KR20170133379A - Capillary transfer device, capillary mounting device, capillary exchange device, capillary transfer method, capillary mounting method, and capillary exchange method - Google Patents

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Abstract

(과제) 초음파 혼의 장착부에 모세관을 사람의 손을 사용하지 않고 삽입할 수 있는 모세관 반송 장치를 제공한다.
(해결수단) 본 발명의 일형태는 모세관(13)을 반송하는 제 1 관(17)과, 상기 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼(11)과, 상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 제 1 단부(17a)를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와, 상기 제 1 관의 제 2 단부(17b)에 기체를 블로잉하는 기구를 구비하는 모세관 반송 장치이다.Disclosed is a capillary transferring apparatus capable of inserting a capillary into a mounting portion of an ultrasonic horn without using a human hand.
One aspect of the present invention is an ultrasonic horn comprising: a first tube (17) for carrying a capillary tube (13); an ultrasonic horn (11) having a mounting portion for mounting the capillary tube; A first moving mechanism for relatively moving the first end portion 17a and a mechanism for blowing the gas to the second end portion 17b of the first tube.

Description

모세관 반송 장치, 모세관 장착 장치, 모세관 교환 장치, 모세관 반송 방법, 모세관 장착 방법 및 모세관 교환 방법Capillary transfer device, capillary mounting device, capillary exchange device, capillary transfer method, capillary mounting method, and capillary exchange method

본 발명은 모세관을 반송하는 모세관 반송 장치, 모세관 장착 장치, 모세관 교환 장치, 모세관 반송 방법, 모세관 장착 방법 및 모세관 교환 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a capillary conveying apparatus for conveying a capillary, a capillary mounting apparatus, a capillary exchanging apparatus, a capillary conveying method, a capillary mounting method, and a capillary exchanging method.

와이어 본딩 장치는 금, 알루미늄, 구리 등의 와이어를 삽입 통과하는 모세관을 갖고, 그 와이어를 이용하여 전극과 전극을 전기적으로 접속하기 위한 장치이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 모세관을 일정 횟수의 본딩에 사용한 후에 그 모세관을 교환할 필요가 있다.The wire bonding apparatus has a capillary tube through which a wire such as gold, aluminum, or copper is inserted, and electrically connects the electrode and the electrode using the wire. (See, for example, Patent Document 1). It is necessary to replace the capillary after it has been used for a certain number of bonding operations.

종래의 모세관 교환 방법에 관하여 설명한다.A conventional capillary exchange method will be described.

우선, 초음파 혼의 모세관 장착 구멍에 모세관 체결용 나사에 의해 장착되어 있는 사용 완료된 모세관을 분리한다. 상세하게는 오퍼레이터가 모세관을 핀셋으로 파지하고, 비트가 있는 토크 드라이버로 모세관 체결용 나사의 조임을 풀고, 사용 완료된 모세관을 초음파 혼의 모세관 장착 구멍으로부터 분리한다.First, the used capillary is attached to the capillary mounting hole of the ultrasonic horn by capillary fastening screws. Specifically, the operator grips the capillary with a tweezers, unfastens the capillary fastening screw with a bit-wise torque driver, and separates the used capillary from the capillary mounting hole of the ultrasonic horn.

다음에, 초음파 혼에 새로운 모세관을 장착한다. 상세하게는 오퍼레이터가 모세관을 핀셋으로 파지하고, 그 모세관을 초음파 혼의 모세관 장착 구멍에 삽입하고, 모세관 체결용 나사를 비트가 있는 토크 드라이버로 규정된 토크로 조인다. 이렇게 하여 모세관을 교환하고 있었다.Next, a new capillary tube is attached to the ultrasonic horn. Specifically, the operator grasps the capillary with the tweezers, inserts the capillary into the capillary mounting hole of the ultrasonic horn, and tightens the capillary fastening screw with the torque specified by the bit torque driver. Thus, the capillaries were exchanged.

상기 종래의 모세관 교환 방법에서는 모세관 장착 구멍 지름이 모세관 지름보다 약간 큰 정도이므로, 모세관을 삽입하는 것이 곤란하다. 그 때문에 모세관의 교환에 시간이 걸리는 경우가 있었다.In the conventional capillary exchange method, since the diameter of the capillary mounting hole is slightly larger than the diameter of the capillary, it is difficult to insert the capillary. Therefore, it sometimes takes time to replace the capillary.

또한, 모세관 장착 구멍에 모세관을 삽입하는 방향이 조금 어긋난 상태에서, 그 모세관을 오퍼레이터가 강력하게 삽입하거나 분리함으로써 모세관 장착 구멍이 변형되거나, 모세관 장착 구멍의 입구 부근이 새깅되거나 하는 경우가 있다. 그것에 의해, 모세관의 파지 상태가 변경되어 버려, 양호한 정밀도로 본딩할 수 없어지는 경우가 있었다.In addition, when the direction of inserting the capillary in the capillary mounting hole is slightly deviated, there is a case where the capillary is strongly inserted or removed by the operator, or the capillary mounting hole is deformed or the vicinity of the entrance of the capillary mounting hole is sagged. As a result, the holding state of the capillary is changed, and the bonding can not be performed with good precision in some cases.

또한, 모세관을 핀셋으로 파지하고 있는 것에 의해 오퍼레이터가 모세관을 놓쳐버려, 모세관의 선단이 이지러지는 경우가 있었다. 또한, 모세관을 와이어 본딩 장치 내부에 떨어뜨려버려 장치 내부로부터 모세관을 제거하는데도 시간이 걸리는 경우가 있었다.In addition, since the capillary is held by the tweezers, the operator misses the capillary, and the tip of the capillary is sometimes broken. In addition, it took time to remove the capillary from the inside of the device by dropping the capillary inside the wire bonding device.

일본특허공개 2009-021493호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-021493

본 발명의 일형태는 초음파 혼의 장착부에 모세관을 사람의 손을 사용하지 않고 삽입할 수 있는 모세관 반송 장치, 모세관 장착 장치, 모세관 교환 장치, 모세관 반송 방법, 모세관 장착 방법 및 모세관 교환 방법 중 어느 하나를 제공하는 것을 과제로 한다.One aspect of the present invention is a capillary carrying apparatus, a capillary mounting apparatus, a capillary exchange apparatus, a capillary carrying method, a capillary mounting method, and a capillary exchange method which can insert a capillary into a mounting portion of an ultrasonic horn without using a human hand And the like.

이하에 본 발명의 각종 형태에 관하여 설명한다.Various aspects of the present invention will be described below.

[1] 모세관을 반송하는 제 1 관과, 상기 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과, 상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와, 상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.A first moving mechanism for moving the ultrasonic horn and the first end of the first tube relative to each other; and a second moving mechanism for moving the first moving mechanism relative to the first tube, And a mechanism for blowing gas to the second end of the capillary tube.

[2] 상기 [1]에 있어서, 상기 기체를 블로잉하는 기구는 상기 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부에 밀어넣는 제 2 관과, 상기 제 2 관을 이동시키는 제 2 이동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.[2] The apparatus according to [1] above, wherein the mechanism for blowing the gas has a second tube for pushing the capillary tube toward the second end of the first tube, and a second moving mechanism for moving the second tube Characterized in that the capillary transporting device.

[3] 상기 [2]에 있어서, 상기 제 1 관의 제 1 단부에 배치되고, 상기 제 1 관보다 단단한 재질로 이루어지는 블록을 갖는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.[3] The capillary carrier according to [2], further comprising a block disposed at a first end of the first tube and made of a material harder than the first tube.

[4] 상기 [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 기재된 모세관 반송 장치와, 상기 장착부에 상기 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 장착 장치.[4] A capillary mounting apparatus comprising: the capillary transporting apparatus according to any one of [1] to [3]; and a mechanism for fixing the capillary to the mounting section.

[5] 상기 [4]에 기재된 모세관 장착 장치와, 상기 장착부에 고정된 상기 모세관을 분리하는 기구와, 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.[5] A capillary tube according to the above [4], characterized by comprising a mechanism for separating the capillary tube fixed to the mounting portion, and a mechanism for sucking gas from the second end of the first tube Device.

[6] 제 1 모세관을 반송하는 제 4 관과, 제 2 모세관을 반송하는 제 1 관과, 상기 제 1 또는 제 2 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과, 상기 초음파 혼과, 상기 제 1 관의 제 1 단부 및 상기 제 4 관의 제 1 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와, 상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉하는 기구와, 상기 제 4 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인하는 기구와, 상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 분리하는 기구와, 상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.[6] An ultrasound horn having a fourth tube for carrying a first capillary tube, a first tube for carrying a second capillary tube, and a mounting portion for mounting the first or second capillary tube, A first moving mechanism for relatively moving the first end of the tube and the first end of the fourth tube; a mechanism for blowing gas to the second end of the first tube; A mechanism for separating the first capillary fixed to the mounting portion, and a mechanism for fixing the second capillary to the mounting portion.

[7] 제 1 모세관을 반송하는 제 1 경로, 제 2 모세관을 반송하는 제 2 경로 및 상기 제 1 경로와 상기 제 2 경로가 합류하는 제 3 경로를 갖는 제 1 관과, 상기 제 1 또는 제 2 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과, 상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 상기 제 3 경로의 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와, 상기 제 1 관의 제 2 경로의 단부에 기체를 블로잉하는 기구와, 상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 분리하는 기구와, 상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.[7] a first tube having a first path for carrying a first capillary tube, a second path for carrying a second capillary tube, and a third path for joining the first path and the second pathway, A first moving mechanism for relatively moving the ultrasonic horn and the end of the third path of the first tube relative to the ultrasonic horn having the mounting portion for mounting the first tube, A mechanism for blowing the capillary, a mechanism for separating the first capillary fixed to the mounting portion, and a mechanism for fixing the second capillary to the mounting portion.

[8] 초음파 혼과 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시킴으로써 상기 초음파 혼의 장착부와 상기 제 1 관의 제 1 단부를 위치 맞춤하고, 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 모세관을 상기 제 1 관 내에 삽입하고, 상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉함으로써 상기 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 상기 제 1 단부를 통과해서 상기 초음파 혼의 장착부에 반송하는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 방법.[8] The ultrasonic horn and the first end of the first tube are relatively moved to align the mounting portion of the ultrasonic horn with the first end of the first tube, and the capillary is moved from the second end of the first tube to the first tube And the capillary is transported from the second end of the first pipe to the mounting portion of the ultrasonic horn through the first end by blowing gas to the second end of the first pipe .

[9] 상기 [8]에 기재된 모세관 반송 방법에 의해 상기 모세관을 상기 초음파 혼의 장착부로 반송하고, 상기 장착부에 상기 모세관을 고정하는 것을 특징으로 하는 모세관 장착 방법.[9] The capillary tube mounting method according to [8], wherein the capillary tube is transported to the mounting portion of the ultrasonic horn, and the capillary tube is fixed to the mounting portion.

[10] 장착부에 고정된 제 1 모세관을 갖는 초음파 혼과 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시킴으로써 상기 제 1 모세관을 상기 제 1 관의 제 1 단부에 삽입하고, 상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 상기 초음파 혼으로부터 분리하고, 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인함으로써 상기 제 1 모세관을 상기 제 1 관의 제 1 단부로부터 상기 제 2 단부로 반송하여 상기 제 1 관으로부터 상기 제 1 모세관을 배출하고, 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 제 2 모세관을 상기 제 1 관 내에 삽입하고, 상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉함으로써 상기 제 2 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 상기 제 1 단부를 통과해서 상기 초음파 혼의 상기 장착부로 반송하고, 상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 방법.The ultrasonic horn having a first capillary fixed to a mounting portion and a first capillary are inserted into a first end of the first capillary by relatively moving a first end of the first capillary, 1 capillary is separated from the ultrasonic horn and the first capillary is transported from the first end to the second end of the first tube by sucking gas from the second end of the first tube, Withdrawing the first capillary, inserting a second capillary from the second end of the first tube into the first tube, blowing the gas to the second end of the first tube, And the second capillary tube is fixed to the mounting portion by the second capillary tube, and the second capillary tube is fixed to the mounting portion of the ultrasonic horn.

본 발명의 일형태에 의하면, 초음파 혼의 장착부에 모세관을 사람의 손을 사용하지 않고 삽입할 수 있는 모세관 반송 장치, 모세관 장착 장치, 모세관 교환 장치, 모세관 반송 방법, 모세관 장착 방법 및 모세관 교환 방법 중 어느 하나를 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a capillary carrying device, a capillary mounting apparatus, a capillary exchanging apparatus, a capillary carrying method, a capillary mounting method, and a capillary exchanging method which can insert a capillary into a mounting portion of an ultrasonic horn without using a human hand One can be provided.

도 1은 본 발명의 일형태에 따른 와이어 본딩 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 모세관 교체 유닛(18)을 확대한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 5의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼에 교환용의 모세관을 장착하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 6의 (A)∼(C)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 7의 (A)는 도 1에 나타내는 초음파 혼의 선단측을 확대한 사시도, (B)는 (A)에 나타내는 초음파 혼의 변형예이다.
도 8의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이다.
도 9의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이다.
도 10의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이다.
도 11의 (A), (B)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브를 나타내는 단면도이다.
도 12의 (A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브 및 나사 체결 유닛을 나타내는 모식도이다.
도 13은 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브를 나타내는 단면도이다.1 is a schematic view showing a wire bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is an enlarged schematic view of the capillary tube replacement unit 18 shown in Fig.
3 is a perspective view showing a capillary exchange apparatus according to an embodiment of the present invention.
4A to 4D are views for explaining a method of separating a used capillary from an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention.
5A to 5D are views for explaining a method of mounting a capillary for exchange in an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention.
6A to 6C are views for explaining a method of separating a used capillary from an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention.
Fig. 7 (A) is an enlarged perspective view of the distal end side of the ultrasonic horn shown in Fig. 1, and Fig. 7 (B) is a modified example of the ultrasonic horn shown in Fig.
8A to 8D are cross-sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention.
9 (A) to 9 (D) are cross-sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention.
10 (A) to (D) are sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention.
11A and 11B are cross-sectional views showing a path tube of a capillary exchanger according to an embodiment of the present invention.
12 (A) to 12 (D) are schematic views showing a path tube and a screw tightening unit of a capillary exchanging apparatus according to an embodiment of the present invention.
13 is a cross-sectional view showing a path tube of a capillary exchange apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 취지 및 그 범위로부터 일탈함이 없이 그 형태 및 상세를 다양하게 변경할 수 있는 것은 당업자라면 용이하게 이해된다. 따라서, 본 발명은 이하에 나타내는 실시형태의 기재 내용에 한정해서 해석되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be understood, however, by those skilled in the art that the present invention is not limited to the following description, and that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of the embodiments described below.

[제 1 실시형태][First Embodiment]

도 1은 본 발명의 일형태에 따른 와이어 본딩 장치를 나타내는 모식도이다. 도 7(A)는 도 1에 나타내는 초음파 혼의 선단측을 확대한 사시도이다.1 is a schematic view showing a wire bonding apparatus according to an embodiment of the present invention. 7 (A) is an enlarged perspective view of the distal end side of the ultrasonic horn shown in Fig. 1. Fig.

도 1 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 와이어 본딩 장치는 초음파 혼(11)을 갖고, 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍(장착부라고도 함)(12)에 모세관(13)이 모세관 체결용 나사(14)에 의해 장착되어 있다. 모세관(13)에는 와이어(도시되지 않는다)가 삽입 통과되고, 도시하지 않는 이동 기구(제 1 이동 기구라고도 함)에 의해 초음파 혼(11)과 함께 모세관(13)을 움직임으로써 그 와이어를 이용하여 전극과 전극을 전기적으로 접속할 수 있다. 초음파 혼(11)의 상면에는 초음파 혼(11)과 일체가 된 스토퍼(19)가 설치되어 있다.As shown in Figs. 1 and 7, the wire bonding apparatus has an ultrasonic horn 11, and a capillary tube 13 is attached to a capillary mounting hole (also called a mounting portion) 12 of the ultrasonic horn 11 14, respectively. A wire (not shown) is inserted into the capillary tube 13, and the capillary tube 13 is moved together with the ultrasonic horn 11 by a moving mechanism (also referred to as a first moving mechanism) The electrode and the electrode can be electrically connected. On the upper surface of the ultrasonic horn 11, a stopper 19 integral with the ultrasonic horn 11 is provided.

도 1에 나타내는 바와 같이, 와이어 본딩 장치는 캐리어(15) 및 캐리어 커버(16)를 갖고, 캐리어(15) 및 캐리어 커버(16)의 내부에 와이어 본딩 장치에 필요한 기구(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 경로 튜브(17)(제 1 관이라고도 함)는 그 제 1 단부(17a)에 초음파 혼(11)의 모세관(13)을 삽입한 상태로 하고 있다. 경로 튜브(17)는 모세관(13)을 반송하기 위한 관이고, 경로 튜브(17)의 내경은 모세관(13)을 반송하기 쉬운 크기로 되어 있다. 경로 튜브(17)의 내경은 예를 들면, 2.0mm이고, 모세관의 외경(가장 굵은 부분의 지름)은 예를 들면, 1.58mm이다. 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)는 모세관 교체 유닛(18)에 접속되어 있다.1, the wire bonding apparatus has a carrier 15 and a carrier cover 16, and a mechanism (not shown) necessary for the wire bonding apparatus is disposed inside the carrier 15 and the carrier cover 16 . The capillary tube 13 of the ultrasonic horn 11 is inserted into the first end portion 17a of the path tube 17 (also referred to as a first tube). The path tube 17 is a tube for carrying the capillary tube 13 and the inner diameter of the path tube 17 is of a size which is easy to carry the capillary tube 13. The inner diameter of the path tube 17 is, for example, 2.0 mm, and the outer diameter (diameter of the thickest portion) of the capillary tube is, for example, 1.58 mm. The second end 17b of the path tube 17 is connected to the capillary replacement unit 18.

도 2는 도 1에 나타내는 모세관 교체 유닛(18)을 확대한 모식도이다. 모세관 교체 유닛(18)은 다이(20)와, 그 상에 배치된 교환용의 모세관(13)을 상하로 적층시켜 수용하는 모세관 카트리지(21)(용기라고도 함)를 갖는다. 다이(20)와 모세관 카트리지(21) 사이에 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)가 접속되어 있다.Fig. 2 is an enlarged schematic view of the capillary tube replacement unit 18 shown in Fig. The capillary exchange unit 18 has a die 20 and a capillary cartridge 21 (also referred to as a container) for vertically stacking and accommodating a replacement capillary 13 disposed thereon. The second end 17b of the path tube 17 is connected between the die 20 and the capillary cartridge 21. [

또한, 모세관 교체 유닛(18)은 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 기체(예를 들면, 에어)를 블로잉하는 기구를 갖는다. 그 블로잉하는 기구는 모세관(13)을 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 밀어 넣는 모세관 압출 파이프(22)(제 2 관이라고도 함)와 모세관 압출 파이프(22)를 이동시키는 제 2 이동 기구로서의 에어 실린더(23)를 갖는다.The capillary exchange unit 18 also has a mechanism for blowing a gas (e.g., air) to the second end 17b of the path tube 17. The blowing mechanism includes a capillary extrusion pipe 22 (also referred to as a second tube) for pushing the capillary tube 13 into the second end 17b of the tube tube 17 and a second tube And an air cylinder 23 as a moving mechanism.

또한, 기체를 블로잉하는 기구는 기체 분사·흡인 튜브(24)를 갖고, 그 튜브(24)는 모세관 압출 파이프(22)의 제 1 단부(22a)에 접속되어 있다. 그 때문에 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 분사된 기체는 모세관 압출 파이프(22)를 통해서 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 블로잉되도록 되어 있다.The mechanism for blowing the gas has a gas injection / suction tube 24, which is connected to the first end 22a of the capillary extrusion pipe 22. Therefore, the gas injected from the gas injection / suction tube 24 is blown to the second end portion 17b of the path tube 17 through the capillary extrusion pipe 22.

또한, 기체를 흡인하는 기구는 기체 분사·흡인 튜브(24)를 갖고, 그 튜브(24)는 모세관 압출 파이프(22)의 제 1 단부(22a)에 접속되어 있다. 그 때문에 모세관 압출 파이프(22)의 제 2 단부(22b)를 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 접속한 상태에서, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체를 흡인함으로써 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)로부터 튜브(17)내의 기체를 흡인할 수 있도록 되어 있다.The mechanism for sucking the gas has a gas injection / suction tube 24, which is connected to the first end 22a of the capillary extrusion pipe 22. The second end 22b of the capillary tube 22 is connected to the second end 17b of the path tube 17 and the gas is sucked from the gas injecting and sucking tube 24, So that the gas in the tube 17 can be sucked from the second end 17b of the tube 17.

모세관 압출 파이프(22)의 외경은 경로 튜브(17)의 내경보다 작다. 그 때문에 에어 실린더(23)에 의해 모세관 압출 파이프(22)를 다이(20) 상에 위치하는 교환용의 모세관(13)과 함께 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 밀어 넣는 것에 의해 경로 튜브(17)내에 모세관(13)을 삽입할 수 있다. 또한, 모세관 압출 파이프(22)의 외경은 예를 들면 1.5mm이다. 그 때문에 모세관 압출 파이프(22)의 외경은 모세관(13)의 외경보다 작다.The outer diameter of the capillary extrusion pipe 22 is smaller than the inner diameter of the path tube 17. The capillary extrusion pipe 22 is pushed by the air cylinder 23 into the second end portion 17b of the path tube 17 together with the replacement capillary tube 13 located on the die 20 The capillary tube 13 can be inserted into the path tube 17. The outer diameter of the capillary extrusion pipe 22 is, for example, 1.5 mm. The outer diameter of the capillary tube 22 is smaller than the outer diameter of the capillary tube 13.

도 3은 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치를 나타내는 사시도이다. 도 3에 나타내는 모세관 교환 장치의 모세관 교체 유닛(18) 및 경로 튜브(17) 및 초음파 혼(11)은 도 1 및 도 2에 나타내는 것과 같다.3 is a perspective view showing a capillary exchange apparatus according to an embodiment of the present invention. The capillary exchange unit 18, the path tube 17 and the ultrasonic horn 11 of the capillary exchange apparatus shown in Fig. 3 are the same as those shown in Fig. 1 and Fig.

경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)에는 혼 밀착 파이프(25)(블록이라고도 함)가 배치되어 있고, 이 파이프(25)는 경로 튜브(17)보다 단단한 재질로 이루어지면 된다. 이것에 의해 초음파 혼(11)에 파이프(25)를 밀착했을 때에 확실하게 위치 맞춤할 수 있어 파이프(25)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는 관 형상의 혼 밀착 파이프(25)를 사용하고 있지만, 관 형상의 것에 한정되지 않고, 관 형상이 아니어도 위치 어긋남을 억제할 수 있는 것이면 블록이어도 좋다.A hose contact pipe 25 (also referred to as a block) is disposed at the first end portion 17a of the path tube 17 and the pipe 25 may be made of a material harder than the path tube 17. As a result, it is possible to reliably align the pipe 25 with the ultrasonic horn 11 when the pipe 25 is brought into close contact with the ultrasonic horn 11, and displacement of the pipe 25 can be suppressed. Although the tube-shaped hose-contact pipe 25 is used in the present embodiment, it is not limited to the tubular shape, and it may be a block as long as the position displacement can be suppressed even if it is not a tube shape.

또한, 모세관 교환 장치는 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 이동시키는 도시하지 않는 이동 기구(제 1 이동 기구라고도 함)를 갖고 있다. 이 이동 기구에 의해 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(25) 또는 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)에 삽입할 수 있다. 경로 튜브(17)보다 단단한 재질로 이루어지는 혼 밀착 파이프(25)를 사용함으로써 그 파이프(25)를 초음파 혼(11)에 밀착시켰을 때에 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 초음파 혼(11)에 밀착시킨 경우에 비해서 파이프(25)가 변형하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이동 기구는 예를 들면, 에어 실린더이고, 제어부(도시하지 않음)에 의해 제어된다.The capillary exchange apparatus also has a moving mechanism (also referred to as a first moving mechanism) for moving the first end portion 17a of the path tube 17. The used capillary tube 13 can be inserted into the first end portion 17a of the hose contact pipe 25 or the path tube 17 by moving the first end portion 17a of the path tube 17 by this moving mechanism have. When the pipe 25 is brought into close contact with the ultrasonic horn 11 by using the horn-adhesion pipe 25 made of a material harder than the path tube 17, the first end portion 17a of the path tube 17 is connected to the ultrasonic horn The pipe 25 can be prevented from being deformed as compared with the case where the pipe 25 is in close contact with the pipe 11. The moving mechanism is, for example, an air cylinder, and is controlled by a control unit (not shown).

또한, 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 이동시키는 것은 아니고, 이동 기구에 의해 초음파 혼(11)을 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(25) 또는 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)에 삽입해도 좋다.The used capillary tube 13 can be connected to the hose contact pipe 25 or the path tube 17 by moving the ultrasonic horn 11 by the moving mechanism instead of moving the first end portion 17a of the path tube 17 (Not shown).

초음파 혼(11)에는 모세관(13)을 장착하는 모세관 장착 구멍이 형성되어 있고, 그 모세관 장착 구멍에 모세관 체결용 나사(14)에 의해 모세관(13)을 장착하도록 되어 있다.The ultrasonic horn 11 is provided with a capillary mounting hole for mounting the capillary tube 13, and the capillary tube 13 is mounted on the capillary mounting hole by the capillary fastening screw 14.

또한, 모세관 교환 장치는 모세관 장착 구멍에 모세관(13)을 고정하는 기구로서의 토크 드라이버나 모터의 회전으로 조여지는 나사 체결 유닛(27)을 갖고 있다. 이 나사 체결 유닛(27)은 모세관 장착 구멍에 고정된 모세관(13)을 분리하는 기구로서도 기능한다. 상세하게는 모세관(13)을 초음파 혼의 모세관 장착 구멍에 삽입하고, 모세관 체결용 나사(14)를 비트(26)가 있는 나사 체결 유닛(27)에 의해 규정의 토크로 조임으로써 모세관(13)을 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 장착한다. 또한, 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 모세관(13)을 고정하고 있는 모세관 체결용 나사(14)의 조임을 비트(26)가 있는 나사 체결 유닛(27)으로 푸는 것에 의해 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 모세관(13)을 분리한다. 또한, 토크 드라이버나 모터의 회전으로 조여지는 나사 체결 유닛(27)은 제어부에 의해 제어된다.Further, the capillary exchange apparatus has a torque driver as a mechanism for fixing the capillary tube 13 to the capillary mounting hole, and a screw tightening unit 27 tightened by rotation of the motor. The screw fastening unit 27 also functions as a mechanism for separating the capillary tube 13 fixed to the capillary mounting hole. The capillary 13 is inserted into the capillary mounting hole of the ultrasonic horn and the capillary fastening screw 14 is fastened to the specified torque by the screw fastening unit 27 with the bit 26, And mounted on the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11. The capillary fastening screw 14 fixing the capillary 13 to the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 is fastened by the screw fastening unit 27 with the bit 26 so that the ultrasonic horn 11 The capillary 13 is removed from the capillary mounting hole of the capillary 13. The screw fastening unit 27 tightened by the rotation of the torque driver or the motor is controlled by the control unit.

도 4(A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리하는 방법을 설명하는 도면이다.4 (A) to 4 (D) are diagrams for explaining a method of separating a used capillary from an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention.

도 4(A)에 나타내는 바와 같이, 초음파 혼(11)과 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 상대 이동시킴으로써 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍과 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 위치 맞춤한다. 상세하게는 비트(26)를 천천히 회전시키면서 초음파 혼(11)을 이동 기구에 의해 화살표와 같이 혼 밀착 파이프(25)의 바로 위까지 이동시키고, 모세관 체결용 나사(14)의 육각 구멍에 비트(26)를 끼운다. 그 후, 에어 실린더를 사용해서 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)와 아울러 혼 밀착 파이프(25)를 화살표와 같이 상방으로 이동시키고, 도 4(B)에 나타내는 바와 같이 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(25) 또는 제 1 단부(17a)에 삽입해서 완전하게 둘러싼다.The ultrasonic horn 11 and the first end portion 17a of the path tube 17 are moved relative to each other to move the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 and the first end portion 17a of the path tube 17, The end portion 17a is aligned. The ultrasonic horn 11 is moved by the moving mechanism to the position directly above the hose adhesion pipe 25 as shown by the arrow while the bit 26 is slowly rotated and the hexagonal hole of the capillary fastening screw 14 26). Thereafter, using the air cylinder, the hose-adhered pipe 25 is moved upward together with the first end portion 17a of the path tube 17 and the capillary 13 is moved upward as shown in Fig. 4 (B) Is completely enclosed by inserting it into the hose-contact pipe 25 or the first end portion 17a.

또한, 본 실시형태에서는 혼 밀착 파이프(25)의 바로 위에 초음파 혼(11)을 고정하고, 혼 밀착 파이프(25)를 상방으로 이동시키고 있지만, 혼 밀착 파이프(25)를 고정해서 초음파 혼(11)을 하방으로 이동시켜도 좋다. 또한, 경로 튜브(17)에 유연성이 있는 튜브를 사용하면, 혼 밀착 파이프(25)를 상하로 이동시켜도 경로 튜브(17)의 굽힘 각도가 다소 변경되는 것만으로, 작은 힘으로 상하 이동시킬 수 있다. 비트(26) 및 나사 체결 유닛(27)은 본딩 동작을 방해하지 않는 위치에 고정해서 설치해도 되고, 이동 기구에 의해 좌우로 이동할 수 있도록 하여 설치해도 좋다.In this embodiment, although the ultrasonic horn 11 is fixed directly on the horn-adhesion pipe 25 and the horn-adhesion pipe 25 is moved upward, the horn-close pipe 25 is fixed and the ultrasonic horn 11 May be moved downward. In addition, if a flexible tube is used for the path tube 17, even if the hone adhesion pipe 25 is moved up and down, the bending angle of the path tube 17 is slightly changed, . The bit 26 and the screw fastening unit 27 may be fixed to a position that does not disturb the bonding operation or may be provided so as to be movable left and right by a moving mechanism.

다음에 비트(26)를 돌려서 모세관 체결용 나사(14)를 푼다. 그 후, 도 4(B)에 나타내는 상태에서, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 흡인하면, 모세관(13)(제 1 모세관이라고도 함)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고, 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)로부터 제 2 단부(17b)를 통해서 모세관 압출 파이프(22)의 제 2 단부(22b)에 부착된다(도 2 참조). 이것은 모세관 압출 파이프(22)의 내경이 모세관(13)의 외경보다 작기 때문이다.Then turn the bit 26 to loosen the capillary fastening screw 14. Thereafter, when the gas (air) is sucked from the gas injection / suction tube 24 in the state shown in Fig. 4 (B), the capillary tube 13 (also referred to as the first capillary tube) And is attached to the second end 22b of the capillary extrusion pipe 22 from the first end 17a of the path tube 17 through the second end 17b (see FIG. 2). This is because the inner diameter of the capillary extrusion pipe 22 is smaller than the outer diameter of the capillary 13.

다음에, 도 4(C)에 나타내는 바와 같이 모세관(13)을 부착한 채의 모세관 압출 파이프(22)와 기체 분사·흡인 튜브(24)를 에어 실린더(23)에 의해 화살표와 같이 이동시킴으로써 모세관(13) 및 모세관 압출 파이프(22)를 모세관 카트리지(21)의 외측까지 이동시킨다. 이것에 의해 모세관 카트리지(21)내의 모세관(13)이 아래로 떨어지고, 교환용의 모세관(13)이 다이(20) 상에 세팅되어 사용 완료된 모세관(13)이 모세관 카트리지(21)의 외측으로 배출된다.Next, as shown in Fig. 4 (C), the capillary tube 22 and the gas injection / suction tube 24 with the capillary tube 13 attached thereto are moved by the air cylinder 23 as indicated by the arrow, (13) and the capillary extrusion pipe (22) to the outside of the capillary cartridge (21). This causes the capillary 13 in the capillary cartridge 21 to fall down and the replacement capillary 13 to be set on the die 20 so that the used capillary 13 is discharged to the outside of the capillary cartridge 21 do.

그 후, 도 4(D)에 나타내는 바와 같이, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터의 에어의 흡인을 정지하면, 모세관 압출 파이프(22)에 부착된 모세관(13)은 낙하한다. 이렇게 하여 초음파 혼(11)로부터 모세관(13)을 분리하는 동작이 완료한다.Thereafter, as shown in Fig. 4 (D), when the suction of air from the gas injection / suction tube 24 is stopped, the capillary tube 13 attached to the capillary tube 22 drops. Thus, the operation of separating the capillary 13 from the ultrasonic horn 11 is completed.

도 5(A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼에 교환용의 모세관을 장착하는 방법을 설명하는 도면이다.5 (A) to 5 (D) are views for explaining a method of mounting a capillary for exchange in an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention.

도 5(A)에 나타내는 바와 같이, 모세관 압출 파이프(22)와 기체 분사·흡인 튜브(24)을 에어 실린더(23)에 의해 화살표와 같이 이동시킴으로써 다이(20) 상의 모세관(13)을 모세관 압출 파이프(22)가 밀고, 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 모세관(13)이 삽입된다.5 (A), the capillary tube 13 on the die 20 is subjected to capillary extrusion by moving the capillary tube 22 and the gas injection / suction tube 24 with the air cylinder 23 as shown by the arrows, The pipe 22 is pushed and the capillary 13 is inserted into the second end 17b of the path tube 17.

다음에, 도 5(B)에 나타내는 바와 같이, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 분사하면, 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)에 에어가 블로잉되어, 모세관(13)은 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)로부터 제 1 단부(17a)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로 반송된다. 즉, 분사된 에어는 혼 밀착 파이프(25)로부터 모세관 장착 구멍 속을 빠져 나가므로, 에어로 밀린 모세관(13)도 에어를 따라 모세관 장착 구멍으로 유도된다. 에어의 압력과 경로 튜브(17)의 내경을 조정함으로써 초음파 혼(11)을 손상시키지 않고 모세관(13)을 모세관 장착 구멍에 삽입할 수 있다. 모세관 장착 구멍에 모세관(13)이 반송되면, 그 모세관(13)은 스토퍼(19)에 의해 소정의 위치에서 정지한다(도 7(A) 참조).Next, as shown in Fig. 5 (B), when the base body (air) is injected from the gas injection / suction tube 24, air is blown into the second end portion 17b of the path tube 17, 13 are conveyed from the second end 17b of the path tube 17 to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the first end 17a. That is, since the injected air exits the capillary mount hole from the hose-adhered pipe 25, the aerosil capillary tube 13 is also guided to the capillary mount hole along the air. The capillary 13 can be inserted into the capillary mounting hole without damaging the ultrasonic horn 11 by adjusting the pressure of the air and the inner diameter of the path tube 17. [ When the capillary tube 13 is transferred to the capillary tube mounting hole, the capillary tube 13 is stopped at a predetermined position by the stopper 19 (see Fig. 7 (A)).

또한, 본 실시형태에서는 도 7(A)에 나타내는 바와 같이, 초음파 혼(11)의 상면에 초음파 혼(11)과 일체가 된 스토퍼(19)를 설치하고 있지만, 도 7(B)에 나타내는 바와 같이, 초음파 혼(11)의 상면에 충격 감지 센서(37)를 형성해도 된다.이것에 의해 모세관 장착 구멍에 모세관(13)이 반송되면, 그 모세관(13)은 충격 감지 센서(37)에 의해 충격이 감지됨 아울러 소정의 위치에 정지한다. 따라서, 모세관(13)이 모세관 장착 구멍에 삽입된 것을 확실하게 검지할 수 있다.7 (A), the stopper 19 integrated with the ultrasonic horn 11 is provided on the upper surface of the ultrasonic horn 11. However, as shown in Fig. 7 (B) The impact sensor 37 may be formed on the upper surface of the ultrasonic horn 11. When the capillary tube 13 is transferred to the capillary tube mounting hole, The impact is detected, and the operation is stopped at a predetermined position. Therefore, it is possible to reliably detect that the capillary tube 13 is inserted into the capillary mounting hole.

이어서, 도 5(C)에 나타내는 바와 같이, 나사 체결 유닛(27)으로 비트(26)를 화살표와 같이 돌리고, 모세관 체결용 나사(14)를 규정의 토크로 조임으로써 모세관(13)은 안정한 파지력으로 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 고정되어서 장착된다.5 (C), the bit 26 is turned by the screw fastening unit 27 as shown by an arrow, and the capillary fastening screw 14 is tightened with a specified torque, Which is fixed to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 and mounted.

이어서, 도 5(D)에 나타내는 바와 같이, 에어 실린더를 사용해서 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)와 아울러 혼 밀착 파이프(25)를 화살표와 같이 하방으로 이동시키고, 초음파 혼(11)을 이동 기구에 의해 화살표와 같이 비트(26)로부터 분리한다. 이렇게 하여 초음파 혼(11)에 모세관(13)을 장착하는 동작이 완료된다.Next, as shown in Fig. 5 (D), the hose adhesion pipe 25 is moved downward together with the first end portion 17a of the path tube 17 using an air cylinder as shown by the arrow, and the ultrasonic horn 11 Is separated from the bit 26 by the moving mechanism as shown by the arrow. Thus, the operation of mounting the capillary tube 13 on the ultrasonic horn 11 is completed.

본 실시형태에 의하면, 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 모세관(13)을 사람의 손을 사용하지 않고 삽입할 수 있다.According to the present embodiment, the capillary tube 13 can be inserted into the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 without using a human hand.

또한, 본 실시형태에서는 경로 튜브(17)에 유연한 재질을 사용함으로써 어느 정도 자유롭게 경로를 변경할 수 있어 설치 장소에 곤란함이 없다. 또한, 모세관(13)이 낙하하지 않아 모세관 교환 작업을 안정하고 신속하게 완료할 수 있다.In addition, in the present embodiment, the path can be freely changed to some extent by using a flexible material for the path tube 17, so that there is no problem in the installation place. Also, since the capillary tube 13 does not fall, the capillary tube replacement operation can be completed stably and quickly.

또한, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 에어를 분출함으로써 모세관(13)을 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 삽입하기 위해서, 초음파 혼(11)에 걸리는 힘이 작게 되어, 초음파 혼(11)이 변형하는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the capillary tube 13 is inserted into the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 by jetting the air from the gas injection / suction tube 24, the force applied to the ultrasonic horn 11 becomes small, Can be prevented from being deformed.

또한, 경로 튜브(17)를 통해서 모세관(13)이 초음파 혼(11)에 도달하므로, 종래 기술과 같이 모세관(13)을 핀셋으로 끼울 필요가 없어 모세관(13)을 놓치는 경우가 없다. 또한, 나사 체결 유닛(27)에 의해 모세관 체결용 나사(14)를 일정한 토크로 비트의 각도나 회전 속도도 동일하게 회전시키므로 체결력의 불균일을 감소시킬 수 있다. 그리고, 모세관(13)을 사람의 손을 사용하지 않고 자동적으로 교환할 수 있기 때문에 오퍼레이터의 작업량이 줄어들고, 모세관 교환 작업의 시간을 단축할 수 있다.In addition, since the capillary tube 13 reaches the ultrasonic horn 11 through the path tube 17, there is no need to insert the capillary tube 13 with the tweezers as in the prior art, so that the capillary tube 13 is not missed. In addition, since the capillary fastening screw 14 is similarly rotated by the screw fastening unit 27 at a constant torque, the unevenness of the fastening force can be reduced. Since the capillary tube 13 can be automatically replaced without using a human hand, the workload of the operator can be reduced and the time for the capillary tube replacement operation can be shortened.

또한, 본 실시형태에서는 초음파 혼(11)에 모세관(13)을 고정하는 기구로서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍(12)에 모세관(13)을 삽입하고, 모세관 체결용 나사(14)에 의해 모세관(13)을 고정하고 있지만, 이러한 고정 방법에 한정되는 것은 아니고, 다른 고정 방법을 이용해도 좋고, 예를 들면 모세관(13)을 끼워 넣어서 고정하는 것도 가능하다.In this embodiment, as a mechanism for fixing the capillary tube 13 to the ultrasonic horn 11, the capillary tube 13 is inserted into the capillary tube mounting hole 12 of the ultrasonic horn 11, However, the present invention is not limited to such a fixing method, but other fixing methods may be used. For example, the capillary tube 13 may be inserted and fixed.

[제 2 실시형태][Second Embodiment]

도 6(A)∼(C)는 본 발명의 일형태에 따른 초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리하는 방법을 설명하는 도면이고, 도 4와 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.6A to 6C are diagrams for explaining a method for separating a capillary that has been used from an ultrasonic horn according to an embodiment of the present invention, wherein the same components as those in Fig. 4 are denoted by the same reference numerals, .

도 6(A)에 나타내는 바와 같이, 혼 밀착 파이프(25)는 본딩 장치에 고정해서 설치된다. 초음파 혼(11)을 이동시킴으로써 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍과 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)를 위치 맞춤한다. 상세하게는 초음파 혼(11)을 이동 기구에 의해 혼 밀착 파이프(25)의 바로 위까지 이동시킨다. 그 후, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이 초음파 혼(11)의 선단을 화살표와 같이 하방으로 이동시키고, 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(25) 또는 제 1 단부(17a)에 삽입한다.As shown in Fig. 6 (A), the hose adhesion pipe 25 is fixed to the bonding apparatus. The capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 and the first end portion 17a of the path tube 17 are aligned by moving the ultrasonic horn 11. Specifically, the ultrasonic horn 11 is moved to a position just above the hose-contact pipe 25 by a moving mechanism. 6 (B), the distal end of the ultrasonic horn 11 is moved downward as shown by an arrow, and the capillary tube 13 is inserted into the hone-fitting pipe 25 or the first end portion 17a.

다음에, 도 6(C)에 나타내는 바와 같이 나사 체결 유닛을 화살표와 같이 (X 방향으로) 이동시키고, 비트(26)를 모세관 체결용 나사의 6각 구멍에 집어넣고, 비트(26)를 회전시켜 모세관 체결용 나사를 푼다. 이것에 의해 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에서의 모세관(13)의 파지를 해제한다. 그 후, 모세관(13)을 초음파 혼(11)으로부터 분리하는 동작은 제 1 실시형태와 같다.6 (C), the screw 26 is moved into the hexagonal hole of the capillary fastening screw, and the bit 26 is rotated Unscrew the capillary fastening screw. Thereby, the holding of the capillary 13 in the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 is released. Thereafter, the operation of separating the capillary tube 13 from the ultrasonic horn 11 is the same as that of the first embodiment.

또한, 초음파 혼(11)에 교환용의 모세관을 장착하는 동작은 도 6(A)∼(C)의 동작과 역동작을 행하면 되고, 그 동작의 다른 동작은 제 1 실시형태와 같다.The operation of mounting the capillary for exchange in the ultrasonic horn 11 may be reversed from the operation in Figs. 6A to 6C, and the other operations of the operation are the same as those in the first embodiment.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 3 실시형태][Third embodiment]

도 8(A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이고, 도 2와 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.8A to 8D are cross-sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention, wherein the same parts as those in Fig. 2 are denoted by the same reference numerals and only the other parts will be described.

모세관 카트리지(121)는 공간을 갖고, 그 공간의 일방에는 도 2에 나타내는 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)가 접속되어 있고, 그 공간의 타방에는 도 2에 나타내는 기체 분사·흡인 튜브(24)가 접속되어 있다. 모세관 카트리지(121)의 공간에는 모세관(13)이 상하로 하나씩 적층되어 있고, 그 공간의 바닥에 충전된 모세관을 유지하는 슬라이드판(39)이 모세관 카트리지(121)에 장착되어 있고, 그 공간의 바닥의 1개 상에 충전된 모세관을 유지하는 슬라이드판(38)이 모세관 카트리지(121)에 장착되어 있다.The capillary cartridge 121 has a space in which a second end portion 17b of the path tube 17 shown in Fig. 2 is connected to one side of the space, and the gas injection / (24) are connected. A capillary tube 13 is vertically stacked one by one in the space of the capillary cartridge 121. A slide plate 39 holding a capillary tube filled in the bottom of the capillary tube 121 is mounted on the capillary cartridge 121, A slide plate 38 for holding a capillary filled on one of the bottoms is mounted on the capillary cartridge 121.

초음파 혼에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 8(A)에 나타내는 바와 같이, 모세관 카트리지(121)의 슬라이드판(39) 상에 모세관(13)을 충전한다. 이어서, 도 8(B)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드판(38)을 화살표와 같이 이동시키고, 슬라이드판(39) 상의 모세관(13)의 1개 상의 모세관(13)을 슬라이드판(38) 상에 위치시킨다. 이어서, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 분사하면, 슬라이드판(39)과 슬라이드(38) 간의 모세관(13)은 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)로부터 제 1 단부(17a)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 반송된다. 그 후의 동작은 제 1 실시형태와 같다.8 (A), the capillary tube 13 is filled on the slide plate 39 of the capillary cartridge 121 when the capillary tube for exchange is mounted on the ultrasonic horn. Subsequently, as shown in Fig. 8 (B), the slide plate 38 is moved as indicated by an arrow, and one capillary tube 13 of the capillary tube 13 on the slide plate 39 is placed on the slide plate 38 . The capillary 13 between the slide plate 39 and the slide 38 is moved from the second end 17b of the path tube 17 to the first end 17b of the path tube 17, And is conveyed to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the end portion 17a. The subsequent operation is the same as that of the first embodiment.

초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리할 때에는 제 1 실시형태와 같은 동작을 행하고, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 흡인하면, 모세관(13)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)로부터 제 2 단부(17b)를 통해서 슬라이드판(39)과 슬라이드(38) 사이에 위치한다(도 8(B) 참조). 이어서, 도 8(C)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드판(39)을 화살표와 같이 이동시킴으로써 모세관(13)은 낙하한다. 이렇게 하여 사용 완료된 모세관(13)을 배출한다.When the used capillary is separated from the ultrasonic horn, the same operation as in the first embodiment is carried out. When the gas (air) is sucked from the gas injecting and sucking tube 24, the capillary tube 13 is connected to the capillary tube of the ultrasonic horn 11 And is located between the slide plate 39 and the slide 38 from the first end 17a of the path tube 17 through the second end 17b (see FIG. 8 (B)). Subsequently, as shown in Fig. 8 (C), the capillary 13 drops by moving the slide plate 39 along the arrow. In this way, the used capillary tube 13 is discharged.

그 후, 도 8(D)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드(39) 및 슬라이드(38)를 화살표와 같이 이동시킴으로써 슬라이드(39) 상에 모세관(13)을 충전한다.Thereafter, as shown in Fig. 8 (D), the capillary 13 is filled on the slide 39 by moving the slide 39 and the slide 38 as shown by the arrows.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 4 실시형태][Fourth Embodiment]

도 9(A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이고, 도 2와 동일 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.9A to 9D are cross-sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention, wherein the same components as those in Fig. 2 are denoted by the same reference numerals and only different portions will be described.

모세관 카트리지(122)는 공간을 갖고, 그 공간의 일방에는 도 2에 나타내는 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)가 접속되어 있고, 그 공간의 타방에는 도 2에 나타내는 기체 분사·흡인 튜브(24)가 접속되어 있다. 모세관 카트리지(122)의 공간에는 모세관(13)이 상하로 하나씩 적층되어 있고, 그 공간의 바닥에 충전된 모세관을 유지하는 유지 부재(40)가 모세관 카트리지(122)에 장착되어 있다.The capillary cartridge 122 has a space in which a second end portion 17b of the path tube 17 shown in Fig. 2 is connected to one side of the space, and the gas injection / (24) are connected. Capillary cartridges 122 are stacked one on top of another in the space of the capillary cartridges 122 and a holding member 40 for holding capillaries filled in the bottom of the capillary cartridges 122 is mounted on the capillary cartridges 122.

초음파 혼에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 9(A)에 나타내는 바와 같이, 모세관 카트리지(122)의 유지 부재(40)에 모세관(13)을 충전한다. 이어서, 도 9(B)에 나타내는 바와 같이, 유지 부재(40)를 화살표와 같이 회전시키고, 유지 부재(40)로 유지된 모세관(13)과 그 상의 모세관(13)을 분리한다. 이어서, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 분사하면, 슬라이드판(39)과 슬라이드(38) 간의 모세관(13)은 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)로부터 제 1 단부(17a)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로 반송된다. 그 후의 동작은 제 1 실시형태와 같다.9 (A), the capillary tube 13 is filled in the holding member 40 of the capillary cartridge 122 when the capillary tube for exchange is mounted on the ultrasonic horn. 9 (B), the holding member 40 is rotated as shown by the arrow, and the capillary tube 13 held by the holding member 40 is separated from the capillary tube 13 thereabove. The capillary 13 between the slide plate 39 and the slide 38 is moved from the second end 17b of the path tube 17 to the first end 17b of the path tube 17, And is conveyed to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the end portion 17a. The subsequent operation is the same as that of the first embodiment.

초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리할 때에는 제 1 실시형태와 같은 동작을 행하고, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 흡인하면, 모세관(13)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고, 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)로부터 제 2 단부(17b)를 통해서 모세관 카트리지(122)의 유지 부재(40)에 유지된다(도 9(B) 참조). 이어서, 도 9(C)에 나타내는 바와 같이, 유지 부재(40)를 화살표와 같이 회전시킴으로써 모세관(13)은 낙하한다. 이렇게 하여 사용 완료된 모세관(13)을 배출한다.When the used capillary is separated from the ultrasonic horn, the same operation as in the first embodiment is carried out. When the gas (air) is sucked from the gas injecting and sucking tube 24, the capillary tube 13 is connected to the capillary tube of the ultrasonic horn 11 And is retained in the retaining member 40 of the capillary cartridge 122 from the first end 17a of the path tube 17 through the second end 17b (see FIG. 9 (B)). Then, as shown in Fig. 9 (C), the capillary 13 drops by rotating the holding member 40 as indicated by an arrow. In this way, the used capillary tube 13 is discharged.

그 후, 도 9(D)에 나타내는 바와 같이, 유지 부재(40)를 화살표와 같이 회전시킴으로써 유지 부재(40)에 모세관(13)을 충전한다.Thereafter, as shown in Fig. 9 (D), the capillary tube 13 is filled in the holding member 40 by rotating the holding member 40 as indicated by the arrow.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 5 실시형태][Fifth Embodiment]

도 10(A)∼(D)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교체 유닛의 모세관 카트리지를 나타내는 단면도이고, 도 2과 동일 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.10A to 10D are cross-sectional views showing a capillary cartridge of a capillary replacement unit according to an embodiment of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts as those in Fig. 2, and only the other parts will be described.

모세관 카트리지(123)은 공간을 갖고, 그 공간의 일방에는 도 2에 나타내는 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)가 접속되어 있고, 그 공간의 타방에는 도 2에 나타내는 기체 분사·흡인 튜브(24)가 접속되어 있다. 모세관 카트리지(123)의 공간에는 모세관(13)이 상하에 하나씩 적층되어 있고, 그 공간의 바닥에 충전된 모세관을 유지하는 유지대(41)가 모세관 카트리지(123)에 장착되어 있다. 유지대(41) 상에는 슬라이드판(42)이 모세관 카트리지(123)에 장착되어 있다. 유지대(41)의 일단에는 부재(41a)가 유지대(41)에 스프링 힌지 등의 복귀 기구(41c)에 의해 장착되어 있다. 이 복귀 기구(41c)는 부재(41a)에 힘이 가해지지 않는 상태에서는 도 10(A)에 나타내는 위치에 부재(41a)를 고정하고, 부재(41a)에 도 10(C)에 나타내는 화살표의 방향의 힘이 슬라이드판(42)에 의해 가해지면 부재(41a)가 90°회전하고, 그 힘이 가해지지 않으면 도 10(D)에 나타내는 위치에 부재(41a)를 복귀시키는 기구이다.The capillary cartridge 123 has a space in which a second end portion 17b of the path tube 17 shown in Fig. 2 is connected to one side of the space, and the gas injection / (24) are connected. Capillaries 13 are stacked one above the other in the space of the capillary cartridge 123 and the capillary cartridge 123 is equipped with a supporter 41 for holding the charged capillary at the bottom of the space. A slide plate 42 is attached to the capillary cartridge 123 on the supporter 41. A member 41a is attached to one end of the supporter 41 by a return mechanism 41c such as a spring hinge to the supporter 41. [ The return mechanism 41c fixes the member 41a to the position shown in Fig. 10 (A) while the member 41a is not subjected to the force, Is a mechanism for returning the member 41a to the position shown in Fig. 10 (D) unless the member 41a is rotated by 90 占 when the force is applied by the slide plate 42 and the force is not applied.

초음파 혼에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 10(A)에 나타내는 바와 같이 모세관(13)이 적층되어 있는 모세관 카트리지(123)의 공간의 하방에 슬라이드판(42)을 위치시키지 않는 상태로 함으로써 유지대(41) 상에 모세관(13)을 충전한다. 다음에 도 10(B)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드판(42)을 화살표와 같이 이동시키고, 충전한 모세관(13)을 소정의 위치에 배치한다. 이어서, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 분사하면, 슬라이드판(42)과 부재(41a) 간의 모세관(13)은 경로 튜브(17)의 제 2 단부(17b)로부터 제 1 단부(17a)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 반송된다. 그 후의 동작은 제 1 실시형태와 같다.When the capillary tube for exchange is mounted on the ultrasonic horn, as shown in Fig. 10 (A), the slide plate 42 is not positioned below the space of the capillary cartridge 123 in which the capillary tube 13 is stacked And the capillary tube 13 is filled on the supporter 41. Next, as shown in Fig. 10 (B), the slide plate 42 is moved as indicated by an arrow, and the filled capillary tube 13 is arranged at a predetermined position. The capillary 13 between the slide plate 42 and the member 41a is moved from the second end 17b of the path tube 17 to the first end 17b of the path tube 17, And is conveyed to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the end portion 17a. The subsequent operation is the same as that of the first embodiment.

초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리할 때에는 제 1 실시형태와 같은 동작을 행하고, 기체 분사·흡인 튜브(24)로부터 기체(에어)를 흡인하면, 모세관(13)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고 경로 튜브(17)의 제 1 단부(17a)로부터 제 2 단부(17b)를 통해서 슬라이드판(42)과 부재(41a) 사이에 위치한다(도 10(B) 참조). 이어서, 도 10(C)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드판(42)을 화살표와 같이 이동시킴으로써 모세관(13)은 낙하한다. 이렇게 하여 사용완료된 모세관(13)을 배출한다.When the used capillary is separated from the ultrasonic horn, the same operation as in the first embodiment is carried out. When the gas (air) is sucked from the gas injecting and sucking tube 24, the capillary tube 13 is connected to the capillary tube of the ultrasonic horn 11 And is located between the slide plate 42 and the member 41a from the first end portion 17a of the path tube 17 through the second end portion 17b (see FIG. 10 (B)). Then, as shown in Fig. 10 (C), the capillary tube 13 is dropped by moving the slide plate 42 as shown by an arrow. In this way, the used capillary tube 13 is discharged.

그 후, 도 10(D)에 나타내는 바와 같이, 슬라이드판(42)을 화살표와 같이 이동시킴으로써 유지대(41)에 모세관(13)을 충전한다. 이 때, 부재(41a)는 복귀 기구(41c)의 스프링의 힘으로 원래의 위치로 복귀된다.10 (D), the capillary tube 13 is filled in the supporter 41 by moving the slide plate 42 as shown by the arrow. At this time, the member 41a is returned to the original position by the spring force of the return mechanism 41c.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 6 실시형태][Sixth Embodiment]

도 11(A), (B)는 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브를 나타내는 단면도이고, 도 3∼도 5와 동일 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.Figs. 11A and 11B are cross-sectional views showing a path tube of a capillary exchanging apparatus according to an embodiment of the present invention, and the same components as those in Figs. 3 to 5 are denoted by the same reference numerals and only different portions will be described.

경로 튜브(46)는 교환용의 모세관을 반송하는 제 1 경로를 구비한 배출용 튜브(46a)와, 교환용의 모세관을 반송하는 제 2 경로를 구비한 분사용 튜브(46b)를 갖는다. 경로 튜브(46)는 제 1 경로와 제 2 경로가 합류하는 제 3 경로(45)를 갖는다.The path tube 46 has a discharge tube 46a having a first path for transferring the capillary for exchange and a distribution tube 46b having a second path for transferring the capillary for exchange. The path tube 46 has a third path 45 in which the first path and the second path join.

경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부에는 도시하지 않는 혼 밀착 파이프(블록이라고도 함)가 배치되어 있다. 또한, 모세관 교환 장치는 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부를 이동시키는 도시하지 않는 이동 기구(제 1 이동 기구라고도 함)를 갖고 있다. 이 이동 기구에 의해 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부를 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관을 혼 밀착 파이프 또는 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부에 삽입할 수 있다. 경로 튜브(46)보다 단단한 재질로 이루어지는 혼 밀착 파이프를 사용함으로써 혼 밀착 파이프를 초음파 혼(11)에 밀착시켰을 때에 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부를 초음파 혼(11)에 밀착시킨 경우에 비해서 혼 밀착 파이프가 변형하는 것을 억제할 수 있다.(Also referred to as a block) not shown is disposed at the end of the third path 45 of the path tube 46. The capillary exchange apparatus also has a moving mechanism (also referred to as a first moving mechanism) for moving the end of the third path 45 of the path tube 46. The used capillary can be inserted into the end of the third path 45 of the hone-fitting pipe or path tube 46 by moving the end of the third path 45 of the path tube 46 by this moving mechanism. The hose connection pipe is made of a material harder than the path tube 46 so that the end of the third path 45 of the path tube 46 is brought into contact with the ultrasonic horn 11 when the hose- The deformation of the hose close-coupled pipe can be suppressed as compared with the case where it is closely contacted.

또한, 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부를 이동시키는 것이 아니고, 이동 기구에 의해 초음파 혼(11)을 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관을 혼 밀착 파이프 또는 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45)의 단부에 삽입해도 좋다.It is also possible to move the used capillary by moving the ultrasonic horn 11 by the moving mechanism not by moving the end of the third path 45 of the path tube 46, Or may be inserted into the end of the path 45.

배출용 튜브(46a)는 제 1 실시형태와 같은 방법으로 기체가 블로잉되도록 되어 있다.The discharge tube 46a is configured such that the gas is blown in the same manner as in the first embodiment.

초음파 혼으로부터 사용 완료된 모세관을 분리할 때에는 도 11(A)에 나타내는 바와 같이, 모세관 체결용 나사를 푸는 것에 의해 모세관(제 1 모세관이라고도 함)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고, 경로 튜브(46)의 제 3 경로(45) 및 배출용 튜브(46a)를 통해서 모세관이 배출된다. 이 때, 모세관이 화살표(43)와 같이 중력에 의해 바로 하방으로 떨어지도록 배출용 튜브(46a)를 배치해 두면 좋다.When the used capillary is separated from the ultrasonic horn, the capillary (also referred to as the first capillary) is separated from the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 by unscrewing the capillary fastening screw as shown in Fig. 11 (A) The capillary is discharged through the third path 45 of the path tube 46 and the discharge tube 46a. At this time, the discharge tube 46a may be arranged so that the capillary is directly dropped downward by gravity as indicated by the arrow 43. [

초음파 혼(11)에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 11(B)에 나타내는 바와 같이 기체 분사·흡인 튜브로부터 기체(에어)를 분사하면, 경로 튜브(46)의 분사용 튜브(46b)의 단부에 에어가 블로잉되고, 모세관은 화살표(44)와 같이 경로 튜브(46)의 분사용 튜브(46b) 및 제 3 경로(45)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 반송된다. 출입구가 다르기 때문에, 오래된 모세관과 새로운 모세관을 교체하는 기구부 동작이 불필요하게 된다.When the capillary tube for exchange is mounted on the ultrasonic horn 11, when the base (air) is injected from the gas injection / suction tube as shown in Fig. 11 (B) The air is blown to the end and the capillary is transported to the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 through the distributing tube 46b and the third path 45 of the path tube 46 as shown by the arrow 44. Since the entrances are different, the operation of the mechanism for replacing the old capillary with the new capillary becomes unnecessary.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 7 실시형태][Seventh Embodiment]

도 12(A)∼(D)은 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브 및 나사 체결 유닛을 나타내는 모식도이고, 도 3∼도 5과 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.Figs. 12A to 12D are schematic views showing a path tube and a screw tightening unit of a capillary exchanging apparatus according to an embodiment of the present invention, wherein the same parts as in Figs. 3 to 5 are denoted by the same reference numerals, Explain.

경로 튜브는 사용 완료된 모세관(13)을 반송하는 배출용 튜브(47)(제 4 관이라고도 함)와 교환용의 모세관을 반송하는 분사용 튜브(48)(제 1 관이라고도 함)를 갖는다.The path tube has a discharge tube 47 (also referred to as a fourth tube) for transferring the used capillary tube 13 and a branch tube 48 (also referred to as a first tube) for transferring the capillary tube for exchange.

배출용 튜브(47)의 제 1 단부에는 혼 밀착 파이프(49)(블록이라고도 함)가 배치되어 있다. 분사용 튜브(48)의 제 1 단부에는 혼 밀착 파이프(50)(블록이라고도 함)가 배치되어 있다. 또한, 모세관 교환 장치는 배출용 튜브(47)의 제 1 단부 및 분사용 튜브(48)의 제 1 단부를 이동시키는 도시하지 않는 이동 기구(제 1 이동 기구라고도 함)를 갖고 있다. 이 이동 기구에 의해 배출용 튜브(47)의 제 1 단부 및 분사용 튜브(48)의 제 1 단부를 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(49) 또는 배출용 튜브(47)의 제 1 단부에 삽입할 수 있다. 배출용 튜브(47) 및 분사용 튜브(48)보다 단단한 재질로 이루어지는 혼 밀착 파이프(49, 50)를 사용함으로써 혼 밀착 파이프(49, 50)를 초음파 혼(11)에 밀착시켰을 때에 배출용 튜브(47) 및 분사용 튜브(48) 각각의 제 1 단부를 초음파 혼(11)에 밀착시킨 경우에 비해서 혼 밀착 파이프(49, 50)가 변형하는 것을 억제할 수 있다.A hose contact pipe 49 (also referred to as a block) is disposed at the first end of the discharge tube 47. A hose contact pipe 50 (also referred to as a block) is disposed at the first end of the minute tube 48. The capillary exchange apparatus also has a moving mechanism (also referred to as a first moving mechanism) for moving the first end of the discharging tube 47 and the first end of the distributing tube 48. The moving mechanism is used to move the first end portion of the discharge tube 47 and the first end portion of the distribution tube 48 so that the used capillary tube 13 is moved toward the hose contact pipe 49 or the discharge tube 47 Can be inserted into the first end portion. When the hose contact pipes 49 and 50 are brought into close contact with the ultrasonic horn 11 by using the hose contact pipes 49 and 50 made of a material harder than the discharge tube 47 and the distribution tube 48, It is possible to suppress deformation of the hose-contact pipes 49 and 50 as compared with the case where the first end portions of the horn tube 47 and the minute tube 48 are in close contact with the ultrasonic horn 11.

또한, 배출용 튜브(47) 및 분사용 튜브(48) 각각의 제 1 단부를 이동시키는 것이 아니고 이동 기구에 의해 초음파 혼(11)을 이동시킴으로써 사용 완료된 모세관(13)을 혼 밀착 파이프(49) 또는 배출용 튜브(47)의 제 1 단부에 삽입해도 좋다.The used capillary tube 13 is moved to the hose contact pipe 49 by moving the ultrasonic horn 11 by the movement mechanism instead of moving the first end of each of the discharge tube 47 and the distribution tube 48, Or may be inserted into the first end of the discharge tube 47.

배출용 튜브(47)는 제 1 실시형태와 같은 방법으로 제 2 단부로부터 기체를 흡인하도록 되어 있고, 분사용 튜브(48)는 제 1 실시형태와 같은 방법으로 제 2 단부에 기체가 블로잉되도록 되어 있다.The discharge tube 47 is configured to suck the gas from the second end in the same manner as in the first embodiment, and the distribution tube 48 is configured such that the gas is blown to the second end in the same manner as in the first embodiment have.

초음파 혼(11)으로부터 사용 완료된 모세관(13)을 분리할 때는 도 12(A)에 나타내는 바와 같이, 혼 밀착 파이프(49)를 모세관(13)에 위치 맞춤하고, 모세관 체결용 나사를 푸는 것에 의해 모세관(13)이 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로부터 분리되고, 기체 분사·흡인 튜브에 의해 배출용 튜브(47)의 제 2 단부로부터 기체(에어)를 흡인함으로써 도 12(B)에 나타내는 바와 같이, 화살표와 같이 배출용 튜브(47)를 통해서 모세관이 배출된다.When separating the used capillary 13 from the ultrasonic horn 11, as shown in Fig. 12 (A), the hone adhesion pipe 49 is aligned with the capillary tube 13 and the capillary fastening screw is loosened The capillary tube 13 is separated from the capillary mounting hole of the ultrasonic horn 11 and the gas (air) is sucked from the second end of the discharge tube 47 by the gas jetting / The capillary is discharged through the discharge tube 47 as indicated by an arrow.

또한, 본 실시형태에서는 배출용 튜브(47)의 제 2 단부로부터 기체를 흡인해서 모세관(13)을 배출하고 있지만, 흡인하지 않고 모세관(13)을 중력에 의한 자유낙하시켜도 된다.In this embodiment, the gas is sucked from the second end of the discharge tube 47 to discharge the capillary 13, but the capillary 13 may be allowed to fall freely by gravity without sucking.

초음파 혼(11)에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 11(C)에 나타내는 바와 같이, 초음파 혼(11)을 이동 기구에 의해 분사용 튜브(48)의 제 1 단부 상 또는 혼 밀착 파이프(50) 상에 화살표와 같이 이동시키고, 기체 분사·흡인 튜브로부터 기체(에어)를 분사하면, 분사용 튜브(48)의 제 2 단부에 에어가 블로잉되어 도 11(D)에 나타내는 바와 같이 모세관(13)은 화살표와 같이 분사용 튜브(48)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 반송된다.11 (C), the ultrasonic horn 11 is moved by the moving mechanism on the first end of the distribution tube 48 or on the hose close-contact pipe 11 Air is blown from the gas injection / suction tube to the second end portion of the distribution tube 48 as shown in FIG. 11 (D) 13 are conveyed to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the minute tube 48 as indicated by an arrow.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[제 8 실시형태][Eighth Embodiment]

도 13은 본 발명의 일형태에 따른 모세관 교환 장치의 경로 튜브를 나타내는 단면도이고, 도 3∼도 5와 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.Fig. 13 is a cross-sectional view showing a path tube of a capillary exchanging apparatus according to an embodiment of the present invention. In Fig. 13, the same parts as those in Fig. 3 to Fig.

경로 튜브(53)는 교환용의 모세관을 반송하는 제 1 경로를 구비한 제 1 튜브(51)와, 제 1 경로에 접속된 제 2 경로를 구비한 제 2 튜브(52)를 갖는다. 제 1 튜브(51)의 제 1 단부에는 L자 형상의 제 3 튜브(54)의 제 1 단부가 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 제 3 튜브(54)를 L자 형상으로 하고 있지만, 경로 튜브(53)에 접속할 수 있는 제 3 튜브(54)이면 L자 형상이 아니어도 된다. 또한, 제 1 튜브(51)와 제 2 튜브(52)는 모세관을 통과할 수 있도록 접속되어 있으면 된다.The path tube 53 has a first tube 51 having a first path for carrying a capillary tube for exchange and a second tube 52 having a second path connected to the first path. A first end of the L-shaped third tube 54 is connected to the first end of the first tube 51. In this embodiment, the third tube 54 is L-shaped, but it may not be L-shaped if it is a third tube 54 that can be connected to the path tube 53. The first tube 51 and the second tube 52 may be connected so as to pass through the capillary tube.

경로 튜브(53)의 제 1 튜브(51)의 제 2 단부에는 도시하지 않는 혼 밀착 파이프가 배치되어 있다. 또한, 모세관 교환 장치는 경로 튜브(53)의 제 1 튜브(51)의 제 1 단부를 이동시키는 도시하지 않는 이동 기구를 갖고 있다. 이 이동 기구에 의해 제 1 튜브(51)의 제 1 단부를 이동시킴으로써 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 위치 맞춤할 수 있다.(Not shown) is disposed at the second end of the first tube 51 of the path tube 53. [ The capillary exchange apparatus also has a moving mechanism (not shown) for moving the first end of the first tube 51 of the path tube 53. And can be aligned with the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 by moving the first end of the first tube 51 by this moving mechanism.

또한, 경로 튜브(53)의 제 1 튜브(51)의 제 1 단부를 이동시키지 않고 이동 기구에 의해 초음파 혼(11)을 이동시킴으로써 혼 밀착 파이프 또는 제 1 튜브(51)의 제 1 단부를 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍에 위치 맞춤해도 좋다.The ultrasonic horn 11 is moved by the moving mechanism without moving the first end of the first tube 51 of the path tube 53 so that the first end of the hone- It may be aligned with the capillary mount hole of the horn 11.

제 2 튜브(52)는 제 1 실시형태와 같은 방법으로 기체(에어)가 블로잉되도록 되어 있다.The second tube 52 is configured such that the base (air) is blown in the same manner as in the first embodiment.

초음파 혼(11)에 교환용의 모세관을 장착할 때는 도 13에 나타내는 바와 같이, 제 2 튜브(52)에 교환용의 모세관을 삽입하고, 기체 분사·흡인 튜브로부터 기체(에어)를 분사하면, 제 2 튜브(52)의 단부에 에어가 블로잉되고, 모세관(13)은 화살표와 같이 제 2 튜브(52) 및 제 1 튜브(51)를 통해서 초음파 혼(11)의 모세관 장착 구멍으로 반송된다.When the capillary for exchange is mounted on the ultrasonic horn 11, as shown in Fig. 13, when a replacement capillary is inserted into the second tube 52 and the base (air) is injected from the gas injection / suction tube, Air is blown to the end of the second tube 52 and the capillary tube 13 is transported to the capillary mount hole of the ultrasonic horn 11 through the second tube 52 and the first tube 51 as shown by the arrow.

본 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

또한, 상기의 제 1∼제 8 실시형태는 서로 조합해서 실시하는 것도 가능하다.The first to eighth embodiments may be combined with each other.

11 : 초음파 혼 12 : 모세관 장착 구멍(장착부)
13 : 모세관 14 : 모세관 체결용 나사
15 : 캐리어 16 : 캐리어 커버
17 : 경로 튜브 17a : 제 1 단부
17b : 제 2 단부 18 : 모세관 교체 유닛
19 : 스토퍼 20 : 다이
21 : 모세관 카트리지 22 : 모세관 압출 파이프
22a : 제 1 단부 22b : 제 2 단부
23 : 에어 실린더 24 : 기체 분사·흡인 튜브
25 : 혼 밀착 파이프(블록) 26 : 비트
27 : 나사 체결 유닛 37 : 충격 감지 센서
38, 39, 42 : 슬라이드판 40 : 유지 부재
41 : 유지대 43, 44 : 화살표
45 : 제 3 경로 46 : 경로 튜브
46a, 47 : 배출용 튜브 46b, 48 : 분사용 튜브
49, 50 : 혼 밀착 파이프(블록) 51 : 제 1 튜브
52 : 제 2 튜브 53 : 경로 튜브
54 : 제 3 튜브 121, 122, 123 : 모세관 카트리지11: ultrasonic horn 12: capillary mounting hole (mounting part)
13: capillary 14: capillary fastening screw
15: carrier 16: carrier cover
17: Path tube 17a: First end
17b: second end 18: capillary replacement unit
19: stopper 20: die
21: capillary cartridge 22: capillary extrusion pipe
22a: first end portion 22b: second end portion
23: Air cylinder 24: Gas injection / suction tube
25: Hose-to-pipe (block) 26: Bit
27: Screw fastening unit 37: Shock sensor
38, 39, 42: slide plate 40: retaining member
41: maintenance stand 43, 44: arrow
45: Third path 46: Path tube
46a, 47: a discharge tube 46b, 48: a discharge tube
49, 50: hose close-fitting pipe (block) 51: first tube
52: second tube 53: path tube
54: third tube 121, 122, 123: capillary cartridge

Claims (10)

모세관을 반송하는 제 1 관과,
상기 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과,
상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와,
상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.A first tube for conveying the capillary,
An ultrasonic horn having a mounting portion for mounting the capillary,
A first moving mechanism for relatively moving the ultrasonic horn and the first end of the first tube;
And a mechanism for blowing gas to the second end of the first tube. 제 1 항에 있어서,
상기 기체를 블로잉하는 기구는 상기 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부에 밀어 넣는 제 2 관과 상기 제 2 관을 이동시키는 제 2 이동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the mechanism for blowing the gas has a second tube for pushing the capillary tube to the second end of the first tube and a second moving mechanism for moving the second tube. 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 관의 제 1 단부에 배치되고, 상기 제 1 관보다 단단한 재질로 이루어지는 블록을 갖는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 장치.3. The method of claim 2,
And a block disposed at a first end of the first pipe and made of a material harder than the first pipe. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 모세관 반송 장치와,
상기 장착부에 상기 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 장착 장치.A capillary carrying apparatus according to any one of claims 1 to 3,
And a mechanism for fixing the capillary to the mounting portion. 제 4 항에 기재된 모세관 장착 장치와,
상기 장착부에 고정된 상기 모세관을 분리하는 기구와,
상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.The capillary mounting apparatus according to claim 4,
A mechanism for separating the capillary fixed to the mounting portion,
And a mechanism for sucking gas from the second end of the first tube. 제 1 모세관을 반송하는 제 4 관과,
제 2 모세관을 반송하는 제 1 관과,
상기 제 1 또는 제 2 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과,
상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 제 1 단부 및 상기 제 4 관의 제 1 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와,
상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉하는 기구와,
상기 제 4 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인하는 기구와,
상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 분리하는 기구와,
상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.A fourth tube for conveying the first capillary,
A first tube for carrying a second capillary,
An ultrasonic horn having a mounting portion for mounting the first or second capillary,
A first moving mechanism for relatively moving the ultrasonic horn and the first end of the first tube and the first end of the fourth tube;
A mechanism for blowing gas to the second end of the first tube,
A mechanism for sucking gas from the second end of the fourth tube,
A mechanism for separating the first capillary tube fixed to the mounting portion,
And a mechanism for fixing the second capillary tube to the mounting portion. 제 1 모세관을 반송하는 제 1 경로, 제 2 모세관을 반송하는 제 2 경로 및 상기 제 1 경로와 상기 제 2 경로가 합류하는 제 3 경로를 갖는 제 1 관과,
상기 제 1 또는 제 2 모세관을 장착하는 장착부를 갖는 초음파 혼과,
상기 초음파 혼과 상기 제 1 관의 상기 제 3 경로의 단부를 상대 이동시키는 제 1 이동 기구와,
상기 제 1 관의 제 2 경로의 단부에 기체를 블로잉하는 기구와,
상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 분리하는 기구와,
상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 장치.A first tube having a first path for carrying a first capillary tube, a second path for carrying a second capillary tube, and a third path for joining the first path and the second pathway,
An ultrasonic horn having a mounting portion for mounting the first or second capillary,
A first moving mechanism for relatively moving the ultrasonic horn and an end of the third path of the first tube;
A mechanism for blowing gas to an end of the second path of the first tube,
A mechanism for separating the first capillary tube fixed to the mounting portion,
And a mechanism for fixing the second capillary tube to the mounting portion. 초음파 혼과 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시킴으로써 상기 초음파 혼의 장착부와 상기 제 1 관의 제 1 단부를 위치 맞춤하고,
상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 모세관을 상기 제 1 관 내에 삽입하고,
상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉함으로써 상기 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 상기 제 1 단부를 통과해서 상기 초음파 혼의 장착부로 반송하는 것을 특징으로 하는 모세관 반송 방법.Positioning the mounting portion of the ultrasonic horn and the first end of the first tube by relatively moving the ultrasonic horn and the first end of the first tube,
Inserting a capillary from the second end of the first tube into the first tube,
Wherein the capillary is transported from the second end of the first tube to the mounting portion of the ultrasonic horn through the first end by blowing gas to the second end of the first tube. 제 8 항에 기재된 모세관 반송 방법에 의해 상기 모세관을 상기 초음파 혼의 장착부로 반송하고,
상기 장착부에 상기 모세관을 고정하는 것을 특징으로 하는 모세관 장착 방법.The capillary is transported to the mounting portion of the ultrasonic horn by the capillary transport method according to Claim 8,
And fixing the capillary to the mounting portion. 장착부에 고정된 제 1 모세관을 갖는 초음파 혼과 제 1 관의 제 1 단부를 상대 이동시킴으로써 상기 제 1 모세관을 상기 제 1 관의 제 1 단부에 삽입하고,
상기 장착부에 고정된 상기 제 1 모세관을 상기 초음파 혼으로부터 분리하고,
상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 기체를 흡인함으로써 상기 제 1 모세관을 상기 제 1 관의 제 1 단부로부터 상기 제 2 단부로 반송하여 상기 제 1 관으로부터 상기 제 1 모세관을 배출하고,
상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 제 2 모세관을 상기 제 1 관 내에 삽입하고,
상기 제 1 관의 제 2 단부에 기체를 블로잉함으로써 상기 제 2 모세관을 상기 제 1 관의 제 2 단부로부터 상기 제 1 단부를 통과해서 상기 초음파 혼의 상기 장착부로 반송하고,
상기 장착부에 상기 제 2 모세관을 고정하는 것을 특징으로 하는 모세관 교환 방법.Inserting the first capillary into the first end of the first tube by relatively moving the first end of the first tube with the ultrasonic horn having the first capillary fixed to the mounting portion,
The first capillary tube fixed to the mounting portion is separated from the ultrasonic horn,
Withdrawing the first capillary from the first tube by conveying the first capillary from the first end of the first tube to the second end by sucking gas from the second end of the first tube,
Inserting a second capillary from the second end of the first tube into the first tube,
The second capillary is passed from the second end of the first tube to the mounting portion of the ultrasonic horn through the first end by blowing gas to the second end of the first tube,
And fixing the second capillary tube to the mounting portion.
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