KR20190088014A

KR20190088014A - Check valve

Info

Publication number: KR20190088014A
Application number: KR1020190003704A
Authority: KR
Inventors: 사토시 야마나카
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2018-01-17
Filing date: 2019-01-11
Publication date: 2019-07-25
Also published as: CN110043695B; TW201932713A; JP2019124301A; CN110043695A; KR102570705B1

Abstract

The present invention relates to a check valve, which is surely closed when air supply is stopped on an air path to prevent water from flowing into an air driving unit. The check valve is installed in a device (1). The device (1) includes: a supply unit (300) supplying a mixed fluid of the water and air; a mixing unit (32) mixing the air and water; a connection path (31) connecting the mixing unit (32) and the supply unit (300); an air path (41) connecting the mixing unit (32) and an air supply source (40); a water path (37) connecting the mixing unit (32) and a water supply source (38); and an air supply path (46) connecting the air driving unit (47) and a branch unit (42) formed in the air path (41). The check valve prevents the water from flowing from the mixing unit (32) into the air driving unit (47) between the mixing unit (32) and the branch unit (42). The check valve (5) includes: a container (50) erected as a lower end of the container (50) is connected to the mixing unit (32) and an upper end is connected to the air supply source (40); and a buoyant body (51) vertically moving by floating on the water surface flowing from the lower end into the container (50). When the buoyant body (51) is located at the upper end in the container (50), the air path (41) is blocked. When the buoyant body (51) is far from the upper end in the container (50), the check valve (5) can supply air to the mixing unit (32).

Description

역지 밸브{CHECK VALVE}Check valve {CHECK VALVE}

본 발명은, 물의 역류를 방지하기 위한 역지 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a check valve for preventing backflow of water.

반도체 웨이퍼 등을 가공하는 가공 장치는, 장치 내에서 가공에 필요한 물과 에어를 혼합시키는 경우가 있다. 예를 들어, 웨이퍼를 연삭하는 연삭 장치는, 웨이퍼를 흡인 유지하는 척 테이블로부터 웨이퍼를 이탈시킬 때에, 물과 에어를 혼합시킨 혼합 유체를 유지면으로부터 분출시키고 있다. 그 밖에는, 웨이퍼를 세정할 때에, 물과 에어를 혼합시켜 노즐로부터 웨이퍼를 향해 분출시키고 있다.A processing apparatus for processing a semiconductor wafer or the like may mix water and air required for processing in the apparatus. For example, a grinding apparatus for grinding a wafer ejects a mixed fluid obtained by mixing water and air from a holding surface when releasing a wafer from a chuck table for holding a wafer by suction. Otherwise, when the wafer is cleaned, water and air are mixed and ejected from the nozzle toward the wafer.

이와 같이 가공 장치에 있어서는, 에어와 물을 장치 내의 혼합부에서 혼합시키고 있다.Thus, in the processing apparatus, air and water are mixed in the mixing section in the apparatus.

또, 혼합부와 에어 공급원을 연통하는 에어 경로를 장치 내에서 분기부를 개재하여 분기시키고, 그 분기시킨 에어 경로를 에어 공급에 의해 동작하는 에어 실린더나 에어 스핀들 등의 에어 구동부에 접속하고 있다.An air path communicating the mixing portion and the air supply source is branched through a branch portion in the apparatus, and the branched air path is connected to an air driving portion such as an air cylinder or an air spindle operated by air supply.

에어 공급원에 트러블이 발생하여 에어 경로에 대한 에어의 공급이 중단됨으로써, 에어 경로의 공기압이 저하되어 버려, 물 공급원이 공급하는 물이 수압에 의해 에어 경로로 진입하는 경우가 있다. 그리고, 그 물이 에어 구동부까지 도달하여 에어 구동부를 파손시키는 경우가 있다. 이와 같은 파손의 발생을 방지하기 위해, 에어 공급원측으로 물이 흘러 가지 않도록 하기 위하여, 에어 경로를 에어 구동부에 분기시키는 분기부보다 혼합부측 (보다 하류측) 에 스프링식의 역지 밸브를 배치 형성하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).The trouble occurs in the air supply source and the supply of air to the air path is interrupted so that the air pressure in the air path is lowered and the water supplied by the water supply source may enter the air path by the water pressure. Then, the water reaches the air drive portion, which may damage the air drive portion. In order to prevent the occurrence of such breakage, in order to prevent water from flowing to the air supply source side, a spring-type check valve is arranged on the mixing portion side (further downstream side) than the branch portion for branching the air path to the air drive portion (See, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2014-003186호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2014-003186

그러나, 에어 경로에 대한 에어 공급이 중단되었을 때에, 스프링식의 역지 밸브가 적절히 닫혀지지 않는 경우가 있다는 문제가 있다.However, there is a problem in that when the air supply to the air path is interrupted, the spring-type check valve may not be properly closed.

따라서, 에어 경로에 대한 에어 공급이 중단되었을 때에, 역지 밸브가 확실하게 닫혀지도록 하여 에어 구동부로 물이 흘러 가지 않도록 한다는 과제가 있다.Therefore, when the air supply to the air path is interrupted, there is a problem that the check valve is reliably closed so that water does not flow to the air driving portion.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 에어와 물을 혼합시킨 혼합 유체를 공급하는 공급부와, 에어와 물을 혼합하는 혼합부와, 그 혼합부와 그 공급부를 연통하는 연통로와, 그 혼합부와 에어 공급원을 연통하는 에어 경로와, 그 혼합부와 물 공급원을 연통하는 물 경로와, 그 에어 경로에 배치 형성한 분기부와 에어 공급에 의해 구동하는 에어 구동부를 연통하는 에어 공급로를 구비하는 기구에 있어서, 그 혼합부와 그 분기부 사이에 배치되어 그 혼합부로부터 그 에어 구동부로 물이 흘러드는 것을 막는 역지 밸브로서, 하단을 그 혼합부에 연통시키고 상단을 에어 공급원에 연통시켜 세워 형성하는 통과, 하단으로부터 그 통 내로 진입한 물의 수면에 떠서 상하 방향으로 이동하는 부체 (浮體) 를 구비하고, 그 부체가 그 통 내의 상단에 위치하게 되면 그 에어 경로를 차단하고 그 부체가 그 통 내의 상단으로부터 멀어지면 그 혼합부에 에어 공급을 가능하게 하는 역지 밸브이다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, there is provided an air conditioning system comprising: a supply part for supplying a mixed fluid obtained by mixing air and water; a mixing part for mixing air and water; a communication path for connecting the mixing part and the supply part; And an air supply passage for communicating a water passage for communicating the mixing portion and the water supply source and an air drive portion driven by the air supply and a branch portion arranged in the air passage, The check valve is disposed between the mixing portion and the branch portion to prevent water from flowing from the mixing portion to the air driving portion. The check valve communicates with the mixing portion at the lower end and communicates with the air supply source at the upper end. And a floating body that moves up and down on the water surface of the water that has entered into the container from the lower end. When the body is positioned at the upper end of the tub Is a check valve that blocks the air path and allows air to be supplied to the mixing portion when the body is away from the upper end of the cylinder.

상기 통 내 하부에 상기 하단으로부터 그 통 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부를 구비하면 바람직하다.And a shielding portion for suppressing a flow velocity of water entering the cylinder from the lower end is provided in the lower portion of the cylinder.

본 발명에 관련된 역지 밸브는, 에어와 물을 혼합시킨 혼합 유체를 공급하는 공급부와, 에어와 물을 혼합하는 혼합부와, 혼합부와 공급부를 연통하는 연통로와, 혼합부와 에어 공급원을 연통하는 에어 경로와, 혼합부와 물 공급원을 연통하는 물 경로와, 에어 경로에 배치 형성한 분기부와 에어 공급에 의해 구동하는 에어 구동부를 연통하는 에어 공급로를 구비하는 기구에 있어서, 혼합부와 분기부 사이에 배치되어 혼합부로부터 에어 구동부로 물이 흘러드는 것을 막기 위한 것으로서, 하단을 혼합부에 연통시키고 상단을 에어 공급원에 연통시켜 세워 형성하는 통과, 하단으로부터 통 내로 진입한 물의 수면에 떠서 상하 방향으로 이동하는 부체를 구비하고 있기 때문에, 에어 공급원으로부터의 에어 경로 내에 대한 에어의 공급이 트러블 등에 의해 중단되어 버려 에어 경로 내의 에어의 압력이 물 공급원이 공급하는 물의 압력을 하회한 경우에, 통 내로 진입한 물의 수면에 뜬 부체가 에어 경로를 차단하여, 역지 밸브보다 에어 공급원측의 에어 경로로 물이 흐르는 것을 방지하여 에어 구동부에 물을 침입시키지 않도록 할 수 있다. 또, 그 수압이 낮아짐으로써 부체가 통의 상단으로부터 멀어지면, 혼합부에 대한 에어의 공급을 가능하게 한다.A check valve according to the present invention is a check valve comprising a supply portion for supplying a mixed fluid obtained by mixing air and water, a mixing portion for mixing air and water, a communication passage for connecting the mixing portion and the supply portion, A water path communicating a mixing portion and a water supply source; and an air supply passage communicating an air drive portion driven by an air supply to a branch portion arranged in an air path, And is disposed between the branching portions to prevent water from flowing from the mixing portion to the air driving portion. In order to prevent the water from flowing from the mixing portion to the air driving portion, the bottom portion is communicated with the mixing portion and the upper portion is communicated with the air supply source. The supply of air to the air path from the air supply source is performed by a trouble or the like When the pressure of the air in the air path is lower than the pressure of the water supplied by the water supply source, the floating body on the water surface of the water entering the cylinder blocks the air path, So that water can be prevented from entering the air driving unit. Further, when the body is moved away from the upper end of the cylinder by lowering the water pressure, air can be supplied to the mixing portion.

통 내 하부에 하단으로부터 통 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부를 구비함으로써, 역지 밸브를 닫힘 상태로 해야 할 때에, 통 내로 진입하는 물의 흐름이 부체를 하강시키는 힘을 발생시켜 버려 역지 밸브 내에 유로가 형성되어 버린다는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The flow of water entering into the cylinder generates a force for lowering the body when the check valve is to be closed, so that the flow of water into the check valve can be suppressed, It is possible to prevent the occurrence of a situation in which there is a possibility of the occurrence of a problem.

도 1 은, 역지 밸브가 배치 형성되는 기구의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 2(A) 는, 열림 상태로 되어 있는 실시형태 1 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다. 도 2(B) 는, 닫힘 상태로 되어 있는 실시형태 1 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다.
도 3(A) 는, 열림 상태로 되어 있는 실시형태 2 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다. 도 3(B) 는, 닫힘 상태로 되어 있는 실시형태 2 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다.
도 4(A) 는, 실시형태 3 의 역지 밸브의 분해 사시도이다. 도 4(B) 는, 실시형태 3 의 역지 밸브를 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 원터치 조인트가 장착된 상태의 실시형태 3 의 역지 밸브의 사시도이다.
도 6(A) 는, 열림 상태로 되어 있는 실시형태 3 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다. 도 6(B) 는, 닫힘 상태로 되어 있는 실시형태 3 의 역지 밸브를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a mechanism in which a check valve is disposed.
Fig. 2 (A) is a cross-sectional view showing the check valve of Embodiment 1 in an open state. Fig. 2 (B) is a cross-sectional view showing the check valve of Embodiment 1 in a closed state.
Fig. 3 (A) is a cross-sectional view showing the check valve of Embodiment 2 in an open state. Fig. 3 (B) is a cross-sectional view showing the check valve of the second embodiment in the closed state.
4 (A) is an exploded perspective view of a check valve according to a third embodiment. 4 (B) is a perspective view showing the check valve according to the third embodiment.
5 is a perspective view of a check valve according to Embodiment 3 with a one-touch joint mounted thereon.
Fig. 6 (A) is a cross-sectional view showing the check valve of Embodiment 3 in an open state. 6 (B) is a cross-sectional view showing the check valve of the third embodiment in the closed state.

도 1 에 나타내는 기구 (1) 는, 예를 들어, 도시되지 않은 절삭 블레이드로 유지 테이블 (30) 에 흡인 유지된 피가공물을 절삭하여 나누는 절삭 가공 장치, 또는, 도시되지 않은 연삭 지석으로 유지 테이블 (30) 에 흡인 유지된 피가공물을 원하는 두께까지 박화하는 연삭 가공 장치 등에 배치 형성되는 기구로, 본 발명에 관련된 역지 밸브 (5) 를 구비하고 있다.The mechanism 1 shown in Fig. 1 is, for example, a cutting device for cutting and dividing a workpiece held in suction on a holding table 30 by a cutting blade (not shown) or a grinding wheel 30 for reducing the workpiece held by suction to a desired thickness, and is provided with a check valve 5 according to the present invention.

도 1 에 나타내는 유지 테이블 (30) 은, 예를 들어, 그 외형이 원형상이며, 포러스 부재 등으로 이루어지고 반도체 웨이퍼 등의 판상의 피가공물을 흡착 가능함과 함께 에어와 물을 혼합시킨 혼합 유체를 유지 테이블 (30) 상에 공급할 수 있는 공급부 (300) 와, 공급부 (300) 를 지지하는 프레임체 (301) 를 구비한다.The holding table 30 shown in Fig. 1 is, for example, circular in outer shape, made of a porous member or the like, capable of adsorbing a plate-shaped workpiece such as a semiconductor wafer, A supply unit 300 that can supply the oil onto the holding table 30, and a frame body 301 that supports the supply unit 300.

공급부 (300) 의 노출면은, 판상의 피가공물을 흡인 유지 가능한 유지면 (300a) 이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 금속 배관 또는 가요성을 갖는 수지 튜브로 이루어지는 연통로 (31) 의 일단 (31a) 이, 유지 테이블 (30) 의 프레임체 (301) 의 바닥부를 관통하여 공급부 (300) 에 연통되어 있다. 연통로 (31) 의 타단 (31b) 측은, 에어와 물을 혼합하는 혼합부 (32) 에 연통되어 있다.The exposed surface of the supply part 300 is a holding surface 300a on which a plate-shaped workpiece can be sucked and held. One end 31a of a communication path 31 made of a metal pipe or a resin tube having flexibility passes through the bottom of the frame body 301 of the holding table 30, (Not shown). The other end 31b side of the communication path 31 communicates with the mixing portion 32 for mixing air and water.

연통로 (31) 로부터는, 분기로 (33) 가 분기되어 있고, 분기로 (33) 에는, 배큠 펌프나 이젝터 등의 진공 발생 장치로 이루어지는 흡인원 (39) 이 연통되어 있다. 분기로 (33) 상에는, 분기로 (33) 를 흡인원 (39) 에 연통하는 상태와 대기에 개방된 상태로 전환 가능한 배큠 밸브 (330) 가 배치 형성되어 있다.A branch passage 33 is branched from the communication passage 31 and a suction source 39 composed of a vacuum generating device such as a vacuum pump or an ejector is connected to the branch passage 33. On the branch path 33, there is disposed a discharge valve 330 capable of switching the branch path 33 to the suction source 39 and to be open to the atmosphere.

배큠 밸브 (330) 가 열린 상태에서, 흡인원 (39) 이 작동하여 생성된 흡인력이 분기로 (33) 및 연통로 (31) 를 통해 공급부 (300) 의 유지면 (300a) 에 전달됨으로써, 유지 테이블 (30) 은 유지면 (300a) 상에서 피가공물을 흡인 유지할 수 있다.The suction force generated by the operation of the suction source 39 is transmitted to the holding surface 300a of the supply unit 300 through the branch passage 33 and the communication path 31 in the state where the discharge valve 330 is opened, The table 30 can suck and hold the workpiece on the holding surface 300a.

혼합부 (32) 는, 예를 들어, 접속구를 3 개 구비하는 실 (室) 로, 접속구 1 개에는 상기와 같이 연통로 (31) 의 타단 (31b) 이 접속되어 있고, 접속구의 다른 1 개에는, 물이 흐르는 물 경로 (37) 의 일단이 접속되어 있다. 물 경로 (37) 의 타단에는, 펌프 등으로 구성되는 물 공급원 (38) 이 접속되어 있다. 혼합부 (32) 와 물 공급원 (38) 을 연통하는 물 경로 (37) 상에는, 예를 들어, 물 경로 (37) 의 개폐를 제어하는 지수 (止水) 밸브 (371) 가 배치 형성되어 있고, 물 경로 (37) 내의 지수 밸브 (371) 보다 하류측에는, 혼합부 (32) 로 흘러드는 물의 양을 조정하기 위한 스로틀 밸브 (372) 가 접속되어 있다.The mixing section 32 is, for example, a chamber having three connection ports, and one connection port is connected to the other end 31b of the communication path 31 as described above, One end of a water path 37 through which water flows is connected. At the other end of the water path 37, a water supply source 38 composed of a pump or the like is connected. A water stop valve 371 for controlling the opening and closing of the water path 37 is disposed on the water path 37 communicating the mixing part 32 and the water supply source 38, A throttle valve 372 for adjusting the amount of water flowing into the mixing portion 32 is connected to the water path 37 downstream of the exponential valve 371.

혼합부 (32) 의 또 다른 1 개의 접속구에는, 혼합부 (32) 와 에어 공급원 (40) 을 연통하는 에어 경로 (41) 의 일단 (41a) 이 접속되어 있다. 컴프레서 및 에어 저류 탱크 등으로 이루어지고 에어 경로 (41) 의 타단 (41b) 측이 접속된 에어 공급원 (40) 은, 압축된 에어를 에어 경로 (41) 에 유입시킬 수 있다. 에어 경로 (41) 의 상류측 (타단 (41b) 측) 에는, 삼방관 (三方管) 등의 분기부 (42) 가 배치 형성되어 있고, 분기부 (42) 에는, 에어 구동부 (47) 에 일단이 연통되는 에어 공급로 (46) 의 타단이 접속되어 있다. 에어 구동부 (47) 는, 예를 들어, 에어 공급에 의해 동작하는 에어 실린더나 에어 스핀들 (하우징과 회전축의 간극에 형성한 에어층의 압력에 의해 회전축을 비접촉으로 지지하는 스핀들) 등이다.One end 41a of the air path 41 communicating with the mixing portion 32 and the air supply source 40 is connected to another connection port of the mixing portion 32. [ The air supply source 40 that is composed of a compressor, an air reservoir or the like and to which the other end 41b side of the air path 41 is connected can introduce the compressed air into the air path 41. [ A branched section 42 such as a three-way tube is arranged on the upstream side (on the other end 41b side) of the air passage 41. A branched section 42 is provided in the branched section 42, And the other end of the communicating air supply path 46 is connected. The air drive unit 47 is, for example, an air cylinder or an air spindle (a spindle for supporting the rotary shaft in a noncontact manner by the pressure of the air layer formed in the gap between the housing and the rotary shaft)

(1) 역지 밸브의 실시형태 1 (1) Embodiment of check valve 1

에어 경로 (41) 의 분기부 (42) 보다 하류측, 즉, 분기부 (42) 와 혼합부 (32) 사이에는 본 발명에 관련된 역지 밸브 (5) (이하, 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 로 한다) 가 배치 형성되어 있다. 도 2(A) 에 구체적인 구조를 나타내는 역지 밸브 (5) 는, 예를 들어, 금속 또는 플라스틱 등으로 이루어지고 내부에 대략 원기둥상의 공간을 구비하고 세워 형성하는 통 (50) 과, 통 (50) 내에 수용된 부체 (51) 를 구비하고 있고, 혼합부 (32) 로부터 에어 구동부 (47) 로 물이 흘러드는 것을 방지하는 역할을 한다.A check valve 5 according to the present invention (hereinafter referred to as a check valve 5 in the first embodiment) is disposed downstream of the branching section 42 of the air path 41, that is, between the branching section 42 and the mixing section 32 )) Are disposed in a row. The check valve 5 having a specific structure in Fig. 2 (A) includes a cylinder 50 made of metal or plastic, for example, and having a substantially cylindrical space therein, And serves to prevent water from flowing from the mixing portion 32 to the air driving portion 47. [

통 (50) 의 상단 (50a) 은, 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관에 의해 분기부 (42) 를 개재하여 에어 공급원 (40) 에 연통되어 있고, 통 (50) 의 하단 (50b) 은, 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관에 의해 혼합부 (32) 에 연통되어 있다. 예를 들어, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 에어 경로 (41) 에 있어서의 역지 밸브 (5) 와 혼합부 (32) 사이에는, 에어 경로 (41) 를 에어 공급원 (40) 에 연통하는 상태와 대기에 개방된 상태로 전환 가능한 에어 밸브 (44) 가 배치 형성되어 있다. 에어 밸브 (44) 보다 더욱 하류측에는, 혼합부 (32) 로 흘러드는 에어의 유량을 조정하기 위한 스로틀 밸브 (45) 가 배치 형성되어 있다.The upper end 50a of the cylinder 50 communicates with the air supply source 40 via the branched portion 42 by the pipe constituting the air path 41. The lower end 50b of the cylinder 50 , And is communicated with the mixing portion (32) by a pipe constituting the air path (41). 1, a state in which the air passage 41 is communicated with the air supply source 40 and a state in which the air passage 41 is communicated with the air supply source 40 are provided between the check valve 5 and the mixing portion 32 in the air passage 41. [ An air valve 44 capable of switching to an open state is disposed. On the further downstream side of the air valve 44, a throttle valve 45 for regulating the flow rate of the air flowing into the mixing portion 32 is disposed.

또한, 도 2(A), (B), 도 3(A), (B) 및 도 6(A), (B) 에 있어서는, 물 공급원 (38) 으로부터 역지 밸브 (5) 의 하단 (50b) 까지의 사이의 구성의 일부를 생략하여 나타내고 있다.2 (A), 3 (B), and 6 (A) and 6 (B), the lower end 50b of the check valve 5 from the water supply source 38, A part of the configuration between the first embodiment and the second embodiment is omitted.

도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 부체 (51) 는, 예를 들어, 구상의 외형을 구비하고 있고, 물보다 비중이 작은 금속이나 플라스틱 등으로 이루어진다. 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 통 (50) 의 내부는 본 실시형태에 있어서는 원기둥상의 공간으로 되어 있지만, 각기둥상의 공간으로 되어 있어도 된다. 본 실시형태와 같이 통 (50) 의 내부가 원기둥상 공간으로 되어 있는 경우에는, 통 (50) 의 내경 ＞ 부체 (51) 의 직경으로 되어 있다. 통 (50) 의 내부가 각기둥상 공간으로 되어 있는 경우에는, 각기둥의 1 변의 길이 ≥ 부체 (51) 의 직경으로 되어 있다.As shown in Fig. 2 (A), the support body 51 is made of, for example, a metal or plastic having a spherical external shape and a specific gravity smaller than that of water. As shown in Fig. 2 (A), the inside of the cylinder 50 is a cylindrical space in the present embodiment, but it may be a prismatic space. When the inside of the cylinder 50 is a cylindrical space as in the present embodiment, the inside diameter of the cylinder 50> the diameter of the body 51 is. In the case where the inside of the cylinder 50 is a prismatic space, the length of one side of the prism is the diameter of the body 51.

예를 들어, 통 (50) 내부의 상단 (50a) 측에는, 상단 (50a) 을 향함에 따라 내경이 부체 (51) 의 직경 이하로 축경되고 부체 (51) 가 밸브 폐쇄시에 맞닿는 추상 (錐狀) 의 맞닿음면 (50c) 이 형성되어 있다. 통 (50) 내부의 하단 (50b) 측의 대략 중앙의 위치에는, 물 유입구 (50d) 가 개구되어 있다.For example, on the upper end 50a side of the cylinder 50, an inner diameter is reduced to be equal to or smaller than the diameter of the body 51 as it approaches the upper end 50a, and an abutment Is formed on the abutting surface 50c. A water inlet 50d is opened at a substantially central position on the side of the lower end 50b inside the cylinder 50. [

예를 들어, 통 (50) 내의 하부에는, 물 유입구 (50d) 로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (52) 가 배치 형성되어 있다. 도 2(A) 에 나타내는 차폐부 (52) 는, 예를 들어, 통 (50) 내에 있어서 -X 방향측 (지면 (紙面) 안측) 의 내주면으로부터 통 (50) 내 중앙을 기준으로 하는 +X 방향측 (지면 앞측) 의 내주면을 향해, 물 유입구 (50d) 상을 횡단하도록 연장되는 판이다. 차폐부 (52) 의 Y 축 방향에 있어서의 폭은, 통 (50) 의 내경보다 작게 되어 있고, 차폐부 (52) 와 통 (50) 의 내주면 사이에는 간극이 형성되어 있다. 차폐부 (52) 는, 예를 들어, 통 (50) 내에 있어서 부체 (51) 보다 하방에 위치하고 있고, 에어 공급시에 있어서 부체 (51) 가 차폐부 (52) 보다 하방측으로 이동하여 하단 (50b) 의 물 유입구 (50d) 를 막아 에어 경로 (41) 가 닫혀져 버리는 경우가 없도록, 부체 (51) 의 움직임을 규제하는 역할도 하고 있다.For example, a shielding portion 52 for suppressing the flow velocity of water entering the barrel 50 from the water inlet 50d is disposed in the lower portion of the barrel 50. As shown in Fig. The shielding portion 52 shown in Fig. 2 (A) is a shielding portion 52 shown in Fig. 2A, for example, from the inner peripheral surface on the -X direction side (the paper surface side) Toward the inner peripheral surface on the direction side (the front side of the paper) and across the water inlet port 50d. The width of the shielding portion 52 in the Y axis direction is smaller than the inner diameter of the cylinder 50 and a gap is formed between the shielding portion 52 and the inner peripheral surface of the cylinder 50. [ The shielding portion 52 is located below the support body 51 in the cylinder 50 and the support body 51 is moved downward beyond the shielding portion 52 during air supply so that the lower end 50b So as to prevent the air passage 41 from being closed by blocking the water inlet 50d of the water passage 50d.

또한, 판상의 차폐부 (52) 의 형상은, 도 2(A) 에 나타내는 예에 한정되지 않고, 통 (50) 내에 있어서 하단 (50b) 의 물 유입구 (50d) 의 상방을 덮도록 반원상으로 연장되어 있어도 된다.The shape of the plate-shaped shielding portion 52 is not limited to the example shown in Fig. 2 (A), but may be a semi-circular shape so as to cover the water inlet 50d of the lower end 50b in the barrel 50 Or may be extended.

도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 공급되고 있는 상태에 있어서는, 부체 (51) 가 통 (50) 내부의 상단 (50a) 측을 막고 있지 않고 차폐부 (52) 의 상면에 올라탄 상태로 되어 있다. 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 공급된 에어는, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 유입되고, 차폐부 (52) 의 양편의 간극을 지나 하단 (50b) 의 물 유입구 (50d) 로부터 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관으로 흘러 가, 열린 상태의 에어 밸브 (44) (도 1 참조) 를 통과하여 혼합부 (32) 에 도달한다.2 (A), in a state in which air is supplied from the air supply source 40 to the air path 41, the support body 51 closes the upper end 50a side of the cylinder 50 And is in a state of being raised on the upper surface of the shielding portion 52. The air supplied from the air supply source 40 to the air path 41 flows into the cylinder 50 from the upper end 50a side and flows through the gap on both sides of the shield 52 to the water inlet 50d to the piping constituting the air passage 41 and passes through the air valve 44 (see Fig. 1) in the opened state and reaches the mixing portion 32. [

또, 물 공급원 (38) 으로부터 물 경로 (37) 에 물을 공급함으로써, 그 물은 열린 상태의 지수 밸브 (371) 를 통과하여 혼합부 (32) 내에 이르고, 혼합부 (32) 내에서 에어와 물이 혼합된다. 그리고 혼합부 (32) 내의 혼합 유체는 연통로 (31) 를 지나 도 1 에 나타내는 공급부 (300) 에 도달하여, 유지면 (300a) 으로부터 혼합 유체를 분출시킬 수 있다. 또한, 배큠 밸브 (330) 가 닫혀져 있음으로써, 분기로 (33) 를 지나 혼합 유체가 흡인원 (39) 으로 흘러들어 버리는 경우는 없다.The water is supplied from the water supply source 38 to the water path 37 so that the water passes through the open state of the exponent valve 371 to reach the mixing part 32, Water is mixed. The mixed fluid in the mixing portion 32 reaches the supply portion 300 shown in FIG. 1 through the communication path 31 to eject the mixed fluid from the holding surface 300a. In addition, since the discharge valve 330 is closed, the mixed fluid does not flow into the suction source 39 through the branch passage 33.

도 2(A) 에 나타내는 상태에 있어서, 예를 들어, 에어 공급원 (40) 에 트러블이 발생하여 에어 경로 (41) 에 대한 에어의 공급이 중단된 경우, 에어 경로 (41) 내의 공기압이 저하되어 버림으로써, 도 2(B) 에 나타내는 상태와 같이, 물 공급원 (38) 이 공급하는 물이 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 내에 유입되어, 열린 상태의 에어 밸브 (44) (도 1 참조) 를 통과하여, 통 (50) 내에 하단 (50b) 측의 물 유입구 (50d) 로부터 진입해 간다.In the state shown in Fig. 2 (A), for example, when a trouble occurs in the air supply source 40 and supply of air to the air path 41 is interrupted, the air pressure in the air path 41 is lowered The water supplied by the water supply source 38 flows into the air passage 41 from the mixing portion 32 and the air valve 44 in an open state (Fig. 1 And enters the cylinder 50 through the water inlet 50d on the side of the lower end 50b.

여기서 그 물은, 차폐부 (52) 의 하면에 충돌함으로써 통 (50) 내로 진입할 때의 유속이 저하되면서, 통 (50) 내를 상승해 간다. 이것에 수반하여, 부체 (51) 가 통 (50) 내로 진입해 오는 물의 수면에 떠서 수면과 함께 상승해 가, 통 (50) 내의 맞닿음면 (50c) 에 맞닿아 상단 (50a) 에 위치하게 됨으로써 역지 밸브 (5) 는 닫힌 상태가 된다. 따라서, 에어 경로 (41) 가 차단됨으로써, 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 에 유입된 물이 에어 구동부 (47) 로 흘러드는 것을 막을 수 있다.Here, the water rises in the cylinder 50, while colliding with the lower surface of the shielding portion 52, thereby lowering the flow rate when entering the cylinder 50. The main body 51 floats on the water surface of the water that enters the tub 50 and rises with the water surface so that the main body 51 abuts against the abutment surface 50c in the tub 50 to be located at the upper end 50a So that the check valve 5 is closed. Therefore, by blocking the air passage 41, it is possible to prevent the water flowing into the air passage 41 from the mixing portion 32 from flowing to the air driving portion 47.

또, 통 (50) 내 하부에 하단 (50b) 으로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (52) 를 구비함으로써, 통 (50) 내로 진입하는 물이 부체 (51) 를 하강시키는 힘을 발생시켜 버려 유로가 형성되어 버린다는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 차폐부 (52) 를 형성하고 있지 않는 경우에는, 통 (50) 내로 진입한 물이 부체 (51) 에 세차게 직접 부딪힘으로써, 통 (50) 내에 난류가 일어나 부체 (51) 가 통 (50) 내의 수면으로 떠오르지 않고 수중으로 끌려들어가, 불규칙하게 물 내를 움직이면서 또는 물 내에 가라앉은 상태에서 통 (50) 내의 수면이 상승해 버리는 경우가 있다. 이 경우에는, 부체 (51) 가 맞닿음면 (50c) 에 맞닿기 전에 수면이 상단 (50a) 에 도달해 버려, 에어 경로 (41) 가 역지 밸브 (5) 로 닫혀져 있지 않은 상태가 발생할 수 있다. 그러나, 본 실시형태와 같이, 역지 밸브 (5) 는 차폐부 (52) 를 구비함으로써, 통 (50) 내로 진입하는 물의 흐름이 부체 (51) 에 세차게 직접 부딪치는 경우가 없어지므로, 부체 (51) 는 통 (50) 내의 수면에 떠서 불규칙한 움직임을 하지 않고 상승해 가기 때문에, 역지 밸브 (5) 가 확실하게 닫혀진 상태가 된다.By providing the shield 52 in the lower portion of the cylinder 50 for suppressing the flow rate of water entering the cylinder 50 from the lower end 50b, water entering the cylinder 50 can be lowered It is possible to prevent the occurrence of a situation in which a flow is generated due to the generation of a force for causing the fluid to flow. That is, when the shielding portion 52 is not formed, the water that has entered the tub 50 hits the tubular body 51 so that the tubular body 51 is floated in the tub 50, The water surface in the tub 50 may rise in a state in which water is drawn into the water irregularly while moving in the water or sink into the water. In this case, the water surface reaches the upper end 50a and the air path 41 is not closed by the check valve 5 before the supporting body 51 comes into contact with the abutment surface 50c . However, since the check valve 5 is provided with the shielding portion 52 as in the present embodiment, the flow of the water entering the barrel 50 does not collide directly with the support body 51, Is raised on the water surface in the cylinder 50 without any irregular movement, so that the check valve 5 is reliably closed.

또한, 물 공급원 (38) 으로부터 공급시키는 물의 양에 따라서는, 역지 밸브 (5) 는 차폐부 (52) 를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다.Depending on the amount of water supplied from the water supply source 38, the check valve 5 may be configured not to include the shielding portion 52. [

예를 들어, 작업자에 의해 에어 공급원 (40) 의 트러블이 해결됨으로써, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 다시 공급되면, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 에어가 유입되어, 통 (50) 내의 공기압이 높아지고, 상대적으로 통 (50) 내의 수압이 낮아짐으로써, 통 (50) 내의 수면이 하강해 가 부체 (51) 는 통 (50) 의 상단 (50a) 의 맞닿음면 (50c) 으로부터 멀어진다. 이와 같이 역지 밸브 (5) 가 열린 상태가 됨으로써, 에어 경로 (41) 를 통과한 에어가 앞서 설명한 것과 마찬가지로 혼합부 (32) 에 공급되게 된다.When the air is supplied again to the air path 41 from the air supply source 40 due to the problem of the air supply source 40 being solved by the operator, The air pressure in the cylinder 50 is increased and the water pressure in the cylinder 50 is relatively lowered so that the water surface in the cylinder 50 is lowered and the body 51 is brought into contact with the upper end 50a of the cylinder 50 Away from surface 50c. As the check valve 5 is thus opened, the air that has passed through the air path 41 is supplied to the mixing portion 32 as described above.

(2) 역지 밸브의 실시형태 2 (2) Embodiment 2 of the check valve

에어 경로 (41) 의 분기부 (42) 보다 하류측에는, 도 2(A), (B) 에 나타내는 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 대신에, 이하에 설명하는 도 3(A), (B) 에 나타내는 실시형태 2 의 역지 밸브 (5A) 가 배치 형성되어 있어도 된다.3A and 3B described below in place of the check valve 5 of the first embodiment shown in Figs. 2A and 2B on the downstream side of the branching section 42 of the air path 41, The check valve 5A of the second embodiment shown in Fig.

실시형태 2 의 역지 밸브 (5A) 는, 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 의 차폐부 (52) 및 물 유입구 (50d) 를 변경한 것이고, 그 밖의 구성은 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 와 동일하게 되어 있다.The check valve 5A of the second embodiment is obtained by modifying the shield 52 and the water inlet 50d of the check valve 5 of the first embodiment and the rest of the configuration is the check valve 5 of the first embodiment. .

역지 밸브 (5A) 의 하단 (50b) 측에 있어서, 물 공급원 (38) 으로부터의 물이 유입되는 물 유입구 (50e) 는, 통 (50) 의 측벽 내부를 상방을 향해 연장된 후 직경 방향 내측으로 구부러져, 통 (50) 의 내주면 하부에 있어서 개구되어 있다. 그리고, 물 유입구 (50e) 의 상기 구부러진 부분이, 하단 (50b) 으로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (54) 로서 작용하고, 물은 통 (50) 내에 횡측으로부터 진입해 간다.The water inlet port 50e through which the water flows from the water supply source 38 on the lower end 50b side of the check valve 5A is formed so as to extend upward in the side wall of the cylinder 50 and then radially inward And is opened at the lower portion of the inner circumferential surface of the cylinder 50. The bent portion of the water inlet port 50e functions as a shielding portion 54 for suppressing the flow rate of water entering the barrel 50 from the lower end 50b and the water enters from the lateral side into the barrel 50 Goes.

물 유입구 (50e) 의 통 (50) 의 내주면 하부에 있어서의 개구와 하단 (50b) 에 위치하고 있는 부체 (51) 사이에는, 혼합부 (32) 를 향하는 에어가 빠져나갈 수 있는 간극이 항상 형성되어 있다. 또한, 예를 들어, 물 유입구 (50e) 의 통 (50) 의 내주면 하부에 있어서의 개구 주위에, 도시되지 않은 돌기를 복수 간격을 두고 배치 형성하여, 그 돌기에 의해 부체 (51) 가 물 유입구 (50e) 의 통 (50) 의 내주면 하부에 있어서의 개구를 막아 버리는 경우가 없도록 해도 된다.A gap is always formed between the opening at the lower portion of the inner circumferential surface of the cylinder 50 of the water inlet 50e and the body 51 located at the lower end 50b so that the air can escape toward the mixing portion 32 have. It is also possible to arrange projections (not shown) at a plurality of intervals around the opening of the water inlet 50e at the lower portion of the inner circumferential surface of the cylinder 50, The opening in the lower portion of the inner circumferential surface of the cylinder 50 of the cylinder 50e may not be closed.

도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 공급되고 있는 상태에 있어서는, 부체 (51) 가 통 (50) 내의 하단 (50b) 에 위치하고 역지 밸브 (5A) 는 열림 상태로 되어 있다. 따라서, 에어는, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 유입되고, 하단 (50b) 측의 물 유입구 (50e) 로부터 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관으로 흘러 가, 열림 상태의 에어 밸브 (44) (도 1 참조) 를 통과하여 혼합부 (32) 에 도달한다. 또, 물 공급원 (38) 으로부터 열린 상태의 물 경로 (37) 를 통해 혼합부 (32) 내에 물이 공급되어 에어와 물이 혼합된다. 그리고, 혼합 유체는 연통로 (31) 를 지나 공급부 (300) 의 유지면 (300a) 으로부터 분출된다.3 (A), in the state where air is supplied from the air supply source 40 to the air path 41, the supporting body 51 is positioned at the lower end 50b of the cylinder 50 and the check valve 5A are open. The air flows from the upper end 50a side into the cylinder 50 and flows from the water inlet port 50e on the lower end 50b side to the pipe constituting the air path 41 to thereby open the air valve 44) (see Fig. 1) and reaches the mixing portion 32. [ Water is supplied from the water supply source 38 into the mixing portion 32 through the open water path 37 to mix the air and water. Then, the mixed fluid is ejected from the holding surface 300a of the supplying part 300 through the communication path 31. [

도 3(A) 에 나타내는 상태에 있어서, 예를 들어, 에어 공급원 (40) 의 트러블에 의해 에어 경로 (41) 에 대한 에어 공급이 중단되어 에어 경로 (41) 내의 공기압이 저하된 경우, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 물 공급원 (38) 이 공급하는 물이 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 내에 유입되고, 통 (50) 내에 하단 (50b) 측의 물 유입구 (50e) 로부터 진입해 간다. 그 물은, 물 유입구 (50e) 내의 차폐부 (54) 에 충돌함으로써 통 (50) 내로 진입할 때의 유속이 저하된다. 그리고, 부체 (51) 가 통 (50) 내에 횡측으로부터 진입해 오는 물의 수면에 떠서 수면 과 함께 상승해 가, 통 (50) 내의 맞닿음면 (50c) 에 맞닿아 상단 (50a) 에 위치하게 됨으로써 역지 밸브 (5A) 는 닫혀 에어 경로 (41) 가 차단되어, 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 에 유입된 물이 에어 구동부 (47) 로 흘러드는 것을 방지할 수 있다.3 (A), when the air supply to the air path 41 is stopped by the trouble of the air supply source 40 and the air pressure in the air path 41 is lowered, The water supplied from the water supply source 38 flows into the air path 41 from the mixing portion 32 and flows from the water inlet 50e on the side of the lower end 50b into the cylinder 50 as shown in Fig. We go in. The water collides with the shielding portion 54 in the water inlet port 50e and the flow rate when entering the barrel 50 is lowered. The body 51 floats on the water surface of the water entering from the lateral side into the cylinder 50 and rises together with the water surface so as to abut on the abutment surface 50c in the cylinder 50 to be located at the upper end 50a The check valve 5A is closed and the air path 41 is shut off so that the water flowing into the air path 41 from the mixing part 32 can be prevented from flowing to the air driving part 47. [

또, 통 (50) 내 하부에 하단 (50b) 으로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (54) 를 구비함으로써, 통 (50) 내로 진입하는 물의 흐름이 부체 (51) 를 하강시키는 힘을 발생시켜 버려 유로가 형성되어 버린다는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The lower portion of the cylinder 50 is provided with the shielding portion 54 for suppressing the flow rate of the water entering the cylinder 50 from the lower end 50b so that the flow of water entering the cylinder 50 It is possible to prevent the occurrence of a situation in which a downward force is generated to form a flow path.

예를 들어, 작업자에 의해 에어 공급원 (40) 의 트러블이 해소되어, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 다시 공급되면, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 에어가 유입되어 통 (50) 내의 수압이 낮아짐으로써, 통 (50) 내의 수면이 하강하여 부체 (51) 는 통 (50) 의 맞닿음면 (50c) 으로부터 멀어진다. 역지 밸브 (5A) 가 열림 상태가 됨으로써, 에어 경로 (41) 를 통과한 에어가 혼합부 (32) 에 공급된다.For example, when the trouble of the air supply source 40 is solved by the operator and air is supplied again to the air path 41 from the air supply source 40, air flows in from the upper end 50a side into the cylinder 50 The water pressure in the cylinder 50 is lowered so that the water surface in the cylinder 50 is lowered and the body 51 is away from the abutment surface 50c of the cylinder 50. [ When the check valve 5A is in an open state, air having passed through the air passage 41 is supplied to the mixing section 32.

(3) 역지 밸브의 실시형태 3 (3) Embodiment 3 of the check valve

에어 경로 (41) 의 분기부 (42) 보다 하류측에는, 도 2(A), (B) 에 나타내는 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 대신에, 이하에 설명하는 도 4(A), (B) 에 나타내는 실시형태 3 의 역지 밸브 (5B) 가 배치 형성되어 있어도 된다.4A and 4B described below in place of the check valve 5 of the first embodiment shown in Figs. 2A and 2B on the downstream side of the branching section 42 of the air path 41, The check valve 5B of Embodiment 3 shown in Fig.

도 4(A), (B) 에 나타내는 역지 밸브 (5B) 는, 실시형태 1 의 역지 밸브 (5) 와 마찬가지로, 내부에 원기둥상의 공간을 구비하는 세워 형성하는 통 (50) 과, 통 (50) 내에 수용된 부체 (51) 를 구비하고 있다. 또, 통 (50) 의 상단 (50a) 측의 개구에는 짧은 통상의 외형을 구비하는 제 2 슬리브 (56) 가 장착되고, 하단 (50b) 측의 개구에는 대략 원기둥상의 외형을 구비하는 제 1 슬리브 (55) 가 장착된다.Like the check valve 5 of the first embodiment, the check valve 5B shown in Figs. 4 (A) and 4 (B) includes a vertically extending cylinder 50 having a cylindrical space therein, (Not shown). A second sleeve 56 having a short general outer shape is mounted on the opening at the upper end 50a side of the cylinder 50. An opening at the lower end 50b side is provided with a first sleeve (55) is mounted.

부체 (51) 의 직경 미만의 유로 (560) 가 형성된 제 2 슬리브 (56) 는, 그 상단측에 직경 방향 외측으로 연장되는 플랜지상의 걸림부 (561) 를 구비하고 있다. 예를 들어, 유로 (560) 의 하단측에는, 역지 밸브 (5B) 의 밸브 폐쇄시에 부체 (51) 가 맞닿는 추상의 맞닿음면 (560c) 이 형성되어 있다. 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 슬리브 (56) 는, 예를 들어, 통 (50) 의 상단 (50a) 측의 개구에 끼워 맞춰지고, 걸림부 (561) 가 통 (50) 의 상단면에 맞닿아 상하 방향으로 어긋나는 경우가 없도록 하여 통 (50) 에 장착된다.The second sleeve 56 in which the oil passage 560 having a diameter smaller than the diameter of the body 51 is formed has a flange-shaped engaging portion 561 extending radially outwardly from the upper end thereof. For example, on the lower end side of the flow path 560, an abutment surface 560c abutting against the body 51 at the valve closing time of the check valve 5B is formed. The second sleeve 56 is fitted to the opening on the side of the upper end 50a of the cylinder 50 and the engaging portion 561 is engaged with the opening of the cylinder 50 as shown in Fig. And is mounted on the cylinder 50 so as not to be displaced in the vertical direction.

제 1 슬리브 (55) 는, 통 (50) 의 내경보다 약간 작은 외경을 구비하고 통 (50) 에 끼워 맞추는 끼워맞춤부 (550) 와, 끼워맞춤부 (550) 보다 소직경으로 형성되고 끼워맞춤부 (550) 로부터 상방으로 돌출되어 하단 (50b) 으로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (551) 와, 끼워맞춤부 (550) 의 하단 측에 있어서 직경 방향 외측으로 연장되는 플랜지상의 걸림부 (552) 를 구비하고 있다. 끼워맞춤부 (550) 의 하단측으로부터 차폐부 (551) 에 걸쳐서는 유로 (553) 가 형성되어 있고, 그 유로 (553) 의 상단측은, 예를 들어, 차폐부 (551) 내에 있어서 둘레 방향으로 등간격을 두고 분기되고 각각 직경 방향 외측으로 연장되어 차폐부 (551) 의 외주면에 개구되어 있다.The first sleeve 55 includes a fitting portion 550 having an outer diameter slightly smaller than the inner diameter of the cylinder 50 and adapted to fit into the cylinder 50 and a fitting portion 550 having a smaller diameter than the fitting portion 550, A shielding portion 551 which protrudes upward from the lower portion 50b of the fitting portion 550 and suppresses the flow velocity of water entering into the tub 50 from the lower end 50b, And a locking portion 552 on the flange. A flow path 553 is formed from the lower end side of the fitting portion 550 to the shielding portion 551. The upper end side of the flow path 553 is formed in the shielding portion 551 in the circumferential direction And are each opened at the outer peripheral surface of the shielding portion 551 by extending in the radially outward direction.

도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 슬리브 (55) 는, 통 (50) 의 하단 (50b) 측의 개구에 삽입되고, 걸림부 (552) 가 통 (50) 의 하단면에 맞닿아 상하 방향으로 어긋나는 경우가 없도록 하여 통 (50) 에 장착된다. 그리고, 부체 (51) 는 차폐부 (551) 의 상면에 올라탄 상태가 되어, 통 (50) 의 내주면과 차폐부 (551) 의 외주면 사이에는 간극이 형성된다.The first sleeve 55 is inserted into the opening at the lower end 50b side of the barrel 50 and the engaging portion 552 abuts against the lower end face of the barrel 50 as shown in Fig. And is mounted on the cylinder 50 so as not to deviate in the vertical direction. The body 51 is placed on the upper surface of the shield 551 and a gap is formed between the inner surface of the tube 50 and the outer surface of the shield 551. [

도 4(B) 에 나타내는 바와 같이 조립된 역지 밸브 (5B) 의 상단측 및 하단 측에는, 추가로, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 원터치로 장착 가능한 원터치 조인트 (58A, B) 가 각각 장착되고, 원터치 조인트 (58A, B) 를 개재하여 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관에 접속된다. 이와 같이 구성된 역지 밸브 (5B) 는, 예를 들어, 공구가 불필요하거나 또는 간단한 공구를 사용하는 것만으로 조립이나 분해가 가능하고, 사용 후에 있어서의 통 (50) 내의 손질 등을 용이하게 실시할 수 있다.As shown in Fig. 5, one-touch joints 58A and 58B which can be mounted by one-touch are mounted on the upper end side and the lower end side of the check valve 5B assembled as shown in Fig. 4 (B) And is connected to a pipe constituting the air passage 41 via joints 58A and 58B. The check valve 5B thus constructed can be assembled or disassembled only by using a tool without a tool or by using a simple tool and can easily perform maintenance in the cylinder 50 after use have.

도 6(A) 에 나타내는 바와 같이, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 공급되고 있는 상태에 있어서는, 부체 (51) 가 통 (50) 내의 하단 (50b) 에 위치하여 실시형태 3 의 역지 밸브 (5B) 는 열림 상태로 되어 있다. 따라서, 에어는, 원터치 조인트 (58A) 및 제 2 슬리브 (56) 의 유로 (560) 를 지나, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 유입되고, 또한, 제 1 슬리브 (55) 의 유로 (553) 및 원터치 조인트 (58B) 를 통과하여 에어 경로 (41) 를 구성하는 배관으로 흘러 가 혼합부 (32) 에 도달한다. 또, 물 공급원 (38) 으로부터 물 경로 (37) 를 통해 혼합부 (32) 내에 물이 공급되어 에어와 물이 혼합된다. 그리고, 혼합 유체는 연통로 (31) 를 지나 공급부 (300) 의 유지면 (300a) (도 1 참조) 으로부터 분출된다.6A, when the air 51 is supplied to the air path 41 from the air supply source 40, the support 51 is positioned at the lower end 50b of the cylinder 50, The check valve 5B of the third embodiment is in an open state. The air flows from the upper end 50a side into the cylinder 50 through the oil passage 560 of the one-touch joint 58A and the second sleeve 56 and flows into the oil passage 560 of the first sleeve 55 553 and the one-touch joint 58B to flow into the piping constituting the air path 41 and reach the mixing portion 32. [ In addition, water is supplied from the water supply source 38 into the mixing portion 32 through the water path 37 to mix the air and water. Then, the mixed fluid is ejected from the holding surface 300a (see Fig. 1) of the supplying section 300 through the communication path 31. [

도 6(A) 에 나타내는 상태에 있어서, 예를 들어, 에어 공급원 (40) 의 트러블에 의해 에어 경로 (41) 에 대한 에어 공급이 중단되어 에어 경로 (41) 내의 공기압이 저하된 경우, 도 6(B) 에 나타내는 바와 같이, 물 공급원 (38) 이 공급하는 물이 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 내에 유입된다. 그 물은, 제 1 슬리브 (55) 의 차폐부 (551) 내를 통과함으로써, 유속이 억제되고 나서 통 (50) 내에 하단 (50b) 측으로부터 진입해 간다. 그리고, 부체 (51) 에 직접 물의 흐름이 충돌하지 않고, 부체 (51) 가 통 (50) 내로 진입해 오는 물의 수면에 떠서 수면과 함께 상승해 가, 제 2 슬리브 (56) 의 맞닿음면 (560c) 에 맞닿아 통 (50) 의 상단 (50a) 에 위치하게 됨으로써 역지 밸브 (5B) 는 닫혀 에어 경로 (41) 가 차단되어, 혼합부 (32) 로부터 에어 경로 (41) 에 유입된 물이 에어 구동부 (47) 로 흘러드는 것을 방지할 수 있다.6 (A), when the air supply to the air path 41 is stopped by the trouble of the air supply source 40 and the air pressure in the air path 41 is lowered, The water supplied by the water supply source 38 flows into the air path 41 from the mixing portion 32 as shown in Fig. The water passes through the shielding portion 551 of the first sleeve 55 and flows into the cylinder 50 from the lower end 50b side after the flow velocity is suppressed. The flow of water does not directly collide with the body 51 and the body 51 floats on the water surface of the water entering into the cylinder 50 and rises along with the water surface to come into contact with the abutting surface of the second sleeve 56 The check valve 5B is closed and the air path 41 is shut off so that the water introduced into the air path 41 from the mixing part 32 It is possible to prevent the air from flowing to the air driver 47.

또, 통 (50) 내 하부에 하단 (50b) 으로부터 통 (50) 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부 (551) 를 구비함으로써, 통 (50) 내로 진입하는 물의 흐름이 부체 (51) 를 하강시키는 힘을 발생시켜 버려 유로가 형성되어 버린다는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The lower portion of the cylinder 50 is provided with the shielding portion 551 for suppressing the flow velocity of the water entering the cylinder 50 from the lower end 50b so that the flow of water entering the cylinder 50 is reduced It is possible to prevent the occurrence of a situation in which a downward force is generated to form a flow path.

작업자에 의해 에어 공급원 (40) 의 트러블이 해소되어, 에어 공급원 (40) 으로부터 에어 경로 (41) 에 에어가 다시 공급되면, 통 (50) 내에 상단 (50a) 측으로부터 에어가 유입되어 통 (50) 내의 수압이 낮아짐으로써, 통 (50) 내의 수면이 하강하여 부체 (51) 는 맞닿음면 (560c) 으로부터 멀어진다. 역지 밸브 (5B) 가 열림 상태가 됨으로써, 에어 경로 (41) 를 통과한 에어가 혼합부 (32) 에 공급된다.Air is supplied from the air supply source 40 to the air path 41 again and the air is introduced into the cylinder 50 from the upper end 50a side, , The water surface in the tub 50 is lowered and the body 51 is away from the abutment surface 560c. When the check valve 5B is opened, the air that has passed through the air path 41 is supplied to the mixing portion 32.

1： 기구
30： 유지 테이블
300： 공급부
300a： 유지면
301： 프레임체
31： 연통로
32： 혼합부
33： 분기로
330： 배큠 밸브
39： 흡인원
38： 물 공급원
37： 물 경로
371： 지수 밸브
372： 스로틀 밸브
40： 에어 공급원
41： 에어 경로
42： 분기부
44： 에어 밸브
45： 스로틀 밸브
46： 에어 공급로
47： 에어 구동부
5： 실시형태 1 의 역지 밸브
50： 통
50c： 맞닿음면
50d： 물 유입구
51： 부체
52： 차폐부
5A： 실시형태 2 의 역지 밸브
50e： 물 유입구
54： 차폐부
5B： 실시형태 3 의 역지 밸브
55： 제 1 슬리브
551： 차폐부
56： 제 2 슬리브
58A, B： 원터치 조인트1: Mechanism
30: maintenance table
300:
300a:
301: frame body
31:
32:
33: branching
330: Discharge valve
39: suction source
38: Water source
37: Water path
371: Expansion valve
372: Throttle valve
40: Air supply source
41: Air path
42:
44: Air valve
45: Throttle valve
46: Air supply line
47:
5: The check valve of Embodiment 1
50: Tong
50c: abutment surface
50d: water inlet
51: Deputy
52:
5A: The check valve of the second embodiment
50e: Water inlet
54: shield
5B: The check valve of the third embodiment
55: first sleeve
551:
56: second sleeve
58A, B: One-touch joint

Claims

에어와 물을 혼합시킨 혼합 유체를 공급하는 공급부와, 에어와 물을 혼합하는 혼합부와, 그 혼합부와 그 공급부를 연통하는 연통로와, 그 혼합부와 에어 공급원을 연통하는 에어 경로와, 그 혼합부와 물 공급원을 연통하는 물 경로와, 그 에어 경로에 배치 형성한 분기부와 에어 공급에 의해 구동하는 에어 구동부를 연통하는 에어 공급로를 구비하는 기구에 있어서, 그 혼합부와 그 분기부 사이에 배치되어 그 혼합부로부터 그 에어 구동부로 물이 흘러드는 것을 막는 역지 밸브로서,
하단을 그 혼합부에 연통시키고 상단을 에어 공급원에 연통시켜 세워 형성하는 통과, 하단으로부터 그 통 내로 진입한 물의 수면에 떠서 상하 방향으로 이동하는 부체를 구비하고, 그 부체가 그 통 내의 상단에 위치하게 되면 그 에어 경로를 차단하고 그 부체가 그 통 내의 상단으로부터 멀어지면 그 혼합부에 에어 공급을 가능하게 하는, 역지 밸브.A mixing section for mixing the air and the water; a communication passage for connecting the mixing section and the supply section; an air path for communicating the mixing section and the air supply source; A water path communicating the mixing portion and a water supply source, and an air supply passage communicating an air drive portion driven by air supply to a branch portion arranged in the air path, A check valve disposed between the bases to prevent water from flowing from the mixing portion to the air drive portion,
A lower end connected to the mixing portion, an upper end communicating with an air supply source, and a lower body, which floats on the water surface of the water entering the cylinder from the lower end and moves in the vertical direction, To block the air path and to allow air to be supplied to the mixing portion when the body is moved away from the upper end of the cylinder.

제 1 항에 있어서,
상기 통 내 하부에 상기 하단으로부터 그 통 내로 진입하는 물의 유속을 억제하는 차폐부를 구비하는, 역지 밸브.The method according to claim 1,
And a shielding portion for suppressing a flow velocity of water entering said tube from said lower end to said tube inner lower portion.