, the tendency of the electron beam passing through the sample 15 to pass through the hole of the sample support portion 1121 can be reduced, so that the tendency to interfere with the inner wall of the sample support portion 1121 is reduced. It is possible to improve the quality of the image obtained by the transmitting electron beam.

위의 구조에 의하면, 하측 박판(112)을 얇게 형성하기 유리한 구성을 갖게 되므로, 하측 박판(112)의 시료 지지부(1121)의 구멍을 통과하는 전자빔의 간섭을 감소시킬 수 있으며, 더불어, 시료 지지부(1121)는 하측으로 확개되는 형상을 가지기 때문에, 전자빔이 시료를 투과하는 과정에서의 간섭을 최소화시킬 수 있다.According to the above structure, since it has an advantageous configuration to form the lower thin plate 112 thinly, it is possible to reduce the interference of the electron beam passing through the hole of the sample supporting portion 1121 of the lower thin plate 112, as well as the sample supporting portion Since 1112 has a shape that extends downward, it is possible to minimize interference in the process of electron beam passing through the sample.

지지 바(113)는, 서로 마주보도로 형성된 측면부(1113) 사이에 고정되어 상측 박판(111)에 대해 하측 박판(112)을 상측으로 가압하여 하측 박판(112)이 상측 박판(111)으로부터 이탈되거나 이격되지 않도록 고정할 수 있다.The support bar 113 is fixed between the side portions 1113 formed to face each other, and the lower thin plate 112 is pressed upward against the upper thin plate 111 so that the lower thin plate 112 is detached from the upper thin plate 111. It can be fixed so as not to be spaced apart.

예를 들어, 지지 바(113)는 일 방향을 따라서 상측 박판(111)의 하면을 가르지르도록 설치되는 하측 박판(112)을 가압하여 고정할 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 하측 박판(112)의 부분 중, 시료 지지부(1121)가 형성되지 않은 부분에 접촉될 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 2개의 측면부(1113) 각각의 말단 부분 사이에 설치될 수 있다.For example, the support bar 113 can be fixed by pressing the lower thin plate 112 installed to cross the lower surface of the upper thin plate 111 along one direction. For example, the support bar 113 may be in contact with a portion of the lower thin plate 112 where the sample support portion 1121 is not formed. For example, the support bar 113 may be installed between the end portions of each of the two side portions 1113.

예를 들어, 지지 바(113)는 2 개로 구성되어 각각의 측면부(1113)의 양단 사이에 설치되어 하측 박판(112)을 2 지점에서 가압할 수 있어서, 시료(15)의 보다 확실한 고정을 보장할 수 있다.For example, the support bar 113 is composed of two and is installed between both ends of each side portion 1113 so that the lower thin plate 112 can be pressed at two points, thereby ensuring a more reliable fixing of the sample 15 can do.

예를 들어, 지지 바(113)는 접촉부(1131) 및 함몰부(1132)를 포함할 수 있다.For example, the support bar 113 may include a contact portion 1131 and a depression 1132.

접촉부(1131)는, 지지 바(113)의 양 단부로서 상측 박판(111)의 하면에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 접촉부(1131)는 제 2 고정 구멍(11311)을 포함할 수 있다. 제 2 고정 구멍(11311)은 지지 바(113)가 연장된 방향을 따라서 각각의 접촉부(1131)의 측면으로부터 관통 형성된 구멍일 수 있다.The contacting portions 1131 may contact the lower surface of the upper thin plate 111 as both ends of the support bar 113. For example, the contact portion 1131 may include a second fixing hole 1111. The second fixing hole 1131 may be a hole formed through the side surface of each contact portion 1131 along the direction in which the support bar 113 extends.

함몰부(1132)는, 양측의 접촉부(1131)로부터 하측으로 함몰 형성되는 부분일 수 있다. 함몰부(1132)는 상측 박판(111)에 결합된 하측 박판(112)의 하면에 접촉할 수 있다. 함몰부(1132)는 지지 바(113)의 중앙 부근에 형성되어 하측 박판(112)의 일부를 수용할 수 있는 홈으로 이해될 수 있다. The depression 1132 may be a portion that is recessed downward from the contact portions 1131 on both sides. The depression 1132 may contact the lower surface of the lower thin plate 112 coupled to the upper thin plate 111. The depression 1132 may be understood as a groove formed near the center of the support bar 113 to accommodate a portion of the lower thin plate 112.

예를 들어, 함몰부(1132)가 접촉부(1131)로부터 하측으로 함몰된 높이는 하측 박판(112)의 두께와 동일할 수 있어서, 지지 바(113)가 상측 박판(111) 및 하측 박판(112)의 하측에 결합될 경우, 접촉부(1131) 및 함몰부(1132)는 유격없이 각각 상측 박판(111) 및 하측 박판(112)의 하면에 접촉할 수 있다.For example, the height at which the recessed portion 1132 is recessed downward from the contact portion 1131 may be the same as the thickness of the lower thin plate 112, so that the support bar 113 has an upper thin plate 111 and a lower thin plate 112. When coupled to the lower side, the contact portion 1131 and the recessed portion 1132 may contact the lower surfaces of the upper thin plate 111 and the lower thin plate 112, respectively, without play.

지지 바 고정 부재(114)는, 측면부(1113) 사이에 배치된 지지 바(113)를 고정시키기 위한 나사일 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 각각의 접촉부(1131)에 형성된 제 2 고정 구멍(11311)이 측면부(1113)에 형성된 제 1 고정 구멍과 오버랩되도록 배치될 수 있다.The support bar fixing member 114 may be a screw for fixing the support bar 113 disposed between the side portions 1113. For example, the support bar 113 may be disposed such that the second fixing hole 1111 formed in each contact portion 1131 overlaps the first fixing hole formed in the side portion 1113.

이후, 지지 바 고정 부재(114)는 양측마다 일렬로 정렬된 제 1 고정 구멍(11131) 및 제 2 고정 구멍(11311)에 각각 체결됨에 따라서, 하측 박판(112)을 고정하는 지지 바(113)가 상측 박판(111)으로부터 이탈되거나 이격되지 않도록 단단히 고정될 수 있다.Thereafter, the support bar fixing member 114 is fastened to the first fixing hole 11131 and the second fixing hole 11311, which are arranged in a line for each side, respectively, so that the supporting bar 113 for fixing the lower thin plate 112 It may be securely fixed so as not to be separated or separated from the upper thin plate 111.

도 7은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이고, 도 8은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 정면도이다.7 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment, and FIG. 8 is a front view of a sample support device according to an embodiment.

도 7 및 도 8을 참조하면, 도 1 내지 도 6에 도시된 시료 지지 장치(1)와는 다른 실시 예의 구성을 갖는 시료 지지 장치(2)를 확인할 수 있다.7 and 8, a sample support device 2 having a configuration different from that of the sample support device 1 shown in FIGS. 1 to 6 can be confirmed.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2)는, 지지부(12), 시료 홀더(11), 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)를 포함할 수 있다.The sample support device 2 according to an embodiment may include a support part 12, a sample holder 11, a guide 14 for an optical microscope, and a reflection adjustment plate 13.

예를 들어, 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2)는 도 1 내지 도 6에 도시된 시료 지지 장치(1)에 부가적으로 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)가 추가된 구성으로 이해될 수 있으므로, 중복되는 구성에 있어서 자세한 설명은 생략하기로 한다.For example, in the sample support device 2 according to an embodiment, an optical microscope guide 14 and a reflection adjustment plate 13 are additionally added to the sample support device 1 shown in FIGS. 1 to 6. Since it can be understood as a structured configuration, a detailed description of the overlapping configuration will be omitted.

광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)는 전술한 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)를 광학 현미경(Optical Microscope)에서 사용하도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 현미경은 시료에 빛을 비추어 시료를 통과한 빛을 대물 렌즈(6)를 통해 측정하는 광학 현미경일 수 있다. 다른 예로, 대물 렌즈(6) 쪽에 구비된 광원을 통해 조사된 광이 시료에서 반사되어 형성하는 반사광을 측정하는 반사 광 현미경(reflected light microscope)일 수 있다.The guide 14 for the optical microscope and the reflection adjustment plate 13 may be used in the sample supporting device 1 according to the above-described embodiment in an optical microscope. For example, the optical microscope may be an optical microscope that shines light on the sample and measures the light passing through the sample through the objective lens 6. As another example, the light irradiated through the light source provided on the objective lens 6 may be a reflected light microscope that measures reflected light formed by reflection from a sample.

광학 현미경용 가이드(14)는 시료 홀더(11)보다 넓은 플레이트 형상을 가지며, 시료 홀더(11)를 수용할 수 있다. 광학 현미경용 가이드(14)는 시료 홀더(11)를 광학 현미경의 재물대의 안정적으로 안착될 수 있도록 넓은 접촉 면적을 제공할 수 있다. 예를 들어, 광학 현미경용 가이드(14)는 광학 현미경의 재물대 상에 구비된 고정 부재를 통해 고정될 수 있다.The optical microscope guide 14 has a wider plate shape than the sample holder 11 and can accommodate the sample holder 11. The optical microscope guide 14 may provide a large contact area so that the sample holder 11 can be stably seated in the stage of the optical microscope. For example, the guide 14 for an optical microscope can be fixed through a fixing member provided on the stage of the optical microscope.

다른 예로, 광학 현미경용 가이드(14)는 그 자체로 광학 현미경의 재물대의 구성을 대체할 수 있다.As another example, the guide 14 for an optical microscope can replace the configuration of the stage of the optical microscope by itself.

예를 들어, 광학 현미경용 가이드(14)는 안착부(141) 및 관통 구멍(142)을 포함할 수 있다.For example, the optical microscope guide 14 may include a seating portion 141 and a through hole 142.

안착부(141)는, 시료 홀더(11)가 안착되어 수용될 수 있도록 상측으로부터 함몰 형성된 부분일 수 있다. 예를 들어, 안착부(141)가 함몰된 형상은 시료 홀더(11)의 외부 형상과 동일하게 형성될 수 있어서, 시료 홀더(11)는 안착부(141)에 유격없이 맞물려 결합될 수 있다.The seating portion 141 may be a portion formed recessed from the upper side so that the sample holder 11 can be seated and accommodated. For example, the shape in which the seating portion 141 is recessed may be formed in the same manner as the outer shape of the sample holder 11, so that the sample holder 11 may be engaged without engagement with the seating portion 141 without gap.

관통 구멍(142)은, 시료 홀더(11)의 체결 봉(1112)이 통과할 수 있도록 안착부(141)의 내벽으로부터 관통 형성될 수 있다. 예를 들어, 시료 홀더(11)의 체결 봉(1112)이 관통 구멍(142)으로 최대한 삽입될 경우, 시료 홀더(11)는 안착부(141)의 형상에 정확히 맞물리도록 결합되는 동시에 체결 봉(1112)의 단부는 관통 구멍(142)을 통과하여 광학 현미경용 가이드(14)의 외측으로 돌출할 수 있다.The through hole 142 may be formed through the inner wall of the seating portion 141 so that the fastening rod 1112 of the sample holder 11 can pass through. For example, when the fastening rod 1112 of the sample holder 11 is inserted into the through hole 142 as much as possible, the sample holder 11 is coupled to be accurately engaged with the shape of the seating portion 141 and the fastening rod ( The end of 1112 may pass through the through hole 142 and protrude outward of the optical microscope guide 14.

위의 구조에 의하면, 시료 홀더(11)에 추가적으로 광학 현미경용 가이드(14)를 결합하여 체결 봉(1112)을 지지부(12)에 결합시킴으로써 시료 홀더(11)를 광학 현미경에서 사용 가능하게 전환할 수 있다.According to the above structure, the sample holder 11 can be converted to be usable in an optical microscope by additionally coupling the optical microscope guide 14 to the sample holder 11 to couple the fastening rod 1112 to the support 12. You can.

반사 조절 플레이트(13)는, 베이스(121) 및 시료 홀더(11) 사이에 설치되어 시료(15)를 하측으로 투과하는 광의 반사를 조절할 수 있다.The reflection adjustment plate 13 is installed between the base 121 and the sample holder 11 to control reflection of light passing through the sample 15 downward.

예를 들어, 반사 조절 플레이트(13)는 시료(15)를 투과하는 광이 다시 반사되어 대물 렌즈(6)를 통한 이미징에 주는 영향을 줄이기 위해 광의 반사를 최소화시킬 수 있다.For example, the reflection control plate 13 may minimize reflection of light in order to reduce the influence of the light passing through the sample 15 back to the imaging through the objective lens 6.

예를 들어, 반사 조절 플레이트(13)는 플레이트부(132), 반사 억제부(133) 및 슬라이더부(131)를 포함할 수 있다.For example, the reflection adjustment plate 13 may include a plate portion 132, a reflection suppression portion 133, and a slider portion 131.

플레이트부(132)는, 베이스(121) 및 시료 홀더(11) 사이에서 시료 홀더(11)와 상하 방향으로 중첩되도록 배치되는 플레이트형 부재일 수 있다.The plate portion 132 may be a plate-shaped member disposed between the base 121 and the sample holder 11 to overlap the sample holder 11 in the vertical direction.

반사 억제부(133)는, 플레이트부(132)의 상면에 구성되어 시료(15)를 투과하는 광의 반사를 억제할 수 있다. 예를 들어, 반사 억제부(133)는 반사 조절 플레이트(13)의 다른 구성 요소들 보다 반사율이 적은 물질로 형성될 수 있다.The reflection suppressing portion 133 is configured on the upper surface of the plate portion 132 and can suppress reflection of light passing through the sample 15. For example, the reflection suppression unit 133 may be formed of a material having a lower reflectance than other components of the reflection adjustment plate 13.

슬라이더부(131)는, 지지부(12)에 대해서 플레이트부(132)의 상하 방향의 위치를 조절 또는 고정할 수 있다. 예를 들어, 슬라이더부(131)는 지지부(12)의 수직 연장 부재(1221)에 연결되어 수직 연장 부재(1221)의 길이 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성될 수 있다.The slider portion 131 can adjust or fix the position of the plate portion 132 in the vertical direction with respect to the support portion 12. For example, the slider portion 131 may be connected to the vertically extending member 1221 of the support portion 12 to be slidable in the longitudinal direction of the vertically extending member 1221.

다른 예로, 슬라이더부(131)는, 베이스(121) 및 플레이트부(132) 사이에 설치되어 베이스(121)에 대해서 플레이트부(132)를 상하 방향으로 슬라이딩 시킬 수도 있다.As another example, the slider portion 131 may be installed between the base 121 and the plate portion 132 to slide the plate portion 132 in the vertical direction with respect to the base 121.

예를 들어, 슬라이더부(131)는 위치 고정부(1311)를 포함할 수 있다. 위치 고정부(1311)는 플레이트부(132)가 시료 홀더(11)에 대해 소정의 간격을 형성하도록 슬라이딩된 이후, 상기 플레이트부(132)의 위치를 고정하기 위해 수직 연장 부재(1221) 및 슬라이더부(131)의 연결 부위를 단단히 가압하여 고정하는 조임 나사 또는 죔쇠일 수 있다.For example, the slider portion 131 may include a position fixing portion 1311. The position fixing part 1311 is a vertical extension member 1221 and a slider to fix the position of the plate part 132 after the plate part 132 is slid to form a predetermined gap with respect to the sample holder 11 It may be a fastening screw or a clamp to securely press and fix the connection portion of the part 131.

도 9는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.9 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.

도 9를 참조하면, 도 7 및 도 8에 도시된 시료 지지 장치(2)와 다른 실시 예에 따른 시료 지지 장치(3)가 도시된다.Referring to FIG. 9, the sample support device 2 illustrated in FIGS. 7 and 8 and a sample support device 3 according to another embodiment are illustrated.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(3)는 광학 현미경에 사용되는 시료를 지지할 수 있다.The sample support device 3 according to an embodiment may support a sample used in an optical microscope.

예를 들어, 시료 지지 장치(3)는, 지지부(32), 시료 홀더(11), 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(33)를 포함할 수 있다.For example, the sample support device 3 may include a support 32, a sample holder 11, a guide 14 for an optical microscope, and a reflection adjustment plate 33.

예를 들어, 시료 지지 장치(3)는 도 7 및 도 8에 도시된 시료 지지 장치(2)와 달리, 지지부(32)에 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(33)가 직접 연결된 구성으로 이해될 수 있다.For example, the sample support device 3, unlike the sample support device 2 shown in FIGS. 7 and 8, the optical microscope microscope guide 14 and the reflection adjustment plate 33 are directly connected to the support part 32. It can be understood as a composition.

지지부(32)는 지면 또는 광학 현미경에 대해 고정되는 베이스(321) 및 상기 베이스(321)로부터 수직한 상측 방향으로 돌출하는 연결부(322)를 포함할 수 있다.The support part 32 may include a base 321 fixed to the ground or an optical microscope and a connection part 322 protruding in a vertical upward direction from the base 321.

연결부(322)는 외주면에 나사산이 형성된 원기둥형 부재로서, 하측으로부터 반사 조절 플레이트(33)를 통과하여 광학 현미경용 가이드(14)에 연결될 수 있다.The connection part 322 is a cylindrical member having a thread formed on its outer circumferential surface, and may be connected to a guide 14 for an optical microscope by passing through the reflection adjustment plate 33 from the lower side.

예를 들어, 연결부(322)는 회전 가능하게 설치되어 광학 현미경용 가이드(14) 및 베이스(321) 사이에서 회전할 수 있고, 연결부(322)가 회전할 경우 반사 조절 플레이트(33)는 연결부(322)의 연장 방향, 다시 말하면 상하 방향을 따라서 이동될 수 있다.For example, the connection part 322 is rotatably installed to rotate between the optical microscope guide 14 and the base 321, and when the connection part 322 rotates, the reflection adjustment plate 33 is a connection part ( 322), that is, it can be moved along the vertical direction.

반사 조절 플레이트(33)는 베이스(321) 및 광학 현미경용 가이드(14) 사이에 설치되어 시료를 하측으로 투과하는 광의 반사를 조절할 수 있다.The reflection adjustment plate 33 is installed between the base 321 and the optical microscope guide 14 to control reflection of light passing through the sample downward.

예를 들어, 반사 조절 플레이트(33)는 광학 현미경용 가이드(14)와 평행하게 배치되는 플레이트부(332), 플레이트부(332)의 상면에 설치되는 반사 억제부(333) 및 연결부(322)에 슬라이딩 가능하게 연결되는 슬라이더부(331)를 포함할 수 있다.For example, the reflection adjustment plate 33 is a plate portion 332 disposed parallel to the optical microscope guide 14, a reflection suppression portion 333 and a connection portion 322 installed on the upper surface of the plate portion 332 It may include a slider portion 331 that is slidably connected to.

슬라이더부(331)는 연결부(322)를 수용하기 위해 플레이트부(332)에 함몰 형성된 구멍일 수 있다. 예를 들어, 슬라이더부(331)는 연결부(322)의 외주면에 형성된 나사산과 맞물리도록 연결부(322)와 접촉하는 부분에 나사산이 형성되어 있을 수 있다.The slider portion 331 may be a hole formed in the plate portion 332 to accommodate the connection portion 322. For example, the slider portion 331 may be formed with a thread in a portion in contact with the connection portion 322 so as to mesh with the thread formed on the outer circumferential surface of the connection portion 322.

위의 구조에 의하면, 연결부(322)가 회전될 경우 플레이트부(332)가 상측 또는 하측으로 이동됨에 따라서, 결과적으로 시료 홀더(11) 및 반사 억제부(333) 사이의 거리를 조절되어 시료로부터 측정되는 이미지의 밝기 또는 콘트라스트를 조절할 수 있다.According to the above structure, when the connecting portion 322 is rotated, as the plate portion 332 is moved upward or downward, as a result, the distance between the sample holder 11 and the reflection suppressing portion 333 is adjusted to be from the sample. The brightness or contrast of the image to be measured can be adjusted.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, 반사 광 현미경으로 시료를 측정할 경우, 시료를 투과한 빛의 영향으로 이미지의 품질이 저하되는 것을 완화할 수 있다.According to the sample support devices 2 and 3 according to an embodiment, when measuring a sample with a reflected light microscope, it is possible to alleviate that the quality of the image is deteriorated due to the light transmitted through the sample.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되는 부분이 존재하지 않기 때문에 짧은 초점거리를 갖는 대물 렌즈(6)를 사용하여도 이미징이 가능할 수 있다.According to the sample support devices 2 and 3 according to an embodiment, since there is no portion protruding toward the upper side of the sample holder 11, imaging may be possible even using an objective lens 6 having a short focal length. have.

일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, STEM 용 시료가 얇은 박막 형태를 가진다는 점에 기인하여 반사광에 의한 경로차를 이용하여 시료의 이미징을 가능하게 할 수 있다.According to the sample support devices 2 and 3 according to an embodiment, it is possible to enable imaging of a sample by using a path difference caused by reflected light due to the fact that the sample for STEM has a thin film shape.

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described by the limited drawings, those skilled in the art can make various modifications and variations from the above description. For example, the described techniques may be performed in a different order than the described method, and / or components such as the structure, device, etc. described may be combined or combined in a different form from the described method, or may be applied to other components or equivalents. Even if replaced or substituted by, appropriate results can be achieved.

Claims (11)

복수개의 시료를 수용 가능한 시료 홀더; 및
베이스와, 상기 베이스에 대하여 상기 시료 홀더를 상하 방향으로 이격된 상태에서 지지하도록 연결부를 포함하는 지지부를 포함하고,
상기 시료 홀더는,
복수개의 시료 수용 구멍을 포함하는 상측 박판;
상기 상측 박판의 하면에 배치되어 상기 시료 수용 구멍 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 상기 시료 수용 구멍에 수용된 상기 시료를 하측으로부터 지지하는 시료 지지부를 포함하는 하측 박판; 및
상기 상측 박판에 대해 상기 하측 박판을 가압함으로써 상기 하측 박판을 고정하는 지지 바를 포함하는 시료 지지 장치.
A sample holder capable of accommodating a plurality of samples; And
A base, and a support portion including a connection portion to support the sample holder in a state spaced apart in the vertical direction with respect to the base,
The sample holder,
An upper thin plate including a plurality of sample receiving holes;
A lower thin plate disposed on a lower surface of the upper thin plate and overlapping at least one of the sample receiving holes to support a sample received in the sample receiving hole from a lower side; And
And a support bar for fixing the lower thin plate by pressing the lower thin plate against the upper thin plate.
제 1 항에 있어서,
상기 상측 박판의 상면은 평편하고, 상기 시료 홀더는 상기 상면으로부터 상측으로 돌출되는 부분을 갖지 않는 것을 특징으로 하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
A sample support device characterized in that the upper surface of the upper thin plate is flat, and the sample holder does not have a portion protruding upward from the upper surface.
제 1 항에 있어서,
상기 상측 박판은, 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 측면부를 더 포함하고,
상기 시료 홀더는, 상기 측면부를 측면에서 관통하여 상기 지지 바를 상기 상측 박판에 고정시키는 지지 바 고정 부재를 더 포함하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The upper thin plate further includes a side portion protruding from both sides of the lower edge of the lower surface,
The sample holder further includes a support bar fixing member penetrating the side part from the side surface and fixing the support bar to the upper thin plate.
제 3 항에 있어서
상기 지지 바는,
상기 상측 박판의 하면에 접촉하는 접촉부; 및
상기 접촉부로부터 함몰 형성되고, 상기 하측 박판의 하면에 접촉하는 함몰부를 포함하는 시료 지지 장치.
The method of claim 3
The support bar,
A contact portion contacting a lower surface of the upper thin plate; And
A sample support device including a depression formed in a depression from the contact portion and contacting a lower surface of the lower thin plate.
제 1 항에 있어서,
상기 복수개의 시료 수용 구멍은, 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함하고,
상기 시료 지지부는 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부를 포함하고,
상기 시료는 상기 단차부 및 돌출부 사이에 수용되는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The plurality of sample accommodating holes includes a step portion formed to have a diameter lower than that of the upper side,
The sample support portion includes a protrusion portion with an edge portion projecting upward so as to engage a wide portion of the step portion,
The sample is a sample support device accommodated between the step portion and the protrusion.
제 5 항에 있어서,
상기 하측 박판이 상기 상측 박판과 결합될 경우, 상기 복수개의 시료 지지부의 돌출부 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부의 돌출부는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍의 단차부에 형합되도록 맞물리는 시료 지지 장치.
The method of claim 5,
When the lower thin plate is combined with the upper thin plate, the sample supporting device is engaged so that the protrusions of at least two or more sample supporting portions of the plurality of sample supporting portions are matched to the step portions of at least two or more sample receiving holes facing each other.
제 5 항에 있어서,
상기 시료 지지부는, 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함하는 시료 지지 장치.
The method of claim 5,
The sample support portion, the sample support device further comprises an expansion portion that is expanded so that the diameter of the lower side is wider than the upper side.
제 1 항에 있어서,
상기 상측 박판은,
상기 연결부의 말단에 연결되어 고정될 수 있는 체결 봉을 더 포함하고,
상기 시료 홀더는 상기 지지부로부터 탈부착 가능한 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The upper thin plate,
Further comprising a fastening rod connected to the end of the connecting portion can be fixed,
The sample holder is a sample support device detachable from the support.
제 1 항에 있어서,
상기 시료 홀더를 수용하는 안착부를 포함하는 광학 현미경용 가이드; 및
상기 베이스 및 시료 홀더 사이에 설치되어 광의 반사를 조절하는 반사 조절 플레이트를 더 포함하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
A guide for an optical microscope including a seating portion accommodating the sample holder; And
The sample support device further includes a reflection adjustment plate installed between the base and the sample holder to control reflection of light.
제 9 항에 있어서,
상기 복수개의 시료 수용 구멍은 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함하고,
상기 시료 지지부는,
상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부; 및
상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함하는 시료 지지 장치.
The method of claim 9,
The plurality of sample accommodating holes includes a stepped portion having a lower diameter than the upper side,
The sample support,
A protrusion having an edge portion protruding upward so as to engage a wide diameter portion of the step portion; And
A sample supporting device further comprising an expanding portion that is expanded to make the diameter of the lower side wider than the upper side.
제 9 항에 있어서,
상기 반사 조절 플레이트는 상기 지지부 또는 상기 광학 현미경용 가이드에 대해 상하 방향으로 슬라이딩 가능한 것을 특징으로 하는 시료 지지 장치.
The method of claim 9,
The reflection control plate is a sample support device, characterized in that it is slidable in the vertical direction with respect to the support or the optical microscope guide.
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