KR20190134186A - 모듈형 디스펜싱 헤드유닛 - Google Patents

모듈형 디스펜싱 헤드유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR20190134186A
KR20190134186A KR1020180059502A KR20180059502A KR20190134186A KR 20190134186 A KR20190134186 A KR 20190134186A KR 1020180059502 A KR1020180059502 A KR 1020180059502A KR 20180059502 A KR20180059502 A KR 20180059502A KR 20190134186 A KR20190134186 A KR 20190134186A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
head module
head
module
unit
chuck
Prior art date
Application number
KR1020180059502A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102109447B1 (ko
Inventor
민경준
김희근
강규태
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020180059502A priority Critical patent/KR102109447B1/ko
Priority to CN201821921795.XU priority patent/CN209215778U/zh
Publication of KR20190134186A publication Critical patent/KR20190134186A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102109447B1 publication Critical patent/KR102109447B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/027—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341—Filling or closing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 모듈형 디스펜싱 헤드유닛에 대한 것이다. 본 발명은, 메인 패널과, 상기 메인 패널의 일측의 결합된 상기 액체토출모듈 및 상기 메인 패널에 수평 방향으로 결합된 상단 패널을 포함하는 헤드 모듈; 및 상기 헤드 모듈이 장착되는 헤드 모듈 장착부가 상단에 형성된 헤드 모듈 지지부를 포함하는 베이스 모듈;을 포함하고, 상기 헤드 모듈 장착부에는 상기 헤드 모듈의 상기 상단 패널을 고정하는 헤드 모듈 고정부가 구비되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛을 제공한다.

Description

모듈형 디스펜싱 헤드유닛 {MODULAR DISPNSING HEAD UNIT}
본 발명은 모듈형 디스펜싱 헤드유닛에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 베이스 모듈과 상기 베이스 모듈에 결합되는 헤드 모듈을 포함하는 모듈형 디스펜싱 헤드유닛에 대한 것이다.
전자 장치의 제조에 있어서, 기판에 특정 기능을 수행하기 위한 액체를 토출하거나 도포하는 장치가 사용된다. 예를 들면, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 또는 OLED 디스플레이 등의 평판 표시 장치(Flat Panel Display, FPD)의 제조에 있어서 기판 상에 소정 기능을 수행하기 위한 구성을 형성하기 위하여 다양한 디스펜싱 장치가 사용된다. 일례로, 액정 표시 장치는 컬러 필터층이 구비된 컬러 기판과, 구동 소자들이 배열된 TFT(Thin Film Transistor) 기판을 합착하여 제조된다. 컬러 기판과 TFT 기판 사이에 액정이 도포되고, 컬러 기판과 TFT 기판을 접착시키기 위하여 페이스트(또는 실런트)가 도포된다.
액정 표시 장치나 OLED 소자 또는 OLED 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 액정층, 페이스트 패턴, 배향막, 스페이서, 도전성 패턴, 컬러 필터, 발광층, 블랙 매트릭스(Black Matrix), 또는 형광체층을 형성하기 위한 다양한 디스펜싱 장치가 사용된다.
도 1은 종래 디스펜싱 장치의 일례를 도시한다.
디스펜싱 장치(1)는, 프레임(3)과, 상기 프레임(3)의 상부에 구비되며 소정 액체가 디스펜싱되는 기판(S)이 로딩되는 스테이지(5)와, 상기 스테이지(5)의 상부에 구비되는 헤드 지지대(7)와, 상기 헤드 지지대(7)에 구비되며 소정 액체를 디스펜싱하는 디스펜싱 헤드유닛(9)을 포함한다. 스테이지(5)는 X축 또는 Y축 방향으로 구동되도록 구성될 수 있다. 또한, 헤드 지지대(7)는 구동 모터(8)에 의해 프레임(3)의 상부에서 Y축 방향으로 직선 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 디스펜싱 헤드유닛(9)은 기판과의 상대적 위치를 조정하기 위하여 Z축 방향으로 위치 조정될 수 있으며, X축 또는/및 Y축 방향으로도 구동될 수 있다.
한편, 보다 정밀하고 정확한 양을 기판에 제공하기 위하여 최근에는 잉크젯 방식으로 액체를 토출하는 디스펜싱 장치의 사용도 증가하고 있다. 일례로, 대한민국 등록특허 제0701442호는 액정을 빠른 시간에 넓은 면적에 동시에 도포할 수 있도록 하는 잉크젯 방식 액정 도포 방법을 개시한다.
액정 등을 도포하는 디스펜싱 장치의 경우, 액정을 공급하는 액정 저장병의 액정 수위가 낮아지는 경우에는 액정 저장병을 교체하거나 액정 저장병에 액정을 보충하여야 한다. 또한, 잉크젯 토출 방식으로 액체를 도포하는 디스펜싱 장치에 있어서는 잉크젯 노즐을 포함하는 토출 모듈을 교체하거나 세정할 필요가 있다.
그러나, 액정 저장병의 교체나 보충 또는 잉크젯 노즐을 포함한 토출 모듈을 교체하거나 세정할 때 디스펜싱 장치의 작동을 중단하여야 하는 문제점이 존재한다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 액정과 같은 액체를 디스펜싱하는 액체 디스펜싱 장치의 디스펜싱 헤드유닛의 일부를 분리 가능하게 구성한 모듈형 디스펜싱 헤드유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 모듈형 디스펜싱 헤드유닛을 베이스 모듈과 헤드 모듈로 분리하여 구성하고 헤드 모듈을 베이스 모듈에 견고하게 장착 및 고정하는 것이 가능한 모듈형 디스펜싱 헤드유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 메인 패널과, 상기 메인 패널의 일측의 결합된 상기 액체토출모듈 및 상기 메인 패널에 수평 방향으로 결합된 상단 패널을 포함하는 헤드 모듈; 및 상기 헤드 모듈이 장착되는 헤드 모듈 장착부가 상단에 형성된 헤드 모듈 지지부를 포함하는 베이스 모듈;을 포함하고, 상기 헤드 모듈 장착부에는 상기 헤드 모듈의 상기 상단 패널을 고정하는 헤드 모듈 고정부가 구비되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛을 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 상단 패널의 저면에는 척 삽입부가 형성되고, 상기 헤드 모듈 고정부는 상기 척 삽입부에 삽입되어 수평 방향으로 확장되는 척을 포함한다.
또한, 상기 척 삽입부는 위쪽으로 폭이 넓어지는 제 1 테이퍼면이 형성되고, 상기 척의 외측에는 상기 제 1 테이퍼면에 대응되는 제 2 테이퍼면이 형성될 수 있다.
또한, 상기 척 삽입부를 수평 방향으로 구동하는 척 구동부가 상기 헤드 모듈 장착부 내부에 구비될 수 있다.
또한, 상기 상단 패널의 저면과 상기 헤드 모듈 장착부의 상부면 중 어느 하나에는 고정핀이 형성되고, 다른 하나에는 상기 고정핀이 삽입되는 고정핀 삽입공이 형성되어 상기 헤드 모듈의 상기 베이스 모듈에의 장착을 가이드할 수 있다.
또한, 상기 헤드 모듈 장착부의 상부면에는 상기 상단 패널의 장착을 감지하는 헤드 모듈 장착 감지부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 상단 패널의 저면과 상기 헤드 모듈 장착부의 상부면은 마찰 또는 마모 방지 코팅이나 필름이 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 베이스 모듈은, 상기 헤드 모듈 지지부를 지지하여 회전 구동함으로써 상기 헤드 모듈을 수평 방향으로 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 디스펜싱 헤드유닛을 베이스 모듈과 헤드 모듈로 구분하고 베이스 모듈에 헤드 모듈을 간단한 방식으로 결합시키고 분리할 수 있도록 함으로써, 디스펜싱 헤드유닛의 조립 및 유지 보수를 용이하게 한다.
또한, 본 발명에 따르면 디스펜싱 헤드유닛을 베이스 모듈과 헤드 모듈을 결함시킴에 있어서 헤드 모듈을 베이스 모듈에 견고하게 고정할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래 디스펜싱 장치의 일례를 도시한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛을 베이스 모듈과 헤드 모듈로 분리한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 베이스 모듈과 헤드 모듈이 분리된 상태를 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 디스펜싱 헤드유닛의 회전을 위한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 회전 구동부에 의해 회전되는 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 회전 상태에 따른 액체의 토출 피치의 변화를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 헤드 모듈의 상단 패널의 구성을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 베이스 모듈의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 헤드 모듈 고정부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 헤드 모듈을 베이스 모듈에 고정하는 상태를 설명하는 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛을 베이스 모듈과 헤드 모듈로 분리한 사시도이다.
도 2와 도 3을 참조하여 디스펜싱 헤드유닛(9)의 일 실시예를 설명한다.
디스펜싱 헤드유닛(9)은 도 1에 도시된 바와 같은 디스펜싱 장치(1)의 헤드 지지대(7)에 결합될 수 있고, 액체 주저장부(230)로부터 액체토출모듈(40)로 액체를 전달하여 액체를 토출한다. 일 실시예에 있어서, 액체토출모듈(40)은 잉크젯 방식의 노즐부(42)을 포함하고, 잉크젯 방식으로 노즐부(42)을 통해 액체를 토출할 수 있다. 다만, 본 발명의 실시에 있어서 액체토출모듈(40)의 토출 방식이 잉크젯 방식으로 한정되는 것은 아니다. 디스펜싱 헤드유닛(9)이 토출하는 액체는 소정 점성을 갖는 액체일 수 있으며, 액정층, 페이스트 패턴, 배향막, 스페이서, 도전성 패턴, 컬러 필터, 발광층, 블랙 매트릭스(Black Matrix), 또는 형광체층 중 어느 하나를 기판 상에 형성하기 위한 액체일 수 있다.
디스펜싱 헤드유닛(9)은 베이스 모듈(10)과, 상기 베이스 모듈(10)에 착탈 가능하게 결합하는 헤드 모듈(20)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서 베이스 모듈(10)은 헤드유닛 지지부(30)를 통해 디스펜싱 장치(1)의 헤드 지지대(7)에 결합될 수 있다. 헤드유닛 지지부(30)는 헤드 지지대(7)에 결합되는 결합판(32)과 상기 결합판(32)과 베이스 모듈(10)을 연결하고 상기 베이스 모듈(10)을 적어도 1축 방향(예를 들면 상하 방향)으로 구동하는 구동부(34)를 포함할 수 있다.
베이스 모듈(10)은, 수직 방향으로 배치되는 베이스 패널(100), 상기 베이스 패널(100)에 수평 방향으로 고정된 고정 패널(102), 상기 고정 패널(102)에 연결된 헤드 모듈 지지대(110), 및 상기 헤드 모듈 지지대(110)의 상부에 구비되는 헤드 모듈 장착부(120)를 포함할 수 있다. 베이스 패널(100)은 헤드유닛 지지부(30)에 결합될 수 있다. 헤드 모듈 지지대(110) 및 헤드 모듈 장착부(120)는 각각 별개로 구성되어 서로 결합되거나 일체로 형성될 수 있다.
헤드 모듈 장착부(120)의 상부에는 헤드 모듈(20) 장착시 헤드 모듈(20)을 고정하는 헤드 모듈 고정부(130)가 구비될 수 있다. 또한, 헤드 모듈 장착부(120)에는 헤드 모듈(20)이 베이스 모듈(10)에 올려진 것을 감지하는 헤드 모듈 장착 감지부(122)가 구비되고, 헤드 모듈 장착 감지부(122)에서 헤드 모듈(20)이 장착된 것이 감지된 경우, 상기 헤드 모듈 고정부(130)가 작동될 수 있다. 헤드 모듈 장착 감지부(122)는 헤드 모듈(20)이 베이스 모듈(10)에 올려진 경우 온(On)되는 스위치 형태로 구성될 수 있으며, 헤드 모듈(20)의 장착을 감지할 수 있는 센서 구성이라면 어떠한 것을 사용해도 좋다.
헤드 모듈 지지대(110)에는 핀치 밸브(112)가 구비될 수 있다. 핀치 밸브(112)는 철(凸)부(114a)가 형성된 제 1 핀치 밸브(112a)와 요(凹)부(114b)가 형성된 제 2 핀치 밸브(112b)를 포함한다. 제 1 핀치 밸브(112a)와 제 2 핀치 밸브(112b)의 사이에 액정 공급관(238)을 끼운 상태에서 제 1 핀치 밸브(112a)와 제 2 핀치 밸브(112b)가 근접함으로써 액정 공급관(238)을 통한 액체의 공급을 차단할 수 있다.
또한, 베이스 모듈(10)에는 고정 패널(102)에 고정된 상태에서 헤드 모듈 지지대(110)와 헤드 모듈 장착부(120)를 수평 방향으로 회전 구동하기 위한 회전 구동부(50)가 추가로 구비될 수 있다.
헤드 모듈(20)은, 수직 방향으로 배치된 메인 패널(200)과, 상기 메인 패널(200)의 상단에 형성되는 액체 주저장부 보관부(220)와, 메인 패널(200)의 하단에 결합된 액체토출모듈(40)을 포함한다. 액체 주저장부 보관부(220)는 메인 패널(200)의 상단에 가로 방향으로 결합된 상단 패널(210)의 상부에 형성될 수 있다. 액체 주저장부 보관부(220)에는 액체토출모듈(40)로 토출될 액체를 저장하여 공급하는 액체 주저장부(230)가 구비된다.
액체 주저장부(230)의 상단 개방부에는 캡(232)이 구비될 수 있고, 액체 주저장부(230)에 저장된 액체는 제 1 액체 공급관(234), 상기 제 1 액체 공급관(234)을 통해 공급되는 액체를 필터링하는 필터부(236), 상기 필터부(236)를 통과한 액체를 잉크젯 방식 액체토출모듈(40)로 공급하는 제 2 액체 공급관(238)이 구비될 수 있다. 액체 주저장부(230)의 내부에는 공압이 공급되고(공압 공급 구성은 미도시), 공압에 의해 액체 주저장부(230)에 저장된 액체가 제 1 액체 공급관(234)으로 배출될 수 있다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 베이스 모듈과 헤드 모듈이 분리된 상태를 나타내는 측면도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 디스펜싱 헤드유닛의 회전을 위한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
헤드 모듈(20)은 헤드 모듈 장착부(120)에 장착되고 헤드 모듈 고정부(130)에 의해 고정된다.
헤드 모듈 장착부(120)는 헤드 모듈 지지대(110)의 상부에 마련되며, 헤드 모듈 장착부(120)는 헤드 모듈 지지대(110)와 일체로 형성되는 것도 가능할 수 있다. 헤드 모듈 장착부(120)는 회전 구동부(50)에 의해 지지되며, 회전 구동부(50)에 의해 헤드 모듈 장착부(120)가 회전 구동될 수 있다.
회전 구동부(50)는, 구동 모터(52)와 지지 베어링(54)을 포함할 수 있다. 구동 모터(52)는 베이스 패널(100)에 수평 방향으로 고정된 고정 패널(102)에 고정된다. 구동 모터(52)의 고정을 위해 고정 패널(102)과 구동 모터(52)를 체결하는 고정 나사(53)가 구비될 수 있다. 한편, 도 4와 도 5에서는 구동 모터(52)의 상부가 고정 패널(102)의 하부에 고정된 것으로 예시되어 있으나, 구동 모터(52)는 고정 패널(102)의 상부에 위치하는 것도 가능할 수 있다.
구동 모터(52)는 구동축(56)을 포함하고, 구동축(56)이 헤드 모듈 지지대(110)에 연결될 수 있다. 구동축(56)의 회전에 따라 헤드 모듈 지지대(110)가 회전될 수 있다. 이러한 구동 모터(52)는 직접 구동 방식의 모터(Direct Drive Motor)일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 헤드 모듈 지지대(110)는 베어링(54)에 의해 지지된다. 베어링(54)의 저면 일부는 고정 패널(102)에 고정된 상태에서 헤드 모듈 지지대(110)를 지지할 수 있다. 이러한 베어링(54)은 크로스 롤러 베어링일 수 있다. 헤드 모듈 지지대(110)의 저면에는 상기 베어링(54)의 상부 또는 베어링(54)의 일부와 결합되는 안착부(116)가 형성될 수 있다.
도 6는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 회전 구동부에 의해 회전되는 구성을 도시한 도면이다.
도 6에서는 회전 구동부(50)에 의해 회전 구동되는 구성을 점선으로 표시하였다. 도 6을 참조하면, 회전 구동부(50)의 구동에 따라 헤드 모듈 지지대(110)와 헤드 모듈 장착부(120)가 회전 구동된다. 헤드 모듈(20)은 헤드 모듈 장착부(120)에 장착되고, 헤드 모듈 장착부(120)의 회전에 따라 헤드 모듈(20)도 함께 회전한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 회전 상태에 따른 액체의 토출 피치의 변화를 나타내는 도면이다.
도 7의 (b)는 헤드 모듈 장착부(120)와 이에 결합된 헤드 모듈(20)이 회전되지 않은 상태를 나타내고, 도 7의 (a)는 헤드 모듈 장착부(120)와 이에 결합된 헤드 모듈(20)이 반시계 방향으로 소정 각도(θ1) 회전된 상태를 나타내며, 도 7의 (c)는 헤드 모듈 장착부(120)와 이에 결합된 헤드 모듈(20)이 시계 방향으로 소정 각도(θ2) 회전된 상태를 나타낸다.
헤드 모듈(20)의 회전에 따라 헤드 모듈(20)에 구비된 액체토출모듈(40)도 회전하는데, 도 7의 (d), (e), (f)는 도 7의 (a), (b), (c) 각각의 상태에서의 액체토출모듈(40)에 구비된 노즐부(42)에 의한 액체 토출 상태를 나타낸다.
노즐부(42)에는 복수의 노즐(44)이 열을 이루며 구비되고, 헤드 모듈(20)의 회전에 따라 디스펜싱 헤드유닛(9)의 도포 방향에 대한 노즐부(42)의 각도도 달라진다.
도 7의 (e)을 참조하면, 헤드 모듈(20)이 회전하지 않은 상태에서는 도포된 액체(1000)의 피치 간격은 d2를 이룬다. 그러나 도 7의 (d)와 (e)를 참조하면, 헤드 모듈(20)의 회전에 따라 도포된 액체(1000)의 피치 간격은 d1 또는 d3로서 도 7의 (e)보다 작다. 예를 들어, 헤드 모듈(20)을 이용하여 액정 디스플레이를 구성하는 기판의 일면에 액정을 도포하는 경우 헤드 모듈(20)을 회전 구동함에 따라 기판에 도포되는 액정의 토출 피치를 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 헤드 모듈(20)을 반시계 방향 또는 시계 방향으로 회전 구동함에 따라 필요에 따라 액체의 토출 특성을 변화시키는 것이 가능하다.
다음으로, 헤드 모듈(20)과 베이스 모듈(10)을 포함하는 디스펜싱 헤드유닛(9)에 있어서, 헤드 모듈(20)을 베이스 모듈(10)에 고정하는 구성을 설명한다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 헤드 모듈의 상단 패널의 구성을 나타내는 도면이다. 도 8의 (a)는 메인 패널(200)에 결합된 상단 패널(210)을 저면 방향에서 도시한 사시도이고, 도 8의 (b)는 상단 패널(210)의 단면도(도 8(a)의 A-A' 방향 단면)이다.
상단 패널(210)의 저면에는 척 삽입부(212)가 형성된다. 척 삽입부(212)는 상단 패널(210)의 저면에 소정 깊이로 형성되고 대략 원형으로 형성될 수 있다. 척 삽입부(212)는 위쪽으로 갈수록 지름이 넓어지는 제 1 테이퍼면(216)을 형성하도록 구성된다. 또한, 상단 패널(210)는 고정핀 삽입공(214)이 형성될 수 있다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 베이스 모듈의 사시도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 헤드 모듈 고정부를 개략적으로 도시한 도면이다.
베이스 모듈(10)의 헤드 모듈 장착부(120)에는 헤드 모듈 고정부(130)가 구비되고, 헤드 모듈 고정부(130)는 외측으로 확장 가능한 척(132)이 구비된다. 상기 척(132)은 적어도 2개 구비될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 척(132)은 120도의 각도를 이루며 배치된 제 1 척(132a), 제 2 척(132b) 및 제 3 척(132c)을 포함한다. 또한, 헤드 모듈 장착부(120)의 상부에는 돌출 형성된 고정핀(134)이 형성된다. 고정핀(134)은 헤드 모듈(20)의 상단 패널(210) 저면에 형성된 고정핀 삽입공(214)에 삽입된다. 고정핀(134)이 고정핀 삽입공(214)에 삽입됨에 따라 헤드 모듈(20)을 베이스 모듈(10)에 결합시, 헤드 모듈(20)의 결합 위치를 안내 또는 정렬할 수 있다. 고정핀(134)은 적어도 2개 구비될 수 있으며, 고정핀(134)에 의해 헤드 모듈(20)이 헤드 모듈 장착부(120)의 상부에서 회전되는 것이 방지될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시에 있어서 상기 고정핀 삽입공(214)은 헤드 모듈 장착부(120)에 형성되고, 고정핀(134)이 상단 패널(210)의 저면에 형성되는 것도 가능할 수 있다.
도 10을 참조하면, 척(132)은 외주면이 상단에서 아래로 갈수록 지름이 작아지는 제 2 테이퍼면(133)을 형성한다. 척(132)은 척 구동부(136)에 의해 구동된다. 척 구동부(136)는 공압에 의해 작동될 수 있다. 척 구동부(136)의 구동에 의해 척(132)은 수평 방향으로 확장되고 축소될 수 있다. 즉 척(132)은 수평 방향으로 외측으로 벌어지고 내측으로 좁혀질 수 있다. 이러한 척 구동부(136)와 척(132)의 구성은 로터리 척(rotary chuck)으로 구성될 수 있다. 척 구동부(136)에는 공압에 의해 승강하는 피스톤(미도시)과 척(132)을 확장 또는 축소시키기 위한 웨지부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명의 실시에 있어서 척(132)을 확장 및 축소시킬 수 있는 구성이라면 공압 방식 이외에 모터나 솔레노이드 등을 이용하여 구성하는 것도 가능할 수 있음은 물론이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 헤드 모듈을 베이스 모듈에 고정하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 11의 (a)를 참조하면, 헤드 모듈(20)의 상단 패널(210)이 베이스 모듈(10)의 헤드 모듈 장착부(120)에 장착되기 전 상태에서는, 척(132)은 수평 방향으로 확장되기 전의 상태에 있다.
헤드 모듈(20)이 헤드 모듈 장착부(120)의 상부로 하강함에 따라 고정핀(134)은 고정핀 삽입공(214)으로 삽입되어 헤드 모듈(20)의 장착 위치를 가이드한다.
도 11의 (b)를 참조하면, 상단 패널(210)이 헤드 모듈 장착부(120)에 장착된 상태에서 척(132)이 확장되어 척(132)의 외주면이 척 삽입부(212)의 제 1 테이퍼면(216)에 접촉한다. 이에 따라 상단 패널(210)이 헤드 모듈 장착부(120)의 상부면에 고정된다. 척 구동부(136)의 구동은 수동 또는 자동으로 이루어질 수 있다. 일례로, 헤드 모듈 장착부(120)의 상부에 구비된 헤드 모듈 장착 감지부(122)에 의해 상단 패널(210)이 헤드 모듈 장착부(120)의 장착된 것을 감지한 경우, 척 구동부(136)가 자동으로 동작될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시에 있어서 상단 패널(210)의 저면과 헤드 모듈 장착부(120)의 상면은 서로 접촉함에 따라 마모가 있을 수 있다. 마모 또는 마찰을 방지하기 위하여 상단 패널(210)의 저면과 헤드 모듈 장착부(120)의 상면에는 마찰 방지 또는 마모 방지 코팅이나 필름이 구비될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
9 : 디스펜싱 헤드유닛 10 : 베이스 모듈
20 : 헤드 모듈 30 : 헤드유닛 지지부
40 : 액체토출모듈 50 : 회전 구동부
52 : 구동 모터 54 : 베어링
100 : 베이스 패널 102 : 고정 패널
110 : 헤드 모듈 지지대 120 : 헤드 모듈 장착부
130 : 헤드 모듈 고정부 132 : 척
134 : 고정핀 136 : 척 구동부
200 : 메인 패널 210 : 상단 패널
212 : 척 삽입부 214 : 고정핀 삽입공
216 : 제 1 테이퍼면

Claims (8)

  1. 메인 패널과, 상기 메인 패널의 일측의 결합된 상기 액체토출모듈 및 상기 메인 패널에 수평 방향으로 결합된 상단 패널을 포함하는 헤드 모듈; 및
    상기 헤드 모듈이 장착되는 헤드 모듈 장착부가 상단에 형성된 헤드 모듈 지지부를 포함하는 베이스 모듈;을 포함하고,
    상기 헤드 모듈 장착부에는 상기 헤드 모듈의 상기 상단 패널을 고정하는 헤드 모듈 고정부가 구비되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상단 패널의 저면에는 척 삽입부가 형성되고, 상기 헤드 모듈 고정부는 상기 척 삽입부에 삽입되어 수평 방향으로 확장되는 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 척 삽입부는 위쪽으로 폭이 넓어지는 제 1 테이퍼면이 형성되고, 상기 척의 외측에는 상기 제 1 테이퍼면에 대응되는 제 2 테이퍼면이 형성된 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 척 삽입부를 수평 방향으로 구동하는 척 구동부가 상기 헤드 모듈 장착부 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상단 패널의 저면과 상기 헤드 모듈 장착부의 상부면 중 어느 하나에는 고정핀이 형성되고, 다른 하나에는 상기 고정핀이 삽입되는 고정핀 삽입공이 형성되어 상기 헤드 모듈의 상기 베이스 모듈에의 장착을 가이드하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 헤드 모듈 장착부의 상부면에는 상기 상단 패널의 장착을 감지하는 헤드 모듈 장착 감지부가 구비된 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 상단 패널의 저면과 상기 헤드 모듈 장착부의 상부면은 마찰 또는 마모 방지 코팅이나 필름이 구비된 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 모듈은, 상기 헤드 모듈 지지부를 지지하여 회전 구동함으로써 상기 헤드 모듈을 수평 방향으로 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛.
KR1020180059502A 2018-05-25 2018-05-25 모듈형 디스펜싱 헤드유닛 KR102109447B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180059502A KR102109447B1 (ko) 2018-05-25 2018-05-25 모듈형 디스펜싱 헤드유닛
CN201821921795.XU CN209215778U (zh) 2018-05-25 2018-11-21 分配头单元

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180059502A KR102109447B1 (ko) 2018-05-25 2018-05-25 모듈형 디스펜싱 헤드유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190134186A true KR20190134186A (ko) 2019-12-04
KR102109447B1 KR102109447B1 (ko) 2020-05-12

Family

ID=67460610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180059502A KR102109447B1 (ko) 2018-05-25 2018-05-25 모듈형 디스펜싱 헤드유닛

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102109447B1 (ko)
CN (1) CN209215778U (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09108602A (ja) * 1995-10-13 1997-04-28 Mitsutsu Kk 着脱式塗布ヘッド装着体および塗布ヘッドを備えたプリント基板加工装置
KR100654839B1 (ko) * 2005-12-15 2006-12-08 삼성전자주식회사 잉크젯 인쇄장치
KR100786995B1 (ko) * 2005-11-22 2007-12-20 삼성전자주식회사 잉크젯 인쇄장치
KR20120069141A (ko) * 2010-12-20 2012-06-28 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09108602A (ja) * 1995-10-13 1997-04-28 Mitsutsu Kk 着脱式塗布ヘッド装着体および塗布ヘッドを備えたプリント基板加工装置
KR100786995B1 (ko) * 2005-11-22 2007-12-20 삼성전자주식회사 잉크젯 인쇄장치
KR100654839B1 (ko) * 2005-12-15 2006-12-08 삼성전자주식회사 잉크젯 인쇄장치
KR20120069141A (ko) * 2010-12-20 2012-06-28 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서

Also Published As

Publication number Publication date
KR102109447B1 (ko) 2020-05-12
CN209215778U (zh) 2019-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4058969B2 (ja) 製膜装置及びヘッドクリーニング方法及びデバイス製造装置及びデバイス
TWI442461B (zh) 處理液排出裝置
CN1762708B (zh) 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN102717598A (zh) 喷墨喷头涂布控制方法
CN102688830A (zh) 涂布装置和涂布方法
KR20120069141A (ko) 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서
KR100903234B1 (ko) 액적 분사 도포 헤드 모듈, 액적 분사 도포 장치 및도포체의 제조 방법
TWI533937B (zh) 膠黏劑塗佈裝置
KR101107501B1 (ko) 시린지 자동교체시스템 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서
KR20190134185A (ko) 회전형 디스펜싱 헤드유닛 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치
KR20190134186A (ko) 모듈형 디스펜싱 헤드유닛
JP7419680B2 (ja) 液体供給システム
KR100550026B1 (ko) 제막 방법과 제막 장치, 및 디바이스 제조 방법과디바이스 제조 장치
KR101523671B1 (ko) 원료 토출 장치 및 이를 이용한 원료 토출 방법
KR100898570B1 (ko) 개선된 노즐 디스펜서
JP2003270426A (ja) 製膜装置及びヘッドクリーニング方法及びデバイス製造装置及びデバイス
JP2007152164A (ja) 塗布装置および塗布装置における複数のノズルのピッチの調整方法
KR102114030B1 (ko) 페이스트 디스펜서
JP4994094B2 (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
WO2010147159A1 (ja) 液滴塗布状態判定装置および液滴塗布状態判定方法及びそれを用いた液滴塗布装置
JP5096106B2 (ja) 液滴塗布装置
KR100778146B1 (ko) 평판 디스플레이용 디스펜서의 헤드 유닛
KR20170133799A (ko) 액적 토출 장치
KR102323321B1 (ko) 헤드 어셈블리 및 이를 가지는 기판 처리 장치
CN105319781B (zh) 液体供给单元及具有其的基板处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant