KR20180091197A

KR20180091197A - Thermo electric device

Info

Publication number: KR20180091197A
Application number: KR1020170016049A
Authority: KR
Inventors: 박찬영
Original assignee: 엘지이노텍 주식회사
Priority date: 2017-02-06
Filing date: 2017-02-06
Publication date: 2018-08-16

Abstract

According to an embodiment of the present invention, a thermoelectric device with improved thermoelectric performance comprises a lower substrate; an upper substrate disposed on the lower substrate; P-type and N-type thermoelectric legs disposed between the lower and upper substrates and spaced apart from each other; a lower electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the lower substrate; and an upper electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the lower substrate. The lower electrode and the upper electrode include inclined surfaces, and the lengths of the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg are different from each other.

Description

열전 소자{THERMO ELECTRIC DEVICE}[0001] THERMO ELECTRIC DEVICE [0002]

실시예는 열전 소자에 관한 것이다.An embodiment relates to a thermoelectric device.

열전현상은 재료 내부의 전자(electron)와 정공(hole)의 이동에 의해 발생하는 현상으로, 열과 전기 사이의 직접적인 에너지 변환을 의미한다.Thermoelectric phenomenon is a phenomenon caused by the movement of electrons and holes inside a material, which means direct energy conversion between heat and electricity.

열전 소자는 열전현상을 이용하는 소자를 총칭하며, P형 열전 재료와 N형 열전 재료를 금속 전극들 사이에 접합시켜 PN 접합 쌍을 형성하는 구조를 가진다. Thermoelectric elements are collectively referred to as elements utilizing thermoelectric phenomenon and have a structure in which a p-type thermoelectric material and an n-type thermoelectric material are bonded between metal electrodes to form a PN junction pair.

열전 소자는 전기저항의 온도 변화를 이용하는 소자, 온도 차에 의해 기전력이 발생하는 현상인 제벡 효과를 이용하는 소자, 전류에 의한 흡열 또는 발열이 발생하는 현상인 펠티에 효과를 이용하는 소자 등으로 구분될 수 있다.The thermoelectric element can be classified into a device using a temperature change of electrical resistance, a device using a Seebeck effect that generates electromotive force by a temperature difference, a device using a Peltier effect that is a phenomenon in which heat is generated by heat or a heat is generated .

열전 소자는 가전제품, 전자부품, 통신용 부품 등에 다양하게 적용되고 있다. 예를 들어, 열전 소자는 냉각용 장치, 온열용 장치, 발전용 장치 등에 적용될 수 있다. 이에 따라, 열전 소자의 열전성능에 대한 요구는 점점 더 높아지고 있다.Thermoelectric devices are widely applied to household appliances, electronic components, and communication components. For example, a thermoelectric element can be applied to a cooling device, a heating device, a power generation device, and the like. As a result, there is a growing demand for thermoelectric performance of thermoelectric elements.

따라서, 열전 성을을 향상시킬수 있는 새로운 구조의 열전 소자가 요구된다.Therefore, a thermoelectric device having a new structure capable of improving the thermal conductivity is required.

실시예는 향상된 열전 성능을 가지는 열전 소자를 제공하고자 한다.The embodiment attempts to provide a thermoelectric device having an improved thermoelectric performance.

실시예에 따른 열전 소자는, 하부 기판; 상기 하부 기판 상에 배치되는 상부 기판; 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이에 배치되고, 서로 이격하는 P형 열전 레그 및 N형 열전 레그; 상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그와 상기 하부 기판을 연결하는 하부 전극; 및 상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그와 상기 상부 기판을 연결하는 상부 전극을 포함하고, 상기 하부 전극 및 상기 상부 전극은 경사면을 포함하고, 상기 P형 열전 레그와 상기 N형 열전 레그의 길이는 서로 상이하다.A thermoelectric device according to an embodiment includes: a lower substrate; An upper substrate disposed on the lower substrate; A P-type thermoelectric leg and an N-type thermoelectric leg disposed between the lower substrate and the upper substrate and spaced apart from each other; A lower electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the lower substrate; And an upper electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the upper substrate, wherein the lower electrode and the upper electrode include an inclined surface, and the P-type thermoelectric leg and the N- The lengths are different from each other.

실시예에 따른 열전 소자는 하부 전극 및 상부 전극이 경사면을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 전극 및 상기 상부 전극과 접촉하며 배치되는 상기 P형 열전 레그 및/또는 상기 N형 열전 레그가 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판의 일면에 대해 경사를 가지면서 배치될 수 있다.In the thermoelectric device according to the embodiment, the lower electrode and the upper electrode may include inclined surfaces. Accordingly, the P-type thermoelectric leg and / or the N-type thermoelectric leg disposed in contact with the lower electrode and the upper electrode may be disposed with an inclination relative to one surface of the lower substrate and the upper substrate.

이에 따라, 상기 하부 전극, 상기 N형 열전 레그, 상기 상부 전극 및 상기 P형 열전 레그 방향으로 이동하는 전류의 경로를 감소시킬 수 있다. 즉, 상기 N형 열전 레그 및 상기 P형 열전 레그가 상기 기판에 대해 수직 방향으로 연장하며 배치되는 것에 비해 이동하는 전류의 경로를 감소시킬 수 있다.Accordingly, it is possible to reduce the path of the current moving in the direction of the lower electrode, the N-type thermoelectric leg, the upper electrode, and the P-type thermoelectric leg. That is, compared to the case where the N-type thermoelectric leg and the P-type thermoelectric leg extend perpendicularly to the substrate, the path of the moving current can be reduced.

따라서, 열전 소자에서 이동하는 전류의 이동 경로를 감소시킴으로써, 열전 소자의 저항을 감소시킬 수 있으며, 이에 따라, 열전 소자의 전체적인 성능을 향상시킬 수 있다.Accordingly, the resistance of the thermoelectric element can be reduced by reducing the movement path of the current moving in the thermoelectric element, thereby improving the overall performance of the thermoelectric element.

도 1은 제 1 실시예에 따른 열전 소자의 사시도를 도시한 도면이다.
도 2는 제 1 실시예에 따른 열전 소자의 일 단면도를 도시한 도면이다.
도 3은 제 2 실시예에 따른 열전 소자의 사시도를 도시한 도면이다.
도 4는 제 2 실시예에 따른 열전 소자의 일 단면도를 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 7은 적층 구조의 열전 레그를 도시한 도면들이다.
도 8은 실시예에 따른 열전 레그용 소결체를 제조하기 위한 공정 흐름도를 도시한 도면이다.1 is a perspective view of a thermoelectric device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a thermoelectric device according to the first embodiment.
3 is a perspective view of a thermoelectric device according to the second embodiment.
4 is a cross-sectional view of a thermoelectric device according to the second embodiment.
5 to 7 are views showing thermoelectric legs of a laminated structure.
8 is a view showing a process flow chart for manufacturing a sintered body for a thermoelectric leg according to an embodiment.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated and described in the drawings. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다. The terms including ordinal, such as second, first, etc., may be used to describe various elements, but the elements are not limited to these terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the second component may be referred to as a first component, and similarly, the first component may also be referred to as a second component. And / or < / RTI > includes any combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description thereof will be omitted.

이하. 도 1 및 도 2를 참조하여, 제 1 실시예에 따른 열전 소자를 설명한다.Below. A thermoelectric device according to the first embodiment will be described with reference to Figs. 1 and 2. Fig.

도 1을 참조하면, 제 1 실시예에 따른 열전 소자는 하부 기판(110), 하부 전극(120), P형 열전 레그(130), N형 열전 레그(140), 상부 전극(150) 및 상부 기판(160)을 포함할 수 있다.1, the thermoelectric device according to the first embodiment includes a lower substrate 110, a lower electrode 120, a P-type thermoelectric leg 130, an N-type thermoelectric leg 140, an upper electrode 150, And may include a substrate 160.

상기 하부 전극(120)은 상기 하부 기판(110)과 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)의 하부 바닥면 사이에 배치될 수 있다. 또한, 상기 상부 전극(150)은 상기 상부 기판(160)과 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)의 상부 바닥면 사이에 배치될 수 있다. The lower electrode 120 may be disposed between the lower substrate 110 and the lower surface of the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140. The upper electrode 150 may be disposed between the upper substrate 160 and the upper bottom surface of the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140.

이에 따라, 복수의 P형 열전 레그(130) 및 복수의 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 하부 전극(120)과 상기 상부 전극(150) 사이에 배치되며, 전기적으로 연결되는 한 쌍의 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 단위 셀을 형성할 수 있다. Accordingly, the plurality of P-type thermoelectric legs 130 and the plurality of N-type thermoelectric legs 140 may be electrically connected by the lower electrode 120 and the upper electrode 150. A pair of P-type thermoelectric legs 130 and N-type thermoelectric legs 140, which are disposed between the lower electrode 120 and the upper electrode 150 and are electrically connected to each other, may form a unit cell.

예를 들어, 리드선(181, 182)을 통하여 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)에 전압을 인가하면, 펠티에 효과로 인하여 상기 P형 열전 레그(130)로부터 상기 N형 열전 레그(140)로 전류가 흐르는 기판은 열을 흡수하여 냉각부로 작용하고, N형 열전 레그(140)로부터 P형 열전 레그(130)로 전류가 흐르는 기판은 가열되어 발열부로 작용할 수 있다.For example, when a voltage is applied to the lower electrode 120 and the upper electrode 150 through the lead wires 181 and 182, the P-type thermoelectric conversion element 130 is turned off from the N-type thermoelectric leg 130 The substrate on which current flows through the N-type thermoelectric legs 140 to the P-type thermoelectric legs 130 can be heated to act as a heat generating portion.

여기서, P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 비스무스(Bi) 및 텔루륨(Te)를 주원료로 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 열전 레그일 수 있다. Here, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be bismuth telluride (Bi-Te) thermoelectric legs containing bismuth (Bi) and tellurium (Te) as main raw materials.

상기 P형 열전 레그(130)는 전체 중량 100wt%에 대하여 안티몬(Sb), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga), 텔루륨(Te), 비스무스(Bi) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 주원료 물질 99wt% 내지 99.999wt%와 Bi 또는 Te를 포함하는 혼합물 0.001wt% 내지 1wt%를 포함하는 열전 레그일 수 있다. 예를 들어, 주원료물질이 Bi-Sb-Te이고, Bi 또는 Te를 전체 중량의 0.001wt% 내지 1wt%로 더 포함할 수 있다. The P-type thermoelectric leg 130 may be formed of a material selected from the group consisting of Sb, Ni, Al, Cu, Ag, Pb, B, 99 to 99.999% by weight of a bismuth telluride (Bi-Te) base material containing at least one of gallium (Ga), tellurium (Te), bismuth (Bi) and indium It may be a thermoelectric leg comprising from 0.001 wt% to 1 wt% of the mixture. For example, the base material may be Bi-Sb-Te and Bi or Te in an amount of 0.001 wt% to 1 wt% of the total weight.

상기 N형 열전 레그(140)는 전체 중량 100wt%에 대하여 셀레늄(Se), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 납(Pb), 붕소(B), 갈륨(Ga), 텔루륨(Te), 비스무스(Bi) 및 인듐(In) 중 적어도 하나를 포함하는 비스무스텔루라이드(Bi-Te)계 주원료 물질 99wt% 내지 99.999wt%와 Bi 또는 Te를 포함하는 혼합물 0.001wt% 내지 1wt%를 포함하는 열전 레그일 수 있다. 예를 들어, 주원료물질이 Bi-Se-Te이고, Bi 또는 Te를 전체 중량의 0.001wt% 내지 1wt%로 더 포함할 수 있다.The n-type thermoelectric transducer 140 may be formed of at least one selected from the group consisting of Se, Ni, Al, Cu, Ag, Pb, B, 99 to 99.999% by weight of a bismuth telluride (Bi-Te) base material containing at least one of gallium (Ga), tellurium (Te), bismuth (Bi) and indium It may be a thermoelectric leg comprising from 0.001 wt% to 1 wt% of the mixture. For example, the base material may be Bi-Se-Te and further contain Bi or Te in an amount of 0.001 wt% to 1 wt% of the total weight.

상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 벌크형 또는 적층형으로 형성될 수 있다. 일반적으로 벌크형 P형 열전 레그(130) 또는 벌크형 N형 열전 레그(140)는 열전 소재를 열처리하여 잉곳(ingot)을 제조하고, 잉곳을 분쇄하고 체거름하여 열전 레그용 분말을 획득한 후, 이를 소결하고, 소결체를 커팅하는 과정을 통하여 얻어질 수 있다. 적층형 P형 열전 레그(130) 또는 적층형 N형 열전 레그(140)는 시트 형상의 기재 상에 열전 소재를 포함하는 페이스트를 도포하여 단위 부재를 형성한 후, 단위 부재를 적층하고 커팅하는 과정을 통하여 얻어질 수 있다.The P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be formed in a bulk or laminated form. Generally, the bulk type P-type thermoelectric leg 130 or the bulk N-type thermoelectric leg 140 is manufactured by heat-treating the thermoelectric material to produce an ingot, pulverizing and sieving the ingot to obtain a thermoelectric leg powder, Sintered body, and cutting the sintered body. The laminated P-type thermoelectric leg 130 or the laminated N-type thermoelectric leg 140 is formed by applying a paste containing a thermoelectric material on a sheet-shaped substrate to form a unit member, then stacking and cutting the unit member Can be obtained.

이때, 한 쌍의 P형 열전 레그(130) 및 N형 열전 레그(140)는 동일한 형상 및 체적을 가지거나, 서로 다른 형상 및 체적을 가질 수 있다. 예를 들어, P형 열전 레그(130)와 N형 열전 레그(140)의 전기 전도 특성이 상이하므로, N형 열전 레그(140)의 높이 또는 단면적을 P형 열전 레그(130)의 높이 또는 단면적과 다르게 형성할 수도 있다. At this time, the pair of the P-type thermoelectric legs 130 and the N-type thermoelectric legs 140 may have the same shape and volume, or may have different shapes and volumes. Since the electrical conduction characteristics of the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 are different from each other, the height or the cross-sectional area of the N-type thermoelectric leg 140 may be set to a height or a cross- May be formed differently.

본 발명의 한 실시예에 따른 열전 소자의 성능은 제벡 지수로 나타낼 수 있다. 제백 지수(ZT)는 수학식 1과 같이 나타낼 수 있다.The performance of a thermoelectric device according to an embodiment of the present invention can be represented by a Gebeck index. The whiteness index (ZT) can be expressed by Equation (1).

[수학식 1][Equation 1]

여기서, α는 제벡계수[V/K]이고, σ는 전기 전도도[S/m]이며, α2σ는 파워 인자(Power Factor, [W/mK2])이다. 그리고, T는 온도이고, k는 열전도도[W/mK]이다. k는 a·cp·ρ로 나타낼 수 있으며, a는 열확산도[cm2/S]이고, cp 는 비열[J/gK]이며, ρ는 밀도[g/cm3]이다.Here, α is the Seebeck coefficient [V / K], σ is the electric conductivity [S / m], and α2σ is the power factor (W / mK2). T is the temperature, and k is the thermal conductivity [W / mK]. k can be expressed as a · cp · ρ, where a is the thermal diffusivity [cm2 / S], cp is the specific heat [J / gK], and ρ is the density [g / cm3].

열전 소자의 제백 지수를 얻기 위하여, Z미터를 이용하여 Z 값(V/K)을 측정하며, 측정한 Z값을 이용하여 제벡 지수(ZT)를 계산할 수 있다. In order to obtain the whiteness index of the thermoelectric element, the Z value (V / K) is measured using a Z meter, and the Zebek index (ZT) can be calculated using the measured Z value.

여기서, 상기 하부 기판(110)과 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140) 사이에 배치되는 상기 하부 전극(120), 그리고 상기 상부 기판(160)과 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140) 사이에 배치되는 상기 상부 전극(150)은 구리(Cu), 은(Ag) 및 니켈(Ni) 중 적어도 하나를 포함하며, 0.01㎜ 내지 0.3mm의 두께를 가질 수 있다. Here, the lower electrode 120 disposed between the lower substrate 110 and the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140, and the upper substrate 160 and the P- The upper electrode 150 disposed between the n-type thermoelectric leg 130 and the n-type thermoelectric leg 140 includes at least one of copper (Cu), silver (Ag), and nickel (Ni) Thickness.

상기 하부 전극(120) 또는 상기 상부 전극(150)의 두께가 0.01mm 미만인 경우, 전극으로서 기능이 떨어지게 되어 전기 전도 성능이 낮아질 수 있으며, 0.3㎜를 초과하는 경우 저항의 증가로 인하여 전도 효율이 낮아질 수 있다.If the thickness of the lower electrode 120 or the upper electrode 150 is less than 0.01 mm, the function as an electrode may be deteriorated and the electric conduction performance may be lowered. If the thickness is more than 0.3 mm, .

그리고, 상호 대향하는 상기 하부 기판(110)과 상기 상부 기판(160)은 절연 기판 또는 금속 기판일 수 있다. The lower substrate 110 and the upper substrate 160, which are opposed to each other, may be an insulating substrate or a metal substrate.

절연 기판은 알루미나 기판 또는 유연성을 가지는 고분자 수지 기판일 수 있다. 유연성을 가지는 고분자 수지 기판은 폴리이미드(PI), 폴리스티렌(PS), 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA), 환상 올레핀 코폴리(COC), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 레진(resin)과 같은 고투과성 플라스틱 등의 다양한 절연성 수지재를 포함할 수 있다. The insulating substrate may be an alumina substrate or a polymer resin substrate having flexibility. The flexible polymer resin substrate having flexibility has high permeability such as polyimide (PI), polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic olefin copoly (COC), polyethylene terephthalate (PET) Plastic, and the like.

금속 기판은 Cu, Cu 합금 또는 Cu-Al 합금을 포함할 수 있으며, 그 두께는 0.1㎜ 내지 0.5㎜일 수 있다. 금속 기판의 두께가 0.1㎜ 미만이거나, 0.5㎜를 초과하는 경우, 방열 특성 또는 열전도율이 지나치게 높아질 수 있으므로, 열전 소자의 신뢰성이 저하될 수 있다. The metal substrate may include Cu, a Cu alloy, or a Cu-Al alloy, and the thickness thereof may be 0.1 mm to 0.5 mm. When the thickness of the metal substrate is less than 0.1 mm or exceeds 0.5 mm, the heat radiation characteristic or the thermal conductivity may become excessively high, so that the reliability of the thermoelectric device may be deteriorated.

또한, 상기 하부 기판(110)과 상기 상부 기판(160)이 금속 기판인 경우, 상기 하부 기판(110)과 상기 하부 전극(120) 사이 및 상기 상부 기판(160)과 상기 상부 전극(150) 사이에는 각각 유전체층(170)이 더 배치될 수 있다. In the case where the lower substrate 110 and the upper substrate 160 are metal substrates, a gap between the lower substrate 110 and the lower electrode 120 and between the upper substrate 160 and the upper electrode 150 The dielectric layer 170 may be further disposed.

상기 유전체층(170)은 5~10W/K의 열전도도를 가지는 소재를 포함하며, 0.01㎜ 내지 0.15㎜의 두께로 형성될 수 있다. 상기 유전체층(170)의 두께가 0.01㎜ 미만인 경우 절연 효율 또는 내전압 특성이 저하될 수 있고, 0.15㎜를 초과하는 경우 열전도도가 낮아져 방열효율이 떨어질 수 있다. The dielectric layer 170 includes a material having a thermal conductivity of 5 to 10 W / K, and may be formed to a thickness of 0.01 mm to 0.15 mm. If the thickness of the dielectric layer 170 is less than 0.01 mm, the insulation efficiency or withstanding voltage characteristics may be deteriorated. If the thickness exceeds 0.15 mm, the thermal conductivity may be lowered and the thermal efficiency may be lowered.

이때, 상기 하부 기판(110)과 상기 상부 기판(160)의 크기는 다르게 형성될 수도 있다. 예를 들어, 상기 하부 기판(110)과 상기 상부 기판(160) 중 하나의 체적, 두께 또는 면적은 다른 하나의 체적, 두께 또는 면적보다 크게 형성될 수 있다. 이에 따라, 열전 소자의 흡열 성능 또는 방열 성능을 높일 수 있다. At this time, the sizes of the lower substrate 110 and the upper substrate 160 may be different. For example, the volume, thickness, or area of one of the lower substrate 110 and the upper substrate 160 may be greater than the other volume, thickness, or area. Thus, the heat absorption performance or the heat radiation performance of the thermoelectric element can be enhanced.

또한, 상기 하부 기판(110)과 상기 상부 기판(160) 중 적어도 하나의 표면에는 방열 패턴, 예를 들어 요철 패턴이 형성될 수도 있다. 이에 따라, 열전 소자의 방열 성능을 높일 수 있다. 요철 패턴이 P형 열전 레그(130) 또는 N형 열전 레그(140)와 접촉하는 면에 형성되는 경우, 열전 레그와 기판 간의 접합 특성도 향상될 수 있다.In addition, a heat radiation pattern, for example, a concavo-convex pattern may be formed on at least one surface of the lower substrate 110 and the upper substrate 160. Thus, the heat radiation performance of the thermoelectric element can be enhanced. When the concavo-convex pattern is formed on the surface contacting the P-type thermoelectric leg 130 or the N-type thermoelectric leg 140, the junction characteristics between the thermoelectric leg and the substrate can be improved.

상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150) 중 적어도 하나의 전극은 경사면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 경사면을 포함할 수 있다.At least one of the lower electrode 120 and the upper electrode 150 may include an inclined surface. For example, the lower electrode 120 and the upper electrode 150 may include inclined surfaces.

자세하게, 상기 하부 전극(120)의 상부면은 경사면을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)와 접촉하는 상기 하부 전극의 상부면은 경사면을 포함할 수 있다.In detail, the upper surface of the lower electrode 120 may include an inclined surface. In detail, the upper surface of the lower electrode contacting the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may include an inclined surface.

상기 하부 전극(120)은 제 1 경사면(121) 및 제 2 경사면(122)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 경사면(121) 상에는 상기 P형 열전 레그(130)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 경사면(122) 상에는 상기 N형 열전 레그(140)가 배치될 수 있다.The lower electrode 120 may include a first inclined surface 121 and a second inclined surface 122. For example, the P-type thermoelectric leg 130 may be disposed on the first inclined surface 121. Also, the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on the second inclined surface 122.

즉, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 전극(120)의 서로 다른 면 상에 배치될 수 있다. 즉, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 전극(120)의 서로 다른 경사면 상에 배치될 수 있다That is, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on different surfaces of the lower electrode 120. That is, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on different inclined surfaces of the lower electrode 120

또한, 상기 상부 전극(150)의 하부면은 경사면을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)와 접촉하는 상기 상부 전극의 하부면은 경사면을 포함할 수 있다.In addition, the lower surface of the upper electrode 150 may include an inclined surface. In detail, the lower surface of the upper electrode contacting the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may include an inclined surface.

상기 상부 전극(150)은 제 1' 경사면(151) 및 제 2' 경사면(152)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1' 경사면(151) 상에는 상기 P형 열전 레그(130)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2' 경사면(152) 상에는 상기 N형 열전 레그(140)가 배치될 수 있다.The upper electrode 150 may include a first inclined surface 151 and a second inclined surface 152. For example, the P-type thermoelectric leg 130 may be disposed on the first inclined surface 151. Also, the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on the second inclined surface 152.

즉, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 상부 전극(150)의 서로 다른 면 상에 배치될 수 있다. 즉, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 상부 전극(150)의 서로 다른 경사면 상에 배치될 수 있다.That is, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on different surfaces of the upper electrode 150. That is, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed on different inclined surfaces of the upper electrode 150.

상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 복수 개의 면들을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 5개의 면을 가질 수 있다, 또한, 5개의 면들 중 평평한 일면은 상기 하부 기판(110) 상에 배치되고, 5개의 면들 중 2개의 면들은 상기 평평한 일면에 대해 경사를 가지는 경사면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 전체적으로 삼각기둥 형상으로 형성될 수 있다. The lower electrode 120 and the upper electrode 150 may include a plurality of surfaces. In detail, the lower electrode 120 and the upper electrode 150 may have five surfaces. Of the five surfaces, a flat one surface is disposed on the lower substrate 110, and two of the five surfaces The surfaces may include an inclined surface having an inclination with respect to the flat surface. For example, the lower electrode 120 and the upper electrode 150 may be formed in a triangular prism shape as a whole.

상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 일정한 방향으로 경사를 가지며 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 기판(110) 및 상기 상부 기판(160)의 일면에 대해 경사를 가지는 방향으로 배치될 수 있다.The P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be inclined in a predetermined direction. In detail, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be arranged in a direction inclined with respect to one surface of the lower substrate 110 and the upper substrate 160.

자세하게, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 서로 다른 경사 방향으로 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 서로 반대 방향으로 기울어지며 배치될 수 있다.In detail, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be arranged in different directions. In detail, the P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may be arranged to be inclined in opposite directions to each other.

예를 들어, 하나의 하부 전극의 제 1 경사면(121) 및 제 2 경사면(122) 상에 배치되는 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 전체적으로 "V" 형상으로 배치될 수 있다.For example, the P-type thermoelectric legs 130 and the N-type thermoelectric legs 140 disposed on the first inclined surface 121 and the second inclined surface 122 of one lower electrode may have a V-shape as a whole .

또한, 하나의 상부 전극의 제 1' 경사면(151) 및 제 2' 경사면(152) 상에 배치되는 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 전체적으로 "Λ" 형상으로 배치될 수 있다.The P-type thermoelectric legs 130 and the N-type thermoelectric legs 140 disposed on the first sloped surface 151 and the second sloped surface 152 of one upper electrode are formed in a shape of "L" .

즉, 상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 서로 교차되는 방향으로 경사를 가지며 배치될 수 있다.That is, the P-type thermoelectric legs 130 and the N-type thermoelectric legs 140 may be inclined in a direction intersecting with each other.

자세하게, 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 전극(120)의 상기 제 2 경사면(122)에서 상기 상부 전극(150)의 상기 제 1' 경사면(151) 방향으로 연장하며 배치될 수 있다. 또한, 상기 P형 열전 레그(130)는 상기 하부 전극(120)의 상기 제 1 경사면(121)에서 상기 상부 전극(150)의 상기 제 2' 경사면(152) 방향으로 연장하며 배치될 수 있다.In detail, the N-type thermoelectric leg 140 may extend from the second inclined surface 122 of the lower electrode 120 toward the first inclined surface 151 of the upper electrode 150. The P-type thermoelectric transducer 130 may extend from the first inclined surface 121 of the lower electrode 120 to the second inclined surface 152 of the upper electrode 150.

이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 제 2 실시예에 따른 열전 소자를 설명한다. 제 2 실시예에 따른 열전 소자에 대한 설명에서는 앞서 설명한 제 1 실시예에 따른 열전 소자와 동일 유사한 설명에 대해서는 설명을 생략하며, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.Hereinafter, a thermoelectric device according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. In the description of the thermoelectric element according to the second embodiment, description of the same description as the thermoelectric element according to the first embodiment described above will be omitted, and the same reference numerals are assigned to the same constituent elements.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제 2 실시예에 따른 열전 소자는 하부 전극(120) 및 상부 전극(150)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, the thermoelectric device according to the second embodiment may include a lower electrode 120 and an upper electrode 150.

상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 경사면을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)은 각각 하나의 경사면을 포함할 수 있다.The lower electrode 120 and the upper electrode 150 may include inclined surfaces. In detail, the lower electrode 120 and the upper electrode 150 may each include one inclined surface.

자세하게, 상기 하부 전극(120)은 제 1 면(123) 및 제 2 면(124)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 면(123) 또는 상기 제 2 면(124)은 경사면을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 면(123) 또는 상기 제 2 면(124)은 평평한 면을 포함할 수 있다.In detail, the lower electrode 120 may include a first side 123 and a second side 124. The first surface 123 or the second surface 124 may include an inclined surface. In addition, the first surface 123 or the second surface 124 may include a flat surface.

예를 들어, 상기 제 1 면(123)은 평평한 면을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 면(124)은 경사면을 포함할 수 있다.For example, the first side 123 may include a flat side. In addition, the second surface 124 may include an inclined surface.

또한, 상기 상부 전극(150)은 제 1' 면(153) 및 제 2' 면(154)을 포함할 수 있다. 상기 제 1' 면(153) 또는 상기 제 2' 면(154)은 경사면을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1' 면(153) 또는 상기 제 2' 면(154)은 평평한 면을 포함할 수 있다.In addition, the upper electrode 150 may include a first side 153 and a second side 154. The first surface 153 or the second surface 154 may include an inclined surface. In addition, the first surface 153 or the second surface 154 may include a flat surface.

예를 들어, 상기 제 1' 면(153)은 평평한 면을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2' 면(154)은 경사면을 포함할 수 있다.For example, the first surface 153 may include a flat surface. In addition, the second surface 154 may include an inclined surface.

상기 P형 열전 레그(130)는 상기 제 1 면(123) 및 제 1' 면(153)과 접촉하며 배치될 수 있다. 즉, 상기 P형 열전 레그(130)는 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)의 평평한 면과 접촉하며 배치될 수 있다.The P-type thermoelectric leg 130 may be disposed in contact with the first surface 123 and the first surface 153. That is, the P-type thermoelectric leg 130 may be disposed in contact with the flat surface of the lower electrode 120 and the upper electrode 150.

또한, 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 제 2 면(124) 및 제 2' 면(154)과 접촉하며 배치될 수 있다. 즉, 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 전극(120) 및 상기 상부 전극(150)의 경사면과 접촉하며 배치될 수 있다.In addition, the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed in contact with the second surface 124 and the second surface 154. That is, the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed in contact with the inclined surfaces of the lower electrode 120 and the upper electrode 150.

상기 P형 열전 레그(130) 및 상기 N형 열전 레그(140)는 서로 다른 방향으로 연장하며 배치될 수 있다. The P-type thermoelectric leg 130 and the N-type thermoelectric leg 140 may extend in different directions.

자세하게, 상기 P형 열전 레그(130)는 상기 하부 기판(110) 또는 상기 상부 기판(160)의 일면에 대해 수직한 방향으로 연장하며 배치될 수 있다.In detail, the P-type thermoelectric leg 130 may extend in a direction perpendicular to one surface of the lower substrate 110 or the upper substrate 160.

또한, 상기 N형 열전 레그(140)는 상기 하부 기판(110) 또는 상기 상부 기판(160)의 일면에 대해 경사를 가지는 방향으로 배치될 수 있다.In addition, the N-type thermoelectric leg 140 may be disposed in a direction inclined with respect to one surface of the lower substrate 110 or the upper substrate 160.

그러나, 실시예는 이에 제한되지 않고, 상기 P형 열전 레그(130)가 하부 전극 및 상부 전극의 경사면과 접촉하며 배치되어 상기 하부 기판(110) 또는 상기 상부 기판(160)의 일면에 대해 경사를 가지는 방향으로 연장하며 배치되고, 상기 N형 열전 레그(140)는 하부 전극 및 상부 전극의 평평한 면과 접촉하며 배치되어 상기 하부 기판(110) 또는 상기 상부 기판(160)의 일면에 대해 수직한 방향으로 연장하며 배치될 수 있음은 물론이다.However, the present invention is not limited thereto. The P-type thermoelectric transducer 130 may be disposed in contact with the inclined surface of the lower electrode and the upper electrode to be inclined with respect to one surface of the lower substrate 110 or the upper substrate 160 And the N-type thermoelectric leg 140 is disposed in contact with a flat surface of the lower electrode and the upper electrode and extends in a direction perpendicular to one surface of the lower substrate 110 or the upper substrate 160 As shown in FIG.

또한, 상기 P형 열전 레그(130)는 경사면에 접촉하여 배치되고 상기 N형 열전 레그(140)는 평평한 면에 접촉하여 배치됨으로써, 상기 P형 열전 레그(130)의 길이는 상기 N형 열전 레그(140)의 길이는 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 P형 열전 레그(130)의 길이는 상기 N형 열전 레그(140)의 길이보다 길게 형성될 수 있다.In addition, the P-type thermoelectric leg 130 is disposed in contact with an inclined surface and the N-type thermoelectric leg 140 is disposed in contact with a flat surface, so that the length of the P- The lengths of the protrusions 140 may be different. In detail, the length of the P-type thermoelectric leg 130 may be longer than the length of the N-type thermoelectric leg 140.

실시예들에 따른 열전 소자는 하부 전극 및 상부 전극이 경사면을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 전극 및 상기 상부 전극과 접촉하며 배치되는 상기 P형 열전 레그 및/또는 상기 N형 열전 레그가 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판의 일면에 대해 경사를 가지면서 배치될 수 있다.In the thermoelectric device according to embodiments, the lower electrode and the upper electrode may include inclined surfaces. Accordingly, the P-type thermoelectric leg and / or the N-type thermoelectric leg disposed in contact with the lower electrode and the upper electrode may be disposed with an inclination relative to one surface of the lower substrate and the upper substrate.

이하, 실시예들 및 비교예들에 따른 열전 소자를 통하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명한다. 이러한 실시예는 본 발명을 좀더 상세하게 설명하기 위하여 예시로 제시한 것에 불과하다. 따라서 본 발명이 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to thermoelectric elements according to Examples and Comparative Examples. These embodiments are merely illustrative of the present invention in order to explain the present invention in more detail. Therefore, the present invention is not limited to these embodiments.

실시예Example

하부 기판의 상면에 하부 전극을 배치하고, 상부 기판의 하면에 상부 전극을 배치하였으며, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극과 접촉하도록 P형 열전 레그 및 N형 열전 레그를 배치하였다.A lower electrode was disposed on the upper surface of the lower substrate, an upper electrode was disposed on the lower surface of the upper substrate, and a P type thermoelectric leg and an N type thermoelectric leg were arranged so as to be in contact with the lower electrode and the upper electrode.

이때, 상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그 중 적어도 하나의 레그는 하부 기판 및 상부 기판에 대해 경사를 가지는 방향으로 연장하며 배치되었다.At this time, at least one of the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg extends in a direction inclined with respect to the lower substrate and the upper substrate.

이때, 상기 하부 전극 및 상기 상부 전극은 각각 2개의 경사면을 가지도록 전체적으로 삼각 기둥 형상으로 형성하였다.At this time, the lower electrode and the upper electrode are formed in a triangular prism shape so as to have two inclined surfaces, respectively.

이어서, 열전 소자의 저온부의 흡열량(Qc)을 측정하여 열전 소자의 냉각 성능을 측정하였다.Subsequently, the heat absorption amount Qc at the low temperature portion of the thermoelectric element was measured to measure the cooling performance of the thermoelectric element.

비교예Comparative Example

하부 전극 및 상부 전극이 경사면을 가지지 않고, P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그가 하부 기판 및 상부 기판에 대해 수직 방향으로 연장하며 배치되었다는 점을 제외하고는 실시예와 동일하게 열전 소자를 제조하였다.Except that the lower electrode and the upper electrode have no inclined surface and the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg extend in the vertical direction with respect to the lower substrate and the upper substrate, Respectively.

실시예Example 비교예Comparative Example 흡열량QcHeat absorption Qc 59.6778459.67784 47.1238747.12387

표 1을 참조하면, 실시예에 따른 열전 소자의 흡열량이 비교예에 따른 열전 소자의 흡열량에 비해 더 큰 것을 알 수 있다. 자세하게, 실시예에 따른 열전 소자의 흡열량은 비교예에 따른 열전 소자의 흡열량에 대해 약 1.27배인 것을 알 수 있다.Referring to Table 1, it can be seen that the heat absorbing amount of the thermoelectric element according to the embodiment is larger than the heat absorbing amount of the thermoelectric element according to the comparative example. In detail, the heat absorbing amount of the thermoelectric element according to the embodiment is about 1.27 times the heat absorbing amount of the thermoelectric element according to the comparative example.

즉, 실시예에 따른 열전 소자는 하부 전극 및 상부 전극의 형상 및 레그의 배치를 제어함으로써, 전극들 및 레그들을 통과하는 전류의 이동 경로를 감소시킴으로써, 전체적인 저항이 감소되고, 이에 따라, 열전 소자의 흡열량을 증가시켜, 열전 소자의 전체적인 냉각 성능을 향상시킬 수 있는 것을 알 수 있다.That is, by controlling the shapes of the lower and upper electrodes and the arrangement of the legs, the thermoelectric element according to the embodiment reduces the overall resistance by reducing the path of the current passing through the electrodes and the legs, It is possible to improve the overall cooling performance of the thermoelectric element.

본 발명의 한 실시예에 따른 열전 레그는 적층형 구조를 가질 수도 있다. 예를 들어, P형 열전 레그 또는 N형 열전 레그는 시트 형상의 기재에 반도체 물질이 도포된 복수의 구조물을 적층한 후, 이를 절단하는 방법으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 재료의 손실을 막고 전기 전도 특성을 향상시킬 수 있다.The thermoelectric leg according to an embodiment of the present invention may have a laminated structure. For example, the P-type thermoelectric leg or the N-type thermoelectric leg may be formed by stacking a plurality of structures coated with a semiconductor material on a sheet-like base material and then cutting the same. Thus, it is possible to prevent the loss of the material and improve the electric conduction characteristic.

도 5는 적층형 구조의 열전 레그를 제조하는 방법을 나타낸다. 5 shows a method of manufacturing a thermoelectric leg of a laminated structure.

도 5를 참조하면, 반도체 물질을 포함하는 재료를 페이스트 형태로 제작한 후, 시트, 필름 등의 기재(1110) 상에 도포하여 반도체층(1120)을 형성한다. 이에 따라, 하나의 단위부재(1100)가 형성될 수 있다. Referring to FIG. 5, a material including a semiconductor material is formed into a paste and then coated on a substrate 1110 such as a sheet or a film to form a semiconductor layer 1120. Accordingly, one unit member 1100 can be formed.

복수의 단위부재(1100a, 1100b, 1100c)를 적층하여 적층 구조물(1200)을 형성하고, 이를 절단하면 단위 열전 레그(1300)를 얻을 수 있다. A plurality of unit members 1100a, 1100b, and 1100c are laminated to form a laminated structure 1200, and the unit thermoelectric leg 1300 can be obtained by cutting the unit structure.

이와 같이, 단위 열전 레그(1300)는 기재(1110) 상에 반도체층(1120)이 형성된 단위부재(1100)가 복수로 적층된 구조물에 의하여 형성될 수 있다. As described above, the unit thermoelectric leg 1300 can be formed by a structure in which a plurality of unit members 1100 in which a semiconductor layer 1120 is formed on a substrate 1110 are laminated.

여기서, 기재(1110) 상에 페이스트를 도포하는 공정은 다양한 방법으로 행해질 수 있다. 예를 들어, 테이프캐스팅(Tape casting) 방법으로 행해질 수 있다. 테이프캐스팅 방법은 미세한 반도체 물질의 분말을 수계 또는 비수계 용매(solvent), 결합제(binder), 가소제(plasticizer), 분산제(dispersant), 소포제(defoamer) 및 계면활성제 중 선택되는 적어도 하나와 혼합하여 슬러리(slurry) 형태로 제조한 후, 움직이는 칼날(blade) 또는 움직이는 기재 상에서 성형하는 방법이다. 이때, 기재(1110)는 10um~100um 두께의 필름, 시트 등일 수 있으며, 도포되는 반도체 물질로는 상술한 벌크형 소자를 제조하는 P 형 열전 재료 또는 N 형 열전 재료가 그대로 적용될 수 있다.Here, the step of applying the paste on the substrate 1110 can be performed in various ways. For example, by a tape casting method. The tape casting method comprises mixing a powder of a fine semiconductor material with at least one selected from the group consisting of an aqueous or non-aqueous solvent, a binder, a plasticizer, a dispersant, a defoamer and a surfactant to form a slurry (slurry), and then molding on a moving blade or moving substrate. At this time, the substrate 1110 may be a film, a sheet, or the like having a thickness of 10 to 100 μm. As the semiconductor material to be applied, the P-type thermoelectric material or the N-type thermoelectric material for manufacturing the above-described bulk-type device may be directly applied.

단위부재(1100)를 복수의 층으로 어라인하여 적층하는 공정은 50℃~250℃의 온도에서 압착하는 방법으로 행해질 수 있으며, 적층되는 단위부재(110)의 수는, 예를 들어 2~50개일 수 있다. 이후, 원하는 형태와 사이즈로 절단될 수 있으며, 소결공정이 추가될 수 있다.The step of laminating the unit member 1100 in a plurality of layers may be performed by a method of pressing at a temperature of 50 ° C to 250 ° C. The number of the unit members 110 to be laminated is, for example, 2 to 50 . Thereafter, it can be cut into a desired shape and size, and a sintering process can be added.

이와 같이 제조되는 단위 열전 레그(1300)는 두께, 형상 및 크기의 균일성을 확보할 수 있으며, 박형화가 유리하고, 재료의 손실을 줄일 수 있다. The unit thermoelectric legs 1300 thus manufactured can ensure uniformity in thickness, shape, and size, and are advantageous in that they are thin and can reduce loss of materials.

단위 열전 레그(1300)는 원기둥 형상, 다각 기둥 형상, 타원형 기둥 형상 등일 수 있으며, 도 5(d)에서 예시한 바와 같은 형상으로 절단될 수도 있다. The unit thermoelectric leg 1300 may have a cylindrical shape, a polygonal columnar shape, an elliptical columnar shape, or the like, and may be cut into a shape as illustrated in Fig. 5 (d).

한편, 적층형 구조의 열전 레그를 제조하기 위하여, 단위 부재(1100)의 한 표면에 전도성층을 더 형상할 수도 있다. On the other hand, a conductive layer may be further formed on one surface of the unit member 1100 in order to manufacture the thermoelectric leg of the laminated structure.

도 6은 도 5의 적층 구조물 내 단위 부재 사이에 형성되는 전도성층을 예시한다. Figure 6 illustrates a conductive layer formed between unit members in the stacked structure of Figure 5;

도 6을 참조하면, 전도성층(C)은 반도체층(1120)이 형성되는 기재(1110)의 반대 면에 형성될 수 있으며, 기재(1110)의 표면의 일부가 노출되도록 패턴화될 수 있다. 6, the conductive layer C may be formed on the opposite side of the substrate 1110 on which the semiconductor layer 1120 is formed, and may be patterned such that a part of the surface of the substrate 1110 is exposed.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전도성층(C)의 다양한 변형예를 나타낸다. 도 6(a) 및 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 폐쇄형 개구패턴(c1, c2)을 포함하는 메쉬타입 구조 또는 도 6(c) 및 도 6(d)에 도시된 바와 같이, 개방형 개구패턴(c3, c4)을 포함하는 라인타입 구조 등으로 다양하게 변형될 수 있다. 6 shows various modifications of the conductive layer (C) according to the embodiment of the present invention. As shown in Figs. 6 (a) and 6 (b), a mesh type structure including closed-type opening patterns c1 and c2, or a mesh type structure including the open- A line-type structure including open-type opening patterns c3 and c4, and the like.

이러한 전도성층(C)은 단위부재의 적층형 구조로 형성되는 단위 열전 레그 내 단위부재 간의 접착력을 높일 수 있으며, 단위부재간 열전도도를 낮추고, 전기전도도는 향상시킬 수 있다. 전도성층(C)은 금속물질, 예를 들어 Cu, Ag, Ni 등이 적용될 수 있다.The conductive layer (C) can increase the adhesion between the unit members in the unit thermoelectric legs formed by the laminated structure of the unit members, lower the thermal conductivity between the unit members, and improve the electrical conductivity. The conductive layer (C) may be a metal material, for example, Cu, Ag, Ni or the like.

한편, 단위 열전 레그(1300)는 도 7에 도시한 바와 같은 방향으로 절단될 수도 있다. 이러한 구조에 따르면, 수직방향의 열전도 효율을 낮추는 동시에 전기전도특성을 향상할 수 있어 냉각효율을 높일 수 있다.On the other hand, the unit thermoelectric leg 1300 may be cut in a direction as shown in Fig. According to this structure, the thermal conduction efficiency in the vertical direction can be lowered and the electric conduction characteristic can be improved, so that the cooling efficiency can be improved.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 열전 레그는 존 멜팅(zone melting) 방식 또는 분말 소결 방식에 따라 제작될 수 있다. 존 멜팅 방식에 따르면, 열전 소재를 이용하여 잉곳(ingot)을 제조한 후, 잉곳에 천천히 열을 가하여 단일의 방향으로 입자가 재배열되도록 리파이닝하고, 천천히 냉각시키는 방법으로 열전 레그를 얻는다. 분말 소결 방식에 따르면, 열전 소재를 이용하여 잉곳을 제조한 후, 잉곳을 분쇄하고 체거름하여 열전 레그용 분말을 획득하고, 이를 소결하는 과정을 통하여 열전 레그를 얻는다. Meanwhile, the thermoelectric leg according to the embodiment of the present invention can be manufactured according to a zone melting method or a powder sintering method. According to the zone melting method, an ingot is produced using a thermoelectric material, refined to heat the ingot slowly in a single direction, and slowly cooled to obtain a thermoelectric leg. According to the powder sintering method, an ingot is produced using a thermoelectric material, and then the ingot is pulverized and sieved to obtain a thermoelectric material powder, and the thermoelectric material is obtained by sintering the thermoelectric material.

도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 열전 레그용 소결체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.8 is a flowchart showing a method of manufacturing a sintered body for a thermoelectric leg according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 열전 소재를 열처리하여, 잉곳(ingot)을 제조한다(S100). 열전 소재는 Bi, Te 및 Se를 포함할 수 있다. 예를 들어, 열전 소재는 Bi2Te3-ySey(0.1<y<0.4)를 포함할 수 있다. 한편, Bi의 증기 압력은 768℃에서 10Pa이고, Te의 증기 압력은 769℃에서 104Pa이고, Se의 증기 압력은 685℃에서 105Pa이다. 따라서, 일반적인 용융 온도(600~800℃)에서 Te와 Se의 증기 압력이 높아, 휘발성이 크다. 따라서, 열전 레그 제작 시, Te 및 Se 중 적어도 하나의 휘발을 고려하여 칭량할 수 있다. 즉, Te 및 Se 중 적어도 하나를 1 내지 10 중량부로 더 포함시킬 수 있다. 예를 들어, N형 레그 제작 시, Bi2Te3-ySey(0.1<y<0.4) 100 중량부에 대하여 1 내지 10 중량부의 Te 및 Se를 더 포함시킬 수도 있다. Referring to FIG. 8, the thermoelectric material is heat-treated to produce an ingot (S100). The thermoelectric material may include Bi, Te and Se. For example, the thermoelectric material may include Bi2Te3-ySey (0.1 < y < 0.4). On the other hand, the steam pressure of Bi is 10 Pa at 768 캜, the steam pressure of Te is 104 Pa at 769 캜, and the steam pressure of Se is 105 Pa at 685 캜. Therefore, the vapor pressure of Te and Se is high at a general melting temperature (600 to 800 ° C), and the volatility is high. Therefore, at the time of manufacturing the thermoelectric leg, weighing can be performed taking into account at least one of volatilization of Te and Se. That is, at least one of Te and Se may be added in an amount of 1 to 10 parts by weight. For example, Te and Se may be further added in an amount of 1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of Bi2Te3-ySey (0.1 < y < 0.4)

다음으로, 잉곳을 분쇄한다(S110). 이때, 잉곳은 멜트 스피닝(melt spinning) 기법에 따라 분쇄될 수 있다. 이에 따라, 판상 플레이크의 열전 소재가 얻어질 수 있다. Next, the ingot is pulverized (S110). At this time, the ingot may be pulverized according to a melt spinning technique. Thus, a thermoelectric material of the flaky flakes can be obtained.

다음으로, 판상 플레이크의 열전 소재를 도핑용 첨가제와 함께 밀링(milling)한다(S120). 이를 위하여, 예를 들면 슈퍼 믹서(Super Mixer), 볼밀(ball mill), 어트리션 밀(attrition mill), 3롤 밀(3roll mill) 등이 이용될 수 있다. 여기서, 도핑용 첨가제는, 예를 들어 Cu 및 Bi2O3를 포함할 수 있다. 이때, Bi, Te 및 Se를 포함하는 열전 소재는 99.4 내지 99.98wt%, Cu는 0.01 내지 0.1wt%, 그리고 Bi2O3는0.01 내지 0.5wt%의 조성 비, 바람직하게는 Bi, Te 및 Se를 포함하는 열전 소재는 99.48 내지 99.98wt%, Cu는 0.01 내지 0.07wt%, 그리고 Bi2O3는 0.01 내지 0.45wt%의 조성비, 더욱 바람직하게는 Bi, Te 및 Se를 포함하는 열전 소재는 99.67 내지 99.98wt%, Cu는 0.01 내지 0.03wt%, 그리고 Bi2O3는 0.01 내지 0.30wt%의 조성비로 첨가된 후 밀링될 수 있다. Next, the thermoelectric material of the flaky flakes is milled together with the doping additive (S120). For this purpose, for example, a super mixer, a ball mill, an attrition mill, a 3 roll mill, or the like can be used. Here, the additive for doping may include, for example, Cu and Bi2O3. At this time, the thermoelectric material including Bi, Te and Se contains 99.4 to 99.98 wt% of Cu, 0.01 to 0.1 wt% of Cu, and Bi2O3 of 0.01 to 0.5 wt%, preferably Bi, Te and Se The thermoelectric material containing 99.47 to 99.98 wt% of thermoelectric material, 0.01 to 0.07 wt% of Cu, and 0.01 to 0.45 wt% of Bi2O3, more preferably 99.67 to 99.98 wt% of thermoelectric material containing Bi, Te and Se, Is added in a composition ratio of 0.01 to 0.03 wt%, and Bi2O3 is added in a composition ratio of 0.01 to 0.30 wt%, and then milled.

다음으로, 체거름(sieving)을 통하여 열전 레그용 분말을 얻는다(S130). 다만, 체거름 공정은 필요에 따라 추가되는 것으로, 본 발명의 실시예에서 필수적인 공정이 아니다. 이때, 열전 레그용 분말은, 예를 들면 마이크로 단위의 입자 크기를 가질 수 있다.Next, sieving is performed to obtain a powder for thermoelectric legs (S130). However, the screening process is added as needed and is not an essential process in the embodiment of the present invention. At this time, the powder for thermoelectric legs may have a particle size of, for example, micrometers.

다음으로, 열전 레그용 분말을 소결한다(S140). 소결 과정을 얻어진 소결체를 커팅하여 열전 레그를 제작할 수 있다. 소결은, 예를 들면 스파크 플라즈마 소결(SPS, Spark Plasma Sintering) 장비를 이용하여 400 내지 550℃, 35 내지 60MPa 조건에서 1 내지 30분간 진행되거나, 핫 프레스(Hot-press) 장비를 이용하여 400 내지 550℃, 180 내지 250MPa 조건에서 1 내지 60분간 진행될 수 있다. Next, the thermoelectric leg powder is sintered (S140). The thermosetting leg can be manufactured by cutting the sintered body obtained by the sintering process. The sintering may be carried out at 400 to 550 ° C under a condition of 35 to 60 MPa for 1 to 30 minutes using, for example, SPS (Spark Plasma Sintering) equipment, or by using a hot- 550 < 0 > C and 180 to 250 MPa for 1 to 60 minutes.

이때, 열전 레그용 분말은 비정질 리본과 함께 소결될 수 있다. 열전 레그용 분말이 비정질 리본과 함께 소결되면 전기 전도도가 높아지므로, 높은 열전 성능을 얻을 수 있다. 이때, 비정질 리본은 Fe 계 비정질 리본일 수 있다. At this time, the powder for the thermoelectric leg can be sintered together with the amorphous ribbon. When the thermosetting powder is sintered together with the amorphous ribbon, the electrical conductivity is increased, so that a high thermoelectric performance can be obtained. At this time, the amorphous ribbon may be an Fe amorphous ribbon.

한 예로, 비정질 리본은 열전 레그가 상부 전극과 접합하기 위한 면 및 하부 전극과 접합하기 위한 면에 배치된 후 소결될 수 있다. 이에 따라, 상부 전극 또는 하부 전극 방향으로 전기 전도도가 높아질 수 있다. 이를 위하여, 하부 비정질 리본, 열전 레그용 분말 및 상부 비정질 리본이 몰드 내에 순차적으로 배치된 후 소결될 수 있다. 이때, 하부 비정질 리본 및 상부 비정질 리본 상에는 각각 표면 처리층이 형성될 수도 있다. 표면 처리층은 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등에 의하여 형성되는 박막으로, 반도체 재료인 열전 레그용 분말과 반응하더라도 성능 변화가 거의 없는 니켈 등이 사용될 수 있다. As an example, the amorphous ribbon may be disposed on the surface for bonding the thermoelectric leg to the upper electrode and the lower electrode and then sintered. Accordingly, the electric conductivity can be increased in the direction of the upper electrode or the lower electrode. For this purpose, the lower amorphous ribbon, the thermoelectrically reactive powder and the upper amorphous ribbon may be sequentially placed in the mold and then sintered. At this time, the surface treatment layer may be formed on the lower amorphous ribbon and the upper amorphous ribbon, respectively. The surface treatment layer is a thin film formed by a plating method, a sputtering method, a vapor deposition method, or the like. Nickel or the like which hardly changes in performance even when it reacts with a thermoelectric material powder as a semiconductor material can be used.

다른 예로, 비정질 리본은 열전 레그의 측면에 배치된 후 소결될 수도 있다. 이에 따라, 열전 레그의 측면을 따라 전기 전도도가 높아질 수 있다. 이를 위하여, 비정질 리본이 몰드의 벽면을 둘러싸도록 배치된 후, 열전 레그용 분말을 채우고, 소결할 수 있다. As another example, the amorphous ribbon may be disposed on the side of the thermoelectric leg and then sintered. Accordingly, the electric conductivity can be increased along the side surface of the thermoelectric leg. For this purpose, after the amorphous ribbon is arranged so as to surround the wall surface of the mold, the powder for the thermoelectric leg can be filled and sintered.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자는 발전용 장치, 냉각용 장치, 온열용 장치 등에 작용될 수 있다. 구체적으로는, 본 발명의 실시예에 따른 열전 소자는 주로 광통신 모듈, 센서, 의료 기기, 측정 기기, 항공 우주 산업, 냉장고, 칠러(chiller), 자동차 통풍 시트, 컵 홀더, 세탁기, 건조기, 와인셀러, 정수기, 센서용 전원 공급 장치, 서모파일(thermopile) 등에 적용될 수 있다. The thermoelectric device according to the embodiment of the present invention can be applied to a power generation device, a cooling device, a thermal device, and the like. Specifically, the thermoelectric device according to an embodiment of the present invention mainly includes an optical communication module, a sensor, a medical instrument, a measuring instrument, an aerospace industry, a refrigerator, a chiller, a ventilation sheet, a cup holder, a washing machine, , A water purifier, a power supply for a sensor, a thermopile, and the like.

여기서, 본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 의료 기기에 적용되는 예로, PCR(Polymerase Chain Reaction) 기기가 있다. PCR 기기는 DNA를 증폭하여 DNA의 염기 서열을 결정하기 위한 장비이며, 정밀한 온도 제어가 요구되고, 열 순환(thermal cycle)이 필요한 기기이다. 이를 위하여, 펠티어 기반의 열전 소자가 적용될 수 있다. Here, as an example in which the thermoelectric element according to the embodiment of the present invention is applied to a medical instrument, there is a PCR (Polymerase Chain Reaction) device. The PCR device is a device for amplifying DNA to determine the DNA sequence and is a device that requires precise temperature control and thermal cycling. For this purpose, a Peltier based thermoelectric element can be applied.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 의료 기기에 적용되는 다른 예로, 광 검출기가 있다. 여기서, 광 검출기는 적외선/자외선 검출기, CCD(Charge Coupled Device) 센서, X-ray 검출기, TTRS(Thermoelectric Thermal Reference Source) 등이 있다. 광 검출기의 냉각(cooling)을 위하여 펠티어 기반의 열전 소자가 적용될 수 있다. 이에 따라, 광 검출기 내부의 온도 상승으로 인한 파장 변화, 출력 저하 및 해상력 저하 등을 방지할 수 있다. Another example in which a thermoelectric element according to an embodiment of the present invention is applied to a medical instrument is a photodetector. Here, the photodetector includes an infrared / ultraviolet detector, a CCD (Charge Coupled Device) sensor, an X-ray detector, and a TTRS (Thermoelectric Thermal Reference Source). A Peltier-based thermoelectric device can be applied for cooling the photodetector. Thus, it is possible to prevent a wavelength change, an output drop, and a resolution degradation due to a temperature rise inside the photodetector.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 의료 기기에 적용되는 또 다른 예로, 면역 분석(immunoassay) 분야, 인비트로 진단(In vitro Diagnostics) 분야, 온도 제어 및 냉각 시스템(general temperature control and cooling systems), 물리 치료 분야, 액상 칠러 시스템, 혈액/플라즈마 온도 제어 분야 등이 있다. 이에 따라, 정밀한 온도 제어가 가능하다. Another example in which a thermoelectric device according to an embodiment of the present invention is applied to a medical instrument includes an immunoassay field, an in vitro diagnostics field, a general temperature control and cooling system, Physiotherapy field, liquid chiller system, and blood / plasma temperature control field. Thus, precise temperature control is possible.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 의료 기기에 적용되는 또 다른 예로, 인공 심장이 있다. 이에 따라, 인공 심장으로 전원을 공급할 수 있다. Another example in which a thermoelectric element according to an embodiment of the present invention is applied to a medical instrument is an artificial heart. Thus, power can be supplied to the artificial heart.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 항공 우주 산업에 적용되는 예로, 별 추적 시스템, 열 이미징 카메라, 적외선/자외선 검출기, CCD 센서, 허블 우주 망원경, TTRS 등이 있다. 이에 따라, 이미지 센서의 온도를 유지할 수 있다. Examples of applications of the thermoelectric devices according to the embodiments of the present invention to the aerospace industry include star tracking systems, thermal imaging cameras, infrared / ultraviolet detectors, CCD sensors, Hubble Space Telescopes and TTRS. Accordingly, the temperature of the image sensor can be maintained.

본 발명의 실시예에 따른 열전 소자가 항공 우주 산업에 적용되는 다른 예로, 냉각 장치, 히터, 발전 장치 등이 있다. Other examples in which the thermoelectric device according to the embodiment of the present invention is applied to the aerospace industry include a cooling device, a heater, a power generation device, and the like.

이 외에도 본 발명의 실시예에 따른 열전 소자는 기타 산업 분야에 발전, 냉각 및 온열을 위하여 적용될 수 있다. In addition, the thermoelectric device according to the embodiment of the present invention can be applied to power generation, cooling, and heating in other industrial fields.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

Claims

하부 기판;
상기 하부 기판 상에 배치되는 상부 기판;
상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이에 배치되고, 서로 이격하는 P형 열전 레그 및 N형 열전 레그;
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그와 상기 하부 기판을 연결하는 하부 전극; 및
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그와 상기 상부 기판을 연결하는 상부 전극을 포함하고,
상기 하부 전극 및 상기 상부 전극은 경사면을 포함하고,
상기 P형 열전 레그와 상기 N형 열전 레그의 길이는 서로 상이한 열전 소자.A lower substrate;
An upper substrate disposed on the lower substrate;
A P-type thermoelectric leg and an N-type thermoelectric leg disposed between the lower substrate and the upper substrate and spaced apart from each other;
A lower electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the lower substrate; And
And an upper electrode connecting the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg to the upper substrate,
Wherein the lower electrode and the upper electrode comprise inclined surfaces,
Wherein the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg are different in length from each other.

제 1항에 있어서,
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그는 상기 하부 전극의 경사면 및 상기 상부 전극의 경사면과 접촉하며 배치되는 열전 소자.The method according to claim 1,
Wherein the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg are disposed in contact with an inclined surface of the lower electrode and an inclined surface of the upper electrode.

제 1항에 있어서,
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그 중 적어도 하나의 열전 레그는 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판에 대해 경사를 가지는 방향으로 연장하여 배치되는 열전 소자.The method according to claim 1,
And at least one thermoelectric leg of the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg is disposed so as to extend in a direction inclining with respect to the lower substrate and the upper substrate.

제 3항에 있어서,
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그는 서로 다른 방향으로 연장하며 배치되는 열전 소자.The method of claim 3,
And the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg extend in mutually different directions.

제 1항에 있어서,
상기 P형 열전 레그 및 상기 N형 열전 레그는, 상기 하부 전극의 서로 다른 면 및 상기 상부 전극의 서로 다른 면 상에 배치되는 열전 소자.The method according to claim 1,
Wherein the P-type thermoelectric leg and the N-type thermoelectric leg are disposed on different surfaces of the lower electrode and on different surfaces of the upper electrode.

제 1항에 있어서,
상기 하부 전극은 제 1 면 및 제 2 면을 포함하고,
상기 상부 전극은 제 1' 면 및 제 2' 면을 포함하고,
상기 제 1 면 및 상기 제 1' 면은 평평한 면을 포함하고,
상기 제 2 면 및 상기 제 2' 면은 경사면을 포함하는 열전 소자.The method according to claim 1,
Wherein the lower electrode comprises a first side and a second side,
Wherein the upper electrode comprises a first side and a second side,
Wherein the first surface and the first surface comprise a flat surface,
Wherein the second surface and the second surface comprise an inclined surface.

제 6항에 있어서,
상기 P형 열전 레그는 상기 제 1 면 및 제 1' 면과 접촉하며 배치되고,
상기 N형 열전 레그는 상기 제 2 면 및 제 2' 면과 접촉하며 배치되는 열전 소자.The method according to claim 6,
The P-type thermoelectric transducer is disposed in contact with the first surface and the first surface,
And the N-type thermoelectric transducer is disposed in contact with the second surface and the second surface.

제 6항에 있어서,
상기 P형 열전 레그 또는 상기 N형 열전 레그는, 상기 하부 기판 또는 상기 상부 기판의 일면에 대해 경사를 가지는 방향으로 연장하여 배치되는 열전 소자.The method according to claim 6,
Wherein the P-type thermoelectric leg or the N-type thermoelectric leg is disposed so as to extend in a direction inclined with respect to one surface of the lower substrate or the upper substrate.