KR20190001806A - 토출장치 및 노즐 교체방법 - Google Patents

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KR20190001806A
KR20190001806A KR1020170081915A KR20170081915A KR20190001806A KR 20190001806 A KR20190001806 A KR 20190001806A KR 1020170081915 A KR1020170081915 A KR 1020170081915A KR 20170081915 A KR20170081915 A KR 20170081915A KR 20190001806 A KR20190001806 A KR 20190001806A
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설봉호
신철진
윤진현
장재영
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참엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐; 노즐을 이동 가능하게 지지하고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및 상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 저장부;를 포함하고, 액상물질을 토출하는 노즐을 용이하게 교체할 수 있다.

Description

토출장치 및 노즐 교체방법{Liquid Dispensing Apparatus and Nozzle Replacement Method}
본 발명은 토출장치 및 노즐 교체방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상물질을 토출하는 노즐을 용이하게 교체할 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법에 관한 것이다.
최근 FPD(Flat Panel Display)로 통칭되는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평면 패널 디스플레이들은 고세정화 경향에 따라 단위면적당 더 많은 픽셀을 구현하기 위해 각 픽셀을 구동하는 회로소자들뿐만 아니라 회로소자들을 연결하는 배선의 폭도 더욱 작아지고 있다. 또한, 최근 스마트폰, TV, 모니터, 노트북 등 각종 디스플레이기기들의 경량화 및 소형화되는 추세에 따라 회로들이 집적된 PCB(Printed Circuit Board) 기판에 형성되는 도선들도 복잡하고 미세하게 형성되고 있다.
이처럼 FPD, PCB 등에서 기판에 형성된 회로소자가 작아지고, 회로소자들을 연결하는 패턴라인의 폭이 좁아지고 있기 때문에, 이러한 기판들에 패턴라인을 형성하는 장치나 형성된 패턴라인에 발생한 결함을 수리하기가 어려워지고 있다. 이에, 최근에는 극미세한 패턴라인을 형성할 수 있고, 균일한 선폭을 구현할 수 있는 전기수력학을 이용한 리페어 장치가 사용되고 있다. 전기수력학을 이용한 리페어 장치는, 노즐과 기판 사이에 전기장을 발생시켜 결함이 발생한 부위로 잉크를 토출한다. 노즐 내부에는 잉크가 저장되고, 저장된 잉크를 모두 사용하면 노즐을 교체해야 한다.
종래에는 작업자가 직접 리페어 장치의 노즐을 교체하였다. 즉, 리페어 장치의 작동을 중단시킨 후 작업자가 직접 리페어 장치 내부로 진입하고, 노즐과 노즐이 결합되는 연결부를 분리한 후, 새로운 노즐을 연결부에 결합시켰다. 그러나 작업자가 교체 작업을 수행하기 때문에 교체 작업을 수행하는데 많은 시간이 소요되어 리페어 공정을 수행하는 시간이 지연될 수 있다. 또한, 불량률이 높아 노즐을 다시 교체하거나 수리해야 하는 문제가 발생할 수 있다.
KR 2015-0049992 A
본 발명은 액상물질을 토출할 수 있는 노즐을 용이하게 교체할 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법을 제공한다.
본 발명은 노즐을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 토출장치 및 노즐 교체방법을 제공한다.
본 발명은 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐; 노즐을 이동 가능하게 지지하고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및 상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 저장부;를 포함한다.
상기 저장부는, 노즐이 삽입될 수 있는 삽입구가 형성되는 플레이트; 및 상기 플레이트를 지지해주는 지지대;를 포함한다.
상기 이송부는, 제1 부재; 및 적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재;를 포함하고, 노즐이 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐에 밀착되도록 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 정도가 조절 가능하다.
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 기울어지게 형성되고, 상기 저장부에 상기 노즐이 기울어져 지지된다.
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능하다.
노즐에 제1 전기 전도부재가 구비되고, 노즐에 전원을 인가할 수 있도록 상기 제1 부재 및 상기 제2 부재 중 적어도 어느 하나에 상기 제1 전기 전도부재와 접촉할 수 있는 제2 전기 전도부재가 설치된다.
상기 이송부에 결합된 노즐의 상태를 감지할 수 있는 감지부; 및 상기 감지부와 연결되어 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함한다.
상기 이송부에서 분리되는 노즐을 회수하도록, 상기 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 회수부를 더 포함한다.
본 발명은 토출장치에 구비되는 노즐을 교체하는 방법으로서, 액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련하는 과정; 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정; 상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 상기 이송부와 결합된 노즐을 상기 이송부에서 분리시키고, 상기 이송부를 상기 저장부 측으로 이동시키는 과정; 및 상기 저장부에 지지된 노즐과 상기 이송부를 결합하는 과정;을 포함한다.
상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은, 상기 노즐을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교하는 과정을 포함한다.
상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은, 상기 이송부와 결합된 노즐 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 상기 이송부와 결합된 노즐에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지하는 과정을 포함한다.
상기 이송부와 결합된 노즐은 상기 이송부에서 분리시키는 과정은, 분리된 노즐을 회수하는 과정을 포함한다.
상기 이송부와 상기 저장부에 지지된 노즐을 결합하는 과정은, 상기 이송부와 상기 노즐은 전기적으로 연결하는 과정을 포함한다.
본 발명의 실시 예들에 따르면, 용이하고 신속하게 토출장치의 노즐을 교체할 수 있다. 이에, 노즐을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 작업자가 직접 노즐을 교체하지 않고, 장치가 노즐을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 구조를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부와 노즐의 결합구조를 나타내는 도면.
도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 저장부의 구조를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부가 회수부에서 노즐과 분리되고, 저장부에서 다른 노즐과 결합되는 것을 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 노즐 교체방법을 나타내는 플로우 차트.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 구조를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부와 노즐의 결합구조를 나타내는 도면이고, 도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 저장부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치(100)는, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 및 저장부(140)를 포함한다. 또한, 토출장치(100)는, 감지부(미도시), 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 기판(50)을 지지하는 역할을 한다. 스테이지(110)는 사각판 모양으로 형성될 수 있다. 스테이지(110)의 면적은 기판(50)의 면적 이상의 크기로 형성될 수 있다. 이에, 스테이지(110)의 상부면에 기판(50)이 안착될 수 있다. 그러나 스테이지(110)의 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
기판(S)은 일면에 전자 소자 및 도전성 패턴라인이 제조되는 공정이 진행 중이거나 공정이 종료된 각종 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(S)은 일면에 소정의 패턴라인이 형성된 유리나 실리콘 또는 플라스틱 재질의 기판일 수 있다.
노즐(120)은 내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있다. 노즐(120)은 이송부(130)에 의해 지지되어 스테이지(110)의 상측에 배치하고, 기판(S)을 향하도록 위치할 수 있다. 노즐(120)은 길이방향으로 연장되고, 내부에 액상물질이 저장되는 공간이 형성된다. 노즐(120)은 가늘게 형성된 중공의 원통체(예를 들어, 모세관)를 포함할 수 있고, 단부에 콘 팁이 형성될 수 있다. 콘 팁은 끝부분으로 갈수록 외경과 내경이 작아지는 테일러 콘 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 전기수력학적 현상에 의해 액상물질이 토출되도록, 콘 팁의 내부를 노즐(120)의 연장방향으로 관통하여 형성되는 경로는 수 ㎛ 이하로 내경이 형성될 수 있다. 즉, 콘 팁은 도전성 잉크가 전기수력학적 압력에 의해 토출 가능하도록 내부에 경로가 소정의 내주면 형상과 너비로 형성될 수 있다.
또한, 노즐(120)은 원하는 형상과 크기로 제작하기 용이하도록, 유리나 플라스틱 재질로 제작될 수 있다. 이에, 콘 팁 끝단에 형성된 액상물질의 토출구를 원하는 수 ㎛ 이하의 작은 크기로 형성할 수 있다.
노즐(120)의 토출구가 형성되지 않은 다른 일단부에는 제1 전기 전도부재(125)가 구비될 수 있다. 제1 전기 전도부재(125)는 노즐(120) 본체의 일단부의 외부면의 적어도 일부분을 감싸도록 형성될 수 있다. 제1 전기 전도부재(125)는 핀 부재(미도시)의 일단과 연결되고, 핀 부재의 타단은 노즐(120)의 내부에 위치할 수 있다. 따라서, 제1 전기 전도부재(125)는 핀 부재로 외부의 전원을 전달할 수 있다.
핀 부재는 노즐(120) 본체의 내주면 너비보다 작은 직경을 가지고, 노즐(120)의 연장방향으로 길이가 연장되는 핀 형상의 부재일 수 있다. 핀 부재는 노즐(120)의 길이방향 중심축에 정렬되며, 노즐(120) 본체의 내주면과 이격될 수 있다. 외부에서 제1 전기 전도부재(125)를 통해 핀 부재에 전원을 인가하면, 핀 부재에 의해 노즐(120)과 기판(S) 사이에 전기장이 형성될 수 있고, 전기장에 의하여 노즐(120) 내부에 저장된 용액이 극소량씩 정밀하게 토출될 수 있다. 그러나 노즐(120)의 구조와 재질 및 액상물질을 토출하는 방식은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
액상물질은 패턴라인의 형성을 위한 도전성 잉크를 포함할 수 있다. 도전성 잉크는 잉크 입자 및 용제를 포함할 수 있다. 도전성 잉크는 금, 은, 백금, 크롬 등의 금속 입자나 이들의 합금 또는 산화물을 함유할 수 있고, 이온들이 포함될 수 있다. 용제는 휘발성 물질이나 수용성 물질 또는 지용성 물질로 마련될 수 있다. 그러나 액상물질이 함유하는 물질은 이에 한정되지 않고, 도전성 패턴라인을 형성 가능한 다양한 물질을 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 이송부(130)는 노즐(120)을 이동 가능하게 지지한다. 이에, 노즐(120)은 이송부(130)에 의해 스테이지(110) 상측에서 원하는 위치로 이동할 수 있고, 스테이지(110)에서 저장부(140)나 회수부(150) 측으로 이동할 수도 있다. 이송부(130)는 노즐(120)과 분리 가능하게 결합되기 때문에, 이송부(130)와 결합되는 노즐(120)을 교체하기가 용이해질 수 있다.
또한, 이송부(130)는, 제1 부재(131), 및 적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재(132)를 포함한다. 이송부(130)는 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 이동 가능하게 지지해주는 겐트리(미도시)을 더 포함할 수 있다. 노즐(120)은 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐(120)에 밀착되도록 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격되는 정도가 조절될 수 있다.
제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 막대기 형태로 형성될 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 적어도 일부분이 이격되어 중간에 노즐(120)이 삽입될 수 있는 공간이 형성될 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격된 부분은 이격된 정도가 조절될 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 일측이 집게처럼 작동할 수 있다.
이때, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격될 수 있는 정도는, 노즐(120)의 일단부의 직경 이상일 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격되면, 노즐(120)이 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이를 이동할 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최소로 이격될 수 있는 정도는, 노즐(120)의 일단부의 직경 이하일 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 최대로 이격되면, 노즐(120)이 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 밀착되어 끼워지고 결합될 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격거리를 조절하여 노즐(120)과 결합하거나 분리시킬 수 있다.
또한, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는, 노즐(120)과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 하향 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일부분이 굴절되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 겐트리와 연결되는 부분은 바닥면(또는, 스테이지(110)의 상부면)과 평행한 방향으로 연장되고, 노즐(120)과 결합되는 부분은 굴절되어 바닥면(또는, 스테이지(110)의 상부면)에 대해 기울어진 각도(a)는 약 40 내지 90도일 수 있다. 이에, 노즐(120)도 이송부(130)에 의해 하측을 향하여 약 40 내지 90도의 각도로 기울어져 배치될 수 있다. 그러나 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
예를 들어, 노즐(120)이 45도 각도로 기울어져 지지되면, 카메라와 같은 관찰기(미도시)가 노즐(120)의 액상물질이 토출되는 부분의 상측에 배치되어 토출구에서 액상물질이 토출되는 것을 용이하게 촬영할 수 있다. 관찰기로 노즐(120)이 액상물질을 토출하는 것을 관찰하거나, 토출된 액상물질의 크기를 관찰할 수도 있다. 이에, 리페어 작업의 정밀성을 향상시킬 수 있다.
또는, 노즐(120)이 90도 각도로 기울어져 지지되면, 노즐(120)에서 토출되는 액상물질이 기판 상으로 수직되는 방향으로 낙하된다. 이에, 원하는 위치로 정확하게 액상물질을 토출할 수 있고, 리페어 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다. 그러나 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 굴절된 부분의 기울어진 각도(a)와 노즐(120)이 기울어져 배치되는 각도는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
이때, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)는 노즐(120)과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능할 수도 있다. 이에, 저장부(140)에 지지된 노즐(120)의 각도에 맞춰 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일측 각도가 조절되어 노즐(120)과 안정적으로 결합될 수 있고, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)로 노즐(120)이 지지되는 각도를 조절하여 용이하게 리페어 작업을 수행할 수 있다.
제2 전기 전도부재(133)는, 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있도록 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나에 설치되고, 제2 전기 전도부재(133)는 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있다. 즉, 제2 전기 전도부재(133)는 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나의, 노즐(120)과 접촉하는 부분에 설치될 수 있다. 이에, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 노즐(120)에 밀착시킬 때, 제2 전기 전도부재(133)가 노즐(120)과 접촉할 수 있다. 제2 전기 전도부재(133)가 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있도록, 이송부(130)와 노즐(120)은 결합할 때 제1 전기 전도부재(125)와 제2 전기 전도부재(133)의 위치를 맞추면서 둘을 결합해줄 수 있다.
또한, 제2 전기 전도부재(133)는 전원공급기(미도시)와 연결될 수 있다. 따라서, 전원공급기에서 발생시킨 전원이 제2 전기 전도부재(133)를 통해 제1 전기 전도부재(125)로 전달되고, 제1 전기 전도부재(125)에서 다시 핀 부재로 전원을 전달하여 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있다.
겐트리(미도시)는 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)와 연결될 수 있다. 이에, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 겐트리에 의해 상하, 전후, 및 좌우로 이동할 수 있고, 사선으로 이동할 수도 있다. 또한, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)는 회동 가능하게 지지될 수도 있다.
따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)가 노즐(120)을 지지한 상태에서 이동시키면, 기판(S) 상 원하는 곳으로 노즐(120)을 이동시켜 액상물질을 토출할 수 있다. 또한, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 스테이지(110)에서 저장부(140) 측으로 이동시켜 노즐(120)을 용이하게 교체할 수도 있다.
도 3을 참조하면, 저장부(140)는 이송부(130)에 결합된 노즐(120)과 교체될 수 있는 다른 노즐(120)을 지지하고, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치할 수 있다. 이때, 저장부(140)에 지지되는 노즐(120)은 내부에 액상물질이 채워진 상태일 수 있다. 저장부(140)는 스테이지(110)와 이격되어 배치될 수 있다. 저장부(140)는, 노즐(120)이 삽입될 수 있는 삽입구(141a)가 형성되는 제1 플레이트(141), 및 제1 플레이트(141)를 지지해주는 제1 지지대(142)를 포함한다. 그러나 저장부(140)가 노즐(120)을 지지해주는 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제1 플레이트(141)는 사각판 형태로 형성될 수 있다. 제1 플레이트(141)의 일면(또는, 상부면)에는 노즐(120)이 삽입되어 지지될 수 있는 하나 또는 복수개의 삽입구(141a)가 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 끼워져 제1 플레이트(141)를 상하방향으로 관통하고, 제1 플레이트(141)에 저장된 상태를 유지할 수 있다.
삽입구(141a)가 복수개 구비되는 경우, 삽입구(141a)들은 제1 플레이트(141)의 연장방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 삽입구(141a)들은 서로 이격되기 때문에, 이송부(130)가 저장부(140)에 지지된 복수개의 노즐(120) 중 어느 하나와 결합될 때 다른 노즐(120)과 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 삽입구(141a)는 노즐(120)의 둘레 형상을 따라 형성된다. 삽입구(141a)의 직경은 노즐(120)의 외경보다 크거나 같게 형성된다. 이에, 삽입구(141a) 내로 노즐(120)이 용이하게 삽입되어 지지되거나, 삽입구(141a) 외측으로 이동할 수 있다.
이때, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132)의 일측이 경사진 방향으로 플레이트(141)의 노즐(120)이 지지될 수 있다. 즉, 이송부(130)가 결합된 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 동일한 각도(b)로, 제1 플레이트(141)도 삽입구(141a)에 삽입된 노즐(120)을 지지할 수 있다. 따라서, 이송부(130)가 제1 플레이트(141)에 지지되는 노즐(120)과 결합될 때, 둘 사이의 각도가 동일하게 맞춰져 있기 때문에 이송부(130)의 각도나 노즐(120)의 각도를 조절하지 않고 둘을 결합시킬 수 있다.
예를 들어, 노즐(120)이 기울어져 지지되도록 삽입구(141a)가 경사진 방향으로 제1 플레이트(141)에 형성될 수 있다. 즉, 삽입구(141a)에 노즐(120)이 지지되는 각도(b)가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 동일하게 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 삽입될 때, 기울어진 상태로 삽입되어 지지될 수 있다.
한편, 노즐(120)과 결합되는 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 일측의 기울어진 각도가 조절 가능한 경우, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도가 가변하기 때문에, 삽입구(141a)에 노즐(120)이 지지되는 각도(b)가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도(a)와 달라질 수도 있다. 그러나 제1 플레이트(141)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제1 지지대(142)는 제1 플레이트(141)와 연결되어 제1 플레이트(141)를 지지해줄 수 있다. 제1 지지대(142)는, 제1 플레이트(141)의 하부에 연결되는 복수개의 측벽, 및 측벽들과 연결되는 받침을 포함할 수 있다.
측벽은 사각판 모양으로 형성될 수 있다. 측벽은 상하방향으로 연장될 수 있으며, 상부가 제1 플레이트(141)의 하부면과 연결되고, 하부가 제1 플레이트(141)의 하측을 향할 수 있다. 예를 들어, 측벽은 한 쌍이 구비될 수 있고, 노즐(120)이 삽입구(141a)에 삽입되는 방향으로 서로 이격될 수 있다. 측벽 중 어느 하나는 삽입구(141a)에 삽입된 노즐(120)과 접촉할 수 있다. 노즐(120)과 접촉하는 측벽은 노즐(120)의 이동을 제한하고, 삽입구(141a)로 삽입된 노즐(120)이 외측으로 빠져나가는 것을 방지할 수 있다. 이에, 노즐(120)들이 제1 플레이트(141)에 지지된 상태를 유지할 수 있다.
또한, 노즐(120)과 접촉하는 측벽에 노즐(120)의 끝단이 삽입될 수 있는 홈이 형성될 수도 있다. 이에, 노즐(120)의 끝단이 홈에 삽입되어 노즐(120)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제1 지지대(142)에 충격이 가해져도 노즐(120)이 안정적으로 지지될 수 있다.
받침은 제1 플레이트(141)의 형상을 따라 형성될 수 있고, 제1 플레이트(141)의 하측에 이격될 수 있다. 받침은 측벽들의 하부와 연결될 수 있다. 이에, 받침에 측벽들이 지지되고, 측벽들에 의해 제1 플레이트(141)가 지지될 수 있다. 따라서, 제1 플레이트(141)가 노즐(120)들을 안정적으로 지지해줄 수 있다. 그러나 제1 지지대(142)와 구성요소들의 구조 및 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
감지부(미도시)는 이송부(130)에 결합된 노즐(120)의 상태를 감지할 수 있다. 즉, 감지부는 이송부와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질이 부족한지 감지할 수 있다.
예를 들어, 감지부는 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양을 감지할 수 있다. 감지부는 노즐(120)의 무게를 감지하는 센서를 포함할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 저장된 액상물질이 양이 감소할수록 노즐(120)의 무게가 변화되는 것을 감지하여 노즐(120) 내부의 액상물질이 저장된 양을 감지할 수 있다. 따라서, 측정되는 노즐(120)의 무게가 미리 설정된 무게값과 비교해 작으면, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다.
또는, 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 감지할 수도 있다. 감지부는 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 관찰하는 카메라를 포함할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 전원을 인가하였는데도, 노즐(120)에서 액상물질이 토출되지 않는 것이 관찰되면, 노즐(120) 내부의 액상물질이 모두 사용되었다고 판단할 수 있다. 따라서, 노즐(120) 내부에 사용할 수 있는 액상물질이 남아있지 않다는 것을 알 수 있고, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다. 그러나 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
한편, 노즐(120)을 사용한 시간을 감지할 수도 있다. 이에, 노즐(120)을 사용한 시간을 미리 설정된 시간과 비교할 수 있다. 노즐(120)을 사용한 시간이 설정값 이상이면, 노즐(120)에 액상물질이 부족하다고 판단할 수 있다. 그러나 감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제어부(미도시)는 감지부와 연결되어 이송부(130)의 작동을 제어할 수 있다. 즉, 감지부를 통해 이송부(130)와 결합된 노즐(120)이 교체되어야 한다고 판단되면, 제어부는 노즐(120)을 교체하는 작업을 자동으로 수행할 수 있다. 즉, 제어부는 이송부(130)의 작동을 제어하여 결합되었던 노즐(120)과 이송부(130)를 분리시키고, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시킬 수 있다.
그 다음, 제어부는 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 상하좌우로 이동시키면서 저장부(140)에 지지된 새로운 노즐(120)과 위치를 맞출 수 있고, 이송부(130)와 새로운 노즐(120)이 결합되도록 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 작동을 제어할 수 있다. 즉, 노즐(120)이 저장부(140)에 기울어진 상태로 지지되어 있기 때문에, 제어부는 이송부(130)가 노즐(120)을 향해 사선으로 이동하도록 제어할 수 있다. 따라서, 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 노즐(120)이 위치하게 되고, 둘 사이를 밀착시켜 노즐(120)과 이송부(130)를 결합할 수 있다.
이때, 저장부(140)에 저장된 노즐(120)들은 위치가 고정되어 있다. 따라서, 제어부에는 노즐(120)들의 위치 정보가 미리 저장될 수 있고, 이송부(130)를 노즐(120)의 위치로 용이하게 이동시킬 수 있다. 이에, 복수개의 삽입구(141a) 중 어느 하나에 노즐(120)이 없다면 제어부는 이송부(130)를 노즐(120)이 삽입된 삽입구(141a) 측으로 이송부(130)의 위치를 조절할 수 있다.
이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 교체할 때, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키고, 저장부(140)에 형성된 복수개의 삽입구(141a) 중 노즐(120)이 끼워져 있지 않은 삽입구(141a)에 이송부(130)에 결합되었던 노즐(120)을 분리시킬 수 있다. 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 끼워져 있는 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다.
예를 들어, 저장부(140)에 10개의 삽입구(141a)가 형성되고, 그 중 8개의 삽입구(141a)에만 노즐(120)이 지지되는 경우, 이송부(130)는 결합되었던 노즐(120)을 삽입구(141a) 중 노즐(120)이 지지되지 않는 삽입구(141a)에 끼워넣고 분리될 수 있다. 그 다음, 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 지지된 새로운 노즐(120) 측으로 이동하여 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다. 즉, 저장부(140)에서 다 쓴 노즐(120)을 회수하고, 이송부(130)에 새로운 노즐(120)을 공급하는 역할을 수행할 수도 있다. 그러나 토출장치가 노즐(120)을 회수하기 위한 별도의 회수부를 더 구비할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 이송부가 회수부에서 노즐과 분리되고, 저장부에서 다른 노즐과 결합되는 것을 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 토출장치에 대해 설명하기로 한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 토출장치(100)는, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 및 회수부(150)를 포함한다. 또한, 토출장치(100)는, 감지부(미도시), 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
이때, 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 감지부, 제어부는 본 발명의 실시 예에서 설명한 스테이지(110), 노즐(120), 이송부(130), 저장부(140), 감지부, 제어부와 동일한 구성요소이기 때문에 설명을 생략한다.
회수부(150)는 이송부(130)에서 분리되는 노즐(120)을 회수하도록, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치한다. 회수부(150)는 스테이지(110)와 저장부(140) 사이에 위치할 수 있다. 이에, 이송부(130)는 스테이지(110)에서 회수부(150) 측으로 먼저 이동하여 노즐(120)을 분리시킨 후, 저장부(140) 측으로 이동하여 새로운 노즐(120)과 결합되기가 용이해질 수 있다. 또한, 회수부(150)는, 노즐(120)이 삽입될 수 있는 관통구(151a)가 형성되는 제2 플레이트(151), 및 제2 플레이트(151)를 지지해주는 제2 지지대(152)를 포함한다.
제2 플레이트(151)는 사각판 형태로 형성될 수 있다. 제2 플레이트(151)의 일면(또는, 상부면)에는 노즐(120)이 삽입되어 지지될 수 있는 하나 또는 복수개의 관통구(151a)가 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 관통구(151a)에 끼워져 제2 플레이트(151)를 상하방향으로 관통할 수 있다.
관통구(151a)가 복수개 구비되는 경우, 관통구(151a)들은 제2 플레이트(151)의 연장방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 관통구(151a)들은 서로 이격되기 때문에, 이송부(130)가 회수부(150)로 노즐(120)을 분리시킬 때, 회수부(150)에 끼워진 다른 노즐(120)과 이송부(130)가 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 관통구(151a)는 노즐(120)의 둘레 형상을 따라 형성된다. 관통구(151a)의 직경은 노즐(120)의 외경보다 크거나 같게 형성된다. 이에, 관통구(151a) 내로 노즐(120)이 용이하게 삽입되어 지지될 수 있다.
이때, 이송부(130)가 노즐(120)과 용이하게 분리되도록 관통구(151a)가 경사진 방향으로 제2 플레이트(151)에 형성될 수 있다. 즉, 관통구(151a)에 노즐(120)이 지지되는 각도가, 이송부(130)가 노즐(120)을 지지하는 각도와 동일하게 형성될 수 있다. 이에, 노즐(120)이 관통구(151a)에 삽입될 때, 기울어진 상태로 삽입되어 지지될 수 있다. 그러나 제2 플레이트(151)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제2 지지대(152)는 제2 플레이트(151)와 연결되어 제2 플레이트(151)를 지지해줄 수 있다. 제2 지지대(152)는, 저장부(140)의 제1 지지대(142)와 동일한 구조로 형성될 수 있다. 다 쓴 노즐(120)이 회수부(150)로 수거되기 때문에, 노즐(120)들을 처리하기가 용이해질 수 있다.
회수부(150)가 스테이지(110)와 저장부(140) 사이의 이송부(130)가 이동하는 경로에 위치하기 때문에, 이송부(130)에 결합된 노즐(120)을 회수부(150)에 분리시킨 후, 저장부(140)에서 새로운 노즐(120)과 이송부(130)를 용이하게 결합시킬 수 있다. 즉, 이송부(130)는 저장부(140)에 지지되는 노즐(120) 측으로 이동하고, 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 작동을 제어하여 노즐(120)과 결합시킨 후, 저장부(140) 외측으로 이동시킬 수 있다.
이처럼 용이하고 신속하게 토출장치(100)의 노즐(120)을 교체할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐(120)을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐(120)을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 작업자가 직접 노즐(120)을 교체하지 않고, 장치가 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐(120) 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐(120) 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 토출장치의 노즐 교체방법을 나타내는 플로우 차트이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 노즐 교체방법에 대해 설명하기로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 노즐 교체방법은, 토출장치(100)에 구비되는 노즐을 교체하는 방법이다. 이때, 노즐(120)은 전기수력학을 이용하여 액상물질을 토출할 수 있는 노즐일 수 있고, 내부에 액상물질이 저장될 수 있다. 그러나 노즐(120)의 종류는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
도 5를 참조하면, 우선 액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련할 수 있다.(S110) 저장부(140)는 하나 또는 복수개의 노즐(120)을 지지하고 있고, 이송부(130)가 이동할 수 있는 영역 내에 위치한다. 이때, 저장부(140)에 지지되는 노즐(120)은 내부에 액상물질이 채워진 상태일 수 있다.
그 다음, 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단할 수 있다.(S120) 즉, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질을 모두 사용하거나, 미리 설정된 양만큼 사용하면, 이송부(130)에 결합된 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행할 수 있다.
예를 들어, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부의 액상물질이 부족한지 판단하기 위해, 이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지할 수 있다.
이송부(130)와 결합된 노즐(120) 내부에 저장된 액상물질의 양을 감지하기 위해서 노즐(120)의 무게를 감지할 수 있다. 노즐(120)에 저장된 액상물질이 양이 감소할수록 노즐(120)의 무게가 변화되는 것을 감지하여 노즐(120) 내부의 액상물질이 저장된 양을 감지할 수 있다. 따라서, 측정되는 노즐(120)의 무게가 미리 설정된 무게값과 비교해 작으면, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다.
감지부가 이송부(130)와 결합된 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 감지하기 위해선 노즐(120)에서 토출되는 액상물질의 양을 관찰할 수 있다. 이에, 노즐(120)에 전원을 인가하였는데도, 노즐(120)에서 액상물질이 토출되지 않는 것이 관찰되면, 노즐(120) 내부의 액상물질이 모두 사용되었다고 판단할 수 있다. 따라서, 노즐(120) 내부에 사용할 수 있는 액상물질이 남아있지 않다는 것을 알 수 있고, 이송부(130)와 결합된 노즐(120)을 다른 노즐(120)로 교체해야 한다고 판단할 수 있다.
또는, 노즐(120)을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교할 수도 있다. 예를 들어, 설정 시간으로 4주를 설정할 수 있고, 노즐(120)을 사용한 시간이 설정 시간인 4주 이상이되면, 노즐(120)에 저장된 액상물질의 양이 부족하다고 판단할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 너무 오랜 시간 사용하여 노즐(120)을 교체해야 한다고 판단할 수 있다. 따라서, 주기적으로 자동으로 노즐(120)을 교체하여 사용할 수 있고, 리페어 공정 중 노즐(120)에 액상물질이 부족해지는 사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그러나 이송부(130)와 결합된 노즐(120)의 상태를 감지하는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
그 다음, 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 이송부와 결합된 노즐을 이송부에서 분리시키고, 이송부를 저장부 측으로 이동시킬 수 있다.(S130) 예를 들어, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키기 전에, 회수부(150) 측으로 이동시킬 수 있다. 회수부(150) 측으로 이동한 이송부(130)는 결합된 노즐(120)을 회수부(150)의 관통구(151a)에 끼워 넣을 수 있다. 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이의 이격거리를 증가시키면, 노즐(120)이 분리되어 회수부(150)에 지지된다. 노즐(120)과 분리된 이송부(130)를 회수부(150) 외측으로 이동시키면 회수부(150)에 노즐(120)이 완전히 회수될 수 있다.
또는, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시키고, 저장부(140) 중 노즐(120)이 끼워져 있지 않은 삽입구(141a)에 이송부(130)에 결합되었던 노즐(120)을 분리시킬 수 있다. 이송부(130)는 다른 삽입구(141a)에 끼워져 있는 새로운 노즐(120)과 결합될 수 있다. 즉, 저장부(140)에서 다 쓴 노즐(120)을 회수하고, 이송부(130)에 새로운 노즐(120)을 공급하는 역할을 수행할 수도 있다.
그 다음, 이송부(130)를 저장부(140) 측으로 이동시킬 수 있다. 저장부에 지지된 노즐과 이송부를 결합할 수 있다.(S140) 이송부(130)의 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를, 저장부(140)의 삽입구(141a)에 끼워진 노즐(120)을 향해 이동시킬 수 있다. 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이의 이격공간에 노즐(120)의 일단부가 위치하면, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)의 이격거리를 좁혀 노즐(120)과 접촉시킬 수 있다. 노즐(120)은 제1 부재(131)와 제2 부재(132) 사이에 끼워져 이송부(130)와 결합될 수 있다.
이때, 제1 부재(131)와 제2 부재(132)를 노즐(120)과 접촉시키면서, 제1 부재(131) 및 제2 부재(132) 중 적어도 어느 하나에 구비되는 제2 전기 전도부재(133)와, 노즐(120)에 구비된 제1 전기 전도부재(125)와 접촉할 수 있다. 이에, 이송부(130)와 노즐(120)이 전기적으로 연결될 수 있고, 전원공급기에서 발생시킨 전원이 제2 전기 전도부재(133)를 통해 제1 전기 전도부재(125)로 전달되고, 제1 전기 전도부재(125)에서 다시 핀 부재로 전원을 전달하여 노즐(120)에 전원을 인가할 수 있다. 즉, 제1 전기 전도부재(125)와 제2 전기 전도부재(133)를 접촉시켜, 전원공급기가 노즐(120)로 전원을 공급할 수 있는 경로를 형성할 수 있다.
그 다음, 이송부(130)를 저장부(140) 외측으로 이동시킬 수 있다. 이에, 이송부(130)와 새로 결합되는 노즐(120)이 저장부(140)에서 분리되고, 이송부(130)와 함께 이동할 수 있다. 이송부(130)는 다시 스테이지(110)의 상측으로 이동할 수 있고, 스테이지(110) 상에서 노즐(120)을 원하는 위치로 이동시켜 액상물질을 토출하는 작업을 수행할 수 있다.
이처럼, 용이하고 신속하게 토출장치(100)의 노즐(120)을 교체할 수 있다. 이에, 노즐(120)을 교체하는 작업의 시간을 단축하여, 노즐(120)을 이용한 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐(120)을 이용한 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 작업자가 직접 노즐(120)을 교체하지 않고, 장치가 노즐(120)을 교체하는 작업을 수행하기 때문에, 노즐(120) 교체작업의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에, 노즐(120) 교체작업의 불량률이 감소하여 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 토출장치 110: 스테이지
120: 노즐 130: 이송부
140: 저장부 150: 회수부

Claims (13)

  1. 기판이 안착될 수 있는 스테이지;
    내부에 저장된 액상물질을 외부로 토출할 수 있는 노즐;
    노즐을 이동 가능하게 지지하고, 노즐과 분리 가능하게 결합되는 이송부; 및
    상기 이송부에 결합된 노즐과 교체될 수 있는 다른 노즐을 지지하고, 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 저장부;를 포함하는 토출장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 저장부는,
    노즐이 삽입될 수 있는 삽입구가 형성되는 플레이트; 및
    상기 플레이트를 지지해주는 지지대;를 포함하는 토출장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이송부는,
    제1 부재; 및
    적어도 일부분이 상기 제1 부재와 이격되는 제2 부재;를 포함하고,
    노즐이 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 공간 내로 삽입될 수 있고, 노즐에 밀착되도록 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 이격되는 정도가 조절 가능한 토출장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측의 적어도 일부분이 기울어지게 형성되고,
    상기 저장부에 상기 노즐이 기울어져 지지되는 토출장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 부재 및 상기 제2 부재는 노즐과 결합될 수 있는 일측이 기울어진 각도가 조절 가능한 토출장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    노즐에 제1 전기 전도부재가 구비되고,
    노즐에 전원을 인가할 수 있도록 상기 제1 부재 및 상기 제2 부재 중 적어도 어느 하나에 상기 제1 전기 전도부재와 접촉할 수 있는 제2 전기 전도부재가 설치되는 토출장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송부에 결합된 노즐의 상태를 감지할 수 있는 감지부; 및
    상기 감지부와 연결되어 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 토출장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송부에서 분리되는 노즐을 회수하도록, 상기 이송부가 이동할 수 있는 영역 내에 위치하는 회수부를 더 포함하는 토출장치.
  9. 토출장치에 구비되는 노즐을 교체하는 방법으로서,
    액상물질이 저장된 노즐을 지지하는 저장부를 마련하는 과정;
    이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정;
    상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족하다고 판단하면, 상기 이송부와 결합된 노즐을 상기 이송부에서 분리시키고, 상기 이송부를 상기 저장부 측으로 이동시키는 과정; 및
    상기 저장부에 지지된 노즐과 상기 이송부를 결합하는 과정;을 포함하는 노즐 교체방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은,
    상기 노즐을 사용한 시간이 미리 설정된 시간 이상인지 비교하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 이송부와 결합된 노즐 내부의 액상물질이 부족한지 판단하는 과정은,
    상기 이송부와 결합된 노즐 내부에 저장된 액상물질의 양, 및 상기 이송부와 결합된 노즐에서 토출되는 액상물질의 양 중 적어도 어느 하나를 감지하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.
  12. 청구항 9에 있어서,
    상기 이송부와 결합된 노즐은 상기 이송부에서 분리시키는 과정은,
    분리된 노즐을 회수하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.
  13. 청구항 8 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송부와 상기 저장부에 지지된 노즐을 결합하는 과정은,
    상기 이송부와 상기 노즐은 전기적으로 연결하는 과정을 포함하는 노즐 교체방법.
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