KR20190072313A - 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓 - Google Patents

Abstract

본 발명은 누설의 의심 없이 배관 작업이 용이하되 필요에 따라 배관의 마감용 소켓이나 연결소켓으로 사용할 수 있는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정길이를 갖는 기둥형상으로 이루어지되 일측에는 밸브와 연통되게 연결되는 제1개구부가 형성되며, 내부에는 길이방향으로 소정지름의 중공부가 형성된 관 형상의 몸체 및 상기 밸브와 결합한 상기 몸체를 가압할 수 있게 상기 밸브와 결합하되 그 가압에 의해 상기 밸브와 연결된 상기 몸체의 이탈은 물론, 상기 제1개구부와 상기 밸브 간의 기밀을 유지하여 상기 밸브에서 이동하는 기체나 액체 상태의 공급물의 누설을 방지하는 조임체를 포함하되, 상기 몸체 타측은 폐쇄된 상태로 상기 밸브와 결합하여 상기 몸체 타측을 통해 공급물의 누설을 방지하되 필요에 따라 상기 제1개구부와 서로 마주보는 제2개구부가 형성되게 상기 몸체를 절단하여 연결수단을 통해 다른 밸브와 서로 관 연결될 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓{Connecting socket preventing leakage of valve installed in a clean room}

본 발명은 작업자에 상관없이 누설의 의심 없이 배관 작업이 용이하되 필요에 따라 배관의 마감용 소켓이나 연결소켓으로 사용할 수 있는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(FAB) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting) 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.

상기 팹 공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정과, 상기 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 웨이퍼의 소정 영역에 이온들을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 세정된 웨이퍼를 건조시키기 위한 건조 공정과, 상기 막 또는 패턴의 결함을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.

상기와 같은 반도체 장치의 제조 공정은 청정한 공기가 공급되는 클린룸(clean room)에서 수행된다. 상기 클린룸의 천장에는 천장 챔버(ceiling chamber)로부터 클린룸 내부로 청정한 공기를 공급하기 위한 다수의 팬 필터 유닛이 장착되며, 상기 클린룸의 하부에는 상기 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 각종 공정 유체들을 공급하기 위한 공정 유체 공급 시스템과, 클린룸의 내부 압력 및 상기 제조 공정을 수행하기 위한 장치들의 내부 압력을 조절하기 위한 압력 제어 시스템들이 배치되는 유틸리티 존(utility zone)이 배치된다. 상기 팬 필터 유닛을 통해 클린룸으로 공급된 청정한 공기는 클린룸의 바닥 패널을 통해 상기 유틸리티 존으로 배출되며, 상기 천장 챔버와 유틸리티 존을 연결하는 공기 순환 덕트를 통해 순환된다.

상기 공정 유체는 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 다양한 공정 가스들과 케미컬들(chemicals)을 포함하며, 상기 공정유체 공급 시스템은 다양한 공정 유체를 전달하기 위한 배관들과 상기 배관들 사이에서 상기 공정 유체의 압력, 유량 또는 방향을 제어하는 밸브를 포함한다.

상기 밸브로부터 상기 공정 유체가 누설되는 경우, 인체에 유해한 성분을 포함하는 상기 공정 유체는 클린룸, 유틸리티 존, 공기 순환 덕트 및 천장 챔버를 통해 순환되며 작업 환경을 오염시키는 오염물로써 작용한다. 뿐만 아니라 클린룸 내에 유기, 이온 오염 증가를 초래하여 공정 불량이 발생할 수 있어 근래에는 국내공개특허 제10-2006-67163호(공개일:2006.06.19)에 따른 "누설을 방지하기 위한 밸브 시스템"이 개시되어 있으나, 이러한 종래기술은 누설이 의심되는 밸브 주변을 감싸는 하우징 및 해당 하우징 내에서 누설이 발생하는 경우, 덕트를 통해 배기해야하는 별도의 시스템을 구축해야 하기에 비용적인 문제로 인하여 기본적으로 작업자의 숙련도에 의지하여 밸브와 배관의 연결을 실시하고 있는 실정이다.

이에 따라 배관작업을 실시하기에 정밀한 작업이 필요하나 밸브와 배관을 연결하는 작업자의 숙련도나 피로 정도에 따라 밸브와 배관의 연결부위가 정밀하지 못해 교체작업 이후에도 누설이 발생하여 추가작업이 발생하게 되는 문제점이 발생하게 된다.

아울러 배관 자체에 누설이 발생하는 경우에는 해당 배관 전체를 교체해야하기에 작업시간이 증가하며, 해당 배관의 외경에 맞는 다른 부속품을 항시 비치되어야 하는 불편함이 존재하게 된다.

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓은 작업자의 숙련도나 피로 정도에 상관없이 밸브와 배관의 연결부위가 정밀하게 연결되어 기밀성 유지가 용이한 연결소켓을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

또한 하나의 연결소켓을 통해 공정 유체가 외부로 배출되지 못하게 밸브의 마감용 소켓은 물론, 다른 배관과의 연결관으로도 사용할 수 있는 연결소켓을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓은 소정길이를 갖는 기둥형상으로 이루어지되 일측에는 밸브와 연통되게 연결되는 제1개구부가 형성되며, 내부에는 길이방향으로 소정지름의 중공부가 형성된 관 형상의 몸체 및 상기 밸브와 결합한 상기 몸체를 가압할 수 있게 상기 밸브와 결합하되 그 가압에 의해 상기 밸브와 연결된 상기 몸체의 이탈은 물론, 상기 제1개구부와 상기 밸브 간의 기밀을 유지하여 상기 밸브에서 이동하는 기체나 액체 상태의 공급물의 누설을 방지하는 조임체를 포함하되, 상기 몸체 타측은 폐쇄된 상태로 상기 밸브와 결합하여 상기 몸체 타측을 통해 공급물의 누설을 방지하되 선택적으로 상기 제1개구부와 서로 마주보는 제2개구부가 형성되게 상기 몸체를 절단하여 연결수단을 통해 다른 밸브와 서로 관 연결될 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 몸체는 상기 제1개구부 또는 제2개구부와 이어지게 연장형성되되 상기 밸브 또는 상기 연결수단과 형상맞춤으로 끼움 결합하여 상기 조임체의 가압에 의해 상기 몸체와 상기 밸브 또는 상기 몸체와 상기 연결수단 간의 기밀을 유지할 수 있게 기밀유지체를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한 상기 몸체 외면에는 상기 제2개구부의 형성위치를 육안으로 확인하여 절개할 수 있게 표시수단을 더 포함하되, 상기 표시수단은 상기 몸체 외면에 띠 형상으로 양각 또는 음각으로 형성된 제1표시체 또는 상기 몸체 외면에 띠 형상을 갖도록 라인이나 도트(dot)가 색상으로 표시된 제2표시체 중 어느 하나이며, 상기 표시수단은 상기 몸체 길이방향으로 서로 이웃하게 다수 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 몸체는 길이방향으로 서로 이웃하게 상기 중공부의 지름과 상이한 지름을 갖게 적어도 하나 이상 상기 몸체 외측으로 돌출형성된 돌출부를 더 포함하되, 상기 돌출부의 내부지름은 상기 밸브의 출구나 입구 또는 상기 연결수단의 양단과 기밀이 유지되게 형상맞춤으로 끼움 결합할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 종래와는 차별적으로 몸체에 형성된 제1개구부나 상기 제1개구부와 서로 이어지게 연장된 기밀유지체가 밸브의 출구나 입구와 연결되되 상기 밸브와 결합하는 조임체가 몸체를 가압하여 기밀이 유지되도록 연결되므로써, 작업자의 숙련도나 피로 정도에 상관없이 신속하게 누설의 의심 없이 배관작업이 이루어지는 효과를 갖게 된다.

또한 종래와는 차별적으로 필요에 따라 작업자가 제2개구부를 몸체에 선택적으로 형성하여 밸브의 마감용 소켓은 물론, 연결수단을 이용한 다른 밸브나 다른 몸체와 연결하는 연결소켓으로도 사용할 수 있는 효과를 갖게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓을 나타낸 돔us.
도 2는 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓의 몸체를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓의 표시수단을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓의 돌출부를 나타낸 도면.
도 5는 도 4에 대한 돌출부를 이용하여 밸브의 마감소켓으로 사용하는 모습을 도시한 도면.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓의 사용상태도를 나타낸 도면.
도 9는 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓이 밸브의 마감용으로 사용되는 실시예를 나타낸 도면.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓(이하, 간략하게 '연결소켓'이라 한다)에 대하여 상세히 설명한다. 설명에 앞서, 본 발명인 연결소켓(1)은 반도체공정이 이루어지는 클린룸(clean room, 청정실)에 설치되되 내/외부 공기와 같은 공급물 등을 유입하여 클린룸의 실내온도를 유지하는 공조장치나 인체에 유해한 물질을 배출하거나 공급하기 위한 장치 등의 밸브에 사용하는 연결소켓을 의미한다는 것에 유의한다.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 밸브(B)와 기밀하게 연결되는 몸체(100) 및 상기 몸체(100)를 가압하여 밸브(B)와의 기밀을 더욱 증대시켜 공급물의 누설을 방지함과 동시에 상기 몸체(100)와 밸브(B) 간의 이탈을 방지하는 조임체(200)를 포함하는 구성으로 이루어진다.

더욱 상세하게 설명하면, 상기 몸체(100)는 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 전체적으로 일단이 개방되되 내부에는 공급물이 이동하기 위한 이동로로 사용되는 중공부(120)가 형성된 원통형의 관 형상으로 이루어지며, 제1개구부(110), 제2개구부(130), 기밀유지체(140), 표시수단(150) 및 돌출부(160)를 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.

예컨대 제1개구부(110)는 관 형상을 갖는 몸체(100) 일측에 형성되되 후술하는 기밀유지체(140)와 이어지게 형성되어 상기 기밀유지체(140)를 통해 몸체(100)와 밸브(B)가 서로 연통되게 연결시 공급물이 상기 몸체(100) 내부인 중공부(120)로 유입될 수 있도록 안내한다.

여기서 기밀유지체(140)는 일단이 제1개구부(110) 끝단과 이어지되 타단 방향으로 연결되고나 하는 밸브(B)의 출구나 입구 형상과 대응하는 형상을 갖도록 형성되어 몸체(100)와 밸브(B)가 서로 관 연결될 수 있도록 한다.

물론, 기밀유지체(140)는 연결하고자 하는 밸브(B)의 출구나 입구의 형상이 일반적인 원통형상으로 이루어지는 경우에는 생략도 가능하며, 상기 기밀유지체(140)가 생략되어 제1개구부(110)를 통해 몸체(100)와 밸브(B)가 서로 관 연결되는 경우에는 후술하는 연결수단(170)이나 별도의 클림프(미도시) 등을 통해 상기 몸체(100) 외면을 가압하여 기밀을 유지하도록 하는 것이 바람직하다.

아울러 몸체(100)는 제1개구부(110)와 서로 마주보는 타측 방향에 상기 몸체(100) 일부를 절단하여 제2개구부(130)를 형성하되 상기 제2개구부(130)를 통해 다른 몸체(100) 또는 다른 밸브(B)와 서로 관 연결될 수 있도록 할 수 있다.

제2개구부(130)를 통한 몸체(100)나 밸브(B)의 관 연결은 연결수단(170)을 통해 이루어질 수 있는데 본 발명에서의 연결수단(170)은 양측이 개방되게 소정길이를 갖는 연장관을 의미한다.

따라서, 도시한 바와 같이, 일측에 제2개구부(130)가 형성된 몸체(100)가 삽입되고, 타측에는 제1개구부(110)가 형성된 다른 몸체(100)가 삽입되어 두 몸체(100)가 서로 연통되게 공급물이 이동할 수 있도록 연장되게 할 수 있으며, 제2개구부(130)를 미 형성시에는 타측이 폐쇄된 몸체(100')를 밸브(B)와 연결함으로써, 마감소켓의 기능도 함께 수행할 수 있는 것이다.

즉, 도 9에 도시한 바와 같이, 타측이 폐쇄되어 있는 몸체(100')를 밸브(B)에 결합함으로써, 리듀서(Reducer)를 따로 설치하지 않아도 밸브(B)는 물론, 해당 밸브와 연결된 배관(미도시)에 누출점(Leak Point)이 생기지 않도록 하여 유해물질의 이동/보관에 안정성을 확보할 수 있게 된다.

이때, 연장관은 물론, 몸체(100)는 금속재질보단 상기 연장관 외면에 클램프 등으로 가압하여 한 쌍의 몸체(100)와 연장관이 서로 기밀하게 연결될 수 있도록 PVC 재질의 것이 사용되는 것이 바람직하다.

한편, 제2개구부(130)는 작업자가 상기 제2개구부(130)를 형성하고자 하는 위치를 육안으로 용이하게 식별하여 몸체(100)를 절단할 수 있게 상기 몸체(100) 외면에 길이방향으로 서로 이웃하게 형성된 표시수단(150)으로 식별할 수 있도록 할 수 있으며, 본 발명에서의 표시수단(150)은 해당 몸체(100) 외면에 띠 형상을 갖게 양각이나 음각으로 절단위치를 확인하는 제1표시체(151) 또는 상기 몸체(100) 외면에 띠 형상으로 라인(Line)이나 도트(Dot)가 표시된 제2표시체(153)로 설명할 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니며, 작업자가 육안으로 식별할 수 있는 어떠한 수단들도 모두 포함될 수 있다.

나아가 몸체(100)는 밸브(B)의 출구나 입구와 기밀유지체(140)의 형상이 상기 밸브(B)와 상이한 형상을 갖는 경우(특히, 연결하고자 하는 지름의 크기가 상이한 경우)에 그 밸브(B)의 연결부위와 대응되는 지름의 크기를 맞게 작업자가 선택하여 사용할 수 있게 상기 몸체(100) 길이방향으로 내부 지름 즉, 중공부(120)의 지름이 서로 다른 돌출부(160)가 더 형성될 수 있다.

이에 따라 밸브(B)의 출구나 입구 측 지름이 기밀유지체(140)의 내부지름과 상이한 경우, 작업자는 다수의 돌출부(160) 중 어느 하나를 택일하고, 그 택일한 돌출부(160)와 밸브(B)가 서로 관 연결될 수 있도록 절단하여 사용할 수 있게 되며, 나아가서는 제2개구부(130)가 형성되지 않은 상태에서 각각의 서로 다른 내부지름을 갖는 돌출부(160)를 통해 밸브(B)의 출구나 입구 지름에 따라 마감소켓으로 사용 가능하게 된다(도 5 참조).

그리고, 상기 조임체(200)는 몸체(100) 외면에 관통삽입되되 밸브(B)와 연결된 몸체(100)를 가압하여 공급물의 누설이 발생하지 않도록 함으로써, 상기 몸체(100)와 밸브(B) 간의 기밀을 더욱 용이하게 함과 동시에 상기 몸체(100)가 밸브(B)에서 이탈하는 방지할 수 있도록 하기 위한 구성이다.

예컨대 조임체(200)는 내면에 밸브(B)의 출구나 입구에 형성된 나사산과 서로 탈착 가능하게 나사 결합할 수 있는 통상의 너트형상을 의미하는 것으로, 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 상세한 설명은 생략하기로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 연결소켓(1)의 사용상태에 관하여 설명하도록 한다. 설명에 앞서, 하기에는 연결소켓(1)이 한 쌍의 밸브(B) 사이에 연결되는 것을 일 예로 설명하기로 한다.

먼저, 도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 몸체(100) 일측에 형성된 제1개구부(110) 또는 기밀유지체(140)가 밸브(B)의 출구 또는 입구와 관 연결될 수 있도록 결합한다.

그 다음, 몸체(100)에 관통삽입된 조임체(200)를 밸브(B) 방향으로 이동시키되 상기 밸브(B)와 조임체(200)를 서로 나사 결합하여 상기 밸브(B)와 연결된 몸체(100)를 가압시켜 그 가압에 의해 서로 기밀이 유지될 수 있게 밀폐 결합할 수 있도록 한다.

그 다음, 다른 밸브(B)와의 연결을 위해 밸브(B)와 연결된 몸체(100) 타측을 표시수단(150)을 기준으로 절단하여 제2개구부(130)를 형성하고, 상기 제2개구부(130)에 연결수단(170) 일측을 관 연결하며, 상기 연결수단(170) 타측에는 다른 몸체(100)나 배관 등을 연결하여 다른 밸브(B)와 서로 관 연결될 수 있도록 설치함으로써, 공급물의 누설이 발생하지 않게 결합이 완성되게 된다.

이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 연결소켓(1)은 종래와는 차별적으로 몸체(100)에 형성된 제1개구부(110)나 상기 제1개구부(110)와 서로 이어지게 연장된 기밀유지체(140)가 밸브(B)의 출구나 입구와 연결되되 상기 밸브(B)와 결합하는 조임체(200)가 몸체(100)를 가압하여 기밀이 유지되도록 연결 되므로써, 작업자의 숙련도나 피로 정도에 상관없이 신속하게 누설의 의심 없이 배관작업이 이루어지는 효과를 갖게 된다.

또한 종래와는 차별적으로 필요에 따라 작업자가 제2개구부(130)를 몸체(100)에 선택적으로 형성하여 밸브(B)의 마감용 소켓은 물론, 연결수단(170)을 이용한 다른 밸브(B)나 다른 몸체(100)와 연결하는 연결소켓으로도 사용할 수 있는 효과를 갖게 된다.

이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

1: 본 발명에 따른 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓
100: 몸체 110: 제1개구부
120: 중공부 130: 제2개구부
140: 기밀유지체 150: 표시수단
151: 제1표시체 153: 제2표시체
160: 돌출부 170: 연결수단
200: 조임체 B: 밸브

Claims (4)

1. 소정길이를 갖는 기둥형상으로 이루어지되 일측에는 밸브(B)와 연통되게 연결되는 제1개구부(110)가 형성되며, 내부에는 길이방향으로 소정지름의 중공부(120)가 형성된 관 형상의 몸체(100); 및
   상기 밸브(B)와 결합한 상기 몸체(100)를 가압할 수 있게 상기 밸브(B)와 결합하되 그 가압에 의해 상기 밸브(B)와 연결된 상기 몸체(100)의 이탈은 물론, 상기 제1개구부(110)와 상기 밸브(B) 간의 기밀을 유지하여 상기 밸브(B)에서 이동하는 기체나 액체 상태의 공급물의 누설을 방지하는 조임체(200);를 포함하되,
   상기 몸체(100) 타측은 폐쇄된 상태로 상기 밸브(B)와 결합하여 상기 몸체(100) 타측을 통해 공급물의 누설을 방지하되 선택적으로 상기 제1개구부(110)와 서로 마주보는 제2개구부(130)가 형성되게 상기 몸체(100)를 절단하여 연결수단(170)을 통해 다른 밸브(B)와 서로 관 연결될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓.
2. 제1항에 있어서,
   상기 몸체(100)는 상기 제1개구부(110) 또는 제2개구부(130)와 이어지게 연장형성되되 상기 밸브(B) 또는 상기 연결수단(170)과 형상맞춤으로 끼움 결합하여 상기 조임체(200)의 가압에 의해 상기 몸체(100)와 상기 밸브(B) 또는 상기 몸체(100)와 상기 연결수단(170) 간의 기밀을 유지할 수 있게 기밀유지체(140);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓.
3. 제1항에 있어서,
   상기 몸체(100) 외면에는 상기 제2개구부(130)의 형성위치를 육안으로 확인하여 절개할 수 있게 표시수단(150);을 더 포함하되,
   상기 표시수단(150)은 상기 몸체(100) 외면에 띠 형상으로 양각 또는 음각으로 형성된 제1표시체(151) 또는 상기 몸체(100) 외면에 띠 형상을 갖도록 라인이나 도트(dot)가 색상으로 표시된 제2표시체(153) 중 어느 하나이며,
   상기 표시수단(150)은 상기 몸체(100) 길이방향으로 서로 이웃하게 다수 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓.
4. 제1항에 있어서,
   상기 몸체(100)는 길이방향으로 서로 이웃하게 상기 중공부(120)의 지름과 상이한 지름을 갖게 적어도 하나 이상 상기 몸체(100) 외측으로 돌출형성된 돌출부(160);를 더 포함하되,
   상기 돌출부(160)의 내부지름은 상기 밸브(B)의 출구나 입구 또는 상기 연결수단(170)의 양단과 기밀이 유지되게 형상맞춤으로 끼움 결합할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓.

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