JP7068036B2 - Gas-liquid separation mechanism - Google Patents

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Description

本発明は、加工装置に接続される気液分離機構に関する。 The present invention relates to a gas-liquid separation mechanism connected to a processing apparatus.

切削装置、研削装置等の各種加工装置では、加工時に、被加工物の冷却等のために、加工水が用いられる。そして、その加工水が、加工により生じた屑とともに飛散し、被加工物に付着すると、デバイスの品質を低下させるため、屑を含んだ加工水を外部に排出する必要がある。そこで、屑を含んだ加工水を強制的に排気する機構が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 In various processing devices such as cutting devices and grinding devices, processing water is used for cooling the workpiece during processing. Then, when the processing water scatters together with the debris generated by the processing and adheres to the workpiece, the quality of the device is deteriorated, so that it is necessary to discharge the processing water containing the debris to the outside. Therefore, a mechanism for forcibly exhausting the processing water containing waste has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

また、特許文献1に記載された機構のように、加工装置から排出されるミストを含んだ加工排液の気体と液体とを同時に吸引しようとすると、吸引状態が安定せず、充分に吸引ができなくなってしまうという問題もある。そこで、配管途中にタンクを設け、加工排液の気体と液体とを分離して排出する装置も提案されている(例えば、特許文献2参照)。 Further, as in the mechanism described in Patent Document 1, when the gas and the liquid of the processing waste liquid containing the mist discharged from the processing apparatus are to be sucked at the same time, the suction state is not stable and the suction is sufficiently performed. There is also the problem that it will not be possible. Therefore, a device has been proposed in which a tank is provided in the middle of the pipe to separate and discharge the gas and the liquid of the processing waste liquid (see, for example, Patent Document 2).

特開2009-119569号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-119569 特開2011-104726号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-104726

しかし、配管の途中にタンクを設けると、その分スペースが取られ、設備が大型化してしまうという問題がある。 However, if a tank is provided in the middle of the piping, space is taken up by that amount, and there is a problem that the equipment becomes large.

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、設備設置面積を抑えるとともに安定した吸引によって気体と液体とを分離して排出可能にすることを目的とする。 The present invention has been considered to have such a problem, and an object of the present invention is to reduce the installation area of equipment and to separate gas and liquid from each other by stable suction so that they can be discharged.

本発明は、加工装置に接続される気液分離機構であって、吸引源と、該吸引源によって吸引された気体と液体とを含む加工排液を排出する排出路の終端に立設され、下端から加工排液が流入するとともに上端が閉塞され、外周に複数の穴が形成された内筒と、内筒を収容するとともに該穴から流出した液体と気体とを受ける筐体と、を備え、該筐体の鉛直方向上部には気体排出口が形成されるとともに下部に液体排出口が形成され、該内筒の上端が天井板によって閉塞され、該天井板は、該内筒より大径に形成され該内筒よりも外周側に突出するつば部を備え、上昇する該加工廃液を構成する水が該つば部に当たって下降するThe present invention is a gas-liquid separation mechanism connected to a processing apparatus, which is installed at the end of a suction source and a discharge path for discharging a processed waste liquid containing a gas and a liquid sucked by the suction source. It is provided with an inner cylinder in which a processing drainage flows in from the lower end and the upper end is closed to form a plurality of holes on the outer periphery, and a housing for accommodating the inner cylinder and receiving the liquid and gas flowing out from the holes. A gas discharge port is formed in the upper part of the housing in the vertical direction and a liquid discharge port is formed in the lower part, the upper end of the inner cylinder is closed by a ceiling plate, and the ceiling plate has a larger diameter than the inner cylinder. It is provided with a brim portion that is formed on the inner cylinder and projects to the outer peripheral side of the inner cylinder, and the rising water constituting the processing waste liquid hits the brim portion and descends .

本発明の気液分離機構は、排出路の終端に配置された内筒と筐体とを備え、内筒に流入した気体と液体とを含む排液は、内筒の外周に形成された複数の穴を通じて筐体中にあふれ出る。そして、この時に気体と液体との分離がなされ、筐体の気体排出口と液体排出口とからそれぞれ排出される。したがって、タンクを配置する必要がないので、設備設置面積を抑えるとともに安定した吸引が可能となる。 The gas-liquid separation mechanism of the present invention includes an inner cylinder and a housing arranged at the end of the discharge passage, and a plurality of drainage liquids including gas and liquid flowing into the inner cylinder are formed on the outer periphery of the inner cylinder. It overflows into the housing through the hole. Then, at this time, the gas and the liquid are separated, and the gas and the liquid are discharged from the gas discharge port and the liquid discharge port of the housing, respectively. Therefore, since it is not necessary to arrange a tank, the equipment installation area can be suppressed and stable suction can be performed.

気液分離機構が接続される加工装置の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the processing apparatus to which the gas-liquid separation mechanism is connected. 気液分離機構の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the gas-liquid separation mechanism. 気液分離機構の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the gas-liquid separation mechanism. 気液分離機構を構成する吸引源の例を示す正面図である。It is a front view which shows the example of the suction source which constitutes the gas-liquid separation mechanism.

図1に示す切削装置1は、保持手段2に保持された被加工物に対して切削手段3によって切削加工を施す加工装置である。 The cutting device 1 shown in FIG. 1 is a processing device that cuts a workpiece held by the holding means 2 by the cutting means 3.

保持手段2は、多孔質部材からなる保持部材21を備え、保持部材21は、図示しない吸引源に連通している。保持部材21の表面は、被加工物が保持される保持面211となっている。保持手段2は、X軸方向に移動可能であり、その移動経路の前方(-Y方向側)には、被加工物を収容するカセット22が載置されている。一方、保持手段2の移動経路の後方(+Y方向側)には、切削後の被加工物を洗浄する洗浄手段8が配設されている。洗浄手段8は、被加工物を保持して回転するスピンナーテーブル81と、回転する被加工物に対して洗浄水を噴出する図示しないノズルとを備えている。 The holding means 2 includes a holding member 21 made of a porous member, and the holding member 21 communicates with a suction source (not shown). The surface of the holding member 21 is a holding surface 211 on which the workpiece is held. The holding means 2 is movable in the X-axis direction, and a cassette 22 for accommodating a workpiece is placed in front of the moving path (on the −Y direction side). On the other hand, behind the moving path of the holding means 2 (on the + Y direction side), a cleaning means 8 for cleaning the workpiece after cutting is arranged. The cleaning means 8 includes a spinner table 81 that holds the workpiece and rotates, and a nozzle (not shown) that ejects cleaning water onto the rotating workpiece.

切削手段3は、Y軸方向の軸心を有するスピンドルの先端に切削ブレード31が装着され、その切削ブレード31がブレードカバー32によって覆われて構成されている。ブレードカバー32には、切削水流入口33、34及び切削水を吐出するノズル35が形成されている。 The cutting means 3 is configured such that a cutting blade 31 is attached to the tip of a spindle having an axial center in the Y-axis direction, and the cutting blade 31 is covered with a blade cover 32. The blade cover 32 is formed with cutting water inlets 33 and 34 and a nozzle 35 for discharging cutting water.

切削手段3は、切り込み送り手段4によって駆動されてZ軸方向に移動可能であるとともに、割り出し送り手段5によって駆動されてY軸方向に移動可能である。切り込み送り手段4は、Z軸方向に延在するボールネジ41と、ボールネジ41と平行に配設された一対のガイドレール42と、ボールネジ41の一端に連結されボールネジ41を正逆両方向に回転させるモータ43と、ボールネジ41に螺合するナットを内部に備え側部がガイドレール42に摺接する昇降板44とから構成されている。モータ43がボールネジ41を回転させると、昇降板44がガイドレール42にガイドされてZ軸方向に昇降し、これに伴い昇降板44に固定された切削手段3がZ軸方向に昇降する。 The cutting means 3 is driven by the cutting feed means 4 and can move in the Z-axis direction, and is driven by the index feed means 5 and can move in the Y-axis direction. The notch feeding means 4 includes a ball screw 41 extending in the Z-axis direction, a pair of guide rails 42 arranged in parallel with the ball screw 41, and a motor connected to one end of the ball screw 41 to rotate the ball screw 41 in both forward and reverse directions. It is composed of a 43 and an elevating plate 44 having a nut screwed to the ball screw 41 inside and having a side portion in sliding contact with the guide rail 42. When the motor 43 rotates the ball screw 41, the elevating plate 44 is guided by the guide rail 42 and moves up and down in the Z-axis direction, and accordingly, the cutting means 3 fixed to the elevating plate 44 moves up and down in the Z-axis direction.

割り出し送り手段5は、Y軸方向に延在するボールネジ51と、ボールネジ51と平行に配設された一対のガイドレール52と、ボールネジ51の一端に連結されボールネジ51を正逆両方向に回転させるモータ53と、ボールネジ51に螺合するナットを内部に備え側部がガイドレール52に摺接する移動板54とから構成されている。モータ53がボールネジ51を回転させると、移動板54がガイドレール52にガイドされてY軸方向に昇降し、これに伴い切り込み送り手段4及び切削手段3がZ軸方向に昇降する。 The index feeding means 5 includes a ball screw 51 extending in the Y-axis direction, a pair of guide rails 52 arranged in parallel with the ball screw 51, and a motor connected to one end of the ball screw 51 to rotate the ball screw 51 in both forward and reverse directions. It is composed of 53 and a moving plate 54 having a nut screwed to the ball screw 51 inside and having a side portion in sliding contact with the guide rail 52. When the motor 53 rotates the ball screw 51, the moving plate 54 is guided by the guide rail 52 and moves up and down in the Y-axis direction, and accordingly, the cutting feed means 4 and the cutting means 3 move up and down in the Z-axis direction.

切削手段3を構成するブレードカバー32には、排出路61が連結されている。排出路61は、例えば図2に示す気液分離機構7に連結されている。 A discharge path 61 is connected to the blade cover 32 constituting the cutting means 3. The discharge passage 61 is connected to, for example, the gas-liquid separation mechanism 7 shown in FIG.

図2に示す気液分離機構7は、排出路61の終端に位置している。気液分離機構7は、排出路61の途中に配設されブレードカバー32内の排液を吸引する吸引源62と、排出路61の終端において立設された内筒71と、内筒71を収容する筐体72とを備えている。 The gas-liquid separation mechanism 7 shown in FIG. 2 is located at the end of the discharge path 61. The gas-liquid separation mechanism 7 has a suction source 62 arranged in the middle of the discharge path 61 to suck the drainage in the blade cover 32, an inner cylinder 71 erected at the end of the discharge passage 61, and an inner cylinder 71. It is provided with a housing 72 for accommodating.

内筒71は、内部が空洞となっており、その内径は、例えば38mmであり、鉛直方向の長さは、例えば110mmである。 The inner cylinder 71 has a hollow inside, the inner diameter thereof is, for example, 38 mm, and the length in the vertical direction is, for example, 110 mm.

内筒71の上端は、天井板711によって閉塞されている。天井板711は、内筒71よりも大径に形成されており、内筒71よりも外周側に突出した部分につば部711aが形成されている。天井板711の直径は、例えば70mmである。 The upper end of the inner cylinder 71 is closed by the ceiling plate 711. The ceiling plate 711 is formed to have a diameter larger than that of the inner cylinder 71, and a brim portion 711a is formed in a portion protruding toward the outer peripheral side of the inner cylinder 71. The diameter of the ceiling plate 711 is, for example, 70 mm.

内筒71の下端には、吸引源62によって吸引され排出路61を流れる排液を流入させる排液流入口712が形成されている。排液流入口712の内径は、内筒71の内径と同等である。 At the lower end of the inner cylinder 71, a drainage inlet 712 that is sucked by the suction source 62 and allows the drainage flowing through the discharge passage 61 to flow in is formed. The inner diameter of the drainage inlet 712 is equivalent to the inner diameter of the inner cylinder 71.

内筒71の外周面には、複数の穴713が形成されている。穴713の直径は、例えば5~10mmである。穴713は、例えば100個程度形成されている。図示の例における穴713は、鉛直方向に等間隔に配置されており、また、周方向に隣り合う穴は上下にずれた状態で形成されている。なお、穴713は、すべてが同径に形成されていなくてもよい。また、穴713の形状も円形には限られない。 A plurality of holes 713 are formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder 71. The diameter of the hole 713 is, for example, 5 to 10 mm. For example, about 100 holes 713 are formed. The holes 713 in the illustrated example are arranged at equal intervals in the vertical direction, and the holes adjacent to each other in the circumferential direction are formed so as to be vertically displaced. The holes 713 may not all have the same diameter. Further, the shape of the hole 713 is not limited to a circular shape.

筐体72は、例えば円筒状に形成され、内径が天井板711よりも大径に形成されている。すなわち、天井板711の外周面と筐体72の内側面との間には空間が存在している。筐体72の内径は、例えば104mmである。 The housing 72 is formed in a cylindrical shape, for example, and has an inner diameter larger than that of the ceiling plate 711. That is, there is a space between the outer peripheral surface of the ceiling plate 711 and the inner surface of the housing 72. The inner diameter of the housing 72 is, for example, 104 mm.

筐体72の鉛直方向上部には、排液に含まれる気体を排出する気体排出口73が形成されている。気体排出口73には、例えばエアダクトが連結され、気体を吸引できるようにしている。気体排出口73は、筐体72の天板の中心に形成されることが好ましい。また、気体排出口73は、天井板711よりも小径に形成されていることが好ましい。 A gas discharge port 73 for discharging the gas contained in the drainage liquid is formed in the upper portion of the housing 72 in the vertical direction. For example, an air duct is connected to the gas discharge port 73 so that gas can be sucked. The gas discharge port 73 is preferably formed in the center of the top plate of the housing 72. Further, it is preferable that the gas discharge port 73 is formed to have a smaller diameter than the ceiling plate 711.

筐体72の下部には、排液を構成する液体を排出する液体排出口74が形成されている。図示の例の液体排出口74は、筐体72の側面の下部に形成されているが、筐体72の下部であれば、他の位置に形成されていてもよい。例えば、筐体72の底面であって、内筒71の外周側に液体排出口74を形成してもよい。また、液体排出口74は、複数形成されていてもよい。 A liquid discharge port 74 for discharging the liquid constituting the drainage is formed in the lower portion of the housing 72. The liquid discharge port 74 of the illustrated example is formed at the lower part of the side surface of the housing 72, but may be formed at another position as long as it is the lower part of the housing 72. For example, the liquid discharge port 74 may be formed on the bottom surface of the housing 72 on the outer peripheral side of the inner cylinder 71. Further, a plurality of liquid discharge ports 74 may be formed.

液体排出口74には、例えばドレーンが連結される。ドレーンに排出される排液は、廃棄されてもよいし、フィルタ等を介して切削水として再利用する構成としてもよい。 For example, a drain is connected to the liquid discharge port 74. The drainage liquid discharged to the drain may be discarded or may be reused as cutting water via a filter or the like.

図1に示した切削装置1において被加工物を切削する場合は、被加工物が保持手段2において保持される。そして、切削ブレード31のY軸方向の位置が被加工物の切削すべき位置に位置合わせされた後、切削ブレード31が回転しながら切削手段3が下降して所定の高さ位置に位置付けされ、保持手段2が-X方向に移動することにより、所望の位置が切削される。 When the work piece is cut by the cutting device 1 shown in FIG. 1, the work piece is held by the holding means 2. Then, after the position of the cutting blade 31 in the Y-axis direction is aligned with the position where the workpiece should be cut, the cutting means 3 descends while the cutting blade 31 rotates and is positioned at a predetermined height position. By moving the holding means 2 in the −X direction, a desired position is cut.

切削中は、切削水流入口33,34より切削水が供給され、その切削水がノズル35から吐出される。その切削水は、切削ブレード31の回転によって、切削屑とともに飛散する。飛散した切削水及び切削屑は、排液として図2に示した吸引源62によって吸引されて排出路61から排出される。排液が吸引される際には、ブレードカバー32内の気体も吸引されるため、排液には気体と液体とが含まれている。 During cutting, cutting water is supplied from the cutting water inflow ports 33 and 34, and the cutting water is discharged from the nozzle 35. The cutting water is scattered together with the cutting chips by the rotation of the cutting blade 31. The scattered cutting water and cutting chips are sucked by the suction source 62 shown in FIG. 2 as drainage liquid and discharged from the discharge path 61. When the drainage liquid is sucked, the gas in the blade cover 32 is also sucked, so that the drainage liquid contains a gas and a liquid.

図3に示すように、吸引源62によって吸引された排液611は、排液流入口712から内筒71に流入する。そして、排液を構成する液体は、内筒71内においてある程度貯留された後、穴713から内筒71の外側に排出される。そして、その排出された液体741は、筐体72において受け止められた後、筐体72に形成された液体排出口74から筐体72の外部に排出される。 As shown in FIG. 3, the drainage 611 sucked by the suction source 62 flows into the inner cylinder 71 from the drainage inlet 712. Then, the liquid constituting the drainage liquid is stored in the inner cylinder 71 to some extent and then discharged from the hole 713 to the outside of the inner cylinder 71. Then, the discharged liquid 741 is received by the housing 72 and then discharged to the outside of the housing 72 from the liquid discharge port 74 formed in the housing 72.

一方、液体741が穴713から筐体72側に排出されることにより、排液を構成する気体は内筒71内を上昇し、上部の穴713、すなわち穴713のうち液体の排出の用に供されない穴から筐体72側に排出される。そして、その気体731は、筐体72内を上昇し、つば部711aの外周側から回り込むようにして上昇し、気体排出口73から筐体72の外部に排出される。ここで、内筒71の上部を閉塞する天井板711は、内筒71よりも外周側に突出するつば部711aを備えているため、気体排出口73の吸引力によって水が上昇したとしても、その水は、つば部711aに当たって下降する。したがって、水が気体排出口73からエアダクトに流入するのを防ぐことができる。気体排出口73に作用する吸引力によって切削屑が上昇した場合も、天井板711のつば部711aに切削屑が当たって降下するため、気体排出口73において切削屑を吸引してしまうのを防止し、エアダクトに詰まりが生じるのを防ぐことができる。 On the other hand, when the liquid 741 is discharged from the hole 713 to the housing 72 side, the gas constituting the drainage rises in the inner cylinder 71, and is used for discharging the liquid in the upper hole 713, that is, the hole 713. It is discharged to the housing 72 side from the hole that is not provided. Then, the gas 731 rises inside the housing 72, rises so as to wrap around from the outer peripheral side of the brim portion 711a, and is discharged from the gas discharge port 73 to the outside of the housing 72. Here, since the ceiling plate 711 that closes the upper part of the inner cylinder 71 has a brim portion 711a that protrudes to the outer peripheral side of the inner cylinder 71, even if water rises due to the suction force of the gas discharge port 73, the water rises. The water hits the brim portion 711a and descends. Therefore, it is possible to prevent water from flowing into the air duct from the gas discharge port 73. Even if the cutting chips rise due to the suction force acting on the gas discharge port 73, the cutting chips hit the brim portion 711a of the ceiling plate 711 and fall, so that the cutting chips are prevented from being sucked at the gas discharge port 73. However, it is possible to prevent the air duct from being clogged.

吸引源62は、例えば図4に示す水封式バキュームポンプにより構成される。水封式バキュームポンプからなる吸引源62は、ケーシング621と、ケーシング621内を回転可能な羽根車622と、ケーシング621に形成され排液を吸引する吸引口623と、水をケーシング621内に供給するための水供給口624と、吸引した排液を排出する排出口625とを備えている。吸引口623は、逆止弁63を介して切削手段3のブレードカバー32の内部と連通している。 The suction source 62 is configured by, for example, the water-sealed vacuum pump shown in FIG. The suction source 62 including the water-sealed vacuum pump supplies water to the casing 621, the impeller 622 that can rotate in the casing 621, the suction port 623 formed in the casing 621 to suck the drainage, and the casing 621. It is provided with a water supply port 624 for performing the operation and a discharge port 625 for discharging the sucked drainage liquid. The suction port 623 communicates with the inside of the blade cover 32 of the cutting means 3 via the check valve 63.

切削水流入口33、34に切削水が供給され、ノズル35から吐出されると、切削ブレード31の回転によってブレードカバー32内において切削水が飛散する。その飛散した切削水は、吸引源62によって吸引される。具体的には、水供給口624からケーシング621内に適当量封水を入れて羽根車622を回転させると、その封水は、遠心力によってケーシング621の内壁に沿ってリング状に流れ、羽根車622が回転することにより、ケーシング621の内壁と羽根車622とによって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、吸引口623による排液の吸引及び排出口625からの排液の排出を連続的に行う。図4に示した排出口625に内筒71の排液流入口712が直結しているため、排出機構をコンパクトに構成することができる。 When the cutting water is supplied to the cutting water inflow ports 33 and 34 and discharged from the nozzle 35, the cutting water is scattered in the blade cover 32 due to the rotation of the cutting blade 31. The scattered cutting water is sucked by the suction source 62. Specifically, when an appropriate amount of sealing water is put into the casing 621 from the water supply port 624 and the impeller 622 is rotated, the sealing water flows in a ring shape along the inner wall of the casing 621 by centrifugal force, and the blades. By rotating the car 622, the volume of the space surrounded by the inner wall of the casing 621 and the impeller 622 changes, so that the suction port 623 sucks the drainage and the drainage port 625 drains. Discharge continuously. Since the drainage inlet 712 of the inner cylinder 71 is directly connected to the discharge port 625 shown in FIG. 4, the discharge mechanism can be compactly configured.

以上のように、気液分離機構7は、排出路61の終端に配置された内筒71とその周囲の筐体72とを備え、内筒71に流入した気体と液体とを含む排液は、内筒71の外周部に形成された複数の穴713を介して筐体72中にあふれ出る。そして、この時に気体と液体との分離がなされ、筐体72の気体排出口73と液体排出口74とからそれぞれ排出される。したがって、気液分離のためのタンクを配置する必要がないので、設備設置面積を抑えるとともに安定した吸引が可能となる。 As described above, the gas-liquid separation mechanism 7 includes an inner cylinder 71 arranged at the end of the discharge passage 61 and a housing 72 around the inner cylinder 71, and the drainage liquid containing the gas and the liquid flowing into the inner cylinder 71 is discharged. , It overflows into the housing 72 through a plurality of holes 713 formed in the outer peripheral portion of the inner cylinder 71. Then, at this time, the gas and the liquid are separated, and the gas and the liquid are discharged from the gas discharge port 73 and the liquid discharge port 74 of the housing 72, respectively. Therefore, since it is not necessary to arrange a tank for gas-liquid separation, the equipment installation area can be suppressed and stable suction can be performed.

1:切削装置
2:保持手段 21:保持部材 211:保持面
3:切削手段 31:切削ブレード 32:ブレードカバー 33、34:切削水流入口
35:ノズル
4:切り込み送り手段 41:ボールネジ 42:ガイドレール 43:モータ
44:昇降板
5:割り出し送り手段 51:ボールネジ 52:ガイドレール 53:モータ
54:移動板
61:排出路
62:吸引源
621:ケーシング 622:羽根車 623:吸引口 624:水供給口
625:排出口
7:気液分離機構
71:内筒 711:天井板 711a:つば部 712:排液流入口 713:穴
72:筐体
73:気体排出口 731:気体 74:液体排出口 741:液体
8:洗浄手段 81:スピンナーテーブル
1: Cutting device 2: Holding means 21: Holding member 211: Holding surface 3: Cutting means 31: Cutting blade 32: Blade cover 33, 34: Cutting water inflow port 35: Nozzle 4: Cutting feed means 41: Ball screw 42: Guide rail 43: Motor 44: Elevating plate 5: Indexing feeding means 51: Ball screw 52: Guide rail 53: Motor 54: Moving plate 61: Discharge path 62: Suction source 621: Casing 622: Impeller 623: Suction port 624: Water supply port 625: Discharge port 7: Gas-liquid separation mechanism 71: Inner cylinder 711: Ceiling plate 711a: Brim part 712: Drainage inflow port 713: Hole 72: Housing 73: Gas discharge port 731: Gas 74: Liquid discharge port 741: Liquid 8: Cleaning means 81: Spinner table

Claims (1)

加工装置に接続される気液分離機構であって、
吸引源と、
該吸引源によって吸引された気体と液体とを含む加工排液を排出する排出路の終端に立設され、下端から加工排液が流入するとともに上端が閉塞され、外周に複数の穴が形成された内筒と、
内筒を収容するとともに該穴から流出した液体と気体とを受ける筐体と、を備え、
該筐体の鉛直方向上部には気体排出口が形成されるとともに下部に液体排出口が形成され、
該内筒の上端が天井板によって閉塞され、
該天井板は、該内筒より大径に形成され該内筒よりも外周側に突出するつば部を備え、
上昇する該加工廃液を構成する水が該つば部に当たって下降する
気液分離機構。
A gas-liquid separation mechanism connected to the processing equipment,
With a suction source,
It is erected at the end of the discharge path for discharging the processed drainage containing the gas and liquid sucked by the suction source, and the processed drainage flows in from the lower end and the upper end is closed, and a plurality of holes are formed on the outer periphery. With the inner cylinder
A housing for accommodating the inner cylinder and receiving the liquid and gas flowing out of the hole is provided.
A gas discharge port is formed in the upper part in the vertical direction of the housing, and a liquid discharge port is formed in the lower part.
The upper end of the inner cylinder is blocked by the ceiling plate,
The ceiling plate has a brim portion that is formed to have a diameter larger than that of the inner cylinder and projects to the outer peripheral side of the inner cylinder.
The rising water constituting the processing waste liquid hits the brim and descends.
Gas-liquid separation mechanism.
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