KR20200023428A - 회전식 초음파 모터 - Google Patents

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피직 인스트루멘테 (페이) 게엠베하 운트 코. 카게
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Abstract

본 발명은 적어도 하나의 초음파 액츄에이터, 구동될 요소, 내부 케이싱 부재 및 외부 케이싱 부재를 포함하는 케이싱을 가지는 회전형 초음파 모터(1)에 있어서, 초음파 액츄에이터는 적어도 하나의 여기 전극과 적어도 하나의 일반 전극 사이에 배열된 압전(piezoelectric) 또는 전기변형(electrostrictive) 또는 자기변형(magnetostrictive) 재료를 포함하고, 초음파 액츄에이터는 내부 케이싱 부재 및 외부 케이싱 부재 사이의 케이싱에 배열되고, 상기 구동될 요소에 직접 또는 간접적으로 접촉하며, 전기적 여기에 의해 초음파 액츄에이터에서 발생된 주기적 변형이 구동될 요소로 전달될 수 있고 후자의 구동 모션을 야기하고, 초음파 액츄에이터는 각각의 리테이닝 섹션과 관련되고 초음파 액츄에이터에 배치된 리세스에 맞물린 적어도 하나의 리테이닝 섹션을 가지는 상기 케이싱 상에 배열된 리테이닝 장치에 의하여 장착되는 회전형 초음파 모터에 관한 것이다.

Description

회전식 초음파 모터
본 발명은 청구항 1 내지 청구항 15에 따른 회전식 초음파 모터에 관한 것이다.
DE 103 14 810 A1에는 고정자가 중공 원통형 오실레이터 형태로 존재하는 회전식 초음파 모터가 알려져 있으며, 여기서 본 발명의 방법에 따른 중공 실린더는 결합된 접선 축 진동 모드에 놓이게 되어, 중공 실린더는 주기적 변형을 수행한다. 중공 실린더의 면에서 각각의 접선 성분 형태의 진동 속도 최대값 및 축 방향 성분의 진동 속도 최대값은 접선 성분의 진동 속도 최대치와 약간 떨어져 있다. 실린더 높이의 중심에서 연장하는 것은 측면에 실질적으로 평행한 노드 라인이며, 축방향 진동 성분은 0값을 가지며, 접선 성분은 최소값을 갖는다. 따라서, 상기 노드 라인의 영역에 고정자를 유지 또는 장착하는 것이, 고정자의 주기적 변형의 형성은 최소한의 저항만으로 직면하기 때문에, 바람직하다. 각각의 베어링은 고정자의 외주면에 링 형태로 배열된 리테이너에 의해 실현되며, 외주면을 갖는 링은 실질적으로 노드 라인을 따라서 내주면의 고정자에 접촉한다. 링은 링의 둘레에 분포된 몇 개의 관통홀(through holes)를 포함하며, 이 링에 의하여 링이 케이싱(casing)에 부착되어 고정자 역시 케이싱에 대해 부착될 수 있다.
다만, DE 103 14 810 A1에서 기술된 고정자의 리테이너의 배열은 상대적으로 복잡하고, 보통 접착제 연결에 의하여 실현된다. 이를 위하여, 그러나, 이는 리테이너의 내주면의 기하학이 고정자의 외주면의 기하학으로부터 매우 작은 편차를 나타내므로 신뢰성 있고 오래 지속되는 접착 연결이 필요하다. 액츄에이터의 외주면에 리테이너의 접착 또한 공간이 소비되므로, 컴팩트하고 공간 절약하는 회전식 초음파 모터를 획득하기 어렵다.
접착성 화합물은 또한 접착성 가스 방출로 인해 고 진공 응용에 일반적으로 사용될 수 없다는 단점을 가진다.
따라서, 본 발명의 목적은 고정자 또는 초음파 액츄에이터를 간단하고 안정적으로 유지하는 넓은 범위의 적용 범위를 갖는 컴팩트한 회전형 초음파 모터를 제공하는 것으로, 여기서 리테이너는 초음파 액츄에이터의 주기적인 변형을 극도로 낮거나 무시할 수 있는 저항으로 제공한다.
이러한 목적은 청구항 1의 회전형 초음파 모터에 의해서 만족되고, 이후 종속항은 적어도 더 개선된 점을 설명한다.
각도, 치수, 위치, 방향(orientations) 또는 방향(direction) 기하 데이터의 명세서와 관련하여 다양한 구절의 설명의 다음 부분에서 나타나는 "실질적으로"라는 용어는 각각의 기하학 데이터가 기하에 대하여 +/-5%의 편차, 여기서 편차는 예를 들어 제조 또는 조립 공차로 인한 것,를 가질 수 있음을 의미하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 따른 회전형 초음파 모터는 바람직하게는 압전 재료로 만들어지는 적어도 하나의 초음파 액츄에이터를 포함하지만, 전기 변형 또는 자기 변형 재료도 고려될 수 있다. 초음파 액츄에이터에는 하나 이상의 여기 전극과 하나 이상의 일반 전극이 배치되며, 압전 재료는 적어도 하나의 여기 전극 및 적어도 하나의 일반 전극 사이에 배열된다. 적절한 전압을 전극에 인가함으로써, 초음파 액츄에이터는 주기적 변형을 형성하도록 여기될 수 있으며, 여기서 요소와의 직접 또는 간접적 접촉에 의한 상기 주기적 변형은 후자에 전달될 수 있고 따라서, 구동될 요소의 운동을 실현할 수 있다.
회전형 초음파 모터는 내부 케이싱 부재 및 외부 케이싱 부재를 포함하는 케이싱을 더 포함하고, 적어도 하나의 초음파 액츄에이터는 상기 내부 케이싱 부재 및 상기 외부 케이싱 부재 사이에 배열되거나 또는 설치된다. 상기 초음파 액츄에이터를 고정시키거나 설치하는 것은 하나 이상의 리테이닝 섹션을 가지는 케이싱에 배열된 리테이닝 장치에 의하여 실현되고, 상기 하나 이상의 리테이닝 섹션은 후자에 결부된 리세스 내에 맞물리고, 초음파 액츄에이터 내에 배치된다.
상기 리테이닝 장치가 나사에 의해 형성되고, 상기 리세스가 상기 나사의 나사산과 상호 작용하는 나사산을 포함하는 것이 바람직할 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 내부 케이싱 부재 및/또는 상기 외부 케이싱 부재는 나사산 부분을 포함하고, 상기 리세스는 관통홀로서 형성되고, 상기 리테이닝 장치는 나사로서 형성되고, 상기 관통홀을 통해 돌출되며, 상기 나사의 상기 나사산은 상기 내부 케이싱 부재 및/또는 상기 외부 케이싱 부재의 상기 나사산 부분과 상호작용하는 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 상기 내부 케이싱 부재 및 상기 외부 케이싱 부재은 서로 일체로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 상기 내부 케이싱 부재 및 상기 외부 케이싱 부재는 서로 웹형(web-shaped) 스프링 요소에 의해 연결되고, 상기 초음파 액츄에이터는 바람직하게는 상기 스프링 요소 및 상기 초음파 액츄에이터 사이에 배열된 댐핑 요소에 의하여 상기 웹형 스프링 요소 사이에서 클램핑된(clamped) 것이 바람직할 수 있다.
뿐만 아니라 상기 리테이닝 장치의 상기 적어도 하나의 리테이닝 섹션은 상기 외부 케이싱 부재 및/또는 상기 내부 케이싱 부재와 일체로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 클램핑 요소는 상기 내부 케이싱 부재와 상기 외부 케이싱 부재사이에 배열되고, 상기 클램핑 요소의 변위(displacement)에 따라 상기 내부 케이싱 부재또는 상기 외부 케이싱 부재에 연결되고, 상기 내부 케이싱 부재및/또는 외부 케이싱 부재와 관련하여 적어도 부분적으로 상기 리세스에 대한 상기 리테이닝 섹션을 상기 변위로 가압하는 것이 가능한 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 상기 클램핑 요소는 관련된 리세스와 맞물리는 적어도 하나의 맞물림(engagement) 섹션을 포함하는 것이 바람직할 수 있다.
마찬가지로, 상기 적어도 하나의 초음파 액츄에이터는 면적 면에서 가장 큰 2개의 메인 표면을 갖는 중공 원통형 모형 또는 평면 모형을 가지고, 상기 적어도 하나의 리세스는 하나의 메인 표면으로부터 다른 하나의 메인 표면을 가리키고 바람직하게, 하나의 메인 표면으로부터 다른 메인 표면으로 관통홀로서 연장되는 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 초음파 액츄에이어의 상기 메인 표면 중 어느 하나 상의 적어도 2개의 여기 전극은 그들 사이에 배치된 분리 영역으로 인하여 각각 상호 거리를 두고 배열되고, 바람직하게 인접한 관통홀로서 구현되는 리세스는 각각의 인접한 여기 전극 및 각각의 분리 영역과 교차하여 배열되는 것이 바람직할 수 있다.
뿐만 아니라, 적어도 하나의 마찰 요소는 상기 구동될 요소와 직접 또는 간접적으로 접촉하는 상기 메인 표면과 연결된 상기 초음파 액츄에이터의 상기 2개의 표면 중 적어도 하나에 배열되는 것이 바람직할 수 있다.
상기 적어도 하나의 마찰 요소(19)는 마찰 링(20)과 접촉하고, 상기 마찰 링(20)은 상기 구동될 요소(3)에 연결되고, 상기 마찰 요소(19)에 대해 상기 마찰 링(20)을 가압하는 스프링 디스크(21) 상에 배열되는 것이 바람직할 수 있다.
게다가, 상기 초음파 액츄에이터는 중공 원통형 모형이고, 적어도 하나의 일반 전극(6)은 제 1 원주형 표면(22)을 정의하는 상기 메인 표면(16,17) 상에 배열되고, 적어도 6개의 실질적으로 동일한 크기의 여기 전극(5)은 각각의 인접한 여기 전극(5) 사이에 배치된 분리 영역(24)으로 원주에 걸쳐 고르게 분포된 제 2 원주형 표면을 정의하는 다른 메인 표면(16,17) 상에 배열되고, 상기 초음파 액츄에이터는 원주에 고르게 분포되고 관통홀로서 구현되는 3개의 리세스(9), 각각의 분리 영역(24)에 인접하도록 위치하고 원주에 고르게 분포된 상기 초음파 액츄에이터의 적어도 하나의 표면(18) 상에 각각 배열된 적어도 3개의 마찰 요소(19)를 포함하고, 상기 관통홀과 상기 마찰 요소(19)의 위치는 서로 둘레를 따라서 상이한 것이 바람직할 수 있다.
상기 회전형 초음파 모터는, 3개의 실질적으로 직사각형의 초음파 액츄에이터(2)를 포함하며, 각각 인접한 초음파 액츄에이터(2)는 그들 사이에 실질적으로 60 °의 각도를 정의하고, 적어도 하나의 일반 전극6)은 상기 메인 표면(16,17) 상에 각각 배열되고, 적어도 2개의 실질적으로 동일한 크기의 여기 전극(5)은 상기 다른 메인 표면(16,17)상에 배열되고, 상기 직사각형의 초음파 액츄에이터(2)는 상기 여기 전극(5)의 영역에 각각 배치되고 관통홀로서 구현되는 2 개의 리세스(9), 및 각각의 분리 영역(24)에 인접한 상기 초음파 액츄에이터의 더 긴 측면들 중 하나 상에 각각 배열된 각각의 마찰 요소(19)를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.
본 발명의 실시예는 아래의 첨부도면을 참조하여 아래에 설명될 것이다:
도 1은 중공 원통형 초음파 액츄에이터를 가지는 본 발명에 따른 회전형 초음파 모터의 실시예를 도시한다.
도 2는 도 1에 따른 회전형 초음파 모터의 초음파 액츄에이터를 도시한다.
도 3은 구동될 요소가 없는 3개의 직사각형 초음파 액츄에이터를 가지는 본 발명에 따른 회전형 초음파 모터의 추가 실시예를 도시한다.
도 1은 본 발명에 따른 회전형 초음파 모터(1)의 실시예를 도시한다. 이는 압전(piezoelectric) 재료 또는 압전세라믹(piezoceramic) 재료로 만들어진 중공 실린더 형태의 초음파 액츄에이터(2)를 포함한다. 일반 전극이 초음파 액츄에이터의 전체 내부 원주 표면상에 배열되고, 이는 초음파 액츄에이터의 주 표면(16)을 정으하는 반면, 도 1에 인식될 만큼 도시되지는 않은 일부의 여기 전극은 서로 떨어져서 외부 원주 표면에 메인 표면(17)을 정의한다. 압전 또는 압전 세라믹 재료는 따라서, 여기 전극과 일반 전극(6) 사이에 층으로서 배열된다. 적절한 전압을 전극에 인가함에 따라, 압전 또는 압전 세라믹 재료에 전기장이 발생하여 역압전 효과로 인해 초음파 액츄에이터의 변형이 발생한다. 초음파 액츄에이터의 선택적인 주기적 변형은 각각의 주기적 스트레스(stress:응력)에 의해 달성될 수 있으며, 이는 회전형 초음파 모터의 효과적인 구동 모션을 초래한다.
초음파 액츄에이터는 압전 재료의 하나 이상의 층을 포함하며, 여기서 각각의 전극은 인접한 층(소위 다층 액츄에이터)들 사이에 배열된다. 이어서, 압전 재료의 층 및 전극의 층이 중공 실린더의 반경 방향 또는 축 방향으로 적층될 수 있다.
원주 상에 분포된 중공 실린더의 2개의 면 측부(18)에는 반구 형태의 3개의 마찰 요소(19)가 배치되며, 이들 중 하나의 마찰 요소는 도 1에서 볼 수 있다. 마찰 링(20)은 2개의 표면 중 하나 상에 배치된 3개의 각 마찰 요소(19)와 접촉하고, 여기서 2개의 마찰 링(20) 각각은 스프링 디스크(21)에 의해 마찰 요소(19)에 대해 가압되어, 초음파 액츄에이터(2)의 주기적 변형으로 인한 마찰 요소(19)의 모션이 스프링 디스크(21)로 효과적인 전달이 이루어진다. 스프링 디스크(21)는 차례로 샤프트의 형태로 구동되도록 요소(3)에 견고하게 연결되어 있기 때문에, 구동될 요소(3)의 회전 구동은 스프링 디스크(21)를 구동함으로써 달성된다. 구동될 요소(3)는 회전 이동 가능한 방식으로 케이싱(4) 내 베어링 요소(25)에 의하여 설치된다.
중공 원통형 초음파 액츄에이터(2)는 대응하는 케이싱(4) 내에 배열되고, 케이싱(4)은 링의 형태인 내부 케이싱 부재(10)와 이와 비슷한 형태인 외부 케이싱 부재(11)를 포함하고, 초음파 액츄에이터는 내부 케이싱 부재(10)와 외부 케이싱 부재(11) 사이에 배열된다. 리테이닝 장치(7)은 나사 또는 나사 생크(screw shank)의 형태의 리테이닝 섹션(8)과 관통홀의 형태로 초음파 액츄에이터 내 리세스(9)를 포함한다. 나사의 헤드가 외부 케이싱 부재(11)에 대해 지지되는 동안, 나사 생크는 초음파 액츄에이터의 리세스(9)를 통해 돌출되며, 나사 생크의 직경은 실질적으로 초음파 액츄에이터의 리세스 직경과 일치한다. 나사 헤드에 대향하여 배치된 나사 생크의 적어도 원위부(distal portion)은 내부 케이싱 부재에 각각 제공된 상보적 나사산 부분(12)에 맞물리거나 상호 작용하는 나사산을 포함한다. 주기적인 변형을 거의 무시할 수 있는 초음파 액츄에이터의 부착 또는 장착은 리세스(9)가 작동 중에 경미하거나 무시할만한 모션 또는 변형만이 일어나는 초음파 액츄에이터의 그러한 위치에 배치되기 때문에 달성된다.
도 2는 도 1에 따른 회전형 초음파 모터의 초음파 액츄에이터의 상세한 도면이다. 중공 실린더로서 형성된 초음파 액츄에이터의 상부에서 도 2의 표면(18) 상에 배열된 반구 형태의 3개의 마찰 요소(19)가 이제 명확하게 보인다. 반구형 이외에, 마찰 요소를 위해 다양한 다른 형상이 물론 고려될 수 있다.
전체 내부 원주 영역(22)은 그 위에 배열된 일반 전극(6)으로 ?여 있는 반면, 총 6개의 동일하게 형성된 여기 전극이 원주에 균일하게 분포된 외주 둘레 표면(23) 상에 배열되고, 여기서 분리 영역(24)은 각 인접 여기 전극(5)과 분리된 각 인접 여기 전극(5) 사이에 존재하고, 그들은 전기적으로 절연된다.
초음파 액츄에이터는 중공 실린더의 원주에 걸쳐 등거리로 분포되고 각각이 분리 영역(24)과 교차하는 관통홀 형태의 3 개의 리세스(9)를 포함한다. 그러나, 리세스(9)가 다른 위치, 예를 들어 각각의 여기 전극(5)의 중심에 제공되는 것도 고려 될 수 있다.
또한, 표면(18)의 3개의 마찰 요소(19)는 중공 실린더의 원주에 대해 등거리로 배열되고, 각각의 마찰 요소는 각각의 분리 영역(24)의 영역 내에 배열된다. 2개의 표면(18)의 마찰 요소(119)는 반대로 배치된 배열로 부착되어 있다.
중공 실린더의 원주에 대한 마찰 요소(19)의 위치는 중공 실린더의 중공에 대한 리세스(9)의 위치와 상이하다. 마찰 요소(19)는 두 개의 인접한 리세스(9) 사이의 중아에 배열된다. 인접한 리세스(9)뿐만 아니라, 인접한 마찰 요소(19)는 실질적으로 실질적으로 120°의 중공 실린더의 원주 각도에 대해 거리가 있기 때문에, 원주 각도에 대한 마찰 요소와 인접 리세스 사이의 거리는 실질적으로 60 °의 각도를 가진다.
도 3은 명확성을 이유로 구동 요소가 생략된 본 발명에 따른 회전식 초음파 모터의 다른 실시 예를 도시한다. 도 1에 따른 실시예와 달리, 회전식 초음파 모터는 중공 원통형 초음파 액츄에이터를 가지지 않으나, 대신에 인접한 초음파 액츄에이터 사이의 각도가 60°의 각도를 정의하는, 3개의 실질적으로 직사각형인 초음파 액츄에이터(2)를 가진다.
각각의 직사각형 초음파 액츄에이터(2)는 메인 표면(16)에 분리 영역(24)에 의해 서로 분리된 2개의 두개의 동일한 모형의 여기 전극(5)을 포함한다. 반대로 배치된 메인 표면(17)에서 3개의 초음파 액츄에이터 각각은 실질적으로 전체 메인 표면(17)을 덮는 일반적인 전극을 포함한 메인 표면(17)을 포함한다.
마찰 요소(19)는 분리 영역(24)의 영역에서 실질적으로 그 중심에서 초음파 액츄에이터의 2 개의 대향 배치 된 표면(18) 각각에 배치되며, 여기서 2 개의 마찰 요소 중 하나만이 도 3에 도시된다.
3 개의 초음파 액츄에이터(2)는 내부 케이싱 부재(10)와 외부 케이싱 부재(11) 사이의 케이싱(4)에 배열되며, 여기서 내부 케이싱 부재(10)는 서로 대 향하여 배치된 2 개의 연결 요소(26)에 의해 외부 케이싱 부재(11)에 연결된다. 연결 요소 (26)는 스프링 요소 (13)로서 형성되고 각각의 초음파 액추에이터의 면 (18)과 접촉하는 탄성 변형 가능한 웹 부분을 포함하고, 따라서 초음파 액츄에이터는 각각 관련된 스프링 요소(13) 사이에 클램핑된다. 댐핑 요소는 스프링 요소(13)와 각각의 표면(18) 사이에 배치되는 것이 바람직하다.
페그(pegs)로 형성되고 내부 케이싱 부재(10)와 일체로 형성된 각각의 리테이닝 장치(7)의 리테이닝 섹션(8)은 초음파 액츄에이터의 연관된 리세스에 결합하지만, 도 3에는 도시되지 않았다. 리세스는 메인 표면(16) 상에 배열된 여기 전극(5)의 영역에 배열된다.
케이싱(4)은 내부 케이싱 부재(10)와 외부 케이싱 부재(11) 사이에 배치된 클램핑 요소(14)를 포함하며, 클램핑 요소(14)는 외부 케이싱 부재(11)에 연결되어 클램핑 요소(14)의 변위가 적어도 부분적으로 내부 케이싱에 대해 가능하다. 클램핑 요소 (14)의 맞물림 섹션(15)이 메인 표면(17)의 방향으로부터 리세스 (9)와 맞물리기 때문에, 클램핑 요소(14)의 변위는 각각의 리테이닝 섹션(8)이 각각의 리세스(9)에 대해 가압되게 하고, 따라서 초음파 액츄에이터의 대부분의 플레이 없는(play-free) 장착이 가능하다.
1: 회전형 초음파 모터
2: 초음파 액츄에이터
3: 구동되는 요소
4: 케이싱
5: 여기 전극(excitation electrode)
6: 일반 전극
7: 리테이닝 장치
8: 리테이닝 섹션
9: 리세스
10: 내부 케이싱 부재
11: 외부 케이싱 부재
12: 나사산(threaded) 부분
13: 스프링 요소
14: 클램핑 요소
15: 맞물림(engagement) 섹션
16: (초음파 액츄에이터의) 메인 표면
17: (초음파 액츄에이터의) 메인 표면
18: (초음파 액츄에이터의) 표면
19. 마찰 요소
20: 마찰 링
21: 스프링 디스크
22: 제 1 원주면
23: 제 2 원주면
24: 분리 영역
25: 베어링 요소
26: 연결 요소

Claims (15)

  1. 적어도 하나의 초음파 액츄에이터(2), 구동될 요소(3), 내부 케이싱 부재(10) 및 외부 케이싱 부재(11)를 포함하는 케이싱(4)을 가지는 회전형 초음파 모터(1)에 있어서,
    상기 초음파 액츄에이터(2)는 적어도 하나의 여기 전극(5)과 적어도 하나의 일반 전극(6) 사이에 배열된 압전(piezoelectric) 또는 전기변형(electrostrictive) 또는 자기변형(magnetostrictive) 재료를 포함하고,
    상기 초음파 액츄에이터(2)는 상기 내부 케이싱 부재(10) 및 상기 외부 케이스 부재(11) 사이의 상기 케이싱(4)에 배열되고, 상기 구동될 요소(3)에 직접 또는 간접적으로 접촉하며, 전기적 여기에 의해 상기 초음파 액츄에이터(2)에서 발생된 주기적 변형이 상기 구동될 요소(3)로 전달될 수 있고 후자의 구동 모션을 야기하고,
    상기 초음파 액츄에이터(2)는 각각의 리테이닝 섹션(8)과 관련되고 상기 초음파 액츄에이터(2)에 배치된 리세스(9)에 맞물린 적어도 하나의 리테이닝 섹션(8)을 가지는 상기 케이싱(4) 상에 배열된 리테이닝 장치(7)에 의하여 장착되는 회전형 초음파 모터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 리테이닝 장치(7)는 나사(screw)에 의해 형성되고, 상기 리세스(9)는 상기 나사의 나사산(thread)과 상호 작용하는 나사산을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서, 상기 내부 케이싱 부재(10) 및/또는 상기 외부 케이싱 부재(11)는 나사산 부분(12)을 포함하고, 상기 리세스(9)는 관통홀로서 형성되고, 상기 리테이닝 장치(7)는 나사로서 형성되고, 상기 관통홀을 통해 돌출되며, 상기 나사의 상기 나사산은 상기 내부 케이싱 부재(10) 및/또는 상기 외부 케이싱 부재(11)의 상기 나사산 부분(12)과 상호작용하는 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  4. 제 1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내부 케이싱 부재(10) 및 상기 외부 케이싱 부재(11)은 서로 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내부 케이싱 부재(10) 및 상기 외부 케이싱 부재(11)는 서로 웹형(web-shaped) 스프링 요소(13)에 의해 연결되고, 상기 초음파 액츄에이터(2)는 바람직하게는 상기 스프링 요소(13) 및 상기 초음파 액츄에이터(2)사이에 배열된 댐핑 요소에 의하여 상기 웹형 스프링 요소(13) 사이에서 클램핑된(clamped) 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  6. 제 1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 리테이닝 장치(7)의 상기 적어도 하나의 리테이닝 섹션(8)은 상기 외부 케이싱 부재(11) 및 상기 내부 케이싱 부재(10)와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  7. 제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동될 요소(3)에 회전가능하게 장착된 베어링 요소(25)는 상기 내부 케이싱 부재(10) 및/또는 상기 외부 케이싱 부재(11) 내에 배열된 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  8. 제 1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 클램핑 요소(14)는 상기 내부 케이싱 부재(10)와 상기 외부 케이싱 부재(11) 사이에 배열되고, 상기 클램핑 요소(14)의 변위(displacement)에 따라 상기 내부 케이싱 부재(10) 또는 상기 외부 케이싱 부재(11)에 연결되고, 상기 내부 케이싱 부재(10) 및/또는 외부 케이싱 부재(11)와 관련하여 적어도 부분적으로 상기 리세스(9)에 대한 상기 리테이닝 섹션(8)을 상기 변위로 가압하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 클램핑 요소(14)는 관련된 리세스(9)와 맞물리는 적어도 하나의 맞물림(engagement) 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전식 초음파 모터.
  10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 초음파 액츄에이터는 면적 면에서 가장 큰 2개의 메인 표면(16,17)을 갖는 중공 원통형 모형 또는 평면 모형을 가지고, 상기 적어도 하나의 리세스(9)는 하나의 메인 표면(16,17)으로부터 다른 하나의 메인 표면(16,17)을 가리키고 바람직하게, 하나의 메인 표면(16,17)으로부터 다른 메인 표면(16,17)으로 관통홀로서 연장되는 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 초음파 액츄에이어(2)의 상기 메인 표면(16,17) 중 어느 하나 상의 적어도 2개의 여기 전극(5)은 그들 사이에 배치된 분리 영역(24)으로 인하여 각각 상호 거리를 두고 배열되고, 바람직하게 인접한 관통홀로서 구현되는 리세스(9)는 각각의 인접한 여기 전극(5) 및 각각의 분리 영역(24)과 교차하여 배열되는 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.
  12. 제 10항 또는 제11항에 있어서, 적어도 하나의 마찰 요소(19)는 상기 구동될 요소(3)와 직접 또는 간접적으로 접촉하는 상기 메인 표면(16, 17)과 연결된 상기 초음파 액츄에이터의 상기 2개의 표면(18) 중 적어도 하나에 배열된 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 적어도 하나의 마찰 요소(19)는 마찰 링(20)과 접촉하고, 상기 마찰 링(20)은 상기 구동될 요소(3)에 연결되고, 상기 마찰 요소(19)에 대해 상기 마찰 링(20)을 가압하는 스프링 디스크(21) 상에 배열되는 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.
  14. 제 10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 초음파 액츄에이터는 중공 원통형 모형이고, 적어도 하나의 일반 전극(6)은 제 1 원주형 표면(22)을 정의하는 상기 메인 표면(16,17) 상에 배열되고, 적어도 6개의 실질적으로 동일한 크기의 여기 전극(5)은 각각의 인접한 여기 전극(5) 사이에 배치된 분리 영역(24)으로 원주에 걸쳐 고르게 분포된 제 2 원주형 표면을 정의하는 다른 메인 표면(16,17) 상에 배열되고, 상기 초음파 액츄에이터는 원주에 고르게 분포되고 관통홀로서 구현되는 3개의 리세스(9), 각각의 분리 영역(24)에 인접하도록 위치하고 원주에 고르게 분포된 상기 초음파 액츄에이터의 적어도 하나의 표면(18) 상에 각각 배열된 적어도 3개의 마찰 요소(19)를 포함하고, 상기 관통홀과 상기 마찰 요소(19)의 위치는 서로 둘레를 따라서 상이한 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.
  15. 제 10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전형 초음파 모터는, 3개의 실질적으로 직사각형의 초음파 액츄에이터(2)를 포함하며, 각각 인접한 초음파 액츄에이터(2)는 그들 사이에 실질적으로 60 °의 각도를 정의하고, 적어도 하나의 일반 전극6)은 상기 메인 표면(16,17) 상에 각각 배열되고, 적어도 2개의 실질적으로 동일한 크기의 여기 전극(5)은 상기 다른 메인 표면(16,17)상에 배열되고, 상기 직사각형의 초음파 액츄에이터(2)는 상기 여기 전극(5)의 영역에 각각 배치되고 관통홀로서 구현되는 2 개의 리세스(9), 및 각각의 분리 영역(24)에 인접한 상기 초음파 액츄에이터의 더 긴 측면들 중 하나 상에 각각 배열된 각각의 마찰 요소(19)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 초음파 모터.

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