KR20190075891A - Line type light apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 선광원 발생장치에 대한 것이다. 본 발명의 선광원 발생장치의 가장 대표적인 용도는 반도체 회로 또는 미세회로 또는 미세 패턴을 구성하는 데 사용되는 노광기용 선광원 발생장치에 사용이 된다.The present invention relates to a concentrator generating apparatus. The most typical application of the optical circulator of the present invention is to be used for a semiconductor circuit, a microcircuit, or an optical source for an exposure device used for forming a fine pattern.
본 발명의 선광원 발생장치는 노광기에만 한정되지 아니하고 선광원 발생장치를 통한 스캐닝장치 등 다양한 분야에 활용이 될 수가 있음은 물론이다.It is needless to say that the present invention is not limited to the exposure apparatus but may be applied to various fields such as a scanning apparatus through the optical source.
본 발명의 선광원 발생장치는 볼록렌티큐라의 집광기능을 노광장치에 사용할 수가 있게 하므로써 초정밀한 노광을 가능케 하는 노광기에 가장 효율적으로 사용이 된다. The optical circulator according to the present invention can be used most effectively in an exposure apparatus capable of super-precise exposure by making it possible to use the condensing function of the convex lenticular in the exposure apparatus.
본 발명의 선광원 발생장치는 주로 노광기에 사용이 되어지므로, 이하에서는 노광기를 중심으로 본 발명의 선광원 발생장치를 설명키로 한다.Since the optical line generator of the present invention is mainly used for an exposure machine, the optical line generator according to the present invention will be described below, focusing on an exposure machine.
렌티큐라조합체를 이용하는 본 발명의 또 다른 실시예는 볼록렌티큐라의 집광기능과 오목렌티큐라의 빛의 분할기능을 동시에 이용하여 더욱 미세한 노광작업을 가능케 한다.Another embodiment of the present invention using a lenticure combination makes it possible to perform a finer exposure operation by simultaneously using the light converging function of the convex lenticular and the light dividing function of the concave lenticular.
본 발명의 선광원 발생장치를 적용시킨 노광기를 사용하면, 필름의 패턴 문양대로 정확하고 초정밀하게 감광층의 노광이 가능하며, 피치가 극히 미세한 것이라 할지라도 가공이 가능하며, 감광층의 두께가 상대적으로 두텁다 할지라고 선명하게 노광이 되는 특징이 있다.The use of an exposure apparatus employing the linear light source apparatus of the present invention enables accurate and precise exposure of the photosensitive layer in accordance with the pattern pattern of the film, and processing can be performed even if the pitch is extremely minute. When the thickness of the photosensitive layer is relatively There is a characteristic that it is exposed clearly whether it is thick or not.
일반적으로 노광장치는 빛에 반응하는 물질(Photo-resist :PR, 감광재)이 도포된 기판 위에 원하는 패턴이 형성된 필름을 올려놓고 자외선을 쬐어주어 감광재에 원하는 패턴을 전사시키는 장치를 말한다. 웨이퍼, 유리 등도 본 발명에서는 기판이라 정의한다.Generally, an exposure apparatus refers to a device that places a film on which a desired pattern is formed on a substrate coated with a photo-resist (PR), and irradiates ultraviolet rays to transfer a desired pattern to the photosensitive material. Wafer, glass and the like are also defined as substrates in the present invention.
종래에는 미세 피치의 회로를 제작하는 노광장치는 평행광을 만드는 장비를 구비하여야만 하며, 종래 이러한 평행광을 만드는 장비는 고가 장비의 구성이 필수적이었다. Conventionally, an exposure apparatus for manufacturing a fine pitch circuit must be provided with a device for producing parallel light, and a device for producing such parallel light has been required to have a configuration of expensive equipment.
그러나 본 발명에서는 고가의 평행광 구성을 위한 설비를 간단히 렌티큐라에 의하여 제작이 되는 선광원 발생장치를 제공하므로써 많은 산업의 분야에 유익을 제공을 할 수가 있다.However, according to the present invention, it is possible to provide benefits to many industrial fields by providing a luminous source generating device which is manufactured by a simple Lenticular lamp for an expensive parallel light configuration.
본 발명은 렌티큐라에 의한 선광원 발생장치를 통하여 저가의 수직광 노광기를 만들 수가 있음으로 제작비를 절감할 수가 있을 뿐만 아니라, 종래에 고가의 평행광 노광기를 사용하여도 제작이 불가능 하였던 미세피치의 회로를 신속하게 대 면적으로 제작이 가능하도록 발명된 것이다. The present invention can produce a low-cost vertical photo-exposer through a linear light source generator using Lenticular, thereby reducing manufacturing costs. In addition, it is possible to reduce the production cost by using a high-cost parallel photo- So that the circuit can be rapidly fabricated in a large area.
본 발명은 볼록렌티큐라의 집광기능과 수직광 기능을 사용하는 선광원 발생장치를 채택함으로써, 감광재의 두께가 수십 마이크론이 된다 하더라도 깨끗한 노광이 가능하며, 회로의 피치가 수 마이크론 일지라도 깨끗한 노광으로 불량 없고 선명하고 깨끗한 회로의 구성을 가능케 하는 렌티큐라 노광장치를 제공할 수가 있게 한다. The present invention adopts a luminous source generating device using a condensing function and a vertical optical function of a convex lenticular, so that even when the thickness of the photosensitive material becomes several tens of microns, it is possible to perform a clean exposure, and even if the pitch of the circuit is several microns, It is possible to provide a lenticular exposure apparatus capable of forming a clear, clear circuit.
본 발명의 선광원 발생장치를 사용하면, 가장 큰 특징은 극히 미세한 회로의 감광이 가능한 것과, 대면적의 감광층을 동시에 감광이 가능한 것과, 작업이 선광원의 스캐닝 작업으로 노광작업을 진행할 수가 있음으로 인하여 신속한 작업이 가능하다는 것이다. 또한 작업의 환경의 측면에서, 종래의 레이저에 의한 가공은 진동이 없는 공간에서 가공을 하는 것이 필수적이나 본 발명의 선광원 발생장치를 사용한 노광기는 약간의 진동이 있더라도 결과물에는 결정적인 흠을 만들지 않는 다는 사실이다.The most remarkable feature of the present invention is that it can perform exposure of an extremely fine circuit, enable light exposure of a large-sized photosensitive layer at the same time, and allow the work to be performed by a scanning operation of a source of light It is possible to work quickly. In addition, in terms of the working environment, it is essential to perform processing in a space free from vibration in the conventional laser processing. However, in the case of the exposure apparatus using the linear light source generating apparatus of the present invention, It is true.
극히 미세한 회로의 감광에는 종래에는 평형광 노광기가 사용되져 왔는데, 종래의 평형광 노광기는 장비구조가 복잡하며, 고가의 제작비가 소요된다. Conventionally, a balanced light exposure apparatus has been used for exposure of a very fine circuit. However, the conventional balanced light exposure apparatus requires a complicated equipment structure and an expensive production cost.
그러나 본 발명의 선광원 발생장치를 채택하면 복잡한 장치나 고가의 장비를 이용하지 아니하고도 빛의 광학적 성질을 사용하여 경제적으로 평행광을 제작할 수가 있다.However, by adopting the optical circulator of the present invention, parallel light can be produced economically by using the optical properties of light without using a complicated device or expensive equipment.
본 발명에서 조사되는 빛은 수직광 또는 평행광으로서, 감광부의 감광재에 닿았을 때, 빛의 확산이나 산란작용이 극소화 되어지는 빛이므로 인하여 극도로 미세한 패턴을 정밀하게 노광시킬 수가 있는 장점이 있다.The light irradiated in the present invention is vertical light or parallel light and has a merit in that it can expose an extremely fine pattern precisely because light is diffused or minimized in scattering action when it touches the photosensitive material of the photosensitive portion .
극히 미세한 회로를 구성하기 위한 가장 이상적인 광원장치로는 다음의 사항들이 요구가 되어진다.As the most ideal light source device to construct an extremely fine circuit, the following matters are required.
첫째, 빛의 분산과 산란이 방지되기 위하여 평행광 일 것; 둘째, 신속한 대량작업과 스캔작업을 가능하도록 하기 위하여 선광원 일 것; 셋째, 각각의 선광원이 고도의 빛의 세기를 유지하도록 하기 위하여 빛 에너지가 렌즈에 의하여 집광된 선광원 일 것; 넷째, 극미세한 회로가 가공되어야 할 경우, 극미세한 회로보다 훨씬 더 미세한 폭으로 선광원이 되어야만 하므로 상기 선광원의 폭이 수십 나노의 크기 일 것; 다섯째 선광원이 많은 에너지를 보유토록 하기 위하여 상기 선광원이 수천재의 다발로서 존재할 것; 여섯째, 선광원의 크기 고밀도로 집약되기 위하여 선광원과 선광원의 간격이 밀집될 것이 요구가 된다.First, it should be parallel light to prevent scattering and scattering of light; Second, it should be a light source in order to enable rapid mass work and scanning; Third, the light energy must be condensed by the lens to maintain the intensity of the light of each source. Fourth, when a very fine circuit is to be fabricated, the width of the source must be several tens of nanometers, since it must be much smaller than the microscopic circuit. The fifth source must be present as a bundle of geniuses in order to have a lot of energy; Sixth, it is required to concentrate the distance between the source of light and the source of light in order to concentrate the size of the source of light at a high density.
본 발명의 선광원 발생장치는 이상의 조건을 모두 충족을 시킨다.The optical circulator generating apparatus of the present invention satisfies all of the above conditions.
본 발명의 선광원 발생장치에 의하여 형성되는 빛은 많은 산업분야에 적용이 가능하다. 가장 대표적인 적용분야가 노광기이다. 본 발명의 선광원 발생장치에 의하여 제공이 되는 빛은, 노광기에 있어서 패턴이 형성된 필름에 조사되며, 상기 조사되어진 빛은 필름에 형성된 패턴의 형상대로 감광재를 노광시키도록 한다.The light formed by the light source of the present invention can be applied to many industrial fields. The most typical application is the exposure machine. The light provided by the optical circulator of the present invention is irradiated to a film on which a pattern is formed in an exposure machine, and the irradiated light exposes the photosensitive material in the shape of a pattern formed on the film.
본 발명에서의 선광원 발생장치는 광원과 볼록레티큐라를 기본적 구성요소로 포함한다. 본 발명의 또다른 실시예에서의 선광원 발생장치는 광원과 레티큐라조합체를 기본적 구성요소로 포함한다.The optical circulator generating apparatus in the present invention includes a light source and a convex reticle as basic components. In another embodiment of the present invention, the optical circulator generating apparatus includes a light source and a reticle array as basic components.
본 발명의 선광원 발생장치는 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체는 상대적으로 이동이 되지 않도록 고정되어져 있도록 구성을 한다. In the optical line generator of the present invention, the combination of the light source, the convex lenticular or the light source and the lenticular is fixed so as not to move relative to each other.
물론 상기 선광원 발생장치와 노광기에 위치되는 필름은 상대적으로 이동되도록 구성할 수가 있다.Of course, the film disposed in the tonic circle generator and the exposure machine can be configured to move relatively.
본 발명은 광원의 빛이 볼록렌티큐라에 조사되었을 때, 빛이 수직으로 투과되는 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부 영역의 기능을 집중적으로 이용한다.The present invention intensively utilizes the function of the central region of the convex lenticular lens in which light is vertically transmitted when the light of the light source is irradiated on the convex lenticular.
본 발명의 선광원 발생장치를 노광기에 적용할 때에는, 선광원 발생장치는 패턴이 형성된 필름의 상부에 위치한다. 감광재가 도포되어진 시트상의 재료를 연속적으로 노광시킬 경우에는 본 발명의 선광원 발생장치는 필름과 소정거리 이격시키어 선광원 발생장치와 필름이 마찰이 없이 상호 이동이 되도록 구성시키는 것이 바람직하다.When the present invention is applied to an exposure apparatus, the present invention is characterized in that the optical source is positioned above the patterned film. When the sheet material on which the photosensitive material is coated is continuously exposed, it is preferable that the linear light source device of the present invention is constructed so as to be spaced apart from the film by a predetermined distance so that the linear light source device and the film are mutually moved without friction.
본 발명에서는, 선광원 발생장치와 필름 간의 위치관계에서, 선광원 발생장치를 필름에 대하여 상대적으로 이동을 가능케 하므로써 아무리 대면적의 감광재가 도포된 기판이라 할지라도 용이하게 짧은 시간에 경제적으로 노광을 시킬 수가 있다. In the present invention, since the linear light source generating device can be relatively moved relative to the film in the positional relationship between the linear light source generating device and the film, even if a substrate coated with a large area of photosensitive material is easily exposed, You can.
물론 상기 패턴이 형성된 필름의 하부에는 노광재가 얇게 도포된 기판이 위치되며, 필름과 상기 기판은 노광작업이 진행되는 중에는 상대적인 움직임이 존재하지 않도록 하여야 한다. Of course, a substrate to which the exposure material is thinly coated is positioned below the film having the pattern formed thereon, and the film and the substrate should be prevented from moving relative to each other during the exposure process.
본 발명은 볼록렌티큐라에 의하여 만들어 지는 라인 형상으로 집광되어진 빛을 이용한다.The present invention uses light condensed in a line shape produced by a convex lenticular.
본 발명에서 렌티큐라조합체로서 사용할 경우에는 오목렌티큐라의 빛의 분할기능을 추가적으로 사용한다. 오목렌티큐라를 추가함으로써 볼록렌티큐라에 의하여 형성된 라인 형상의 집광된 빛의 선폭을 더욱 좁히며, 라인 형상의 집광된 빛의 갯수를 더욱 증가시키어 더욱 정밀한 노광을 가능케 하는 특징이 있다.In the present invention, when used as a lenticure combination, the light splitting function of the concave Lenticular is additionally used. By adding the concave Lenticular, the line width of the line-shaped condensed light formed by the convex lenticule is narrowed further, and the number of the condensed light of the line shape is further increased to enable more precise exposure.
본 발명에서 렌티큐라조합체를 통하게 되면, 집광되어진 빛의 폭은 수십~수백 나노의 선폭을 가지는 라인상의 집광된 빛으로 이르게도 할 수가 있다. In the present invention, when the lenticule assembly is passed through, the width of the condensed light can reach the condensed light on the line having a line width of several tens to several hundred nanometers.
이러한 사실은 노광하고자 하는 가공물의 피치 폭을 수 마이크론의 초정밀한 가공도 오차 없이 가능하게 한다. This fact enables the pitch width of the workpiece to be exposed to be as high as a few microns without errors.
본 발명은 볼록렌티큐라를 구성하는 수많은 각각의 볼록렌즈가 가지는 집광기능을 노광장치에 사용하는 것이며, 또한 볼록렌티큐라를 구성하는 수많은 각각의 볼록렌즈가 가지는 수직광 기능을 노광장치에 사용하는 것이다.The present invention uses a condensing function of a large number of convex lenses constituting a convex lenticular lens in an exposure apparatus and also uses a vertical optical function of a large number of convex lenses constituting a convex lenticular lens in an exposure apparatus .
본 발명에서 빛을 수직광으로 형성함으로써 감광재의 두께가 수십 마이크론 이상의 두꺼운 감광재 층일지라도 깨끗한 노광이 가능하며, 수직광으로 인하여 빛의 간섭과 산란이 방지되므로 회로의 피치가 수 마이크론일지라도 깨끗한 노광이 가능하다. By forming light as vertical light in the present invention, it is possible to perform a clear exposure even if the thickness of the photosensitive material is thicker than a few tens of microns, and the interference and scattering of light can be prevented by the vertical light. Therefore, even if the pitch of the circuit is several microns, It is possible.
또한 본 발명의 선광원 발생장치를 가진 노광기를 통하여 작업을 하면, 작업의 안전성이 이루어지며 불량이 없고 선명하며 깨끗한 회로의 구성이 가능하다. In addition, when the work is carried out through the exposure device having the linear light source generator of the present invention, the safety of the work can be achieved, and a clear and clear circuit configuration without defects can be realized.
또한 넓은 대 면적의 감광재가 도포된 기판이라 할지라도 본 발명의 선광원 발생장치의 이송을 통하여 용이하게 짧은 시간에 경제적으로 전체를 한 번에 노광시킬 수가 있는 특징이 있다.In addition, even if the substrate is coated with a large-area photosensitive material, the entirety of the substrate can be easily and economically exposed at a time through the transfer of the source of light of the present invention.
본 발명에서 선광원 발생장치는 패턴이 형성된 필름에 대하여 좌우방향 또는 전후방향으로 상대적인 이송운동을 하는 것이 가능하게 제작이 되는 것이 일반적이다. In the present invention, the linear light source generator is generally manufactured so as to be capable of performing relative movement in the left-right direction or the back-and-forth direction with respect to the patterned film.
물론 특수한 경우 또는 작은 기판의 노광만을 비연속적으로 하고자 할 경우에는 상기 선광원 발생장치를 필름에 대하여 상대적인 이송을 시키는 이송기구를 구성치 않을 경우도 있다.Of course, in a special case, or when only a small substrate is to be exposed continuously, it may not constitute a conveying mechanism for conveying the tonic circle generator relative to the film.
이러한 상대적인 이송운동이 필요한 경우에는 첫째, 필름이 정지한 상태로 선광원 발생장치가 이송되는 경우와, 둘째, 선광원 발생장치는 정지한 상태에서 필름이 이송을 하는 경우가 포함된다. 물론 상기에서 필름이라 표현된 부분에서는 필름과 상기 필름을 지지하는 관련된 지지체를 포함할 수 있음은 물론이다.In the case where the relative movement is required, firstly, a case where the linear motion light source device is transported while the film is stationary and a case where the film is transported while the linear motion light source device is stationary is included. It goes without saying that, in the above description, the film may include a film and an associated support for supporting the film.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서의 선광원 발생장치는 그 필수 구성요소인 렌티큐라 또는 렌티큐라조합체의 집광기능을 핵심으로 한다. 또한 본 발명에 서는 일반적인 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부가 가지는 수직광을 발생부위를 집중적으로 이용하는 것을 특징으로 한다. INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the concentrator of the present invention has the function of focusing the lenticular or lenticular combination, which is an essential component thereof. In addition, the present invention is characterized in that a central portion of a general convex lenticular lens is concentratedly used with a portion for generating vertical light.
본 발명의 선광원 발생장치는 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라 조합체가 상대적인 움직임이 없이 고정이 된다는 특징이 있다. 이를 위하여서 광원과 렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체는 하나의 고정된 프레인 안에서 고정되어 세팅이 된다. The present invention is characterized in that the light source, the convex lenticular or the combination of the light source and the lenticular are fixed without relative movement. For this purpose, the light source, the lenticurea or the combination of the light source and the lenticure are fixedly set in one fixed plane.
연속적인 작업을 위하여, 상기 선광원 발생장치는 필름을 포함하는 기판구조물에 대하여는 상대적 이동이 가능하게 할 수도 있다. For continuous operation, the toric source generating device may be capable of relative movement relative to the substrate structure comprising the film.
본 발명의 선광원 발생장치는 볼록렌티큐라를 구성하는 각각의 볼록렌티큐라 렌즈가 가지는 물리적 현상인 집광기능과, 오목렌티큐라를 구성하는 각각의 오목렌티큐라 렌즈가 가지는 물리적 현상인 빛의 분할기능을 이용한 것이다.The optical circulator according to the present invention is characterized in that the condensing function, which is a physical phenomenon of each convex lenticular lens constituting the convex lenticular, and a light dividing function, which is a physical phenomenon of each concave lenticular lens constituting the concave lenticular, .
선광원 발생장치의 기능을 적용시킨 노광기를 제작하면, 감광재의 두께가 수십 마이크론 이상이 되더라도 피치의 폭이 수 미크론에 불과하더라도 가공이 가능하다.By manufacturing an exposure apparatus to which a function of a source of light source is applied, even if the thickness of the photosensitive material is several tens of microns or more, processing can be performed even if the width of the pitch is only a few microns.
회로 피치의 크기가 작은 극히 미세피치는 빛의 산란이나 확산 분산 등이 없는 수직광에 의해서만 깨끗하고 선명한 노광이 가능하다. 본 발명의 선광원 발생장치는 불량이 없고 선명하여 깨끗한 회로의 구성이 가능한 노광기를 가능케 한다.The extremely fine pitches with small circuit pitches are capable of pure and clear exposure only by vertical light without scattering or diffuse scattering of light. The present invention provides an optical exposure apparatus capable of forming a clean circuit without defects and having a clear and clear appearance.
종래에는 평행광을 만들기 위하여 고가의 장치가 필요하였으나, 본 발명에서는 평행광을 렌티큐라 렌즈의 물리적 기능을 충분히 활용하므로써 종래의 고가의 장치가 가지는 기능을 극히 용이하게 수행할 수가 있다. Conventionally, in order to make parallel light, an expensive apparatus is required. However, in the present invention, the function of a conventional expensive apparatus can be extremely easily performed by fully utilizing the physical function of the Lenticular lens.
종래의 노광기 기술로서는 대면적의 노광이 어려우며, 노광시간이 많이 소요되는 데 비하여, 본 발명의 선광원 발생장치를 사용하면 선광원 발생장치의 이송을 통하여 대면적의 노광을 극히 용이하면서 신속히 실현이 될 수가 있다는 큰 특징을 가진다.As compared with conventional exposure apparatus technology, it is difficult to expose a large area and requires a long exposure time. In contrast, when the apparatus of the present invention is used, exposure of a large area can be achieved extremely easily and quickly It has a great feature that it can be.
도 1은 본 발명의 선광원 발생장치를 구비한 수직광 렌티큐라 노광기의 구조를 보여주는 도면,
도 2는 일반적인 볼록렌티큐라의 사시도,
도 3은 광원의 빛이 일반적 볼록렌티큐라를 통과하였을 때 집광이 되어지는 상태를 보여주는 도면,
도 4는 일반적 볼록렌티큐라의 각 렌즈의 중앙부에서 발생하는 수직광에 의하여 빛이 집광이 되어지는 상태를 보여주는 도면,
도 5는 수직광 볼록렌티큐라의 구성을 설명하는 설명도,
도 6은 볼록렌티큐라에 렌즈차폐물을 통하여 수직광을 구현하는 수직광 렌티큐라를 설명하는 설명도이다.
도 7은 볼록렌티큐라에 광투과 슬리터를 통하여 수직광을 구현하는 수직광 렌티큐라를 설명하는 설명도이다.
도 8은 일반적인 오목렌티큐라의 사시도이다.
도 9a, 9b, 9c는 렌티큐라조합체의 실시예이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing the structure of a vertical light lenticular exposure apparatus having a linear light source generating apparatus according to the present invention;
2 is a perspective view of a typical convex lenticular,
3 is a view showing a state where light is condensed when light of a light source passes through a general convex lenticule,
4 is a view showing a state in which light is condensed by vertical light generated in a central portion of each lens of a general convex lenticular,
5 is an explanatory view for explaining the configuration of a vertical light convex tentacle,
6 is an explanatory diagram illustrating a vertical light lenticule that implements vertical light through a lens shield to a convex lenticular.
FIG. 7 is an explanatory view for explaining a vertical light lenticule that implements vertical light through a light transmission slitter to a convex lenticular.
8 is a perspective view of a general concave lenticular.
Figures 9a, 9b, 9c are examples of lenticular assemblies.
이하, 본 발명의 다양한 실시예에 대하여 상세히 설명하지만, 본 발명은 그 요지를 이탈하지 않는 한 이하의 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited to the following embodiments unless it departs from the gist thereof.
본 발명은 선광원 발생장치에 대한 것이다. The present invention relates to a concentrator generating apparatus.
본 발명의 선광원 발생장치는, 선광원 발생장치의 빛이 패턴이 형성된 필름에 조사되며, 상기 조사되어진 빛은 패턴의 형상대로 감광재를 노광시키도록 하는 노광기에 사용이 될 수가 있다.The present invention can be applied to an exposure apparatus that exposes a photosensitive material to light in the form of a pattern.
본 발명의 선광원 발생장치는, 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체를 포함하며, 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체는 상호간에 이동이 불가능하게 고정되어져 있는 것을 특징으로 한다. The present invention is directed to a linear optical circulator comprising a light source, a convex lenticular or a combination of a light source and a lenticure, wherein the combination of the light source, the convex lenticular or the light source and the lenticure are mutually immovable.
노광기를 구성할 때에는 상기 선광원 발생장치와 필름은 상대적으로 이동되도록 구성할 수가 있다.When constituting the exposure apparatus, the above-mentioned linear light source generating apparatus and the film can be configured to be relatively moved.
본 발명은 조사되어지는 광원의 빛이 수직으로 내려가는 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부 영역이 제공하는 수직광을 핵심적으로 활용을 한다.The present invention mainly utilizes the vertical light provided by the central region of the convex lenticular lens in which the light of the illuminated light is vertically lowered.
도 1은 본 발명의 선광원 발생장치를 구비한 수직광 렌티큐라 노광기의 구조를 보여주는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a structure of a vertical light lenticular exposure apparatus equipped with a linear light source generator of the present invention.
도 1의 노광기(1)는 기판 구조물(9)과, 선광원 발생장치(2)와, 개폐구를 포함한 기타의 장치부로 구성된다. The
상기의 선광원 발생장치(2)란, 광원(4)과 볼록렌티큐라(5)로 구성이 되거나, 광원(4)과 렌티큐라조합체(5)로 구성이 된다. The above-mentioned optical
상기 광원(4)은, 일정한 면적을 갖고 있는 볼록렌티큐라(5) 또는 렌티큐라조합체(5)의 전 면적에 대하여 균일하게 빛을 조사하도록 하는 것이 바람직하다. It is preferable that the
본 발명의 선광원 발생장치는 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체가 상대적인 움직임이 없이 고정이 된다는 특징이 있다. The present invention is characterized in that the light source, the convex lenticular or the combination of the light source and the lenticular are fixed without relative movement.
즉 광원과 볼록렌티큐라 또는 광원과 렌티큐라조합체가 하나의 고정된 프레임 안에서 고정되어 세팅이 되며 된다. That is, the light source and the convex lenticule or the combination of the light source and the lenticule are fixed in one fixed frame.
본 발명이 선광원 발생장치를 노광기에 장착시키는 경우에는, 상기 선광원 발생장치를 노광기의 필름에 대하여 상대적 이동을 시키는 것이 특징이다. When the present invention is applied to an exposure apparatus, the present invention is characterized in that the former is moved relative to the film of the exposure apparatus.
종래에도 렌티큐라를 활용한 노광기에 대한 기술이 있으나, 이는 렌티큐라를 필름을 밀착시켜 움직이지 않게 하고, 상부에 위치된 광원을 렌티큐라에 대하여 상대적 이동을 시키는 것이 있으나 본 발명은 이와는 큰 차이가 있다. Conventionally, there is a technique for an exposure apparatus utilizing Lenticular, but there is a method in which a lenticure is made to adhere to a film so as not to move, and a light source located at an upper portion is moved relative to Lenticular. However, have.
광원을 렌티큐라에 대하여 이동을 시키느냐, 고정을 하느냐는 물리적 현상을 해석함에 있어서 현격한 차이를 가진다.There is a remarkable difference in interpreting the physical phenomena of whether the light source is moved or fixed with respect to the lenticulars.
광원을 렌티큐라에 대하여 이동시키는 기술은 종래의 렌티큐라에 의하여 입체영상을 기록하는 카메라에 잘 나타나져 있다.The technique of moving the light source relative to the lenticule is well known to a camera for recording a stereoscopic image by a conventional lenticular.
볼록렌티큐라는 종래에 입체영상을 기록 또는 재현하는 기술에 사용이 밀접히 사용이 되어져 왔다. 입체영상을 기록하는 기술로서는 렌티큐라를 구성하는 각각의 렌티큐라 렌즈를 통하여 복수개의 이미지를 기록하는 입체영상카메라가 있다. [0002] Conventionally, the use of a convex lenticular lens has been used for recording or reproducing stereoscopic images. As a technique of recording stereoscopic images, there is a stereoscopic image camera that records a plurality of images through respective lenticular lenses constituting the lenticular.
이것은 피사체에 대하여 렌티큐라를 이동시키어서, 광각을 달리하는 복수개의 이미지를 하나의 필름 안에 기록을 하는 방법이다. 설명을 편리하게 하기 위하여광원을 피사체로 보면 된다.This is a method in which a plurality of images having different wide angles are recorded in one film by moving the lenticule relative to the subject. For convenience of explanation, the light source may be viewed as a subject.
광원을 렌티큐라에 대하여 상대적 이동을 시키는 기술은 이러한 입체영상기술을 응용한 것이다.The technique of relatively moving the light source relative to the lenticule is based on this stereoscopic imaging technique.
그러나 본 발명은 광원을 렌티큐라에 대하여 고정시킨 것으로, 렌티큐라를 구성하는 각각의 렌티큐라 렌즈를 통하여 광각을 달리하는 빛을 모두 사용하는 것이 아니라, 볼록렌티큐라의 중앙부 부근의 수직광을 가능케 하는 부분만을 집중적으로 사용을 하는 특징이 있다.However, in the present invention, the light source is fixed with respect to the lenticular, and instead of using all the light beams having different light angles through the respective lenticular lenses constituting the lenticular lens, There is a characteristic that only the part is used intensively.
즉, 본 발명의 선광원 발생장치는 광원과 렌티큐라가 하나의 고정체로 세팅하여 상대적인 이동을 하지 않게 하고, 노광기에 본 발명을 적용시키었을 경우에는,본 발명의 선광원 발생장치를 필름에 대하여 상대적 이동을 시키는 것이다. That is, in the present invention, when the light source and the lenticular are set as one fixture so as not to move relative to each other and the present invention is applied to the exposure apparatus, Relative movement.
이것은 종래의 볼록렌티큐라와 필름을 밀착시켜 움직이지 않게 한 상태에서, 광원을 볼록렌티큐라에 대하여 상대적 이동을 시키는 것과는 큰 차이가 있다는 것이다. This means that there is a big difference between moving a convex lenticule and a film relative to a convex lenticule in a state in which the film is in close contact with a conventional convex lenticular.
광원을 볼록렌티큐라에 대하여 상대적으로 이동을 시키면, 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 하부에 존재하는 필름 상에는 광원의 이동에 의하여 집광되어진 빛이 상기 광원의 이동경로에 부응하여 순차적으로 이동을 한다. When the light source is relatively moved with respect to the convex lenticular, the light focused by the movement of the light source moves sequentially in response to the movement path of the light source on the film existing under each lens of the convex lenticular.
이 원리는 볼록렌티큐라에 의하여 복수개의 상이 기록이 되는 입체영상을 촬영할 수가 있게 되는 것과 같다. 이 경우에는 집광된 빛이라 하더라도, 볼록렌티큐라의 위치에 따라 빛의 강약이 달라지며, 이러한 현상으로는 이상적인 균일한 집광된 빛을 얻기란 불가능 하다.This principle is like that it is possible to take a stereoscopic image in which a plurality of images are recorded by the convex lenticular. In this case, even if the light is condensed, the intensity of the light changes depending on the position of the convex lenticular, and it is impossible to obtain an ideal uniform condensed light by this phenomenon.
상기 선광원 발생장치(2)는 선광원 발생장치 이송수단(3)에 의하여 선광원 발생장의 이동이 가능케 된다. The optical line source generating device (2) is capable of moving the optical source line generation source by means of the optical line source generating device (3).
상기 선광원 발생장치 이송수단(3)의 실시예로는 다양한 형태를 구성을 할 수가 있음은 물론이다. It is needless to say that the embodiments of the light source generating device transfer means 3 can be configured in various forms.
도시된 것처럼 슬라이더 봉을 이용하여 모타의 구동으로 이송이 되는 것도 가능하다. 본 발명에서 상기 선광원 발생장치 이송수단(3)을 구성하지 않을 경우에는, 상기 선광원 발생장치는 정지한 상태로 있고, 상기 선광원 발생장치의 하부에 있는 기판구조물을 이동시키도록 할 수가 있음도 물론이다.It is also possible that the slider rod is used to drive the motor as shown in FIG. In the present invention, when the linear light source generating device transfer means 3 is not configured, the linear light source generating device is in a stopped state and the substrate structure located under the linear light source generating device can be moved Of course.
노광기에서 기판구조물(9)은 상기 선광원 발생장치의 하부에 위치하는 구조물에 대한 총칭으로 정의한다. 즉 본 발명에서의 기판구조물(9)이란 감광재가 도포되어진 평판을 지지하거나, 이동시키는 등의 기능을 감당하는 다양한 형태의 구조물을 대표하여 표현한 것이다. In the exposure machine, the
기판구조물(9)의 구체적인 한 실시예로서는 노광기에 구성된 롤러에 의하여 릴상으로 감겨진 상태로 있는 감광재 시트가 평판으로 펼쳐지면서 연속적으로 노광작업이 이루어지도록 구성하는 것이 일반적인 형태이다.As a specific example of the
기판구조물 위에는 감광재가 도포되어진 기판이 탈착가능하게 위치되며, 상기 감광재가 도포되어진 기판의 위에는 패턴이 형성된 필름이 위치된다. A substrate on which a photosensitive material is coated is detachably placed on the substrate structure, and a film on which the pattern is formed is placed on the substrate to which the photosensitive material is applied.
노광기에서의 노광작업 중에는, 기판구조물과 감광재가 도포되어진 기판과 상기 감광재가 도포되어진 기판위에 위치되는 필름은 상대적인 움직임이 없도록 고정 상태로 작업을 진행하는 것이 바람직하다.During the exposure operation in the exposure machine, it is preferable that the substrate having the substrate structure and the photosensitive material coated thereon and the film disposed on the substrate coated with the photosensitive material proceed in a fixed state so that there is no relative movement.
물론 상기 감광재가 도포된 기판 위에는 패턴이 형성되어진 필름이 상기 기판과 진공압 등의 수단에 의하여 밀착되어 있는 것이 바람직하다. Of course, it is preferable that the film on which the pattern is formed is closely adhered to the substrate by means of vacuum pressure or the like on the substrate coated with the photosensitive material.
본 발명에서 설명의 편의를 위하여 감광재가 균일하게 도포된 판을 기판이라하며 상기 기판이 편편하게 펼쳐진 상태를 평판이라 설명하기도 한다. For convenience of explanation, the plate coated with the photosensitive material uniformly is referred to as a substrate, and a state in which the substrate is flatly spread is also referred to as a flat plate.
일반적으로 감광재를 감광시키려 할 경우에는, 패턴이 형성된 필름(6)의 하부에 감광재(7)가 균일하게 도포되어진 평판(8)을 기판 구조물(9) 위에 위치시킨 후, 선광원 발생장치를 사용하여 상기 감광재를 노광시키게 된다. Generally, in order to sensitize the photosensitive material, after the flat plate 8, on which the
감광재가 균일하게 도포되어진 기판은 다양한 형태를 가질 수가 있다. 감광재가 얇게 도포되어진 시트상의 형태로 존재할 수가 있다. 물론 상기 시트상의 기판이 롤상으로 감겨져 있는 것도 있다. 또는 변형이 되지 않는 고형의 기판에 감광재가 얇게 도포되어진 형태도 있다.The substrate to which the photosensitive material is uniformly applied may have various shapes. The photosensitive material may exist in the form of a thinly coated sheet. Of course, the sheet-like substrate may be wound in a roll form. Or a form in which the photosensitive material is thinly coated on a solid substrate which is not deformed.
선광원 발생장치를 통하여 빛이 패턴이 형성되어진 필름을 통하여 조사되며, 상기 조사되어진 빛에 의하여 필름에 형성된 패턴의 형상대로 감광재는 노광되게 된다.The light is irradiated through a film having a pattern formed thereon through a light source, and the photosensitive material is exposed according to the shape of the pattern formed on the film by the irradiated light.
본 발명의 선광원 발생장치(2)는 빛을 발하는 광원(4)과 상기 광원 하부에 위치하는 렌티큐라(5)로 구성 된다. 물론 본 발명의 선광원 발생장치에 추가적으로 기능이 부가되어 다른 구성요소가 첨가될 수가 있음은 물론이며, 이 같이 선광원 발생장치에 기타 구성요소가 첨가 되더라도, 본 발명의 핵심요소인 광원(4)과 상기 광원 하부에 위치하는 렌티큐라(5)를 포함하고 있으면 본 발명의 권리에 포함이 된다 하겠다. The present invention relates to a linear light source generating apparatus (2) comprising a light source (4) emitting light and a lenticule (5) located below the light source. It is needless to say that other functions may be added to the optical line generator of the present invention so that other components can be added. Even if other components are added to the optical line generator, the
본 발명의 선광원 발생장치는 크게 두 가지의 형태로 대별된다. 이에 따라 이하에서는 두 가지의 형태로 분류하여 본 발명의 선광원 발생장치를 설명한다. The light source generating apparatus of the present invention can roughly classified into two types. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
첫째, 선광원 발생장치에 사용이 되는 렌티큐라는 단 한개의 렌티큐라로서 구성이 되며, 이때 사용되는 렌티큐라는 일반적인 볼록렌티큐라이다. First, it is constituted as one lenticurea called Lenticule which is used in the source of light of the source of light. It is a common lenticule called Lenticule which is used at this time.
둘째, 선광원 발생장치에 사용이 되는 렌티큐라가 렌티큐라조합체로서 구성이 되며, 이때 사용되어지는 렌티큐라는 복수개가 배열되어 사용이 된다. Second, the lenticurea used for the source of light of the luminous source is configured as a combination of lenticureas, and a plurality of lenticules used at this time are arranged and used.
이 경우 가장 일반적인 형태의 구성으로 가장 위에는 볼록렌티큐라가 구성되며, 상기 볼록렌티큐라의 하부에 오목렌티큐라가 배열이 되어진다. In this case, the most common configuration is a convex lenticule at the top, and a concave lenticule is arranged at the bottom of the convex lenticule.
이때 오목렌티큐라의 숫자는 하나 또는 두 개 이상의 형태가 사용이 되는데, 집광되어진 라인상의 빛의 분할 수를 많게 하려면 오목렌티큐라의 숫자를 증가시키면 된다.At this time, the number of the concave lenticule is one or more than two, and in order to increase the number of divided light beams on the condensed line, the number of concave lenticulars is increased.
본 발명의 설명에서는, 먼저 첫째 형태의 선광원 발생장치를 설명하고, 본 발명의 또 다른 실시예로서 나중에 둘째의 형태 선광원 발생장치를 설명키로 한다.In the description of the present invention, first, a first form of a circular light source generating apparatus will be described, and as a further embodiment of the present invention, a second form circular light generating apparatus will be described later.
본 발명의 선광원 발생장치를 이용하여 노광기를 만들 경우, 선광원 발생장치는 패턴이 형성된 필름의 상부에 위치시킨다.When the aligner is manufactured by using the extruder of the present invention, the extruder is positioned above the patterned film.
연속적인 노광작업을 수행하기 위하여 상기 선광원 발생장치는 상기 필름과 소정거리 이격되어 위치시켜, 필름에 대하여 마찰 없이 상대적인 이동이 가능하도록 구성을 한다.In order to perform a continuous exposure operation, the linear light source device is positioned at a predetermined distance from the film so that the film can be relatively moved without friction.
물론 작업의 속도가 떨어지지만 더욱 초정밀한 작업을 위한 장치를 만들기 위한 목적으로는 이송장치를 구비하지 않는 것이 당연하며 이 역시 본 발명의 범주에 속한다 하겠다. Of course, though the speed of the work is lowered, it is natural that it is not provided with a conveying device for the purpose of making a device for a more precise work, and this also belongs to the category of the present invention.
선광원 발생장치와 필름이 정지된 상태로 노광작업을 수행할 경우에는 선광원 발생장치는 필름과의 간격을 최대한 줄이며 밀착하여 작업을 진행하면 할수록 더 정확한 노광이 가능한 것은 물론이다.In the case of performing the exposure work with the source of light of the source of light and the film being stopped, the distance between the source of light and the film is minimized, and more precise exposure is possible as the work is carried out closely.
노광기는 상기 패턴이 형성된 필름(6)의 하부에 감광재(7)가 균일하게 도포되어진 평판(8)이 놓여진다.In the exposure machine, a flat plate 8 on which the
상기 평판(8)은 회로 패턴을 형성하기 위한 기판이다. 상기 평판의 상부에는 감광층이 형성된다. 감광층의 상부에 있는 필름의 패턴의 형상대로 감광재가 노광이 된다.The flat plate 8 is a substrate for forming a circuit pattern. A photosensitive layer is formed on the flat plate. The photosensitive material is exposed in the shape of the pattern of the film on the upper side of the photosensitive layer.
평판 상부의 감광층에 빛이 조사되도록 하기 위하여, 본 발명의 선광원 발생장치(2)는 필름의 상부에 배치된다. 노광작업 중에는 패턴이 형성된 필름(6)은 감광재(7)가 도포된 평판(8)의 상면에 밀착되는 것이 바람직하다.In order to allow light to be irradiated onto the photosensitive layer on the upper surface of the flat plate, the luminous
상기 필름(6)은 투명부와 불투명부로 패턴이 이루어져 있다. The
선광원 발생장치(2)로부터 필름(6)으로 빛이 조사되면, 필름의 투명부는 빛이 투과되고 불투명부는 빛을 차단하게 된다. 선광원 발생장치(2)를 통하여 조사되어진 집광되어진 수직광은 필름(6)의 투명부를 통하여 감광재를 정밀하게 경화시키게 된다. When light is irradiated from the linear
노광작업 후에는 감광재가 노광되지 않은 부분 즉, 경화되지 않은 부분을 물 또는 현상액으로 제거하여 평판(8)에 회로 패턴을 형성한다.After the exposure operation, the exposed portion of the photosensitive material, that is, the uncured portion is removed with water or a developer to form a circuit pattern on the flat plate 8. [
도 2는 일반적인 볼록렌티큐라를 보여주는 사시도이다.2 is a perspective view showing a general convex tentacle.
볼록렌티큐라(10)는 도 2에서 도시된 바와 같이 단면이 볼록부를 가지는 기둥형상이 연속적으로 이어져 있는 모양이다. As shown in Fig. 2, the convex portion of the convex portion of the
즉 길게 형성된 기둥형상의 다수개의 각각의 볼록렌티큐라 렌즈(11)들이 측면으로 연속적으로 이어져 있는 형상이다. That is, each of the plurality of convex
종래에는 이러한 형상의 볼록렌티큐라는 입체영상스크린으로 제작되기도 하였다.Conventionally, a stereoscopic image screen such as a convex tentacle having such a shape has been produced.
도 3은 광원의 빛이 볼록렌티큐라를 통과하게 되면 집광되어지는 상태를 보여주는 도면이다. FIG. 3 is a view showing a state in which light is condensed when the light of the light source passes through the convex cantilever.
볼록렌티큐라의 각각의 렌티큐라 렌즈(13,14)는 광원(12)의 빛을 집광시키는 성질이 있다. Each of the
볼록렌티큐라의 하부에 감광층을 밀착시킨 후, 광원의 빛을 조사하게 되면, 상기 집광되어진 빛은 감광층(15)에 작용하여 빛이 집광되어진 부분에 노광부(16)를 형성시킨다. After the photosensitive layer is closely attached to the lower portion of the convex lenticular, when the light of the light source is irradiated, the condensed light acts on the
즉, 볼록렌티큐라를 통하여 빛을 조사시키면, 렌티큐라와 밀착되어진 감광층에는 노광부와 비노광부가 배열을 하게 된다. That is, when light is irradiated through the convex lenticule, the exposed portion and the non-exposed portion are arranged in the photosensitive layer adhered to the lenticule.
볼록렌티큐라는 한쪽 표면에는 평면이 구성되고, 다른 한쪽 표면에는 길이 방향으로 볼록렌즈가 구성된 원기둥의 형상의 볼록렌즈들이 복수개 옆으로 연이어 이어져 있는 투명체로 설명을 할 수가 있다. It can be explained as a transparent body in which a plurality of convex lenses having a cylindrical shape in which a plane is formed on one surface of a convex lenticular lens and a convex lens is formed in a longitudinal direction on the other surface are arranged side by side.
볼록렌티큐라는 상기 볼록렌티큐라를 구성하는 각각의 볼록렌즈의 기능을 통하여 라인 상의 형태로 빛을 집광시키는 고유기능이 있다.There is a unique function of condensing light in the form of a line through the function of each convex lens constituting the convex lenticule called the convex lenticular.
도시된 바와 같이, 광원(12)의 빛이 볼록렌티큐라를 통하여 비추어 지면 렌티큐라에 형성된 볼록렌즈(13,14)에 의해 볼록렌즈의 초점을 향하여 빛이 집광되어 진다. As shown in the figure, when the light of the
감광재(15)에 집광되어지는 빛은 볼록렌티큘라의 볼록렌즈의 곡률과 감광재 사이의 거리(a)를 조절하여 다양한 기능을 추구할 수가 있다.The light focused on the
감광층에는 상기 집광되어진 빛에 의하여 노광부(16)가 형성된다.In the photosensitive layer, an exposing
도 4는 볼록렌티큐라에서 각각의 렌티큐라 렌즈의 중앙부 부근에서 발생하는 수직광을 설명하기 위한 도면이다. 4 is a view for explaining vertical light generated in the vicinity of the central portion of each lenticular lens in the convex lenticular.
볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 곡면을 통하여, 상부에서 받은 빛은 곡률에 상응하는 형태로 집광되어 하부로 전달된다. Through the curved surfaces of the respective lenses of the convex lenticular lens, the light received from the upper portion is condensed in a form corresponding to the curvature and transmitted to the lower portion.
이때, 볼록렌티큐라를 구성하는 각각의 렌즈의 정 중앙부 부근에 조사되는 빛은 굴절작용이 극히 미세한 상태로 하부 방향으로 거의 수직으로 내려간다. At this time, the light irradiated near the central part of each lens constituting the convex lenticular is almost vertically downward in a state in which the refraction action is extremely fine.
볼록렌티큐라를 구성하는 각각의 렌즈의 정 중앙부에서 벗어난 곡면부에서는 빛이 일정 각도씩 굴절되어 하부로 내려감으로써 빛의 집광이 일어나게 되는 것이다. 각각의 렌즈의 정 중앙부에서 멀어지면 멀어질수록 굴절되는 각도가 크게 된다. In the curved portion of each lens constituting the convex lenticular, the light is refracted at a certain angle at a certain angle, and then the light is converged by being lowered to the lower portion. The farther away from the center of each lens, the greater the angle of refraction becomes.
본 발명에서 수직광 렌티큐라는 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 중앙부 부근의 영역만으로 구성이 되는 볼록렌티큐라를 의미한다.In the present invention, the term " convex lenticular " refers to a convex lenticular lens composed of only a region near the central portion of each lens of the convex tentacle.
본 발명에서 수직광 렌티큐라에 조사되어지는 빛은 거의 수직으로 내려가는 기능을 한다. 이 경우에도 빛의 집광작용이 전혀 없는 것이 아님은 물론이다. In the present invention, the light irradiated to the vertical light lenticular is almost vertically downward. In this case, of course, there is no light concentrating action at all.
본 발명에서 수직광 렌티큐라는 각각의 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부 부근의 영역들만 절단하여, 이들만을 이어서 만든 볼록렌티큐라로 설명을 할 수가 있다.In the present invention, only the regions near the central portion of each of the convex lenticular lenses called the vertical optical lenticular lens are cut out, and only the convex lenticular lens can be described as a convex lenticular lens.
수직광 렌티큐라는 상부에서 조사되는 빛을 거의 수직으로 집광시켜서 하부로 전달하는 기능을 하게 된다.The vertical light Lens Tucker functions to concentrate the light radiated from the upper portion almost vertically and transmit it to the lower portion.
본 발명에서 각각의 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부 영역이란 정확히 볼록렌티큐라 렌즈의 정 중앙부만을 의미하는 것이 아니라, 정 중앙부를 중심으로 하여 좌우의 작은 범위의 영역을(18) 포함하는 것으로 정의한다.In the present invention, the central region of each of the convex lenticular lenses does not exactly mean the central portion of the lens but is defined as including a region of the right and left small regions around the center of the lens.
이러한 각각의 볼록렌티큐라 렌즈의 정 중앙부를 중심으로 하여, 그 좌우의 일정범위 영역(18)에서는 상부에 위치한 광원(17)에서 받은 빛은 거의 수직방향으로 집광되어 하부로 조사된다. The light received from the
즉 볼록렌티큐라 렌즈의 정 중앙부를 중심으로 하여, 그 좌우의 일정범위 영역(18)에서는볼록렌티큐라의 각각의 렌즈에서 빛의 굴절작용이 최소로 일어나며, 이 영역에서는 조사되어진 빛은 거의 수직으로 집광되어 조사 된다. In other words, in the
볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 정 중앙부 부근의 영역을 통하여 수직방향으로만 빛이 집광되어진 것을 본 발명에서는 수직광이라 정의한다. 본 발명에서 정의하는 수직광이란 거의 수직에 가까운 것을 의미한다.In the present invention, the light is condensed only in the vertical direction through the region near the central portion of each lens of the convex lenticule, which is defined as vertical light. The vertical light defined in the present invention means almost vertical.
본 발명의 선광원 발생장치에서 사용되는 볼록렌티큐라의 형태는, 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 정 중앙부 부근의 영역만을 모은 수직광 렌티큐라 만을 의미하지는 않는다. The shape of the convex lenticule used in the linear light source device of the present invention does not mean only the vertical lenticulacular that only collects the area near the center of each lens of the convex lenticular.
본 발명은 다양한 형태의 볼록렌티큐라를 사용할 수가 있다. 그 경우에, 각각의 형태에 따라서 선광원 발생장치의 효율은 떨어질 수 있어나 이들 역시 본 발명의 영역에 속한다 하겠다.The present invention can use various types of boro-tentilicurates. In that case, the efficiency of the optical circulator generating apparatus may decrease according to each mode, and these also belong to the scope of the present invention.
만약 볼록렌티큐라의 하부에 감광층을 두고, 수직광 렌티큐라로 구성한 선광원 발생장치를 통하여 빛을 조사시키면, 상기 노광층(20)에는 상기 수직광에 의하여 노광부가 형성된다. 이 때의 노광부를 본 발명에서는 수직광 노광부(19)라 한다.If a photosensitive layer is disposed under the convex portion of the convex lens and the light is irradiated through a linear light source including a vertical optical lenticular, an exposure portion is formed in the
광원(17)에서 조사되어지는 빛을 최소의 굴절작용으로 하부면에 대하여 거의 수직방향으로 빛이 집광되도록 하는 볼록렌티큐라를 본 발명에서는 수직광 렌티큐라라고 정의한다.A convex lenticule is defined as a vertical lenticule in the present invention in which the light emitted from the
또한 볼록렌티큐라에 있어서, 빛이 최소의 굴절작용으로 하부 평면에 대하여 거의 수직방향으로 집광되어 조사되는 볼록렌티큐라의 각각의 렌티큐라 렌즈의 영역을 렌티큐라의 수직광 영역(18)이라 정의한다.Also, in the convex lenticule, the area of each lenticule lens of the convex lenticule is defined as the
따라서 각각의 렌티큐라 렌즈의 정 중앙부를 중심으로 좌우의 작은 일정 범위의 영역(18)이 렌티큐라 렌즈의 수직광 영역이 되는 것이다.Therefore, the
도 5는 본 발명의 수직광 렌티큐라의 실시예의 구성을 설명하는 설명도이다. 5 is an explanatory view for explaining a configuration of an embodiment of the vertical optical lenticular according to the present invention.
본 발명에서의 수직광 렌티큐라는, 다양한 형태의 실시예로 구성이 가능하다.The vertical optical lenticular according to the present invention can be configured in various embodiments.
도 5는 각각의 볼록렌티큐라 렌즈의 수직광 영역(21)만 이어져서 만들어진 볼록렌티큐라이다. 이는 가장 대표적인 수직광 렌티큐라의 형태이다. 5 is a convex lenticular formed by connecting only the vertical
본 발명의 수직광 렌티큐라는 상부에 위치한 광원의 빛을 집광시키서 하부로 거의 수직으로 전달하는 특징이 있다. The vertical light lens of the present invention is characterized in that the light of the light source located at the upper portion is condensed and is transmitted almost vertically to the lower portion.
본 실시예의 수직광 렌티큐라는 각각의 렌티큐라 렌즈의 정 중앙부를 중심으로 좌우의 작은 일정범위의 형상을 바이트로 제작하여 기계적으로 제작을 할 수도 있으며, 레이저 가공 등 다양한 방법으로 행할 수가 있다. The vertical light Lenticular lens of this embodiment can be manufactured mechanically by forming a small constant range shape on the left and right sides of the central portion of each lenticular lens, and can be manufactured by various methods such as laser machining.
또 다른 방법으로는 수직광 렌티큐라 렌즈를 소량 제작 후, 복사하여 연결하여 제작할 수도 있다.As another method, a vertical lenticular lens can be manufactured by making a small amount of lenses, then copying and connecting them.
수직광 렌티큐라의 피치는 일반적인 볼록렌티큐라의 피치의 크기에 비하여 작을 수밖에 없다. 왜냐하면 일반적인 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈의 정 중앙부 부근의 영역만으로 렌티큐라 렌즈를 구성하기 때문이다. The pitch of the vertical light lenticule is inevitably smaller than the pitch of a typical convex lenticular. This is because the lenticular lens is constituted only by the region near the central portion of each lens of the common convex lens.
본 발명에서의 수직광 렌티큐라의 피치는 수십 미크론의 크기로 극히 작은 피치로 구성하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the pitch of the vertical light lenticular is set to a very small pitch with a size of several tens of microns.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예로서 볼록렌티큐라에 렌즈차폐물을 구성하여 수직광 렌티큐라를 구현하는 방법의 설명도이다.FIG. 6 is an explanatory diagram of a method of forming a lens shield in a convex tentacle to realize a vertical optical lenticular as another embodiment of the present invention.
본 실시예에서는 각각의 볼록렌티큐라 렌즈의 수직광 영역(25)을 제외한 부분에는 불투명 차폐물(24)을 충진시켜 빛의 통과를 차폐시키는 것이 특징이다. In this embodiment, the
즉, 각각의 렌티큐라 렌즈의 수직광 영역 이외의 영역에는 불투명 차폐물을 형성시켜서 수직광 렌티큐라를 구성하는 것이다. That is, opaque shields are formed in regions other than the vertical light region of each lenticular lens, thereby constituting a vertical light lenticular.
만약 수직광 렌티큐라의 하부에 감광층을 두게 되면, 조사되어진 빛은 각각의 렌티큐라 렌즈의 수직광 영역(25)만을 통하여 감광층(27)에 노광부(26)가 형성된다. If the photosensitive layer is placed under the vertical light cantilever, the irradiated light is formed in the
*도 7은 본 발명의 또 다른 실시예로서 볼록렌티큐라의 하부에 형성된 광투과 슬리트를 통하여 수직광을 구현하는 수직광 렌티큐라를 설명하는 설명도이다. 7 is an explanatory diagram illustrating a vertical light lenticular according to another embodiment of the present invention, which realizes vertical light through a light transmitting slit formed under the convex lenticular.
볼록렌티큐라의 하부에는 광투과 슬리트가 구성된다. 상기 광투과 슬리트는 각각의 볼록렌티큐라 렌즈(29)의 정 중앙부의 하부에 구성이 된다. At the bottom of the convex lenticular, a light transmitting slit is formed. The light transmitting slit is formed at the lower part of the central portion of each convex
상기 광투과 슬리트는 각각의 렌티큐라 렌즈의 길이방향을 따라서 길게 홈이 형성되거나 투명부로 형성이 된다. The light transmitting slit may have a long groove or a transparent portion along the longitudinal direction of each lenticular lens.
슬리트 지지체(30)를 통하여 광투과 슬리트가 지지되며 형성된다.And the light transmitting slit is supported and formed through the
조사되는 빛은 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈(29)를 거쳐서 집광되며, 집광되어진 빛은 슬리트 지지체(30)에 형성된 광투과 슬리트를 통하여 집광된 빛의 중앙부분만 하부로 통과시키게 된다.The light to be irradiated is condensed through each
만약 광투과 슬리트의 하부에 감광층을 두면, 통과된 집광된 빛은 감광재가 도포된 감광층(31)에 조사되어 노광부(33)을 형성한다. If the photosensitive layer is placed under the light transmitting slit, the collected condensed light is irradiated to the photosensitive layer 31 coated with the photosensitive material to form the exposed
본 발명의 또 다른 실시예로서, 상기 도 6의 렌티큐라의 렌즈차폐물과 상기 도 7의 렌티큐라의 광투과 슬리트를 동시에 실시하여 렌티큐라에 구성하는 것이 있다.In another embodiment of the present invention, the lens shield of the Lenticular lens shown in FIG. 6 and the light transmitting slit of the Lenticular lens shown in FIG. 7 are simultaneously formed in a lenticular.
본 발명에서는, 수직광 영역만을 가지는 볼록렌티큐라 렌즈가 적어도 하나 이상을 포함하는 경우에는 이를 수직광 렌티큐라라고 칭하기로 한다.In the present invention, when a convex lenticular lens having only a vertical light region includes at least one lens, it is referred to as a vertical lenticular lens.
일반적으로 렌티큐라는 수없이 많은 렌즈가 길이방향으로 동일한 단면을 가지도록 구성된다. In general, many lenses called Lenticular lenses are configured to have the same cross section in the longitudinal direction.
본 발명에서는 렌티큐라의 렌즈의 갯수가 적어도 하나 이상이기만 하면 렌티큐라라고 칭하는 것으로 한다. In the present invention, if the number of lenses of the lenticular lens is at least one, it is referred to as lenticular.
따라서 렌티큐라의 렌즈의 갯수가 하나인 렌티큐라도 본 발명에 속함은 물론이다. Therefore, it is a matter of course that the present invention also encompasses Lenticular lenses in which the number of lenticular lenses is one.
그러나, 수직광 영역을 가지는 볼록렌티큐라 렌즈의 갯수가 많으면 많을수록 노광시간은 짧아지게 됨은 당연하다. However, the larger the number of the convex lenticular lenses having the vertical light region, the shorter the exposure time becomes.
또한 본 발명의 모든 실시예에 있어서, 렌티큐라의 상부에 프레넬 렌즈를 위치시켜 보다 효율적인 빛의 활용을 유도할 수가 있다. 이 역시 본 발명의 실시예에 속한다 하겠다.In addition, in all the embodiments of the present invention, the Fresnel lens can be placed on the upper portion of the lenticular to induce more efficient utilization of light. This also belongs to the embodiment of the present invention.
본 발명의 선광원 발생장치의 개념은 너무나 중요하다. 본 발명의 선광원 발생장치는 광원과 볼록렌티큐라를 포함하는 것으로 구성되며, 상기 광원과 상기 볼록렌티큐라는 상대적으로 이동되지 않고 고정되어져 있는 것을 특징으로 한다. The concept of the optical circulator generating apparatus of the present invention is so important. The present invention is characterized in that the optical circulator generating device comprises a light source and a convex tentacle, and the light source and the convex tentacle are fixed without being relatively moved.
또한 본 발명의 또 다른 실시예로서 선광원 발생장치는, 광원과 렌티큐라조합체를 포함하여 구성되며, 상기 광원과 상기 렌티큐라조합체는 상대적으로 이동되지 않고 고정되어져 있는 것을 특징으로 한다. 이의 구성에 대하여서는 후술키로 한다.According to still another embodiment of the present invention, there is provided a linear light source generating apparatus including a light source and a lenticule combination, wherein the light source and the lenticule combination are fixed without being relatively moved. The constitution thereof will be described later.
본 발명에서의 광원은 다양하다. The light sources in the present invention are various.
LED와 레이져 광원뿐만 아니라 기존의 모든 형태의 발광체가 포함됨은 당연하다. It is natural that LEDs and laser light sources as well as all existing types of illuminants are included.
본 발명에서 사용되는 광원은 다수개의 점광원으로 구성을 할 수도 있으며, 선광원의 형태나 면광원 형태의 것으로 구성을 시킬 수도 있다. The light source used in the present invention may be constituted by a plurality of point light sources, or may be configured in the form of a linear light source or a surface light source.
광원은 볼록렌티큐라의 상부 전 면적에 대하여 또는 렌티큐라조합체의 상부 전 면적에 대하여 고루 조사하도록 구성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the light source is configured to be uniformly irradiated to the entire upper surface of the convex lenticule or to the entire upper surface area of the lenticure combination.
본 발명에서는 광원에서 발하는 빛이 렌티큐라를 통하여 필름에 조사되어 지면, 필름에 조사되는 빛은 복수개의 라인형상의 빛으로 보인다. 즉 렌티큐라를 구성하는 렌티큐라 렌즈의 갯수에 대응한 라인의 개수가 필름에 조사된다. In the present invention, when the light emitted from the light source is irradiated onto the film through the lenticular, the light irradiated on the film appears as a plurality of line-shaped lights. That is, the number of lines corresponding to the number of lenticular lenses constituting the lenticular is irradiated to the film.
상기의 라인상으로 조사되어진 빛을 대 면적의 필름 전체에 고루고루 조사하기 위하여서는, 상기 선광원 발생장치가 필름에 대하여 상대적인 이송이 필요가 된다. In order to uniformly irradiate the light irradiated onto the above-mentioned line over the large-area film, it is necessary to relatively transfer the light source device to the film.
따라서 본 발명의 선광원 발생장치는 상기 선광원 발생장치를 이송시키는 이송수단이 포함되게 구성을 할 수가 있다. Therefore, the present invention can be configured to include a transfer means for transferring the optical source.
필름과 선광원 발생장치가 마찰없이 움직일 수가 있도록 하기 위하여 상기 필름과 선광원 발생장치는 소정거리 이격되도록 구성한다. In order to allow the film and the circular light source generating device to move without friction, the film and the circular light source generating device are configured to be spaced apart from each other by a predetermined distance.
본 발명은 선광원 발생장치와 필름과의 상대적인 이동을 통하여 대 면적의 노광부를 형성할 수가 있다. The present invention can form a large-area exposed portion through relative movement between the linear light source generating device and the film.
선광원 발생장치는, 노광기의 경우에는 필름의 상부에 위치된다. 보통의 경우, 선광원 발생장치가 필름과 조금 이격되어 선광원 발생장치와 필름의 상대적인 이동이 가능하게 구성이 된다. The luminous source generating device is located on the top of the film in the case of an exposure machine. Generally, the optical source generator is slightly spaced from the film so that the optical source generator and the film can be moved relative to each other.
그러나 만약에 선광원 발생장치를 고정시키는 경우에는, 하부에 형성되는 기판구조물을 이동시키면 된다. 선광원 발생장치 또는 기판구조물 중 어느 하나라도 이동이 가능하면 본 발명의 이송은 만족이 된다. However, in the case of fixing the light source device, the substrate structure formed at the lower portion may be moved. The transfer of the present invention is satisfactory if either the source of light source or the substrate structure is movable.
선광원 발생장치가 좌우 방향 또는 전후 방향으로의 이송시킴으로 인하여 빠른 시간에 감광부 전체가 고루 노광이 될 수가 있게 된다. Since the light source device is moved in the left-right direction or the back-and-forth direction, the entire light-sensitive portion can be exposed in a short period of time.
본 발명은 폭이 넓은 가공물에 대하여 신속한 노광작업을 진행할 수가 있게 한다. 본 발명의 선광원 발생장치는 필름에 대하여 스캔하듯이 이송하여 신속한 작업을 할 수가 있다. The present invention makes it possible to perform a rapid exposure work on a wide workpiece. The linear light source device of the present invention can be transported in a scanning manner on a film to perform a rapid operation.
만약 시트에 감광재가 얇게 도포되어 롤 형상으로 감겨져 있는 기판의 경우에도 스캔하듯이 신속한 작업을 진행할 수가 있다.Even in the case of a substrate in which a photosensitive material is thinly coated on a sheet and rolled up in a roll shape, it is possible to perform a rapid operation as a scan.
그러나 특별한 경우에는 상기 선광원 발생장치를 필름과의 상대적인 이동이 없이 작업을 진행할 수 있도록 구성할 수가 있다. However, in a special case, the above-mentioned light source generating device can be configured to be able to proceed without relative movement with the film.
본 발명에서 선광원 발생장치의 이송수단의 구체적 실시예로서는, 선광원 발생장치에 레일부와 구동부를 구성할 수가 있다. 구동부는 구동기어를 갖는 구동모터로 이루어지며, 레일부에는 구동기어가 맞물리는 렉기어가 형성될 수 있다. In the present invention, as a specific embodiment of the conveyance means of the concentrator, it is possible to constitute the rail portion and the driving portion in the concentrator generating device. The driving portion is composed of a driving motor having a driving gear, and a lever having a driving gear engaged with the rail portion may be formed.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 선광원 발생장치는 렌티큐라의 집광기능을 사용함으로써 감광재의 두께가 수십 마이크론 이상이 되더라도 깨끗한 노광이 가능하며, 회로의 피치가 수 마이크론 일지라도 깨끗한 노광이 가능하며 불량이 없고 선명한 회로의 구성이 가능하다. As described above, according to the present invention, by using the condensing function of Lenticular, it is possible to perform a clear exposure even if the thickness of the photosensitive material is several tens of microns or more, and it is possible to perform a clear exposure even if the pitch of the circuit is several microns There is no defect and it is possible to construct a clear circuit.
본 발명에서 수직광에 의하여 조사되는 빛은 빛의 산란작용과 반사작용을 최대한 방지시킬 수가 있음으로 가장 이상적으로 깨끗한 노광이 가능하다.In the present invention, light radiated by vertical light can maximally prevent scattering and reflection of light, so that it is possible to provide an ideal, clean exposure.
이하에서는 본 발명의 또다른 실시예로서, 선광원 발생장치를 광원과 렌티큐라 조합체로 구성하는 것을 설명한다. Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described in which the linear light source generating device is composed of a combination of a light source and a lenticule.
렌티큐라 조합체란 적어도 두개 이상의 렌티큐라를 상하로 배열시켜서 구성한 렌티큐라로 정의한다. A lenticurea combination is defined as a lenticurea consisting of at least two lenticulars arranged vertically.
렌티큐라 조합체의 가장 대표적인 실시예는 볼록렌티큐라의 하부에 적어도 하나 이상의 오목렌티큐라를 적층시켜서 만든 것이다. The most representative embodiment of the lenticurea combination is formed by laminating at least one concave lenticular on the lower part of the convex lenticular.
볼록렌티큐라와 오목렌티큐라의 조합체를 사용하면 더욱 정밀한 작업이 가능한 선광원 발생장치를 만들 수가 있다.By using a combination of a convex lenticular and a concave lenticular, it is possible to produce a concentric circle generating device capable of more precise working.
광원과 렌티큐라 조합체를 포함하여 구성되는 선광원 발생장치를 사용하면, 나노단위의 극히 미세한 폭을 가지는 집광된 라인형상의 빛까지 만들 수가 있다. When a luminous source generating device including a combination of a light source and a lenticule is used, condensed line-shaped light having an extremely minute width in units of nano can be produced.
이러한 광원과 렌티큐라 조합체를 포함하여 구성되는 선광원 발생장치를 이용하여 감광재가 도포된 기판에 빛을 조사하게 되면, 극히 미세한 폭의 라인형상의 빛을 감지할 수가 있게 된다.When a light source is irradiated to a substrate coated with a photosensitive material by using a luminous source generating device including a combination of a light source and a lenticure, an extremely fine line-shaped light can be detected.
우리가 일반적으로 알고 있는 볼록렌티큐라는 입체영상을 보는 중요한 수단중의 하나이다. 볼록렌티큐라는 투명한 소재로 제작이 되며, 한쪽의 면은 평면으로 구성이 되고, 다른 한 쪽의 면은 각각의 렌즈가 기둥형상으로 길게 구성된 것이 연속으로 나열이 된 것이다. It is one of the important means of seeing a stereoscopic image called a bolt lenchy which we commonly know. The lens is made of a transparent material called a convex tentacle, and one surface is constituted by a plane, and the other surface is constituted by a series of lenses each having a columnar shape.
본 발명에서 사용되는 오목렌티큐라의 정의를 다음과 같이 한다.The definition of the concave lenticular used in the present invention is as follows.
오목렌티큐라는 투명한 소재로 제작이 되며, 한쪽의 면은 평면으로 구성이 되고, 다른 한 쪽의 면은 렌즈가 골 모양으로 길게 구성이 된 것이 연속으로 나열이 된 것으로 정의한다.It is defined as being made of a transparent material called Oomori-Len Tikyu, with one side being made up of a plane, and the other side being made up of a continuous array of lenses with a long oval shape.
도 8은 오목렌티큐라의 사시도이다. 8 is a perspective view of a concave lenticular.
볼록렌티큐라의 기둥형상의 각각의 볼록렌즈에 대응하는 곳에, 골 형상의 각각의 오목렌즈를 형성한 것이 오목렌티큐라(34)이다.The
볼록렌티큐라와 오목렌티큐라가 적절히 배열이 되어서 조합된 렌티큐라 조합체에 빛을 조사하게 되면, 빛은 볼록렌티큐라를 통하여 집광되며, 상기 집광되어진 빛은 오목렌티큐라를 통하여 미세한 복수개의 빛으로 분할이 된다. When the convex lenticule and the concave lenticule are appropriately arranged and light is irradiated onto the combined lenticule assembly, the light is condensed through the convex lenticule, and the condensed light is divided into a plurality of minute lights through the concave lenticule .
도 9는 다양한 형태의 렌티큐라 조합체의 실시예이다.Figure 9 is an embodiment of various types of lenticular assemblies.
도 9a는 볼록렌티큐라의 하부에 오목렌티큐라를 배열한 형태이다. FIG. 9A shows a concave lenticule arranged at the lower part of the convex lenticular.
볼록렌티큐라(35)를 구성하는 기둥형상의 각각의 렌즈는 볼록렌즈의 기능을 하며, 완만한 곡률의 돌출부를 가진다. Each of the columnar lenses constituting the
볼록렌티큐라의 완만한 곡률의 돌출부의 중앙부를 본 발명에서는 산이라 칭한다. The central portion of the convex portion of the gentle curvature of the convex lenticular is referred to as an acid in the present invention.
볼록렌티큐라의 이웃하는 산과 산의 경계부에는 산 경계선이 형성이 된다. Mountain boundaries are formed at the boundary between the neighboring mountains and mountains of the convex lenticule.
오목렌티큐라(36)를 구성하는 골 형상의 각각의 렌즈는 오목렌즈의 기능을 하며, 완만한 곡률의 오목부를 가진다. Each of the bony lenses constituting the concave
오목렌티큐라의 완만한 곡률의 오목부의 중앙부를 본 발명에서는 골이라 칭한다. The central portion of the concave portion of the gentle curvature of the concave lenticular is referred to as a bone in the present invention.
오목렌티큐라의 골과 골의 경계부에는 골경계선이 형성이 된다. In the border of the goal and the goal of the lenticulea, a goal boundary line is formed.
도 9b는 볼록렌티큐라의 하부에 4개의 오목렌티큐라를 배열한 것이다. FIG. 9B shows the arrangement of four concave lenticules at the bottom of the convex lenticular.
오목렌티큐라를 배열하는 가장 대표적인 형태로는 볼록렌티큐라 하부에 오목렌티큐라를 동일한 형태로 복수개를 배열하는 것이다.The most typical form for arranging the concave lenticule is to arrange a plurality of concave lenticulars in the same form under the convex lenticule.
도 9b는 하나의 볼록렌티큐라(37)의 하부에 4개의 오목렌티큐라(38,39,40,41)의 배열을 다양한 형태로 배열을 할 수가 있음은 보여준다.9B shows that the arrangement of the four
오목렌티큐라를 뒤집어 배열을 하면 다양한 효과를 낼 수가 있다. You can make various effects by arranging the inverted lenticule.
도 9c는 볼록렌티큐라의 하부에 오목렌티큐라를 배열하고, 상기 오목렌티큐라의 하부에는 다시 볼록렌티큐라를 구성한 실시예이다.FIG. 9C shows an embodiment in which a concave lenticular is arranged in the lower part of the convex lenticular and a convex lenticular is formed in the lower part of the convex lenticule.
상기의 도 9a, 9b, 9c는 다양한 형태의 렌티큐라 조합체에 대한 실시예이다. 렌티큐라 조합체의 배열은 극히 다양한 형태로 배열이 가능함은 물론이다.Figures 9a, 9b and 9c illustrate various embodiments of lenticular assemblies. It is a matter of course that the arrangement of the lenticule assembly can be arranged in an extremely wide variety of forms.
볼록렌티큐라 복수개 배열하거나 또는 오목렌티큐라를 복수 개 배열하거나, 또는 적어도 하나 이상의 볼록렌티큐라와 적어도 하나 이상의 오목렌티큐라를 배열하여 렌티큐라 조합체를 사용할 수가 있다. A plurality of convex lenticules may be arranged or a plurality of concave lenticulars may be arranged, or at least one convex lenticule and at least one concave lenticule may be arranged to use a lenticurea combination.
본 발명에서의 렌티큐라 조합체는 볼록렌티큐라와 오목렌티큐라를 다양한 형태로 배열할 수가 있으며, 이 배열의 순서와 방법에 따라 각각 다른 효과를 낼 수가 있다. The lenticular assembly according to the present invention can arrange the convex lenticular and the concave lenticular in various shapes, and different effects can be produced according to the order and the method of the arrangement.
이러한 복수개의 렌티큐라를 배열함에 있어서, 상부의 렌티큐라와 하부의 렌티큐라의 배열방법은 노광기의 기능에 많은 영향을 미친다.In arranging such a plurality of lenticulars, the arrangement of the upper lenticule and the lower lenticure greatly affects the function of the exposure system.
다양한 기능을 발휘하도록 하기 위하여, 상부 렌티큐라의 각각의 렌즈의 중앙부와, 하부 렌티큐라의 각각의 렌즈의 중앙부의 배열을 상하방향으로 일치하게 위치시킬 수도 있으며, 경우에 따라서는 하부 렌티큐라의 각각의 렌즈의 중앙부를 상부 렌티큐라의 각각의 렌즈의 중앙부로부터 좌우로 필요한 거리를 이격시키어 배열을 하기도 한다. The central portion of each lens of the upper lenticulars and the central portion of each lens of the lower lenticulars may be aligned in the vertical direction in order to exert various functions. In some cases, each of the lower lenticulars The central portion of the lens of the upper lenticular lens is spaced apart from the central portion of the respective lenses of the upper lenticular by a necessary distance.
실시예로서, 상부에 볼록렌티큐라를 구성하고, 하부에 오목렌티큐라를 구성한 경우를 설명하겠다.As an embodiment, a case where a convex tentacle is formed on the upper portion and a concave tentacle is formed on the lower side will be described.
상기 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈들의 중앙부와 오목렌티큐라의 각각의 렌즈들의 중앙부를 약간 떨어지게 위치시킨 경우에는, 볼록렌티큐라를 통하여 집광이 되어진 라인상의 빛은 하부의 오목렌티큐라에 의하여 다시 복수개의 라인상의 빛으로 분할이 된다. When the central portion of each lens of the convex tentacle and the center portion of each lens of the concave lens are slightly spaced apart, the light on the line focused through the convex tentacle is reflected by the lower concave lens, It is divided into light on the line.
오목렌티큐라는 선광원의 분할작용을 한다. 이러한 작용을 고려하여 렌티큐라 조합체의 배열을 필요에 따라 적절히 설계한다. It carries out the splitting function of the circle light circle called "Otomoren Tikyu". Considering this action, the arrangement of the lenticule assembly is appropriately designed as necessary.
이하에서는 볼록렌티큐라에 의하여 라인형상으로 집광된 빛이 오목렌티큐라에 의하여 분할되어지는 것에 대한 설명을 한다. Hereinafter, a description will be given of how the light condensed in a line shape by the convex lenticule is divided by the concave lenticule.
이 실시예는 상부에 볼록렌티큐라를 위치시키고 하부에 오목렌티큐라를 배열한 경우에 대한 설명이다.This embodiment is an explanation of the case where the convex lenticular is placed on the upper side and the concave lenticular is arranged on the lower side.
광원으로부터 조사되어진 빛은 상부의 볼록렌티큐라의 각각의 렌즈들에 의하여 렌티큐라 렌즈들의 라인수와 동일한 개수의 집광된 라인 형상의 빛으로 하부의 오목렌티큐라에 전달이 된다. The light irradiated from the light source is transmitted to the concave lenticule of the lower portion by the condensed line-shaped light of the same number as the number of lines of the lenticurea lenses by the respective lenses of the convex lenticular.
볼록렌티큐라에 의하여 집광되어진 라인상의 빛은 다시 하부의 오목렌티큐라의 각각의 렌즈들에 의하여 빛의 분할이 일어난다. The light on the line focused by the convex lenticular is again split by the respective lenses of the concave lenticule at the bottom.
볼록렌티큐라의 렌즈의 개수와 동일한 개수의 집광되어진 라인상의 빛은, 하부에 위치되어진 오목렌티큐라에 의하여 볼록렌티큐라에 의하여 집광된 라인상의 빛보다 훨씬 많은 라인상의 빛으로 분할된다.The light on the same number of converged lines as the number of the lenses of the convex lenticular is divided into the light on the lines much more than the light on the lines converged by the concave lenticule by the concave lenticule located at the bottom.
볼록렌티큐라는 각각의 렌즈들의 숫자만큼 집광되어진 라인형상의 빛을 만들며, 상기 볼록렌티큐라의 하부에 배열이 된 오목렌티큐라는 상기 볼록렌티큐라에 의하여 집광된 라인형상의 빛을 다시 분할시키게 된다. Shaped light that is condensed by the number of the respective lenses of the convex tentacle and divides the line-shaped light condensed by the convex tentacle, which is concave lenticule arranged at the lower part of the convex tentacle, .
상기 볼록렌티큐라에 의하여 집광되어진 라인형상의 빛의 개수는 하부의 오목렌티큐라를 통하여 수배로 증가된 라인형상의 빛으로 분할된다. The number of the line-shaped lights converged by the convex tentacle is divided into line-shaped lights increased in number by a number of times through the concave lenticule at the bottom.
이때, 오목렌티큐라에 의하여 집광되어진 라인의 수는 수배로 증가가 되며, 동시에 집광되어진 라인형상의 빛의 폭은 크게 줄어들게 되어 더욱 미세한 노광작업이 가능하게 된다.At this time, the number of lines converged by the concave lenticular is increased by a factor of several, and the width of the line-shaped light converged at the same time is greatly reduced, thereby enabling finer exposure work.
이러한 빛의 분할작용은 렌티큐라 조합체의 구성과 배열에 따라 달라진다. 렌티큐라 조합체에 의하여 집광되고 분할되어진 빛의 특징은 첫째, 선폭은 가늘어지고 둘째, 라인형상의 빛의 개수는 현저히 증가되는 것이다.The effect of this division of light depends on the composition and arrangement of the lenticule combination. The characteristics of the light condensed and divided by the Lenticurea combination are as follows. First, the line width is narrow and the number of the line-shaped light is remarkably increased.
이같이 렌티큐라 조합체에 의하여 집광되고 분할되어진 빛은 초미세한 노광작업을 가능케 한다. The light thus condensed and divided by the Lenticular structure allows ultrafine exposure.
본 발명에서는 렌티큐라 조합체를 통하여 만들어 진 선광원은 수십나노에서 수백나노의 폭을 갖는 라인형상의 빛으로 만들 수가 있게 한다. In the present invention, the source of light produced through the combination of lenticurea can be made into a line-shaped light having a width of several tens of nanometers to several hundreds of nanometers.
본 발명의 렌티큐라 조합체는 조사되어지는 빛을 극히 미세한 라인 형태의 수직광으로 집광 및 분할을 시킬 수가 있는 장점을 제공하게 된다.The lenticular combination of the present invention provides an advantage that the light to be irradiated can be condensed and divided into an extremely fine line-shaped vertical light.
렌티큐라 조합체로 제작된 선광원 발생장치 역시 연속적인 작업을 하여야 하는 경우에는, 선광원 발생장치는 필름에 대하여 반드시 상대적인 이동이 이루어 져야한다. In the case where the luminous source generating apparatus manufactured by the combination of Lenticure is also required to be continuously operated, the luminous source generating apparatus must be moved relative to the film.
선광원 발생장치가 고정되어 있는 경우에는, 기판구조물이 움직이면 된다. When the light source generating device is fixed, the substrate structure may be moved.
선광원 발생장치는 필름과 필름 하부에 있는 기판구조물에 대하여 상대적인 이동을 하도록 구성하여, 넓은 면적의 노광을 신속히 진행을 시킬 수가 있다.The light source generating device is configured to relatively move with respect to the film structure and the substrate structure under the film, so that the exposure of a large area can be performed promptly.
그러나 좁은 면적의 노광을 할 경우와 또는 정지 상태에서 더욱 정밀하게 작업을 진행을 하기 위한 장치로서는, 상기 선광원 발생장치를 필름과 상기 필름 하부에 있는 기판구조물을 고정시킨 상태에서 노광작업을 진행하도록 구성하여야 하며, 이 역시 본 발명의 일부분이 된다.However, as an apparatus for carrying out the work more precisely in the case of the exposure of a narrow area or in the stationary state, the above-mentioned optical source apparatus is allowed to perform the exposure work with the film and the substrate structure under the film being fixed And this is also a part of the present invention.
본 발명은, 본 발명에 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형이 가능하므로, 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에만 한정되는 것은 아니다. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is not.
1 : 노광기 2 : 선광원 발생장치
3 : 선광원 발생장치 이송수단 4: 광원
5: 볼록렌티큐라, 렌티큐라 조합체
6 : 필름 7 : 감광재
8 : 평판 9 : 기판구조물
11 : 볼록렌티큐라 렌즈
34 : 오목렌티큐라1: Exposure machine 2: Optical source generator
3: source of light source generating means 4: light source
5: Bolectic Cure, Lenticurea combination
6: Film 7: Photosensitive material
8: Plate 9: Substrate structure
11: Lenticular lens
34: Concerto Lenticulare
Claims (1)
상기 선광원 발생장치는 광원과 렌티큐라 조합체를 포함하여 구성하되,
상기 광원과 상기 렌티큐라 조합체는 상호간에 상대적 이동이 없도록 구성하고,
기판구조물 위에 감광재가 도포되어진 기판이 위치되고, 상기 기판 위에 패턴이 형성된 필름을 상대적인 움직임이 없도록 마련하되,
상호간에 상대적 이동이 없도록 구성되는 상기 광원과 상기 렌트큐라 조합체가 상기 패턴이 형성된 필름 위쪽에서 이동 가능하게 마련하고,
상기 렌트큐라 조합체는 복수의 볼록렌티큐라 렌즈로 구성하되,
상기 복수의 볼록렌티큐라 렌즈의 중앙부를 절단한 후에, 절단된 복수의 볼록렌티큐라 렌즈를 연결하여 형성하는 것을 특징으로 하는 선광원 발생장치. In the concentrator generating apparatus,
Wherein the light source comprises a combination of a light source and a lenticular,
Wherein the light source and the lenticular assembly are configured such that there is no relative movement therebetween,
A substrate on which a photosensitive material is coated is placed on a substrate structure, a film on which a pattern is formed is provided so as to have no relative movement,
Wherein the light source and the rental cue combination, which are configured so as not to move relative to each other, are movably provided above the patterned film,
Wherein the lens-cure combination comprises a plurality of convex-tentile lenses,
Wherein the plurality of convex lenticular lenses are cut by cutting a central portion of the plurality of convex lenticular lenses and then connecting the plurality of cut convex tentacle lenses to each other.
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